JP6665982B2 - マニホールド装置 - Google Patents

Description

本発明は、一列に連結された複数のマニホールドブロックを備えたマニホールド装置に関する。

従来から、水等の流体を分岐又は集合させるためのマニホールド装置が広く利用されている。例えば、特許文献１には、本管と、本管に一体的に設けられた複数の分岐管とを備えたマニホールド装置が開示されている。これら分岐管の軸線は、本管の軸線に対して直交するとともに一列に並んでいる。分岐管から突出する各分岐管の突出端部には、分岐管に対して分岐配管を取り付けるための接続部材（配管アダプタ）が設けられている。

特開２００７−５６９７５号公報

しかしながら、上述した特許文献１のような従来技術では、複数の分岐管の軸線が本管の軸線に対して直交するとともに一列に並んでいるため、各分岐管の接続部材に対して分岐配管を着脱する際に、隣接する配管が互いに干渉することがある。そのため、接続部材に対する分岐配管の着脱作業を効率的に行うことができないおそれがある。

本発明は、このような課題を考慮してなされたものであり、接続部材に対する分岐配管の着脱作業を効率的に行うことができるマニホールド装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明に係るマニホールド装置は、一列に連結された複数のマニホールドブロックと、各前記マニホールドブロックの外側面に設けられ、分岐配管が着脱可能な複数の接続部材と、を備え、各前記マニホールドブロックには、複数の前記マニホールドブロックの連結方向に沿って前記マニホールドブロックを貫通して形成され、且つ流体が流通するメインポートと、前記マニホールドブロックの前記外側面に開口し、前記接続部材に装着された前記分岐配管の内孔及び前記メインポートを互いに連通させる分岐ポートと、が形成され、各前記分岐ポートの軸線は、前記メインポートの軸線に対して交差しないように前記分岐ポートの軸線方向及び前記連結方向と直交する方向にずれて位置し、複数の前記マニホールドブロックは、互いに隣接する一方のマニホールドブロックを他方のマニホールドブロックに対して前記分岐ポートの軸線方向及び前記連結方向と直交する方向に１８０度反転させた反転状態で連結可能なように構成され、互いに隣接する前記一方のマニホールドブロックを前記他方のマニホールドブロックに対して前記反転状態で連結した際に、前記一方のマニホールドブロックの接続部材と前記他方のマニホールドブロックの接続部材とが千鳥状に配置される、ことを特徴とする。

このような構成によれば、互いに隣接する一方のマニホールドブロックを他方のマニホールドブロックに対して分岐ポートの軸線方向及び連結方向と直交する方向に１８０度反転させた状態で連結することにより、互いに隣接するマニホールドブロックに設けられた接続部材を千鳥状に配置することができる。これにより、接続部材に対する分岐配管の着脱作業を効率的に行うことができる。

上記のマニホールド装置において、前記接続部材は、各前記マニホールドブロックに１つずつ設けられていてもよい。

このような構成によれば、全ての接続部材を千鳥状に配置することができるので、接続部材に対する配管の着脱作業を一層効率的に行うことができる。

上記のマニホールド装置において、互いに連結された複数の前記マニホールドブロックを前記連結方向から挟むように配置され、メイン配管が着脱可能な２つのメインアダプタをさらに備え、前記メインポートは、前記メインアダプタに装着された前記メイン配管の内孔に連通していてもよい。

このような構成によれば、メイン配管からメインポートへの流体の導入又はメインポートからメイン配管への流体の導出を行うことができる。

上記のマニホールド装置において、各前記マニホールドブロックは、前記メインポートとしての内孔を有する内管部と、前記内管部の外周側に位置し、前記内管部よりも前記連結方向の両側に延在する外管部と、前記内管部及び前記外管部を互いに連結する内側連結部と、を有し、前記マニホールド装置は、互いに隣接する各前記外管部に嵌入され、互いに隣接する前記内管部の前記内孔同士を連通させる連結管をさらに備えていてもよい。

このような構成によれば、互いに隣接するマニホールドブロックのメインポート同士を連結管によって確実に連通させることができる。

上記のマニホールド装置において、各前記マニホールドブロックは、前記外管部の外周側に位置し、前記マニホールドブロックの前記外側面を構成する四角環状の外枠部と、前記外管部及び前記外枠部を互いに連結する外側連結部と、を有していてもよい。

このような構成によれば、マニホールドブロックを簡易な構成にすることができるとともに外枠部の外周面に接続部材を容易に設けることができる。

上記のマニホールド装置において、前記マニホールド装置は、前記接続部材を前記マニホールドブロックに取り付けるためのねじ部材と、前記外枠部及び前記外管部の間に挿入可能な固定部材と、を備え、前記接続部材には、前記ねじ部材が挿通する複数のねじ挿通孔が形成され、前記外枠部には、前記ねじ部材が挿通可能な複数の貫通孔が形成され、前記固定部材には、前記ねじ部材を螺合可能な複数の取付孔が形成され、前記接続部材と前記固定部材とは、複数の前記ねじ挿通孔のピッチが異なる複数種類の接続部材と前記ピッチに対応するピッチの前記取付孔が形成された複数種類の固定部材とに交換可能であり、各前記貫通孔は、複数種類の前記接続部材の前記ねじ挿通孔と複数種類の前記取付孔とに連通可能な大きさに形成されていてもよい。

このような構成によれば、マニホールドブロックに対して複数種類の接続部材を取り付けることができる。また、例えば、１つのマニホールド装置に複数種類の接続部材を混在させることができるため、マニホールド装置の設計自由度を向上させることができる。

上記のマニホールド装置において、互いに連結された複数の前記マニホールドブロックを支持する脚部をさらに備え、前記脚部は、前記マニホールドブロックの前記外側面のうち前記接続部材が設けられる部位とは異なる部位に取り付けられていてもよい。

このような構成によれば、脚部によってマニホールド装置を安定して設置することができる。また、マニホールドブロックの連結数が比較的多い場合であっても自重によってマニホールド装置が撓むことを抑制できる。

上記のマニホールド装置において、各前記マニホールドブロックの前記外側面には、前記連結方向に開口する切欠部が形成され、互いに隣接する前記マニホールドブロックの前記切欠部同士が互いに連通することによって装着孔が形成され、前記脚部は、前記装着孔に着脱可能な軸部を有していてもよい。

このような構成によれば、脚部をマニホールドブロックに対して簡単に着脱することができる。

上記のマニホールド装置において、前記接続部材は、前記分岐配管が着脱可能な分岐アダプタと、前記分岐アダプタ及び前記マニホールドブロックを連結する接続部材本体と、を備えていてもよい。

このような構成によれば、マニホールドブロックに装着されている接続部材を別の接続部材に容易に交換することができる。

上記のマニホールド装置において、前記接続部材本体は、流量調整弁、止め弁及び流量計の少なくとも１つを有していてもよい。

このような構成によれば、マニホールド装置のコンパクト化を図りつつ設計自由度を高めることができる。

上記のマニホールド装置において、前記接続部材本体は、前記分岐アダプタの内孔及び前記分岐ポートを連通させる流体流路が形成された連結ブロックを有し、前記流体流路は、前記連結ブロックの第１外面に開口して前記分岐ポートに連通する第１連通ポートと、前記第１外面に対して垂直に延在する第２外面に開口して前記分岐アダプタの内孔に連通する第２連通ポートと、を有していてもよい。

このような構成によれば、マニホールドブロックに対する分岐アダプタの向きを容易に変更することができる。

上記のマニホールド装置において、前記接続部材本体は、前記マニホールドブロックの前記外側面に設けられた中間ブロックと、前記中間ブロックに設けられた第１開閉弁及び第２開閉弁と、を有し、前記中間ブロックには、前記分岐アダプタの内孔に連通する中間流路と、前記分岐ポート及び前記中間流路を連通させる第１中間連通ポートと、前記分岐ポートを流通する流体とは異なる流体が流通し、前記中間流路に連通する第２中間連通ポートと、が形成され、前記第１開閉弁は、前記第１中間連通ポートを開閉可能に設けられ、前記第２開閉弁は、前記第２中間連通ポートを開閉可能に設けられていてもよい。

このような構成によれば、例えば、２種類の流体を選択的に分岐配管に流通させることができる。

上記のマニホールド装置において、前記マニホールド装置は、流体供給源から供給された流体を複数の流路に分岐して複数の流体供給先に導く第１ユニットと、各前記流体供給先で利用された前記流体を集合させて前記流体供給源に導く第２ユニットと、を備え、前記第１ユニット及び前記第２ユニットのそれぞれは、前記接続部材が設けられた複数の前記マニホールドブロックが連結して構成されていてもよい。

このような構成によれば、簡易な構成により、流体供給源から供給された流体を第１ユニット、複数の流体供給先及び第２ユニットを介して流体供給源に戻すことができる。

上記のマニホールド装置において、前記第１ユニット及び前記第２ユニットは、前記マニホールドブロックが互いに連結することによって一体的に設けられ、前記第１ユニット及び前記第２ユニットの間には、互いに隣接する前記マニホールドブロックの前記メインポート同士の連通を遮断する閉塞部材が設けられていてもよい。

このような構成によれば、例えば、所定の流体供給先に流体を供給する第１ユニットと前記流体供給先で利用された流体が導入される第２ユニットとを複数のマニホールドブロックの連結方向に一体的に設けることができる。

上記のマニホールド装置において、前記マニホールドブロックに取り付けられて前記閉塞部材の位置を示す表示部材をさらに備えていてもよい。

このような構成によれば、表示部材によって閉塞部材の位置を示すことができるため、第１ユニットと第２ユニットとの境界を容易に知ることができる。

上記のマニホールド装置において、前記マニホールド装置は、当該マニホールド装置が設置される設置部に対して互いに連結された複数の前記マニホールドブロックを固定する固定具をさらに備え、前記固定具は、前記マニホールドブロックの前記外側面のうち前記接続部材が設けられる部位とは異なる部位に取り付けられていてもよい。

このような構成によれば、マニホールド装置を設置部に対して確実に固定することができる。

本発明によれば、互いに隣接するマニホールドブロックに設けられた接続部材を千鳥状に配置することができるため、接続部材に対する分岐配管の着脱作業を効率的に行うことができる。

本発明の第１実施形態に係るマニホールド装置の斜視図である。 前記マニホールド装置の一部分解斜視図である。 図３Ａは前記マニホールド装置の正面図であり、図３Ｂは前記マニホールド装置の底面図である。 図３ＢのＩＶ−ＩＶ線に沿った縦断面図である。 図５Ａは図３ＡのＶＡ−ＶＡ線に沿った横断面図であり、図５Ｂは図３ＡのＶＢ−ＶＢ線に沿った横断面図である。 図６Ａは図１に示すマニホールドブロックの斜視図であり、図６Ｂは前記マニホールドブロックを分岐ポートの軸線に沿った一部断面斜視図である。 図７Ａは前記マニホールドブロックを分岐ポートの軸線と直交する方向に沿った一部断面斜視図であり、図７Ｂは前記マニホールドブロックの平面図である。 図１に示すマニホールドブロック及び接続部材の分解斜視図である。 図９Ａは前記マニホールドブロックに対する固定板の取付説明図であり、図９Ｂは前記マニホールドブロックに対する接続部材の取付説明図である。 図１０Ａは図２に示す脚部の斜視図であり、図１０Ｂは前記脚部の平面図である。 前記脚部の前記マニホールドブロックへの取付説明図である。 複数の分岐配管及び２つのメイン配管が接続された前記マニホールド装置の斜視図である。 第１変形例に係る接続部材及びマニホールドブロックの分解斜視図である。 図１３に示す接続部材及びマニホールドブロックの第１の縦断面図である。 図１３に示す接続部及びマニホールドブロックの第２の縦断面図である。 図１３に示す接続部材の動作説明図である。 第２変形例に係る接続部材及びマニホールドブロックの分解斜視図である。 図１７に示す接続部材及びマニホールドブロックの第１の縦断面図である。 図１７に示す接続部材及びマニホールドブロックの第２の縦断面図である。 第３変形例に係る接続部材及びマニホールドブロックの分解斜視図である。 図２０に示す接続部材及びマニホールドブロックの第１の縦断面図である。 図２０に示す接続部材及びマニホールドブロックの第２の縦断面図である。 図２０に示す接続部材の動作説明図である。 本発明の第２実施形態に係るマニホールド装置の斜視図である。 図２４に示すマニホールド装置の平面図である。 本発明の第３実施形態に係るマニホールド装置を備えた流体流通システムの模式図である。 図２６に示す第１ユニットの斜視図である。 図２７のＸＸＶＩＩＩ−ＸＸＶＩＩＩ線に沿った断面図である。 図２７のＸＸＩＸ−ＸＸＩＸ線に沿った断面図である。 図２６に示す第２ユニットの斜視図である。 図３０の第２ユニットを別の角度から視た斜視図である。 図３０のＸＸＸＩＩ−ＸＸＸＩＩ線に沿った断面図である。 図３０のＸＸＸＩＩＩ−ＸＸＸＩＩＩ線に沿った断面図である。 図３３に示す接続部材のマニホールドブロックに対する接続構造を説明するための断面図である。 図２９に示す接続部材の動作説明図である。 図３３に示す接続部材の動作説明図である。 本発明の第４実施形態に係るマニホールド装置を備えた流体流通システムの模式図である。 図３７のマニホールド装置の斜視図である。 図３８のマニホールド装置の分解斜視図である。 図３７に示すマニホールド装置の第１ユニットを構成する接続部材及びマニホールドブロックの断面図である。 本発明の第５実施形態に係るマニホールド装置の斜視図である。 図４２Ａは図４１のマニホールド装置の底面図であり、図４２Ｂは固定具の斜視図である。 本発明の第６実施形態に係るマニホールド装置の斜視図である。 図４３のマニホールド装置の底面図である。

以下、本発明に係るマニホールド装置について好適な実施形態を挙げ、添付の図面を参照しながら説明する。本発明に係るマニホールド装置は、メインポート及び分岐ポートが形成された複数のマニホールドブロックを一列に連結して組み立てられる連結構造体であって、水等の流体を分岐又は集合させる。

以下の説明では、マニホールドブロックの連結方向をＸ方向と規定し、Ｘ方向の一方をＸ１方向、Ｘ方向の他方をＸ２方向と規定する。また、Ｘ方向に直交するマニホールド装置の幅方向をＹ方向と規定し、特に、Ｙ方向の一方をＹ１方向、Ｙ方向の他方をＹ２方向と規定する。さらに、Ｘ方向及びＹ方向に直交するマニホールド装置の高さ方向をＺ方向と規定し、特に、Ｚ方向の一方をＺ１方向、Ｚ方向の他方をＺ２方向と規定する。

なお、これらの方向は説明の便宜上のものであり、マニホールド装置は、任意の向きで（例えば、上下を反転させて）使用可能であることは勿論である。

（第１実施形態）
図１〜図４に示すように、マニホールド装置１０Ａは、一列に連結された複数のマニホールドブロック１２と、マニホールドブロック１２に設けられた複数の連結管１４と、マニホールドブロック１２を両側から挟み込んで固定する一組のエンドプレート１６と、複数のマニホールドブロック１２を一列に連結した状態で保持する複数の保持部材２０とを備えている。本実施形態では、６つのマニホールドブロック１２が一列に連結された例について説明するが、マニホールド装置１０Ａは、２〜５個又は７個以上のマニホールドブロック１２が連結されていてもよい。

複数のマニホールドブロック１２は、互いに同一の構成を有している。マニホールドブロック１２は、樹脂によって一体的に成形されている。ただし、マニホールドブロック１２は、金属等の樹脂以外の材料で構成されていてもよい。

図４、図５Ｂ〜図７Ａに示すように、マニホールドブロック１２は、円筒状の内管部２２と、内管部２２から延出する分岐管部２４と、内管部２２の外周側に設けられた円筒状の外管部２６と、外管部２６の外周側に設けられた四角環状の外枠部２８と、内管部２２及び外管部２６を連結する内側連結部３０と、外管部２６及び外枠部２８を連結する外側連結部３２とを備えている。

内管部２２及び外管部２６は、マニホールドブロック１２の連結方向（Ｘ方向）に延在した状態で互いに同軸に設けられている。内管部２２の内孔は、流体流路としてのメインポート３４として機能する。分岐管部２４は、内管部２２から外管部２６を貫通して外枠部２８まで延在している（図６Ｂ参照）。分岐管部２４の内孔は、メインポート３４に連通するとともに外枠部２８の外側面２９ａに開口し、流体流路としての分岐ポート３６として機能する。

図５Ａ及び図７Ｂに示すように分岐ポート３６は、メインポート３４の軸線Ａｘ１と直交する方向（Ｙ方向）にメインポート３４から直線状に延出している。分岐ポート３６の軸線は、メインポート３４の軸線Ａｘ１と交差しない。すなわち、分岐ポート３６の軸線Ａｘ２は、メインポート３４の軸線Ａｘ１に対してＺ方向にずれて位置している。分岐ポート３６の流路断面積は、メインポート３４の流路断面積よりも小さい。

外管部２６は、内管部２２よりもＸ方向の両側に延出している（図４及び図６Ｂ参照）。図５Ｂ及び図６Ｂに示すように、内側連結部３０は、内管部２２の軸線方向と直交する方向に延在し、分岐管部２４の外側面に連結している。外側連結部３２は、外管部２６の軸線方向と直交する方向に延在し、分岐管部２４の外側面に連結している（図７Ａ参照）。外管部２６のＸ方向の長さは、外枠部２８のＸ方向の長さと略同一である（図４参照）。

図５Ｂ及び図６Ａに示すように、外枠部２８は、分岐管部２４が連結されてマニホールドブロック１２の連結方向と直交する方向（Ｚ方向）に延在した第１壁部２８ａと、第１壁部２８ａの一端部（Ｚ２方向の端部）からＹ２方向に延出した第２壁部２８ｂと、第２壁部２８ｂの延出端部から第１壁部２８ａの他端部側（Ｚ１方向）に延出した第３壁部２８ｃと、第３壁部２８ｃの延出端部と第１壁部２８ａの他端部（Ｚ１方向の端部）とを互いに連結する第４壁部２８ｄとを有している。

第１壁部２８ａ及び第３壁部２８ｃはＹ方向に互いに対向し、第２壁部２８ｂ及び第４壁部２８ｄはＺ方向に互いに対向している。また、第１壁部２８ａ及び第３壁部２８ｃの長手方向（Ｚ方向）の長さ寸法は、第２壁部２８ｂ及び第４壁部２８ｄの長手方向（Ｙ方向）の長さ寸法よりも小さい。

図５Ｂ、図６Ａ〜図７Ａにおいて、第２壁部２８ｂの内面には、外側連結部３２から第２壁部２８ｂのＸ方向の両端まで延出した一組の膨出部３８ａが設けられている。第２壁部２８ｂ及び第３壁部２８ｃで形成される内側の角部には、外側連結部３２から第２壁部２８ｂのＸ方向の両端まで延出した一組の膨出部３８ｂが設けられている。第３壁部２８ｃ及び第４壁部２８ｄで形成される内側の角部には、外側連結部３２から第３壁部２８ｃのＸ方向の両端まで延出した一組の膨出部３８ｃが設けられている。第４壁部２８ｄの内面には、外側連結部３２から第４壁部２８ｄのＸ方向の両端まで延出した一組の膨出部３８ｄが設けられている。

膨出部３８ａ及び膨出部３８ｄは、内管部２２よりもＹ１方向の位置で互いに対向している。マニホールドブロック１２には、膨出部３８ａ〜３８ｄのＸ１方向の端面から外側連結部３２を貫通して膨出部３８ａ〜３８ｄのＸ２方向の端面まで延在し、保持部材２０を構成するロッド１０６が挿通可能な４つの挿通孔４０が形成されている（図２及び図５Ｂ参照）。

図５Ａ及び図５Ｂに示すように、４つの挿通孔４０は、メインポート３４の軸線Ａｘ１から等距離の位置にメインポート３４の軸線回りに所定角度（９０度）ずつ位相がずれて位置している。すなわち、４つの挿通孔４０は、メインポート３４の軸線Ａｘ１に対して点対称に位置している。隣接する挿通孔４０の中心同士の間隔は同一に設定されている。

図７Ａに示すように、各膨出部３８ａのうち第１壁部２８ａに対向した平坦面には、第１壁部２８ａ側（Ｙ１方向）に突出した第１突出部４４が形成されている。各第１突出部４４は、第２壁部２８ｂ及び外側連結部３２に連結されている。各第１突出部４４の突出端面は、第１壁部２８ａに対して離間している。

膨出部３８ａ及び膨出部３８ｄの間には、外側連結部３２からＸ方向の両側に延出した一組の壁部４８が設けられている。壁部４８は、外管部２６の外周面に連結している。壁部４８のうち第２壁部２８ｂに対向する面には、第２壁部２８ｂ側（Ｚ２方向）に突出した第２突出部５０が形成されている。第２突出部５０は、第１壁部２８ａに対して離間している。具体的には、第２突出部５０及び第１壁部２８ａの離間間隔は、第１突出部４４及び第１壁部２８ａの離間間隔と同一である。

図６Ａ及び図７Ｂに示すように、第１壁部２８ａの外側面２９ａには、分岐ポート３６の開口部３６ａと、開口部３６ａの縁部に沿って設けられた環状溝５４とが形成されている。分岐ポート３６の開口部３６ａは、外側面２９ａの長手方向中央よりもＺ２方向に位置している。第１壁部２８ａには、互いに形状の異なる貫通孔５６と貫通孔５８とが２つずつ形成されている。これら貫通孔５６、５８は、分岐ポート３６の軸線Ａｘ２を中心に点対称に設けられている。貫通孔５８は、貫通孔５６よりも大きく形成されている。

図８に示すように、第１壁部２８ａの外側面２９ａには、一組の固定板（固定部材）６０を用いて分岐配管６１（図１２参照）が接続可能な接続部材６２が取り付けられる。図５Ａ及び図８に示すように、接続部材６２は、分岐ポート３６と分岐配管６１の内孔とを連通させるための内孔６４ａが形成された分岐アダプタ６４を備えている。分岐アダプタ６４は、分岐配管６１が挿入される分岐アダプタ本体６６と、分岐アダプタ本体６６の端部に設けられた四角板状のフランジ部６８とを有する。

分岐アダプタ６４とマニホールドブロック１２との間には、流体の外部への漏出を抑えるためのシール部材６９が配設される。図５Ｂ、図８及び図９Ｂにおいて、フランジ部６８の各角部には、分岐アダプタ６４をマニホールドブロック１２に取り付けるためのねじ部材７０が挿通する４つのねじ挿通孔７２が形成されている。

図８及び図９Ａに示すように、一組の固定板６０は、分岐管部２４をＸ方向から挟むようにマニホールドブロック１２に装着される。固定板６０は、第１壁部２８ａ及び第１突出部４４の間と、第１壁部２８ａ及び第２突出部５０の間に挿入される。

各固定板６０には、ねじ部材７０を係止可能な２つの取付孔７４がＺ方向に所定間隔離間して形成されている。なお、これら取付孔７４の位置（ピッチＬ２）は、分岐アダプタ６４のねじ挿通孔７２の位置（ピッチＬ１）に対応している（同一である）。各固定板６０は、分岐管部２４との干渉を避けるために半円状に切り欠かれている。

本実施形態では、マニホールドブロック１２に対して一組の固定板６０をそれぞれ装着し、ねじ部材７０を分岐アダプタ６４のねじ挿通孔７２及び貫通孔５６、５８に挿入して固定板６０の取付孔７４に螺合させることにより接続部材６２がマニホールドブロック１２に対して取り付けられる（図８〜図９Ｂ照）。

図１、図３Ｂ、図５Ａ及び図６Ａ等に示すように、第２壁部２８ｂの外側面２９ｂ、第３壁部２８ｃの外側面２９ｃ及び第４壁部２８ｄの外側面２９ｄのそれぞれには、その長手方向に所定間隔離間して並ぶ２つの固定穴７６が形成されている。２つの固定穴７６は、例えば、図４２Ｂに示す固定具５５０をマニホールドブロック１２に対して取り付けるための穴である。

固定具５５０は、マニホールドブロック１２を設置部７００（図４参照）に対して固定するための部材であって、その詳細な構成については後述する。なお、本実施形態では、マニホールドブロック１２に対して固定具５５０が取り付けられていない構成を例示しているが、本実施形態のマニホールドブロック１２に対して固定具５５０を取り付けてもよいことは勿論である。

図１及び図６Ａにおいて、第２壁部２８ｂには、半円状の切欠部７８がマニホールドブロック１２の連結方向（Ｘ方向）の両側に２つずつ形成されている。これら切欠部７８は、互いに同じ大きさに形成されている。同じ側に形成された２つの切欠部７８は、第２壁部２８ｂの長手方向に所定間隔だけ離間している。第３壁部２８ｃ及び第４壁部２８ｄのそれぞれは、第２壁部２８ｂと同様に４つの切欠部７８が形成されている。

図１から解かるように、切欠部７８は、複数のマニホールドブロック１２を連結した際に隣接する切欠部７８に繋がり（連通し）、互いに繋がった２つの切欠部７８によって１つの円形状の装着孔８０が形成される。図２及び図３Ｂに示すように、この装着孔８０には、脚部８２が装着される。すなわち、脚部８２は、互いに隣接するマニホールドブロック１２の間に装着されている。本実施形態では、一列に連結されたマニホールドブロック１２に対して５つの脚部８２が装着されている。

図１０Ａ及び図１０Ｂに示すように、脚部８２は、ゴム等の可撓性を有する材料で構成されており、一方向に延びた平板部８４と、平板部８４から突出した一対の軸部８６と、各軸部８６の先端部に２つずつ設けられた爪部８８とを有している。平板部８４には、複数（例えば、４つ）の凹部９０が形成されている。

一対の軸部８６は、平板部８４の長手方向に所定間隔離間して並んで設けられている。一対の爪部８８は、軸部８６の先端部の外面に平板部８４の短手方向に並ぶように設けられている。各爪部８８には、軸部８６の先端に向かって軸部８６の軸線側に傾斜するテーパ面９２が形成されている。

このように構成された脚部８２は、複数のマニホールドブロック１２を連結した後に、各装着孔８０に軸部８６を外側から押し込むことによりマニホールドブロック１２に対して取り付けることができる。この場合、各爪部８８のテーパ面９２が装着孔８０を構成する壁面に接触することにより一対の爪部８８が互いに近接するように軸部８６が弾性変形するため、軸部８６を装着孔８０に対して円滑に挿入することができる。そして、軸部８６が装着孔８０に完全に挿入されると、軸部８６が元の形状に復帰し、一対の爪部８８が外枠部２８の内面に接触する（図１１参照）。これにより、軸部８６が装着孔８０から抜け出ることを抑えることができる。

また、マニホールドブロック１２への脚部８２の取り付けは、マニホールドブロック１２の切欠部７８に脚部８２の軸部８６をセットしておき、複数のマニホールドブロック１２を連結する際に、隣接するマニホールドブロック１２によって軸部８６を挟み込むようにしてもよい。

マニホールドブロック１２に装着された脚部８２は、例えば、脚部８２に形成されている凹部９０にマイナスドライバー等の工具を差し込み引き抜くことにより簡単に取り外すことができる。

図４に示すように、連結管１４は、円筒状に構成されており、その外周面には、円環状のシール部材９４が配設される２つの環状溝が形成されている。連結管１４は、マニホールドブロック１２の外管部２６の端部に嵌入されている。すなわち、本実施形態では、中間に位置する複数の連結管１４は、隣接するマニホールドブロック１２の内管部２２の間に介設されている。そのため、各マニホールドブロック１２のメインポート３４は、連結管１４の内孔１４ａを介して連通する。また、連結管１４によって隣接するマニホールドブロック１２の間から流体が外部に漏出することが抑制される。

Ｘ方向の最外に位置する２つの連結管１４は、マニホールドブロック１２の外管部２６に嵌入されるとともにエンドプレート１６に設けられたメインアダプタ９８の内孔９８ａに嵌入されている。これにより、メインアダプタ９８とマニホールドブロック１２との間から流体が漏出することが抑制される。

図１及び図４に示すように、エンドプレート１６は、四角形状の板状部材である。エンドプレート１６の中央部には、連結管１４の内孔１４ａを介してメインポート３４に連通する内孔９８ａを有するとともにメイン配管９９が接続可能なメインアダプタ９８が一体的に設けられている。エンドプレート１６には、複数（図１の例では２つ）の長孔１００が形成されたベース板１０２が保持部材２０によって取り付けられている。各長孔１００には、ベース板１０２を設置部７００に固定するための図示しないボルトが挿通する。

図１及び図２に示すように、各保持部材２０は、各エンドプレート１６の角部を貫通するとともに各マニホールドブロック１２の挿通孔４０とを挿通するように設けられたロッド１０６を有している。各ロッド１０６の外周面には、一対のエンドプレート１６を内側に締め付けるためのナット部材１０８の雌ねじが螺合する雄ねじが全長に亘って形成されている。ただし、各ロッド１０６は、その両端部のみに雄ねじが形成されていてもよい。

図１において、本実施形態では、互いに隣接する一方のマニホールドブロック１２を他方のマニホールドブロック１２に対して分岐ポート３６の軸線方向及びマニホールドブロック１２の連結方向と直交する方向（Ｚ方向）に１８０度反転させた状態で連結している。また、各マニホールドブロック１２に接続された分岐アダプタ６４の開口部６４ｂはＹ１方向を向いている。

本実施形態によれば、分岐ポート３６の軸線Ａｘ２がメインポート３４の軸線Ａｘ１に対してＸ方向と直交する方向（Ｚ方向）にずれて位置している（図５Ａ参照）。そのため、隣接するマニホールドブロック１２に設けられた分岐アダプタ６４を千鳥状に配置することができる（図１及び図３Ａ参照）。これにより、図１２に示すように、接続部材６２に対する分岐配管６１の着脱作業を効率的に行うことができる。

また、各マニホールドブロック１２に対して接続部材６２が１つずつ設けられているので、全ての接続部材６２を千鳥状に配置することができる。そのため、接続部材６２に対する分岐配管６１の着脱作業を一層効率的に行うことができる。

さらに、互いに連結された複数のマニホールドブロック１２をその連結方向から挟むようにメイン配管９９が着脱可能な２つのメインアダプタ９８を設け、メインポート３４がメイン配管９９の内孔に連通している。そのため、メイン配管９９からメインポート３４への流体の導入又はメインポート３４からメイン配管９９への流体の導出を行うことができる。

本実施形態では、連結管１４が、互いに隣接する外管部２６に嵌入されるとともに互いに隣接する内管部２２の内孔同士を連通させている。そのため、互いに隣接するマニホールドブロック１２のメインポート３４同士を連結管１４によって確実に連通させることができる。

また、各マニホールドブロック１２は、四角環状の外枠部２８と外管部２６とを外側連結部３２で互いに連結しているため、マニホールドブロック１２を簡易な構成にすることができるとともに外枠部２８の外側面２９ａに接続部材６２を容易に設けることができる。

本実施形態によれば、マニホールドブロック１２に対して脚部８２を装着しているので、マニホールドブロック１２を設置部７００に対して安定して設置することができる。特に、マニホールドブロック１２の連結数が多い場合には自重によってそのＸ方向の中間部分が撓みやすくなるが、このような脚部８２を用いれば、一列に連結されたマニホールドブロック１２（マニホールド装置１０Ａ）の撓みを抑えることができる。

また、例えば、床面に設置したマニホールド装置１０Ａがユーザに踏まれた場合であっても、マニホールドブロック１２に作用する荷重を各脚部８２で受けることができる。そのため、マニホールドブロック１２同士の連結が外れることを抑えることができる。

本実施形態は、上記の構成に限定されない。例えば、図１３〜図１６に示すように、マニホールドブロック１２の外側面２９ａには、接続部材６２に代えて接続部材１１０を取り付けてもよい。なお、接続部材１１０において、上述した接続部材６２と同様の構成要素には同一の参照符号を付し、その詳細な説明は省略する。

図１３に示すように、接続部材１１０は、マニホールドブロック１２の外側面２９ａに取り付けられる接続部材本体１１１と、接続部材本体１１１に設けられた分岐アダプタ６４とを備える。接続部材本体１１１は、流量調整弁１１２と、流量調整弁１１２に設けられた流量計１１４とを有している。

図１４に示すように、流量調整弁１１２は、流体流路１１２ａが形成された弁ボディ１２０と、弁ボディ１２０に設けられた弁機構部１２２と、弁機構部１２２を支持する弁支持部１２４とを有している。弁ボディ１２０は、マニホールドブロック１２に取り付けられる略直方体形状の第１ボディ１２６と、第１ボディ１２６に設けられた第２ボディ１２８とを含む。

流体流路１１２ａは、第１ボディ１２６におけるマニホールドブロック１２に取り付けられる第１取付面１３０に開口した第１ポート１３２と、第１取付面１３０に対して垂直に延在した第２取付面１３４に開口した第２ポート１３６とを含む。第１ボディ１２６及びマニホールドブロック１２の間には、流体の外部への漏出を抑えるための環状のシール部材１３８が設けられている。

第１ボディ１２６には、第１取付面１３０に対して垂直な方向に延在してねじ部材１４０が挿通可能な４個のねじ挿通孔１４２が貫通形成されている（図１５参照）。なお、図１５では、２つのねじ挿通孔１４２が示されている。第２ボディ１２８には、第１ボディ１２６に形成された穴１４４に配設された状態で弁機構部１２２が挿通する孔１４６が形成されている。

弁機構部１２２は、第１ボディ１２６に形成された弁座１４８に着座可能な状態で流体流路１１２ａ内に配設された円柱状の弁体１５０と、弁体１５０から弁座１４８とは反対側（Ｙ１方向）に延出した軸部１５２と、軸部１５２に設けられた操作部１５４とを有している。軸部１５２の外周面には、雄ねじが形成されている。操作部１５４は、ねじ部材１５６によって軸部１５２に固定されている。

弁支持部１２４は、第２ボディ１２８に設けられた状態で第１ボディ１２６の各ねじ挿通孔１４２に連通する４個のねじ挿通孔１５８が形成されている（図１３及び図１５参照）。Ｚ方向に隣接するねじ挿通孔１５８の間隔（ピッチＬ３）は、上述したピッチＬ１とは異なっている。弁支持部１２４には、弁体１５０が挿通可能な第１孔１６０と、第１孔１６０に連通して軸部１５２が位置する第２孔１６２とが形成されている。第２孔１６２を構成する壁面には、軸部１５２の雄ねじが螺合可能な雌ねじが形成されている。

弁支持部１２４及び弁体１５０の間には、流体の第２孔１６２への流入を抑えるための環状のシール部材１６４が設けられている。弁支持部１２４及び第１ボディ１２６の間には、流体の外部への漏出を抑えるための環状のシール部材１６６が設けられている。

流量計１１４は、流量調整弁１１２の流体流路１１２ａと分岐アダプタ６４の内孔６４ａとを連通させる流体流路１１４ａが形成されたボディ１６８と、ボディ１６８に設けられた流量計本体１７０とを備えている。第１ボディ１２６及びボディ１６８の間には、流体の外部への漏出を抑えるための環状のシール部材１７２が設けられている。ボディ１６８及び分岐アダプタ６４の間には、流体の外部への漏出を抑えるための環状のシール部材１７４が設けられている。

流量計本体１７０は、流体流路１１４ａを流通する流体の流量を表示する表示部１７６を含んでいる。流量計１１４のボディ１６８及び分岐アダプタ６４は、複数（４個）のねじ部材１７８によって第１ボディ１２６に対して固定されている（図１５参照）。なお、図１５では、２つのねじ部材１７８が示されている。

このような接続部材１１０では、流量調整弁１１２の閉弁時において、弁体１５０が弁座１４８に着座し、分岐ポート３６と流量計１１４の流体流路１１４ａとの連通を遮断している（図１４参照）。

流量調整弁１１２を開弁する場合は、操作部１５４を回転させる。そうすると、軸部１５２が弁支持部１２４に対して操作部１５４側に変位するため、弁体１５０が弁座１４８から離間して分岐ポート３６と流量計１１４の流体流路１１４ａとが連通する（図１６参照）。この際、操作部１５４の回転量を調整することにより、弁体１５０と弁座１４８との間隔を変化させることができるため、弁体１５０と弁座１４８との間の隙間を流通する流量を増減させることができる。

図１３及び図１５において、接続部材１１０では、弁支持部１２４の各ねじ挿通孔１５８は、第１ボディ１２６の各ねじ挿通孔１４２を介して外側面２９ａの各貫通孔５６、５８に連通する。この場合、マニホールドブロック１２には、ねじ挿通孔１５８及びねじ挿通孔１４２に挿通されたねじ部材１４０が螺合可能な２つの取付孔１８０が形成された一組の固定板（固定部材）１８２が装着される。

すなわち、各固定板１８２の２つの取付孔１８０の間隔（ピッチＬ４）は、弁支持部１２４のねじ挿通孔１５８のピッチＬ３と同一に設定されている。なお、第１ボディ１２６のねじ挿通孔１４２のピッチは、ピッチＬ３と同一である。換言すれば、流量調整弁１１２のねじ挿通孔１５８及びねじ挿通孔１４２の位置は、固定板１８２の取付孔１８０の位置に対応している。

これにより、各貫通孔５６、５８及びねじ挿通孔１４２を介してねじ挿通孔１５８と取付孔１８０とを連通させることができる。よって、ねじ挿通孔１５８及びねじ挿通孔１４２を挿通させたねじ部材１４０を固定板１８２の取付孔１８０に螺合させることにより、接続部材１１０をマニホールドブロック１２に対して簡単に取り付けることができる。

本実施形態において、例えば、図１７〜図１９に示すように、マニホールドブロック１２の外側面２９ａには、接続部材６２に代えて接続部材１９０を取り付けてもよい。なお、接続部材１９０において、上述した接続部材６２、１１０と同様の構成要素には同一の参照符号を付し、その詳細な説明は省略する。

図１７に示すように、接続部材１９０は、マニホールドブロック１２の外側面２９ａに取り付けられる接続部材本体１９１と、接続部材本体１９１に設けられる分岐アダプタ６４とを備える。接続部材本体１９１は、連結ブロック１９２と、連結ブロック１９２に設けられた流量計１１４とを有している。

図１８に示すように、連結ブロック１９２には、分岐ポート３６と流量計１１４の流体流路１１４ａとを連通させる流体流路１９２ａが形成されている。流体流路１９２ａは、連結ブロック１９２におけるマニホールドブロック１２の外側面２９ａに取り付けられる第１取付面（第１外面）１９４に開口して分岐ポート３６に連通する第１連通ポート１９６と、第１取付面１９４に対して垂直に延在した第２取付面（第２外面）１９８に開口して分岐アダプタ６４の内孔６４ａに連通する第２連通ポート２００とを含む。つまり、分岐ポート３６は、連結ブロック１９２の流体流路１９２ａ及び流量計１１４の流体流路１１４ａを介して分岐アダプタ６４の内孔６４ａに連通している。

連結ブロック１９２及びマニホールドブロック１２の間には、流体の外部への漏出を抑えるための環状のシール部材２０２が設けられている。連結ブロック１９２と流量計１１４のボディ１６８との間には、流体の外部への漏出を抑えるための環状のシール部材２０４が設けられている。

連結ブロック１９２には、第１取付面１９４に対して垂直な方向に延在してねじ部材２０６が挿通可能な４つのねじ挿通孔２０８が貫通形成されている（図１７及び図１９参照）。Ｚ方向に隣接するねじ挿通孔２０８の間隔（ピッチＬ５）は、上述したピッチＬ１、Ｌ３とは異なっている。

図１７及び図１９において、連結ブロック１９２の各ねじ挿通孔２０８は、外側面２９ａの各貫通孔５６、５８に連通する。この場合、マニホールドブロック１２には、ねじ挿通孔２０８に挿通されたねじ部材２０６を嵌合可能な２つの取付孔２１０が形成された一組の固定板（固定部材）２１２が装着される。すなわち、各固定板２１２の２つの取付孔２１０の間隔（ピッチＬ６）は、連結ブロック１９２のねじ挿通孔２０８のピッチＬ５と同一に設定されている。換言すれば、連結ブロック１９２のねじ挿通孔２０８の位置は、固定板２１２の取付孔２１０の位置に対応している。

これにより、各貫通孔５６、５８を介してねじ挿通孔２０８と取付孔２１０とを連通させることができる。よって、ねじ挿通孔２０８を挿通させたねじ部材２０６を固定板２１２の取付孔２１０に螺合させることにより、接続部材１９０をマニホールドブロック１２に対して容易に取り付けることができる。

また、接続部材１９０が連結ブロック１９２を有しているため、マニホールドブロック１２に対する分岐アダプタ６４の開口部６４ｂの向きを容易に変更することができる。換言すれば、分岐アダプタ６４の開口部６４ｂの向きをマニホールドブロック１２の外側面２９ａが指向する向きに対して垂直にすることができる。

本実施形態において、例えば、図２０〜図２３に示すように、マニホールドブロック１２の外側面２９ａには、接続部材６２に代えて接続部材２２０を取り付けてもよい。なお、接続部材２２０において、上述した接続部材６２、１１０、１９０と同様の構成要素には同一の参照符号を付し、その詳細な説明は省略する。

図２０に示すように、接続部材２２０は、マニホールドブロック１２の外側面２９ａに取り付けられる接続部材本体２２１と、接続部材本体２２１に設けられる分岐アダプタ６４とを備える。接続部材本体２２１は、直方体形状の中間ブロック２２２と、中間ブロック２２２に並設された第１開閉弁２２４及び第２開閉弁２２６とを有している。

図２１に示すように、中間ブロック２２２には、分岐アダプタ６４の内孔６４ａに連通する中間流路２２８と、分岐ポート３６及び中間流路２２８を連通させる第１導入ポート（第１中間連通ポート）２３０と、中間流路２２８に連通する第２導入ポート（第２中間連通ポート）２３２とが形成されている。

中間流路２２８は、中間ブロック２２２の長手方向に貫通形成されている。中間流路２２８の一端側は、中間ブロック２２２の一端面（Ｚ１方向の端面）に設けられた分岐アダプタ６４の内孔６４ａに連通している。中間流路２２８の他端側は、プラグ２４０によって閉塞されている。第１導入ポート２３０は、中間ブロック２２２の長手方向と直交する方向に位置する側面に開口している。第２導入ポート２３２は、中間ブロック２２２の長手方向に直交する方向に位置して第１導入ポート２３０が開口する側面とは異なる側面に開口している。

中間ブロック２２２及びマニホールドブロック１２の間には、流体の外部への漏出を抑えるための環状のシール部材２４２が設けられている。中間ブロック２２２と分岐アダプタ６４との間には、流体の外部への漏出を抑えるための環状のシール部材２４４が設けられている。

図２０〜図２２に示すように、中間ブロック２２２のうち第１導入ポート２３０が開口する側面とは反対側の側面には、第１開閉弁２２４が配設される第１孔２４６と、第２開閉弁２２６が配設される第２孔２４８と、ねじ部材２５０が挿通可能な２つのねじ挿通孔２５２と、ねじ部材２５４が挿通可能な２つのねじ挿通孔２５６と、ねじ部材２５８が螺合可能な２つのねじ穴２６０とが形成されている。

第１孔２４６及び第２孔２４８は、中間ブロック２２２の長手方向に並設されている。ねじ挿通孔２５２及びねじ挿通孔２５６は、Ｙ方向に中間ブロック２２２を貫通している。ねじ挿通孔２５２の孔径は、ねじ挿通孔２５６の孔径よりも小さい。また、図２０において、ねじ挿通孔２５２及びねじ挿通孔２５６は、第１孔２４６の縁部に沿って交互に設けられている。Ｙ方向に沿って隣接するねじ挿通孔２５２及びねじ挿通孔２５６の間隔（ピッチＬ７）は、上述したピッチＬ１、Ｌ３、Ｌ５と異なっている。ねじ穴２６０は、第２孔２４８の縁部に沿って設けられている。

また、中間ブロック２２２の第２導入ポート２３２には、図示しない導入配管が接続可能なコネクタ２６４が設けられている。導入配管は、中間流路２２８、分岐アダプタ６４の内孔６４ａ及び上述した分岐配管６１内に存在する水等の流体（以下、第１流体と称することがある。）を排出するための圧縮空気等の流体（以下、第２流体と称することがある。）を第２導入ポート２３２に導入させるためのものである。

図２１に示すように、第１開閉弁２２４は、作動流体の作用によって第１導入ポート２３０を開閉する。第１開閉弁２２４は、弁ボディ２６８と、弁ボディ２６８に形成された穴の開口部を閉塞する外側エンドブロック２７０及び内側エンドブロック２７２と、弁ボディ２６８内に移動可能に配設されたピストン２７４と、ピストン２７４に連結されたロッド２７６と、ロッド２７６に設けられた弁体２７８とを有している。

図２０及び図２２に示すように、弁ボディ２６８には、中間ブロック２２２の各ねじ挿通孔２５６に連通する２つのねじ挿通孔２８０が形成されている。ねじ挿通孔２８０は、ねじ挿通孔２５６の延在方向に沿って延在している。図２１において、ピストン２７４と内側エンドブロック２７２との間には第１室２８２が形成され、ピストン２７４の内側エンドブロック２７２とは反対側には第２室２８４が形成される。

弁ボディ２６８には、第１室２８２内に連通する大気開放用の呼吸ポート２８６と、第２室２８４に連通して作動流体を吸排気するための駆動ポート２８８とが形成されている。駆動ポート２８８は、弁ボディ２６８に設けられた継手２９０の内孔２９０ａに連通している。継手２９０には、作動流体が流通する図示しない配管が連結される。

外側エンドブロック２７０及び内側エンドブロック２７２には、ロッド２７６が貫通している。弁体２７８は、中間ブロック２２２に形成された第１弁座３０２に着座可能なように中間流路２２８内に配設されている。

第２開閉弁２２６は、第２導入ポート２３２を開閉するものであって、基本的に第１開閉弁２２４と同様に構成されている。すなわち、第２開閉弁２２６は、弁ボディ３０４、外側エンドブロック３０６、内側エンドブロック３０８、ピストン３１０、ロッド３１２及び弁体３１４を有している。第２開閉弁２２６の弁ボディ３０４には、中間ブロック２２２のねじ穴２６０に連通する２つのねじ挿通孔３１６が形成されている（図２０及び図２２参照）。第２開閉弁２２６は、各ねじ挿通孔３１６を挿通させたねじ部材２５８をねじ穴２６０に螺合することにより中間ブロック２２２に対して固定される。

ピストン３１０と内側エンドブロック３０８との間には第１室３１８が形成され、ピストン３１０の内側エンドブロック３０８とは反対側には第２室３２０が形成される。第２開閉弁２２６の弁ボディ３０４には、内側エンドブロック３０８側の第１室３１８内に連通して作動流体を吸排気するための駆動ポート３２２と、第２室３２０内に連通する大気開放用の呼吸ポート３２４とが形成されている。駆動ポート３２２は、弁ボディ３０４に設けられた継手３２６の内孔３２６ａに連通している。継手３２６には、作動流体が流通する図示しない配管が連結される。弁体３１４は、中間ブロック２２２に形成された第２弁座３３８に着座可能なように中間流路２２８内に設けられている。

このような接続部材２２０では、第１開閉弁２２４はノーマルオープン式の弁として構成され、第２開閉弁２２６はノーマルクローズ式の弁として構成されている。すなわち、第１開閉弁２２４の弁体２７８は、第１開閉弁２２４の第２室２８４に作動流体が供給されていない状態で第１弁座３０２から離間し、分岐ポート３６と中間流路２２８とが互いに連通する。これにより、例えば、メインポート３４から分岐ポート３６に分岐された第１流体を第１導入ポート２３０、中間流路２２８、分岐アダプタ６４の内孔６４ａ、及び分岐配管６１を介して図示しない流体供給先に導くことができる。

また、第２開閉弁２２６の弁体３１４は、第２開閉弁２２６の第１室３１８に作動流体が供給されていない状態で第２弁座３３８に着座し、第２導入ポート２３２と中間流路２２８との連通が遮断される。これにより、分岐ポート３６から中間流路２２８に導かれた第１流体が第２導入ポート２３２に流入されることはない。

一方、図２３に示すように、第１開閉弁２２４の弁体２７８は、第１開閉弁２２４の第２室２８４に作動流体を供給することにより第１弁座３０２に着座し、分岐ポート３６と中間流路２２８との連通が遮断される。これにより、例えば、分岐ポート３６から中間流路２２８への第１流体の導入が遮断されることとなる。

第２開閉弁２２６の弁体３１４は、第２開閉弁２２６の第１室３１８に作動流体を供給することにより第２弁座３３８から離間し、第２導入ポート２３２と中間流路２２８とが連通する。これにより、第２導入ポート２３２から中間流路２２８に第２流体を供給して中間流路２２８、分岐アダプタ６４の内孔６４ａ及び分岐配管６１内に存在する第１流体を排出することが可能となる。

接続部材２２０では、中間ブロック２２２のねじ挿通孔２５２はマニホールドブロック１２の各貫通孔５６に連通し、第１開閉弁２２４のねじ挿通孔２８０は中間ブロック２２２のねじ挿通孔２５６を介してマニホールドブロック１２の貫通孔５８に連通する。この場合、マニホールドブロック１２には、ねじ挿通孔２５２に挿通されたねじ部材２５０を螺合可能な取付孔３４０と、ねじ挿通孔２５６及びねじ挿通孔２８０に挿通されたねじ部材２５４を螺合可能な取付孔３４２とが形成された一組の固定板（固定部材）３４４が装着される。なお、取付孔３４２の孔径は、取付孔３４０の孔径よりも大きい。

各固定板３４４の取付孔３４０と取付孔３４２の間隔（ピッチＬ８）は、ねじ挿通孔２５２とねじ挿通孔２５６のピッチＬ７と同一に設定されている。換言すれば、ねじ挿通孔２５２及びねじ挿通孔２５６の位置は、固定板３４４の取付孔３４０及び取付孔３４２の位置に対応している。

これにより、貫通孔５６を介してねじ挿通孔２５２と取付孔３４０とを連通させるとともに貫通孔５８を介してねじ挿通孔２５６と取付孔３４２とを連通させることができる。よって、ねじ挿通孔２５２を挿通させたねじ部材２５０を固定板３４４の取付孔３４０に螺合させるとともにねじ挿通孔２５６及びねじ挿通孔２８０を挿通させたねじ部材２５４を固定板３４４の取付孔３４２に螺合させることにより、接続部材２２０をマニホールドブロック１２に対して容易に取り付けることができる。

このように、本実施形態では、マニホールドブロック１２には、複数種類の固定板６０、１８２、２１２、３４４を用いることにより、複数種類の接続部材６２、１１０、１９０、２２０を取り付けることができる。そのため、マニホールド装置１０Ａにおいて、複数種類の接続部材６２、１１０、１９０、２２０を混在させることができる。よって、マニホールド装置１０Ａの設計自由度を向上させることができる。なお、マニホールドブロック１２の外側面２９ａには、後述する接続部材３８６、３８８、４２０、４２２、５３８を取り付けることも可能である。これにより、マニホールド装置１０Ａのコンパクト化を図りつつ設計自由度を高めることができる。

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係るマニホールド装置１０Ｂについて図２４及び図２５を参照しながら説明する。なお、第２実施形態に係るマニホールド装置１０Ｂにおいて、第１実施形態に係るマニホールド装置１０Ａと同一の構成要素には同一の参照符号を付し、その詳細な説明は省略する。

図２４に示すように、本実施形態に係るマニホールド装置１０Ｂでは、３つのマニホールドブロック１２を分岐アダプタ６４の開口部６４ｂの向きがそれぞれ異なるようにメインポート３４の軸線回りに９０度ずつ位相を相対的にずらして連結している。すなわち、Ｘ１方向の端部に位置する分岐アダプタ６４の開口部６４ｂはＹ１方向を向き、Ｘ方向の中央に位置する分岐アダプタ６４の開口部６４ｂはＺ２方向を向き、Ｘ２方向の端部に位置するた分岐アダプタ６４の開口部６４ｂはＹ２方向を向いている。

本実施形態によれば、各マニホールドブロック１２の４つの挿通孔４０が、メインポート３４の軸線Ａｘ１から等距離の位置にメインポート３４の軸線回りに９０度ずつ位相がずれるように設けられている。これにより、複数のマニホールドブロック１２をメインポート３４の軸線回りに相対的に所定角度（９０度、１８０度、２７０度）だけ回転させた状態で各マニホールドブロック１２の挿通孔４０の位置を合せることができる。

すなわち、各マニホールドブロック１２に取り付けられた分岐アダプタ６４の開口部６４ｂを４方向（Ｙ１方向、Ｙ２方向、Ｚ１方向、Ｚ２方向）のいずれかの方向に向けることができる。そのため、例えば、図２４及び図２５のように、各接続部材６２の開口部が互いに異なる方向に向くようにマニホールド装置１０Ｂを構成することも可能となる。これにより、各マニホールドブロック１２の分岐アダプタ６４の開口部６４ｂの向きの自由度を高めることができる。

本実施形態において、接続部材６２に代えて上述した接続部材１１０、１９０、２２０又は後述する接続部材３８６、３８８、４２０、４２２、５３８が設けられていてもよい。

（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態に係るマニホールド装置１０Ｃを備えた流体流通システム３６０について図２６〜図３６を参照しながら説明する。なお、第３実施形態に係るマニホールド装置１０Ｃにおいて、上述したマニホールド装置１０Ａ、１０Ｂと同一の構成要素には同一の参照符号を付し、その詳細な説明は省略する。

図２６に示すように、流体流通システム３６０は、第１ユニット３６２及び第２ユニット３６４の組み合わせからなるマニホールド装置１０Ｃを備えている。この流体流通システム３６０は、第１流体供給源３６６の第１流体が、第１メイン配管３６８、第１ユニット３６２、第１分岐配管３７０、３７１、流体供給先３７２、３７３、第２分岐配管３７４、３７５、第２ユニット３６４、第２メイン配管３７６を介して第１流体供給源３６６に戻るように構成されている。

つまり、第１メイン配管３６８は、第１流体供給源３６６と第１ユニット３６２のメインアダプタ９８とを連結する。第１分岐配管３７０は、第１ユニット３６２の接続部材３８６の分岐アダプタ６４と流体供給先３７２とを連結し、第１分岐配管３７１は、第１ユニット３６２の接続部材３８８の分岐アダプタ６４と流体供給先３７３とを連結する。第２分岐配管３７４は、流体供給先３７２と第２ユニット３６４の分岐アダプタ６４とを連結する。第２メイン配管３７６は、第２ユニット３６４のメインアダプタ９８と第１流体供給源３６６とを連結する。

また、流体流通システム３６０には、その流体流路内に存在している水等の第１流体を当該流体流路内から排出するためのいわゆるフラッシュ機能が設けられている。すなわち、流体流通システム３６０は、第２流体供給源３７８の第２流体が、導入配管３８０、第１ユニット３６２、第１分岐配管３７１、流体供給先３７３、第２分岐配管３７５、第２ユニット３６４、排出配管３８２を介して排出部３８４に導かれるように構成されている。

図２７に示すように、第１ユニット３６２は、複数（図２７では７つ）のマニホールドブロック１２が一列に連結されている。Ｘ１方向に位置する４つのマニホールドブロック１２には接続部材３８６が取り付けられ、Ｘ２方向に位置する３つのマニホールドブロック１２にはフラッシュ用の接続部材３８８が取り付けられている。

図２８に示すように、接続部材３８６は、接続部材本体３８７と、接続部材本体３８７に設けられた分岐アダプタ６４とを備える。接続部材本体３８７は、マニホールドブロック１２に取り付けられた連結ブロック１９２と、連結ブロック１９２に設けられた止め弁３９０とを備えている。連結ブロック１９２及び分岐アダプタ６４の構成は上述した通りである。分岐アダプタ６４は、止め弁３９０に設けられている。なお、接続部材３８６の止め弁３９０及び分岐アダプタ６４は、複数（４つ）のねじ部材３９２によって連結ブロック１９２に対して固定されている（図２７参照）。

止め弁３９０は、連結ブロック１９２の流体流路１９２ａに連通する第１ポート３９４と分岐アダプタ６４の内孔６４ａに連通する第２ポート３９６とが形成された弁ボディ３９８と、弁ボディ３９８に設けられた円柱状の弁体４００と、弁体４００を操作するための操作部４０２とを有している。弁ボディ３９８と連結ブロック１９２との間には、流体の外部への漏出を抑えるための環状のシール部材４０４が設けられている。弁ボディ３９８と分岐アダプタ６４との間には、流体の外部への漏出を抑えるための環状のシール部材４０５が設けられている。

弁体４００には、その軸線と直交する方向に貫通する貫通孔４０６が形成されている。貫通孔４０６は、弁ボディ３９８の第１ポート３９４及び第２ポート３９６を連通し、止め弁３９０の流体流路３９０ａを構成する。

また、弁体４００は、その軸線回りに回転可能な状態で弁ボディ３９８に設けられている。弁体４００の外周面には、複数のシール部材が設けられている。弁体４００は、弁ボディ３９８の外側に露出するように延出した軸部４０８を有し、軸部４０８には、操作部４０２が固定されている。すなわち、弁体４００及び操作部４０２は、弁ボディ３９８に対して弁体４００の軸線回りに回転可能となっている。

このような接続部材３８６では、操作部４０２を開位置にする（止め弁３９０を開く）ことで、弁体４００の貫通孔４０６が第１ポート３９４及び第２ポート３９６に連通する。すなわち、分岐ポート３６は、連結ブロック１９２の流体流路１９２ａ、止め弁３９０の流体流路３９０ａを介して分岐アダプタ６４の内孔６４ａに連通する。一方、操作部４０２を所定の閉位置まで回転させる（止め弁３９０を閉じる）と、第１ポート３９４及び第２ポート３９６の連通が弁体４００によって遮断される。

図２９に示すように、接続部材３８８は、接続部材本体３８９と、接続部材本体３８９に設けられた分岐アダプタ６４とを備える。接続部材本体３８９は、マニホールドブロック１２に取り付けられた中間ブロック２２２と、中間ブロック２２２に設けられた第１開閉弁２２４及び第２開閉弁２２６と、中間ブロック２２２の長手方向端部に設けられた止め弁３９０とを有している。分岐アダプタ６４は、止め弁３９０に設けられている。

中間ブロック２２２、第１開閉弁２２４、第２開閉弁２２６、止め弁３９０及び分岐アダプタ６４の構成は上述した通りである。なお、接続部材３８８の止め弁３９０及び分岐アダプタ６４は、複数（４つ）のねじ部材４１０によって中間ブロック２２２に対して固定されている（図２７参照）。また、止め弁３９０の弁ボディ３９８と中間ブロック２２２との間には、流体の外部への漏出を抑えるための環状のシール部材４１２が設けられている。

接続部材３８８では、止め弁３９０の操作部４０２を開位置にするとともに第１開閉弁２２４の弁体２７８を第１弁座３０２から離間させた状態で、分岐ポート３６は、中間ブロック２２２の第１導入ポート２３０、中間流路２２８、止め弁３９０の第１ポート３９４、貫通孔４０６、第２ポート３９６を介して分岐アダプタ６４の内孔６４ａに連通する。

図３０及び図３１に示すように、第２ユニット３６４では、７つのマニホールドブロック１２がＸ方向に連結された第１マニホールドブロック群４１４と、３つのマニホールドブロック１２がＸ方向に連結された第２マニホールドブロック群４１６とがＹ方向に互いに隣接している。具体的には、第１マニホールドブロック群４１４のうちＸ２方向に位置する３つのマニホールドブロック１２が第２マニホールドブロック群４１６の３つのマニホールドブロック１２に対してＹ方向に隣接している。第２ユニット３６４のＸ２方向のエンドプレート４１８は、上述したエンドプレート１６に対して幅広に（Ｙ方向の寸法が広く）形成されている。

第１マニホールドブロック群４１４のうちＸ１方向に位置する４つのマニホールドブロック１２には接続部材４２０が取り付けられ、Ｘ２方向に位置する３つのマニホールドブロック１２にはフラッシュ用の接続部材４２２が取り付けられている。

図３２に示すように、接続部材４２０は、接続部材本体４２１と、接続部材本体４２１に設けられた分岐アダプタ６４とを備える。接続部材本体４２１は、マニホールドブロック１２に取り付けられた連結ブロック１９２と、連結ブロック１９２に設けられた止め弁３９０と、止め弁３９０に設けられた流量計１１４とを備えている。分岐アダプタ６４は、流量計１１４に設けられている。

連結ブロック１９２、止め弁３９０、流量計１１４及び分岐アダプタ６４の構成は上述した通りである。なお、止め弁３９０、流量計１１４及び分岐アダプタ６４は、複数（４つ）のねじ部材４２４によって連結ブロック１９２に対して固定されている（図３１参照）。また、止め弁３９０と流量計１１４との間には、流体の外部への漏出を抑えるための環状のシール部材４２５が設けられている。

接続部材４２０では、止め弁３９０の操作部４０２を開位置にした状態で、分岐ポート３６は、連結ブロック１９２の流体流路１９２ａ、止め弁３９０の第１ポート３９４、貫通孔４０６、第２ポート３９６、流量計１１４の流体流路１１４ａを介して分岐アダプタ６４の内孔６４ａに連通する。

図３３に示すように、接続部材４２２は、接続部材本体４２３と、接続部材本体４２３に設けられた分岐アダプタ６４とを備える。接続部材本体４２３は、中間ブロック４２６、第３開閉弁４２８、第４開閉弁４３０、連結ブロック１９２、止め弁３９０及び流量調整弁１１２を備えている。分岐アダプタ６４は、流量調整弁１１２に設けられている。連結ブロック１９２、止め弁３９０、流量調整弁１１２及び分岐アダプタ６４の構成は上述した通りである。

中間ブロック４２６は、略直方体形状に形成されており、第１マニホールドブロック群４１４のマニホールドブロック１２と第２マニホールドブロック群４１６のマニホールドブロック１２とに対して取り付けられている。

中間ブロック４２６には、連結ブロック１９２の流体流路１９２ａに連通する中間流路４３２と、第１マニホールドブロック群４１４の分岐ポート３６及び中間流路４３２を連通させる第１導出ポート（第１中間連通ポート）４３４と、第２マニホールドブロック群４１６の分岐ポート３６及び中間流路４３２を連通させる第２導出ポート（第２中間連通ポート）４３６とが形成されている。

中間流路４３２は、中間ブロック４２６の長手方向に貫通形成されるとともに中間ブロック４２６の長手方向と直交する方向に位置するＺ２方向の側面に開口している。第１導出ポート４３４及び第２導出ポート４３６は、中間ブロック４２６の長手方向（Ｙ方向）に並んでおり、中間ブロック４２６の長手方向と直交する方向に位置するＺ１方向の側面に開口している。

第１マニホールドブロック群４１４のマニホールドブロック１２と中間ブロック４２６との間には、流体の外部への漏出を抑えるための環状のシール部材４４２が設けられている。第２マニホールドブロック群４１６のマニホールドブロック１２と中間ブロック４２６との間には、流体の外部への漏出を抑えるための環状のシール部材４４４が設けられている。

中間ブロック４２６と連結ブロック１９２との間には、流体の外部への漏出を抑えるための環状のシール部材４４６が設けられている。中間ブロック４２６の長手方向の一端面（Ｙ１方向の端面）には第３開閉弁４２８が配設される穴が形成され、中間ブロック４２６の長手方向の他端面（Ｙ２方向の端面）には第４開閉弁４３０が配設される穴が形成されている。

第３開閉弁４２８は、上述した第１開閉弁２２４と同様に構成されており、弁ボディ４４８、外側エンドブロック４５０、内側エンドブロック４５２、ピストン４５４、ロッド４５６及び弁体４５８を有している。内側エンドブロック４５２とピストン４５４との間には第１室４６０が形成され、ピストン４５４の内側エンドブロック４５２とは反対側には第２室４６２が形成されている。

弁ボディ４４８には、第１室４６０に連通する大気開放用の呼吸ポート４６４と、第２室４６２に連通して作動流体を吸排気するための駆動ポート４６６とが形成されている。駆動ポート４６６は、弁ボディ４４８に設けられた継手４６８の内孔４６８ａに連通している。第３開閉弁４２８の弁体４５８は、中間ブロック４２６に形成された第３弁座４７０に着座可能なように設けられている。

第３開閉弁４２８は、弁体４５８が第３弁座４７０から離間した状態で第１マニホールドブロック群４１４の分岐ポート３６と連結ブロック１９２の流体流路１９２ａとを連通させる。また、第３開閉弁４２８は、弁体４５８が第３弁座４７０に着座した状態で第１マニホールドブロック群４１４の分岐ポート３６と連結ブロック１９２の流体流路との連通を遮断する。

第４開閉弁４３０は、上述した第２開閉弁２２６と同様に構成されており、弁ボディ４７２、外側エンドブロック４７４、内側エンドブロック４７６、ピストン４７８、ロッド４８０及び弁体４８２を有している。内側エンドブロック４７６とピストン４７８との間には第１室４８４が形成され、ピストン４７８の内側エンドブロック４７６とは反対側には第２室４８６が形成されている。

弁ボディ４７２には、第１室４８４に連通して作動流体を吸排気するための駆動ポート４８８と、第２室４８６に連通する大気開放用の呼吸ポート４９０とが形成されている。駆動ポート４８８は、弁ボディ４７２に設けられた継手４９２の内孔４９２ａに連通している。第４開閉弁４３０の弁体４８２は、中間ブロック４２６に形成された第４弁座４９４に着座可能なように設けられている。

第４開閉弁４３０は、弁体４８２が第４弁座４９４から離間した状態で第２マニホールドブロック群４１６の分岐ポート３６と連結ブロック１９２の流体流路１９２ａとを連通させる。また、第４開閉弁４３０は、弁体４８２が第４弁座４９４に着座した状態で第２マニホールドブロック群４１６の分岐ポート３６と連結ブロック１９２の流体流路１９２ａとの連通を遮断する。

図３４に示すように、このような接続部材４２２では、中間ブロック４２６及び連結ブロック１９２は、複数（４つ）のねじ部材４９６によって第１マニホールドブロック群４１４のマニホールドブロック１２の固定板（固定部材）４９８に対して固定されている。すなわち、ねじ部材４９６は、連結ブロック１９２のねじ挿通孔２０８、中間ブロック４２６のねじ挿通孔４９５、第１マニホールドブロック群４１４のマニホールドブロック１２の貫通孔５６、５８を挿通し、固定板４９８に形成された取付孔４９９に螺合している。

また、中間ブロック４２６は、複数（４つ）のねじ部材５００によって第２マニホールドブロック群４１６のマニホールドブロック１２の固定板（固定部材）５０２に対して固定されている。すなわち、ねじ部材５００は、中間ブロック４２６のねじ挿通孔５０１、第２マニホールドブロック群４１６のマニホールドブロック１２の貫通孔５６、５８を挿通し、固定板５０２に形成された取付孔５０３に螺合している。

第３開閉弁４２８は複数（２つ）のねじ部材５０４によって中間ブロック４２６の一端面に対して固定され、第４開閉弁４３０は複数（２つ）のねじ部材５０６によって中間ブロック４２６の他端面に対して固定されている（図３１参照）。連結ブロック１９２、止め弁３９０、流量調整弁１１２及び分岐アダプタ６４は、複数（４つ）のねじ部材５０８によって連結ブロック１９２に対して固定されている。

なお、止め弁３９０と流量調整弁１１２との間には、流体が外部に漏出することを抑えるための環状のシール部材５１０が設けられ、流量調整弁１１２と分岐アダプタ６４との間には、流体が外部に漏出することを抑えるための環状のシール部材５１２が設けられている（図３３参照）。

次に、本実施形態に係るマニホールド装置１０Ｃの動作について説明する。第１流体を複数の流体供給先３７２に流通させる場合、第１ユニット３６２の各接続部材３８６において、止め弁３９０を開く（図２８参照）。また、第１ユニット３６２の各接続部材３８８において、止め弁３９０を開き、第１開閉弁２２４の弁体２７８を第１弁座３０２から離間させるとともに第２開閉弁２２６の弁体３１４を第２弁座３３８に着座させる（図２９参照）。

さらに、第２ユニット３６４の各接続部材４２０において、止め弁３９０を開く（図３２参照）。さらにまた、第２ユニット３６４の各接続部材４２２において、流量調整弁１１２の弁体１５０を弁座１４８から離間させるとともに止め弁３９０を開き、第３開閉弁４２８の弁体４５８を第３弁座４７０から離間させるとともに第４開閉弁４３０の弁体４８２を第４弁座４９４に着座させる（図３３参照）。

そして、第１流体供給源３６６から第１メイン配管３６８を介して第１ユニット３６２のメインアダプタ９８の内孔９８ａに第１流体を供給する。そうすると、図２６に示すように、メインアダプタ９８の内孔９８ａに導かれた第１流体は、マニホールドブロック１２のメインポート３４から７つの分岐ポート３６に分岐され、４つの接続部材３８６と３つの接続部材３８８とのそれぞれに導かれる。そして、各接続部材３８６において、第１流体は、連結ブロック１９２の流体流路１９２ａ、止め弁３９０の流体流路３９０ａ及び分岐アダプタ６４の内孔６４ａを通り、第１分岐配管３７０を介して４つの流体供給先３７２のそれぞれに導かれる（図２８参照）。

また、各接続部材３８８において、第１流体は、中間ブロック２２２の第１導入ポート２３０、中間流路２２８、止め弁３９０の流体流路３９０ａ及び分岐アダプタ６４の内孔６４ａを通り、第１分岐配管３７１を介して３つの流体供給先３７３のそれぞれに導かれる（図２９参照）。このとき、接続部材３８８では、第２開閉弁２２６の弁体３１４が第２弁座３３８に着座しているため、第１流体が第２導入ポート２３２を介して第２流体供給源３７８に流入することはない。

４つの流体供給先３７２で利用された第１流体は、第２分岐配管３７４を介して第２ユニット３６４の４つの接続部材４２０のそれぞれに導かれ、３つの流体供給先３７３で利用された第１流体は、第２分岐配管３７５を介して第２ユニット３６４の３つの接続部材４２２のそれぞれに導かれる。そして、各接続部材４２０において、第１流体は、分岐アダプタ６４の内孔６４ａ、流量計１１４の流体流路１１４ａ、止め弁３９０の流体流路３９０ａ、連結ブロック１９２の流体流路１９２ａを通り、第１マニホールドブロック群４１４の分岐ポート３６に導かれる（図３２参照）。

また、各接続部材４２２において、第１流体は、分岐アダプタ６４の内孔６４ａ、流量調整弁１１２の流体流路１１２ａ、止め弁３９０の流体流路３９０ａ、連結ブロック１９２の流体流路１９２ａ、中間ブロック４２６の中間流路４３２、第１導出ポート４３４を通り、第１マニホールドブロック群４１４の分岐ポート３６に導かれる（図３３参照）。このとき、接続部材４２２では、第４開閉弁４３０の弁体４８２が第４弁座４９４に着座しているため、第１流体が第２マニホールドブロック群４１６の分岐ポート３６に流入することはない。

第１マニホールドブロック群４１４において、各分岐ポート３６に導かれた第１流体は、メインポート３４で合流し、第２メイン配管３７６を介して第１流体供給源３６６に戻される。

一方、流体流通システム３６０の流体流路内の第１流体を排出する場合には、第１流体供給源３６６から第１ユニット３６２への第１流体の供給を停止する。また、各接続部材３８８において、第１開閉弁２２４の弁体２７８を第１弁座３０２に着座させるとともに第２開閉弁２２６の弁体３１４を第２弁座３３８から離間させる（図３５参照）。さらに、各接続部材４２２において、第３開閉弁４２８の弁体４５８を第３弁座４７０に着座させるとともに第４開閉弁４３０の弁体４８２を第４弁座４９４から離間させる（図３６参照）。

そして、第２流体供給源３７８から導入配管３８０を介して第１ユニット３６２の各接続部材３８８に第２流体を供給する。各接続部材３８８において、第２流体は、第２導入ポート２３２、中間ブロック２２２の中間流路２２８、止め弁３９０の流体流路３９０ａ及び分岐アダプタ６４の内孔６４ａを通り、第１分岐配管３７１を介して３つの流体供給先３７３のそれぞれに導かれる。このとき、接続部材３８８では、第１開閉弁２２４の弁体２７８が第１弁座３０２に着座しているため、第２流体が第１ユニット３６２の分岐ポート３６に流入することはない。

３つの流体供給先３７３を流通した第２流体は、第２分岐配管３７５を介して第２ユニット３６４の３つの接続部材４２２のそれぞれに導かれる。そして、接続部材４２２において、第２流体は、分岐アダプタ６４の内孔６４ａ、流量調整弁１１２の流体流路１１２ａ、止め弁３９０の流体流路３９０ａ、連結ブロック１９２の流体流路１９２ａ、中間ブロック４２６の中間流路４３２を通り、第２マニホールドブロック群４１６の分岐ポート３６に導かれる（図３６参照）。このとき、接続部材４２２では、第３開閉弁４２８の弁体４５８が第３弁座４７０に着座しているため、第２流体が第１マニホールドブロック群４１４の分岐ポート３６に流入することはない。第２マニホールドブロック群４１６の各分岐ポート３６に導かれた第２流体は、メインポート３４で合流し、排出配管３８２を介して排出部３８４に排出される。

これにより、各接続部材３８８の流体流路（中間ブロック４２６の中間流路４３２、止め弁３９０の流体流路３９０ａ、分岐アダプタ６４の内孔６４ａ）、第１分岐配管３７１、各接続部材４２２の流体流路（分岐アダプタ６４の内孔６４ａ、流量調整弁１１２の流体流路１１２ａ、止め弁３９０の流体流路３９０ａ、連結ブロック１９２の流体流路１９２ａ、中間ブロック４２６の中間流路４３２）に残留していた第１流体を第２流体によって排出部３８４に排出することができる。

本実施形態によれば、第１流体を分岐又は集合させるマニホールドブロック１２にフラッシュ用の接続部材３８８及び接続部材４２２を取り付けることができる。これにより、フラッシュ用のマニホールド装置１０Ｃを別に設ける場合と比較してマニホールド装置１０Ｃの設置面積（フットプリント）を減少させることができる。

（第４実施形態）
次に、本発明の第４実施形態に係るマニホールド装置１０Ｄを備えた流体流通システム５２０について図３７〜図４０を参照しながら説明する。なお、第４実施形態に係るマニホールド装置１０Ｄにおいて、上述したマニホールド装置１０Ａ〜１０Ｃと同一の構成要素には同一の参照符号を付し、その詳細な説明は省略する。

図３７に示すように、流体流通システム５２０は、第１ユニット５２２及び第２ユニット５２４の組み合わせからなるマニホールド装置１０Ｄを備えている。この流体流通システム５２０では、流体供給源５２６の流体が、第１メイン配管５２８、第１ユニット５２２、第１分岐配管５３０、流体供給先５３２、第２分岐配管５３４、第２ユニット５２４、第２メイン配管５３６を介して流体供給源５２６に戻るように構成されている。

図３８及び図３９に示すように、マニホールド装置１０Ｄは、複数（例えば、１０個）のマニホールドブロック１２が一列に連結されている。Ｘ１方向に位置する５つのマニホールドブロック１２が第１ユニット５２２を構成し、Ｘ２方向に位置する５つのマニホールドブロック１２が第２ユニット５２４を構成する。第１ユニット５２２の各マニホールドブロック１２には、接続部材５３８が取り付けられている。接続部材５３８は、マニホールドブロック１２に取り付けられる連結ブロック１９２と、連結ブロック１９２に設けられた分岐アダプタ６４とを有している。連結ブロック１９２及び分岐アダプタ６４の構成は上述した通りである。

なお、分岐アダプタ６４は、複数（４つ）のねじ部材５４０によって連結ブロック１９２に対して固定されている。接続部材５３８では、分岐ポート３６は、連結ブロック１９２の流体流路１９２ａを介して分岐アダプタ６４の内孔６４ａに連通する（図４０参照）。なお、連結ブロック１９２と分岐アダプタ６４との間には、流体の外部への漏出を抑えるための環状のシール部材５３９が設けられている。第２ユニット５２４の各マニホールドブロック１２には、上述した接続部材４２０が取り付けられている。

図３９において、第１ユニット５２２と第２ユニット５２４との間には、連結管１４に代えて閉塞部材５４２が配設されている。閉塞部材５４２は、連結管１４の内孔１４ａを塞ぐような形状を有しており、第１ユニット５２２のメインポート３４と第２ユニット５２４のメインポート３４との連通を遮断する部材である。

また、マニホールド装置１０Ｄには、第１ユニット５２２と第２ユニット５２４の境界を示す表示部材５４４が設けられている。表示部材５４４は、上述した脚部８２と同様の構成を備えているため、その詳細な説明は省略する。表示部材５４４は、第１ユニット５２２のマニホールドブロック１２の第４壁部２８ｄと第２ユニット５２４のマニホールドブロック１２の第４壁部２８ｄとの間に形成された２つの装着孔８０に装着されている。

図３８では、マニホールドブロック１２に対してＹ１方向に表示部材５４４を装着した例を示しているが、マニホールドブロック１２のＹ２方向に表示部材５４４を装着してもよいことは言うまでもない。表示部材５４４は、マニホールドブロック１２の色とは異なる色（例えば、青色等）に着色することもできる。これにより、表示部材５４４をマニホールドブロック１２に対して目立たせることができる。

本実施形態によれば、第１ユニット５２２と第２ユニット５２４とをマニホールドブロック１２の連結方向に一体的に設けることができる。また、表示部材５４４によって閉塞部材５４２の位置を示すことができるため、第１ユニット５２２と第２ユニット５２４との境界を容易に知ることができる。

本実施形態において、第１ユニット５２２は、例えば、接続部材５３８に代えて上述した接続部材６２、１１０、１９０、３８６、４２０のいずれかが設けられていてもよい。また、第２ユニット５２４は、例えば、接続部材４２０に代えて上述した接続部材６２、１１０、１９０、３８６、５３８のいずれかが設けられていてもよい。

（第５実施形態）
次に、本発明の第５実施形態に係るマニホールド装置１０Ｅについて図４１〜図４２Ｂを参照しながら説明する。なお、第５実施形態に係るマニホールド装置１０Ｅにおいて、上述したマニホールド装置１０Ａ〜１０Ｄと同一の構成要素には同一の参照符号を付し、その詳細な説明は省略する。

図４１及び図４２Ａに示すように、本実施形態に係るマニホールド装置１０Ｅは、上述した接続部材５３８が取り付けられた複数（例えば、５つ）のマニホールドブロック１２が一列に連結されている。また、連結方向の中央に位置するマニホールドブロック１２には、マニホールドブロック１２を設置部７００に対して固定するための固定具５５０が取り付けられている。

図４２Ａ及び図４２Ｂに示すように、固定具５５０は、一方向（Ｙ方向）に延在した板状部材である。固定具５５０は、長方形状の中央部５５２と、中央部５５２から第１段差部５５４を介してＹ１方向に延出する第１延出部５５６と、第１延出部５５６に設けられた第１端部５５８と、中央部５５２から第２段差部５６０を介してＹ２方向に延出する第２延出部５６２と、第２延出部５６２に設けられた第２端部５６４とを備えている。

中央部５５２には、長手方向に沿って固定穴７６のピッチと同じピッチの２つの中央孔５６６が形成されている。第１段差部５５４は、中央部５５２からＺ１方向に突出している。第１段差部５５４は、中央部５５２の全幅に亘って設けられている。第１延出部５５６は、第１段差部５５４と同一の幅寸法を有している。第１端部５５８は、第１延出部５５６よりもＸ方向の両側に延出している。第１端部５５８には、Ｘ方向に延びた２つの第１設置孔５６８がＸ方向に並んで形成されている。

第２段差部５６０は、中央部５５２からＺ２方向に第１段差部５５４と同じ寸法だけ突出している。第２段差部５６０は、中央部５５２の幅方向（Ｘ方向）の中央からＸ２方向の端部に亘って設けられている。第２延出部５６２は、第２段差部５６０と同一の幅寸法を有している。第２端部５６４は、第２延出部５６２よりもＸ２方向に延出している。第２端部５６４には、Ｘ方向に延びた１つの第２設置孔５７０が形成されている。

このように構成された固定具５５０は、例えば、固定具５５０の中央孔５６６を挿通させた２つのタッピングねじのそれぞれを中央に位置するマニホールドブロック１２のＺ１方向の各固定穴７６に締め付けることによりマニホールドブロック１２に対して取り付けられる。このとき、第１端部５５８はマニホールドブロック１２よりもＹ１方向に位置し、第２端部５６４はマニホールドブロック１２よりもＹ２方向に位置する。

そして、第１端部５５８の各第１設置孔５６８及び第２端部５６４の第２設置孔５７０に対して図示しないねじ部材を挿通させてこれらねじ部材を設置部７００に対して締め付けることにより、マニホールドブロック１２が固定具５５０を介して設置部７００に対して固定される。これにより、マニホールド装置１０Ｅを設置部７００に対して確実に固定することができる。

本実施形態において、マニホールド装置１０Ｅは、例えば、接続部材５３８に代えて上述した接続部材６２、１１０、１９０、３８６、４２０のいずれかが設けられていてもよい。

（第６実施形態）
次に、本発明の第６実施形態に係るマニホールド装置１０Ｆについて図４３及び図４４を参照しながら説明する。なお、第６実施形態に係るマニホールド装置１０Ｆにおいて、上述したマニホールド装置１０Ａ〜１０Ｅと同一の構成要素には同一の参照符号を付し、その詳細な説明は省略する。

図４３及び図４４に示すように、本実施形態に係るマニホールド装置１０Ｆは、Ｙ方向に並設された第１ユニット５８０と第２ユニット５８２とを備えている。第１ユニット５８０は、上述した第５実施形態に係るマニホールド装置１０Ｅと同様の構成を有している。そのため、第１ユニット５８０の詳細な説明については省略する。

第２ユニット５８２は、複数（例えば、５つ）のマニホールドブロック１２が一列に連結されている。第２ユニット５８２の各マニホールドブロック１２には、上述した接続部材４２０が取り付けられている。本実施形態のエンドプレート４１８は、第１ユニット５８０のマニホールドブロック１２と第２ユニット５８２のマニホールドブロック１２とを両側から挟み込んで固定している。

第２ユニット５８２の連結方向の中央に位置するマニホールドブロック１２のＺ１方向の外側面２９ｃには、第１端部５５８がＹ２方向に位置するとともに第２端部５６４がＹ１方向に位置するように固定具５５０が取り付けられている。第２ユニット５８２の固定具５５０は、第１ユニット５８０の固定具５５０に対して１８０度向きが異なっている。これにより、第２ユニット５８２の固定具５５０の第２端部５６４を第１ユニット５８０の固定具５５０の第２端部５６４に干渉することなく配置することができる。

この場合、第１ユニット５８０の固定具５５０の各第１設置孔５６８と第２ユニット５８２の固定具５５０の各第１設置孔５６８とに挿通させた図示しない４本のねじ部材を設置部７００に対して締結することにより、第１ユニット５８０及び第２ユニット５８２が設置部７００に対して容易に且つ確実に固定することができる。

本実施形態において、第１ユニット５８０は、例えば、接続部材５３８に代えて上述した接続部材６２、１１０、１９０、３８６、４２０のいずれかが設けられていてもよい。また、第２ユニット５８２は、例えば、接続部材４２０に代えて上述した接続部材６２、１１０、１９０、３８６、５３８のいずれかが設けられていてもよい。

本発明に係るマニホールド装置は、上述の実施形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。

１０Ａ〜１０Ｆ…マニホールド装置 １２…マニホールドブロック
１４…連結管 ２０…保持部材
２２…内管部 ２４…分岐管部
２６…外管部 ２８…外枠部
３０…内側連結部 ３２…外側連結部
３４…メインポート ３６…分岐ポート
４０…挿通孔 ５６、５８…貫通孔
６０、１８２、２１２、３４４、４９８、５０２…固定板（固定部材）
６２、１１０、１９０、２２０、３８６、３８８、４２０、４２２、５３８…接続部材
６４…分岐アダプタ
Ａｘ１、Ａｘ２…軸線

Claims (16)

1. 一列に連結された複数のマニホールドブロックと、
   各前記マニホールドブロックの外側面に設けられ、分岐配管が着脱可能な複数の接続部材と、を備え、
   各前記マニホールドブロックには、
   複数の前記マニホールドブロックの連結方向に沿って前記マニホールドブロックを貫通して形成され、且つ流体が流通するメインポートと、
   前記マニホールドブロックの前記外側面に開口し、前記接続部材に装着された前記分岐配管の内孔及び前記メインポートを互いに連通させる分岐ポートと、が形成され、
   各前記分岐ポートの軸線は、前記メインポートの軸線に対して交差しないように前記分岐ポートの軸線方向及び前記連結方向と直交する方向にずれて位置し、
   複数の前記マニホールドブロックは、互いに隣接する一方のマニホールドブロックを他方のマニホールドブロックに対して前記分岐ポートの軸線方向及び前記連結方向と直交する方向に１８０度反転させた反転状態で連結可能なように構成され、
   互いに隣接する前記一方のマニホールドブロックを前記他方のマニホールドブロックに対して前記反転状態で連結した際に、前記一方のマニホールドブロックの接続部材と前記他方のマニホールドブロックの接続部材とが千鳥状に配置される、
   ことを特徴とするマニホールド装置。
2. 請求項１記載のマニホールド装置において、
   前記接続部材は、各前記マニホールドブロックに１つずつ設けられている、
   ことを特徴とするマニホールド装置。
3. 請求項１又は２に記載のマニホールド装置において、
   互いに連結された複数の前記マニホールドブロックを前記連結方向から挟むように配置され、メイン配管が着脱可能な２つのメインアダプタをさらに備え、
   前記メインポートは、前記メインアダプタに装着された前記メイン配管の内孔に連通する、
   ことを特徴とするマニホールド装置。
4. 請求項１〜３のいずれか１項に記載のマニホールド装置において、
   各前記マニホールドブロックは、
   前記メインポートとしての内孔を有する内管部と、
   前記内管部の外周側に位置し、前記内管部よりも前記連結方向の両側に延在する外管部と、
   前記内管部及び前記外管部を互いに連結する内側連結部と、を有し、
   前記マニホールド装置は、互いに隣接する各前記外管部に嵌入され、互いに隣接する前記内管部の前記内孔同士を連通させる連結管をさらに備える、
   ことを特徴とするマニホールド装置。
5. 請求項４記載のマニホールド装置において、
   各前記マニホールドブロックは、
   前記外管部の外周側に位置し、前記マニホールドブロックの前記外側面を構成する四角環状の外枠部と、
   前記外管部及び前記外枠部を互いに連結する外側連結部と、を有している、
   ことを特徴とするマニホールド装置。
6. 請求項５記載のマニホールド装置において、
   前記マニホールド装置は、
   前記接続部材を前記マニホールドブロックに取り付けるためのねじ部材と、
   前記外枠部及び前記外管部の間に挿入可能な固定部材と、を備え、
   前記接続部材には、前記ねじ部材が挿通する複数のねじ挿通孔が形成され、
   前記外枠部には、前記ねじ部材が挿通可能な複数の貫通孔が形成され、
   前記固定部材には、前記ねじ部材を螺合可能な複数の取付孔が形成され、
   前記接続部材と前記固定部材とは、複数の前記ねじ挿通孔のピッチが異なる複数種類の接続部材と前記ピッチに対応するピッチの前記取付孔が形成された複数種類の固定部材とに交換可能であり、
   各前記貫通孔は、複数種類の前記接続部材の前記ねじ挿通孔と複数種類の前記取付孔とに連通可能な大きさに形成されている、
   ことを特徴とするマニホールド装置。
7. 請求項１〜６のいずれか１項に記載のマニホールド装置において、
   互いに連結された複数の前記マニホールドブロックを支持する脚部をさらに備え、
   前記脚部は、前記マニホールドブロックの前記外側面のうち前記接続部材が設けられる部位とは異なる部位に取り付けられている、
   ことを特徴とするマニホールド装置。
8. 請求項７記載のマニホールド装置において、
   各前記マニホールドブロックの前記外側面には、前記連結方向に開口する切欠部が形成され、
   互いに隣接する前記マニホールドブロックの前記切欠部同士が互いに連通することによって装着孔が形成され、
   前記脚部は、前記装着孔に着脱可能な軸部を有している、
   ことを特徴とするマニホールド装置。
9. 請求項１〜８のいずれか１項に記載のマニホールド装置において、
   前記接続部材は、
   前記分岐配管が着脱可能な分岐アダプタと、
   前記分岐アダプタ及び前記マニホールドブロックを連結する接続部材本体と、を備える、
   ことを特徴とするマニホールド装置。
10. 請求項９記載のマニホールド装置において、
    前記接続部材本体は、流量調整弁、止め弁及び流量計の少なくとも１つを有している、
    ことを特徴とするマニホールド装置。
11. 請求項９又は１０に記載のマニホールド装置において、
    前記接続部材本体は、前記分岐アダプタの内孔及び前記分岐ポートを連通させる流体流路が形成された連結ブロックを有し、
    前記流体流路は、
    前記連結ブロックの第１外面に開口して前記分岐ポートに連通する第１連通ポートと、
    前記第１外面に対して垂直に延在する第２外面に開口して前記分岐アダプタの内孔に連通する第２連通ポートと、を有している、
    ことを特徴とするマニホールド装置。
12. 請求項９〜１１のいずれか１項に記載のマニホールド装置において、
    前記接続部材本体は、
    前記マニホールドブロックの前記外側面に設けられた中間ブロックと、
    前記中間ブロックに設けられた第１開閉弁及び第２開閉弁と、を有し、
    前記中間ブロックには、
    前記分岐アダプタの内孔に連通する中間流路と、
    前記分岐ポート及び前記中間流路を連通させる第１中間連通ポートと、
    前記分岐ポートを流通する流体とは異なる流体が流通し、前記中間流路に連通する第２中間連通ポートと、が形成され、
    前記第１開閉弁は、前記第１中間連通ポートを開閉可能に設けられ、
    前記第２開閉弁は、前記第２中間連通ポートを開閉可能に設けられている、ことを特徴とするマニホールド装置。
13. 請求項１〜１２のいずれか１項に記載のマニホールド装置において、
    前記マニホールド装置は、
    流体供給源から供給された流体を複数の流路に分岐して複数の流体供給先に導く第１ユニットと、
    各前記流体供給先で利用された前記流体を集合させて前記流体供給源に導く第２ユニットと、を備え、
    前記第１ユニット及び前記第２ユニットのそれぞれは、前記接続部材が設けられた複数の前記マニホールドブロックが連結して構成されている、
    ことを特徴とするマニホールド装置。
14. 請求項１３記載のマニホールド装置において、
    前記第１ユニット及び前記第２ユニットは、前記マニホールドブロックが互いに連結することによって一体的に設けられ、
    前記第１ユニット及び前記第２ユニットの間には、互いに隣接する前記マニホールドブロックの前記メインポート同士の連通を遮断する閉塞部材が設けられている、
    ことを特徴とするマニホールド装置。
15. 請求項１４記載のマニホールド装置において、
    前記マニホールドブロックに取り付けられて前記閉塞部材の位置を示す表示部材をさらに備えている、
    ことを特徴とするマニホールド装置。
16. 請求項１〜１５のいずれか１項に記載のマニホールド装置において、
    前記マニホールド装置は、当該マニホールド装置が設置される設置部に対して互いに連結された複数の前記マニホールドブロックを固定する固定具をさらに備え、
    前記固定具は、前記マニホールドブロックの前記外側面のうち前記接続部材が設けられる部位とは異なる部位に取り付けられている、
    ことを特徴とするマニホールド装置。

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