JP6763240B2 - 弁機構及び弁機構の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、記録媒体にインクを噴射して記録を行う記録装置に適用可能な弁機構、及び当該弁機構の製造方法に関する。

例えば、液体（インク）を液滴として記録媒体に噴射し、記録媒体に記録を行うインクジェット式記録装置が知られている。このようなインクジェット式記録装置には、インクタンクなどの液体貯留手段からチューブ等の供給管を介して記録ヘッドにインクが供給され、液体貯留手段から供給されたインクが記録ヘッドのノズル開口から液滴として噴射されるものがある。また、液体貯留手段から供給されたインクが記録ヘッドに所定の圧力で供給されるように、インクの流路の途中に圧力調整弁であるバルブユニット（弁機構）が設けられたものが提案されている（例えば、特許文献１）。

特許文献１に記載のバルブユニットは、インクの流路に設けられる弁座と、弁体とを有している。弁座は、支持部材と撥水処理が施された当接部材とが積層された構造を有している。弁体は、弁座の撥水処理が施された部分（当接部材）に離当接し、インクの流路を開閉する。
当接部材は支持部材と別体で構成されているので、支持部材に悪影響を及ぼすことなく、当接部材に対して十分な撥水処理を施すことができる。その結果、弁座の弁体が離当接する部分（当接部材）にインクが堆積しにくくなるので、堆積したインクによってインクの流路が正常に開閉されないという不具合を長期間に亘って抑制することができる。

特開２０１６−０２２７０４号公報

ところが、特許文献１に記載のバルブユニットでは、例えば、変形や位置ズレなどによって支持部材と当接部材とが積層された構造が適正に形成されず、支持部材と当接部材とが積層された部分が弁体に干渉し、弁体が正常に動作しなくなるおそれがあった。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例に係る弁機構は、液体の流路となる孔を有する弁座と、前記弁座との間の相対移動により、前記流路を開閉する弁体と、前記弁座及び前記弁体の一方に固定される第１面と、前記弁座及び前記弁体の他方に離当接される第２面と、前記第１面及び前記第２面に交差する第３面と、前記第１面及び前記第２面を貫く開口とを有する開口部材と、前記一方と前記第１面とを固定する固定部材と、前記開口から前記第３面に向かう方向に、前記一方と前記第１面との間の間隔を長くする傾斜部と、を備えていることを特徴とする。

本適用例に係る弁機構は、弁座と、弁座との間の相対移動により液体の流路を開閉する弁体と、弁座及び弁体の一方（以降、単に一方と称す）に固定される第１面と、弁座及び弁体の他方（以降、単に他方と称す）に離当接される第２面と、第３面と、弁体が貫通される開口とを有する開口部材とを備え、一方と開口部材とが固定部材によって固定されている。すなわち、本適用例に係る弁機構は、一方と固定部材と開口部材とが積層された構造を有し、一方と固定部材と開口部材とが積層された部分に、弁体が相対移動することによって液体の流路が開閉される。

さらに、一方と固定部材と開口部材とが積層された部分には、開口から第３面に向かう方向に一方と開口部材との間の間隔を長くする傾斜部が設けられている。固定部材が傾斜部に配置されると、一方と開口部材との間の間隔を狭めた場合、傾斜部から固定部材に対して開口から第３面に向かう方向の力が作用するようになる。
固定部材が未硬化あるいは固定部材の熱可塑性によって固定部材が流動性を有する場合、傾斜部から固定部材に対して作用する開口から第３面に向かう方向の力によって、固定部材は、開口から第３面に向かう方向に流動しやすいので第３面の側に張り出しやすくなり、第３面から開口に向かう方向に流動しにくいので開口の側に張り出しにくくなる。

このため、一方と固定部材と開口部材とが積層された部分（構造）において、固定部材は、開口の側に張り出しにくい。従って、一方と固定部材と開口部材とが積層された部分（構造）において、固定部材が開口を閉塞し、弁機構の機能が阻害されるという不具合（弁機構が正常に動作しなくなるおそれ）を抑制することができる。

［適用例２］上記適用例に係る弁機構は、前記第２面は、前記開口から前記第３面に向かう方向に前記一方との間の間隔を長くする傾斜面を、前記第３面よりも前記開口の近くに備えていることが好ましい。

他方に離当接される第２面が、一方との間隔を長くする傾斜面を第３面よりも開口の近くに有すると、液体は、傾斜面によって開口の側に案内され、開口の側に流動しやすくなる。例えば、液体の流路に劣化した液体や気泡が存在する場合、劣化した液体や気泡を開口を介して排出しやすくなる。

［適用例３］上記適用例に係る弁機構は、前記第２面は、前記傾斜面に対して前記第３面の側に配置される外周面をさらに有し、前記外周面は、前記傾斜面よりも撥液性が高められていることが好ましい。

傾斜面と比べて撥液性が高められた外周面は、液体をはじくようになり、例えば液体に色材や樹脂が分散された場合、当該色材や樹脂が外周面に堆積しにくくなる。また、外周面と比べて撥液性が低い傾斜面は、気泡をはじくようになり、開口付近で気泡が溜まりにくくなる。

［適用例４］上記適用例に係る弁機構は、前記開口部材は、前記第２面から前記第１面に向かう方向に曲がったバリを、前記開口の縁に有し、前記バリの先端は前記一方に食い込んでいることが好ましい。

バリの先端を一方に食い込ませると、バリの先端が一種のアンカーボルトの役割を果たし、一方に対する開口部材の位置が変化しにくくなる。従って、一方と固定部材と開口部材とが積層された部分（構造）において、開口部材の位置が変化することによって、開口部材が弁体に干渉したり開口部材と他方とが離当接しなかったりして、弁機構の機能が阻害されるという不具合（弁機構が正常に動作しなくなるおそれ）を抑制することができる。

［適用例５］上記適用例に係る弁機構は、前記傾斜部は、前記第３面よりも前記開口の近くに配置される第１傾斜部と、前記開口よりも前記第３面の近くに配置される第２傾斜部とを備えていることが好ましい。

一方と開口部材との間の間隔を狭めた場合、第１傾斜部及び第２傾斜部の両方から固定部材に対して開口から第３面に向かう方向の力が作用するようになる。このため、第１傾斜部及び第２傾斜部のいずれかから固定部材に対して開口から第３面に向かう方向の力が作用する場合と比べて、固定部材は、第３面から開口に向かう方向にさらに流動しにくくなり、開口の側にさらに張り出しにくくなる。

［適用例６］本適用例に係る弁機構は、凹部と、前記凹部の内側に設けられ液体の流路となる孔と、を有する弁座と、前記弁座との間の相対移動により、前記流路を開閉する弁体と、前記弁座に固定される第１面と、前記弁体が離当接する第２面と、前記第１面及び前記第２面に交差する第３面と、前記第１面及び前記第２面を貫く開口とを有する開口部材と、前記弁座と前記第１面とを固定する固定部材と、を備えていることを特徴とする。

固定部材が未硬化あるいは固定部材の熱可塑性によって固定部材が流動性を有し、弁座と開口部材との間からはみ出した場合、凹部ははみ出した固定部材の受け皿となり、はみ出した固定部材が凹部の内側に設けられた孔に到達しにくくなるので、はみ出した固定部材が孔（液体の流路）を閉塞しにくくなる。
加えて、弁座が変形したとしても、流路となる孔が凹部の内側にあるので、弁座の変形の影響を孔が受けにくくすることができる。

［適用例７］上記適用例に係る弁機構は、前記相対移動の方向から見た場合、前記開口は前記凹部の内側に配置され、前記孔は前記開口の内側に配置されることが好ましい。

弁体の相対移動の方向から見た場合、凹部の内周面と孔との間に開口が配置されるので、凹部の内周面と孔との間に開口が配置されない場合と比べて、凹部の内周面と孔との間隔を長くすることができるので、はみ出した固定部材が孔にさらに到達しにくくなり、はみ出した固定部材が孔（液体の流路）をさらに閉塞しにくくなる。

［適用例８］上記適用例に係る弁機構は、さらに、前記開口から前記第３面に向かう方向に前記弁座と前記第１面との間の間隔を長くする傾斜部を、備えていることが好ましい。

傾斜部に固定部材を配置し、一方と開口部材との間の間隔を狭めた場合、傾斜部から固定部材に対して開口から第３面に向かう方向の力が作用するようになる。
固定部材が未硬化あるいは固定部材の熱可塑性によって固定部材が流動性を有する場合、傾斜部から固定部材に対して作用する開口から第３面に向かう方向の力によって、固定部材は、開口から第３面に向かう方向に流動しやすくなるので第３面の側に張り出しやすくなり、第３面から開口に向かう方向に流動しにくくなるので開口の側に張り出しにくくなる。

このため、一方と固定部材と開口部材とが積層された部分（構造）において、固定部材は、開口の側に張り出しにくく、開口に貫通される弁体に干渉しにくい。従って、一方と固定部材と開口部材とが積層された部分（構造）において、固定部材が弁体に干渉し、弁体の相対移動が阻害されるという不具合（弁体が正常に動作しなくなるおそれ）を抑制することができる。

［適用例９］上記適用例に係る弁機構は、さらに、前記第２面は、前記開口から前記第３面に向かう方向に前記弁座との間の間隔を長くする傾斜面を、前記第３面よりも前記開口の近くに備えていることが好ましい。

他方に離当接される第２面が、一方との間隔を長くする傾斜面を第３面よりも開口の近くに有すると、液体は、傾斜面によって開口の側に案内され、開口の側に流動しやすくなる。例えば、液体の流路に劣化した液体や気泡が存在する場合、劣化した液体や気泡を開口を介して排出しやすくなる。

［適用例１０］上記適用例に係る弁機構は、前記第２面は、前記傾斜面に対して前記第３面の側に配置される外周面をさらに有し、前記外周面は、前記傾斜面よりも撥液性が高められていることが好ましい。

傾斜面と比べて撥液性が高められた外周面は、液体をはじくようになり、例えば液体に色材や樹脂が分散された場合、当該色材や樹脂が外周面に堆積しにくくなる。また、外周面と比べて撥液性が低い傾斜面は、気泡をはじくようになり、開口付近で気泡が留まりにくくなる。

［適用例１１］上記適用例に係る弁機構は、前記傾斜部は、前記第３面よりも前記開口の近くに配置される第１傾斜部と、前記開口よりも前記第３面の近くに配置される第２傾斜部とを備えていることが好ましい。

一方と開口部材との間の間隔を狭めた場合、第１傾斜部及び第２傾斜部の両方から固定部材に対して開口から第３面に向かう方向の力が作用するようになる。このため、第１傾斜部及び第２傾斜部のいずれかから固定部材に対して開口から第３面に向かう方向の力が作用する場合と比べて、固定部材は、第３面から開口に向かう方向にさらに流動しにくくなり、開口の側にさらに張り出しにくくなる。

［適用例１２］上記適用例に係る弁機構は、前記弁座は、凸部をさらに有し、前記相対移動の方向から見た場合、前記開口部材は前記凸部の内側に配置されることが好ましい。

凸部を弁座の位置を検出するアライメントマークとすると、凸部によって弁座の位置を正しく把握し、開口部材を弁座の所定の位置に高精度に配置することができる。
従って、一方と固定部材と開口部材とが積層された部分（構造）において、開口部材の位置ズレによって開口部材が弁体に干渉したり開口部材と他方とが離当接しなかったりして、弁機構の機能が阻害されるという不具合（弁機構が正常に動作しなくなるおそれ）を抑制することができる。

［適用例１３］上記適用例に係る弁機構は、前記弁座と前記第１面との間の流路抵抗は、前記開口側から前記第３面側へ向けて、漸減することが好ましい。

弁座と第１面との間の流路抵抗が、開口側から第３面側へ向けて漸減すると、固定部材が開口側よりも第３面側へ流動しやすくできる。従って、一方と固定部材と開口部材とが積層された部分（構造）において、固定部材が開口を閉塞し、弁機構の機能が阻害されるという不具合（弁機構が正常に動作しなくなるおそれ）を抑制することができる。

［適用例１４］本記適用例に係る弁機構の製造方法は、弁機構は、液体の流路となる孔を有する弁座と、前記弁座との間の相対移動により、前記流路を開閉する弁体と、前記弁座及び前記弁体の一方に固定される第１面と、前記弁座及び前記弁体の他方に離当接される第２面と、前記第１面及び前記第２面に交差する第３面と、前記第１面及び前記第２面を貫き前記弁体が貫通される開口とを有する開口部材と、を備え、前記一方及び前記第１面の間に、固定部材を配置する工程と、前記一方と前記第１面との間の間隔を狭めて、前記固定部材の移動量が前記開口側よりも前記第３面側の方に多くなるように、前記固定部材を移動させる工程と、前記固定部材を硬化させる工程と、を備えることを特徴とする。

一方及び第１面（開口部材）の間に固定部材を配置し、そこから固定部材の移動量が開口側よりも第３面側の方が多くなるようにして、固定部材を硬化させると、固定部材の移動量は第３面よりも開口側で少ないので、固定部材が開口を閉塞しにくくなる。
従って、一方と固定部材と開口部材とが積層された構造を形成する場合、固定部材が開口を閉塞し、弁機構の機能が阻害されるという不具合（弁機構体が正常に動作しなくなるおそれ）を抑制することができる。

［適用例１５］上記適用例に係る弁機構の製造方法は、前記固定部材を配置する工程の前に、前記開口部材を前記第２面から前記第１面に向かう方向に打ち抜いて前記開口を形成する工程を、さらに備えていることが好ましい。

例えば、金型（工具）を用いて開口部材を第２面から第１面に向かう方向に打ち抜いて開口を形成すると、第２面から第１面に向かう方向に曲がったバリを開口の縁に形成することができる。従って、開口側よりも第３面側の方に固定部材を多く移動させることが、このバリにより容易になる。

［適用例１６］上記適用例に係る弁機構の製造方法は、前記開口を形成する工程の前に、前記第２面に撥液膜を形成する工程を、さらに備えていることが好ましい。

第２面に撥液膜が形成された状態で、金型（工具）を用いて、開口部材を第２面から第１面に向かう方向に打ち抜くと、第２面から第１面に向かう方向に曲がった傾斜面（一方との間隔を長くする傾斜面）を第２面に形成することができる。すなわち、第２面から第１面に向かう方向に曲がった傾斜面と、傾斜面に対して第３面の側に配置される外周面とを、第２面に形成することができる。

さらに、第２面から第１面に向かう方向に曲がった傾斜面に対して、開口部材を打ち抜く際に金型（工具）が接触するので、傾斜面を覆う撥液膜が実質的に削り取られる。外周面に対して、開口部材を打ち抜く際に金型（工具）が接触しないので、外周面を覆う撥液膜が残存する。従って、傾斜面と比べて外周面の撥液性を高めることができる。また、外周面と比べて撥液性が低い傾斜面は、気泡をはじくようになり、開口付近で気泡が溜まりにくくなる。

［適用例１７］上記適用例に係る弁機構の製造方法は、前記開口を形成する工程では、前記第２面から前記第１面に向かう方向に曲がったバリを、前記開口の縁に形成し、前記固定部材を移動させる工程では、前記バリの先端を前記一方に食い込ませることが好ましい。

開口を形成する工程で第２面から第１面に向かう方向に曲がったバリを開口の縁に形成し、固定部材を移動させる工程でバリの先端を一方に食い込ませると、バリの先端が一種のアンカーボルトの役割を果たし、一方に対する開口部材の位置が変化しにくくなる。従って、一方と固定部材と開口部材とが積層された部分（構造）において、位置が変化することによって開口部材が弁体に干渉したり開口部材と弁体とが離当接しなかったりして、弁機構の機能が阻害されるという不具合（弁機構が正常に動作しなくなるおそれ）を抑制することができる。

［適用例１８］上記適用例に係る弁機構の製造方法は、前記一方と前記第１面との間の流路抵抗が、前記開口側から前記第３面側へ向けて、漸減するような溝を前記一方または前記第１面に設ける工程を備えることが好ましい。

一方と第１面との間の流路抵抗が、開口側から第３面側へ向けて漸減すると、固定部材が開口側よりも第３面側へ流動しやすくできる。従って、一方と固定部材と開口部材とが積層された部分（構造）において、固定部材が開口を閉塞し、弁機構の機能が阻害されるという不具合（弁機構が正常に動作しなくなるおそれ）を抑制することができる。

［適用例１９］本適用例に係る弁機構の製造方法は、弁機構は、凹部と、前記凹部の内側に設けられ液体の流路となる孔と、を有する弁座と、前記弁座との間の相対移動により、前記流路を開閉する弁体と、前記弁座に固定される第１面と、前記弁体が離当接する第２面と、前記第１面及び前記第２面に交差する第３面と、前記第１面及び前記第２面を貫く開口とを有する開口部材と、前記弁座と前記第１面とを固定する固定部材と、を備え、前記弁座及び前記第１面の間に固定部材を配置する工程と、前記弁座及び前記第１面を圧着する工程と、を備えることを特徴とする。

弁座及び第１面（開口部材）の間に固定部材を配置する工程と、弁座及び開口部材を圧着する工程とによって、固定部材が弁座及び開口部材の間からはみ出した場合、凹部は、はみ出した固定部材の受け皿となり、はみ出した固定部材が凹部の内側に設けられた孔に到達しにくくなるので、はみ出した固定部材が孔（液体の流路）を閉塞しにくくなる。
加えて、弁座が圧着より変形したとしても、流路となる孔が凹部の内側にあるので、変形した弁座により孔が閉塞されたり孔の直径が短くなったりしにくくなり、弁座の変形の影響を孔が受けにくくすることができる。

［適用例２０］上記適用例に係る弁機構の製造方法は、前記弁座と前記第１面との間の流路抵抗が、前記開口側から前記第３面側へ向けて、漸減するような溝を前記弁座または前記第１面に設ける工程を備えることが好ましい。

弁座と第１面との間の流路抵抗が、開口側から第３面側へ向けて漸減すると、固定部材が開口側よりも第３面側へ流動しやすくできる。従って、弁座と固定部材と開口部材とが積層された部分（構造）において、固定部材が開口を閉塞し、弁機構の機能が阻害されるという不具合（弁機構が正常に動作しなくなるおそれ）を抑制することができる。

インクジェット式記録装置の概略平面図。 実施形態１に係るバルブユニット及び記録ヘッドの概略断面図。 ヘッド本体の概略断面図。 インクの流路が閉じられた場合のバルブユニットの要部の概略図。 インクの流路が開かれた場合のバルブユニットの要部の概略図。 図４の二点鎖線で囲まれた領域Ａの拡大図。 実施形態１に係るバルブユニットの製造方法を示す工程フロー。 図７に示す工程の状態を示す概略図。 図７に示す工程の状態を示す概略図。 図７に示す工程の状態を示す概略図。 図７に示す工程の状態を示す概略図。 図７に示す工程の状態を示す概略図。 図７に示す工程の状態を示す概略図。 図７に示す工程の状態を示す概略図。 図７に示す工程の状態を示す概略図。 実施形態２に係るバルブユニットの概要を示す概略図。 実施形態２に係る他のバルブユニットの概要を示す概略図。 実施形態２に係るバルブユニットの製造方法を示す工程フロー。 図１２に示す工程の状態を示す概略図。 図１２に示す工程の状態を示す概略図。 実施形態３に係る開閉弁の開弁状態を示す概略図。 実施形態３に係る開閉弁の閉弁状態を示す概略図。 変形例１に係るバルブユニットにおける弁座及び開口部材の配置状態を示す概略図。 変形例１に係るバルブユニットにおける弁座及び開口部材の配置状態を示す概略図。 変形例１に係るバルブユニットにおける弁座及び開口部材の配置状態を示す概略図。 変形例１に係るバルブユニットにおける弁座及び開口部材の配置状態を示す概略図。 変形例１に係るバルブユニットにおける弁座及び開口部材の配置状態を示す概略図。 変形例３に係る開口部材の状態を示す概略平面図。 図１８のＧ−Ｇ線に沿った開口部材の断面図。 変形例４に係る開口部材の状態を示す概略平面図。

以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。かかる実施形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の各図においては、各層や各部位を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部位の縮尺を実際とは異ならせしめてある。

（実施形態１）
＜プリンターの概要＞
図１は、インクジェット式記録装置（以降、プリンターと称す）の概略平面図である。
図１に示すように、プリンター１は、略矩形状の本体フレーム２を備えている。本体フレーム２内には記録媒体（図示略）を支持する媒体支持部材３が本体フレーム２の長手方向（主走査方向）に沿って延設されている。媒体支持部材３上には、図示しない紙送り機構により紙などの記録媒体が本体フレーム２の短手方向（副走査方向）に沿って給送されるようになっている。また、本体フレーム２内における媒体支持部材３の上方には、主走査方向に沿って延びる棒状のガイド軸４が架設されている。

以降の説明では、主走査方向をＸ方向、副走査方向をＹ方向、及びＸ方向とＹ方向とに直交するプリンター１の厚さ方向をＺ方向とする。さらに、図中で方向を示す矢印の先端側を「（＋）方向」、基端側を「（−）方向」とする。
なお、Ｘ方向は「相対移動の方向」の一例である。以降の説明では、Ｘ方向から見ること、すなわち「相対移動の方向から見た場合」を平面視と称す。

ガイド軸４には、キャリッジ５がガイド軸４に沿ってＸ方向に往復移動可能な状態で支持されている。キャリッジ５は、本体フレーム２に設けられた一対のプーリー６ａ間に掛装された無端状のタイミングベルト６を介して本体フレーム２に設けられたキャリッジモーター７に連結されている。これにより、キャリッジ５は、キャリッジモーター７の駆動によってガイド軸４に沿って往復移動される。

キャリッジ５には、インクジェット式記録ヘッド（以降、記録ヘッドと称す）２０と、実施形態１に係るバルブユニット５０とが搭載されている。
なお、バルブユニット５０は、「弁機構」の一例である。

詳細は後述するが、プリンター１では、記録ヘッド２０の媒体支持部材３に相対向する面に複数のノズル開口３３４（図２参照）が設けられており、記録ヘッド２０内に設けられた図示しない圧力発生手段を駆動することにより、各ノズル開口３３４から媒体支持部材３上に給送された記録媒体にインク滴が噴射されることで、記録媒体に印刷が行われるようになっている。

本体フレーム２のＸ（＋）方向側にはタンクホルダー９が設けられており、タンクホルダー９には液体貯留手段である複数のインクタンク８がそれぞれ着脱可能に装着されている。本実施形態では、インクタンク８が２個設けられている。各インクタンク８には、互いに種類（色）の異なるインクが貯留されている。
なお、インクは「液体」の一例である。また、インクタンク８の数は２個に限定されず２個よりも多くてもよく、２個よりも少なくてもよい。

インクは、色材や、色材を分散させる（または溶解させる）溶剤などを含む。色材は、例えば染料や顔料である。溶剤は、例えば水系媒体であり、イオン交換水、限外ろ過水、逆浸透水、蒸留水などの純水または超純水を使用することができる。すなわち、インクは、水系媒体を溶剤とする水性インクである。
なお、インクは、有機溶剤を溶剤とする非水性インクであってもよい。

タンクホルダー９に装着された各インクタンク８は、チューブ等の供給管１０を介してバルブユニット５０に接続されている。各インクタンク８に貯留された各色のインクは、加圧ポンプ（図示省略）によって加圧され、供給管１０を介してバルブユニット５０に加圧供給される。

本体フレーム２内におけるＸ（＋）方向側に配置されるキャリッジ５のホームポジション領域には、バルブユニット５０や記録ヘッド２０のクリーニング等のメンテナンス処理を施すためのメンテナンスユニット１１が設けられている。このメンテナンスユニット１１は、記録ヘッド２０の各ノズル開口３３４を囲うように該記録ヘッド２０に当接したり、各ノズル開口３３４からフラッシングによって噴射されるインクを受容したりするためのキャップ１２と、キャップ１２内を吸引可能な吸引ポンプ（図示略）とを備えている。

そして、記録ヘッド２０の各ノズル開口３３４を囲うようにキャップ１２が記録ヘッド２０に当接した状態でキャップ１２内を吸引ポンプによって吸引することで、各ノズル開口３３４から増粘したインクや気泡などがキャップ１２内に強制的に排出される。
すなわち、メンテナンス処理では、バルブユニット５０や記録ヘッド２０のインクの流路内の増粘したインクや気泡などをノズル開口３３４から強制的に排出し、バルブユニット５０や記録ヘッド２０を正常な状態に回復させる。

＜記録ヘッドの概要＞
図２は、実施形態１に係るバルブユニット及び記録ヘッドの概略断面図である。図３は、ヘッド本体の概略断面図である。
以下、図２及び図３を参照して、記録ヘッド２０の概要について説明する。

図２及び図３に示すように、記録ヘッド２０は、インク滴を噴射するヘッド本体３０と、ヘッド本体３０にインクを供給する流路部材４０と、を具備する。
ヘッド本体３０は、アクチュエーターユニット３１と、アクチュエーターユニット３１を内部に収容可能なケース３２と、ケース３２の一方面に固定された流路ユニット３３と、ケース３２の他方面に固定された配線基板３４と、を具備する。

アクチュエーターユニット３１は、複数の圧電アクチュエーターがノズル開口３３４の並設方向に沿って並設された圧電アクチュエーター形成部材３１１と、圧電アクチュエーター形成部材３１１の先端部（一端部）側が自由端となるようにその基端部（他端部）側が固定端として固定される固定板３１２とを有する。

圧電アクチュエーター形成部材３１１は、圧電材料３１３と、電極形成材料３１４及び電極形成材料３１５とを交互に挟んで積層することにより形成されている。この圧電アクチュエーター形成部材３１１には、例えば、ワイヤーソー等によって複数のスリットが形成され、その先端部側が櫛歯状に切り分けられて圧電アクチュエーターが並設されている。

ここで、圧電アクチュエーター形成部材３１１の固定板３１２に固定される領域は、振動に寄与しない不活性領域となっており、圧電アクチュエーター形成部材３１１を構成する電極形成材料３１４及び電極形成材料３１５間に電圧を印加すると、固定板３１２に固定されていない先端部側の領域のみが振動する。そして、圧電アクチュエーター形成部材３１１の先端面は、振動板３３１に固定されている。

また、アクチュエーターユニット３１の各圧電アクチュエーターには、当該圧電アクチュエーターを駆動するための駆動ＩＣ等の駆動回路３１７が搭載されたＣＯＦ等の回路基板３１８が接続されている。

流路ユニット３３は、流路形成基板３３０、振動板３３１及びノズルプレート３３２を具備する。
流路形成基板３３０には、複数の圧力発生室３３３が並設され、流路形成基板３３０の両側は、各圧力発生室３３３に対応してノズル開口３３４を有するノズルプレート３３２と、振動板３３１とにより封止されている。流路形成基板３３０には、圧力発生室３３３毎にそれぞれインク供給路３３５を介して連通されて列毎に複数の圧力発生室３３３の共通のインク室となるマニホールド３３６が形成されている。

そして、振動板３３１の各圧力発生室３３３に対向する領域には、それぞれ圧電アクチュエーター形成部材３１１の先端が固定されている。
また、振動板３３１のマニホールド３３６に対応する領域は、コンプライアンス部３３７が設けられている。コンプライアンス部３３７は、マニホールド３３６内に圧力変化が生じた時に、コンプライアンス部３３７が変形することによって圧力変化を吸収し、マニホールド３３６内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。

ケース３２には、バルブユニット５０からのインクをマニホールド３３６に供給するインク導入路３２１が設けられている。本実施形態では、マニホールド３３６の各々に対して１つずつ、合計２つのインク導入路３２１が設けられている。そして、インクタンク８からバルブユニット５０を介してインク導入路３２１に供給されたインクは、マニホールド３３６に供給され、インク供給路３３５を介して各圧力発生室３３３に分配される。

また、ケース３２には、圧力発生室３３３の列に対応して、収容部３２２が設けられている。本実施形態では、２つの収容部３２２が設けられており、各収容部３２２内にアクチュエーターユニット３１がそれぞれ固定されている。

さらに、ケース３２の流路ユニット３３とは反対側には、配線基板３４が設けられており、アクチュエーターユニット３１に一端が接続された回路基板３１８の他端部が配線基板３４に接続されている。

このようなヘッド本体３０では、圧電アクチュエーター形成部材３１１（圧電アクチュエーター）及び振動板３３１の変形によって各圧力発生室３３３の容積を変化させて所定のノズル開口３３４からインク滴を噴射させるようになっている。

図２に示すように、流路部材４０は、一方の面にバルブユニット５０が固定され、他方の面にヘッド本体３０が固定されている。バルブユニット５０からのインクは、流路部材４０を介してヘッド本体３０に供給される。

詳しくは、流路部材４０には、インク連通路４１が設けられている。インク連通路４１が開口する一方面には、インクに含まれるゴミや気泡などの異物を除去するフィルター４２と、フィルター４２上に設けられた供給針４３とが設けられている。供給針４３はバルブユニット５０に挿入され、バルブユニット５０からのインクは、供給針４３の内部を通過してフィルター４２で異物が除去された後、インク連通路４１を介してヘッド本体３０に供給される。

＜バルブユニットの概要＞
図４は、インクの流路が閉じられた場合のバルブユニットの要部の概略図である。図５は、インクの流路が開かれた場合のバルブユニットの要部の概略図である。図６は、図４の二点鎖線で囲まれた領域Ａの拡大図である。
図６では、発明の構成を分かりやすくするために、弁座６０と開口部材７０と接着剤８１とが図示され、弁座６０が便宜的に矩形状に図示されている。
次に、図４乃至図６を参照し、バルブユニット５０の概要を説明する。

バルブユニット５０は、インクが流れる流路の途中に設けられ、インクの流路を開閉する開閉弁である。
図４及び図５に示すように、バルブユニット５０では、蓋部材５１と、弁座６０と、フィルム部材５３とがＸ方向に沿って順に配置されている。蓋部材５１及びフィルム部材５３は、平面視で円形の部材である。
なお、弁体５４または弁座６０は、「一方」または「他方」の一例である。

蓋部材５１及び弁座６０は、例えば熱可塑性樹脂を成型することによって形成された部材である。蓋部材５１は、例えば熱溶着によって弁座６０に接着されている。フィルム部材５３は、可撓性を有する樹脂フィルムで構成され、変形可能であり、例えば熱溶着によって弁座６０に接着されている。

弁座６０は、蓋部材５１の側に第１凹部（空部）６１を有し、フィルム部材５３の側に第２凹部（空部）６２を有している。第１凹部６１と第２凹部６２とは、隔壁６３によって区画され、いずれも平面視で円形である。第１凹部６１の開口は蓋部材５１によって封止され、第１凹部６１が液体室６７になる。第２凹部６２の開口はフィルム部材５３によって封止され、第２凹部６２が圧力調整室６８になる。

隔壁６３は、第１凹部６１の側に凸部６４を有している。凸部６４は、平面視で円形であり、第１凹部６１の中央に配置されている。凸部６４の中央には、隔壁６３を貫く孔６５が形成されている。孔６５は、液体室６７と圧力調整室６８とを連通するインクの流路となる。
すなわち、弁座６０は、インクの流路となる孔６５を有している。

液体室６７は、流入路５１５や供給管１０などを介してインクタンク８に連通されている。圧力調整室６８は、流出路５１７を介して流路部材４０のインク連通路４１に連通されている。インクタンク８に貯留されているインクは、供給管１０と、流入路５１５と、液体室６７と、孔６５と、圧力調整室６８と、流出路５１７とを経由して、記録ヘッド２０に供給される。

蓋部材５１とフィルム部材５３との間には、バネ５２と弁体５４と開口部材７０と受圧板５９とが順に配置されている。
バネ５２の一方の端は蓋部材５１に固定され、バネ５２の他方の端は弁体５４に固定されている。

弁体５４は、本体部５５と、シール部５８とで構成される。
本体部５５は、軸部５６と、軸部５６よりも太くなったフランジ部５７とで構成される。軸部５６は、Ｘ方向に長くなった円柱形状の部材であり、孔６５に貫通され、液体室６７と圧力調整室６８とに跨って配置されている。フランジ部５７は、平面視で円形の部材であり、液体室６７に配置されている。シール部５８は、例えばエラストマーやゴムなどからなる弾性部材で構成され、フランジ部５７の開口部材７０に対向する面に固定されている。
なお、本実施形態では、軸部５６とフランジ部５７とが一体となっているが、軸部５６とフランジ部５７とが分離されていてもよい。また、軸部５６と後述する受圧板５９とが一体となっていてもよい。

軸部５６の端は、受圧板５９に接するように配置されている。受圧板５９は、フィルム部材５３と比べて硬質の材料で構成され、フィルム部材５３の中央付近に固定されている。受圧板５９は、フィルム部材５３の変位による力を弁体５４に適正に付勢する役割を有する。

開口部材７０は、例えばＳＵＳ（ステンレス鋼）で構成され、平面視で円形の部材であり、凸部６４の内側に配置されている。開口部材７０は、インクによって膨潤しにくい材料で構成することが好ましい。開口部材７０を構成する材料は、ＳＵＳの他に、例えば、樹脂材料、金属材料、ガラス、セラミック、シリコン単結晶基板などを用いることができる。開口部材７０は、接着剤８１によって弁座６０に固定されている。開口部材７０の中央には、開口部材７０を貫く開口７９が形成されている。上述した弁体５４の軸部５６は、開口７９にも貫通されている。すなわち、弁体５４の軸部５６は、弁座６０の孔６５と開口部材７０の開口７９とに貫通されている。このため、開口部材７０の開口７９も、液体室６７と圧力調整室６８とを連通するインクの流路となる。
なお、接着剤８１は、「固定部材」の一例である。また、開口部材７０の詳細は後述する。

バルブユニット５０では、フィルム部材５３の変位によって、弁体５４の位置が変化し、弁体５４のシール部５８が開口部材７０に離当接する。
詳しくは、弁体５４には、液体室６７内のインクの圧力と圧力調整室６８内のインクの圧力との圧力差に起因する力や、受圧板５９やバネ５２から付勢される力などが作用する。これら力によって、弁体５４の位置が制御され、弁体５４がＸ方向に往復移動し、弁体５４のシール部５８が開口部材７０に離当接するようになっている。

記録媒体に印刷がなされない非印刷状態などのインクが消費されない場合、図４に示すように、弁体５４のシール部５８が開口部材７０に当接し、開口７９が閉塞され、液体室６７と圧力調整室６８との間のインクの流路が閉じられる。

これに対して、記録媒体への印刷やメンテナンス処理によってインクが消費される場合、インクの消費によって圧力調整室６８内のインクが減少すると、圧力調整室６８内でインクに作用する圧力が低下し、フィルム部材５３が圧力調整室６８から液体室６７に向かう方向（Ｘ（−）方向）に変位し、フィルム部材５３に固定された受圧板５９が、弁体５４の本体部５５を押圧する。すると、図５に示すように、弁体５４のシール部５８が開口部材７０から離間し、液体室６７と圧力調整室６８との間のインクの流路が開かれる。
このように、バルブユニット５０では、弁体５４がＸ方向に往復移動し、弁体５４のシール部５８が開口部材７０に離当接することによって、液体室６７と圧力調整室６８との間のインクの流路が開閉される。換言すれば、弁体５４は、弁座６０との間の相対移動により、インクの流路を開閉する。

非印刷状態などのインクが消費されない場合、バルブユニット５０の中のインクの流路が閉じられているので、バルブユニット５０よりも上流側のインクタンク８から加圧供給されるインクは、バルブユニット５０よりも下流側の記録ヘッド２０に供給されない。

これに対して、印刷状態やメンテナンス処理などのインクが消費される場合、圧力調整室６８のインクが徐々に減少する。圧力調整室６８のインクの減少に伴って、圧力が減少して圧力調整室が負圧になる。これによりフィルム部材５３がインクの流路が開かれる方向に変位し、液体室６７から圧力調整室６８にインクが供給される。こうして、インクタンク８から加圧供給されるインクは、バルブユニット５０の下流側の記録ヘッド２０に供給される。そして、バルブユニット５０の圧力調整室６８へのインクの流入により圧力調整室６８の負圧が解消されると、インクの流路が閉じられた状態になり、記録ヘッド２０へのインクの供給が停止される。

印刷動作中においては、インクの消費に従って弁体５４が僅かに開弁しつつ、圧力調整室６８に対してインクが逐次補給される。さらに、上流側の液体室６７内におけるインクの圧力変動は、弁体５４の開閉によって、ある一定の範囲内となるように制限され、下流側の圧力調整室６８内のインクの圧力変化と切り離される。従って、弁体５４よりもインクの流路の上流側に圧力変化が生じていても、インクの流路の下流側はその影響を受けることがない。このため、バルブユニット５０の圧力調整室６８内でインクに作用する圧力が一定の範囲に制御され、記録ヘッド２０に供給されるインクの流動圧が適正範囲に調整される。
換言すれば、バルブユニット５０は、記録ヘッド２０に供給されるインクの流動圧を適正範囲に制御する圧力調整機能を有する弁機構である。

図６に示すように、開口部材７０は、接着剤８１によって弁座６０に固定される第１面７１と、第１面７１に対向配置され弁体５４のシール部５８に離当接される第２面７２と、第１面７１及び第２面７２に交差し開口部材７０の外縁に配置される第３面７３と、第３面７３に対向配置される第４面７４とを有している。また、第４面７４で囲まれた領域は開口７９であり、第４面７４に開口７９の縁が配置される。
開口７９は第１面７１と第２面７２とを貫き、弁体５４が貫通されている。さらに、第２面７２の一部（後述する外周面７２Ｂ及び第２傾斜面７２Ｃ）は、「撥液膜」の一例である撥水膜７７で覆われている。
このように、開口部材７０は、弁座６０に固定される第１面７１と、弁体５４に離当接される第２面７２と、第１面７１及び第２面７２に交差する第３面７３と、第１面７１及び第２面７２を貫き弁体５４が貫通される開口７９とを有している。

開口部材７０は、第２面７２から第１面７１に向かう方向に曲がったバリ７５を第４面７４の側（開口７９の縁）に有している。バリ７５の先端７５Ｔは、弁座６０の中に食い込んでいる。バリ７５の先端７５Ｔを弁座６０の中に食い込ませることによって、バリ７５の先端７５Ｔが一種のアンカーボルトの役割を果たし、バリ７５の先端７５Ｔが弁座６０の中に食い込んでいない場合と比べて、開口部材７０が弁座６０に強く固定され、例えば、開口部材７０にＺ方向の力が作用しても弁座６０に対する開口部材７０の位置が変化しにくくなる。
さらに、開口部材７０は、第１面７１から第２面７２に向かう方向に曲がったバリ７６を第３面７３の側（開口部材７０の外縁）に有している。なお、バリはカエリでもよい。

開口部材７０にバリ７５，７６を設けると、開口部材７０の第２面７２は湾曲した部分（第１傾斜面７２Ａ、第２傾斜面７２Ｃ）を有するようになる。
すなわち、第２面７２から第１面７１に向かう方向に曲がったバリ７５を開口７９の縁に形成すると、開口７９から第３面７３に向かう方向に弁座６０との間の間隔Ｄ２が長くなった第１傾斜面７２Ａが、開口７９の近くに形成される。
第１面７１から第２面７２に向かう方向に曲がったバリ７６を開口部材７０の外縁に形成すると、開口７９から第３面７３に向かう方向に弁座６０との間の間隔Ｄ２が長くなった第２傾斜面７２Ｃが、第３面７３の近くに形成される。そして、第１傾斜面７２Ａと第２傾斜面７２Ｃとの間に、弁座６０との間の間隔Ｄ２が略一定な外周面７２Ｂが形成される。
なお、第１傾斜面７２Ａは「傾斜面」の一例である。弁座６０との間の間隔Ｄ２は、「一方との間の間隔」の一例である。

このように、開口部材７０にバリ７５，７６を設けることによって、第２面７２は、第４面７４（開口７９）から第３面７３に向かう方向に順に配置された、第１傾斜面７２Ａと、外周面７２Ｂと、第２傾斜面７２Ｃとを有するようになる。
すなわち、第２面７２は、開口７９から第３面７３に向かう方向に弁座６０との間の間隔Ｄ２を長くする第１傾斜面７２Ａを、第３面７３よりも開口７９の近くに備え、第１傾斜面７２Ａに対して第３面７３の側に配置される外周面７２Ｂをさらに有している。
第１傾斜面７２Ａを、第３面７３よりも開口７９の近くに備えるので、インクは、第１傾斜面７２Ａによって開口７９の側に案内され、開口７９の側に流動しやすくなる。
そして、弁体５４のシール部５８は、外周面７２Ｂに離当接する。すなわち、外周面７２Ｂは、弁体５４が離当接する面である。

第１傾斜面７２Ａは撥水膜７７で覆われていなく、外周面７２Ｂは撥水膜７７で覆われている。第２傾斜面７２Ｃは、撥水膜７７で覆われていてもよいし、覆われていなくてもよい。その結果、外周面７２Ｂよりも開口７９の近くに配置される第１傾斜面７２Ａは、外周面７２Ｂと比べて撥水性（撥液性）が低く、親水性が高められている。すなわち、インクの流路（開口７９）に近い第１傾斜面７２Ａは、親水性が高められている。一方、外周面７２Ｂは、第１傾斜面７２Ａと比べて撥水性（撥液性）が高められている。すなわち、弁体５４のシール部５８が離当接する外周面７２Ｂは、第１傾斜面７２Ａと比べて、撥水性（撥液性）が高められている。
撥水膜７７は、インクに対して撥液性を有するものであればよく、例えばフッ素系高分子を含む金属膜や、撥液性を有する金属アルコキシドの分子膜などを用いることができる。

上述したように、プリンター１では、バルブユニット５０や記録ヘッド２０のインクの流路に発生した気泡を、メンテナンス処理によってノズル開口３３４から強制的に排出し、バルブユニット５０や記録ヘッド２０を正常な状態に回復させている。
インクの流路に発生した気泡は、撥水性が高い面と比べて、撥水性が低い面（親水性が高い面）に付着しにくいので、インクの流路に近く、弁体５４の軸部５６に最接近する第１傾斜面７２Ａの親水性を高めると、気泡が第１傾斜面７２Ａに留まりにくくなる。すなわち、仮に第１傾斜面７２Ａの撥水性が高いと、第１傾斜面７２Ａと弁体５４との間で気泡がトラップされやすくなってしまう。これに対して、第１傾斜面７２Ａの親水性を高めることにより、バルブユニット５０のインクの流路内の気泡は、メンテナンス処理によって開口７９から排出されやすくなる。すなわち、インクの流路に近い第１傾斜面７２Ａの親水性を高めると、インクの流路内の気泡がバルブユニット５０から排出されやすくなり、バルブユニット５０の気排性を高めることができる。

撥水膜７７によって、弁体５４のシール部５８が離当接する外周面７２Ｂの撥水性を高めると、外周面７２Ｂはインクをはじくようになり、外周面７２Ｂにインクの構成成分が堆積しにくくなる。仮に、外周面７２Ｂにインクの構成成分が堆積すると、弁体５４のシール部５８が外周面７２Ｂに当接しても、堆積したインクの構成成分によって開口７９を閉塞することが難しくなるという不具合が生じる。外周面７２Ｂにインクが堆積しにくくすると、このような不具合が生じにくくなるので、弁体５４のシール部５８を外周面７２Ｂに離当接させることによって、液体室６７と圧力調整室６８との間のインクの流路（開口７９）が適正に開閉され、弁機構としてのバルブユニット５０が安定して正常に動作するようになる。

さらに、開口部材７０にバリ７５，７６を設けると、開口部材７０の第１面７１は、開口部材７０の第２面７２と同様に湾曲した部分を有するようになる。すなわち、開口部材７０の第１面７１は、開口部材７０の第２面７２と同様に、開口７９から第３面７３に向かう方向に弁座６０と第１面７１との間の間隔Ｄ１が長くなった傾斜面が、開口７９（第４面７４）の近く及び第３面７３の近くに形成される。
なお、間隔Ｄ１は、「一方と第１面との間の間隔」の一例である。

その結果、バルブユニット５０には、開口７９から第３面７３に向かう方向に、弁座６０と第１面７１との間の間隔Ｄ１を長くする二つの傾斜部４５（第１傾斜部４６、第２傾斜部４７）が形成される。また、第１傾斜部４６（図中に破線で囲まれた部分）は、第３面７３よりも開口７９の近くに配置され、第２傾斜部４７（図中に破線で囲まれた部分）は開口７９よりも第３面７３の近くに配置される。
すなわち、開口部材７０にバリ７５，７６を設けることにより、バルブユニット５０は、開口７９から第３面７３に向かう方向に、弁座６０と第１面７１との間の間隔Ｄ１を長くなった二つの傾斜部４５（第１傾斜部４６、第２傾斜部４７）を有するようになる。なお、バリ７５，７６の高さをそろえる必要はないが、機能上バリ７５の方がバリ７６よりも高くする方が好ましい。

詳細は後述するが、弁座６０と開口部材７０との間に配置された接着剤８１は、傾斜部４６，４７によって、開口７９から第３面７３に向かう方向に流動しやすくなり、第３面７３から開口７９に向かう方向に流動しにくくなる。その結果、接着剤８１は開口７９の内側にはみ出しにくくなる。つまり、例えば接着剤８１が開口７９の内側にはみ出し、接着剤８１が開口７９を閉塞してしまったり、あるいは、弁体５４に接触（干渉）し、接着剤８１によって弁体５４の動きが阻害されたりするという不具合が生じにくくなる。

＜バルブユニットの製造方法＞
図７は、本実施形態に係るバルブユニットの製造方法を示す工程フローである。図８、図９Ａ乃至図９Ｆ、及び図１０は、図７に示す工程の状態を示す概略図である。
なお、図８は、開口部材７０が複数形成されるマザー基板７０Ｍの状態を示す概略図であり、それ以降の工程で形成される開口部材７０が破線で示されている。また、図９Ａ乃至図９Ｆは、図４に対応する図である。図１０は、図６に対応する図である。
さらに、図８は、開口部材７０が複数形成されるマザー基板７０ＭをＸ方向から見た図である。図９Ａ乃至図９Ｆ及び図１０は、開口部材７０または弁座６０をＸ方向と交差する方向（Ｙ方向）から見た図である。
以下、図７、図８、図９Ａ乃至図９Ｆ、及び図１０を参照し、本実施形態に係るバルブユニット５０の製造方法の概要を説明する。

図７に示すように、本実施形態に係るバルブユニット５０の製造方法は、マザー基板７０Ｍに撥水膜７７を形成する工程（ステップＳ１）と、マザー基板７０Ｍを打ち抜いて開口７９を形成する工程（ステップＳ２）と、マザー基板７０Ｍを打ち抜いて開口部材７０を形成する工程（ステップＳ３）と、樹脂を成型し弁座６０を準備する工程（ステップＳ１１）と、接着剤８１を配置する工程（ステップＳ１２）と、弁座６０と開口部材７０とを貼り合せる工程（ステップＳ２１）と、弁座６０と開口部材７０とを圧着する工程（ステップＳ２２）と、接着剤８１を硬化させる工程（ステップＳ２３）とを含む。

なお、ステップＳ１は、「第２面に撥液膜を形成する工程」の一例である。ステップＳ３は、「開口を形成する工程」の一例である。ステップＳ１２は「固定部材を配置する工程」の一例である。ステップＳ２２は、「固定部材を移動させる工程」の一例である。ステップＳ２３は、「固定部材を硬化させる工程」の一例である。また、ステップＳ１、ステップＳ２、及びステップＳ３は、その順番が前後してもよい。

図８に示すように、ステップＳ１では、ＳＵＳで構成されるマザー基板７０Ｍの面７２Ｍ、すなわち後述するステップＳ３で開口部材７０の第２面７２となる面７２Ｍに、撥水膜７７を形成する。
撥水膜７７は、例えば共析メッキにより、マザー基板７０Ｍの面７２Ｍにフッ素系高分子を含む金属膜を設けることによって形成することができる。さらに、撥水膜７７は、例えばアルコキシラン等のシランカップリング剤をシンナー等の溶媒と混合して金属アルコキシド溶液を形成し、この金属アルコキシド溶液をマザー基板７０Ｍの面７２Ｍに塗布することによっても形成することができる。

図９Ａに示すように、ステップＳ２では、金型（図示省略）によるプレス加工によって、マザー基板７０Ｍを、Ｘ（＋）方向からＸ（−）方向（図中の矢印の方向）に打ち抜いて、開口７９を形成する。すなわち、金型を用いて、撥水膜７７が形成された面７２Ｍから、撥水膜７７が形成された面７２Ｍと反対側の面に向かう方向にマザー基板７０Ｍを打ち抜いて、開口７９を形成する。なお、後述するステップＳ３において、撥水膜７７が形成された面７２Ｍは開口部材７０の第２面７２となり、撥水膜７７が形成された面７２Ｍと反対側の面は開口部材７０の第１面７１になる。

ステップＳ２では、マザー基板７０Ｍを打ち抜く方向、すなわち撥水膜７７が形成された面７２Ｍ（第２面７２）から撥水膜７７が形成された面７２Ｍと反対側の面（第１面７１）に向かう方向に曲がったバリ７５が、開口７９の縁に形成される。そして、後述するステップＳ３において、バリ７５の撥水膜７７が形成された面７２Ｍは第２面７２の第１傾斜面７２Ａになり、バリ７５の撥水膜７７が形成された面７２Ｍと反対側の面は第１面７１の第１傾斜面７２Ａ１になる。さらに、第２面７２の第１傾斜面７２Ａには、プレス加工の際に金型がせん断的に接触するので、第２面７２の第１傾斜面７２Ａに設けられた撥水膜７７が実質的に削り取られる。

図９Ｂに示すように、ステップＳ３では、金型（図示省略）によるプレス加工によって、図中に破線で示されたマザー基板７０Ｍを、Ｘ（＋）方向からＸ（−）方向（図中に破線で示された矢印の方向）に打ち抜いて、開口部材７０を形成する。すなわち、金型を用いて、撥水膜７７が形成された面７２Ｍから、撥水膜７７が形成された面７２Ｍと反対側の面に向かう方向にマザー基板７０Ｍを打ち抜いて、開口部材７０を形成する。

図中に破線で示されたマザー基板７０Ｍには、撥水膜７７が形成された面７２Ｍから撥水膜７７が形成された面７２Ｍと反対側の面に向かう方向（Ｘ（＋）方向）に曲がったバリが形成され、さらに、当該バリに対応するＸ（−）方向に曲がったカエリが開口部材７０の外縁に形成される。そして、当該カエリが第１面７１から第２面７２に向かう方向に曲がったバリ７６となる。
そして、バリ７６の第２面７２が第２傾斜面７２Ｃになり、バリ７６の第１面７１が第２傾斜面７２Ａ２になる。さらに、第２面７２において、第１傾斜面７２Ａと第２傾斜面７２Ｃとの間は、金型によるプレス加工の影響を受けない撥水膜７７で覆われた外周面７２Ｂが形成される。すなわち、第１傾斜面７２Ａと第２傾斜面７２Ｃとの間に配置され、Ｙ方向及びＺ方向に対して平行な外周面７２Ｂが形成される。 その結果、第２面７２には、撥水膜７７が実質的に削り取られ撥水性が低くなった第１傾斜面７２Ａと、撥水膜７７で覆われ撥水性が高くなった外周面７２Ｂとが形成される。なお、撥水膜７７が実質的に削り取られる部分と第１傾斜面７２Ａとが完全に一致しなくてもよい。

図９Ｃに示すように、ステップＳ１１では、熱可塑性樹脂を複数の金型（図示省略）を使用して成型し、第１凹部６１と、第２凹部６２と、凸部６４と、孔６５と、流出路５１７とを有する弁座６０を準備（形成）する。熱可塑性樹脂としては、ポリオレフィン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアクリル樹脂、ＡＢＳ樹脂、塩化ビニル樹脂、ポリカーボネート樹脂、あるいは少なくともそれらの一つを構成成分とするポリマーアロイなどを使用することができる。

図９Ｄに示すように、ステップＳ１２では、弁座６０の凸部６４の上に接着剤８１を配置する。接着剤８１は、例えば熱可塑性接着剤（熱可塑性樹脂で構成される固形接着剤）である。なお、ステップＳ１２では、例えばディスペンサーを用いて流動性を有する接着剤８１を塗布することで、弁座６０の凸部６４の上に接着剤８１を配置してもよい。

図９Ｅに示すように、ステップＳ２１では、平面視で開口部材７０が弁座６０の凸部６４の内側に配置され、平面視で孔６５が開口７９の内側に配置されるように、貼り合せ装置（図示省略）を用いて、弁座６０と開口部材７０とを貼り合せる。

貼り合せ装置では、凸部６４の外周面をなす側面６４Ａによる段差が、画像認識により検出される。すなわち、凸部６４は、弁座６０と開口部材７０とを所定の位置に貼り合せるためのアライメントマークとなる。貼り合せ装置は、凸部６４によって弁座６０の位置を正しく認識し、平面視で開口部材７０が弁座６０の凸部６４の内側に正しく配置され、平面視で孔６５が開口７９の内側に正しく配置されるように、開口部材７０を弁座６０に貼り合せることができる。
すなわち、弁座６０の位置を正しく認識するアライメントマークとしての凸部６４を設けることによって、開口部材７０を弁座６０に対して高精度に位置合わせすることができる。

図９Ｆに示すように、ステップＳ２２では、ヒートツール２５０を用いて弁座６０と開口部材７０とを圧着し、加熱し、弁座６０と開口部材７０との間に配置される接着剤８１を流動させる。
ヒートツール２５０は、ホルダー２５１と、通電により発熱する発熱体２５２とを有している。ホルダー２５１は、発熱体２５２を支持し、熱を伝えやすい材料で構成されている。ステップＳ２２では、発熱体２５２が発熱した状態（ヒートツール２５０が加熱された状態）で、ヒートツール２５０が開口部材７０を押圧し、弁座６０と開口部材７０との間隔Ｄ１を狭めて、弁座６０と開口部材７０との間に配置される接着剤８１を流動させ、弁座６０と開口部材７０とを圧着する。

すなわち、ステップＳ２２では、ヒートツール２５０を用いて弁座６０と開口部材７０とを圧着することによって、ステップＳ３において開口７９の縁に形成された第２面７２から第１面７１に向かう方向に曲がったバリ７５の先端７５Ｔを、弁座６０に食い込ませる。
バリ７５の先端７５Ｔを弁座６０に食い込ませることによって、バリ７５の先端７５Ｔが一種のアンカーボルトの役割を果たし、バリ７５の先端７５Ｔを弁座６０に食い込ませない場合と比べて、弁座６０に対する開口部材７０の位置を変化しにくくすることができる。

図１０では、ステップＳ２２においてヒートツール２５０が開口部材７０を押圧する際に、接着剤８１の流動状態が模式的に示されている。
図１０に示すように、第１面７１には、バリ７５によって第２面７２から第１面７１に向かう方向に曲がった第１傾斜面７１Ａ１が形成され、バリ７６によって第１面７１から第２面７２に向かう方向に曲がった第２傾斜面７１Ａ２が形成されている。

ヒートツール２５０によって、接着剤８１が加熱され、流動性を有するようになる。
ヒートツール２５０は、開口部材７０を押圧し、弁座６０と第１面７１との間の間隔Ｄ１を狭めて、弁座６０と第１面７１との間に配置される接着剤８１を押圧する。このとき、接着剤８１に対して、第１傾斜面７１Ａ１に対して直交する方向の力ＦＡが第１傾斜面７１Ａ１から作用し、第２傾斜面７１Ａ２に対して直交する方向の力ＦＣが第２傾斜面７１Ａ２から作用する。すなわち、傾斜面７１Ａ１，７１Ａ２に対して直交する方向の力ＦＡ，ＦＣが、傾斜面７１Ａ１，７１Ａ２から接着剤８１に対して作用する。さらに、接着剤８１に作用する力ＦＡ，ＦＣは、第２面７２から第１面７１に向かう方向（Ｘ方向）の分力ＦＡｘ，ＦＣｘと、開口７９（第４面７４）から第３面７３に向かう方向（Ｚ方向）の分力ＦＡｚ，ＦＣｚとに分解される。

接着剤８１に分力ＦＡｘ，ＦＣｘが作用すると、接着剤８１は薄くなる方向に流動する。接着剤８１に分力ＦＡｚ，ＦＣｚが作用すると、接着剤８１は開口７９から第３面７３に向かう方向に流動する。
第１傾斜面７１Ａ１では、分力ＦＡｚによって接着剤８１が開口７９から第３面７３に向かう方向に流動するので、接着剤８１は開口７９の側にはみ出しにくくなる。第２傾斜面７１Ａ２では、分力ＦＣｚによって接着剤８１が開口７９から第３面７３に向かう方向に流動するので、接着剤８１は第２傾斜面７１Ａ２からはみ出すようになる。
すなわち、分力ＦＡｚ，ＦＣｚは、接着剤８１が開口７９の側に流動しないように、接着剤８１の流動方向を規制する。その結果、圧着に伴う接着剤８１の移動量（すなわち、ステップＳ１２にて接着剤８１が配置された位置から、ステップ２２を経て圧着を終えた時の接着剤８１の位置までの移動量）が開口７９側よりも第３面７３側の方に多くなるように、接着剤８１を移動させる。
このように、ステップＳ２２は、弁座６０と第１面７１（開口部材７０）との間の間隔Ｄ１を狭めて、接着剤８１の移動量が開口７９側よりも第３面７３側の方が多くなるように、接着剤８１を移動させる工程である。

ステップＳ２３では、ヒートツール２５０を用いて弁座６０と開口部材７０とで圧着された接着剤８１を加熱し、接着剤８１を硬化させる。接着剤８１が熱可塑性接着剤の場合は、このステップでヒートツールの加熱をやめ、冷却する。

換言すれば、本実施形態に係る製造方法では、第１面７１と弁座６０との間で開口７９から第３面７３に向かう方向に間隔Ｄ１を長くする傾斜部４６，４７として、バリ７５，７６の第１傾斜面７１Ａ１、第２傾斜面７１Ａ２を用いた。これらの傾斜面７１Ａ１，７１Ａ２により、開口７９から第３面７３に向かう方向の分力ＦＡｚ，ＦＣｚを接着剤８１に対して作用させ、接着剤８１が開口７９から第３面７３に向かう方向に流動するように接着剤８１の流動方向を規制している。こうすることによって、接着剤８１が、開口７９の内側にはみ出し、接着剤８１が開口７９を閉塞してしまったり、あるいは、弁体５４に接触（干渉）し、弁体５４の動きを阻害したりするという不具合を抑制することができる。
従って、本実施形態に係る製造方法で製造されたバルブユニット５０は、弁体５４が正常に動作するので、液体室６７と圧力調整室６８との間のインクの流路が適正に開閉され、安定して正常に動作するようになる。
なお、本実施形態では、開口部材７０のプレス加工時のバリ７５，７６の第１傾斜面７１Ａ１，第２傾斜面７１Ａ２を傾斜部４６，４７として用いたが、これに限られない。開口部材７０の製造方法に係らず、弁座６０と第１面７１との間の間隔を長くする形状としての傾斜部４６，４７の少なくとも１つが開口部材７０に設けてあればよい。また、本実施形態では、開口部材７０のプレス加工時のバリ７５により第１傾斜面７２Ａを形成したが、これに限られない。詳細は、後述する。

（実施形態２）
図１１は、図４に対応する図であり、実施形態２に係るバルブユニットの概要を示す概略図である。図１２は、図１１に対応する図であり、実施形態２に係る他のバルブユニットの概要を示す概略図である。
本実施形態に係るバルブユニット５０Ａでは、弁座６００に凹部９１が形成されている点と、弁座６００に傾斜部４５や第１傾斜面７２Ａや第２傾斜面７２Ｃが形成されていない点が実施形態１に係るバルブユニット５０との主な相違点である。
以下、図１１を参照し、本実施形態に係るバルブユニット５０Ａを、実施形態１との相違点を中心に説明する。また、実施形態１と同一の構成部位については、同一の符号を附し、重複する説明を省略する。なお、バルブユニット５０Ａも、「弁機構」の一例である。

図１１に示すように、弁座６００には、平面視で、凸部６４の内側に凹部９１が形成され、凹部９１の内側に孔６５が形成されている。平面視で、開口部材７０は凸部６４の内側に配置されている。平面視で、開口部材７０の開口７９は弁座６００の凹部９１の内側に配置され、弁座６００の孔６５は開口部材７０の開口７９の内側に配置されている。
なお、平面視で開口部材７０の開口７９が弁座６００の凹部９１の内側に配置された状態は、開口部材７０の第４面７４（開口７９の縁）が凹部９１の内周面９１Ａから外側に突出した状態である。

弁座６００と開口部材７０との間には接着剤８１が配置され、凹部９１は孔６５よりも接着剤８１の近くに配置され、孔６５は凹部９１よりも接着剤８１から離れて配置されている。すなわち、孔６５は、凹部９１を設けることによって、凹部９１を設けない構成（実施形態１の構成）と比べて、接着剤８１から遠ざかるように配置される。換言すれば、孔６５は、弁座６００の接着剤８１に接する面から遠ざかるように配置されている。

平面視で凹部９１及び孔６５は円形であり、平面視で凹部９１の直径は孔６５の直径よりも長くなっている。さらに、凹部９１の内周面９１Ａは、弁体５４に近付く方向に湾曲している（張り出している）、凸部６４の側面６４Ａは、弁体５４から遠ざかる方向に湾曲している（張り出している）。

このように、本実施形態に係るバルブユニット５０Ａは、凹部９１と、凹部９１の内側に設けられインクの流路となる孔６５とを有する弁座６００と、弁座６００との間の相対移動によりインク流路を開閉する弁体５４と、弁座６００に固定され開口７９を有する開口部材７０と、弁座６００と開口部材７０とを固定する接着剤８１と、を備えている。

さらに、本実施形態に係るバルブユニット５０Ａは、実施形態１のバルブユニット５０と同様に、弁体５４のシール部５８が離当接する外周面７２Ｂは撥水膜７７で覆われている（図６参照）。

孔６５は、弁座６００の接着剤８１に接する面から遠ざかるように配置されているので、接着剤８１が弁座６００の接着剤８１に接する面から凹部９１の中に流動した場合、凹部９１が流動した接着剤８１の受け皿となり、流動した接着剤８１が孔６５まで到達しにくい。従って、流動した接着剤８１は、孔６５に貫通された弁体５４に接触しにくく、弁体５４の動きが阻害されるという不具合が抑制される。

さらに、開口部材７０のシール部５８が離当接する外周面７２Ｂの撥水性を高め、外周面７２Ｂにインクの構成成分が堆積しにくくすることによって、液体室６７と圧力調整室６８との間のインクの流路（開口７９）が適正に開閉され、弁機構としてのバルブユニット５０Ａが安定して正常に動作するという効果を奏することができる。

なお、図１２に示すように、本実施形態に係るバルブユニット５０Ａにおいて、実施形態１のバルブユニット５０と同様に、傾斜部４５（第１傾斜部４６、第２傾斜部４７）を形成してもよい。これにより、弁座６００と開口部材７０との間に配置された接着剤８１は、開口７９から第３面７３に向かう方向に流動しやすくなり、第３面７３から開口７９に向かう方向に流動しにくくなるので、接着剤８１が開口７９の内側にはみ出しにくくなるという効果を奏することができる。
また、傾斜部４５の有無にかかわらず、図１２に示すように、本実施形態に係るバルブユニット５０Ａにおいて、実施形態１のバルブユニット５０と同様に、第１傾斜面７２Ａを設けてもよい。第１傾斜面７２Ａを第３面７３よりも開口７９の近くに備えることにより、インクは、第１傾斜面７２Ａによって開口７９の側に案内され、開口７９の側に流動しやすくなる。
また、傾斜部４５の有無にかかわらず、図１２に示すように、本実施形態に係るバルブユニット５０Ａにおいて、実施形態１のバルブユニット５０と同様に、第１傾斜面７２Ａが撥水膜７７で覆われていなくてもよい。インクの流路に近い第１傾斜面７２Ａの親水性を、外周面７２Ｂよりも高めることによって、バルブユニット５０Ａから気泡が排出されやすくなり、バルブユニット５０Ａの気排性（気泡排出性）を高めることができるという効果を奏することができる。

なお、平面視で開口部材７０の開口７９が弁座６００の凹部９１の内側に配置された状態でなく、平面視で弁座６００の凹部９１が開口部材７０の開口７９の内側に配置された状態であってもよい。

＜バルブユニットの製造方法＞
図１３は、本実施形態に係るバルブユニットの製造方法を示す工程フローである。図１４Ａ及び図１４Ｂは、図９Ｆに対応する図であり、図１３に示す工程の状態を示す概略図である。
以下、図１３、図１４Ａ、及び図１４Ｂを参照し、本実施形態に係るバルブユニット５０Ａの製造方法の概要を説明する。

図１３に示すように、本実施形態に係るバルブユニット５０の製造方法は、接着剤８１を配置する工程（ステップＳ１２）と、弁座６００と開口部材７０とを圧着する工程（ステップＳ２２）と、接着剤８１を硬化させる工程（ステップＳ２３）とを含む。
なお、ステップＳ１２は、「弁座及び第１面の間に固定部材を配置する工程」の一例である。ステップＳ２２及びステップＳ２３は、「弁座及び第１面を圧着する工程」の一例である。

ステップＳ１２では、弁座６００の凸部６４の上に接着剤８１を配置する（図示省略）。
ステップＳ２２では、図１４Ａに示すように、ヒートツール２５０の位置を調整しながら、ヒートツール２５０を弁座６００の凸部６４及び開口部材７０に近付ける。続いて、加熱されたヒートツール２５０によって開口部材７０を押圧し、弁座６００と開口部材７０とを圧着する。

ステップＳ２３では、図１４Ｂに示すように、加熱されたヒートツール２５０が開口部材７０を押圧する状態を維持し、ヒートツール２５０の熱を接着剤８１に伝搬させて、弁座６００と開口部材７０との間に配置される接着剤８１を硬化させる。また、接着剤８１が熱可塑性接着剤である場合は、このステップでヒートツールの加熱を停止し、押圧したまま冷却動作に入ることで硬化させる。

ところが、ヒートツール２５０の熱は、弁座６００にも伝搬される。例えば弁座６００がポリエチレン樹脂やポリプロピレン樹脂などの熱変形しやすい熱可塑性樹脂で構成され、開口部材７０が押圧される時間が長い場合（ヒートツール２５０の熱が伝搬される時間が長い場合）、弁座６００はヒートツール２５０から伝搬される熱の影響を受け、ヒートツール２５０に近い側の弁座６００が熱変形する。

ヒートツール２５０の熱は、弁座６００の接着剤８１に接する面から弁座６００の内部に伝搬される。このため、弁座６００は、弁座６００の接着剤８１に接する面に近くなる程ヒートツール２５０の熱の影響を受けやすく、弁座６００の接着剤８１に接する面から遠くなる程ヒートツール２５０の熱の影響を受けにくくなる。

仮に、弁座６０の接着剤８１に接する面に孔６５が設けられ、弁座６０が熱変形しやすい樹脂で構成される場合、ヒートツール２５０から伝搬される熱の温度等の条件によっては、弁座６０の接着剤８１に接する面が熱変形し、弁座６０の接着剤８１に接する面に設けられた孔６５の直径が短くなり、孔６５の直径が短くなることによる不具合が生じるおそれがある。
例えば、弁座６０の接着剤８１に接する面に設けられた孔６５の直径が短くなると、インクが孔６５の中を流動しにくくなるという不具合が生じる。さらに、弁座６０の接着剤８１に接する面に設けられた孔６５の直径が短くなりすぎると、接着剤８１が孔６５を閉塞してしまったり、あるいは、弁座６００が弁体５４に接触し、弁体５４の動きが阻害されたりするという不具合が生じるおそれがある。

本実施形態では、孔６５は、凹部９１によって弁座６００の接着剤８１に接する面から遠ざかるように配置されているので、ヒートツール２５０のから伝搬される熱の影響を受けにくく、ヒートツール２５０から伝搬される熱によって熱変形し、孔が閉塞したり、孔６５の直径が短くなることによる不具合が生じにくい。

つまり、弁座６００の接着剤８１に接する面には、凸部６４や凹部９１が設けられ、凸部６４や凹部９１は、ヒートツール２５０から伝搬される熱によって、熱変形する。詳しくは、凸部６４では、ヒートツール２５０から伝搬される熱によって、側面６４Ａが弁体５４から遠ざかる方向に湾曲する（張り出す）。他方で、凹部９１では、ヒートツール２５０から伝搬される熱によって、内周面９１Ａが弁体５４に近付く方向に湾曲する（張り出す）。

すなわち、凸部６４の側面６４Ａは、弁体５４から遠ざかる方向に湾曲するので、凸部６４の側面６４Ａが弁体５４に接触する不具合が生じにくい。
凹部９１の内周面９１Ａは、孔６５と比べて弁体５４から離れて配置されるので、凹部９１の内周面９１Ａが弁体５４に近付く方向に湾曲しても、凹部９１の内周面９１Ａが弁体５４に接触し、弁体５４の動きが阻害されるという不具合が抑制される。

このように本実施形態に係る製造方法では、弁座６００に凹部９１を設けることによって、ヒートツール２５０から伝搬される熱の悪影響が抑制されるので、本実施形態に係る製造方法で製造されたバルブユニット５０Ａは、弁体５４が正常に動作し、液体室６７と圧力調整室６８との間のインクの流路（開口７９）が適正に開閉され、安定して正常に動作するようになる。

（実施形態３）
図１５は、実施形態３に係る開閉弁の開弁状態を示す概略図である。図１６は、本実施形態に係る開閉弁の閉弁状態を示す概略図である。
実施形態１に係るプリンター１は、インクタンク８と記録ヘッド２０との間のインクの流路を開閉する弁機構（バルブユニット５０）を有していた。当該弁機構（バルブユニット５０）は、記録ヘッド２０に適宜インクを供給するためのものであって、記録ヘッド２０からインクが噴射され記録ヘッド２０内のインク圧が低下すると開弁して記録ヘッド２０にインクを供給し、記録ヘッド２０にインクが供給され記録ヘッド２０内のインク圧が高まると閉弁する開閉弁である。

本実施形態に係るプリンターは、インクタンク８とバルブユニット５０との間に、他の弁機構（開閉弁１００）を有している。他の弁機構（開閉弁１００）は、クリーニング処理（チョーククリーニング処理）を行うときに記録ヘッド２０に繋がるインクの流路を開閉させるためのものである。
すなわち、本実施形態に係るプリンターは、実施形態１に係るプリンター１に対して開閉弁１００が付加された構成を有している。

以下に、図１５及び図１６を参照して、弁機構としての開閉弁１００の概要を説明する。なお、開閉弁１００も「弁機構」の一例である。
図１５及び図１６に示すように、開閉弁１００は、弁座１１０と、開口部材７０と、弁体としてのフィルム部材１２０とを有する。弁座１１０と開口部材７０との間には、接着剤８１が配置されている。
なお、開口部材７０と接着剤８１とは、実施形態１と同じ構成を有している。

弁座１１０は、例えば熱可塑性樹脂で形成された部材であり、凹部１１１と、孔１１２と、流入路１１３と、凸部１１４とを有する。凹部１１１はフィルム部材１２０によって封止され、凹部１１１とフィルム部材１２０とで囲まれた領域がインク室１３０になる。孔１１２は、バルブユニット５０の流入路５１５に接続され、インク室１３０とバルブユニット５０を連通するインクの流路の一部をなす。流入路１１３は供給管１０に接続され、インク室１３０と供給管１０とを連通する。

凸部１１４は、凹部１１１の内側に配置されている。凸部１１４は、開口部材７０を弁座１１０に貼り合す場合のアライメントマークとなる。また、凸部１１４の中心を貫くように孔１１２が設けられている。

フィルム部材１２０は、例えば合成樹脂フィルムであり、ガスバリア性と可撓性とを有している。フィルム部材１２０は、フィルム部材１２０の外面に大気圧がかかる状態で弁座１１０の凹部１１１に接着されている。

開口部材７０は、実施形態１と同じ構成を有し、第１面７１と、第２面７２と、第１面と第２面とに交差し開口部材７０の外縁に配置される第３面７３と、第１面７１及び第２面を貫く開口７９とを有している。

開口７９は、孔１１２に連通され、インク室１３０とバルブユニット５０を連通するインクの流路の一部をなす。第２面７２は、撥水膜７７で覆われている。

なお、実施形態１と同様に、開口７９から第３面７３に向かう方向に、弁座１１０と第１面７１との間の間隔を長くする傾斜部４５を設けてもよい。これによって、接着剤８１は、開口７９から第３面７３に向かう方向に流動しやすく、第３面７３から開口７９に向かう方向に流動しにくい。このため、接着剤８１が開口７９の側に流動し、開口７９が閉塞されるおそれを抑制することができる。また、同じく、第１傾斜面７２Ａを設けても良いし、第１傾斜面７２Ａを撥水膜７７で覆わなくてもよい。

図１５に示すように、フィルム部材１２０が開口部材７０の撥水膜７７から離間し、開口７９が開かれた状態になると、開閉弁１００からバルブユニット５０に至るインクの流路が開かれる。

図１６に示すように、例えば外部からの力（圧空、カム機構など）によってフィルム部材１２０がインク室１３０の容積を減少させる方向に撓んで、フィルム部材１２０が開口部材７０の撥水膜７７に当接し、開口７９が閉塞されると、開閉弁１００からバルブユニット５０に至るインクの流路が閉じられる。

このように、開閉弁１００は、フィルム部材１２０が開口部材７０の撥水膜７７に離当接することによって開閉する開閉弁である。フィルム部材１２０が離当接する部分には撥水膜７７が設けられ、フィルム部材１２０が離当接する部分はインクをはじき、インク構成成分の堆積が抑制される。従って、フィルム部材１２０が離当接する部分にインクが堆積し、フィルム部材１２０による開口７９の閉塞が難しくなるという不具合を抑制することができる。

本実施形態に係るプリンターでは、開閉弁１００が閉弁している状態で、キャップ１２が記録ヘッド２０に当接しキャップ１２内を吸引ポンプによって吸引し、開閉弁１００の閉弁箇所（開口７９）から記録ヘッド２０のノズル開口３３４に至るまでのインクの流路内に負圧を蓄積する。この負圧が十分蓄積された所定の段階で、開閉弁１００が開弁されるように設定されている。この開閉弁１００の開弁によって、インク室１３０における開口７９より下流側の流路に蓄積されていた負圧を解消しようとして、上流側から一気にインクが流れ込み、瞬間的に流速の高められたインクが流れる。この結果、インク室１３０及びその下流の流路上に留まっていた気泡や異物が、インクとともに一気に記録ヘッド２０のノズル開口３３４から排出される。

すなわち、本実施形態に係るプリンターでは、インクの流路内に負圧を十分蓄積した後に開閉弁１００を開弁し、インクの流路内に留まっている気体や増粘したインクを下流側へ一気に押し出すチョーククリーニング処理を実行することができる。このため、本実施形態に係るプリンターは、実施形態１に係るプリンターと比べて、インクの流路内に留まる気体や増粘したインクを、より強く排出することができる。

なお、本実施形態では、バルブユニット５０と別の場所に開閉弁１００を設けたが、バルブユニット５０の中に開閉弁１００を設ける構成であってもよい。また、本実施形態ではフィルム部材を用いたが、可撓性を有する部材であればこれに限らない。例えば、ブチルゴムやシリコーンゴムなどのゴム膜を用いてもよい。ゴム膜を弁座部品にはめこみ、固定部品で固定するなどの方法でゴム膜を実装できる。ゴム膜を用いる方が高耐久で良い。

本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。

（変形例１）
図１７Ａ乃至図１７Ｅは、変形例１に係るバルブユニットにおける弁座及び開口部材の配置状態を示す概略図である。さらに、図１７Ａ乃至図１７Ｅでは、説明に必要な構成要素が模式的に図示され、説明に不要な構成要素の図示が省略され、接着剤８１は図示されていない。
また、実施形態１と同一の構成部位については、同一の符号を附し、重複する説明を省略する。さらに、実施形態１における開口７９から第３面７３に向かう方向をＺ方向と称す。
以下、図１７Ａ乃至図１７Ｅを参照し、好ましい傾斜部４５Ａ〜４５Ｅの状態を説明する。

図１７Ａに示すように、開口部材７０Ａの第１面７１Ａは、Ｚ方向に対して交差し傾斜している。弁座６０Ａの第１面６１Ａは、Ｚ方向に対して平行であり、傾斜していない。そして、Ｚ方向に第１面６１Ａ（弁座６０Ａ）と第１面７１Ａ（開口部材７０Ａ）との間隔Ｄａを長くする傾斜部４５Ａが設けられている。
すなわち、傾斜部４５Ａは、開口部材７０Ａの第１面７１Ａの全面に形成されている。

かかる構成によって、傾斜部４５Ａに配置された接着剤８１は、弁座６０と開口部材７０Ａとを圧着する工程（実施形態１におけるステップＳ２２の工程）において、弁座６０と第１面７１Ａ（開口部材７０Ａ）との間の間隔Ｄａを狭めた場合、接着剤８１は、Ｚ方向に流動しやすくなり、Ｚ方向と反対方向（弁体５４に向かう方向）に流動しにくくなるので、接着剤８１が弁体５４に接触する不具合を防止することができる。

図１７Ｂに示すように、開口部材７０Ｂの第１面７１Ｂは、Ｚ方向に対して平行であり傾斜していない。弁座６０Ｂの第１面６１Ｂは、Ｚ方向に対して交差し傾斜している。そして、Ｚ方向に第１面６１Ｂ（弁座６０Ｂ）と第１面７１Ｂ（開口部材７０Ｂ）との間隔Ｄｂを長くする傾斜部４５Ｂが設けられている。
すなわち、傾斜部４５Ｂは、開口部材７０Ｂの第１面７１Ｂの全面に形成されている。

かかる構成によって、傾斜部４５Ｂに配置された接着剤８１は、弁座６０と開口部材７０Ｂとを圧着する工程（実施形態１におけるステップＳ２２の工程）において、弁座６０と第１面７１Ｂ（開口部材７０Ｂ）との間の間隔Ｄｂを狭めた場合、接着剤８１は、Ｚ方向に流動しやすくなり、Ｚ方向と反対方向（弁体５４に向かう方向）に流動しにくくなるので、接着剤８１が弁体５４に接触する不具合を防止することができる。

図１７Ｃに示すように、開口部材７０Ｃの第１面７１Ｃは、Ｚ方向に対して交差し傾斜している。弁座６０Ｃの第１面６１Ｃも、同様に、Ｚ方向に対して交差し傾斜している。そして、Ｚ方向に第１面６１Ｃ（弁座６０Ｃ）と第１面７１Ｃ（開口部材７０Ｃ）との間隔Ｄｃを長くする傾斜部４５Ｃが設けられている。
すなわち、傾斜部４５Ｃは、開口部材７０Ｃの第１面７１Ｃの全面に形成されている。

かかる構成によって、傾斜部４５Ｃに配置された接着剤８１は、弁座６０と開口部材７０Ｃとを圧着する工程（実施形態１におけるステップＳ２２の工程）において、弁座６０と第１面７１Ｃ（開口部材７０Ｃ）との間の間隔Ｄｃを狭めた場合、接着剤８１は、Ｚ方向に流動しやすくなり、Ｚ方向と反対方向（弁体５４に向かう方向）に流動しにくくなるので、接着剤８１が弁体５４に接触する不具合を防止することができる。
このように、傾斜部４５Ａ〜４５Ｃを設けるための傾斜面（Ｚ方向に交差する面）は、弁座６０Ａ〜６０Ｃ及び開口部材７０Ａ〜７０Ｃの少なくとも一方に設ければよい。

図１７Ａでは、開口部材７０Ａの第１面７１Ａの全体がＺ方向に対して交差し傾斜していたが、開口部材７０Ａの第１面７１Ｄの一部がＺ方向に対して交差し傾斜する構成であってもよい。
すなわち、図１７Ｄに示すように、開口部材７０Ｄの第１面７１Ｄに凸部９５が設けられ、凸部９５の頂部９６に対してＺ方向側とＺ方向と反対方向側とで、第１面７１ＤはＺ方向に対して異なる方向に傾斜している。一方、弁座６０Ｄの第１面６１Ｄは、Ｚ方向に対して平行であり、傾斜していない

かかる構成によって、凸部９５の頂部９６に対してＺ方向側には、Ｚ方向に第１面６１Ｄ（弁座６０Ｄ）との第１面７１Ｄ（開口部材７０Ｄ）との間隔Ｄｄを長くする傾斜部４５Ｄが設けられ、凸部９５の頂部９６に対してＺ方向と反対方向側には、Ｚ方向と反対方向に第１面６１Ｄ（弁座６０Ｄ）との第１面７１Ｄ（開口部材７０Ｄ）との間隔Ｄｄを長くする傾斜部が設けられている。
すなわち、傾斜部４５Ｄは、開口部材７０Ｄの第１面７１Ｄに部分的に形成されている。

傾斜部４５Ｄに配置された接着剤８１は、弁座６０と開口部材７０Ｄとを圧着する工程（実施形態１におけるステップＳ２２の工程）において、弁座６０と第１面７１Ｄ（開口部材７０Ｄ）との間の間隔Ｄｄを狭めた場合、凸部９５の頂部９６に対してＺ方向側に配置された接着剤８１は、Ｚ方向に流動しやすくなり、Ｚ方向と反対方向（弁体５４に向かう方向）に流動しにくくなるので、凸部９５の頂部９６に対してＺ方向側に配置された接着剤８１が弁体５４に接触する不具合を防止することができる。

さらに、凸部９５を弁座６０Ｅの第１面６１Ｅに設ける構成であってもよい。
すなわち、図１７Ｅに示すように、弁座６０Ｅの第１面６１Ｅは、凸部９５を有し、凸部９５の頂部９６に対してＺ方向側とＺ方向と反対方向側で、異なる方向に傾斜している。一方、開口部材７０Ｅの第１面７１Ｅは、Ｚ方向に対して平行であり、傾斜していない。
かかる構成によって、凸部９５の頂部９６に対してＺ方向側には、Ｚ方向に第１面６１Ｅ（弁座６０Ｅ）と第１面７１Ｅ（開口部材７０Ｅ）との間隔Ｄｅを長くする傾斜部４５Ｅが設けられ、凸部９５の頂部９６に対してＺ方向と反対方向側には、Ｚ方向と反対方向に第１面６１Ｅ（弁座６０Ｅ）と第１面７１Ｅ（開口部材７０Ｅ）との間隔Ｄｅを長くする傾斜部が設けられている。
すなわち、傾斜部４５Ｅは、開口部材７０Ｅの第１面７１Ｅに部分的に形成されている。

傾斜部４５Ｅに配置された接着剤８１は、弁座６０と開口部材７０Ｅとを圧着する工程（実施形態１におけるステップＳ２２の工程）において、弁座６０と第１面７１Ｅ（開口部材７０Ｅ）との間の間隔Ｄｅを狭めた場合、凸部９５の頂部９６に対してＺ方向側に配置された接着剤８１は、Ｚ方向に流動しやすくなり、Ｚ方向と反対方向（弁体５４に向かう方向）に流動しにくくなるので、凸部９５の頂部９６に対してＺ方向側に配置された接着剤８１が弁体５４に接触する不具合を防止することができる。
なお、凸部９５は、弁座６０及び開口部材７０の両方に設けてもよい。

このように、弁座６０Ｄ，６０Ｅと開口部材７０Ｄ，７０Ｅの第１面７１Ｄ，７１Ｅとの間に、Ｚ方向と反対方向（弁体５４に向かう方向）に弁座６０Ｄ，６０Ｅと開口部材７０Ｄ，７０Ｅの第１面７１Ｄ，７１Ｅとの間隔Ｄｄ，Ｄｅを長くする傾斜部を有していたとしても、Ｚ方向に弁座６０Ｄ，６０Ｅと開口部材７０Ｄ，７０Ｅの第１面７１Ｄ，７１Ｅとの間隔Ｄｄ，Ｄｅを長くする傾斜部４５Ｄ，４５Ｅを有しているのであれば、本願の技術的適用範囲である。

さらに、Ｚ方向に弁座６０Ｄ，６０Ｅと開口部材７０Ｄ，７０Ｅの第１面７１Ｄ，７１Ｅとの間隔Ｄｄ，Ｄｅを長くする傾斜部４５Ｄ，４５Ｅの数は、単数でも、複数でもよい。
同様に、実施形態１における傾斜部４５の数は、単数でも、複数でもよい。さらに、実施形態１における傾斜部４５が形成される場所は、開口７９の縁や開口部材７０の外縁に限定されず、開口７９の縁と開口部材７０との間であってもよい。

（変形例２）
実施形態１では、開口部材７０は、接着剤８１によって弁座６０に固定されていたが、開口部材７０は、接着剤８１によって弁体５４に固定される構成であってもよい。なお、開口部材７０が弁体５４に固定される場合、シール部５８は弁座６０に固定されることが好ましい。

本変形例では、弁体５４に固定された開口部材７０が、弁座６０に固定されたシール部５８に離当接する。そして、開口部材７０の弁体５４の本体部５５に固定される面が第１面７１となり、開口部材７０の弁座６０に固定されたシール部５８に離当接する面が第２面７２となる。かかる構成によっても、実施形態１と同じ効果を得ることができる。
このように、開口部材７０の第１面７１は、弁座及び弁体５４の一方に固定され、開口部材７０の第２面７２は、弁座６０及び弁体５４の他方に離当接する構成を有していればよい。

（変形例３）
図１８は、変形例３に係る開口部材の状態を示す概略平面図である。図１９は、図１８のＧ−Ｇ線に沿った開口部材の断面図である。
図１８では、開口部材１７０の第１面１７１の状態が図示されている。また、図１９では、弁座６０が二点鎖線で示されている。
また、実施形態１と同一の構成部位については、同一の符号を附し、重複する説明を省略する。

図１８及び図１９に示すように、変形例３に係る開口部材１７０の外縁は、実施形態１に係る開口部材７０の外縁と同じであり、平面視で円形である。開口部材１７０は、弁座６０に対向する第１面１７１と、第１面１７１に対向配置された第２面１７２と、第１面１７１及び第２面１７２に交差し開口部材１７０の外縁に配置される第３面１７３と、第３面１７３に対向配置される第４面１７４と、第１面１７１と第２面１７２とを貫く開口７９とを有している。

第２面１７２は、開口７９の縁に第１面１７１から第２面１７２に向かう方向に曲がった湾曲面１７２Ａと、湾曲面１７２Ａに対して開口７９と反対側に配置される外周面１７２Ｂとを有している。外周面１７２Ｂは撥水膜１７７で覆われ、湾曲面１７２Ａと比べて撥水性が高められている。撥水膜１７７で覆われた外周面１７２Ｂに対して、弁体５４のシール部５８が離当接する。

第１面１７１は、開口７９から第３面１７３に向かう方向に弁座６０との距離Ｄが長くなった傾斜面１７１Ａと、弁座６０との距離Ｄが略同じである平坦面１７１Ｂとを有する。なお、図１８では、網掛けやハッチングが施されていない領域が開口７９であり、網掛けが施された領域が傾斜面１７１Ａであり、ハッチングが施された領域が平坦面１７１Ｂである。

平坦面１７１Ｂは、弁座６０に接するように配置される。さらに、平坦面１７１Ｂは、平面視で、開口７９を囲むリング部１７１Ｂ１と、リング部１７１Ｂ１と第３面１７３との間に配置され、扇形状の四つの島部１７１Ｂ２とを有する。
傾斜面１７１Ａは、平面視で、平坦面１７１Ｂのリング部１７１Ｂ１（開口７９）を囲むリング部１７１Ａ１と、リング部１７１Ａ１（開口７９）から第３面１７３に向かう方向に伸びた延在部１７１Ａ２とを有する。また、開口７９から第３面１７３に向かう方向に伸びた延在部１７１Ａ２は、開口７９から第３面１７３に向かう方向に四つ配置されている。

そして、開口部材１７０のリング部１７１Ａ１と弁座６０との間、及び開口部材１７０の延在部１７１Ａ２と弁座６０との間の両方で、開口部材１７０と弁座６０との間の間隔Ｄ１を長くする傾斜部１４５が形成される。そして、傾斜部１４５は、平面視で、リング部１７１Ｂ１（開口７９）を囲む部分と、開口７９から第３面１７３に向かう方向に伸びた部分とを有する。
このように、本変形例では、平面視で、傾斜部１４５が実施形態１の傾斜部４５と形状が異なる。さらに、本変形例では、平面視で、傾斜部１４５と開口７９との間に、開口部材１７０のリング部１７１Ａ１と弁座６０とが接する部分を有する。この点も、実施形態１との相違点の一つである。

傾斜部１４５に配置された接着剤８１は、弁座６０と開口部材１７０とを圧着する工程（実施形態１におけるステップＳ２２の工程）において、弁座６０と第１面１７１（開口部材１７０）との間の間隔を狭めた場合、開口７９から第３面１７３に向かう方向に流動され、接着剤８１が開口７９の側に流動しにくくなる。
さらに、傾斜部１４５と開口７９との間には、開口部材１７０のリング部１７１Ａ１と弁座６０とが接する部分が配置されるので、接着剤８１は開口７９の側に流動しにくくなる。

（変形例４）
図２０は、図１８に対応する図であり、変形例４に係る開口部材の状態を示す概略平面図である。図２０では、開口部材１８０の第１面１８１の状態が図示されている。
また、実施形態１と同一の構成部位については、同一の符号を附し、重複する説明を省略する。
図２０に示すように、本変形例の開口部材１８０は、第１面１８１と、第１面１８１に交差し開口部材１８０の外縁に配置される第３面１８３と、開口７９とを有する。
なお、開口部材１８０の第１面１８１は、弁座６０に対向する面であり、変形例３の開口部材１７０の第１面１７１に対応する。

開口部材１８０の第１面１８１は、平面視で、開口７９から第３面１８３に向かう方向に弁座６０との距離が長くなった溝１８１Ａ（開口７９から第３面１８３に向かう方向に傾斜した溝１８１Ａ）と、弁座６０との距離が略同じである平坦面１８１Ｂとを有する。すなわち、第１面１８１の溝１８１Ａは、変形例３の第１面１７１の傾斜面１７１Ａに対応する。第１面１８１の平坦面１８１Ｂは、変形例３の第１面１７１の平坦面１７１Ｂに対応する。また、図中で、網掛けやハッチングが施されていない領域が開口７９であり、網掛けが施された領域が溝１８１Ａであり、ハッチングが施された領域が平坦面１８１Ｂである。

溝１８１Ａは、平面視で、開口７９から第３面１８３に向かう方向に放射線状に伸びており、複数配置されている。本変形例は、変形例３における開口７９を囲む傾斜面１７１Ａ（リング部１７１Ａ１）を有していない。さらに、本変形例は、開口７９から第３面１８３に向かう方向に伸びた溝１８１Ａは、変形例３の開口７９から第３面１７３に向かう方向に伸びた延在部１７１Ａ２と比べて、多く形成されている。
これらの点が、本変形例と変形例３との主な相違点である。

かかる構成によっても、開口部材１８０の溝１８１Ａと弁座６０との間の距離が、開口７９から第３面１８３に向かう方向に長くなった傾斜部が形成され、当該傾斜部に配置された接着剤８１は、弁座６０と開口部材１８０とを圧着する工程（実施形態１におけるステップＳ２２の工程）において、弁座６０と第１面１８１（開口部材１８０）との間の間隔を狭めた場合、接着剤８１は、開口７９から第３面１８３に向かう方向に流動しやすくなり、第３面１８３から開口７９に向かう方向に流動しにくくなる。

なお、開口部材１８０の第１面１８１に、開口７９から第３面１８３に向かう方向に傾斜した溝１８１Ａを設けるのでなく、開口７９から第３面１８３に向かう方向に傾斜していない溝を設ける構成であってもよい。すなわち、弁座６０との距離が略同じである溝（平坦な溝）を設ける構成であってもよい。

弁座６０との距離が略同じである溝（平坦な溝）を、開口７９から第３面１８３に向かう方向に、放射線状に複数形成することによっても、接着剤８１の流動抵抗が変化し、接着剤８１は、開口７９から第３面１８３に向かう方向に流動しやすくなり、開口７９の側に流動しにくくなる。
さらに、接着剤８１を開口７９から第３面１８３に向かう方向に流動しやすくするためには、弁座６０との距離が略同じである溝（平坦な溝）の密度は、開口７９から第３面１８３に向かう方向に高くすることが好ましい。すなわち、弁座６０との距離が略同じである溝（平坦な溝）を、開口７９側よりも第３面１８３側で密に形成することが好ましい。
すなわち、溝の形状や数や密度により、開口７９側から第３面側へ向けて、開口部材１８０と弁座６０との間の流路抵抗が漸減するような形状とすればよい。これにより、接着剤８１が開口７９側よりも第３面１８３側へ流動しやすくできる。

（変形例５）
実施形態１では、開口部材７０をＳＵＳで構成し、接着剤８１によって弁座６０に固定した。
開口部材７０及び弁座６０の両者を熱可塑性樹脂で構成し、熱溶着またはレーザー溶着によって開口部材７０を弁座６０に固定する構成であってもよい。本変形例では、開口部材７０と弁座６０との間に、熱溶着時の熱で融解した開口部材７０及び弁座６０を構成する樹脂が混じり合った接合層（溶融層）が配置される。この開口部材７０と弁座６０との間に配置される接合層（溶融層）が、固定部材として機能する。
すなわち、本願における「固定部材」は、上述した接着剤８１の他に、本変形例における接合層（溶融層）を含む。
かかる構成によっても、熱溶着時の熱で開口部材７０及び弁座６０を溶融する場合、溶融された開口部材７０及び弁座６０を開口７９の側に流動しにくくすることができる。

（変形例６）
また、上述の実施形態や変形例を適宜組み合わせてもよい。

５０…バルブユニット、５１…蓋部材、５２…バネ、５３…フィルム部材、５４…弁体、５５…本体部、５６…軸部、５７…フランジ部、５８…シール部、５９…受圧板、６０…弁座、６４…凸部、６５…孔、６７…液体室、６８…圧力調整室、７０…開口部材、７１…第１面、７２…第２面、７３…第３面、７４…第４面、７５…バリ、７６…バリ、７７…撥水膜、７９…開口、８１…接着剤。

Claims (25)

1. 液体の流路となる孔を有する弁座と、
   前記弁座との間の相対移動により、前記流路を開閉する弁体と、
   前記弁座及び前記弁体の一方に固定される第１面と、前記弁座及び前記弁体の他方に離当接される第２面と、前記第１面及び前記第２面に交差する第３面と、前記第１面及び前記第２面を貫く開口とを有する開口部材と、
   前記一方と前記第１面とを固定する接着剤と、
   前記開口から前記第３面に向かう方向に、前記一方と前記第１面との間の間隔を長くする傾斜部と、
   を備えていることを特徴とする弁機構。
2. 前記第２面は、前記開口から前記第３面に向かう方向に前記一方との間の間隔を長くする傾斜面を、前記第３面よりも前記開口の近くに備えていることを特徴とする請求項１に記載の弁機構。
3. 前記第２面は、前記傾斜面に対して前記第３面の側に配置される外周面をさらに有し、
   前記外周面は、前記傾斜面よりも撥液性が高められていることを特徴とする請求項２に記載の弁機構。
4. 前記開口部材は、前記第２面から前記第１面に向かう方向に曲がったバリを、前記開口の縁に有し、
   前記バリの先端は前記一方に食い込んでいることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の弁機構。
5. 前記傾斜部は、前記第３面よりも前記開口の近くに配置される第１傾斜部と、前記開口よりも前記第３面の近くに配置される第２傾斜部とを備えていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の弁機構。
6. 第１凹部と、第２凹部と、第３凹部と、前記第１凹部と前記第２凹部とを区画する隔壁と、前記第３凹部の内側に設けられ液体の流路となる孔と、を有する弁座と、
   前記弁座との間の相対移動により、前記流路を開閉する弁体と、
   前記弁座に固定される第１面と、前記弁体が離当接する第２面と、前記第１面及び前記第２面に交差する第３面と、前記第１面及び前記第２面を貫く開口とを有する開口部材と、
   前記弁座と前記第１面とを固定する接着剤と、
   を備え、
   前記第３凹部は、前記相対移動の方向から見た場合、前記第１凹部の内側に配置されていることを特徴とする弁機構。
7. 前記相対移動の方向から見た場合、前記開口は前記第３凹部の内側に配置され、前記孔は前記開口の内側に配置されることを特徴とする請求項６に記載の弁機構。
8. さらに、前記開口から前記第３面に向かう方向に前記弁座と前記第１面との間の間隔を長くする傾斜部を、備えていることを特徴とする請求項６または７に記載の弁機構。
9. さらに、前記第２面は、前記開口から前記第３面に向かう方向に前記弁座との間の間隔を長くする傾斜面を、前記第３面よりも前記開口の近くに備えていることを特徴とする請求項６乃至８のいずれか１項に記載の弁機構。
10. 前記第２面は、前記傾斜面に対して前記第３面の側に配置される外周面をさらに有し、
    前記外周面は、前記傾斜面よりも撥液性が高められていることを特徴とする請求項９に記載の弁機構。
11. 前記第２面は、内周面と外周面とを有し、
    前記内周面は、前記相対移動の方向から見た場合、前記外周面よりも前記開口に近くに配置され、
    前記外周面は、前記内周面よりも撥水性が高められていることを特徴とする請求項６乃至８の何れか１項に記載の弁機構。
12. 前記傾斜部は、前記第３面よりも前記開口の近くに配置される第１傾斜部と、前記開口よりも前記第３面の近くに配置される第２傾斜部とを備えていることを特徴とする請求項８、または、請求項８を引用する請求項９乃至１１のいずれか１項に記載の弁機構。
13. 前記弁座は、前記隔壁から前記第１凹部に向かって突出する凸部をさらに有し、
    前記開口部材の前記第１面は、前記弁座の前記凸部に固定されることを特徴とする請求項６乃至１２のいずれか１項に記載の弁機構。
14. 前記第３凹部は、前記相対移動の方向から見た場合、前記凸部の内側に配置されることを特徴とする請求項１３に記載の弁機構。
15. 前記弁体は、前記第２面に対して離当接するシール部を有し、
    前記凸部は、前記シール部が前記第２面から離れる方向に突出することを特徴とする請求項１３または１４に記載の弁機構。
16. 前記相対移動の方向から見た場合、前記開口部材は前記凸部の内側に配置されることを特徴とする請求項１３乃至１５のいずれか１項に記載の弁機構。
17. 前記第３凹部は、前記弁体に近づく方向に湾曲する内周面を有することを特徴とする請求項６乃至１６のいずれか１項に記載の弁機構。
18. 前記弁座と前記第１面との間の流路抵抗は、前記開口側から前記第３面側へ向けて、漸減することを特徴とする請求項１乃至１７のいずれか１項に記載の弁機構。
19. 弁機構の製造方法であって、
    前記弁機構は、
    液体の流路となる孔を有する弁座と、
    前記弁座との間の相対移動により、前記流路を開閉する弁体と、
    前記弁座及び前記弁体の一方に固定される第１面と、前記弁座及び前記弁体の他方に離当接される第２面と、前記第１面及び前記第２面に交差する第３面と、前記第１面及び前記第２面を貫く開口とを有する開口部材と、
    を備え、
    前記一方及び前記第１面の間に、接着剤を配置する工程と、
    前記一方と前記第１面との間の間隔を狭めて、前記接着剤の移動量が前記開口側よりも前記第３面側の方に多くなるように、前記接着剤を移動させる工程と、
    前記接着剤を硬化させる工程と、
    を備えることを特徴とする弁機構の製造方法。
20. 前記接着剤を配置する工程の前に、前記開口部材を前記第２面から前記第１面に向かう方向に打ち抜いて前記開口を形成する工程を、さらに備えていることを特徴とする請求項１９に記載の弁機構の製造方法。
21. 前記開口を形成する工程の前に、前記第２面に撥液膜を形成する工程を、さらに備えていることを特徴とする請求項２０に記載の弁機構の製造方法。
22. 前記開口を形成する工程では、前記第２面から前記第１面に向かう方向に曲がったバリを、前記開口の縁に形成し、
    前記接着剤を移動させる工程では、前記バリの先端を前記一方に食い込ませることを特徴とする請求項２０または２１に記載の弁機構の製造方法。
23. 前記一方と前記第１面との間の流路抵抗が、前記開口側から前記第３面側へ向けて、漸減するような溝を前記一方または前記第１面に設ける工程を備えることを特徴とする請求項１９乃至２２のいずれか１項に記載の弁機構の製造方法。
24. 弁機構の製造方法であって、
    前記弁機構は、
    凹部と、前記凹部の内側に設けられ液体の流路となる孔と、を有する弁座と、
    前記弁座との間の相対移動により、前記流路を開閉する弁体と、
    前記弁座に固定される第１面と、前記弁体が離当接する第２面と、前記第１面及び前記第２面に交差する第３面と、前記第１面及び前記第２面を貫く開口とを有する開口部材と、
    前記弁座と前記第１面とを固定する接着剤と、
    を備え、
    前記弁座及び前記第１面の間に接着剤を配置する工程と、
    前記弁座及び前記第１面を圧着する工程と、
    前記弁座と前記第１面との間の流路抵抗が、前記開口側から前記第３面側へ向けて、漸減するような溝を前記弁座または前記第１面に設ける工程と、
    を備えることを特徴とする弁機構の製造方法。
25. 凹部と、前記凹部の内側に設けられ液体の流路となる孔と、を有する弁座と、
    前記弁座との間の相対移動により、前記流路を開閉する弁体と、
    前記弁座に固定される第１面と、前記弁体が離当接する第２面と、前記第１面及び前記第２面に交差する第３面と、前記第１面及び前記第２面を貫く開口とを有する開口部材と、
    前記弁座と前記第１面とを固定する接着剤と、
    前記弁座と前記第１面との間の流路抵抗は、前記開口側から前記第３面側へ向けて、漸減することを特徴とする弁機構。

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