JP6707850B2 - 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 - Google Patents

積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 Download PDF

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Description

この発明は、積層セラミックコンデンサおよびその製造方法に関する。
近年、積層セラミックコンデンサに対する小型化および高容量化の要求が高まっている。このような要求に応じるには、セラミック層の薄層化が必要となる。セラミック層の薄層化を講じた積層セラミックコンデンサとして、例えば、特許文献1の低温焼成用の誘電体磁器組成物を用いた積層セラミックコンデンサがある。
特許文献1の積層セラミックコンデンサは、誘電体層(本発明の「セラミック層」に相当)と内部電極層が交代に積層されたコンデンサ本体を備え、誘電体層に含まれる誘電体磁器組成物が、主成分として(Ba1-xCaxmTiO3と、副成分としてMgCO3、RE23(RE23はY23、Dy23およびHo23からなる群から1種以上選択される希土類酸化物)、MO(MはBa及びCaのうち一つの元素)、MnO、V25、Cr23および焼結助剤であるSiO2とを含む。上記誘電体磁器組成物の組成式は、a(Ba1-xCaxmTiO3−bMgCO3−cRE23−dMO−eMnO−fSiO2−gV25−hCr23と表現する際、モル比でa=100、0.1≦b≦3.0、0.1≦c≦3.0、0.1≦d≦3.0、0.05≦e≦1.0、0.2≦f≦3.0、0.01≦g≦1.0、0.01≦h≦1.0であり、0.005≦x≦0.15、0.995≦m≦1.03を満足する。
特開2007−31273号公報
特許文献1のような積層セラミックコンデンサは、セラミック層においてNi−Mgの偏析相が生成されてしまい、局所的に薄層化することが懸念される。これにより、積層セラミックコンデンサの高温負荷寿命が低下し得るという問題があった。
それゆえに、この発明の主たる目的は、セラミック層の薄層化を図りつつ、十分な高温負荷寿命を有した積層セラミックコンデンサを提供することである。
この発明の他の目的は、セラミック層の薄層化を図りつつ、十分な高温負荷寿命を有した積層セラミックコンデンサの製造方法を提供することである。
この発明に係る積層セラミックコンデンサは、ペロブスカイト構造を有する結晶粒子を含む複数のセラミック層および複数の内部電極層が積層されることにより形成された積層体と、積層体の表面に内部電極層と電気的に接続されるように形成された一対の外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサであって、セラミック層は、Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物と、Mgと、R(Rは希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種)と、M(MはZr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種)と、Siとを含有し、Tiの含有量を100モル部としたとき、Caが、0.10モル部以上15.00モル部以下、Mgが、0.0010モル部以上0.0097モル部以下、Rが、0.50モル部以上4.00モル部以下、Mが、0.10モル部以上2.00モル部以下、Siが、0.50モル部以上2.00モル部以下含まれ、且つ結晶粒子のコア部にCaが含まれることを特徴とする。
この発明に係る積層セラミックコンデンサは、ペロブスカイト構造を有する結晶粒子を含む複数のセラミック層および複数の内部電極層が積層されることにより形成された積層体と、積層体の表面に内部電極層と電気的に接続されるように形成された一対の外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサであって、積層体は、Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物と、Mgと、R(Rは希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種)と、M(MはZr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種)と、Siとを含有し、Tiの含有量を100モル部としたとき、Caが、0.10モル部以上15.00モル部以下、Mgが、0.0010モル部以上0.0097モル部以下、Rが、0.50モル部以上4.00モル部以下、Mが、0.10モル部以上2.00モル部以下、Siが、0.50モル部以上2.00モル部以下含まれ、且つ結晶粒子のコア部にCaが含まれることを特徴とする。
この発明に係る積層セラミックコンデンサは、ペロブスカイト構造を有する結晶粒子を含む複数のセラミック層および複数の内部電極層が積層されることにより形成された積層体と、積層体の表面に内部電極層と電気的に接続されるように形成された一対の外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサであって、積層体は、Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物と、Mgと、R(Rは希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種)と、M(MはZr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種)と、Siとを含有し、積層体を溶剤によって溶解した際のTiの含有量を100モル部としたとき、Caが、0.10モル部以上15.00モル部以下、Mgが、0.0010モル部以上0.0097モル部以下、Rが、0.50モル部以上4.00モル部以下、Mが、0.10モル部以上2.00モル部以下、Siが、0.50モル部以上2.00モル部以下含まれ、且つ結晶粒子のコア部にCaが含まれることを特徴とする。
好ましくは、Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)である。
好ましくは、Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)と、R2(R2は希土類元素Ce、Pr、Nd、Eu、Tm、LuおよびTbのうちの少なくとも1種)とを有し、R1のモル部/R2のモル部の値が4.0以上であることを特徴とする。
この発明に係る積層セラミックコンデンサの製造方法は、Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物を主成分とする粉末と、Mg化合物と、Rの化合物(Rは希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種)と、Mの化合物(MはZr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種)と、Si化合物とを混合することによりセラミックスラリーを得る工程と、セラミックスラリーをシート成形することによりセラミックグリーンシートを得る工程と、セラミックグリーンシートと、セラミックグリーンシートに内部電極パターンが形成されたセラミックグリーンシートとを積層することにより積層体ブロックを形成し、積層体ブロックをカットすることにより生の積層体を得る工程と、生の積層体を焼成することにより、Niを含む内部電極層が形成された積層体を得る工程とを備え、セラミックスラリーにおけるTiの含有量を100モル部としたとき、Caが、0.10モル部以上15.00モル部以下、Mgが、0.0010モル部以上0.0097モル部以下、Rが、0.50モル部以上4.00モル部以下、Mが、0.10モル部以上2.00モル部以下、Siが、0.50モル部以上2.00モル部以下含まれることを特徴とする。
好ましくは、セラミックスラリーを得る工程において、Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物を主成分とする粉末に、Ca化合物をさらに混合する。
好ましくは、Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)である。
好ましくは、Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)と、R2(R2は希土類元素Ce、Pr、Nd、Eu、Tm、LuおよびTbのうちの少なくとも1種)とを含み、R1のモル部/R2のモル部の値が4.0以上であることを特徴とする。
この発明に係る積層セラミックコンデンサは、セラミック層のMg含有量が、Tiを100モル部としたとき、0.0010モル部以上0.0097モル部以下であり、従来技術と比較して極端に少ない。これにより、Ni−Mgの偏析相が生成されることを抑制できる。また、Mg含有量を少なくすることにより生じ得る異常粒成長などの悪影響が、セラミック層に含有されるMg以外の元素により抑制される。その結果、この発明に係る積層セラミックコンデンサは、十分な高温負荷寿命を有する。
この発明によれば、セラミック層の薄層化を図りつつ、十分な高温負荷寿命を有した積層セラミックコンデンサを提供し得る。
また、この発明によれば、セラミック層の薄層化を図りつつ、十分な高温負荷寿命を有した積層セラミックコンデンサを製造し得る。
この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明を実施するための形態の説明から一層明らかとなろう。
この発明の一実施の形態に係る積層セラミックコンデンサを示す外観斜視図である。 この発明の一実施の形態に係る積層セラミックコンデンサを示す図1のII−II断面図である。 この発明の一実施の形態に係る積層セラミックコンデンサが備えるセラミック層の厚みの計測方法を説明するための概略図である。
1.積層セラミックコンデンサ
以下、図面を参照してこの発明の一実施の形態に係る積層セラミックコンデンサについて説明する。図1は、この発明の一実施の形態に係る積層セラミックコンデンサを示す外観斜視図である。図2は、この発明の一実施の形態に係る積層セラミックコンデンサを示す図1のII−II断面図である。
この実施の形態に係る積層セラミックコンデンサ10は、積層体20と、積層体20の表面に形成された第1の外部電極50aおよび第2の外部電極50b(一対の外部電極)とを備える。
(積層体20)
積層体20は、複数のセラミック層30と、複数の第1の内部電極層40aと、複数の第2の内部電極層40bとが積層されることにより直方体状に形成される。すなわち、積層体20は、積層方向(T方向)において相対する第1の主面22aおよび第2の主面22bと、T方向に直交する幅方向(W方向)において相対する第1の側面24aおよび第2の側面24bと、T方向およびW方向に直交する長さ方向(L方向)において相対する第1の端面26aおよび第2の端面26bとを含む。積層体20は、そのコーナー部および稜部に丸みを形成されることが好ましい。また、積層体20の直方体状は、第1および第2の主面22a、22b、第1および第2の側面24a、24b、並びに第1および第2の端面26a、26bを含む形状であれば特に限定されない。
(第1および第2の内部電極層40a、40b)
第1の内部電極層40aは、セラミック層30の界面を平板状に延び、その端部が積層体20の第1の端面26aに露出する。一方、第2の内部電極層40bは、セラミック層30を介して第1の内部電極層40aと対向するようにセラミック層30の界面を平板状に延び、その端部が積層体20の第2の端面26bに露出する。したがって、第1および第2の内部電極層40a、40bは、セラミック層30を介して互いに対向する対向部と、第1および第2の端面26a、26bに引き出された引出し部とを有する。第1および第2の内部電極層40a、40bがセラミック層30を介して互いに対向することにより静電容量が発生する。
(第1および第2の外部電極50a、50b)
第1の外部電極50aは、積層体20の第1の端面26aに形成され、そこから第1および第2の主面22a、22bそれぞれの一部、並びに第1および第2の側面24a、24bそれぞれの一部に至るように形成される。なお、第1の外部電極50aは、積層体20の第1の端面26aにのみ形成されてもよい。第1の外部電極50aは、積層体20の第1の端面26aにおいて第1の内部電極層40aと電気的に接続される。一方、第2の外部電極50bは、積層体20の第2の端面26bに形成され、そこから第1および第2の主面22a、22bそれぞれの一部、並びに第1および第2の側面24a、24bそれぞれの一部に至るように形成される。なお、第2の外部電極50bは、積層体20の第2の端面26bにのみ形成されてもよい。第2の外部電極50bは、積層体20の第2の端面26bにおいて第2の内部電極層40bと電気的に接続される。
(セラミック層30)
セラミック層30は、第1の内部電極層40aと第2の内部電極層40bとの間に挟まれてT方向に積層される。
セラミック層30(または積層体20)は、Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物と、Mgと、R(Rは希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種)と、M(MはZr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種)と、Siとを含有する。セラミック層30(または積層体20)の上記した各元素の含有量(モル部)は次の通りである。
Tiの含有量を100モル部としたときの各元素の含有量は次の通りである。Caは0.10モル部以上15.00モル部以下である。なお、Caは0.40モル部以上10.00モル部以下であることが好ましく、0.75モル部以上7.50モル部以下であることがより好ましい。Mgは0.0010モル部以上0.0097モル部以下である。なお、Mgは0.0010モル部以上0.0090モル部以下であることが好ましく、0.0010モル部以上0.0075モル部以下であることがより好ましい。Rは0.50モル部以上4.00モル部以下である。なお、Rは0.50モル部以上3.00モル部以下であることが好ましく、0.50モル部以上2.50モル部以下であることがより好ましい。Mは0.10モル部以上2.00モル部以下である。なお、Mは0.10モル部以上1.50モル部以下であることが好ましく、0.10モル部以上1.00モル部以下であることがより好ましい。Siは0.50モル部以上2.00モル部以下である。なお、Siは0.60モル部以上1.90モル部であることが好ましく、0.80モル部以上1.60モル部以下であることがより好ましい。
なお、上記の各元素の含有量(モル部)は、セラミック層30を形成するためのセラミック原料(誘電体原料配合物)を作製する際に秤量した数値、または積層体20を溶剤により溶解して得た溶液をICP分析することにより得られた数値である。
また、セラミック層30(または積層体20)の結晶粒子のコア部にはCaが含まれる。
上記したRは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)であることが好ましい。
或いは、上記したRは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)と、R2(R2は希土類元素Ce、Pr、Nd、Eu、Tm、LuおよびTbのうちの少なくとも1種)とを有し、R1のモル部/R2のモル部の値が4.0以上であることが好ましい。
(効果)
この実施の形態に係る積層セラミックコンデンサ10は、セラミック層30(または積層体20)のMg含有量が、Tiを100モル部としたとき、0.0010モル部以上0.0097モル部以下であり、従来技術と比較して極端に少ない。これにより、Ni−Mgの偏析相が生成されることを抑制できる。また、Mg含有量を少なくすることにより生じ得る異常粒成長などの悪影響が、セラミック層30(または積層体20)に含有されるMg以外の元素(Ca、R、MおよびSi)により抑制される。その結果、この実施の形態に係る積層セラミックコンデンサ10は、十分な高温負荷寿命を有する。
また、Rが、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)であること(すなわち、RとしてR1のみを用いること)により、高温負荷寿命がさらに向上し、積層セラミックコンデンサ10の信頼性が向上する。これは、Rとして示した希土類元素の中でも、R1は酸素空孔移動の抑制効果が大きいためである。
また、Rが、上記したR1およびR2に指定する希土類元素を有し(すなわち、RとしてR1とR2を併用し)、R1のモル部/R2のモル部の値を4.0以上とすることにより、高温負荷寿命がさらに向上し、積層セラミックコンデンサ10の信頼性が向上する。これは、R1がR2に比べて酵素空孔移動の抑制効果が大きいためである。
2.積層セラミックコンデンサの製造方法
この発明に係る積層セラミックコンデンサの製造方法について、上記した実施の形態に係る積層セラミックコンデンサ10を例にして説明する。はじめにセラミック原料(誘電体原料配合物)を作製する工程について説明し、その後、積層セラミックコンデンサを作製する工程について説明する。
(セラミック原料の作製)
まず、出発原料としてBaCO3、CaCO3およびTiO2の粉末を準備し、含有量(モル部)で(Ba+Ca):Ti=1:1となるように所定量秤量する。
次に、上記のように秤量した出発原料をボールミルにより混合する。
そして、1150℃で熱処理することにより、Ba、Tiを含むペロブスカイト型化合物であるBaTiO3(チタン酸バリウム)およびBa、Ca、Tiを含むペロブスカイト型化合物である(Ba,Ca)TiO3(チタン酸バリウムカルシウム)を得る。なお、主成分であるチタン酸バリウムカルシウムは、固相合成法により作製してもよいし、水熱合成法または加水分解法などにより作製してもよい。
上記のようにして得たBaTiO3および(Ba,Ca)TiO3に、添加成分としてMgO、R23、Mの酸化物およびSiO2(Mg化合物、Rの化合物、Mの化合物およびSi化合物)並びに任意でCaCO3を適宜秤量してボールミルにより混合する。ここで、Rは、希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種である。また、Mは、Zr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種である。このとき、Ti含有量を100モル部としたとき、Caが0.10モル部以上15.00モル部以下、Mgが0.0010モル部以上0.0097モル部以下、Rが0.50モル部以上4.00モル部以下、Mが0.10モル部以上2.00モル部以下、Siが0.50モル部以上2.00モル部以下含まれるように秤量して混合する。この後に乾燥することで、セラミック原料を得る。
なお、添加成分は上記したように酸化物および炭酸物であってもよいし、これに限定されず、塩化物や金属有機化合物などであってもよい。また、上記したように、チタン酸バリウムカルシウム作製後に他の添加物を添加するタイミングで行うCaCO3の混合(後添加Ca)は任意である。すなわち、CaCO3の混合は、後添加Caでは行わず、チタン酸バリウムカルシウム作製の際の出発原料に含まれるようにして(すなわち、前添加Caのみで)行ってもよい。前添加Caによって、完成後のセラミック層(または積層体)の結晶粒子のコア部にCaが含まれるようにすることができる。なお、前添加Caに加えて後添加Caも行う場合、前添加Caおよび後添加Caの合計量が、上記したCaの含有量0.10モル部以上15.00モル部以下となるように秤量して混合する。また、主成分である(Ba,Ca)TiO3のAサイトとBサイトの含有量(モル部)の比A/Bは、0.980以上1.020以下の範囲であることが好ましい。しかしながら、含有量(モル部)の比A/Bは、この発明の効果を奏する範囲であればよく、化学量論組成である必要もない。
(積層セラミックコンデンサの作製)
上記のようにして得たセラミック原料にポリビニルブチラール系バインダ、可塑剤および有機溶剤としてのエタノールを加え、これらをボールミルにより湿式混合し、セラミックスラリーを得る。
次に、上記のようにして得たセラミックスラリーをリップ方式でシート成形することにより、矩形状(厚み4.5μm)のセラミックグリーンシートを得る。
そして、上記のようにして得たセラミックグリーンシートの表面に導電性ペーストをスクリーン印刷し、Niを主成分とする内部電極となるべき導電性ペースト膜(内部電極パターン)を形成する。なお、導電性ペースト膜の主成分はNiに限られず、Ni合金などであってもよい。
さらに、導電性ペースト膜が形成されていないセラミックグリーンシートを間に挟むようにして、導電性ペースト膜が形成されたセラミックグリーンシートを積層する。このとき、導電性ペースト膜の引き出されている端部が互い違いになるように積層する。このようにして積層体ブロックを形成し、この積層体ブロックをカットすることにより生の積層体を得る。
つづいて、上記のようにして得た生の積層体をN2雰囲気中において350℃で3時間加熱することによりバインダを燃焼させたあと、酸素分圧10-9MPa以上10-12MPa以下のH2−N2−H2Oガスからなる還元性雰囲気中において1200℃で2時間焼成することにより、焼結した積層体(Niを含む内部電極層が形成された積層体)を得る。
最後に、上記のようにして得た積層体の両端面に、ガラスフリットを含有するCuペーストを塗布し、N2雰囲気中において800℃の温度で焼き付け、その表面にNiめっき、Snめっきを施すことにより内部電極層と電気的に接続された外部電極を形成し、積層セラミックコンデンサを得る。
3.実験例
以下、この発明の効果を確認するために発明者らが行った実験例1および2について説明する。実験例1および2では、上記した積層セラミックコンデンサの製造方法にしたがって実施例1〜27および比較例1〜13の試料を作製し、それぞれの高温負荷寿命を評価した。
(実施例および比較例)
実施例1〜27および比較例1〜13のスペックは次の通りである。なお、各数値とも実測値である。
T方向の寸法:1.25mm(一対の外部電極を含む。)
W方向の寸法:1.25mm(同上)
L方向の寸法:2.0mm(同上)
セラミック層の1層あたりの厚み:平均3.0μm
内部電極層の1層あたりの厚み:平均0.6μm
有効セラミック層の積層数:300層
有効セラミック層の1層あたりの対向部の面積:平均1.6mm2
(セラミック層の厚みの計測方法)
なお、セラミック層1層あたりの厚みは、次のようにして計測した。図3は、この発明の一実施の形態に係る積層セラミックコンデンサが備えるセラミック層の厚みの計測方法を説明するための概略図である。なお、図3では第1および第2の外部電極50a、50bの記載を省略してある。まず、実施例1〜27および比較例1〜13(積層セラミックコンデンサ10)をそれぞれ5個ずつ準備した。次に、積層セラミックコンデンサ10のL方向とT方向からなる面(以下「LT面」という)をW方向の寸法が約1/2になるまで研磨機を用いて研磨した。さらに、第1および第2の内部電極層40a、40bのダレを無くすため、研磨したLT面をイオンミリングにより加工した。そして、研磨したLT面において、L方向の約1/2の位置で第1および第2の内部電極層40a、40bにほぼ直交して延びる基準線B(すなわち、L方向の略中央をT方向に沿って延びる図3中に一点鎖線で示した中心線)を定めた。次に、基準線Bおよびその近傍において、第1および第2の内部電極層40a、40bが積層された領域をT方向に3等分し、上部領域62、中間領域64、下部領域66とした。さらに、上部領域62、中間領域64、下部領域66それぞれにおいて、セラミック層30を無作為に5層ずつ選び、5層それぞれの基準線B上の厚みを走査型電子顕微鏡(SEM)により測定した。すなわち、測定箇所の合計は、積層セラミックコンデンサ5個×領域3つ×セラミック層5層=75箇所である。最後に、75箇所の測定値の平均値を求め、セラミック層1層あたりの厚みとした。なお、内部電極層1層あたりの厚みも同様の方法により計測した。
実施例1〜16および比較例1〜13の調合組成は、それぞれ、表1(実験例1についての表)に示す通りである。これらの試料は、それぞれ、1種類の希土類元素Rを含有する。実施例17〜27の調合組成は、それぞれ、表2(実験例2についての表)に示す通りである。これらの試料は、それぞれ、2種類の希土類元素R1およびR2を含有する。なお、表1および2に示す各元素の含有量(モル部)は、Tiの含有量を100モル部としたときの数値である。
なお、上記した積層セラミックコンデンサの製造方法でも説明したように、Rは、希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種である。また、R1は、Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種である。また、R2は、Ce、Pr、Nd、Eu、Tm、LuおよびTbのうちの少なくとも1種である。また、Mは、Zr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種である。
また、表1および2に示す実施例1〜27および比較例1〜13の合計Ca含有量(モル部)とは、前添加Ca(すなわち、出発原料のCaCO3に含まれるCa)の含有量(モル部)と、後添加Ca(すなわち、添加成分のCaCO3に含まれるCa)の含有量(モル部)とを足した値である。つまり、前添加Caの含有量は、表1および2に示す合計Ca含有量から後添加Caの含有量を引いた値である。ここで、実施例1〜14および17〜27並びに比較例1〜11(すなわち、実施例15および16並びに比較例12および13を除く全ての試料)は、後添加Caの含有量が0.00モル部である。すなわち、これらの試料は、CaCO3の混合を前添加Caのみで行うことにより作製した。一方、実施例15、16は、それぞれ、後添加Caの含有量が5.00モル部、0.05モル部である。すなわち、これらの試料は、CaCO3の混合を前添加Caに加えて後添加Caでも行うことにより作製した。また、比較例12および13は、それぞれ、合計Ca含有量と、後添加Ca含有量とが等しい。すなわち、比較例12および13は、CaCO3の混合を前添加Caでは行わず、後添加Caのみで行うことにより作製した。比較例12および13は、このように作製したことにより、結晶粒子のコア部にCaが含まれない。
なお、各試料(実施例1〜27および比較例1〜13)の作製時において、出発原料を混合して熱処理することにより得られたチタン酸バリウムおよびチタン酸バリウムカルシウムの平均粒径は0.15μmであった。また、各試料の主成分であるチタン酸バリウムおよびチタン酸バリウムカルシウムは、上記した出発原料から固相合成法により作製した。また、各試料の積層体の作製において、生の積層体を焼成する際のH2−N2−H2Oガスからなる還元性雰囲気中の酸素分圧は、10-10MPaとした。また、各試料の積層体をXRD(X線回折)で構造解析したところ、主成分がチタン酸バリウム系のペロブスカイト型構造を有することが明らかとなった。
また、各試料(実施例1〜27および比較例1〜13)の外部電極を研磨により除去し、得られた積層体を溶解処理して溶液とし、この溶液をICP分析したところ、内部電極層の成分であるNiを除いて、表1および2に示す調合組成と殆ど同一であることを確認することができた。すなわち、表1および2に示す各元素の含有量(モル部)は、積層体を溶剤により溶解して得られた溶液における含有量であるということができる。
なお、実施例1〜27および比較例1〜11のセラミック層を無作為に10箇所薄層化し、STEM−EDS(透過型電子顕微鏡−エネルギー分散型X線分析)を用いて結晶粒子のコア部(中央部)(測定箇所10箇所)を観測したところ、いずれの測定箇所においてもその結晶粒子のコア部からCaが検出された。一方、比較例12および13のセラミック層は、結晶粒子のコア部からCaが検出されなかった。なお、STEMは、日本電子社製「JEM−2200FS」が用いられ、加速電圧は200kVとした。検出器EDSは、日本電子社製「JED−2300T」が用いられ、60mm2口径のSDD検出器を用いた。EDSシステムは、サーモフィッシャーサイエンティフィック社製「Noran System 7」が用いられた。
なお、比較例1および2は、合計Ca含有量が0.10モル部以上15.00モル部以下であるという本発明の条件を満たさない。また、比較例3〜5は、Mg含有量が0.0010モル部以上0.0097モル部以下であるという本発明の条件を満たさない。また、比較例6および7は、R含有量が0.50モル部以上4.00モル部以下であるという本発明の条件を満たさない。また、比較例8および9は、M含有量が0.10モル部以上2.00モル部以下であるという本発明の条件を満たさない。また、比較例10および11は、Si含有量が0.50モル部以上2.00モル部以下であるという本発明の条件を満たさない。また、比較例12および13は、前添加Caが0.00モル部であるため、結晶粒子のコア部にCaが含まれるという本発明の条件を満たさない。
(評価方法)
各試料(実施例1〜27および比較例1〜13)を100個ずつ作製し、それぞれに対して温度125℃で電圧16Vを印加し、絶縁抵抗の経時変化を観測した。絶縁抵抗が0.1MΩ以下になった試料を不良とした。
実験例1では、含有される希土類元素が1種類(R)である各試料(実施例1〜16および比較例1〜13)について、試験開始から1000時間後の不良個数を確認することにより、高温負荷寿命を評価するための指標とした。
実験例2では、含有される希土類元素が2種類(R1およびR2)である各試料(実施例17〜27)について、試験開始から1000時間後および2000時間後の不良個数を確認することにより、高温負荷寿命の指標とした。
(評価結果)
実験例1について、その評価結果および調合組成を表1に示す。
表1に示すように、実施例1〜16は、いずれも、1000時間後(h後)の不良が0個であった。一方、比較例1〜13は、1000時間後の不良が5個から70個までの範囲で存在した。この評価結果により、セラミック層を上記した本発明の調合組成とすることで、高温負荷寿命が向上することを確認できた。このように高温負荷寿命が向上する理由は、Mg含有量(モル部)が従来技術に比べて極端に少ないことによりNi−Mgの偏析相が生成されず、且つMg含有量が少ないことにより生じ得る異常粒成長などの悪影響をMg以外の元素(Ca、R、MおよびSi)が抑制しているためであると考えられる。なお、比較例12、13の不良個数は、それぞれ、51個、70個と特に多かった。これは、比較例12および13は、セラミック原料を作製する際の出発原料にCaCO3を含めなかったことにより、結晶粒子のコア部にCaが含まれないためであると考えられる。これにより、比較例12および13は、添加成分の固溶が促進されないため、酸素空孔移動の抑制効果が十分に発現せず、高温負荷寿命が低下していると推測される。
実験例2について、その評価結果および調合組成を表2に示す。
表2に示すように、実施例17〜25は、1000時間後(h後)および2000時間後の不良について、いずれも0個であった。この評価結果により、2種類の希土類元素R1およびR2を含有し、且つR1のモル部/R2のモル部の値が4.0以上である場合、高温負荷寿命がさらに向上することを確認できた。なお、実施例26および27は、1000時間後(h後)の不良がいずれも0個であり、2000時間後の不良がいずれも5個であった。すなわち、実施例26についてはR1に指定される元素を含有しないため、実施例27についてはR1のモル部/R2のモル部の値が4.0以上でないため、実施例1〜16と比較して高温負荷寿命が向上しなかった。しかしながら、実施例26および27についても、比較例1〜13や従来技術に比べると高温負荷寿命が向上した。
なお、本発明は積層セラミックコンデンサのサイズが小さくなるほど効果が大きくなる。特に、L方向の寸法0.6mm×W方向の寸法0.3mm×T方向の寸法0.3mm以下のサイズにおいて、効果が顕著となることが確認されている。
なお、この発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々に変形される。
10 積層セラミックコンデンサ
20 積層体
22a 第1の主面
22b 第2の主面
24a 第1の側面
24b 第2の側面
26a 第1の端面
26b 第2の端面
30 セラミック層
40a 第1の内部電極層
40b 第2の内部電極層
50a 第1の外部電極
50b 第2の外部電極
62 上部領域
64 中間領域
66 下部領域
B 基準線

Claims (7)

  1. ペロブスカイト構造を有する結晶粒子を含む複数のセラミック層および複数の内部電極層が積層されることにより形成された積層体と、前記積層体の表面に前記内部電極層と電気的に接続されるように形成された一対の外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサであって、
    前記セラミック層は、
    Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物と、
    Mgと、
    R(Rは希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種)と、
    M(MはZr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種)と、
    Siとを含有し、
    Tiの含有量を100モル部としたとき、
    Caが、0.10モル部以上15.00モル部以下、
    Mgが、0.0010モル部以上0.0097モル部以下、
    Rが、0.50モル部以上4.00モル部以下、
    Mが、0.10モル部以上2.00モル部以下、
    Siが、0.50モル部以上2.00モル部以下含まれ、
    且つ前記結晶粒子のコア部にCaが含まれるとともに、
    前記Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)と、R2(R2は希土類元素Ce、Pr、Nd、Eu、Tm、LuおよびTbのうちの少なくとも1種)とを有し、
    前記R1のモル部/前記R2のモル部の値が4.0以上であることを特徴とする、積層セラミックコンデンサ。
  2. ペロブスカイト構造を有する結晶粒子を含む複数のセラミック層および複数の内部電極層が積層されることにより形成された積層体と、前記積層体の表面に前記内部電極層と電気的に接続されるように形成された一対の外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサであって、
    前記積層体は、
    Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物と、
    Mgと、
    R(Rは希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種)と、
    M(MはZr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種)と、
    Siとを含有し、
    Tiの含有量を100モル部としたとき、
    Caが、0.10モル部以上15.00モル部以下、
    Mgが、0.0010モル部以上0.0097モル部以下、
    Rが、0.50モル部以上4.00モル部以下、
    Mが、0.10モル部以上2.00モル部以下、
    Siが、0.50モル部以上2.00モル部以下含まれ、
    且つ前記結晶粒子のコア部にCaが含まれるとともに、
    前記Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)と、R2(R2は希土類元素Ce、Pr、Nd、Eu、Tm、LuおよびTbのうちの少なくとも1種)とを有し、
    前記R1のモル部/前記R2のモル部の値が4.0以上であることを特徴とする、積層セラミックコンデンサ。
  3. ペロブスカイト構造を有する結晶粒子を含む複数のセラミック層および複数の内部電極層が積層されることにより形成された積層体と、前記積層体の表面に前記内部電極層と電気的に接続されるように形成された一対の外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサであって、
    前記積層体は、
    Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物と、
    Mgと、
    R(Rは希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種)と、
    M(MはZr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種)と、
    Siとを含有し、
    前記積層体を溶剤によって溶解した際のTiの含有量を100モル部としたとき、
    Caが、0.10モル部以上15.00モル部以下、
    Mgが、0.0010モル部以上0.0097モル部以下、
    Rが、0.50モル部以上4.00モル部以下、
    Mが、0.10モル部以上2.00モル部以下、
    Siが、0.50モル部以上2.00モル部以下含まれ、
    且つ前記結晶粒子のコア部にCaが含まれるとともに、
    前記Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)と、R2(R2は希土類元素Ce、Pr、Nd、Eu、Tm、LuおよびTbのうちの少なくとも1種)とを有し、
    前記R1のモル部/前記R2のモル部の値が4.0以上であることを特徴とする、積層セラミックコンデンサ。
  4. 前記Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)である、請求項1〜3のいずれかに記載の積層セラミックコンデンサ。
  5. Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物を主成分とする粉末と、Mg化合物と、Rの化合物(Rは希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種)と、Mの化合物(MはZr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種)と、Si化合物とを混合することによりセラミックスラリーを得る工程と、
    前記セラミックスラリーをシート成形することによりセラミックグリーンシートを得る工程と、
    前記セラミックグリーンシートと、前記セラミックグリーンシートに内部電極パターンが形成されたセラミックグリーンシートとを積層することにより積層体ブロックを形成し、前記積層体ブロックをカットすることにより生の積層体を得る工程と、
    前記生の積層体を焼成することにより、Niを含む内部電極層が形成された積層体を得る工程とを備え、
    前記セラミックスラリーにおけるTiの含有量を100モル部としたとき、
    Caが、0.10モル部以上15.00モル部以下、
    Mgが、0.0010モル部以上0.0097モル部以下、
    Rが、0.50モル部以上4.00モル部以下、
    Mが、0.10モル部以上2.00モル部以下、
    Siが、0.50モル部以上2.00モル部以下含まれるとともに、
    前記Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)と、R2(R2は希土類元素Ce、Pr、Nd、Eu、Tm、LuおよびTbのうちの少なくとも1種)とを含み、
    前記R1のモル部/前記R2のモル部の値が4.0以上であることを特徴とする、積層セラミックコンデンサの製造方法。
  6. 前記セラミックスラリーを得る工程において、前記Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物を主成分とする粉末に、Ca化合物をさらに混合する、請求項に記載の積層セラミックコンデンサの製造方法。
  7. 前記Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)である、請求項またはに記載の積層セラミックコンデンサの製造方法。
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