JP6145342B2 - 膜厚測定装置、膜厚測定方法、および膜厚測定装置を備えた研磨装置 - Google Patents
膜厚測定装置、膜厚測定方法、および膜厚測定装置を備えた研磨装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6145342B2 JP6145342B2 JP2013147089A JP2013147089A JP6145342B2 JP 6145342 B2 JP6145342 B2 JP 6145342B2 JP 2013147089 A JP2013147089 A JP 2013147089A JP 2013147089 A JP2013147089 A JP 2013147089A JP 6145342 B2 JP6145342 B2 JP 6145342B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- film thickness
- wafer
- film
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims description 711
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 51
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 165
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 118
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 98
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 87
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 53
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 35
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 18
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 16
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 12
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 8
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 6
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 760
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 413
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 50
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 38
- 239000012788 optical film Substances 0.000 description 35
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 28
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 28
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 27
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 27
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 27
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 26
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 20
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 18
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 16
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 15
- 230000008859 change Effects 0.000 description 14
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 11
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 10
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 9
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 9
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 8
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 8
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 7
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000008237 rinsing water Substances 0.000 description 5
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 3
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 3
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 230000003405 preventing effect Effects 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/005—Control means for lapping machines or devices
- B24B37/013—Devices or means for detecting lapping completion
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
- G01B11/0625—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of absorption or reflection
- G01B11/0633—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating with measurement of absorption or reflection using one or more discrete wavelengths
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/005—Control means for lapping machines or devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/34—Accessories
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/12—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation involving optical means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
- H01L22/12—Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/20—Sequence of activities consisting of a plurality of measurements, corrections, marking or sorting steps
- H01L22/26—Acting in response to an ongoing measurement without interruption of processing, e.g. endpoint detection, in-situ thickness measurement
Description
本発明の他の態様は、基板を水平に支持する基板ステージと、前記基板ステージ上の基板の表面全体にリンス水を供給するリンス水供給部と、前記基板の表面に接触または近接可能な開口部を有するノズルと、前記ノズル内に液体を供給する液体供給ラインと、前記ノズル内の液体を通して、前記基板ステージ上の前記基板の表面上の測定領域に光を照射し、前記測定領域からの反射光のスペクトルを生成し、該スペクトルから前記基板の膜厚を決定する膜厚測定ヘッドと、前記ノズルの内部空間から前記液体を排出する液体排出ラインと、前記ノズル内に設けられた仕切り壁を備え、前記仕切り壁は、前記ノズルの内部空間を、前記液体供給ラインに接続された導入空間と、前記液体排出ラインに接続された排出空間とに仕切ることを特徴とする膜厚測定装置である。
本発明の他の態様は、基板を水平に支持する基板ステージと、前記基板ステージ上の基板の表面全体にリンス水を供給するリンス水供給部と、前記基板の表面に接触または近接可能な開口部を有するノズルと、前記ノズル内に液体を供給する液体供給ラインと、前記ノズル内の液体を通して、前記基板ステージ上の前記基板の表面上の測定領域に光を照射し、前記測定領域からの反射光のスペクトルを生成し、該スペクトルから前記基板の膜厚を決定する膜厚測定ヘッドと、前記基板の表面の周縁部に配置される環状の堰とを備えたことを特徴とする膜厚測定装置である。
図2は、研磨方法を示すフローチャートである。図2に示すように、研磨されたウェハを洗浄、乾燥する前に、ウエット状態のウェハの膜厚が測定される。測定された膜厚が所定の目標に達していない場合には、ウェハは研磨部に戻され、再研磨される。このように、ウェハが洗浄および乾燥される前に、そのウェハを再研磨することができるので、再研磨に要する時間を短縮できる。その結果、スループットを向上させることができる。さらには、膜厚の測定結果に基づいて調整された研磨条件(研磨時間、研磨圧力など)を次のウェハの研磨に適用することができる。したがって、スループットを向上させることができる。
上記式(2)に従って算出されたスペクトルの変化量は、膜の除去量を示す除去指標値である。
R1I1+L1dI1/dt+MdI2/dt=E (3)
R2I2+L2dI2/dt+MdI1/dt=0 (4)
ここで、Mは相互インダクタンスであり、R1は渦電流式膜厚センサ60のコイル61を含むセンサ側回路の等価抵抗であり、L1はコイル61を含むセンサ側回路の自己インダクタンスである。R2は渦電流が誘起される導電膜の等価抵抗であり、L2は渦電流が流れる導電膜の自己インダクタンスである。
(R1+jωL1)I1+jωMI2=E (5)
(R2+jωL2)I2+jωMI1=0 (6)
これら式(5),(6)から、次の式が導かれる。
I1=E(R2+jωL2)/{(R1+jωL1)(R2+jωL2)+ω2M2}
=E/{(R1+jωL1)+ω2M2/(R2+jωL2)} (7)
Φ=E/I1={R1+ω2M2R2/(R2 2+ω2L2 2)}
+jω{L1−ω2L2M2/(R2 2+ω2L2 2)} (8)
ここで、Φの実部(抵抗成分)、虚部(誘導リアクタンス成分)をそれぞれX,Yとおくと、上記式(8)は、次のようになる。
Φ=X+jωY (9)
M=k(L1L2)1/2 (10)
2 ロード/アンロード部
3 研磨部
3A,3B,3C,3D 研磨ユニット
4 洗浄部
5 動作制御部
6 第1リニアトランスポータ
7 第2リニアトランスポータ
10 研磨パッド
11 リフタ
12 スイングトランスポータ
16 トップリングシャフト
17 連結手段
18 トップリングモータ
19 テーブルモータ
20 フロントロード部
21 走行機構
22 搬送ロボット
30A,30B,30C,30D 研磨テーブル
31A,31B,31C,31D トップリング
32A,32B,32C,32D 研磨液供給機構
33A,33B,33C,33D ドレッサ
34A,34B,34C,34D アトマイザ
40 光学式膜厚センサ
42 投光部
43 受光部(光ファイバー)
44 分光光度計
47 光源
48 光ファイバー
50A 第1の孔
50B 第2の孔
51 通孔
53 液体供給路
54 液体排出路
55 液体供給源
56 自由継手
57 トップリング本体
58 リテーナリング
60 渦電流式膜厚センサ
61 コイル
62 メンブレン
63 チャッキングプレート
64 圧力調整部
70 トルク電流計測器
72 仮置き台
73 一次洗浄機
74 二次洗浄機
75 乾燥機
77 第1搬送ロボット
78 第2搬送ロボット
79 搬送ロボット
80 ウエット型膜厚測定装置
84 膜厚測定ヘッド
85 オリエンテーション検出器
87 基板ステージ
90 リンス水供給部
92 ヘッド移動機構
100 光源
101 集光レンズ
103 第1のビームスプリッター
105 結像レンズ
110 分光光度計
112 デジタルカメラ
115 第2のビームスプリッター
116 第1のリレーレンズ
117 第2のリレーレンズ
120 処理部
130 気体噴射部(流体供給部)
131 気体供給部(流体供給部)
133 ノズル
134 気体導入ライン
140 液体供給部(流体供給部)
141 ノズル
142 液体供給ライン
143 液体排出ライン
145 導入空間
146 排出空間
148 仕切り壁
150 堰
151 シール部材
155 液体噴射部(流体供給部)
Claims (8)
- 基板を水平に支持する基板ステージと、
前記基板ステージ上の基板の表面全体にリンス水を供給するリンス水供給部と、
前記基板の表面に接触または近接可能な開口部を有するノズルと、
前記ノズル内に液体を供給する液体供給ラインと、
前記ノズル内の液体を通して、前記基板ステージ上の前記基板の表面上の測定領域に光を照射し、前記測定領域からの反射光のスペクトルを生成し、該スペクトルから前記基板の膜厚を決定する膜厚測定ヘッドと、
前記ノズルの開口部の先端に設けられた緩衝材とを備え、
前記緩衝材は、前記基板の研磨に使用される研磨パッドと同じ材料から構成されていることを特徴とする膜厚測定装置。 - 前記ノズルは、前記基板ステージの上方に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の膜厚測定装置。
- 基板を水平に支持する基板ステージと、
前記基板ステージ上の基板の表面全体にリンス水を供給するリンス水供給部と、
前記基板の表面に接触または近接可能な開口部を有するノズルと、
前記ノズル内に液体を供給する液体供給ラインと、
前記ノズル内の液体を通して、前記基板ステージ上の前記基板の表面上の測定領域に光を照射し、前記測定領域からの反射光のスペクトルを生成し、該スペクトルから前記基板の膜厚を決定する膜厚測定ヘッドと、
前記ノズルの内部空間から前記液体を排出する液体排出ラインと、
前記ノズル内に設けられた仕切り壁を備え、
前記仕切り壁は、前記ノズルの内部空間を、前記液体供給ラインに接続された導入空間と、前記液体排出ラインに接続された排出空間とに仕切ることを特徴とする膜厚測定装置。 - 前記仕切り壁と前記基板の表面との間には隙間が形成されていることを特徴とする請求項3に記載の膜厚測定装置。
- 前記ノズルは、前記基板ステージの上方に配置されていることを特徴とする請求項3または4に記載の膜厚測定装置。
- 基板を水平に支持する基板ステージと、
前記基板ステージ上の基板の表面全体にリンス水を供給するリンス水供給部と、
前記基板の表面に接触または近接可能な開口部を有するノズルと、
前記ノズル内に液体を供給する液体供給ラインと、
前記ノズル内の液体を通して、前記基板ステージ上の前記基板の表面上の測定領域に光を照射し、前記測定領域からの反射光のスペクトルを生成し、該スペクトルから前記基板の膜厚を決定する膜厚測定ヘッドと、
前記基板の表面の周縁部に配置される環状の堰とを備えたことを特徴とする膜厚測定装置。 - 前記ノズルは、前記基板ステージの上方に配置されていることを特徴とする請求項6に記載の膜厚測定装置。
- 基板を研磨する研磨部と、
前記基板を洗浄し乾燥する洗浄部と、
前記基板の膜厚を測定する請求項1乃至7のいずれか一項に記載の膜厚測定装置とを備えたことを特徴とする研磨装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013147089A JP6145342B2 (ja) | 2013-07-12 | 2013-07-12 | 膜厚測定装置、膜厚測定方法、および膜厚測定装置を備えた研磨装置 |
KR1020140084538A KR102049269B1 (ko) | 2013-07-12 | 2014-07-07 | 막 두께 측정 장치, 막 두께 측정 방법 및 막 두께 측정 장치를 구비한 연마 장치 |
TW103123573A TWI632988B (zh) | 2013-07-12 | 2014-07-09 | 膜厚測定裝置、膜厚測定方法、及具備膜厚測定裝置的研磨裝置 |
US14/327,535 US20150017880A1 (en) | 2013-07-12 | 2014-07-09 | Film-thickness measuring apparatus, film-thickness measuring method, and polishing apparatus having the film-thickness measuring apparatus |
SG10201403995WA SG10201403995WA (en) | 2013-07-12 | 2014-07-10 | Film-thickness measuring apparatus, film-thickness measuring method, and polishing apparatus having the film-thickness measuring apparatus |
CN201410330819.4A CN104275640A (zh) | 2013-07-12 | 2014-07-11 | 膜厚测定装置、膜厚测定方法及具有膜厚测定装置的研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013147089A JP6145342B2 (ja) | 2013-07-12 | 2013-07-12 | 膜厚測定装置、膜厚測定方法、および膜厚測定装置を備えた研磨装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015016540A JP2015016540A (ja) | 2015-01-29 |
JP2015016540A5 JP2015016540A5 (ja) | 2016-07-21 |
JP6145342B2 true JP6145342B2 (ja) | 2017-06-07 |
Family
ID=52251239
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013147089A Active JP6145342B2 (ja) | 2013-07-12 | 2013-07-12 | 膜厚測定装置、膜厚測定方法、および膜厚測定装置を備えた研磨装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20150017880A1 (ja) |
JP (1) | JP6145342B2 (ja) |
KR (1) | KR102049269B1 (ja) |
CN (1) | CN104275640A (ja) |
SG (1) | SG10201403995WA (ja) |
TW (1) | TWI632988B (ja) |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9157730B2 (en) | 2012-10-26 | 2015-10-13 | Applied Materials, Inc. | PECVD process |
KR101558548B1 (ko) * | 2014-04-22 | 2015-10-13 | 한국지질자원연구원 | 자동 박편 연마 장치 |
DE102015202470B4 (de) * | 2015-02-12 | 2018-11-15 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren und Vorrichtung zur hochgenauen optischen Messung an Objekten mit anhaftenden fluidischen Schichten |
JP6606879B2 (ja) * | 2015-06-15 | 2019-11-20 | 富士電機株式会社 | 窒化物半導体装置の製造方法 |
US11557048B2 (en) | 2015-11-16 | 2023-01-17 | Applied Materials, Inc. | Thickness measurement of substrate using color metrology |
US10565701B2 (en) | 2015-11-16 | 2020-02-18 | Applied Materials, Inc. | Color imaging for CMP monitoring |
JP6795337B2 (ja) * | 2016-06-29 | 2020-12-02 | 株式会社荏原製作所 | 膜厚信号処理装置、研磨装置、膜厚信号処理方法、及び、研磨方法 |
JP6842851B2 (ja) * | 2016-07-13 | 2021-03-17 | 株式会社荏原製作所 | 膜厚測定装置、研磨装置、膜厚測定方法、及び、研磨方法 |
JP6844971B2 (ja) * | 2016-09-02 | 2021-03-17 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
KR102608200B1 (ko) * | 2017-01-13 | 2023-11-30 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 인-시튜 모니터링으로부터의 측정들의 비저항 기반 조정 |
CN106881328B (zh) * | 2017-02-09 | 2020-11-03 | 东旭光电科技股份有限公司 | 玻璃生产线和玻璃生产方法 |
CN107228629B (zh) * | 2017-07-17 | 2023-06-30 | 青岛理工大学 | 高副接触变滑滚比油膜厚度和摩擦力同时测量模拟装置 |
JP6948868B2 (ja) * | 2017-07-24 | 2021-10-13 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置および研磨方法 |
JP7081919B2 (ja) * | 2017-12-26 | 2022-06-07 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP6713015B2 (ja) * | 2018-04-13 | 2020-06-24 | 株式会社大気社 | 自動研磨システム |
KR102583017B1 (ko) * | 2018-09-13 | 2023-09-26 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 처리 장치 |
US11100628B2 (en) | 2019-02-07 | 2021-08-24 | Applied Materials, Inc. | Thickness measurement of substrate using color metrology |
JP7259941B2 (ja) * | 2019-04-05 | 2023-04-18 | 株式会社Sumco | 研磨ヘッド、研磨装置および半導体ウェーハの製造方法 |
FR3094907B1 (fr) * | 2019-04-11 | 2022-07-15 | Gebe2 Productique | Procédé d’abrasion |
JP7224254B2 (ja) * | 2019-07-17 | 2023-02-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、情報処理装置、及び基板処理方法 |
CN110695849B (zh) * | 2019-10-23 | 2020-09-15 | 清华大学 | 一种晶圆厚度测量装置和磨削机台 |
CN110774165B (zh) * | 2019-10-24 | 2021-04-23 | 苏师大半导体材料与设备研究院(邳州)有限公司 | 一种半导体材料晶片的抛光方法 |
JP7374710B2 (ja) * | 2019-10-25 | 2023-11-07 | 株式会社荏原製作所 | 研磨方法および研磨装置 |
TWI765192B (zh) * | 2019-11-19 | 2022-05-21 | 大量科技股份有限公司 | 化學機械研磨裝置之研磨墊檢測方法與研磨墊檢測裝置 |
JP2021141255A (ja) | 2020-03-06 | 2021-09-16 | キオクシア株式会社 | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 |
JP7365282B2 (ja) * | 2020-03-26 | 2023-10-19 | 株式会社荏原製作所 | 研磨ヘッドシステムおよび研磨装置 |
CN111775044A (zh) * | 2020-07-02 | 2020-10-16 | 长江存储科技有限责任公司 | 抛光垫修整装置和抛光垫修整方法 |
CN112086352B (zh) * | 2020-08-06 | 2024-02-20 | 北京晶亦精微科技股份有限公司 | 一种利用Locos生长氧化隔离层以及制备IGBT芯片的工艺 |
CN112964184B (zh) * | 2021-04-12 | 2022-07-01 | 西华大学 | 一种基于表面摩阻实验的油膜厚度测量装置及测量方法 |
CN114473844B (zh) * | 2021-12-31 | 2023-09-29 | 华海清科股份有限公司 | 一种膜厚测量装置 |
CN115763430B (zh) * | 2022-10-28 | 2024-01-16 | 惠科股份有限公司 | 显示面板及其膜层厚度量测方法、测试结构 |
CN117140236B (zh) * | 2023-10-25 | 2024-01-26 | 苏州博宏源机械制造有限公司 | 一种晶圆厚度在线测量装置及方法 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5937047A (ja) * | 1982-08-26 | 1984-02-29 | Toshiba Corp | ダイヤフラム加工装置 |
JP2974441B2 (ja) * | 1991-04-15 | 1999-11-10 | 昭和アルミニウム株式会社 | 研磨、洗浄乾燥及び外観検査を必要とするワークの製造装置 |
US5637029A (en) * | 1993-11-22 | 1997-06-10 | Lehane; William B. | Method and apparatus for shot blasting materials |
US5657123A (en) * | 1994-09-16 | 1997-08-12 | Mitsubishi Materials Corp. | Film thickness measuring apparatus, film thickness measuring method and wafer polishing system measuring a film thickness in conjunction with a liquid tank |
US5999264A (en) * | 1997-06-26 | 1999-12-07 | Mitutoyo Corporation | On-the-fly optical interference measurement device, machining device provided with the measurement device, and machine tool suited to on-the-fly optical measurement |
JP3192396B2 (ja) * | 1997-11-07 | 2001-07-23 | 日本ピラー工業株式会社 | 流体用ロータリジョイント |
JPH11204472A (ja) * | 1998-01-12 | 1999-07-30 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板研磨装置用光学測定装置 |
US6579149B2 (en) * | 2001-02-06 | 2003-06-17 | International Business Machines Corporation | Support and alignment device for enabling chemical mechanical polishing rinse and film measurements |
US6319093B1 (en) * | 2001-02-06 | 2001-11-20 | International Business Machines Corporation | Chemical-mechanical polishing system and method for integrated spin dry-film thickness measurement |
US6827633B2 (en) * | 2001-12-28 | 2004-12-07 | Ebara Corporation | Polishing method |
JP3878016B2 (ja) * | 2001-12-28 | 2007-02-07 | 株式会社荏原製作所 | 基板研磨装置 |
JP3995579B2 (ja) * | 2002-10-18 | 2007-10-24 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 膜厚測定装置および反射率測定装置 |
US6967715B2 (en) * | 2002-12-06 | 2005-11-22 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for optical film measurements in a controlled environment |
US20040242121A1 (en) * | 2003-05-16 | 2004-12-02 | Kazuto Hirokawa | Substrate polishing apparatus |
JP4216209B2 (ja) * | 2004-03-04 | 2009-01-28 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 膜厚測定方法および装置 |
ITBO20070504A1 (it) * | 2007-07-20 | 2009-01-21 | Marposs Spa | Apparecchiatura e metodo per il controllo dello spessore di un elemento in lavorazione |
JP2009050944A (ja) * | 2007-08-24 | 2009-03-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | 基板の厚さ測定方法および基板の加工装置 |
JP2009111238A (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Marubun Corp | 半導体ウエハ研削装置 |
JP5495493B2 (ja) * | 2008-02-07 | 2014-05-21 | 株式会社東京精密 | 膜厚測定装置、及び膜厚測定方法 |
KR101004435B1 (ko) * | 2008-11-28 | 2010-12-28 | 세메스 주식회사 | 기판 연마 장치 및 이를 이용한 기판 연마 방법 |
-
2013
- 2013-07-12 JP JP2013147089A patent/JP6145342B2/ja active Active
-
2014
- 2014-07-07 KR KR1020140084538A patent/KR102049269B1/ko active IP Right Grant
- 2014-07-09 US US14/327,535 patent/US20150017880A1/en not_active Abandoned
- 2014-07-09 TW TW103123573A patent/TWI632988B/zh active
- 2014-07-10 SG SG10201403995WA patent/SG10201403995WA/en unknown
- 2014-07-11 CN CN201410330819.4A patent/CN104275640A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20150007963A (ko) | 2015-01-21 |
US20150017880A1 (en) | 2015-01-15 |
TWI632988B (zh) | 2018-08-21 |
CN104275640A (zh) | 2015-01-14 |
KR102049269B1 (ko) | 2019-11-28 |
TW201503997A (zh) | 2015-02-01 |
SG10201403995WA (en) | 2015-02-27 |
JP2015016540A (ja) | 2015-01-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6145342B2 (ja) | 膜厚測定装置、膜厚測定方法、および膜厚測定装置を備えた研磨装置 | |
JP6046933B2 (ja) | 研磨方法 | |
JP5941763B2 (ja) | 研磨方法 | |
TWI675721B (zh) | 研磨裝置及研磨狀態監視方法 | |
US7840375B2 (en) | Methods and apparatus for generating a library of spectra | |
JP6215602B2 (ja) | 研磨装置および研磨状態監視方法 | |
KR20090088315A (ko) | 대상물을 폴리싱하는 방법 및 장치 | |
US20170285609A1 (en) | Teaching device and teaching method | |
JP2010186866A (ja) | 研磨方法 | |
JP6195754B2 (ja) | 研磨装置および研磨状態監視方法 | |
US11534886B2 (en) | Polishing device, polishing head, polishing method, and method of manufacturing semiconductor device | |
JP6374169B2 (ja) | 研磨方法および研磨装置 | |
KR20050015117A (ko) | 화학기계적연마 장치 및 방법 | |
TW201324600A (zh) | 化學機械研磨製程及化學機械研磨系統 | |
US20040214508A1 (en) | Apparatus and method for controlling film thickness in a chemical mechanical planarization system | |
JP2009277888A (ja) | 研磨方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160607 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160607 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20160607 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20160623 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160906 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160913 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170117 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170220 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170418 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170515 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6145342 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |