JP6707850B2 - 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 - Google Patents
積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6707850B2 JP6707850B2 JP2015241711A JP2015241711A JP6707850B2 JP 6707850 B2 JP6707850 B2 JP 6707850B2 JP 2015241711 A JP2015241711 A JP 2015241711A JP 2015241711 A JP2015241711 A JP 2015241711A JP 6707850 B2 JP6707850 B2 JP 6707850B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- parts
- mole
- less
- rare earth
- mol
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 title claims description 54
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 78
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 claims description 38
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 27
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims description 24
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 20
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 229910052765 Lutetium Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 229910052775 Thulium Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 19
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 229910052689 Holmium Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims description 10
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 8
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 6
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 5
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 2
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 58
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 15
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 10
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 7
- 229910052789 astatine Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 6
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 5
- JXDXDSKXFRTAPA-UHFFFAOYSA-N calcium;barium(2+);oxygen(2-);titanium(4+) Chemical compound [O-2].[Ca+2].[Ti+4].[Ba+2] JXDXDSKXFRTAPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 5
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 5
- 229910018505 Ni—Mg Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 4
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 4
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 4
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 238000010532 solid phase synthesis reaction Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 102000004190 Enzymes Human genes 0.000 description 1
- 108090000790 Enzymes Proteins 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FQNGWRSKYZLJDK-UHFFFAOYSA-N [Ca].[Ba] Chemical compound [Ca].[Ba] FQNGWRSKYZLJDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000002149 energy-dispersive X-ray emission spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001027 hydrothermal synthesis Methods 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910001404 rare earth metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 1
- 238000012916 structural analysis Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/018—Dielectrics
- H01G4/06—Solid dielectrics
- H01G4/08—Inorganic dielectrics
- H01G4/12—Ceramic dielectrics
- H01G4/1209—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material
- H01G4/1218—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on titanium oxides or titanates
- H01G4/1227—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material based on titanium oxides or titanates based on alkaline earth titanates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/30—Stacked capacitors
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/46—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates
- C04B35/462—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates
- C04B35/465—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates based on alkaline earth metal titanates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/46—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates
- C04B35/462—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates
- C04B35/475—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates based on bismuth titanates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B3/00—Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties
- H01B3/02—Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties mainly consisting of inorganic substances
- H01B3/12—Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties mainly consisting of inorganic substances ceramics
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/005—Electrodes
- H01G4/012—Form of non-self-supporting electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/018—Dielectrics
- H01G4/06—Solid dielectrics
- H01G4/08—Inorganic dielectrics
- H01G4/12—Ceramic dielectrics
- H01G4/1209—Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/002—Details
- H01G4/228—Terminals
- H01G4/232—Terminals electrically connecting two or more layers of a stacked or rolled capacitor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Description
この発明の他の目的は、セラミック層の薄層化を図りつつ、十分な高温負荷寿命を有した積層セラミックコンデンサの製造方法を提供することである。
この発明に係る積層セラミックコンデンサは、ペロブスカイト構造を有する結晶粒子を含む複数のセラミック層および複数の内部電極層が積層されることにより形成された積層体と、積層体の表面に内部電極層と電気的に接続されるように形成された一対の外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサであって、積層体は、Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物と、Mgと、R(Rは希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種)と、M(MはZr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種)と、Siとを含有し、Tiの含有量を100モル部としたとき、Caが、0.10モル部以上15.00モル部以下、Mgが、0.0010モル部以上0.0097モル部以下、Rが、0.50モル部以上4.00モル部以下、Mが、0.10モル部以上2.00モル部以下、Siが、0.50モル部以上2.00モル部以下含まれ、且つ結晶粒子のコア部にCaが含まれることを特徴とする。
この発明に係る積層セラミックコンデンサは、ペロブスカイト構造を有する結晶粒子を含む複数のセラミック層および複数の内部電極層が積層されることにより形成された積層体と、積層体の表面に内部電極層と電気的に接続されるように形成された一対の外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサであって、積層体は、Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物と、Mgと、R(Rは希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種)と、M(MはZr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種)と、Siとを含有し、積層体を溶剤によって溶解した際のTiの含有量を100モル部としたとき、Caが、0.10モル部以上15.00モル部以下、Mgが、0.0010モル部以上0.0097モル部以下、Rが、0.50モル部以上4.00モル部以下、Mが、0.10モル部以上2.00モル部以下、Siが、0.50モル部以上2.00モル部以下含まれ、且つ結晶粒子のコア部にCaが含まれることを特徴とする。
好ましくは、Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)である。
好ましくは、Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)と、R2(R2は希土類元素Ce、Pr、Nd、Eu、Tm、LuおよびTbのうちの少なくとも1種)とを有し、R1のモル部/R2のモル部の値が4.0以上であることを特徴とする。
この発明に係る積層セラミックコンデンサの製造方法は、Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物を主成分とする粉末と、Mg化合物と、Rの化合物(Rは希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種)と、Mの化合物(MはZr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種)と、Si化合物とを混合することによりセラミックスラリーを得る工程と、セラミックスラリーをシート成形することによりセラミックグリーンシートを得る工程と、セラミックグリーンシートと、セラミックグリーンシートに内部電極パターンが形成されたセラミックグリーンシートとを積層することにより積層体ブロックを形成し、積層体ブロックをカットすることにより生の積層体を得る工程と、生の積層体を焼成することにより、Niを含む内部電極層が形成された積層体を得る工程とを備え、セラミックスラリーにおけるTiの含有量を100モル部としたとき、Caが、0.10モル部以上15.00モル部以下、Mgが、0.0010モル部以上0.0097モル部以下、Rが、0.50モル部以上4.00モル部以下、Mが、0.10モル部以上2.00モル部以下、Siが、0.50モル部以上2.00モル部以下含まれることを特徴とする。
好ましくは、セラミックスラリーを得る工程において、Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物を主成分とする粉末に、Ca化合物をさらに混合する。
好ましくは、Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)である。
好ましくは、Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)と、R2(R2は希土類元素Ce、Pr、Nd、Eu、Tm、LuおよびTbのうちの少なくとも1種)とを含み、R1のモル部/R2のモル部の値が4.0以上であることを特徴とする。
また、この発明によれば、セラミック層の薄層化を図りつつ、十分な高温負荷寿命を有した積層セラミックコンデンサを製造し得る。
以下、図面を参照してこの発明の一実施の形態に係る積層セラミックコンデンサについて説明する。図1は、この発明の一実施の形態に係る積層セラミックコンデンサを示す外観斜視図である。図2は、この発明の一実施の形態に係る積層セラミックコンデンサを示す図1のII−II断面図である。
積層体20は、複数のセラミック層30と、複数の第1の内部電極層40aと、複数の第2の内部電極層40bとが積層されることにより直方体状に形成される。すなわち、積層体20は、積層方向(T方向)において相対する第1の主面22aおよび第2の主面22bと、T方向に直交する幅方向(W方向)において相対する第1の側面24aおよび第2の側面24bと、T方向およびW方向に直交する長さ方向(L方向)において相対する第1の端面26aおよび第2の端面26bとを含む。積層体20は、そのコーナー部および稜部に丸みを形成されることが好ましい。また、積層体20の直方体状は、第1および第2の主面22a、22b、第1および第2の側面24a、24b、並びに第1および第2の端面26a、26bを含む形状であれば特に限定されない。
第1の内部電極層40aは、セラミック層30の界面を平板状に延び、その端部が積層体20の第1の端面26aに露出する。一方、第2の内部電極層40bは、セラミック層30を介して第1の内部電極層40aと対向するようにセラミック層30の界面を平板状に延び、その端部が積層体20の第2の端面26bに露出する。したがって、第1および第2の内部電極層40a、40bは、セラミック層30を介して互いに対向する対向部と、第1および第2の端面26a、26bに引き出された引出し部とを有する。第1および第2の内部電極層40a、40bがセラミック層30を介して互いに対向することにより静電容量が発生する。
第1の外部電極50aは、積層体20の第1の端面26aに形成され、そこから第1および第2の主面22a、22bそれぞれの一部、並びに第1および第2の側面24a、24bそれぞれの一部に至るように形成される。なお、第1の外部電極50aは、積層体20の第1の端面26aにのみ形成されてもよい。第1の外部電極50aは、積層体20の第1の端面26aにおいて第1の内部電極層40aと電気的に接続される。一方、第2の外部電極50bは、積層体20の第2の端面26bに形成され、そこから第1および第2の主面22a、22bそれぞれの一部、並びに第1および第2の側面24a、24bそれぞれの一部に至るように形成される。なお、第2の外部電極50bは、積層体20の第2の端面26bにのみ形成されてもよい。第2の外部電極50bは、積層体20の第2の端面26bにおいて第2の内部電極層40bと電気的に接続される。
セラミック層30は、第1の内部電極層40aと第2の内部電極層40bとの間に挟まれてT方向に積層される。
この実施の形態に係る積層セラミックコンデンサ10は、セラミック層30(または積層体20)のMg含有量が、Tiを100モル部としたとき、0.0010モル部以上0.0097モル部以下であり、従来技術と比較して極端に少ない。これにより、Ni−Mgの偏析相が生成されることを抑制できる。また、Mg含有量を少なくすることにより生じ得る異常粒成長などの悪影響が、セラミック層30(または積層体20)に含有されるMg以外の元素(Ca、R、MおよびSi)により抑制される。その結果、この実施の形態に係る積層セラミックコンデンサ10は、十分な高温負荷寿命を有する。
この発明に係る積層セラミックコンデンサの製造方法について、上記した実施の形態に係る積層セラミックコンデンサ10を例にして説明する。はじめにセラミック原料(誘電体原料配合物)を作製する工程について説明し、その後、積層セラミックコンデンサを作製する工程について説明する。
まず、出発原料としてBaCO3、CaCO3およびTiO2の粉末を準備し、含有量(モル部)で(Ba+Ca):Ti=1:1となるように所定量秤量する。
上記のようにして得たセラミック原料にポリビニルブチラール系バインダ、可塑剤および有機溶剤としてのエタノールを加え、これらをボールミルにより湿式混合し、セラミックスラリーを得る。
以下、この発明の効果を確認するために発明者らが行った実験例1および2について説明する。実験例1および2では、上記した積層セラミックコンデンサの製造方法にしたがって実施例1〜27および比較例1〜13の試料を作製し、それぞれの高温負荷寿命を評価した。
実施例1〜27および比較例1〜13のスペックは次の通りである。なお、各数値とも実測値である。
T方向の寸法:1.25mm(一対の外部電極を含む。)
W方向の寸法:1.25mm(同上)
L方向の寸法:2.0mm(同上)
セラミック層の1層あたりの厚み:平均3.0μm
内部電極層の1層あたりの厚み:平均0.6μm
有効セラミック層の積層数:300層
有効セラミック層の1層あたりの対向部の面積:平均1.6mm2
なお、セラミック層1層あたりの厚みは、次のようにして計測した。図3は、この発明の一実施の形態に係る積層セラミックコンデンサが備えるセラミック層の厚みの計測方法を説明するための概略図である。なお、図3では第1および第2の外部電極50a、50bの記載を省略してある。まず、実施例1〜27および比較例1〜13(積層セラミックコンデンサ10)をそれぞれ5個ずつ準備した。次に、積層セラミックコンデンサ10のL方向とT方向からなる面(以下「LT面」という)をW方向の寸法が約1/2になるまで研磨機を用いて研磨した。さらに、第1および第2の内部電極層40a、40bのダレを無くすため、研磨したLT面をイオンミリングにより加工した。そして、研磨したLT面において、L方向の約1/2の位置で第1および第2の内部電極層40a、40bにほぼ直交して延びる基準線B(すなわち、L方向の略中央をT方向に沿って延びる図3中に一点鎖線で示した中心線)を定めた。次に、基準線Bおよびその近傍において、第1および第2の内部電極層40a、40bが積層された領域をT方向に3等分し、上部領域62、中間領域64、下部領域66とした。さらに、上部領域62、中間領域64、下部領域66それぞれにおいて、セラミック層30を無作為に5層ずつ選び、5層それぞれの基準線B上の厚みを走査型電子顕微鏡(SEM)により測定した。すなわち、測定箇所の合計は、積層セラミックコンデンサ5個×領域3つ×セラミック層5層=75箇所である。最後に、75箇所の測定値の平均値を求め、セラミック層1層あたりの厚みとした。なお、内部電極層1層あたりの厚みも同様の方法により計測した。
各試料(実施例1〜27および比較例1〜13)を100個ずつ作製し、それぞれに対して温度125℃で電圧16Vを印加し、絶縁抵抗の経時変化を観測した。絶縁抵抗が0.1MΩ以下になった試料を不良とした。
実験例1について、その評価結果および調合組成を表1に示す。
20 積層体
22a 第1の主面
22b 第2の主面
24a 第1の側面
24b 第2の側面
26a 第1の端面
26b 第2の端面
30 セラミック層
40a 第1の内部電極層
40b 第2の内部電極層
50a 第1の外部電極
50b 第2の外部電極
62 上部領域
64 中間領域
66 下部領域
B 基準線
Claims (7)
- ペロブスカイト構造を有する結晶粒子を含む複数のセラミック層および複数の内部電極層が積層されることにより形成された積層体と、前記積層体の表面に前記内部電極層と電気的に接続されるように形成された一対の外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサであって、
前記セラミック層は、
Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物と、
Mgと、
R(Rは希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種)と、
M(MはZr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種)と、
Siとを含有し、
Tiの含有量を100モル部としたとき、
Caが、0.10モル部以上15.00モル部以下、
Mgが、0.0010モル部以上0.0097モル部以下、
Rが、0.50モル部以上4.00モル部以下、
Mが、0.10モル部以上2.00モル部以下、
Siが、0.50モル部以上2.00モル部以下含まれ、
且つ前記結晶粒子のコア部にCaが含まれるとともに、
前記Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)と、R2(R2は希土類元素Ce、Pr、Nd、Eu、Tm、LuおよびTbのうちの少なくとも1種)とを有し、
前記R1のモル部/前記R2のモル部の値が4.0以上であることを特徴とする、積層セラミックコンデンサ。 - ペロブスカイト構造を有する結晶粒子を含む複数のセラミック層および複数の内部電極層が積層されることにより形成された積層体と、前記積層体の表面に前記内部電極層と電気的に接続されるように形成された一対の外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサであって、
前記積層体は、
Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物と、
Mgと、
R(Rは希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種)と、
M(MはZr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種)と、
Siとを含有し、
Tiの含有量を100モル部としたとき、
Caが、0.10モル部以上15.00モル部以下、
Mgが、0.0010モル部以上0.0097モル部以下、
Rが、0.50モル部以上4.00モル部以下、
Mが、0.10モル部以上2.00モル部以下、
Siが、0.50モル部以上2.00モル部以下含まれ、
且つ前記結晶粒子のコア部にCaが含まれるとともに、
前記Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)と、R2(R2は希土類元素Ce、Pr、Nd、Eu、Tm、LuおよびTbのうちの少なくとも1種)とを有し、
前記R1のモル部/前記R2のモル部の値が4.0以上であることを特徴とする、積層セラミックコンデンサ。 - ペロブスカイト構造を有する結晶粒子を含む複数のセラミック層および複数の内部電極層が積層されることにより形成された積層体と、前記積層体の表面に前記内部電極層と電気的に接続されるように形成された一対の外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサであって、
前記積層体は、
Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物と、
Mgと、
R(Rは希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種)と、
M(MはZr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種)と、
Siとを含有し、
前記積層体を溶剤によって溶解した際のTiの含有量を100モル部としたとき、
Caが、0.10モル部以上15.00モル部以下、
Mgが、0.0010モル部以上0.0097モル部以下、
Rが、0.50モル部以上4.00モル部以下、
Mが、0.10モル部以上2.00モル部以下、
Siが、0.50モル部以上2.00モル部以下含まれ、
且つ前記結晶粒子のコア部にCaが含まれるとともに、
前記Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)と、R2(R2は希土類元素Ce、Pr、Nd、Eu、Tm、LuおよびTbのうちの少なくとも1種)とを有し、
前記R1のモル部/前記R2のモル部の値が4.0以上であることを特徴とする、積層セラミックコンデンサ。 - 前記Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)である、請求項1〜3のいずれかに記載の積層セラミックコンデンサ。
- Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物を主成分とする粉末と、Mg化合物と、Rの化合物(Rは希土類元素La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、LuおよびYのうちの少なくとも1種)と、Mの化合物(MはZr、Mn、Co、Fe、Cr、Cu、Al、V、MoおよびWのうちの少なくとも1種)と、Si化合物とを混合することによりセラミックスラリーを得る工程と、
前記セラミックスラリーをシート成形することによりセラミックグリーンシートを得る工程と、
前記セラミックグリーンシートと、前記セラミックグリーンシートに内部電極パターンが形成されたセラミックグリーンシートとを積層することにより積層体ブロックを形成し、前記積層体ブロックをカットすることにより生の積層体を得る工程と、
前記生の積層体を焼成することにより、Niを含む内部電極層が形成された積層体を得る工程とを備え、
前記セラミックスラリーにおけるTiの含有量を100モル部としたとき、
Caが、0.10モル部以上15.00モル部以下、
Mgが、0.0010モル部以上0.0097モル部以下、
Rが、0.50モル部以上4.00モル部以下、
Mが、0.10モル部以上2.00モル部以下、
Siが、0.50モル部以上2.00モル部以下含まれるとともに、
前記Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)と、R2(R2は希土類元素Ce、Pr、Nd、Eu、Tm、LuおよびTbのうちの少なくとも1種)とを含み、
前記R1のモル部/前記R2のモル部の値が4.0以上であることを特徴とする、積層セラミックコンデンサの製造方法。 - 前記セラミックスラリーを得る工程において、前記Ba、CaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物を主成分とする粉末に、Ca化合物をさらに混合する、請求項5に記載の積層セラミックコンデンサの製造方法。
- 前記Rは、R1(R1は希土類元素Y、Dy、Gd、La、Ho、Er、SmおよびYbのうちの少なくとも1種)である、請求項5または6に記載の積層セラミックコンデンサの製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015241711A JP6707850B2 (ja) | 2015-12-11 | 2015-12-11 | 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 |
KR1020160164890A KR101932416B1 (ko) | 2015-12-11 | 2016-12-06 | 적층 세라믹 콘덴서 및 그 제조 방법 |
CN201611113958.7A CN106876135B (zh) | 2015-12-11 | 2016-12-06 | 层叠陶瓷电容器及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015241711A JP6707850B2 (ja) | 2015-12-11 | 2015-12-11 | 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017108032A JP2017108032A (ja) | 2017-06-15 |
JP6707850B2 true JP6707850B2 (ja) | 2020-06-10 |
Family
ID=59059914
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015241711A Active JP6707850B2 (ja) | 2015-12-11 | 2015-12-11 | 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6707850B2 (ja) |
KR (1) | KR101932416B1 (ja) |
CN (1) | CN106876135B (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102433617B1 (ko) * | 2019-06-28 | 2022-08-18 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 적층형 전자부품 및 적층형 전자부품의 제조 방법 |
KR20210084284A (ko) * | 2019-12-27 | 2021-07-07 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 적층 세라믹 콘덴서 |
JP2021150301A (ja) * | 2020-03-16 | 2021-09-27 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックコンデンサ |
KR20220059823A (ko) | 2020-11-03 | 2022-05-10 | 삼성전기주식회사 | 유전체 조성물 및 이를 포함하는 적층형 커패시터 |
JP2022122129A (ja) * | 2021-02-09 | 2022-08-22 | Tdk株式会社 | 誘電体組成物、電子部品および積層電子部品 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW242191B (ja) * | 1991-06-05 | 1995-03-01 | Taiyo Yuden Kk | |
JP4048808B2 (ja) * | 2002-03-25 | 2008-02-20 | 株式会社村田製作所 | 誘電体セラミック組成物および積層セラミック電子部品 |
KR100631995B1 (ko) * | 2005-07-28 | 2006-10-09 | 삼성전기주식회사 | 저온 소성용 유전체 자기조성물 및 이를 이용한 적층세라믹 콘덴서 |
CN101595074B (zh) * | 2007-01-29 | 2012-11-21 | 京瓷株式会社 | 电介体瓷器及电容器 |
WO2009001597A1 (ja) * | 2007-06-26 | 2008-12-31 | Kyocera Corporation | 誘電体磁器およびコンデンサ |
JP5094494B2 (ja) * | 2008-03-26 | 2012-12-12 | 京セラ株式会社 | 積層セラミックコンデンサ |
JP5370212B2 (ja) * | 2010-02-24 | 2013-12-18 | 株式会社村田製作所 | 誘電体セラミックおよび積層セラミックコンデンサ |
KR101464185B1 (ko) * | 2011-02-14 | 2014-11-21 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 적층 세라믹 콘덴서 및 적층 세라믹 콘덴서의 제조방법 |
CN103597562B (zh) * | 2011-08-23 | 2016-07-06 | 株式会社村田制作所 | 层叠陶瓷电容器以及层叠陶瓷电容器的制造方法 |
KR101942718B1 (ko) * | 2011-11-21 | 2019-01-29 | 삼성전기 주식회사 | 페롭스카이트 분말, 이의 제조방법 및 이를 이용한 적층 세라믹 전자부품 |
CN104205267B (zh) * | 2012-03-30 | 2017-05-31 | 太阳诱电株式会社 | 层叠陶瓷电容器 |
CN104395977B (zh) * | 2012-07-10 | 2017-09-15 | 株式会社村田制作所 | 层叠陶瓷电容器以及其制造方法 |
-
2015
- 2015-12-11 JP JP2015241711A patent/JP6707850B2/ja active Active
-
2016
- 2016-12-06 CN CN201611113958.7A patent/CN106876135B/zh active Active
- 2016-12-06 KR KR1020160164890A patent/KR101932416B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106876135B (zh) | 2018-11-09 |
JP2017108032A (ja) | 2017-06-15 |
CN106876135A (zh) | 2017-06-20 |
KR20170069928A (ko) | 2017-06-21 |
KR101932416B1 (ko) | 2018-12-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101729284B1 (ko) | 적층 세라믹 콘덴서 및 적층 세라믹 콘덴서의 제조방법 | |
US10062509B2 (en) | Multilayer ceramic capacitor and manufacturing method therefor | |
US8582277B2 (en) | Laminated type ceramic electronic parts | |
JP5811103B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサ及び積層セラミックコンデンサの製造方法 | |
US9440885B2 (en) | Dielectric ceramic composition and electronic component | |
TWI399766B (zh) | 積層陶瓷電容器及其製法 | |
JP4805938B2 (ja) | 誘電体磁器およびその製法、並びに積層セラミックコンデンサ | |
KR101494851B1 (ko) | 적층 세라믹 콘덴서 및 적층 세라믹 콘덴서의 제조방법 | |
JP5224147B2 (ja) | 誘電体セラミック、及び積層セラミックコンデンサ | |
JP4831142B2 (ja) | 誘電体セラミックおよび積層セラミックコンデンサ | |
JP5211262B1 (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
JP6707850B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 | |
JP5804064B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサの製造方法 | |
JP2020155523A (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
WO2014097678A1 (ja) | 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 | |
JP5919847B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
JP5409443B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
JPWO2008010412A1 (ja) | 誘電体セラミック及びその製造方法、並びに積層セラミックコンデンサ | |
JP2018022750A (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
JP4697582B2 (ja) | 誘電体セラミック及び誘電体セラミックの製造方法、並びに積層セラミックコンデンサ | |
JPWO2014010376A1 (ja) | 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 | |
WO2012035935A1 (ja) | 誘電体セラミック、積層セラミックコンデンサ、及びこれらの製造方法 | |
JP5857570B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
KR20130115317A (ko) | 적층 세라믹 콘덴서 | |
JP2006036606A (ja) | 誘電体セラミック、誘電体セラミックの製造方法、及び積層セラミックコンデンサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180911 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190522 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190618 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20200107 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200303 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20200310 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200421 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200504 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6707850 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |