JP6673199B2 - 温度センサおよび、それを用いた装置、および温度測定方法 - Google Patents
温度センサおよび、それを用いた装置、および温度測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6673199B2 JP6673199B2 JP2016523117A JP2016523117A JP6673199B2 JP 6673199 B2 JP6673199 B2 JP 6673199B2 JP 2016523117 A JP2016523117 A JP 2016523117A JP 2016523117 A JP2016523117 A JP 2016523117A JP 6673199 B2 JP6673199 B2 JP 6673199B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- voltage
- infrared
- calculated
- pixel units
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 19
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 title claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 55
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 claims description 13
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 11
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 30
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 10
- 239000010408 film Substances 0.000 description 10
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 5
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 4
- 101100510617 Caenorhabditis elegans sel-8 gene Proteins 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 238000010411 cooking Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/52—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using comparison with reference sources, e.g. disappearing-filament pyrometer
- G01J5/56—Electrical features thereof
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/0003—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry for sensing the radiant heat transfer of samples, e.g. emittance meter
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/04—Casings
- G01J5/041—Mountings in enclosures or in a particular environment
- G01J5/045—Sealings; Vacuum enclosures; Encapsulated packages; Wafer bonding structures; Getter arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/06—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/06—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity
- G01J5/068—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity by controlling parameters other than temperature
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0806—Focusing or collimating elements, e.g. lenses or concave mirrors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0846—Optical arrangements having multiple detectors for performing different types of detection, e.g. using radiometry and reflectometry channels
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
- G01J5/12—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using thermoelectric elements, e.g. thermocouples
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
- G01J5/20—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors using resistors, thermistors or semiconductors sensitive to radiation, e.g. photoconductive devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/48—Thermography; Techniques using wholly visual means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/52—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using comparison with reference sources, e.g. disappearing-filament pyrometer
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/80—Calibration
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K1/00—Details of thermometers not specially adapted for particular types of thermometer
- G01K1/20—Compensating for effects of temperature changes other than those to be measured, e.g. changes in ambient temperature
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/20—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from infrared radiation only
- H04N23/23—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from infrared radiation only from thermal infrared radiation
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N5/00—Details of television systems
- H04N5/30—Transforming light or analogous information into electric information
- H04N5/33—Transforming infrared radiation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/06—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity
- G01J2005/066—Differential arrangement, i.e. sensitive/not sensitive
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/10—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using electric radiation detectors
- G01J2005/106—Arrays
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/52—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using comparison with reference sources, e.g. disappearing-filament pyrometer
- G01J2005/528—Periodic comparison
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/80—Calibration
- G01J5/804—Calibration using atmospheric correction
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/50—Constructional details
- H04N23/54—Mounting of pick-up tubes, electronic image sensors, deviation or focusing coils
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/50—Constructional details
- H04N23/55—Optical parts specially adapted for electronic image sensors; Mounting thereof
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
物体の周辺から放射された赤外線を測定し、第2の電圧を出力し、
第1の電圧により、物体の出力温度を算出し、
第2の電圧により、物体の周辺温度を算出し、
周辺温度により出力温度を補正することにより、物体の温度を算出する。
以下に、本実施の形態の温度センサについて、図面を用いながら説明する。
2 赤外線センサ
3 IC素子
4 パッケージ
5 装置
6 物体
7 演算部
8 動作部
10 感温部
11 熱型赤外線検出部
12 MOSトランジスタ
13 画素部
14 半導体基板
15 空洞部
16 第1の薄膜構造部
17 赤外線吸収部
18 第2の薄膜構造部
19 スリット
20 第1の配線
21 第2の配線
22 第3の配線
23 第4の配線
24 パッケージ本体
25 パッケージ蓋
26 メタルキャップ
27 開口部
28 赤外線透過部材
29 ツェナダイオード
30 基体
32 電磁シールド層
34 支持部
36 検出部
38 連結片
40 画素切替え部
44 層間絶縁膜
46 パッシベーション膜
50 赤外線吸収層
70,A1〜A64 検知領域
Claims (8)
- 物体の温度を測定する温度センサであって、
前記物体から放射された赤外線を測定し、第1の電圧を出力する第1の赤外線測定手段と、
前記物体の周辺から放射された赤外線を測定し、第2の電圧を出力する第2の赤外線測定手段と、
前記第1の電圧により、前記物体の出力温度を算出し、前記第2の電圧により、前記物体の周辺温度を算出し、前記周辺温度により前記出力温度を補正することにより、前記物体の温度を算出する演算部と、
を備え、
前記第1の赤外線測定手段と、前記第2の赤外線測定手段は、一つの赤外線センサにより構成され、
前記赤外線センサは、2次元状に配置された複数の画素部を有しており、
前記第2の電圧は、前記複数の画素部のうち、四隅の画素部の電圧から算出され、
前記第1の電圧は、前記複数の画素部のうち、前記四隅の画素部を除いた他の画素部の電圧から算出され、
前記物体の前記温度センサの検知領域に対向する面が正方形のとき、
前記演算部は、(2)式より前記物体の前記温度を算出する
Toutは、前記物体の前記出力温度であり、
Tambは、前記物体の周辺温度であり、
Aは、前記物体の1辺の長さであり、
A2は、前記物体の面積であり、
e11、e12、e21、e22、e31、e32、d1、d2、d3は係数である
温度センサ。 - 物体の温度を測定する温度センサであって、
前記物体から放射された赤外線を測定し、第1の電圧を出力する第1の赤外線測定手段と、
前記物体の周辺から放射された赤外線を測定し、第2の電圧を出力する第2の赤外線測定手段と、
前記第1の電圧により、前記物体の出力温度を算出し、前記第2の電圧により、前記物体の周辺温度を算出し、前記周辺温度により前記出力温度を補正することにより、前記物体の温度を算出する演算部と、
を備え、
前記第1の赤外線測定手段と、前記第2の赤外線測定手段は、一つの赤外線センサにより構成され、
前記赤外線センサは、1次元状に配置された複数の画素部を有しており、
前記第2の電圧は、前記複数の画素部のうち、両端の画素部の電圧から算出され、
前記第1の電圧は、前記複数の画素部のうち、前記両端の画素部を除いた他の画素部の電圧から算出され、
前記物体の前記温度センサの検知領域に対向する面が正方形のとき、
前記演算部は、(2)式より前記物体の前記温度を算出する
Toutは、前記物体の前記出力温度であり、
Tambは、前記物体の周辺温度であり、
Aは、前記物体の1辺の長さであり、
A2は、前記物体の面積であり、
e11、e12、e21、e22、e31、e32、d1、d2、d3は係数である
温度センサ。 - 前記演算部は、前記周辺温度に加えて、前記物体の大きさにより前記出力温度を補正する請求項1又は2に記載の温度センサ。
- 前記物体の大きさを測定するための物体サイズ取得手段をさらに備える
請求項3に記載の温度センサ。 - 温度センサによる物体の温度測定方法であって、
前記物体から放射された赤外線を測定し、第1の電圧を出力し、
前記物体の周辺から放射された赤外線を測定し、第2の電圧を出力し、
前記第1の電圧により、前記物体の出力温度を算出し、
前記第2の電圧により、前記物体の周辺温度を算出し、
前記周辺温度により前記出力温度を補正することにより、前記物体の温度を算出し、
前記第1の電圧と前記第2の電圧は、赤外線センサにより出力され、
前記赤外線センサは、2次元状に配置された複数の画素部を有しており、
前記第2の電圧は、前記複数の画素部のうち、四隅の画素部の電圧から算出され、
前記第1の電圧は、前記複数の画素部のうち、前記四隅の画素部を除いた他の画素部の電圧から算出され、
前記物体の前記温度センサの検知領域に対向する面が正方形のとき、
前記物体の前記温度は、(2)式より算出される
Toutは、前記物体の前記出力温度であり、
Tambは、前記物体の周辺温度であり、
Aは、前記物体の1辺の長さであり、
A2は、前記物体の面積であり、
e11、e12、e21、e22、e31、e32、d1、d2、d3は係数である
温度測定方法。 - 温度センサによる物体の温度測定方法であって、
前記物体から放射された赤外線を測定し、第1の電圧を出力し、
前記物体の周辺から放射された赤外線を測定し、第2の電圧を出力し、
前記第1の電圧により、前記物体の出力温度を算出し、
前記第2の電圧により、前記物体の周辺温度を算出し、
前記周辺温度により前記出力温度を補正することにより、前記物体の温度を算出し、
前記第1の電圧と前記第2の電圧は、赤外線センサにより出力され、
前記赤外線センサは、1次元状に配置された複数の画素部を有しており、
前記第2の電圧は、前記複数の画素部のうち、両端の画素部の電圧から算出され、
前記第1の電圧は、前記複数の画素部のうち、前記両端の画素部を除いた他の画素部の電圧から算出され、
前記物体の前記温度センサの検知領域に対向する面が正方形のとき、
前記物体の前記温度は、(2)式より算出される
Toutは、前記物体の前記出力温度であり、
Tambは、前記物体の周辺温度であり、
Aは、前記物体の1辺の長さであり、
A2は、前記物体の面積であり、
e11、e12、e21、e22、e31、e32、d1、d2、d3は係数である
温度測定方法。 - 前記周辺温度に加えて、前記物体の大きさにより前記出力温度を補正する
請求項5又は6に記載の温度測定方法。 - 前記物体の大きさを測定するためのステップをさらに備える
請求項7に記載の温度測定方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014112097 | 2014-05-30 | ||
JP2014112097 | 2014-05-30 | ||
PCT/JP2015/002522 WO2015182066A1 (ja) | 2014-05-30 | 2015-05-20 | 温度センサおよび、それを用いた装置、および温度測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015182066A1 JPWO2015182066A1 (ja) | 2017-04-20 |
JP6673199B2 true JP6673199B2 (ja) | 2020-03-25 |
Family
ID=54698421
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016523117A Active JP6673199B2 (ja) | 2014-05-30 | 2015-05-20 | 温度センサおよび、それを用いた装置、および温度測定方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10641660B2 (ja) |
JP (1) | JP6673199B2 (ja) |
CN (1) | CN106461467B (ja) |
WO (1) | WO2015182066A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109000799A (zh) * | 2017-06-06 | 2018-12-14 | 佛山市顺德区美的电热电器制造有限公司 | 用于烹饪器具的红外测温方法、系统及烹饪器具 |
US10156821B1 (en) * | 2017-09-21 | 2018-12-18 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Image forming apparatus and image forming method |
JPWO2019188375A1 (ja) * | 2018-03-28 | 2021-04-01 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 赤外線センサモジュールと、空気調和機と、空気調和機制御システム |
JP7316830B2 (ja) * | 2019-04-18 | 2023-07-28 | 三菱電機株式会社 | 誘導加熱調理器 |
CN111063529B (zh) * | 2020-01-09 | 2020-12-04 | 台州百瑞电子科技有限公司 | 一种变压器油温检测装置及其系统 |
CN113125014A (zh) * | 2020-01-15 | 2021-07-16 | 广东小天才科技有限公司 | 一种红外测体温的方法、电子设备、可读存储介质 |
KR102657954B1 (ko) * | 2020-12-08 | 2024-04-18 | (주)유우일렉트로닉스 | 기판의 온도 보상을 이용한 대상체의 온도 측정 장치, 방법, 및 컴퓨터로 독출 가능한 기록 매체 |
CN113252185B (zh) * | 2021-04-07 | 2022-10-04 | 广州市倍尔康医疗器械有限公司 | 红外测温仪温度测量方法、系统和存储介质 |
CN112802956B (zh) * | 2021-04-09 | 2021-07-27 | 山东新港电子科技有限公司 | 一种mems热电堆红外探测器及其制作方法 |
CN113609452B (zh) * | 2021-07-30 | 2022-04-29 | 成都市晶林科技有限公司 | 一种体温筛查系统误差实时修正方法 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5576920A (en) * | 1978-12-06 | 1980-06-10 | Jeol Ltd | Thermographic device |
JPS62163937A (ja) * | 1986-01-14 | 1987-07-20 | Furuno Electric Co Ltd | 赤外線センサを用いた温度測定装置 |
JPH03293585A (ja) | 1990-04-11 | 1991-12-25 | Mitsubishi Electric Corp | 熱線式人体検知装置 |
JPH0432378A (ja) * | 1990-05-29 | 1992-02-04 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 赤外線撮像装置 |
JP2601398B2 (ja) * | 1993-06-03 | 1997-04-16 | 愛知計装株式会社 | 低温物体の非接触高速温度測定方法及び装置 |
EP1026521B1 (en) * | 1995-04-12 | 2004-09-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for detecting an object |
JP3149919B2 (ja) * | 1997-12-03 | 2001-03-26 | 日本電気株式会社 | 固体撮像素子及びこれを用いた読み出し回路 |
KR100314438B1 (ko) * | 1998-10-31 | 2002-04-24 | 구자홍 | 써모파일센서를이용한온도측정회로 |
JP2001337059A (ja) * | 2000-05-26 | 2001-12-07 | Toshiba Corp | プリント配線板の劣化検出方法および装置 |
JP2004061283A (ja) * | 2002-07-29 | 2004-02-26 | Ishizuka Electronics Corp | 赤外線センサ及びこれを用いた物体の大きさと表面温度の判定装置 |
JP2007248201A (ja) | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Horiba Ltd | 放射温度計 |
CN101490479B (zh) | 2006-09-07 | 2010-12-15 | 三菱电机株式会社 | 空气调和机 |
JP5127278B2 (ja) * | 2007-04-05 | 2013-01-23 | 三菱電機株式会社 | 熱型赤外線固体撮像素子及び赤外線カメラ |
JP5645240B2 (ja) * | 2009-03-31 | 2014-12-24 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 赤外線アレイセンサ |
JP2011089983A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-05-06 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 赤外線センサを用いた温度測定装置及びその補正方法 |
JP5842118B2 (ja) * | 2010-06-24 | 2016-01-13 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 赤外線センサ |
JP5530274B2 (ja) | 2010-06-30 | 2014-06-25 | パナソニック株式会社 | 温度センサ |
CN102012270B (zh) * | 2010-09-15 | 2013-03-06 | 昆山光微电子有限公司 | 用于光-机械式热型红外传感器的高性能热变形梁及其应用 |
JP2012078160A (ja) | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 赤外線センサ信号の補正方法及び温度測定方法並びに温度測定装置 |
WO2012067282A1 (ko) * | 2010-11-17 | 2012-05-24 | (주)이지템 | 체온을 포함하는 휴대용 열화상 온도측정 장치 및 방법 |
WO2012092424A1 (en) * | 2010-12-30 | 2012-07-05 | Exergen Corporation | Infrared sensor and method for electrical monitoring |
JP2013202260A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Sony Corp | 情報処理装置、情報処理方法およびコンピュータプログラム |
JP2013251254A (ja) * | 2013-01-17 | 2013-12-12 | Mitsubishi Electric Corp | 加熱調理器 |
CN103263255B (zh) * | 2013-05-25 | 2014-09-24 | 慈溪迈思特电子科技有限公司 | 人体红外温度传感器的数据处理方法 |
-
2015
- 2015-05-20 WO PCT/JP2015/002522 patent/WO2015182066A1/ja active Application Filing
- 2015-05-20 JP JP2016523117A patent/JP6673199B2/ja active Active
- 2015-05-20 US US15/309,517 patent/US10641660B2/en active Active
- 2015-05-20 CN CN201580027008.XA patent/CN106461467B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20170160141A1 (en) | 2017-06-08 |
CN106461467B (zh) | 2020-03-24 |
JPWO2015182066A1 (ja) | 2017-04-20 |
WO2015182066A1 (ja) | 2015-12-03 |
CN106461467A (zh) | 2017-02-22 |
US10641660B2 (en) | 2020-05-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6673199B2 (ja) | 温度センサおよび、それを用いた装置、および温度測定方法 | |
EP3118594B1 (en) | Infrared sensing device and infrared sensing method | |
US6630674B2 (en) | Method and apparatus for correction of microbolometer output | |
CN107462345B (zh) | 温度测定装置 | |
US10094691B2 (en) | Flow sensor arrangement | |
CN109313080B (zh) | 用于无接触式确定温度的方法以及红外测量系统 | |
US10337926B2 (en) | Low-drift infrared detector | |
US9255846B1 (en) | Digital temperature determination using a radiometrically calibrated and a non-calibrated digital thermal imager | |
JP2006053024A (ja) | 温度補正処理装置 | |
JP5530274B2 (ja) | 温度センサ | |
US10345154B2 (en) | Infrared sensing devices and methods | |
JP5702101B2 (ja) | 赤外線センサ信号の補正方法及び温度測定方法並びに温度測定装置 | |
JP5755780B2 (ja) | 赤外線センサ信号の補正方法及び温度測定方法並びに温度測定装置 | |
KR101459668B1 (ko) | 적외선 열화상 카메라를 이용하여 측정된 반도체 소자 온도 분포의 보정 방법 및 이에 이용되는 시스템 | |
JP5080850B2 (ja) | 赤外線検出装置 | |
JP2016133305A (ja) | 赤外線検知装置 | |
JP5520238B2 (ja) | 温度測定装置における補正データの取得方法およびこれを行う、温度測定方法、及び、温度測定装置。 | |
JP6562254B2 (ja) | 温度検出装置及び温度検出方法 | |
JP6664367B2 (ja) | 検出器、ならびに、検出器の補正方法、校正方法、検出装置 | |
Krupiński et al. | Test stand for non-uniformity correction of microbolometer focal plane arrays used in thermal cameras | |
Lee et al. | Characterization of non-uniformity and bias-heating for uncooled bolometer FPA detectors using simulator | |
Corcos et al. | Modeling and optimization method for thermal THz sensing with MOS transistors | |
JP2015025740A (ja) | 放射線の測定装置、測定方法及び測定プログラム | |
JP2007033053A (ja) | 熱型赤外線検出器を用いた放射温度計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161102 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20170417 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190305 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190425 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190806 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190910 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200204 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200217 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6673199 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |