JP6713015B2 - 自動研磨システム - Google Patents
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims description 400
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 46
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 claims description 35
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims description 26
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 20
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 16
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 16
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 7
- 230000009471 action Effects 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000005002 finish coating Substances 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B19/00—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group
- B24B19/26—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group for grinding workpieces with arcuate surfaces, e.g. parts of car bodies, bumpers or magnetic recording heads
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B27/00—Other grinding machines or devices
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B27/00—Other grinding machines or devices
- B24B27/0038—Other grinding machines or devices with the grinding tool mounted at the end of a set of bars
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B27/00—Other grinding machines or devices
- B24B27/0076—Other grinding machines or devices grinding machines comprising two or more grinding tools
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
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- Health & Medical Sciences (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
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Description
研磨具を保持する研磨ロボットと、研磨制御器とが設けられ、
前記研磨制御器による前記研磨ロボットの制御、又は、前記研磨制御器による前記研磨ロボット及び前記研磨具の制御により、前記研磨具が研磨対象面に対して研磨動作する自動研磨システムであって、
前記研磨対象面における特定色の強度を計測する色強度計測器が設けられ、
前記色強度計測器により計測された前記特定色の強度に基づいて前記研磨制御器が前記研磨ロボット又は前記研磨ロボット及び前記研磨具を制御することで、前記研磨対象面に対する前記研磨具の研磨仕事量が前記特定色の強度に応じて調整され、
前記研磨対象面の三次元形状を計測する形状計測器が設けられ、
前記研磨制御器は、前記研磨対象面の研磨処理として先行研磨処理とその後の後行研磨処理とを実施し、
前記先行研磨処理では、前記形状計測器により計測された三次元形状に基づいて前記研磨制御器が前記研磨ロボット又は前記研磨ロボット及び前記研磨具を制御することで、前記研磨対象面の各部分に対する前記研磨具の研磨仕事量が前記三次元形状に応じて調整され、
前記後行研磨処理では、前記色強度計測器により計測された前記先行研磨処理後の前記研磨対象面の各部分における前記特定色の強度に基づいて前記研磨制御器が前記研磨ロボット又は前記研磨ロボット及び前記研磨具を制御することで、前記先行研磨処理後の前記研磨対象面の各部分に対する前記研磨具の研磨仕事量が前記先行研磨処理後の前記研磨対象面の各部分における前記特定色の強度に応じて調整される点にある。
また、本発明の第2特徴構成は自動研磨システムに係り、その特徴は、
研磨具を保持する研磨ロボットと、研磨制御器とが設けられ、
前記研磨制御器による前記研磨ロボットの制御、又は、前記研磨制御器による前記研磨ロボット及び前記研磨具の制御により、前記研磨具が研磨対象面に対して研磨動作する自動研磨システムであって、
前記研磨対象面における特定色の強度を計測する色強度計測器が設けられ、
前記色強度計測器により計測された前記特定色の強度に基づいて前記研磨制御器が前記研磨ロボット又は前記研磨ロボット及び前記研磨具を制御することで、前記研磨対象面に対する前記研磨具の研磨仕事量が前記特定色の強度に応じて調整され、
前記特定色は、表面が前記研磨対象面となる表層部分の下に存在する下層部分の色、又は、前記表層部分の色であり、
前記色強度計測器は、前記研磨対象面に対する照射光の色を変化させて前記研磨対象面を単色仕様のカメラにより撮影することで、前記研磨対象面の画像データとして照射光の色が異なる複数種の画像データを取得し、これら複数種の画像データに基づいて前記研磨対象面における前記特定色の強度を計測する点にある。
前記研磨対象面の三次元形状を計測する形状計測器が設けられ、
前記研磨制御器は、前記研磨対象面の研磨処理として先行研磨処理とその後の後行研磨処理とを実施し、
前記先行研磨処理では、前記形状計測器により計測された三次元形状に基づいて前記研磨制御器が前記研磨ロボット又は前記研磨ロボット及び前記研磨具を制御することで、前記研磨対象面の各部分に対する前記研磨具の研磨仕事量が前記三次元形状に応じて調整され、
前記後行研磨処理では、前記色強度計測器により計測された前記先行研磨処理後の前記研磨対象面の各部分における前記特定色の強度に基づいて前記研磨制御器が前記研磨ロボット又は前記研磨ロボット及び前記研磨具を制御することで、前記先行研磨処理後の前記研磨対象面の各部分に対する前記研磨具の研磨仕事量が前記先行研磨処理後の前記研磨対象面の各部分における前記特定色の強度に応じて調整されるから、次の作用効果も併せて奏する。
前記特定色は、表面が前記研磨対象面となる表層部分の下に存在する下層部分の色、又は、前記表層部分の色であり、
前記色強度計測器は、前記研磨対象面に対する照射光の色を変化させて前記研磨対象面を単色仕様のカメラにより撮影することで、前記研磨対象面の画像データとして照射光の色が異なる複数種の画像データを取得し、これら複数種の画像データに基づいて前記研磨対象面における前記特定色の強度を計測するから、次の作用効果も併せて奏する。
前記研磨対象面の三次元形状を計測する形状計測器が設けられ、
前記形状計測器により計測された三次元形状に基づいて前記研磨制御器が前記研磨ロボットを制御することで、前記研磨具が前記研磨対象面の各部分に順次に移動し、
この移動に併行して、前記研磨制御器が前記研磨対象面の各部分における前記特定色の強度に基づいて前記研磨ロボット又は前記研磨ロボット及び前記研磨具を制御することで、前記研磨対象面の各部分に対する前記研磨具の研磨仕事量が前記研磨対象面の各部分における前記特定色の強度に応じて調整される点にある。
前記研磨対象面を撮影するカメラが設けられ、
前記形状計測器は、前記カメラによる撮影で得られた前記研磨対象面の画像データに基づいて前記研磨対象面の三次元形状を計測し、
前記色強度計測器は、前記カメラによる撮影で得られた前記研磨対象面の画像データに基づいて前記研磨対象面における前記特定色の強度を計測する点にある。
前記カメラを保持する計測ロボットが設けられ、
前記研磨制御器が前記計測ロボットを制御することで、前記カメラが前記研磨対象面に対する所要の撮影位置に移動する点にある。
前記研磨制御器が前記特定色の強度に基づき前記研磨ロボットの動作速度を制御して前記研磨対象面に対する前記研磨具の移動速度を調整することで、前記研磨対象面に対する前記研磨具の研磨仕事量が前記特定色の強度に応じて調整される点にある。
前記研磨制御器が前記特定色の強度に基づいて駆動回転式の前記研磨具の単位時間あたり回転数を制御することで、前記研磨対象面に対する前記研磨具の研磨仕事量が前記特定色の強度に応じて調整される点にある。
次に本発明の別実施形態を列記する。
研磨制御器6が、研磨対象面Aの研磨処理として先行研磨処理とその後の後行研磨処理とを実施するようにし、そして、先行研磨処理では、形状計測器Mにより計測された研磨対象面Aの三次元形状に基づいて研磨制御器6が研磨ロボット2や研磨具4を制御することで、研磨対象面Aの各部分に対する研磨具4の研磨仕事量が研磨対象面Aの三次元形状に応じて調整されるようにし、その後の後行研磨処理では、先行研磨処理後の研磨対象面Aに対する色強度計測器Nによる計測で得られた研磨対象面Aの各部分における特定色Csの強度に基づいて研磨制御器6が研磨ロボット2や研磨具4を制御することで、先行研磨処理後の研磨対象面Aの各部分に対する研磨具4の研磨仕事量が先行研磨処理後の研磨対象面Aの各部分における特定色Csの強度xに応じて調整されるようにしてもよい。
2 研磨ロボット
6 研磨制御器
A 研磨対象面
Cs 特定色
x 強度
N(3,7,9) 色強度計測器
M(3,7,8) 形状計測器
3 カメラ
7 プロジェクタ
8 形状解析器
9 色強度解析器
G1,G2 画像データ
1 計測ロボット
v 移動速度
Claims (7)
- 研磨具を保持する研磨ロボットと、研磨制御器とが設けられ、
前記研磨制御器による前記研磨ロボットの制御、又は、前記研磨制御器による前記研磨ロボット及び前記研磨具の制御により、前記研磨具が研磨対象面に対して研磨動作する自動研磨システムであって、
前記研磨対象面における特定色の強度を計測する色強度計測器が設けられ、
前記色強度計測器により計測された前記特定色の強度に基づいて前記研磨制御器が前記研磨ロボット又は前記研磨ロボット及び前記研磨具を制御することで、前記研磨対象面に対する前記研磨具の研磨仕事量が前記特定色の強度に応じて調整され、
前記研磨対象面の三次元形状を計測する形状計測器が設けられ、
前記研磨制御器は、前記研磨対象面の研磨処理として先行研磨処理とその後の後行研磨処理とを実施し、
前記先行研磨処理では、前記形状計測器により計測された三次元形状に基づいて前記研磨制御器が前記研磨ロボット又は前記研磨ロボット及び前記研磨具を制御することで、前記研磨対象面の各部分に対する前記研磨具の研磨仕事量が前記三次元形状に応じて調整され、
前記後行研磨処理では、前記色強度計測器により計測された前記先行研磨処理後の前記研磨対象面の各部分における前記特定色の強度に基づいて前記研磨制御器が前記研磨ロボット又は前記研磨ロボット及び前記研磨具を制御することで、前記先行研磨処理後の前記研磨対象面の各部分に対する前記研磨具の研磨仕事量が前記先行研磨処理後の前記研磨対象面の各部分における前記特定色の強度に応じて調整される自動研磨システム。 - 研磨具を保持する研磨ロボットと、研磨制御器とが設けられ、
前記研磨制御器による前記研磨ロボットの制御、又は、前記研磨制御器による前記研磨ロボット及び前記研磨具の制御により、前記研磨具が研磨対象面に対して研磨動作する自動研磨システムであって、
前記研磨対象面における特定色の強度を計測する色強度計測器が設けられ、
前記色強度計測器により計測された前記特定色の強度に基づいて前記研磨制御器が前記研磨ロボット又は前記研磨ロボット及び前記研磨具を制御することで、前記研磨対象面に対する前記研磨具の研磨仕事量が前記特定色の強度に応じて調整され、
前記特定色は、表面が前記研磨対象面となる表層部分の下に存在する下層部分の色、又は、前記表層部分の色であり、
前記色強度計測器は、前記研磨対象面に対する照射光の色を変化させて前記研磨対象面を単色仕様のカメラにより撮影することで、前記研磨対象面の画像データとして照射光の色が異なる複数種の画像データを取得し、これら複数種の画像データに基づいて前記研磨対象面における前記特定色の強度を計測する自動研磨システム。 - 前記研磨対象面の三次元形状を計測する形状計測器が設けられ、
前記形状計測器により計測された三次元形状に基づいて前記研磨制御器が前記研磨ロボットを制御することで、前記研磨具が前記研磨対象面の各部分に順次に移動し、
この移動に併行して、前記研磨制御器が前記研磨対象面の各部分における前記特定色の強度に基づいて前記研磨ロボット又は前記研磨ロボット及び前記研磨具を制御することで、前記研磨対象面の各部分に対する前記研磨具の研磨仕事量が前記研磨対象面の各部分における前記特定色の強度に応じて調整される請求項1又は2記載の自動研磨システム。 - 前記研磨対象面を撮影するカメラが設けられ、
前記形状計測器は、前記カメラによる撮影で得られた前記研磨対象面の画像データに基づいて前記研磨対象面の三次元形状を計測し、
前記色強度計測器は、前記カメラによる撮影で得られた前記研磨対象面の画像データに基づいて前記研磨対象面における前記特定色の強度を計測する請求項1又は3記載の自動研磨システム。 - 前記カメラを保持する計測ロボットが設けられ、
前記研磨制御器が前記計測ロボットを制御することで、前記カメラが前記研磨対象面に対する所要の撮影位置に移動する請求項2又は4記載の自動研磨システム。 - 前記研磨制御器が前記特定色の強度に基づき前記研磨ロボットの動作速度を制御して前記研磨対象面に対する前記研磨具の移動速度を調整することで、前記研磨対象面に対する前記研磨具の研磨仕事量が前記特定色の強度に応じて調整される請求項1〜5のいずれか1項に記載の自動研磨システム。
- 前記研磨制御器が前記特定色の強度に基づいて駆動回転式の前記研磨具の単位時間あたり回転数を制御することで、前記研磨対象面に対する前記研磨具の研磨仕事量が前記特定色の強度に応じて調整される請求項1〜5のいずれか1項に記載の自動研磨システム。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018077390A JP6713015B2 (ja) | 2018-04-13 | 2018-04-13 | 自動研磨システム |
EP19778415.0A EP3593944B1 (en) | 2018-04-13 | 2019-02-04 | Automatic polishing system |
US16/497,095 US11660723B2 (en) | 2018-04-13 | 2019-02-04 | Automatic polishing system |
MX2019012093A MX2019012093A (es) | 2018-04-13 | 2019-02-04 | Sistema de pulido automatico. |
PCT/JP2019/003800 WO2019198313A1 (ja) | 2018-04-13 | 2019-02-04 | 自動研磨システム |
CN201980002027.5A CN110612178B (zh) | 2018-04-13 | 2019-02-04 | 自动研磨系统 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018077390A JP6713015B2 (ja) | 2018-04-13 | 2018-04-13 | 自動研磨システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019181636A JP2019181636A (ja) | 2019-10-24 |
JP6713015B2 true JP6713015B2 (ja) | 2020-06-24 |
Family
ID=68163138
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018077390A Active JP6713015B2 (ja) | 2018-04-13 | 2018-04-13 | 自動研磨システム |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11660723B2 (ja) |
EP (1) | EP3593944B1 (ja) |
JP (1) | JP6713015B2 (ja) |
CN (1) | CN110612178B (ja) |
MX (1) | MX2019012093A (ja) |
WO (1) | WO2019198313A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6903777B1 (ja) * | 2020-01-24 | 2021-07-14 | 株式会社大気社 | 自動ティーチングシステム |
CN112477047B (zh) * | 2020-11-10 | 2022-03-29 | 湖南吉人住工装配式建筑有限公司 | 建筑材料用聚苯乙烯泡沫板二次加工方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2018
- 2018-04-13 JP JP2018077390A patent/JP6713015B2/ja active Active
-
2019
- 2019-02-04 US US16/497,095 patent/US11660723B2/en active Active
- 2019-02-04 MX MX2019012093A patent/MX2019012093A/es unknown
- 2019-02-04 CN CN201980002027.5A patent/CN110612178B/zh active Active
- 2019-02-04 EP EP19778415.0A patent/EP3593944B1/en active Active
- 2019-02-04 WO PCT/JP2019/003800 patent/WO2019198313A1/ja unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11660723B2 (en) | 2023-05-30 |
JP2019181636A (ja) | 2019-10-24 |
WO2019198313A1 (ja) | 2019-10-17 |
EP3593944A4 (en) | 2020-05-06 |
US20210308826A1 (en) | 2021-10-07 |
EP3593944A1 (en) | 2020-01-15 |
MX2019012093A (es) | 2019-11-21 |
CN110612178B (zh) | 2021-09-03 |
CN110612178A (zh) | 2019-12-24 |
EP3593944B1 (en) | 2021-07-14 |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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