JP6708832B2 - 磁気トンネル接合 - Google Patents
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Description
いくつかの実施形態では、磁気トンネル接合が、磁気記録材料を含む導電性の第1の磁性電極を含む。導電性の第2の磁性電極が、第1の電極から離隔されており、磁気参照材料を含む。第1の電極と第2の電極との間に、非磁性トンネル絶縁体材料が存在する。第1の電極の磁気記録材料が、第1の磁性領域と、第1の磁性領域から離隔されている第2の磁性領域と、第1および第2の磁性領域から離隔されている第3の磁性領域とを含む。第1の磁性領域と第2の磁性領域との間に、第1の非磁性絶縁体金属酸化物含有領域がある。第2の磁性領域と第3の磁性領域との間に、第2の非磁性絶縁体金属酸化物含有領域がある。
Claims (24)
- 磁気記録材料を含む導電性の第1の磁性電極であって、前記磁気記録材料の電気抵抗は、外部電界の印加により、高抵抗と低抵抗との間で変化し得る、第1の磁性電極と、
前記第1の磁性電極から離隔され且つ磁気参照材料を含む導電性の第2の磁性電極と、
前記第1の磁性電極と前記第2の磁性電極との間にある非磁性トンネル絶縁体材料と、を含む磁気トンネル接合であって、
前記第1の磁性電極及び前記第2の磁性電極のうちの少なくとも一方が、(a)アモルファスであること、及び、(b)その中にアモルファス材料を有し且つそれ以外は結晶質であること、のうちの一方を含み、
前記第1の磁性電極の前記磁気記録材料が、第1の磁性領域と、前記第1の磁性領域から離隔されている第2の磁性領域と、前記第1および第2の磁性領域から離隔されている第3の磁性領域と、前記第1の磁性領域と前記第2の磁性領域との間に存在する第1の非磁性絶縁体金属酸化物含有領域と、前記第2の磁性領域と前記第3の磁性領域との間に存在する第2の非磁性絶縁体金属酸化物含有領域とを含む、磁気トンネル接合。 - 前記第1および第2の非磁性絶縁体金属酸化物含有領域の組成が互いに同一である、請求項1に記載の磁気トンネル接合。
- 前記第1および第2の非磁性絶縁体金属酸化物含有領域の組成が互いに異なる、請求項1に記載の磁気トンネル接合。
- 前記第1の非磁性絶縁体金属酸化物含有領域が、前記第1および第2の磁性領域に直接触れている、請求項1に記載の磁気トンネル接合。
- 前記第2の非磁性絶縁体金属酸化物含有領域が、前記第2および第3の磁性領域に直接触れている、請求項1に記載の磁気トンネル接合。
- 前記第1の磁性電極の前記磁気記録材料が、前記第3の磁性領域から離隔されている少なくとも1つの更なる磁性領域を含み、また、前記第3の磁性領域と前記少なくとも1つ
の更なる磁性領域との間に存在する少なくとも1つの更なる非磁性絶縁体金属酸化物含有領域を含む、請求項1に記載の磁気トンネル接合。 - 前記第1の磁性電極の前記磁気記録材料が、前記第3の磁性領域から離隔されているとともに互いからも離隔されている複数の更なる磁性領域を含み、また、複数の更なる非磁性絶縁体金属酸化物含有領域を含み、
前記複数の更なる磁性領域のうちの1つが、前記複数の更なる磁性領域のうちの他の全てと比較して、前記第3の磁性領域の最も近くにあり、
前記複数の更なる非磁性絶縁体金属酸化物含有領域のうちの1つが、前記第3の磁性領域と、前記最も近くにある磁性領域との間に存在し、
前記複数の更なる非磁性絶縁体金属酸化物含有領域のうちの他の全てのそれぞれが、前記複数の更なる磁性領域のうちですぐ隣にあるもの同士の間に存在する、請求項1に記載の磁気トンネル接合。 - 前記磁気記録材料の前記第3の磁性領域の上にあって、前記第2の非磁性絶縁体金属酸化物含有領域からは離隔されている他の非磁性トンネル絶縁体材料と、
前記他の非磁性トンネル絶縁体材料の上にある第2の磁気参照材料であって、前記他の非磁性トンネル絶縁体材料に近接する磁気偏極子材料を含む第2の磁気参照材料と、
を含む、請求項1に記載の磁気トンネル接合。 - 前記第1の磁性電極が、
前記非磁性トンネル絶縁体材料の一方の電極側にあり、かつ、
前記一方の電極側にある、前記磁気トンネル接合の全ての絶縁体材料のうち、前記非磁性トンネル絶縁体材料から最も遠くにある非磁性絶縁体材料を含み、
前記最も遠くにある非磁性絶縁体材料は、前記非磁性トンネル絶縁体材料と組成が同一であり、前記非磁性トンネル絶縁体材料の最大厚さよりも小さい最大厚さを有する、請求項1に記載の磁気トンネル接合。 - 磁気記録材料を含む導電性の第1の磁性電極であって、前記磁気記録材料の電気抵抗は、外部電界の印加により、高抵抗と低抵抗との間で変化し得る、第1の磁性電極と、
前記第1の磁性電極から離隔され且つ第1の磁気参照材料を含む導電性の第2の磁性電極と、
前記第1の磁性電極と前記第2の磁性電極との間にある第1の非磁性トンネル絶縁体材料と、
を含む多重障壁磁気トンネル接合であって、
前記第1の磁性電極及び前記第2の磁性電極のうちの少なくとも一方が、(a)アモルファスであること、及び、(b)その中にアモルファス材料を有し且つそれ以外は結晶質であること、のうちの一方を含み、
前記第1の磁性電極の前記磁気記録材料が、第1の磁性領域と、前記第1の磁性領域から離隔されている第2の磁性領域と、前記第1の磁性領域と前記第2の磁性領域との間にある非磁性絶縁体金属酸化物含有領域とを含み、前記第1の磁性領域の方が、前記第2の磁性領域よりも、前記第1の非磁性トンネル絶縁体材料に近く、
前記多重障壁磁気トンネル接合が、
前記磁気記録材料の前記第2の磁性領域の上にあって、前記第1の非磁性トンネル絶縁体材料からは離隔されている第2の非磁性トンネル絶縁体材料と、
前記第2の非磁性トンネル絶縁体材料の上にある第2の磁気参照材料であって、前記第2の非磁性トンネル絶縁体材料に近接する磁気偏極子材料を含む第2の磁気参照材料と、
を更に含む、多重障壁磁気トンネル接合。 - 前記第1の磁性電極の前記磁気記録材料が、前記第2の磁性領域から離隔されている少
なくとも1つの更なる磁性領域を含み、かつ、前記第2の磁性領域と前記少なくとも1つの更なる磁性領域との間に存在する少なくとも1つの更なる非磁性絶縁体金属酸化物含有領域を含む、請求項10に記載の磁気トンネル接合。 - 前記第1の磁性電極の前記磁気記録材料が、前記第2の磁性領域から離隔されているとともに互いからも離隔されている複数の更なる磁性領域を含み、かつ、複数の更なる非磁性絶縁体金属酸化物含有領域を含み、
前記複数の更なる磁性領域のうちの1つが、前記複数の更なる磁性領域のうちの他の全てと比較して、前記第2の磁性領域の最も近くにあり、
前記複数の更なる非磁性絶縁体金属酸化物含有領域のうちの1つが、前記第2の磁性領域と、前記最も近くにある磁性領域との間に存在し、
前記複数の更なる非磁性絶縁体金属酸化物含有領域のうちの他の全てのそれぞれが、前記複数の更なる磁性領域のうちですぐ隣にあるもの同士の間に存在する、請求項10に記載の磁気トンネル接合。 - 磁気記録材料を含む導電性の第1の磁性電極であって、前記磁気記録材料の電気抵抗は、外部電界の印加により、高抵抗と低抵抗との間で変化し得る、第1の磁性電極と、
前記第1の磁性電極から離隔され且つ磁気参照材料を含む導電性の第2の磁性電極と、
前記第1の磁性電極と前記第2の磁性電極との間にある、金属酸化物を含む非磁性トンネル絶縁体材料と、
を含む磁気トンネル接合であって、
前記第1の磁性電極及び前記第2の磁性電極のうちの少なくとも一方が、(a)アモルファスであること、及び、(b)その中にアモルファス材料を有し且つそれ以外は結晶質であること、のうちの一方を含み、
前記第1の磁性電極の前記磁気記録材料が、第1の磁性領域と、前記第1の磁性領域から離隔されている第2の磁性領域とを含み、
前記第1の磁性領域の方が、前記第2の磁性領域よりも、前記非磁性トンネル絶縁体材料に近く、
前記第1の磁性電極が、前記第1の磁性領域と前記第2の磁性領域との間にある第1の非磁性絶縁体金属酸化物含有領域を含み、
前記磁気トンネル接合が、
前記磁気記録材料の前記第2の磁性領域の上にあって、前記第1の非磁性絶縁体金属酸化物含有領域からは離隔されている第2の非磁性絶縁体金属酸化物含有領域を更に含む、磁気トンネル接合。 - SMTJである請求項13に記載の磁気トンネル接合。
- DMTJである請求項13に記載の磁気トンネル接合。
- 前記第1の磁性電極及び前記第2の磁性電極のうちの少なくとも一方が、(a)アモルファスであること、を含む、請求項1に記載の磁気トンネル接合。
- 前記第1の磁性電極及び前記第2の磁性電極のうちの少なくとも一方が、(b)その中にアモルファス材料を有し且つそれ以外は結晶質であること、を含む、請求項1に記載の磁気トンネル接合。
- 前記第1の磁性電極及び前記第2の磁性電極のうちの一方のみが、(a)アモルファスであること、及び、(b)その中にアモルファス材料を有し且つそれ以外は結晶質であること、のうちの一方を含む、請求項1に記載の磁気トンネル接合。
- 前記第1の磁性電極及び前記第2の磁性電極のうちの少なくとも一方が、(a)アモルファスであること、を含む、請求項10に記載の磁気トンネル接合。
- 前記第1の磁性電極及び前記第2の磁性電極のうちの少なくとも一方が、(b)その中にアモルファス材料を有し且つそれ以外は結晶質であること、を含む、請求項10に記載の磁気トンネル接合。
- 前記第1の磁性電極及び前記第2の磁性電極のうちの一方のみが、(a)アモルファスであること、及び、(b)その中にアモルファス材料を有し且つそれ以外は結晶質であること、のうちの一方を含む、請求項10に記載の磁気トンネル接合。
- 前記第1の磁性電極及び前記第2の磁性電極のうちの少なくとも一方が、(a)アモルファスであること、を含む、請求項13に記載の磁気トンネル接合。
- 前記第1の磁性電極及び前記第2の磁性電極のうちの少なくとも一方が、(b)その中にアモルファス材料を有し且つそれ以外は結晶質であること、を含む、請求項13に記載の磁気トンネル接合。
- 前記第1の磁性電極及び前記第2の磁性電極のうちの一方のみが、(a)アモルファスであること、及び、(b)その中にアモルファス材料を有し且つそれ以外は結晶質であること、のうちの一方を含む、請求項13に記載の磁気トンネル接合。
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