JP6690532B2 - 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法に関する。

従来、プリント配線板の製造分野において、エッチング処理又はめっき処理等に用いられるレジスト材料として感光性樹脂組成物、及び感光性樹脂組成物を用いて得られる感光性樹脂層と支持体と保護層とを有する感光性エレメントが広く用いられている。

プリント配線板は、上記感光性エレメントを回路形成用基板上にラミネートし、前記感光性樹脂層をパターン状に露光した後、未露光部を現像液で除去してレジストパターンを形成し、エッチング処理又はめっき処理を施して基板上に回路を形成した後、露光部である硬化部分を基板上から剥離して除去する方法によって製造されている。

上記現像液としては、環境性及び安全性の見地から、炭酸ナトリウム水溶液、炭酸水素ナトリウム水溶液等のアルカリ現像液が主流となっている。感光性樹脂層の未露光部分は、これら現像液による現像及び水洗のスプレー圧により、基板から除去される。したがって、感光性樹脂組成物には、露光後、現像及び水洗のスプレー圧によって破損しない、優れたテント信頼性（テンティング性）を有する硬化膜（レジストパターン）を形成可能であることが求められる。

優れたテント信頼性を有するためには感光性樹脂組成物から形成される硬化膜の柔軟性を高めることが効果的である。しかし、従来の親水性の高い材料を用いて、硬化膜の柔軟性を高めると、硬化膜の耐アルカリ性低下による解像性低下、エッチング耐性低下によるエッチングもぐりが発生する問題があった。例えば、特開昭６１−２２８００７号公報及び特開２０１３−８３７８５号公報に記載の感光性樹脂組成物を用いた場合でも感光性樹脂組成物の酸価が適正でないこと、光重合性化合物の分子量が適正でないこと等の理由から、解像性、エッチング耐性及びテント信頼性に改善の余地があった。

さらに、最近ではマスクを必要とせず、ＣＡＤ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ−ａｉｄｅｄ ｄｅｓｉｇｎ）で作製したパターンをレーザー光により直接描画する方法として、ＬＤＩ（Ｌａｓｅｒ Ｄｉｒｅｃｔ Ｉｍａｇｉｎｇ）方式への対応が強く望まれている。しかしながら、スループットの観点から、より少ない露光量での使用が求められるＬＤＩ方式に用いられるレジスト材料には、低露光量及び低硬化度での耐アルカリ性・エッチング耐性が要求されるため剛直な骨格の材料が用いられる。このため、硬化膜の柔軟性が必要なテント信頼性には不利であり、ＬＤＩ方式に使用されるレジストとして高スループット、高解像性、エッチング耐性、及び高テント信頼性を併せ持つレジストはこれまで開発されていなかった。例えば、特開２００６−２３４９９５号公報、特開２００７−１２２０２８号公報、国際公開第２００８／０７８４８３号、特開２００９−６９４６５号公報及び国際公開第２０１０／１０３９１８号に記載の感光性樹脂組成物を用いた場合でも、得られるレジストの解像性、テント信頼性及びエッチング耐性のいずれかに改善の余地があった。

そこで本発明は、低露光量でもレジストパターンを形成することが可能であり、形成される硬化膜のテント信頼性及びエッチング耐性に優れる感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。また、上記感光性樹脂組成物を用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法を提供することを目的とする。

前記課題を解決するための具体的手段には、以下の実施態様が含まれる。
＜１＞（Ａ）成分：バインダーポリマーと、（Ｂ）成分：光重合性化合物と、（Ｃ）成分：光重合開始剤と、（Ｄ）成分：〔−（Ｃ_４Ｈ_８Ｏ）_ｎ−：ｎは２以上の数〕を構造単位として有し、（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分からなる群より選択される少なくとも１種の一部または全てに相当してもよいポリテトラメチレンオキサイド化合物と、を含有し、感光性樹脂組成物の不揮発分の酸価が１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満である、感光性樹脂組成物。

＜２＞前記ポリテトラメチレンオキサイド化合物の重量平均分子量が１０００以上である、＜１＞に記載の感光性樹脂組成物。

＜３＞前記（Ｂ）成分の一部または全てがポリテトラメチレンオキサイド化合物である、＜１＞又は＜２＞に記載の感光性樹脂組成物。

＜４＞前記（Ｂ）成分の総量中のポリテトラメチレンオキサイド化合物の含有率が２０質量％〜５０質量％である、＜３＞に記載の感光性樹脂組成物。

＜５＞前記（Ｂ）成分の一部または全てであるポリテトラメチレンオキサイド化合物がポリテトラメチレングリコールジ（メタ）アクリレートである、＜３＞又は＜４＞に記載の感光性樹脂組成物。

＜６＞前記ポリテトラメチレングリコールジ（メタ）アクリレートがポリテトラメチレングリコールジメタクリレートである、＜５＞に記載の感光性樹脂組成物。

＜７＞支持体と、＜１＞〜＜６＞のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を用いて前記支持体上に形成される感光性樹脂層と、
を有する感光性エレメント。

＜８＞＜１＞〜＜６＞のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物又は＜７＞に記載の感光性エレメントを用いて、感光性樹脂層を基板上に形成する感光性樹脂層形成工程と、前記感光性樹脂層の少なくとも一部の領域に活性光線を照射して、前記領域を硬化させる露光工程と、前記感光性樹脂層の前記領域以外の未露光部分を前記基板から除去する現像工程と、を有するレジストパターンの形成方法。

＜９＞＜８＞に記載の方法によりレジストパターンが形成された基板をエッチング又はめっきする工程を含む、プリント配線板の製造方法。

本発明によれば、低露光量でもレジストパターンを形成でき、形成される硬化膜のテント信頼性及びエッチング耐性に優れる感光性樹脂組成物を提供することが可能となる。また、上記感光性樹脂組成物を用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法を提供することが可能となる。

本発明の感光性エレメントの一実施形態を示す端面図である。 本発明の感光性エレメントを用いる多層プリント配線基板の製造方法の一例を示す工程図である。 テント信頼性の評価に用いる穴破れ数測定用基板の上面図である。

以下、必要に応じて図面を参照しつつ、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。但し、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。なお、図面中、同一要素には同一符号を付すこととし、重複する説明は省略する。また、図面の寸法比率は図示の比率に限られるものではない。

本明細書における「（メタ）アクリル酸」とは「アクリル酸」及び「メタクリル酸」の少なくとも一方を意味し、「（メタ）アクリレート」とは「アクリレート」及びそれに対応する「メタクリレート」の少なくとも一方を意味し、「（メタ）アクリロイル基」とは「アクリロイル基」及び「メタクリロイル基」の少なくとも一方を意味する。「ポリテトラメチレンオキサイド」とは、〔−（Ｃ_４Ｈ_８Ｏ）_ｎ−：ｎは２以上の数〕で表される構造単位を意味する。構造単位数は、対応する構造単位が、分子中にどの程度付加されているかを示すものである。したがって、単一の分子については整数値を示すが、複数種の分子の集合体としては平均値である有理数を示す。「不揮発分」とは、水分、後述する有機溶剤等の揮発する物質以外の組成物中の成分を意味する。ここで、揮発する物質とは、沸点が大気圧下で１５５℃以下である物質のことを意味する。「（Ａ）成分の総量」及び「（Ｂ）成分の総量」は、不揮発分のみの総量を意味する。

本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の目的が達成されれば、本用語に含まれる。また「〜」を用いて示された数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値及び最大値として含む範囲を示す。更に組成物中の各成分の含有量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数の物質の合計量を意味する。また、本明細書中に段階的に記載されている数値範囲において、ある段階の数値範囲の上限値又は下限値は、他の段階の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本明細書中に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。「層」との語は、平面図として観察したときに、全面に形成されている形状の構成に加え、一部に形成されている形状の構成も包含される。「積層」との語は、層を積み重ねることを示し、二以上の層が結合されていてもよく、二以上の層が着脱可能であってもよい。

＜感光性樹脂組成物＞
本実施形態の感光性樹脂組成物は、（Ａ）成分：バインダーポリマーと、（Ｂ）成分：光重合性化合物と、（Ｃ）成分：光重合開始剤と、（Ｄ）成分：ポリテトラメチレンオキサイド〔−（Ｃ_４Ｈ_８Ｏ）_ｎ−：ｎは２以上の数〕を構造単位として有し、（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分からなる群より選択される少なくとも１種の一部または全てに相当してもよい化合物と、を含有し、感光性樹脂組成物の不揮発分の酸価が１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満である。前記感光性樹脂組成物は、必要に応じてその他の成分を更に含んでもよい。

感光性樹脂組成物が（Ｄ）成分としてポリテトラメチレンオキサイドを構造単位として有する化合物（以下、ポリテトラメチレンオキサイド化合物ともいう）を含有し、感光性樹脂組成物の不揮発分の酸価が１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満であることにより、低露光量でもレジストパターンを形成することが可能であり、形成される硬化膜のテント信頼性及びエッチング耐性に優れる感光性樹脂組成物とすることができる。その理由について、本発明者らは以下のように推察する。

ポリテトラメチレンオキサイド化合物は、柔軟性の高いポリテトラメチレンオキサイドを構造単位として有している。そのため、ポリテトラメチレンオキサイド化合物を含む感光性樹脂組成物を用いることで、形成されるレジストパターンに適度な柔軟性が付与される。このため、レジストパターン内部に応力集中が起こりにくく、テント信頼性が向上すると考えられる。また、ポリテトラメチレンオキサイド化合物が有しているポリテトラメチレンオキサイドの構造単位は、疎水性が高いといえる。そのため、ポリテトラメチレンオキサイド化合物を含む感光性樹脂組成物を用いることで、形成されるレジストパターンの耐酸性が向上し、エッチング耐性に優れるものとなると考えられる。

さらに、感光性樹脂組成物の不揮発分の酸価が１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満であることにより、現像液耐性に優れる感光性樹脂組成物となり、形成される硬化膜のテント信頼性及びエッチング耐性に優れるものとなると考えられる。また、解像度及び密着性にも優れるレジストパターンを形成できる傾向がある。

感光性樹脂組成物の不揮発分の酸価は、以下の方法により測定することができる。まず、感光性樹脂組成物１ｇを精秤した後、その感光性樹脂組成物にアセトンを３０ｇ添加し、感光性樹脂組成物を均一に溶解する。次いで、指示薬であるフェノールフタレインをその感光性樹脂組成物の溶液に適量添加して、０．１ＮのＫＯＨ水溶液を用いて滴定する。そして、滴定結果より下記式（１）により酸価を算出する（式中、Ｖｆはフェノールフタレインの滴定量（ｍＬ）を示し、Ｗｐは（Ａ）成分としての感光性樹脂組成物の溶液の重量（ｇ）を示し、Ｉは（Ａ）成分としての感光性樹脂組成物の溶液の不揮発分の割合（質量％）を示す。）。
酸価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）＝１０×Ｖｆ×５６．１／（Ｗｐ×Ｉ） （１）

レジストパターンのテント信頼性及びエッチング耐性をより向上させる観点から、感光性樹脂組成物の不揮発分の酸価は１１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが好ましく、１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下とすることがより好ましい。また、レジストパターンの現像性の観点からは４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることが好ましい。さらに、剥離時間の観点からは８０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることがより好ましく、９０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることがさらに好ましい。
以下では、各成分について詳細に説明する。

〔（Ａ）成分：バインダーポリマー〕
感光性樹脂組成物は、（Ａ）成分としてバインダーポリマーの少なくとも１種を含有する。前記バインダーポリマーの構造は特に制限されず、通常用いられるものから選択することができる。バインダーポリマーは、１種を単独で用いても、２種以上を組み合わせてもよい。バインダーポリマーとしては、例えば、下記の構造単位（Ａ１）、構造単位（Ａ２）、構造単位（Ａ３）等を含むバインダーポリマーを挙げることができる。

・構造単位（Ａ１）
バインダーポリマーの少なくとも１種は、スチレン、スチレン誘導体、ベンジル（メタ）アクリレート及びベンジル（メタ）アクリレート誘導体からなる群より選択される少なくとも１種に由来する構造単位（Ａ１）を含むことが好ましい。これにより、（Ａ）バインダーポリマーの柔軟性を維持しながら、硬化物としたときの密着性を向上させることができる。

硬化膜の密着性及び剥離特性の双方を良好にする見地からは、バインダーポリマーにおける構造単位（Ａ１）の含有率は、（Ａ）成分の総量中、１０質量％〜６０質量％であることが好ましく、１３質量％〜４０質量％であることがより好ましく、１５質量％〜２５質量％であることが更に好ましい。構造単位（Ａ１）の含有率が１０質量％以上であると、硬化膜の密着性が向上する傾向があり、６０質量％以下であると、剥離片が大きくなることを抑制し、剥離時間が長くなることを抑制でき、テント信頼性が向上する傾向がある。

スチレン誘導体の具体例としては、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、ｐ−クロロスチレン等のα−位又は芳香族環において置換されている重合可能なスチレン誘導体を挙げることができる。
ベンジル（メタ）アクリレート誘導体の具体例としては、４−メチルベンジル（メタ）アクリレート、４−エチルベンジル（メタ）アクリレート、４−ｔｅｒｔ−ブチルベンジル（メタ）アクリレート、４−メトキシベンジル（メタ）アクリレート、４−エトキシベンジル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシベンジル（メタ）アクリレート、４−クロロベンジル（メタ）アクリレート等が挙げられる。

・構造単位（Ａ２）
バインダーポリマーの少なくとも１種は、硬化膜のテント信頼性の見地から、（メタ）アクリル酸アルキルに由来する構造単位（Ａ２）を含むことが好ましい。（メタ）アクリル酸アルキルにおけるアルキル基は、直鎖状又は分岐状のいずれであってもよく、無置換であっても、置換基を有していてもよい。アルキル基の炭素数は１〜２０であることが好ましく、炭素数５〜２０であることがより好ましく、炭素数が８〜１４であることが更に好ましい。（メタ）アクリル酸アルキルとしては、下記一般式（Ｉ）で表される化合物が挙げられる。

ＣＨ_２＝Ｃ（Ｒ^３）−ＣＯＯＲ^４ （Ｉ）

一般式（Ｉ）中、Ｒ^３は水素原子又はメチル基を示し、Ｒ^４は炭素数１〜２０のアルキル基を示す。

一般式（Ｉ）中のＲ^４で示される炭素数１〜２０のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基及びこれらの構造異性体が挙げられる。Ｒ^４で示される炭素数１〜２０のアルキル基は、無置換であっても、置換基を有していてもよい。前記置換基としては、水酸基、エポキシ基、ハロゲン基等を挙げることができる。Ｒ^４で示される炭素数１〜２０のアルキル基が置換基を有する場合、置換基の数及び置換位置は特に制限されない。

硬化膜のテント信頼性をより向上させる観点から、一般式（Ｉ）中のＲ^４で示されるアルキル基は炭素数５〜２０であることがより好ましく、炭素数が８〜１４であることが更に好ましい。

一般式（Ｉ）で表される化合物としては、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ｎ−プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ｎ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｔｅｒｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、（メタ）アクリル酸ドデシル等が挙げられる。これらは１種単独で、又は２種以上を組み合わせて用いることができる。

バインダーポリマーが構造単位（Ａ２）を含む場合、（Ａ）成分の総量中における構造単位（Ａ２）の含有率は、密着性、解像性及び現像性の観点から、１質量％〜７０質量％であることが好ましく、３０質量％〜６５質量％であることがより好ましく、４５質量％〜６０質量％であることが更に好ましい。構造単位（Ａ２）の含有率を１質量％以上とすることで硬化膜のテント信頼性がより向上し、８０質量％以下とすることで硬化膜の解像性及び密着性が更に向上する。

・構造単位（Ａ３）
バインダーポリマーの少なくとも１種は、アルカリ現像性の見地から、カルボキシ基を有する重合性単量体に由来する構造単位（Ａ３）を含むことが好ましい。構造単位（Ａ３）を含むバインダーポリマーは、例えば、カルボキシ基を有する重合性単量体と、その他の重合性単量体とをラジカル重合させることにより製造することができる。

カルボキシ基を有する重合性単量体としては、（メタ）アクリル酸；α−ブロモアクリル酸、α−クロルアクリル酸、β−フリル（メタ）アクリル酸、β−スチリル（メタ）アクリル酸等の（メタ）アクリル酸誘導体；マレイン酸；マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプロピル等のマレイン酸誘導体；フマル酸、ケイ皮酸、α−シアノケイ皮酸、イタコン酸、クロトン酸、プロピオール酸等が挙げられる。感度向上の見地からは、（メタ）アクリル酸が好ましく、メタクリル酸がより好ましい。

バインダーポリマーが構造単位（Ａ３）を含む場合、アルカリ現像性と現像液耐性のバランスの見地から、（Ａ）成分の総量中における構造単位（Ａ３）の含有率は１２質量％〜５０質量％であることが好ましく、アルカリ現像性により優れる点から、１５質量％〜３５質量％であることがより好ましく、１５質量％〜３０質量％であることが更に好ましい。

・その他の構造単位
バインダーポリマーは、構造単位（Ａ１）〜（Ａ３）以外のその他の構造単位を含んでいてもよい。その他の構造単位を構成する重合性単量体としては、例えば、ジアセトンアクリルアミド等のアクリルアミド；アクリロニトリル；ビニル−ｎ−ブチルエーテル等のビニルアルコールのエーテル類；マレイン酸無水物等の有機酸誘導体が挙げられる。これらは１種単独で、又は２種以上を組み合わせて用いることができる。

（Ａ）成分の総量中におけるその他の構造単位の含有率は、硬化膜の密着性、解像性及び現像性の観点から、１０質量％以下であることが好ましく、５質量％以下であることがより好ましく、実質的に含有しない（例えば、０．５質量％以下である）ことが更に好ましい。つまり、（Ａ）成分の総量中における構造単位（Ａ１）、（Ａ２）及び（Ａ３）の合計の含有率は、９０質量％以上であることが好ましく、９５質量％以上であることがより好ましく、実質的に１００質量％である（例えば、９９．５質量％以上である）ことが更に好ましい。

・バインダーポリマーの諸特性
バインダーポリマーは、バインダーポリマーを構成するそれぞれの構造単位に対応する単量体を重合させることにより得られる。重合方法としては、ラジカル重合を挙げることができる。バインダーポリマーが２種以上の単量体を重合して得られる共重合体である場合、共重合体における各構造単位は、いわゆるランダム共重合体のように共重合体中にランダムに含まれていてもよく、ブロック共重合体のように同じ種類の単量体が連続して形成される構造単位を含む共重合体であってもよい。そして、それぞれの構造単位は、単一種であっても複数種であってもよい。

バインダーポリマーの重量平均分子量は、耐現像液性及びアルカリ現像性のバランスの見地から、２０，０００〜３００，０００であることが好ましく、３０，０００〜２００，０００であることがより好ましく、４０，０００〜１００，０００であることが更に好ましい。本明細書における重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により、実施例に記載したものと同一の測定条件で測定し、標準ポリスチレンを用いて作成した検量線により換算した値である。

バインダーポリマーの酸価は、６０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであることがより好ましく、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜１７０ｍｇＫＯＨ／ｇであることがさらに好ましい。

（Ａ）成分に含まれるバインダーポリマーは１種を単独で、又は２種以上を組み合わせて用いることができる。２種類以上のバインダーポリマーの組み合わせの例としては、共重合成分の種類、比率等が異なる２種類以上のバインダーポリマー、重量平均分子量が異なる２種類以上のバインダーポリマー、分散度が異なる２種類以上のバインダーポリマーの組み合わせなどが挙げられる。なお、バインダーポリマーの分散度とは、重量平均分子量（Ｍｗ）を数平均分子量（Ｍｎ）で除して得られる値である。

（Ａ）成分は、構造単位（Ａ１）、（Ａ２）又は（Ａ３）の少なくともいずれかを含むバインダーポリマーと、構造単位（Ａ１）、（Ａ２）又は（Ａ３）のいずれも含まない他のバインダーポリマーとの組み合わせであってもよい。他のバインダーポリマーとしては、アルカリ水溶液に可溶で皮膜形成可能なものであれば特に制限はない。例えば、アクリル系樹脂（但し、構造単位（Ａ１）（Ａ２）（Ａ３）を含まないもの）、エポキシ系樹脂、アミド系樹脂、アミドエポキシ系樹脂、アルキド系樹脂、及びフェノール系樹脂が挙げられる。中でも、アルカリ現像性の観点から、アクリル系樹脂が好ましい。これらは１種単独で、又は２種以上を組み合わせて用いることができる。

（Ａ）成分が構造単位（Ａ１）、（Ａ２）又は（Ａ３）のいずれも含まない他のバインダーポリマーを含む場合、（Ａ）成分の総量における構造単位（Ａ１）の含有率が１０質量％〜６０質量％であることが好ましく、１３質量％〜４０質量％であることがより好ましく、１５質量％〜２５質量％であることが更に好ましい。（Ａ）成分が他のバインダーポリマーを含む場合、（Ａ）成分の総量における他のバインダーポリマーの含有率は１０質量％以下であることが好ましく、５質量％以下であることがより好ましい。他のバインダーポリマーは実質的に含まれない（例えば、０．５質量％以下である）ことが更に好ましく、他のバインダーポリマーはまったく含まれないことが特に好ましい。

感光性樹脂組成物中の（Ａ）成分の含有量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部中に３０質量部〜７０質量部とすることが好ましく、４０質量部〜６５質量部とすることがより好ましく、５０質量部〜６０質量部とすることが更に好ましい。（Ａ）成分の含有量がこの範囲であると、感光性樹脂組成物の塗膜性及び硬化膜の強度がより良好となる傾向にある。

〔（Ｂ）成分：光重合性化合物〕
前記感光性樹脂組成物は、（Ｂ）成分として光重合性化合物の少なくとも１種を含む。（Ｂ）成分である光重合性化合物は、特に制限されず、通常用いられる光重合性化合物から適宜選択して用いることができる。光重合性化合物としては、光重合可能な不飽和二重結合を有する化合物を挙げることができる。光重合可能な不飽和二重結合としては、（メタ）アクリロイル基に含まれる二重結合を挙げることができる。

具体的に、光重合性化合物としては、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレンポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート等のポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレート；トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等の多官能（メタ）アクリレート；２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエチレンオキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエチレンオキシポリプロピレンオキシ）フェニル）プロパン等のビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物；γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−（メタ）アクリロイルオキシエチレン−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシエチル−β’−（メタ）アクリロイルオキシエチレン−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシプロピル−β’−（メタ）アクリロイルオキシエチレン−ｏ−フタレート等のフタル酸誘導体；（メタ）アクリル酸アルキル；などが挙げられる。

これらの中でも、密着性及び解像性の観点から、光重合性化合物としては、ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物及びポリアルキレングリコールポリ（メタ）アクリレートからなる群より選ばれる少なくとも１種を含むことが好ましく、ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物の少なくとも１種及びポリアルキレングリコールポリ（メタ）アクリレートの少なくとも１種を併用することがより好ましく、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエチレンオキシ）フェニル）プロパンの少なくとも１種及びポリエチレングリコールポリ（メタ）アクリレートの少なくとも１種を併用することが更に好ましい。

２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリエチレンオキシ）フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシジエチレンオキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタエチレンオキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタデカエチレンオキシ）フェニル）プロパン等が挙げられる。

２，２−ビス（４−（メタクリロキシペンタエチレンオキシ）フェニル）プロパンは、ＢＰＥ−５００（新中村化学工業株式会社製、製品名）として商業的に入手可能であり、２，２−ビス（４−（メタクリロキシペンタデカエチレンオキシ）フェニル）プロパンは、ＢＰＥ−１３００（新中村化学工業株式会社製、製品名）として商業的に入手可能である。これらは１種を単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。

（Ｂ）成分である光重合性化合物を複数組み合わせて使用する場合、（Ｂ）成分の総量中における光重合可能な不飽和二重結合を１分子中に２つ以上有する化合物の含有率が７５質量％以上であることが好ましい。（Ｂ）成分の総量中における光重合可能な不飽和二重結合を１分子中に２つ以上有する化合物の含有率が７５質量％以上であることで、硬化膜のテント信頼性、解像性及び密着性がより向上する傾向がある。

前記感光性樹脂組成物における（Ｂ）成分の含有量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部中に２０質量部〜７０質量部とすることが好ましい。硬化膜のテント信頼性及び解像性をより向上する観点から、（Ｂ）成分の含有量は（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部中に、２０質量部以上であることが好ましく、２５質量部以上であることがより好ましく、３０質量部以上であることが更に好ましい。感光性樹脂組成物に良好なフィルム性を付与する点及び硬化後のレジストの形状を良好にする観点から、（Ｂ）成分の含有量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部中に７０質量部以下であることが好ましく、６０質量部以下であることがより好ましく、５５質量部以下であることが更に好ましく、５０質量部以下であることが特に好ましい。

〔（Ｃ）成分：光重合開始剤〕
前記感光性樹脂組成物は、（Ｃ）成分として光重合開始剤の少なくとも１種を含む。光重合開始剤としては特に制限なく、通常用いられる光重合開始剤から適宜選択して用いることができる。中でも（Ｃ）成分は一分子中にアクリジニル基を１つ又は２つ有するアクリジン化合物を含むことが好ましい。すなわち、（Ｃ）成分は、アクリジニル基を２つ有するアクリジン化合物（以下、「（Ｃ１）化合物」ともいう）及びアクリジニル基を１つ有するアクリジン化合物（以下、「（Ｃ２）化合物」ともいう）からなる群より選ばれる化合物のうち少なくとも１種を含むことが好ましい。

（Ｃ１）化合物としては、例えば、下記一般式（ＩＩ）で表されるアクリジン化合物が挙げられる。

式（ＩＩ）中、Ｒ^３は炭素数２〜２０のアルキレン基、炭素数２〜２０のオキサジアルキレン基又は炭素数２〜２０のチオジアルキレン基を示す。感光性樹脂組成物の奏する効果をより確実に得る観点から、Ｒ^３は炭素数２〜２０のアルキレン基であることが好ましく、炭素数４〜１４のアルキレン基であることがより好ましい。

上記一般式（ＩＩ）で表される化合物としては、例えば、１，２−ジ（９−アクリジニル）エタン、１，３−ジ（９−アクリジニル）プロパン、１，４−ジ（９−アクリジニル）ブタン、１，５−ジ（９−アクリジニル）ペンタン、１，６−ジ（９−アクリジニル）ヘキサン、１，７−ジ（９−アクリジニル）ヘプタン、１，８−ジ（９−アクリジニル）オクタン、１，９−ジ（９−アクリジニル）ノナン、１，１０−ジ（９−アクリジニル）デカン、１，１１−ジ（９−アクリジニル）ウンデカン、１，１２−ジ（９−アクリジニル）ドデカン、１，１４−ジ（９−アクリジニル）テトラデカン、１，１６−ジ（９−アクリジニル）ヘキサデカン、１，１８−ジ（９−アクリジニル）オクタデカン、１，２０−ジ（９−アクリジニル）エイコサン等のジ（９−アクリジニル）アルカン；１，３−ジ（９−アクリジニル）−２−オキサプロパン；１，５−ジ（９−アクリジニル）−３−オキサペンタン等のジ（９−アクリジニル）オキサアルカン；１，３−ジ（９−アクリジニル）−２−チアプロパン；１，５−ジ（９−アクリジニル）−３−チアペンタン等のジ（９−アクリジニル）チオアルカン；などが挙げられる。これらは１種単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。

光感度及び解像性をより良好にする見地から、（Ｃ１）化合物として、式（ＩＩ）中のＲ^３がヘプチレン基であるアクリジン化合物（例えば、株式会社ＡＤＥＫＡ製、製品名「Ｎ−１７１７」）を含むことが好ましい。

感光性樹脂組成物が、光重合開始剤として（Ｃ１）化合物を含む場合、（Ｃ１）化合物の含有量は、感度、解像性及び密着性の見地から、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して、例えば、０．１質量部〜１０質量部、０．５質量部〜５質量部、又は、１質量部〜３質量部であってもよく、０．１質量部〜１．４質量部であることがより好ましく、０．３質量部〜１．２質量部であることが更に好ましく、０．４質量部〜０．７質量部であることが特に好ましく、０．５質量部〜０．６質量部であることが特に好ましい。（Ｃ１）化合物の含有量が０．１質量部以上であるとより良好な感度、解像性又は密着性が得られる傾向がある。１．４質量部以下であるとより良好なレジスト形状を得られる傾向がある。

（Ｃ２）化合物としては、例えば、下記一般式（ＩＩＩ）で表されるアクリジン化合物が挙げられる。

式（ＩＩＩ）中、Ｒ^４はハロゲン原子、アミノ基、カルボキシル基、炭素数１〜６のアルキル基、炭素数１〜６のアルコキシ基又は炭素数１〜６のアルキルアミノ基を示す。ｍは０〜５の整数を示す。ｍが２以上の場合、複数のＲ^４は同一であっても異なっていてもよい。

上記一般式（ＩＩＩ）で表されるアクリジン化合物としては、例えば、９−フェニルアクリジン、９−（ｐ−メチルフェニル）アクリジン、９−（ｍ−メチルフェニル）アクリジン、９−（ｐ−クロロフェニル）アクリジン、９−（ｍ−クロロフェニル）アクリジン、９−アミノアクリジン、９−ジメチルアミノアクリジン、９−ジエチルアミノアクリジン及び９−ペンチルアミノアクリジンが挙げられる。これらは１種単独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。

前記感光性樹脂組成物が、光重合開始剤として（Ｃ２）化合物を含む場合、（Ｃ２）化合物の含有量は、感度、解像性及び密着性の見地から、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して、例えば、０．１質量部〜１０質量部、０．５質量部〜５質量部、又は、１質量部〜３質量部であってもよく、０．１質量部〜１．４質量部であることが好ましく、０．３質量部〜１．２質量部であることがより好ましく、０．４質量部〜０．７質量部であることが更に好ましく、０．５質量部〜０．６質量部であることが特に好ましい。（Ｃ２）化合物の含有量が０．１質量部以上であるとより良好な感度、解像性又は密着性が得られる傾向がある。１．４質量部以下であるとより良好なレジスト形状を得られる傾向がある。

前記感光性樹脂組成物は、（Ｃ）成分として前記（Ｃ１）化合物及び（Ｃ２）化合物以外の光重合開始剤を含んでいてもよい。

（Ｃ１）化合物及び（Ｃ２）化合物以外の光重合開始剤としては、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ’−テトラメチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ’−テトラエチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４’−ジメチルアミノベンゾフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−プロパノン−１等の芳香族ケトン化合物；２−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン、２−ｔｅｒｔ−ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１，２−ベンズアントラキノン、２，３−ベンズアントラキノン、２−フェニルアントラキノン、２，３−ジフェニルアントラキノン、１−クロロアントラキノン、２−メチルアントラキノン、１，４−ナフトキノン、９，１０−フェナンタラキノン、２−メチル１，４−ナフトキノン、２，３−ジメチルアントラキノン等のキノン化合物；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル及びベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル化合物、ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン化合物；２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等の２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体；ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体；９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、９，１０−ジプロポキシアントラセン、９，１０−ジブトキシアントラセン、９，１０−ジペントキシアントラセン等の置換アントラセン化合物；クマリン化合物；オキサゾール化合物；ピラゾリン化合物；トリアリールアミン化合物；などが挙げられる。
これらの光重合開始剤は、１種単独で又は２種類以上を組み合わせて使用することができる。また、ジエチルチオキサントンとジメチルアミノ安息香酸との組み合わせのように、チオキサントン系化合物と３級アミン化合物とを組み合わせて光重合開始剤としてもよい。

なお、前記２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体は、二量体を構成する２つの２，４，５−トリアリールイミダゾールのアリール基の置換基が、同一であり対称な化合物であってもよいし、互いに相違して非対称な化合物であってもよい。

感光性樹脂組成物が、（Ｃ）成分として（Ｃ１）化合物及び（Ｃ２）化合物以外の光重合開始剤を含む場合、その含有量は、感度及び内部の光硬化性の観点から、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して０．０１質量部〜１０質量部であることが好ましく、０．１質量部〜７質量部であることがより好ましく、０．２質量部〜５質量部であることが更に好ましい。

（Ｃ）成分の含有量は、感度、密着性及び内部の光硬化性の観点から、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して０．０１質量部〜２０質量部であることが好ましく、０．０５質量部〜１０質量部であることがより好ましく、０．１質量部〜５質量部であることが更に好ましい。

前記感光性樹脂組成物は、感度、密着性及び内部の光硬化性の観点から、（Ｃ）成分として（Ｃ１）化合物及び（Ｃ２）化合物からなる群より選ばれる少なくとも１種を含み、その含有量が（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部に対して０．１質量部〜１０質量部であることが好ましく、０．５質量部〜５質量部であることがより好ましい。

〔（Ｄ）成分：ポリテトラメチレンオキサイド化合物〕
前記感光性樹脂組成物は、（Ｄ）成分としてポリテトラメチレンオキサイド化合物の少なくとも１種を含む。ポリテトラメチレンオキサイド化合物は１種を単独で、又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。ポリテトラメチレンオキサイド化合物は、上記（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分からなる群より選択される少なくとも１種の一部または全てに相当していてもよい。感光性樹脂組成物に含まれるポリテトラメチレンオキサイド化合物は１種のみであっても、構造の異なる（例えば、−（Ｃ_４Ｈ_８Ｏ）_ｎ−におけるｎが異なる構造単位をそれぞれ有する）２種以上の組み合わせであってもよい。

ポリテトラメチレンオキサイド化合物におけるポリテトラメチレンオキサイドの構造は直鎖状であることが好ましく、下記一般式（ＩＶ）で表される構造単位であることがより好ましい。このような構造単位を有することにより、レジストパターンの柔軟性がより向上し、テント信頼性がより向上する傾向がある。

前記式（ＩＶ）中、ｎは２以上の数である。テント信頼性及び剥離時間により優れる硬化膜を得る観点からは、ｎは６以上の数であることが好ましく、１０以上の数であることがより好ましく、１５以上の数であることが更に好ましい。ｎの上限値は特に制限されないが、現像性、解像性及び密着性により優れる硬化膜を得る観点からは７０以下の数であることが好ましく、５０以下の数であることがより好ましく、４０以下の数であることが更に好ましい。

テント信頼性及び剥離時間により優れる観点からは、ポリテトラメチレンオキサイド化合物の重量平均分子量は１０００以上であることが好ましく、１５００以上であることがより好ましく、２０００以上であることが更に好ましい。また、ポリテトラメチレンオキサイド化合物の重量平均分子量は１００００以下であることが好ましく、９０００以下であることがより好ましく、８０００以下であることが更に好ましい。

ポリテトラメチレンオキサイド化合物が（Ａ）成分であるバインダーポリマーに相当する場合、（Ａ）成分であるポリテトラメチレンオキサイド化合物の具体例としては、ポリテトラメチレンオキサイドモノ（メタ）アクリレート又はその誘導体に由来する構造単位を含むポリマー、ポリテトラメチレンオキサイドグリシジルエーテル又はその誘導体に由来する構造単位を含むポリマー等が挙げられる。

ポリテトラメチレンオキサイド化合物が（Ｂ）成分である光重合性化合物に相当する場合、（Ｂ）成分であるポリテトラメチレンオキサイド化合物の具体例としては、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシポリテトラメチレンオキシ）フェニル）プロパン、ポリテトラメチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリテトラメチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートとポリテトラメチレングリコールとジイソシアネート化合物又はトリイソシアネート化合物のウレタン反応物等が挙げられる。

ポリテトラメチレンオキサイド化合物が（Ａ）成分、（Ｂ）成分又は（Ｃ）成分のいずれにも相当しない場合、ポリテトラメチレンオキサイド化合物の具体例としてはポリテトラメチレングリコール、ポリテトラメチレングリコールのエステル化物、エーテル化物及びウレタン化物、並びにポリテトラメチレングリコールのエステル化物、エーテル化物及びウレタン化物の誘導体が揚げられる。

ポリテトラメチレンオキサイド化合物は、一分子中、ポリテトラメチレンオキサイド構造単位の占める割合が５０質量％以上であることが好ましく、８０％質量以上であることがより好ましく、９０％質量以上であることが更に好ましい。また、ポリテトラメチレンオキサイド化合物はポリエチレンオキサイド、ポリプロピレンオキサイド等のポリテトラメチレンオキサイド以外のポリアルキレンオキサイドを構造単位として有していてもよい。

硬化膜の解像性、テント信頼性及びエッチング耐性をより向上させる観点からは、（Ｂ）成分の一部または全てがポリテトラメチレンオキサイド化合物であることが好ましい。
（Ｂ）成分に該当するポリテトラメチレンオキサイド化合物としては、ポリテトラメチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートとポリテトラメチレングリコールとジイソシアネート化合物のウレタン反応物等が好ましい。

（Ｂ）成分の総量中のポリテトラメチレンオキサイド化合物の含有率は、２０質量％〜５０質量％であることが好ましく、２５質量％〜４５質量％であることがより好ましく、３０質量％〜４０質量％であることが更に好ましい。ポリテトラメチレンオキサイド化合物の含有率が５０質量％以下であることで、硬化膜の剥離時間、解像度及び密着性により優れる傾向がある。また、ポリテトラメチレンオキサイド化合物の含有率が２０質量％以上であることで、テント信頼性及びエッチング耐性により優れる傾向がある。

テント信頼性により優れるものとなる観点からは、（Ｂ）成分に該当するポリテトラメチレンオキサイド化合物はポリテトラメチレングリコールジ（メタ）アクリレートであることが好ましく、ポリテトラメチレングリコールジメタクリレートであることがより好ましく、重量平均分子量が１０００〜５０００であるポリテトラメチレングリコールジメタクリレートであること更に好ましく、重量平均分子量が１８００〜４０００であるポリテトラメチレングリコールジメタクリレート化合物であることが更により好ましい。

感光性樹脂組成物の不揮発分の総量に対する、前記ポリテトラメチレンオキサイドの構造単位の含有率は、テント信頼性及びエッチング耐性の向上の見地から４質量％以上であることが好ましく、６質量％以上であることがより好ましく、１０質量％以上であることが更に好ましく、１４質量％以上であることが特に好ましい。また、解像性向上の見地からは、感光性樹脂組成物の不揮発分の総量に対する、前記ポリテトラメチレンオキサイドの構造単位の含有率は、４０質量％以下であることが好ましく、３０質量％以下であることがより好ましく、２０質量％以下であることが更に好ましい。

〔その他の成分〕
前記感光性樹脂組成物は、必要に応じて、マラカイトグリーン、ビクトリアピュアブルー、ブリリアントグリーン、メチルバイオレット等の染料；ロイコクリスタルバイオレット、ジフェニルアミン、ベンジルアミン、トリフェニルアミン、ジエチルアニリン、ｏ−クロロアニリン等の光発色剤；熱発色防止剤；ｐ−トルエンスルホンアミド等の可塑剤；顔料；充填剤；消泡剤；難燃剤；密着性付与剤；レベリング剤；剥離促進剤；酸化防止剤；重合禁止剤；香料；イメージング剤；熱架橋剤などのその他の添加剤を更に含んでいてもよい。

前記感光性樹脂組成物がその他の添加剤を含む場合、その含有量は目的等に応じて適宜選択できる。例えば、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００質量部中に対して各々０．０１質量部〜２０質量部程度含有することができる。これらの添加剤は、１種単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。

前記感光性樹脂組成物は、有機溶剤の少なくとも１種を更に含んでいてもよい。有機溶剤としては、メタノール、エタノール等のアルコール溶剤；アセトン、メチルエチルケトン等のケトン溶剤；メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル溶剤；トルエン等の芳香族炭化水素溶剤；Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド等の非プロトン性極性溶剤；などが挙げられる。これらの有機溶剤は１種単独でも、２種以上を併用してもよい。
前記感光性樹脂組成物に含まれる有機溶剤の含有量は目的等に応じて適宜選択することができる。例えば、不揮発分が３０質量％〜６０質量％程度となる溶液（以下、有機溶剤を含む感光性樹脂組成物を「塗布液」ともいう）として用いることができる。

前記感光性樹脂組成物は、後述する感光性エレメントの感光性樹脂層の形成に使用できる。すなわち本発明の別の実施形態は、前記感光性樹脂組成物の感光性エレメントへの使用である。また、前記感光性樹脂組成物は、後述するレジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法に使用できる。

＜感光性エレメント＞
本発明の感光性エレメントは、支持体と、前記感光性樹脂組成物を用いて前記支持体上に形成される感光性樹脂層とを有する。前記感光性エレメントは、必要に応じて保護層等のその他の層を有していてもよい。

図１に、本発明の感光性エレメントの一実施形態を示す。図１に示す感光性エレメント１０では、支持体２、前記感光性樹脂組成物を用いて形成される感光性樹脂層４、保護層６がこの順に積層されている。感光性エレメント１０は、例えば、以下のようにして得ることができる。支持体２上に、有機溶剤を含む前記感光性樹脂組成物である塗布液を塗布して塗布層を形成し、これを乾燥することで感光性樹脂層４を形成する。次いで、感光性樹脂層４の支持体２とは反対側の表面を保護層６で被覆することにより、支持体２と、支持体２上に形成された感光性樹脂層４と、感光性樹脂層４上に積層された保護層６とを備える、本実施形態の感光性エレメント１０が得られる。感光性エレメント１０は、保護層６を有していなくてもよい。

支持体２としては、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリプロピレン、ポリエチレンなどの耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムを用いることができる。

支持体２（重合体フィルム）の厚みは、１μｍ〜１００μｍであることが好ましく、１μｍ〜５０μｍであることがより好ましく、１μｍ〜３０μｍであることが更に好ましい。支持体２の厚みが１μｍ以上であることで、支持体２を感光性樹脂層４から剥離する際に支持体２が破れることを抑制できる。また１００μｍ以下であることで解像性の低下が抑制される。

保護層６としては、感光性樹脂層４に対する接着力が、支持体２の感光性樹脂層４に対する接着力よりも小さいものが好ましい。また低フィッシュアイのフィルムが好ましい。ここで、「フィッシュアイ」とは、材料を熱溶融し、混練、押し出し、２軸延伸、キャスティング法等によりフィルムを製造する際に、材料に含まれる異物、未溶解物、酸化劣化物等がフィルム中に取り込まれたものを意味する。すなわち、「低フィッシュアイ」とは、フィルム中の上記異物等が少ないことを意味する。

具体的に、保護層６としては、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリプロピレン、ポリエチレンなどの耐熱性及び耐溶剤性を有する重合体フィルムを用いることができる。市販のものとしては、王子製紙株式会社製のアルファンＭＡ−４１０、Ｅ−２００Ｃ、信越フィルム株式会社製のポリプロピレンフィルム、帝人株式会社製のＰＳ−２５等のＰＳシリーズなどのポリエチレンテレフタレートフィルムなどが挙げられる。なお、保護層６は支持体２と同一のものでもよい。

保護層６の厚みは１μｍ〜１００μｍであることが好ましく、１μｍ〜５０μｍであることがより好ましく、１μｍ〜３０μｍであることが更に好ましい。保護層６の厚みが１μｍ以上であると、保護層６を剥がしながら、感光性樹脂層４及び支持体２を基板上にラミネートする際、保護層６が破れることを抑制できる傾向にある。１００μｍ以下であると、取扱い性と廉価性に優れる傾向にある。

本実施形態の感光性エレメントは、具体的には、例えば、以下のようにして製造することができる。少なくとも、（Ａ）成分：バインダーポリマー、（Ｂ）成分：光重合性化合物、及び（Ｃ）光重合開始剤を前記有機溶剤に溶解した塗布液を準備する工程と、前記塗布液を支持体２上に塗布して塗布層を形成する工程と、前記塗布層を乾燥して感光性樹脂層を形成する工程と、を含む製造方法で製造することができる。

前記塗布液の支持体２上への塗布は、ロールコータ、コンマコータ、グラビアコータ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バーコータ等を用いる公知の方法により行うことができる。

前記塗布層の乾燥は、塗布層から有機溶剤の少なくとも一部を除去することができれば特に制限はない。例えば、７０℃〜１５０℃にて、５分〜３０分間行うことが好ましい。乾燥後、得られた感光性樹脂層中の残存有機溶剤量は、後の工程での有機溶剤の拡散を防止する観点から、２質量％以下とすることが好ましい。

感光性エレメント１０における感光性樹脂層４の厚みは、用途により適宜選択することができ、乾燥後の厚みで１μｍ〜２００μｍであることが好ましく、５μｍ〜１００μｍであることがより好ましく、１０μｍ〜５０μｍであることが更に好ましい。乾燥後の厚みが１μｍ以上であることで、工業的な塗工が容易になり、２００μｍ以下の場合には、感度及びレジスト底部の光硬化性が充分に得られる傾向がある。

感光性エレメント１０は、更にクッション層、接着層、光吸収層、ガスバリア層等の中間層などを有していてもよい。これらの中間層としては、特開２００６−０９８９８２号公報等に記載の中間層を本発明においても適用することができる。

得られた感光性エレメント１０の形態は特に制限されない。例えば、シート状であってもよく、又は巻芯にロール状に巻き取った形状であってもよい。ロール状に巻き取る場合、支持体２が外側になるように巻き取ることが好ましい。巻芯の材質としては、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ＡＢＳ樹脂（アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体）等のプラスチックなどが挙げられる。このようにして得られたロール状の感光性エレメントロールの端面には、端面保護の見地から端面セパレータを設置することが好ましく、耐エッジフュージョンの見地から防湿端面セパレータを設置することが好ましい。梱包方法としては、透湿性の小さいブラックシートに包んで包装することが好ましい。

感光性エレメント１０は、例えば、後述するレジストパターンの形成方法に好適に用いることができる。

＜レジストパターンの形成方法＞
前記感光性樹脂組成物を用いて、基板上にレジストパターンを形成することができる。本実施形態のレジストパターンの形成方法は、（ｉ）前記感光性樹脂組成物を用いて感光性樹脂層を基板上に形成する感光性樹脂層形成工程と、（ｉｉ）前記感光性樹脂層の少なくとも一部の領域に、活性光線を照射して、前記領域を硬化させる露光工程と、（ｉｉｉ）感光性樹脂層の前記領域以外の未露光部分を基板から除去する現像工程と、を有する。前記レジストパターンの形成方法は、必要に応じて更にその他の工程を有していてもよい。

（ｉ）感光性樹脂層形成工程
まず、感光性樹脂組成物を用いて感光性樹脂層を基板上に形成する。基板としては、絶縁層と該絶縁層上に形成された導体層とを備えた基板（回路形成用基板）を用いることができる。

感光性樹脂層の基板上への形成は、例えば、感光性エレメント１０が保護層６を有している場合には、保護層６を除去した後、感光性エレメント１０の感光性樹脂層４が基板に接するように配置し、加熱しながら感光性エレメント１０を基板に圧着（ラミネート）することで行う。これにより、基板と感光性樹脂層４と支持体２とをこの順に備える積層体が得られる。

ラミネート作業は、感光性エレメント１０の密着性及び追従性の見地から、減圧下で行うことが好ましい。圧着の際の加熱は、感光性樹脂層４及び基板の温度が７０℃〜１３０℃となるように行うことが好ましい。また圧着は、０．１ＭＰａ〜１．０ＭＰａ（１ｋｇｆ／ｃｍ^２〜１０ｋｇｆ／ｃｍ^２）の圧力で行うことが好ましい。これらの条件は、必要に応じて適宜選択される。なお、感光性樹脂層４を７０℃〜１３０℃に加熱すれば、予め基板を予熱処理することは必要ではないが、基板の予熱処理を行うことで感光性エレメント１０の密着性及び追従性を更に向上させることができる。

（ｉｉ）露光工程
露光工程では、上記のようにして基板上に形成された感光性樹脂層４の少なくとも一部の領域に活性光線を照射することで、活性光線が照射された露光部が光硬化して、潜像が形成される。活性光線の照射方法としては、例えば、ネガ型又はポジ型のマスクパターンを通して画像状に活性光線を照射する方法が挙げられる。この際、感光性樹脂層４上に存在する支持体２が活性光線に対して透過性である場合には、支持体２を通して活性光線を照射することができる。支持体２が活性光線に対して非透過性である場合には、支持体２を除去した後に感光性樹脂層４に活性光線を照射する。

活性光線の光源としては特に制限されず、従来公知の光源、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ、アルゴンレーザー等のガスレーザー、ＹＡＧレーザー等の固体レーザー、半導体レーザー及び窒化ガリウム系青紫色レーザー等の紫外線、可視光などを有効に放射するものが用いられる。またレーザー直接描画露光法を用いてもよい。

本実施形態の感光性樹脂組成物は、直接描画露光方法に好適に使用することができる。即ち、本発明の好適な実施形態の一つは、前記感光性樹脂組成物の直接描画露光法への応用である。

（ｉｉｉ）現像工程
現像工程においては、感光性樹脂層４の露光されていない未硬化部分が基板から現像により除去される。これにより、感光性樹脂層４が光硬化した硬化物であるレジストパターンが基板上に形成される。露光後の感光性樹脂層４上に支持体２が存在している場合には、支持体２を除去してから、未硬化部分の除去（現像）を行う。現像方法には、ウェット現像とドライ現像とがあり、ウェット現像が広く用いられている。

ウェット現像による場合、感光性樹脂組成物に対応した現像液を用いて、公知の現像方法により現像する。現像方法としては、ディップ方式、パドル方式、スプレー方式、ブラッシング、スラッピング、スクラッビング、揺動浸漬等を用いた方法が挙げられ、解像性向上の観点からは、高圧スプレー方式が最も適している。これらの方法の２種以上を組み合わせて現像を行ってもよい。

現像液の構成は前記感光性樹脂組成物の構成に応じて適宜選択される。例えば、アルカリ性水溶液、有機溶剤現像液等が挙げられる。

アルカリ性水溶液は、現像液として用いられる場合、安全且つ安定であり、操作性が良好である。アルカリ性水溶液の塩基としては、リチウム、ナトリウム又はカリウムの水酸化物等の水酸化アルカリ、リチウム、ナトリウム、カリウム又はアンモニウムの炭酸塩、重炭酸塩等の炭酸アルカリ、リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等のアルカリ金属リン酸塩、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等のアルカリ金属ピロリン酸塩、ホウ砂（四ホウ酸ナトリウム）、メタケイ酸ナトリウム、水酸化テトラメチルアンモニウム、エタノールアミン、エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、２−アミノ−２−ヒドロキシメチル−１，３−プロパンジオール、１，３−ジアミノ−２−プロパノール、モルホリンなどが用いられる。

現像に用いるアルカリ性水溶液としては、０．１質量％〜５質量％炭酸ナトリウムの希薄溶液、０．１質量％〜５質量％炭酸カリウムの希薄溶液、０．１質量％〜５質量％水酸化ナトリウムの希薄溶液、０．１質量％〜５質量％四ホウ酸ナトリウムの希薄溶液等が好ましい。アルカリ性水溶液のｐＨは９〜１１の範囲とすることが好ましい。またその温度は、感光性樹脂組成物層のアルカリ現像性に合わせて調節される。

現像に用いるアルカリ性水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための有機溶剤等を少量添加してもよい。アルカリ性水溶液に添加する有機溶剤としては、アセトン、酢酸エチル、炭素原子数１〜４のアルコキシ基をもつアルコキシエタノール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、ブチルアルコール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等が挙げられる。これらの有機溶剤は、１種を単独で又は２種以上を組み合わせて使用される。アルカリ性水溶液が有機溶剤を含む場合、有機溶剤の含有率は、アルカリ性水溶液の全量中に２質量％〜９０質量％とすることが好ましい。また、その温度は、アルカリ現像性に合わせて調整することができる。

有機溶剤現像液に用いられる有機溶剤としては、１，１，１−トリクロロエタン、Ｎ−メチルピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、シクロヘキサノン、メチルイソブチルケトン、γ−ブチロラクトン等が挙げられる。これらの有機溶剤に、引火防止のため、１質量％〜２０質量％の範囲で水を添加して有機溶剤現像液とすることが好ましい。

本実施形態のレジストパターンの形成方法では、前記現像工程において未硬化部分を除去した後、必要に応じて６０℃〜２５０℃の加熱又は０．２Ｊ／ｃｍ^２〜１０Ｊ／ｃｍ^２の露光を行うことにより、レジストパターンを更に硬化する工程を更に含んでもよい。

＜プリント配線板の製造方法＞
本発明のプリント配線板の製造方法は、前記レジストパターンの形成方法によりレジストパターンが形成された基板をエッチング又はめっきする工程を含む。これにより、導体パターンが形成される。プリント配線板の製造方法は、必要に応じてレジスト除去工程等のその他の工程を含んでいてもよい。基板のエッチング処理又はめっき処理は、形成されたレジストパターンをマスクとして、基板の導体層等に対して行われる。

エッチング処理では、基板上に形成されたレジストパターンをマスクとして、レジストによって被覆されていない領域の導体層をエッチングにより除去し、導体パターンを形成する。エッチング処理の方法は、除去すべき導体層に応じて適宜選択される。エッチング液としては、塩化第二銅溶液、塩化第二鉄溶液、アルカリエッチング溶液、過酸化水素エッチング液等が挙げられる。これらの中では、エッチファクタが良好な点から塩化第二鉄溶液を用いることが好ましい。

一方、めっき処理では、基板上に形成されたレジストパターンをマスクとして、レジストによって被覆されていない領域の導体層上に、銅、はんだ等をめっきする。めっき処理の後、レジストを除去し、更にレジストによって被覆されていた領域の導体層をエッチングして、導体パターンを形成する。めっき処理の方法は、電解めっき処理であっても、無電解めっき処理であってもよい。めっき処理としては、例えば、硫酸銅めっき、ピロリン酸銅めっき等の銅めっき、ハイスローはんだめっき等のはんだめっき、ワット浴（硫酸ニッケル−塩化ニッケル）めっき、スルファミン酸ニッケル等のニッケルめっき、ハード金メッキ、ソフト金メッキ等の金メッキなどが挙げられる。

上記エッチング処理及びめっき処理の後、基板上のレジストパターンは除去される。レジストパターンの除去は、例えば、前記現像工程に用いたアルカリ性水溶液より更に強アルカリ性の水溶液を用いて行うことができる。強アルカリ性の水溶液としては、例えば、１質量％〜１０質量％水酸化ナトリウム水溶液、１質量％〜１０質量％水酸化カリウム水溶液等が用いられる。なかでも、１質量％〜１０質量％水酸化ナトリウム水溶液又は水酸化カリウム水溶液を用いることが好ましく、１質量％〜５質量％水酸化ナトリウム水溶液又は水酸化カリウム水溶液を用いることがより好ましい。

めっき処理を施してからレジストパターンを除去した場合、更にエッチング処理によってレジストで被覆されていた領域の導体層をエッチングし、導体パターンを形成することで所望のプリント配線板を製造することができる。エッチング処理の方法は、除去すべき導体層に応じて適宜選択される。例えば、上述のエッチング液を適用することができる。

本発明のプリント配線板の製造方法は、単層プリント配線板のみならず多層プリント配線板の製造にも適用可能であり、また小径スルーホールを有するプリント配線板等の製造にも適用可能である。

図２は、本実施形態の感光性エレメントを用いる多層プリント配線基板の製造方法の一例を示す図である。図２（ｆ）に示す多層プリント配線基板１００Ａは表面及び内部に配線パターンを有する。多層プリント配線基板１００Ａは、銅張積層体、層間絶縁材及び金属箔等を積層し、そしてエッチング法、セミアディティブ法等によって配線パターンを適宜形成することによって得られる。

まず、表面に配線パターン１０２を有する銅張積層体１０１の両面に層間絶縁層１０３を形成する（図２（ａ）参照）。層間絶縁層１０３は、熱硬化性組成物をスクリーン印刷機又はロールコータを用いて印刷して形成しても、熱硬化性組成物からなるフィルムを予め準備し、ラミネーターを用いて、このフィルムをプリント配線基板の表面に貼り付けて形成してもよい。次いで、外部と電気的に接続することが必要な箇所に、ＹＡＧレーザー又は炭酸ガスレーザーを用いて開口１０４を形成し、開口１０４周辺のスミア（残渣）をデスミア処理により除去する（図２（ｂ）参照）。次いで、無電解めっき法によりシード層１０５を形成する（図２（ｃ）参照）。シード層１０５上に本実施形態の感光性エレメントをラミネートして感光性樹脂層を形成し、所定の箇所を露光及び現像してレジストパターン１０６を形成する（図２（ｄ）参照）。次いで、電解めっき法により配線パターン１０７を形成し、剥離液によりレジストパターン１０６を除去する。その後、シード層１０５をエッチングにより除去する（図２（ｅ）参照）。以上の工程を繰り返し、最表面にソルダーレジスト１０８を形成することで多層プリント配線基板１００Ａを作製することができる（図２（ｆ）参照）。

本実施形態の感光性樹脂組成物は、プリント配線板の製造に好適に使用することができる。即ち、本発明の好適な実施形態の一つは、前記感光性樹脂組成物のプリント配線板の製造への応用である。

以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。尚、特に断りのない限り、「部」及び「％」は質量基準である。

［（Ａ）成分：バインダーポリマー］[バインダーポリマー（Ｐ−１）の合成方法]（溶液ａ−１の調製）
表１に示す重合性単量体（共重合単量体、モノマー）の混合液に、ラジカル反応開始剤であるアゾビスイソブチロニトリル２．０ｇを溶解して、「溶液ａ−１」を調製した。

（ラジカル重合反応）
還流冷却器、温度計、滴下ロート及び窒素ガス導入管を備えたフラスコに、有機溶剤であるメチルセロソルブ２４０ｇ及びトルエン１６０ｇの混合液（質量比３：２）４００ｇを投入した。フラスコ内に窒素ガスを吹き込みながら、上記混合液を撹拌しつつ加熱して８０℃まで昇温させた。

フラスコ内の上記混合液に、「溶液ａ−１」を４時間かけて滴下速度を一定にして滴下した後、フラスコ内の溶液を８０℃にて２時間撹拌した。次いで、フラスコ内の溶液に、「溶液ａ−１」１００ｇにアゾビスイソブチロニトリル１ｇを更に溶解した溶液を１０分間かけて滴下速度を一定にして滴下した後、フラスコ内の溶液を８０℃にて３時間撹拌した。更に、フラスコ内の溶液を３０分間かけて９０℃まで昇温させ、９０℃にて２時間保温した後、冷却することにより、バインダーポリマー（Ｐ−１）の溶液を得た。

バインダーポリマー（Ｐ−１）の溶液にアセトンを加えて、不揮発成分（不揮発分）が５０質量％になるように調製した。バインダーポリマー（Ｐ−１）の重量平均分子量は５５，０００であった。なお、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法（ＧＰＣ）によって測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて換算することにより導出した。ＧＰＣの条件は、以下に示すとおりである。

−ＧＰＣ条件−
ポンプ：日立 Ｌ−６０００型（株式会社日立製作所製）
カラム：以下の計３本
Ｇｅｌｐａｃｋ ＧＬ−Ｒ４２０
Ｇｅｌｐａｃｋ ＧＬ−Ｒ４３０
Ｇｅｌｐａｃｋ ＧＬ−Ｒ４４０
（以上、日立化成株式会社製、商品名）
溶離液：テトラヒドロフラン
測定温度：２５℃
流量：２．０５ｍＬ／分
検出器：日立 Ｌ−３３００型ＲＩ（株式会社日立製作所製）

[バインダーポリマー（Ｐ−２）の合成方法]（溶液ａ-２の調製）
表１に示す重合性単量体（共重合単量体、モノマー）の混合液に、ラジカル反応開始剤であるアゾビスイソブチロニトリル１．０ｇを溶解して、「溶液ａ−２」を調製した。その後、バインダーポリマー（Ｐ−１）と同様にラジカル重合反応を行い、バインダーポリマー（Ｐ−２）の溶液を得た。バインダーポリマー（Ｐ−２）の重量平均分子量は１００，０００であった。

[バインダーポリマー（Ｐ−３）の合成方法]（溶液ａ−３の調製）
表１に示す重合性単量体（共重合単量体、モノマー）の混合液に、ラジカル反応開始剤であるアゾビスイソブチロニトリル２．０ｇを溶解して、「溶液ａ−３」を調製した。 その後、バインダーポリマー（Ｐ−１）と同様にラジカル重合反応を行い、バインダーポリマー（Ｐ−３）の溶液を得た。バインダーポリマー（Ｐ−３）の重量平均分子量は５５，０００であった。

［感光性樹脂組成物の調製］
上記で得られたバインダーポリマーの溶液に、（Ｂ）成分、（Ｃ）成分、（Ｄ）成分及びその他の成分と、アセトン８ｇ、トルエン８ｇ及びメタノール８ｇとを下記表２に示す配合量（ｇ）で配合することにより、実施例１〜１０及び比較例１〜６の感光性樹脂組成物の溶液をそれぞれ調製した。なお、表２に示すバインダーポリマーの配合量は、不揮発成分の質量（不揮発分量）である。

表２に示す材料の詳細は以下の通りである。
＜（Ａ）成分：バインダーポリマー＞
・Ｐ−１：上記で調製したバインダーポリマー：メタクリル酸／メタクリル酸ベンジル（２４／７６（質量比））の共重合体、重量平均分子量５５，０００、酸価１５７ｍｇＫＯＨ／ｇ、不揮発分５０質量％のメチルセロソルブ／トルエン＝６／４（質量比）溶液。

・Ｐ−２：上記で調製したバインダーポリマー：メタクリル酸／メタクリル酸メチル／アクリル酸２−エチルヘキシル（２５／５０／２５（質量比））の共重合体、重量平均分子量１００，０００、酸価１６３ｍｇＫＯＨ／ｇ、不揮発分５０質量％のメチルセロソルブ／トルエン＝６／４（質量比）溶液。

・Ｐ−３：メタクリル酸／メタクリル酸ベンジル（３１／６９（質量比））の共重合体、重量平均分子量５５，０００、酸価２０２ｍｇＫＯＨ／ｇ、不揮発分５０質量％のメチルセロソルブ／トルエン＝６／４（質量比）溶液。

＜（Ｂ）成分：光重合性化合物＞
・ＦＡ−３２１Ｍ：ビスフェノールＡポリオキシエチレンジメタクリレート（日立化成株式会社製、製品名）、分子量８０４。
・ＦＡ−２２００Ｍ：ポリエチレングリコールジメタクリレート（日立化成株式会社製、製品名）、分子量２１１６。
・ＦＡ−Ｐ２２００Ｍ：ポリプロピレングリコールジメタクリレート（日立化成株式会社製、製品名）、分子量２１３７。
・ＵＡ−ＨＣＹ−１９：ヘキサメチレンジイソシアネートトリマーとポリエチレンオキサイドメタクリレートのウレタン反応物（新中村化学工業株式会社製、製品名）、分子量２５２２。
・ＦＡ−１３７Ｍ：トリメチロールプロパンポリエチレンオキサイドトリメタクリレート（日立化成株式会社製、製品名）、分子量１２５９。

＜（Ｃ）成分：光重合開始剤＞
・Ｎ−１７１７：１，７−ジ（９−アクリジニル）ヘプタン（株式会社ＡＤＥＫＡ製、製品名）。
・ＥＡＢ：４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン（保土谷化学工業株式会社製、製品名）。
・Ｂ−ＣＩＭ：２−（２−クロロフェニル）−１−［２−（２−クロロフェニル）−４，５−ジフェニル−２Ｈ−イミダゾ−ル−２−イル］−４，５−ジフェニル−１Ｈ−イミダゾ−ル（保土谷化学工業株式会社製、製品名）。

＜（Ｄ）成分：ポリテトラメチレンオキサイド化合物＞
・ＦＡ−ＰＴＧ２８Ｍ：ポリテトラメチレングリコールジメタクリレート（日立化成株式会社製、製品名）、分子量２１７０、（Ｂ）成分に該当。
・ＦＡ−ＰＴＧ９Ｍ：ポリテトラメチレングリコールジメタクリレート（日立化成株式会社製、製品名）、分子量８０２、（Ｂ）成分に該当。
・Ａ−ＰＴＭＧ６５０：ポリテトラメチレングリコールジアクリレート（新中村化学株式会社製、製品名）。分子量７７４、（Ｂ）成分に該当。
・ＰＴＭＧ−２０００：ポリテトラメチレングリコール（三菱化学株式会社製、製品名）、分子量２０３４。

＜その他の成分＞
・ＬＣＶ：ロイコクリスタルバイオレット（山田化学株式会社製、製品名）
・ＭＫＧ：マラカイトグリーン（大阪有機化学工業株式会社製、製品名）

〔感光性エレメントの作製〕
実施例１〜１０及び比較例１〜６の感光性樹脂組成物を、それぞれ厚さ１６μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（帝人株式会社製、商品名「Ｇ２−１６」）（支持体）上に厚みが均一になるように塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥器で１０分間乾燥して、乾燥後の膜厚が３０μｍである感光性樹脂層を形成した。この感光性樹脂層上にポリエチレンフィルム（タマポリ株式会社製、商品名「ＮＦ−１３」）（保護層）をロール加圧にて積層することにより、支持体と、感光性樹脂層と、保護層とがこの順に積層された実施例１〜１０及び比較例１〜６にかかる感光性エレメントをそれぞれ得た。

〔評価用積層基板の作製〕
続いて、ガラスエポキシ材と、その両面に形成された銅箔（厚さ３５μｍ）とからなる１．６ｍｍ厚の銅張積層板（日立化成株式会社製、商品名「ＭＣＬ−Ｅ−６７」）の銅表面を、＃６００相当のブラシを持つ研磨機（三啓株式会社製）を用いて研磨し、水洗後、空気流で乾燥させた。この銅張積層板（以下、「基板」という。）を加熱して８０℃に昇温させた後、実施例１〜１０及び比較例１〜６にかかる感光性エレメントを基板の両側の銅表面にラミネート（積層）して、評価用積層基板をそれぞれ作製した。ラミネートは、１１０℃のヒートロールを用いて、保護層を除去しながら、各感光性エレメントの感光性樹脂層が基板の各銅表面に密着するようにして、１．５ｍ／分の速度で行った。また、ラミネート時のヒートロール圧力を０．４Ｍｐａとした。

〔感度の評価〕
得られた評価用積層基板を２３℃まで放冷した。次いで、評価用積層基板の表面の支持体に、ステップタブレットを有するフォトツールを密着させた。ステップタブレットとしては、濃度領域が０．００〜２．００、濃度ステップが０．０５、タブレットの大きさが２０ｍｍ×１８７ｍｍ、各ステップの大きさが３ｍｍ×１２ｍｍである４１段ステップタブレットを用いた。このようなステップタブレットを有するフォトツール及びポリエチレンテレフタレートフィルムを介して、感光性樹脂層を露光した。露光は、半導体励起固体レーザーを光源とする露光機（日本オルボテック株式会社製、商品名「Ｐａｒａｇｏｎ−９０００ｍ」）を用いて、１７ｍＪ／ｃｍ^２の露光量で行った。

露光後、評価用積層基板から支持体を剥離し、感光性樹脂層を露出させた。露出した感光性樹脂層に対し、３０℃の１．０質量％炭酸ナトリウム水溶液を５０秒間スプレー（現像処理）することにより、未露光部分を除去した。このようにして、評価用積層基板の銅表面に、感光性樹脂組成物の硬化物からなる硬化膜を形成した。得られた硬化膜のステップタブレットの段数を測定することにより、実施例１〜１０及び比較例１〜６の感光性樹脂組成物及びそれらから得られた感光性エレメントの感度（光感度）を評価した。このステップタブレットの段数が高いほど、感度が高いことを意味する。結果を表２に示す。

〔密着性及び解像性の評価〕
前記評価用積層基板上に密着性評価用として、ライン幅／スペース幅がｎ／４００（単位：μｍ、ｎ＝５μｍ〜２００μｍで２．５μｍ間隔）の評価用パターンと、解像性評価用として、ライン幅／スペース幅が４００／ｎ（単位：μｍ、ｎ＝５μｍ〜２００μｍで２．５μｍ間隔）の評価用パターンとを有するフォトツールデータをそれぞれ使用した。露光は、半導体励起固体レーザーを光源とする露光機（日本オルボテック株式会社製、商品名「Ｐａｒａｇｏｎ−９０００ｍ」）を用いて、１７ｍＪ／ｃｍ^２の露光量で行った。次いで、上記光感度の評価と同様の条件で現像処理を行って、未露光部を除去した。密着性は現像処理によって硬化膜が残存しているライン領域の幅の最小値（単位：μｍ）により評価した。解像性は、現像処理によって光硬化されていない部分をきれいに除去することができたライン領域間のスペースの幅の最小値（単位：μｍ）により評価した。密着性
及び解像性の評価は共に数値が小さいほど良好な値である。結果を表２に示す。

〔剥離性評価〕
前記評価用積層基板上に、剥離性評価用として４５ｍｍ×６５ｍｍの長方形の硬化膜を形成するフォトツールデータを使用して露光した。露光は、半導体励起固体レーザーを光源とする露光機（日本オルボテック株式会社製、商品名「Ｐａｒａｇｏｎ−９０００ｍ」）を用いて、１７ｍＪ／ｃｍ^２の露光量で行った。次いで、上記光感度の評価と同様の条件で現像処理し、未露光部を除去した。
その後、容量４００ｍｌのビーカーに５０℃、３．０質量％ＮａＯＨ水溶液（剥離液）３００ｍｌを準備した。剥離液を長さ３０ｍｍの攪拌子を用いて２００ｒｐｍで攪拌しながら、現像後の基板を剥離液に浸漬し、硬化膜が基板から離れるまでの時間（単位：秒）を計測した。なお、硬化膜が基板から離れるまでの時間が早いほど、剥離時間が短く剥離性が良好であると評価する。結果を表２に示す。

〔エッチング耐性〕
ガラスエポキシ材と、その両面に形成された銅箔（厚さ１００μｍ）とからなる１．６ｍｍ厚の銅張積層板（日立化成株式会社製、商品名「ＭＣＬ−Ｅ−６７」）の銅表面を、＃６００相当のブラシを持つ研磨機（三啓株式会社製）を用いて研磨し、水洗後、空気流で乾燥させた。この銅張積層板（以下、「基板」という。）を加熱して８０℃に昇温させた後、実施例１〜１０及び比較例１〜６にかかる感光性エレメントを基板の両側の銅表面にラミネート（積層）して、評価用積層基板をそれぞれ作製した。その後、前記密着性及び解像性の評価用基板の作成方法と同様にして、現像処理までの工程を行った。
次に、最短エッチング時間の２倍の時間でエッチングした。５０℃の３．０質量％ＮａＯＨ水溶液に浸漬し、レジストを剥離した後に銅パターンを観察した。剥離前のレジストパターンに沿って直線的にエッチングされている場合を「○」とし、剥離前のレジストパターンと得られた銅パターンの輪郭との差が基板の上面から観察した際に５μｍ以上であるライン欠け（ライン領域の消失）又はラインギザ（ライン領域の幅の変化）が見られる場合を「×」とした。ラインギザが発生しているが、５μｍ未満の場合は「△」とした。なお、「最短エッチング時間」とは、以下のように測定して得られる値とした。まず、前記銅張積層板を３０ｍｍ×３０ｍｍのサイズにカットし、試験片とした。試験片に、５０℃の５ｍｏｌ／Ｌ塩化銅溶液を用いて、０．１５ＭＰａの圧力でスプレーし、銅張積層板の銅層が除去されたことを目視で確認できる最短の時間を、最短エッチング時間とした。

〔テント信頼性〕
テント信頼性は、図３に示すような穴破れ数測定用基板４０を以下のようにして作製し、これを用いて評価した。銅張積層板（日立化成株式会社製、商品名「ＭＣＬ−Ｅ−６７」）に、直径４ｍｍ〜６ｍｍの穴径で、それぞれ３つの独立した丸穴４１及び３つの丸穴が連結し、かつ丸穴の間隔が徐々に短くなる３連穴４２を型抜き機によりそれぞれ作製した。丸穴４１及び３連穴４２を作製した際に生じたバリを＃６００相当のブラシをもつ研磨機（三啓株式会社製）を使用して取り除き、これを穴破れ数測定用基板４０とした。

得られた穴破れ数測定用基板を８０℃に加温し、実施例１〜１０及び比較例１〜６にかかる感光性エレメントから保護層を剥がして、感光性樹脂層が穴破れ数測定用基板４０の銅表面に対向するように配置し、１２０℃、０．４ＭＰａの条件で、それぞれラミネートして、テント信頼性評価用積層基板をそれぞれ作製した。

ラミネート後、テント信頼性評価用積層基板を２３℃まで放冷した。次いで、感光性エレメントの支持体の上から、半導体励起固体レーザーを光源とする露光機（日本オルボテック株式会社製、商品名「Ｐａｒａｇｏｎ−９０００ｍ」）を用いて、１７ｍＪ／ｃｍ^２の露光量で露光した。

露光後、室温で１５分間放置し、続いてテント信頼性評価用積層基板から支持体を剥がし、３０℃の１質量％炭酸ナトリウム水溶液を５０秒間スプレーすることにより現像した。現像後、３連穴の穴破れ数を測定し、全３連穴数に対する穴破れ数として異形テント破れ率を算出し、テント信頼性（％）を評価した。この数値が高いほど、テント信頼性が高いことを意味する。結果を表２に示す。

以上の評価結果に示すように、本発明の感光性樹脂組成物を用いた実施例１〜１０にかかる感光性エレメントを用いた場合は、いずれにおいても比較例１〜６にかかる感光性エレメントを用いた場合と比較し、良好な密着性、解像性、エッチング耐性、剥離性及び優れたテント信頼性を示した。比較例にかかる感光性エレメントに関しては、光感度は実施例にかかる感光性エレメントと同等であったが、エッチング耐性に劣っていた。さらに、比較例１、３及び６はテント信頼性に劣っており、比較例５は剥離性に劣っていた。

日本国特許出願第２０１４−０９９６３０号の開示はその全体が参照により本明細書に取り込まれる。本明細書に記載された全ての文献、特許出願、及び技術規格は、個々の文献、特許出願、及び技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記された場合と同程度に、本明細書に参照により取り込まれる。

Claims (6)

1. （Ａ）成分：バインダーポリマーと、（Ｂ）成分：光重合性化合物と、（Ｃ）成分：光重合開始剤と、を含有し、前記（Ｂ）成分の一部または全てが重量平均分子量が２０００以上であるポリテトラメチレングリコールジメタクリレートであり、感光性樹脂組成物の不揮発分の酸価が１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満である、レジストパターンの形成に用いるための感光性樹脂組成物。
2. 前記（Ｂ）成分がビスフェノールＡポリオキシエチレンジメタクリレートをさらに含む、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
3. 前記（Ｂ）成分の総量中のポリテトラメチレングリコールジメタクリレートの含有率が２０質量％〜５０質量％である、請求項１又は請求項２に記載の感光性樹脂組成物。
4. 支持体と、請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を用いて前記支持体上に形成される感光性樹脂層と、を有する感光性エレメント。
5. 請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物又は請求項４に記載の感光性エレメントを用いて、感光性樹脂層を基板上に形成する感光性樹脂層形成工程と、
   前記感光性樹脂層の少なくとも一部の領域に活性光線を照射して、前記領域を硬化させる露光工程と、
   前記感光性樹脂層の前記領域以外の未露光部分を前記基板から除去する現像工程と、を有するレジストパターンの形成方法。
6. 請求項５に記載の方法によりレジストパターンが形成された基板をエッチング又はめっきする工程を含む、プリント配線板の製造方法。