CN112576825A - 管接头用螺母、管接头、流体压力设备及流体控制系统、螺母旋转用夹具及螺旋旋转方法 - Google Patents
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Abstract
一种管接头用螺母、管接头、流体压力设备及流体控制系统、螺母旋转用夹具及螺旋旋转方法。由树脂材料形成的管接头用螺母(40、42)具有：在内周壁刻有内螺纹部(178)的中空的大径筒部(170)；以及与该大径筒部(170)连续地设置，并形成为中空且呈与该大径筒部(170)相比小径的圆筒形状的小径筒部(172)。在小径筒部(172)的外周壁形成有朝向该小径筒部(172)的直径方向内侧陷入且沿与直径方向正交的长度方向延伸的多个卡合用槽(186)。
Description
技术领域
本发明涉及一种将用于使流体流通的管材连接于接头主体的管接头用螺母、由所述接头主体与所述管接头用螺母构成的管接头、包含该管接头的流体压力设备、及包含多个所述流体压力设备的流体控制系统、和为了使所述管接头用螺母螺旋旋转而优选的螺母旋转用夹具、及管接头用螺母的螺旋旋转方法。
背景技术
例如，在半导体、医药品等的制造装置、食品等的加工装置中，从供给源供给有高纯度药液、超纯水等。这里，在配管介入安装有作为流体压力设备的一种的流量控制阀。在供给源与流量控制阀之间介入有流体供给管，并且在流量控制阀与制造装置或加工装置等之间介入有流体排出管。流体供给管或流体排出管与流量控制阀经由管接头连接。
管接头通过使刻在第二接头部件的外周壁的外螺纹相对于刻在第一接头部件的内周壁的内螺纹进行螺合而构成。如周知的那样，外螺纹相对于内螺纹的螺合通过由螺丝扳手(スパナ)、扳手(レンチ)等适当的工具使第一接头部件或第二接头部件旋转而进行。
近来，为了实现制造装置等的紧凑化，可能会集中配置多个流量控制阀。在该情况下，设置于各流量控制阀的管接头变得密集。在这样的状況下，当为了将流体供给管或流体排出管安装于流量控制阀而转动工具时，工具会与其他的管接头干涉。由此导致难以使内螺母或外螺母进一步旋转，换言之，难以进行紧固。基于相同的理由，使内螺母或外螺母向解除相互的螺合的反方向旋转也存在困难。
在日本特开2019-148319号公报中公开了一种用于消除上述不良情况的螺纹接头(管接头)。该螺纹接头包含作为第一接头部件的内螺母和作为第二接头部件的外螺母。内螺母包含：在从与其轴线方向正交的方向的俯视下为正六边形状的转矩施加部和在内周壁刻有内螺纹的圆筒形状的最大外径部。另一方面，外螺母包含：在外周壁刻有外螺纹的圆筒部和在从与其轴线方向正交的方向的俯视下为正六边形状的固定部。转矩施加部及固定部的相对的边彼此的距离设定为比最大外径部的外径短。此外，供流体流通的流通管通过分别收容于内螺母及外螺母的套筒。
在该结构中，即使在管接头彼此密集的状況下，相互相邻的转矩施加部彼此、或固定部彼此的间距也比最大外径部彼此的间距大。如上所述，这是由于转矩施加部及固定部的相对的边彼此的距离比最大外径部的外径短。因此，通过用工具夹住转矩施加部或固定部并且转动该工具(向转矩施加部或固定部施加转矩)，从而能够使内螺母或外螺母旋转。不论哪种情况，都进行了外螺纹与内螺纹的螺合、或螺合解除。
参照日本特开2019-148319号公报的图1、图2、图9及图10可知，在该日本特开2019-148319号公报所记载的流体供给系统中，将用于供给/排出使流量控制阀进行开闭动作的先导流体的供排管设置于与设置有流体供给管、流体排出管的部位完全不同的部位。与此相对，假定将供排管与流体供给管、或供排管与流体排出管并列配置。在该情况下，在流量控制阀集中配置时，供排管也必然密集。因此，当如上述那样使工具转动时，工具容易与供排管干涉。因此，难以使内螺母或外螺母进一步旋转，换言之，难以进行紧固。
发明内容
本发明的主要的目的在于，提供一种在例如供排管等并列配置的情况下、将某种部件以接近供排管的顶端面的方式相对配置的情况下等，即使形成的空间狭小也能容易地进行紧固的管接头用螺母、构成为包含该管接头用螺母的管接头、及经由该管接头连接有管材的流体压力设备、包含多个该流体压力设备的流体控制系统和在使管接头用螺母旋转而进行紧固时等优选的螺母旋转用夹具、及使用该螺母旋转用夹具的管接头用螺母的螺旋旋转方法。
根据本发明的一实施方式，提供一种树脂材料制的管接头用螺母，在该管接头用螺母刻有内螺纹部，该内螺纹部与刻在树脂材料制的接头主体的外周壁的外螺纹部螺合，该管接头用螺母具有：
中空的大径筒部，在该大径筒部的内周壁刻有所述内螺纹部；以及
小径筒部，该小径筒部与所述大径筒部连续地设置，形成为中空且呈与该大径筒部相比小径的圆筒形状，并且在该小径筒部的顶端面形成有插入孔，该插入孔供管材(150)插通，
在所述小径筒部的外周壁形成有多个卡合用槽，该多个卡合用槽朝向该小径筒部的直径方向内侧陷入且沿与直径方向正交的长度方向延伸。
根据本发明的另一实施方式，提供一种管接头，该管接头构成为包含上述管接头用螺母。
根据本发明的另外一实施方式，提供一种流体压力设备，在该流体压力设备中，供流体流通的流体供给管或流体排出管、或供先导流体流通的先导流体流通管中的至少任一个经由上述管接头连接。
根据本发明的另外一实施方式，提供一种流体控制系统，该流体控制系统并列配置有多个构成为包含上述管接头用螺母的流体压力设备。
根据本发明的另外一实施方式，提供一种螺母旋转用夹具，该螺母旋转用夹具用于使螺母旋转，该螺母旋转用夹具具有：
弧状附接部，该弧状附接部形成有开口而呈弧状，并附接于所述螺母；以及
柄部，该柄部与所述弧状附接部相连且直线状地延伸，
在所述弧状附接部的内表面设置有一个以上的爪部，该爪部指向所述螺母而突出，
并且在所述开口被扩开之后，所述弧状附接部在闭合方向上呈现出弹性。
根据本发明的另外一实施方式，提供一种管接头用螺母的螺旋旋转方法，通过上述螺母旋转用夹具使管接头用螺母旋转，从而将该管接头用螺母螺合于接头主体或解除该管接头用螺母与所述接头主体的螺合，在该管接头用螺母的螺旋旋转方法中，
一边用所述管接头用螺母扩开形成于构成所述螺母旋转用夹具的弧状附接部的开口，一边使该管接头用螺母进入该开口，
将形成于所述弧状附接部的内侧壁的爪部与形成于所述管接头用螺母的外周壁的卡合用槽卡合，并且在所述管接头用螺母向所述开口的进入结束时，通过所述弧状附接部的弹性将所述开口闭合而将所述弧状附接部附接于所述管接头用螺母，
之后，经由构成所述螺母旋转用夹具的柄部向所述管接头用螺母施加转矩，从而使所述管接头用螺母旋转。
根据本发明，与大径筒部相比小径的小径筒部与该大径筒部连续地设置。由于在该小径筒部形成有多个卡合用槽，因此使管接头用螺母旋转的操作者只要将螺母旋转用夹具的爪部卡合于卡合用槽，进而通过使该螺母旋转用夹具转动而向小径筒部施加转矩即可。与之相伴，管接头用螺母容易地进行旋转。
即使在大径筒部以彼此接近的方式相邻的情况下，在与该大径筒部相比小径的小径筒部彼此之间形成有较大的间隙。只要从该间隙将螺母旋转用夹具插入，则将该螺母旋转用夹具外嵌于小径筒部而进行上述那样的卡合就变得容易。因此，即使在狭小空间中也能够向小径筒部施加转矩而使管接头用螺母旋转。作为其结果，将内螺纹部与外螺纹部强力地螺合、与之相反地将内螺纹部与外螺纹部的螺合解除变得容易。
另外，在开口被扩开之后，螺母旋转用夹具的弧状附接部呈现出向闭合方向作用的弹性。因此，在将弧状附接部附接于管接头用螺母等的螺母时，只要一边将开口扩开一边使螺母进入弧状附接部内即可。因此，即使是狭小的空间也能够容易地将弧状附接部附接于螺母。
上述的目的、特征及优点能够通过参照附图说明的以下的实施方式的说明而容易地理解。
附图说明
图1是流体控制系统的整体概略立体图。
图2是构成所述流体控制系统的第一气动阀的整体概略立体图。
图3是流体控制系统的概略俯视图。
图4是所述第一气动阀的概略纵剖视图。
图5是从阀主体取下第一螺母的状态的关键部位概略立体图。
图6是图4的关键部位放大图。
图7是表示将对螺母旋转用夹具(第一工具)的小径筒部施加转矩的弧状附接部(小半圆环部)外嵌于小径筒部的状态的关键部位概略立体图。
图8是使用第二工具进行外径沿长度方向大致恒定的现有技术的管接头用螺母的紧固(拧紧)时的关键部位概略立体图。
图9是图8所示的状态的关键部位概略主视图。
图10是对本发明的实施方式的管接头用螺母(第一螺母)进行紧固(拧紧)时的关键部位概略立体图。
图11是图10所示的状态的关键部位概略主视图。
图12是表示在现有技术的管接头用螺母彼此相对的情况下，将旋转用的第二工具插入到管接头用螺母彼此之间的管材的状态的关键部位概略立体图。
图13是表示从图12的状态使第二工具位移而外嵌于一方的管接头用螺母的状态的关键部位概略立体图。
图14是在本实施方式的管接头用螺母彼此(第一螺母与第二螺母)相对的情况下，使一方的管接头用螺母(第一螺母)旋转时的关键部位概略立体图。
图15是阀部从图4的状态从阀座离开而成为开状态的第一气动阀的概略纵剖视图。
图16是使用未设置凸片部的定位固定用部件(端板)而构成的流体控制系统的整体概略立体图。
图17是表示在图16所示的结构中，使用图8所示的管接头用螺母，并且通过第二工具将中央的管接头用螺母螺旋旋转的状态的关键部位主视图。
图18是表示在图16所示的结构中，使用第一螺母，并且通过第一工具将中央的第一螺母螺旋旋转的状态的关键部位主视图。
具体实施方式
以下，关于本发明的流体压力设备及流体控制系统，参照附图，并结合优选的实施方式，对设置于该流体压力设备并且构成为包含管接头用螺母的管接头、使该管接头用螺母旋转的螺母旋转用夹具、以及使用该螺母旋转用夹具的管接头用螺母的螺旋旋转方法的关系进行详细地说明。此外，以下的“下”及“上”特别与图4及图15中的下方及上方对应，但这是为了使理解变得容易而适当设置的，并不限定实际使用流体压力设备时的方向。另外，供流体、先导流体流通的各管均表示为剖面。
首先，对图1所示的流体控制系统10进行说明。该流体控制系统10具备分别定位固定于底座12上的第一气动阀14a～第三气动阀14c。这些第一气动阀14a～第三气动阀14c是将压缩空气作为先导流体而动作的空气压设备(流体压力设备)，并作为对高纯度药液、超纯水等流体的流量进行控制的流量控制阀而发挥功能。
第一气动阀14a～第三气动阀14c是在先导压未作用时关闭的所谓的常闭阀。在第一气动阀14a～第三气动阀14c为开状态时，流体从A1侧朝向A2侧流通。以下，将从A1朝向A2的方向记作“流通方向”。因此，“流通方向上游侧”是A1侧，且“流通方向下游侧”是A2侧。
对第一气动阀14a进行说明。如作为整体概略立体图的图2所示，该第一气动阀14a从靠近底座12(规定的部件)的一侧起依次具备：端板20(定位固定用部件)、阀主体22、第一壳体24、第二壳体26。第一气动阀14a通过将这些端板20、阀主体22、第一壳体24、第二壳体26在同一轴线上连接而成为纵长的大致长方体形状。此外，端板20、阀主体22、第一壳体24及第二壳体26均由树脂材料形成。作为树脂材料的优选的例，可以例举出聚四氟乙烯、聚氟乙烯、全氟烷氧基烷烃等耐药品性、耐热性优良的氟化合物树脂。
如作为流体控制系统10的概略俯视图的图3所示，在第一气动阀14a的端板20的一侧面形成有第一凸片部28，该第一凸片部28朝向与流通方向正交的B1方向突出。第一凸片部28在偏靠A2侧的位置与端板20一体地设置。另外，在作为该一侧面的背面的另一侧面形成有第二凸片部30，该第二凸片部30朝向作为与B1方向相反的方向的B2方向突出。第二凸片部30在偏靠A1侧的位置与端板20一体地设置。即，第一凸片部28与第二凸片部30在端板20中的点对称的位置相互向反方向突出。其结果是，第一凸片部28与第二凸片部30成为所谓的交错配置。
在第一凸片部28、第二凸片部30分别形成有作为沿其厚度方向延伸的贯通孔的第一长孔32、第二长孔34。通过使安装螺丝36的螺丝部通过这些第一长孔32、第二长孔34，并且将该螺丝部与形成于底座12的螺丝孔螺合，从而使第一气动阀14a定位固定于底座12。
在阀主体22的A1侧端面、A2侧端面分别安装有作为本实施方式的管接头用螺母的第一螺母40、第二螺母42，由此构成了第一管接头部44、第二管接头部46(均是管接头)。之后对这些第一管接头部44、第二管接头部46进行详细描述。
图4是第一气动阀14a的概略纵剖视图，图5是表示从阀主体22取下第一螺母40的状态的关键部位概略立体图。如这些图4及图5所示，在阀主体22，在A1侧端面突出形成有第一接头主体48，并且在A2侧端面突出形成有第二接头主体50。第一接头主体48的延伸方向是A1侧，第二接头主体50的延伸方向是A2侧。即，第一接头主体48及第二接头主体50沿流通方向延伸。显而易见，第一接头主体48及第二接头主体50相对于阀主体22一体地设置。换言之，第一接头主体48及第二接头主体50是阀主体22的一部分，因此由树脂材料形成。
如图4所示，在阀主体22的内部形成有入口流路52、阀室54及出口流路56。入口流路52从第一接头主体48的A1侧顶端延伸到阀室54为止，并且面朝该阀室54开口。在该开口的附近设置有阀座58。另一方面，出口流路56从阀室54延伸到第二接头主体50的A2侧顶端为止。即，入口流路52与出口流路56经由阀室54连通。
在阀主体22的内部，以朝向第一壳体24延伸的方式设置有围绕阀座58而形成阀室54的第一筒壁部60和围绕该第一筒壁部60的第二筒壁部62。在第一筒壁部60与第二筒壁部62之间形成有环状槽64。在该环状槽64插入有膜片66的外缘部。从该膜片66的径向中心的下表面以朝向阀座58的方式突出形成有阀部68。通过阀部68落座于阀座58，从而入口流路52与阀室54的连通被切断。另外，在膜片66的径向中心的上表面，以朝向第一壳体24的方式突出形成有呈大致圆柱形状的卡合凸部70。
此外，第二筒壁部62的外周壁的A1侧端部与A2侧端部与阀主体22的呈大致矩形状的外壁一体地连接。
在第一壳体24的面朝阀主体22的下表面，在与所述第一筒壁部60相对的位置突出形成有环状突起72。该环状突起72插入第二筒壁部62的内侧，并和第一筒壁部60一起夹持膜片66的外缘部。通过该夹持而将膜片66保持于阀主体22与第一壳体24。另一方面，在面朝第二壳体26的上表面突出形成有与环状突起72相比大径的环状卡合部74。
第一壳体24是中空体，其内室被隔壁76划分为下室80与上室82。下室80及上室82的沿流通方向的水平截面为大致正圆形状，与下室80相比，上室82是大径。此外，下室80与阀室54经由膜片66隔开。换言之，膜片66将下室80与阀室54的连通切断。另外，在第一壳体24的A2侧端面形成有与下室80连通的呼吸端口84。另一方面，在第一壳体24的A1侧端面形成有与上室82连通的第一先导端口86。
在隔壁76一体地设置有第一引导筒部88，该第一引导筒部88的下端及上端分别向下室80内及上室82内突出。第一引导筒部88由圆筒形状部形成，该圆筒形状部形成有沿其轴线方向贯通的第一引导孔90。
第二引导筒部92、第三筒壁部94从第二壳体26的顶壁的内面以朝向第二壳体26的方式突出。在第二引导筒部92与第三筒壁部94之间形成有环状的第一凹部96。另外，在第三筒壁部94与第二壳体26的呈大致矩形状的外壁之间形成有环状的第二凹部98。在第一凹部96收容有复位弹簧100的大部分，另一方面，在第二凹部98插入有环状卡合部74。并且，在第二壳体26的A1侧端面形成有第二先导端口102。第一凹部96与第二先导端口102经由贯通第三筒壁部94的连络流路104连通。
在第一壳体24及第二壳体26收容有阀杆110，该阀杆110一体地设置有活塞部108。所述复位弹簧100的下端落座于活塞部108的上端面，由此，始终将阀杆110指向阀座58侧而弹性施力。如后所述，阀杆110因活塞部108受到先导流体的压力(先导压)而位移。此外，在活塞部108的较长的侧周壁与上室82的内周壁之间形成有稍许间隙，但是两壁之间被环状密封部件126密封。
另外，阀杆110还具有：从活塞部108的下端面突出的第一轴部112、从活塞部108的上端面突出的第二轴部114以及与该第二轴部114相连且朝向第二壳体26的顶壁延伸的小径的第三轴部116。在第一轴部112形成有朝向活塞部108陷入的卡合孔118。在该卡合孔118卡合有作为膜片66的一部分的所述卡合凸部70。通过该卡合，膜片66经由卡合凸部70被保持于阀杆110。
第一轴部112插通于第一引导孔90，该第一引导孔90形成于作为第一壳体24的一部分的第一引导筒部88。另一方面，第二轴部114及第三轴部116插入第二引导孔120，该第二引导孔120形成于作为第二壳体26的一部分的第二引导筒部92。由于第二引导孔120在第二壳体26的顶壁开口，因此使流体控制系统10工作的操作者或使用者在俯视第一气动阀14a时，能够目视确认第二引导孔120内的第三轴部116(参照图3)。此外，在第一气动阀14a为闭状态时，第三轴部116的上表面与第二壳体26的顶壁的上表面大致齐平。
在第一轴部112被第一引导筒部88支承且第二轴部114被第二引导筒部92支承的状态下，阀杆110位移。除此之外，活塞部108的侧周壁遍及大范围地沿上室82的内周壁延伸，并且所述两壁间的间隙极小。因此，避免了阀杆110的轴线方向相对于第一气动阀14a的轴线方向倾斜。此外，显而易见，在阀杆110位移时，第一轴部112被第一引导筒部88引导，第二轴部114被第二引导筒部92引导。
当阀杆110位移时，膜片66的卡合凸部70被第一轴部112推出或拉动。因此，膜片66向与阀杆110相同的方向位移。随着该位移，该膜片66的阀部68相对于阀座58落座或分离。即，入口流路52与阀室54的连通被切断或连通，从而第一气动阀14a成为闭状态或开状态。
此外，图4中的参照符号122、124、126、128、130表示环状密封部件。另外，在端板20的四方的角落部形成有螺丝紧固孔(未图示)，并且在阀主体22、第一壳体24及第二壳体26的四方的角落部形成有杆插通孔(未图示)。从第二壳体26的杆插通孔插通有拉杆(未图示)，并且该拉杆的螺丝部与所述螺丝紧固孔螺合。由此，端板20、阀主体22、第一壳体24及第二壳体26被紧固。
在第二壳体26的杆插通孔压入有橡胶制帽134(参照图1～图3)。通过该橡胶制帽134，杆插通孔及螺丝紧固孔被闭塞而被保持为气密或液密。即，防止了粉尘、液体等异物侵入杆插通孔、螺丝紧固孔内。另外，由于作为金属的拉杆被橡胶制帽134遮蔽，因此保护拉杆不受湿气、液体影响。即，有效地防止了拉杆因湿气、液体的附着而被腐蚀。除此之外，即使以拉杆作为源头而产生腐蚀粉、金属粉等异物的情况下，该异物也被橡胶制帽134封入杆插通孔。因此，消除了异物混入流体等的可能。
如图1所示，在第一先导端口86、第二先导端口102经由第一接头140、第二接头142分别连接有第一供排管144、第二供排管146(均是先导流体流通管)。具体而言，在第一先导端口86、第二先导端口102的内周壁分别刻有内螺纹，并且在第一接头140、第二接头142的外周壁分别刻有外螺纹。通过外螺纹相对于内螺纹螺合，第一供排管144、第二供排管146经由第一接头140、第二接头142分别被保持于第一壳体24、第二壳体26。
这里，在第一气动阀14a～第三气动阀14c如上所述构成为常闭阀时，将第二先导端口102安装于第二供排管146不是必须的。例如，也可以通过插塞部件闭塞第二先导端口102。
接着，对设置于阀主体22的第一管接头部44、第二管接头部46进行说明。
如作为图5及图4的关键部位放大图的图6所示，第一管接头部44具备从阀主体22的A1侧端面突出的第一接头主体48与第一螺母40，并通过这些第一接头主体48及第一螺母40夹持流体供给管150(管材)。显而易见，流体供给管150的内部与第一接头主体48内的入口流路52连通。
第一接头主体48具有一体地连接于阀主体22的较大径的圆筒形状的基端部152。在该基端部152的外周壁刻有外螺纹部154。
另外，第一接头主体48具有从基端部152向A1侧突出的较小径的圆筒形状的伸出轴部156。在该伸出轴部156的端部设置有随着从A1侧朝向A2侧而逐渐扩径的锥面158。
在伸出轴部156的外周面，在与锥面158相比靠A2侧设置有多个环状凸部164，该多个环状凸部164与流体供给管150的扩径部150a的内壁面抵接。多个环状凸部164具有剖面大致三角形的顶端部，并相互隔开规定间隔沿伸出轴部156的轴线方向并列设置。另外，环状凸部164的高度大致相同。此外，在图5及图6中，例示了设置五个环状凸部164的情况，但是环状凸部164的个数并不限于此，例如，也可以仅有一个。
另一方面，第一螺母40具有较大径的大径筒部170和与该大径筒部170连续设置的向A1侧突出的小径筒部172。显而易见，小径筒部172与大径筒部170相比直径小。另外，大径筒部170及小径筒部172这两者都形成为中空的圆筒形状。因此，在大径筒部170内形成有第一内孔174，并且在小径筒部172内形成有第二内孔176。第一内孔174的内径被设定为与第二内孔176的内径相比直径大。
并且，在大径筒部170的形成第一内孔174的内周壁刻有与第一接头主体48的外螺纹部154螺合的内螺纹部178。另外，在大径筒部170的外周壁，以朝向大径筒部170的直径方向外侧突出的方式设置有多个卡合用突起180(参照图1～图3)。因此，在第一螺母40中，外径成为最大的部位即最大外径部是设置有卡合用突起180的部位，该外径被定义为从其中心到外表面为止的距离。各卡合用突起180沿与直径方向正交的方向即大径筒部170的长度方向(流通方向)延伸。并且，在该情况下，卡合用突起180设置有六个，且相互以大致相等的间隔分开。
在小径筒部172的A1侧端面(顶端面)形成有供流体供给管150插入的剖面圆形状的插入孔182。另外，在小径筒部172的内周壁形成有剖面锐角状的环状按压部184。当第一螺母40紧固于第一接头主体48时，环状按压部184朝向锥面158侧按压流体供给管150的倾斜的外周面。
第二内孔176与插入孔182相比直径大。形成该第二内孔176的内周壁以规定间隔从第一接头主体48的伸出轴部156的各环状凸部164分离。各环状凸部164的顶端与所述内周壁的分离距离比流体供给管150的扩径部150a的形成时的该扩径部150a的厚度小。
在小径筒部172的外周壁，数量比大径筒部170的外周壁的卡合用突起180多的多个脊部朝向小径筒部172的直径方向外侧突出。各脊部沿与小径筒部172的直径方向正交的长度方向(流通方向)延伸。因此，在相邻的脊部彼此之间形成有卡合用槽186，该卡合用槽186朝向小径筒部172的直径方向内侧陷入，且沿与直径方向正交的长度方向延伸。通过脊部与卡合用槽186沿小径筒部172的圆周方向交错相连，从而小径筒部172的外周壁成为刻有所谓直齿的形状。
像以上那样构成的第一螺母40由与阀主体22(接头主体)相同的树脂材料形成。流体供给管150也同样由树脂材料形成。作为两树脂材料的优选的例，可以例举出上述那样的氟化合物树脂。
配置于阀主体22的A2侧端面的第二管接头部46构成为包含分别与第一接头主体48、第一螺母40、流体供给管150同样地构成的第二接头主体50、第二螺母42、流体排出管188。因此，省略关于第二管接头部46的详细的说明。此外，关于第二接头主体50及第二螺母42，使用将关于第一接头主体48及第一螺母40的说明中的“A1”替换成“A2”来说明。另外，将流体排出管188的扩径部的参照符号设为188a(参照图6)。
剩余的第二气动阀14b、第三气动阀14c构成为与第一气动阀14a相同。因此，对相同的结构要素标注相同的参照符号，并省略其详细的说明。
图7示出了作为本实施方式的螺母旋转用夹具的第一工具200，该第一工具200向小径筒部172施加转矩而使第一螺母40(或第二螺母42)旋转。该第一工具200具有：作为柄部的小手柄202和由弧状且薄的弯曲板形成的呈大致半圆形状的小半圆环部204(弧状附接部)。小手柄202的刚性被设定为比小半圆环部204大。
小半圆环部204呈将环状体切成大致半圆形状的形状，即弧状。因此，在小半圆环部204形成有开口205。另外，由于小半圆环部204由薄的弯曲板形成，因此富有弹性。即，在向开口205作用外力而使该开口205扩开时，当被从所述外力释放时，该开口205容易闭合。即，小半圆环部204恢复原来的形状。
并且，在小半圆环部204的内侧壁形成有三个卡合爪206(爪部)，该三个卡合爪206朝向直径方向内侧，即朝向第一螺母40(或第二螺母42)突出。小半圆环部204的内径与第一螺母40及第二螺母42的小径筒部172的外径大致一致。另外，相邻的卡合爪206彼此的间距或相位差与相邻的卡合用槽186彼此的间距或相位差大致相等。因此，三个卡合爪206能够与三个卡合用槽186卡合。
此外，在图7中例示了卡合爪206为三个的情况，但是卡合爪206的个数没有特别的限定，只要是一个以上即可。即，卡合爪206可以是两个以下，也可以是四个以上。
图8示出了第二工具210，该第二工具210能够对大径筒部170施加转矩。第二工具210具有：与小手柄202相比厚且长的大手柄212和内径与小半圆环部204相比大且比半圆稍大的圆弧形状的大半圆环部214。在大半圆环部214形成有开口215，并且在其内侧壁上，五个卡合凹部216朝向直径方向外侧陷入。大半圆环部214的内径与第一螺母40及第二螺母42的大径筒部170的外径大致一致。另外，相邻的卡合凹部216彼此的间距或相位差与相邻的卡合用突起180彼此的间距或相位差大致相等。因此，五个卡合凹部216能够与五个卡合用突起180卡合。
此外，在图8中例示了卡合用突起180为六个(卡合用突起180彼此的相位差为约60°)且卡合凹部216为五个的情况，但卡合用突起180及卡合凹部216的个数没有特别的限制。例如，即使卡合用突起180同样是六个，卡合凹部216也可以是四个。另外，也可以使卡合用突起180为五个以下或超过六个，并且使卡合凹部216为四个以下或超过六个。
第一工具200及第二工具210均由树脂材料形成。作为树脂材料，例示了与上述相同的聚四氟乙烯、聚氟乙烯、全氟烷氧基烷烃等氟化合物树脂等，但也可以是其他的树脂材料。作为其他的树脂材料的具体例，可以例举聚丙烯、聚乙烯等。
本实施方式的第一螺母40及第二螺母42(管接头用螺母)、第一管接头部44及第二管接头部46、第一气动阀14a～第三气动阀14c(流体压力设备)、包含这些的流体控制系统10、第一工具200基本如以上那样构成，接着，对于其作用效果，将用与流体控制系统10的组装过程中实施的管接头用螺母(第一螺母40、第二螺母42)的螺旋旋转方法的关系进行说明。
为了构成流体控制系统10，首先，将第一气动阀14a～第三气动阀14c定位固定于底座12上。为此，将安装螺丝36的螺丝部通过第一气动阀14a～第三气动阀14c各自的第一凸片部28的第一长孔32、第二凸片部30的第二长孔34，并将该螺丝部与形成于底座12的螺丝孔稍微螺合。在该时刻，能够使第一气动阀14a～第三气动阀14c沿第一长孔32、第二长孔34的长度方向位移。即，能够调整第一气动阀14a～第三气动阀14c的位置。之后，拧紧安装螺丝36。
由于第一凸片部28与第二凸片部30交错配置(参照图3)，因此，例如第一气动阀14a的第二凸片部30与第二气动阀14b的第一凸片部28沿流通方向上游侧(A1侧)、下游侧(A2)并列。即，第一气动阀14a的第二凸片部30不会配置为与第二气动阀14b的第一凸片部28或第二凸片部30在B1侧或B2侧并列。因此，能够使第一气动阀14a、第二气动阀14b的阀主体22彼此的分离距离与第一气动阀14a的第二凸片部30的向B2方向的突出长度(或第二气动阀14b的第一凸片部28的向B1方向的突出长度)大致相等。
因此，使第一气动阀14a与第二气动阀14b最近接。关于第二气动阀14b与第三气动阀14c也是相同的。根据以上那样的理由，能够实现流体控制系统10的紧凑化。
此外，在图3中，将第一气动阀14a～第三气动阀14c的设置有第一先导端口86、第二先导端口102的一侧作为流体入口侧，并将其背面作为流体出口侧，但这只是例示。即，也可以将第一气动阀14a～第三气动阀14c中的至少一个设置为，将设置有第一先导端口86、第二先导端口102的一侧作为流体出口侧，并将其背面作为流体入口侧。
接着，经由第一接头140将第一供排管144连接于第一先导端口86，并经由第二接头142将第二供排管146连接于第二先导端口102。此外，也可以在将第一气动阀14a～第三气动阀14c定位固定于底座12上之前，将第一供排管144、第二供排管146分别连接于第一先导端口86、第二先导端口102。
接着，构成第一管接头部44。具体而言，首先，将流体供给管150的端部插入第一螺母40的插入孔182，并将流体供给管150的端部从大径筒部170侧拉出规定长度。接着，将第一接头主体48插入该端部的中空内部。
进而，将第一接头主体48的伸出轴部156插入第一螺母40的大径筒部170内，并使第一螺母40的内螺纹部178沿第一接头主体48的外螺纹部154螺旋旋转。即，进行第一螺母40的紧固。紧固是例如操作者进行所谓的手拧，并在之后拧紧即可。
随着第一螺母40的拧入，流体供给管150沿伸出轴部156的锥面158从顶端侧依次扩径。另外，第一螺母40的小径筒部172的内周壁与第一接头主体48的伸出轴部156在轴线方向上逐渐重合。其结果是，伸出轴部156的多个环状凸部164从靠近锥面158的一侧起依次与小径筒部172的形成第二内孔176的内周壁相对。与环状凸部164相对的内周壁将扩径后的流体供给管150的外壁面朝向该环状凸部164按压。
即，流体供给管150在被伸出轴部156扩径之后，从靠近锥面158的一侧起依次被挤压而变形。因此，扩径部150a的内周壁在与各环状凸部164接触的部位被压缩，并且在其两侧向直径方向内侧鼓出，从而进入相邻环状凸部164间的空间。
这样，在流体供给管150形成扩径部150a，并且该扩径部150a被夹持于伸出轴部156的多个环状凸部164与第一螺母40的小径筒部172的内周壁之间。即，扩径部150a的内周壁与多个环状凸部164紧贴。由此，在环状凸部164的顶端与扩径部150a的内壁面之间形成密封。
当通过手拧或拧紧使第一螺母40螺旋旋转时，流体供给管150被夹入伸出轴部156的锥面158与第一螺母40的环状按压部184之间而受到按压。其结果是，锥面158与被小径筒部172的内周壁按压的流体供给管150的倾斜的内壁面紧贴。因此，在锥面158与流体供给管150的倾斜的内壁面之间也形成密封。
这里，图8及图9示出了对现有技术的管接头用螺母230进行拧紧的情况。此外，为了目视确认、容易理解，在图8中，省略了阀主体22、壳体24等，并对卡合用突起180标注与第一螺母40的卡合用突起180相同的参照符号。另外，管接头用螺母230的外径与第一螺母40的大径筒部170的外径相同，且沿该管接头用螺母230的长度方向大致恒定。
如上所述，第一气动阀14a～第三气动阀14c并列地配置。因此，第一气动阀14a～第三气动阀14c的管接头用螺母230从B1侧向B2侧并列。
在图8及图9中，例示了用第二工具210对设置于第二气动阀14b的管接头用螺母230进行拧紧的情况。在该情况下，为了使第二工具210的卡合凹部216与卡合用突起180卡合管而使接头用螺母230旋转，如同时参照图17可知的那样，需要将相邻的管接头用螺母230彼此的间距P1设定为管接头用螺母230的最大外径部的外径(从管接头用螺母230的中心到卡合用突起180的外表面为止的距离)与工具宽度相加的和的值以上。这是因为，当间距P1小于上述值时，当使第二工具210沿管接头用螺母230的长度方向移动时，管接头用螺母230会与大半圆环部214发生干涉。
因此，不能使第一气动阀14a与第二气动阀14b、第二气动阀14b与第三气动阀14c接近到小于管接头用螺母230的最大外径部的外径与工具宽度的和为止。即，在该情况下，难以使第一气动阀14a～第三气动阀14c如上述那样最近接。
而且，如图9所示，当使管接头用螺母230旋转时，在旋转角度θ1较小的阶段，第一接头140、第一供排管144与第二工具210的大手柄212发生干涉。在该情况下，虽然使大半圆环部214暂时脱离管接头用螺母230，并且使大手柄212返回旋转前的位置，从而将卡合凹部216再次与卡合用突起180卡合而使管接头用螺母230再次旋转即可，但是当该次数较多时，拧紧操作会变得繁杂。
另外，当θ1小于相邻的卡合用突起180的相位差(在卡合用突起180是六个的图示的例中为60°)时，在想要将卡合凹部216再次卡合于卡合用突起180时，第一气动阀14a的管接头用螺母230可能会与大手柄212发生干涉。在该情况下，将卡合凹部216再次卡合于卡合用突起180本身都很困难。
另一方面，在本实施方式中，如图10及图11所示，即使在第一螺母40的大径筒部170彼此最近接的情况下，由于小径筒部172与大径筒部170相比直径小，因此相邻的小径筒部172彼此之间形成了较大的间隙。在对设置于第二气动阀14b的第一螺母40进行拧紧时，操作者在从该间隙将第一工具200的小半圆环部204插入之后，使该小径筒部172从小半圆环部204的开口205进入。由于小半圆环部204富有弹性，因此，此时，小半圆环部204的开口205容易地扩开。因此，容易使小径筒部172从开口205进入。
在与小径筒部172从开口205的进入结束的大致同时，扩开的开口205因小半圆环部204的弹性而闭合。在与此大致同时或之前，形成于小半圆环部204的内侧壁的三个卡合爪206分别与三个卡合用槽186卡合。由此，第一工具200附接(外嵌)于小径筒部172而不会从该小径筒部172脱落。在该状态下，当操作者通过转动小手柄202而向小径筒部172施加转矩时，该小径筒部172和与小径筒部172相连的大径筒部170一体地旋转。由于小手柄202的刚性比小半圆环部204大，因此转矩从小手柄202有效地向小径筒部172传递。
像这样，根据在第一螺母40设置小径筒部172的本实施方式，即使在使大径筒部170最近接的情况下也能够使第一螺母40旋转。即，根据情况不同，特别是图16及图18所示，能够使相邻的第一螺母40彼此之间的间距P2与第一螺母40的最大外径部的外径(从大径筒部170的中心到卡合用突起180的外表面为止的距离)大致相等。因此，能够使第一气动阀14a～第三气动阀14c如上述那样最近接地并列配置。
而且，如图11所示，由于小径筒部172的外径比大径筒部170小，因此在使第一螺母40的小径筒部172旋转的情况下，直到第一接头140、第一供排管144与第一工具200的小手柄202发生干涉为止的旋转角度θ2与旋转角度θ1相比变大。因此，能够通过向小径筒部172施加的一次转矩使第一螺母40进行大幅旋转。在第一接头140、第一供排管144与小手柄202发生干涉的情况下，只要使小半圆环部204暂时从小径筒部172脱离，并且使小手柄202返回旋转前的位置，从而使卡合爪206再次卡合于卡合用槽186而使第一螺母40再次旋转即可。由于能够增大一次旋转对应的第一螺母40的旋转角度θ2，因此能够减少第一螺母40的再次旋转次数。
另外，由于相邻的卡合用槽186彼此的间距或相位差小，因此在再次卡合时，有效地避免了第一气动阀14a的第一螺母40与小手柄202发生干涉。因此，容易将卡合爪206再次卡合于卡合用槽186。根据以上那样的理由，即使在旋转角度θ2小的情况下，也容易进行拧紧。
第二管接头部46能够与上述相同地，通过将第二螺母42紧固于第二接头主体50而构成。此外，由于在第二管接头部46侧(A2侧)未设置第一先导端口86、第二先导端口102，因此无论使用第一工具200、第二工具210中的哪一个，该工具200、210都不会与第一接头140、第一供排管144等发生干涉。在这样的情况下，也可以使用第二工具210来使第二螺母42旋转。
具体而言，对于设置于第二螺母42的大径筒部170的外周壁的卡合用突起180中的五个，将形成于第二工具210的大半圆环部214的内侧壁的五个卡合凹部216与图8相同地卡合。之后，经由大手柄212向大径筒部170施加转矩即可。由此，大径筒部170和与该大径筒部170相连的小径筒部172一体地旋转。
像这样，通过在第一螺母40及第二螺母42的各大径筒部170的外周壁设置卡合用突起180，不仅能够用第一工具200向小径筒部172施加转矩而使第一螺母40及第二螺母42旋转，还能够通过用第二工具210向大径筒部170施加转矩而使第一螺母40及第二螺母42旋转。并且，在后者的情况下，与使小径筒部172旋转的情况相比，能够施加大的转矩。因此，可以获得如下优点：在管材等不密集而容易使第二工具210转动的部位，能够容易进行第一螺母40及第二螺母42的拧紧操作。
即，通过在小径筒部172形成卡合用槽186并且在大径筒部170设置卡合用突起180，能够选择性地使用第一工具200与第二工具210这两者。因此，在供排管等与第二工具210发生干涉时，使用第一工具200从而在狭小的空间中也能可靠地使小径筒部172旋转，并且，在供排管等不会与第二工具210发生干涉时，也可以使用第二工具210向大径筒部170施加大的转矩。
另外，假设在第一气动阀14a～第三气动阀14c的上游侧(或下游侧)设置有某种流体控制器。如图12所示，在现有技术中，在使流体控制器与第一气动阀14a～第三气动阀14c沿流通方向靠近的情况下，设置于流体控制器的管接头用螺母230与设置于第一气动阀14a～第三气动阀14c的管接头用螺母230相对。由于第二工具210厚且工具宽度大，并且缺乏弹性(可绕性)。因此，大半圆环部214的开口几乎不会变大。结果，在该状況下，例如，难以将大半圆环部214直接外嵌于第二气动阀14b的管接头用螺母230。
因此，为了拧紧第二气动阀14b的管接头用螺母230，首先，使在设置于流体控制器的管接头用螺母230和与其相对的第二气动阀14b的管接头用螺母230之间露出的流体供给管150通过大半圆环部214(参照图12)。之后，如图13所示，需要使第二工具210指向第二气动阀14b的管接头用螺母230侧(A2侧)并位移。由此，第二工具210的卡合凹部216与管接头用螺母230的卡合用突起180卡合。
与此相对，在将所述第二螺母42用于流体控制器且将第一螺母40用于第一气动阀14a～第三气动阀14c，并且使流体控制器与第一气动阀14a～第三气动阀14c沿流通方向靠近的情况下，如图14所示，第二螺母42的小径筒部172与第一螺母40的小径筒部172相对。由于第一工具200薄且工具宽度小，并且弹性(可绕性)较大。因此，在想要将小半圆环部204外嵌于小径筒部172时，小半圆环部204的开口205容易地扩开。因此，容易使小径筒部172从开口205进入。
进而，在使小半圆环部204进入小径筒部172之后，开口205因其弹性而闭合。并且，卡合爪206与卡合用槽186卡合。由此，第一工具200附接于小径筒部172。因此，能够将小半圆环部204直接外嵌于第二气动阀14b的第一螺母40的小径筒部172，并在之后向小径筒部172施加转矩而使第一螺母40旋转。
因此，不需要使流体供给管150在设置于流体控制器的第二螺母42和与其相对的第二气动阀14b的第一螺母40之间露出。根据情况不同，也能够使第二螺母42的下游侧端面与第一螺母40的上游侧端面抵接。与此对应地，能够使流体控制器与第一气动阀14a～第三气动阀14c靠近，因此能够进一步实现流体控制系统10的紧凑化，换言之，能够实现集成化。
基于第一气动阀14a～第三气动阀14c的流体的流量控制如以下那样进行。
为了将第一气动阀14a(或第二气动阀14b、第三气动阀14c)设为开状态而使高纯度药液、超纯水等流通，从第一供排管144经由第一先导端口86将先导空气向上室82供给。由此，上室82的内压上升，构成阀杆110的活塞部108从下表面受到先导空气的按压。其结果是，如图15所示，阀杆110以与先导空气的先导压对应的位移量向第二壳体26侧(即，图4及图15中的上方)位移。此时，构成阀杆110并从活塞部108突出的第一轴部112及第二轴部114被第一引导孔90、第二引导孔120的各内周壁引导。另外，活塞部108的外周壁与上室82的内周壁滑动接触。并且，复位弹簧100被活塞部108按压而被压缩。
随着阀杆110向上方位移，卡合凸部70与第一轴部112的卡合孔118卡合的膜片66朝向与阀杆110相同的方向(即，上方)位移。由此，膜片66的阀部68从阀座58离开。此外，由于下室80的内容积随着膜片66向上方的位移而减少，因此下室80内的大气从呼吸端口84被排出。
入口流路52与阀室54因阀部68从阀座58离开而连通，并且入口流路52与出口流路56经由阀室54连通。因此，经由流体供给管150到达入口流路52的流体被导入阀室54，进而从该阀室54经由出口流路56向流体排出管188流通。由此，向制造装置或加工装置等供给高纯度药液、超纯水等。
当第一气动阀14a～第三气动阀14c成为开状态时，第三轴部116的上端从第二引导孔120露出。操作者或使用者通过目视确认露出的第三轴部116，能够知道第一气动阀14a～第三气动阀14c为开状态。
为了停止高纯度药液、超纯水等流体的流通，只需与上述相反地使阀部68落座于阀座58即可。即，停止来自第一供排管144的先导空气的供给。进而，经由第一先导端口86将上室82内的先导空气排出。当上室82的内压随着该排出而降低时，复位弹簧100的弹力超过上室82的内压。其结果是，复位弹簧100伸长，从而对活塞部108朝向第一壳体24侧施加弹力。通过以上，包含活塞部108的阀杆110向下方位移而返回原来的位置。
由于下室80的内容积因该位移而增加，因此大气经由呼吸端口84被导入下室80内。或者，也可以使第二先导端口102作为呼吸端口发挥功能。在该情况下，不需要将第二供排管146安装于第二先导端口102。此外，显而易见，在阀杆110向下方位移时，第一轴部112及第二轴部114也被第一引导孔90、第二引导孔120的内周壁引导。
随着阀杆110返回原来的位置(向下方位移)，膜片66与阀杆110一体地朝向下方位移，从而其阀部68落座于阀座58。通过该落座，入口流路52与出口流路56经由阀室54的连通被切断。即，阻止了入口流路52内的流体向阀室54之后的下游侧流通。
当第一气动阀14a～第三气动阀14c成为闭状态时，第三轴部116的上端返回第二引导孔120内。操作者或使用者通过目视确认第三轴部116的上表面与第二壳体26的顶壁的上表面大致齐平，能够知道第一气动阀14a～第三气动阀14c返回了闭状态。
本发明不限于上述的实施方式，而能够在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种变更。
例如，流体压力设备也可以以工作油作为先导流体。另外，流体压力设备也可以是致动器等流量控制阀以外的设备。
另外，在该实施方式中，构成为使用于将供流量被控制的流体流通的管材连接的管接头包含第一螺母40、第二螺母42，但是，也可以使用于将第一供排管144、第二供排管146连接于第一先导端口86、第二先导端口102的管接头构成为包含第一螺母40、第二螺母42。
并且，也可以将第一先导端口86及第二先导端口102与第二接头主体50并列配置。
并且，另外，如图16所示，也可以不设置第一凸片部28、第二凸片部30而构成端板250。在该情况下，在端板250的下表面刻有螺丝孔(未图示)且在底座12贯通形成有长孔(未图示)，并且将通过了该长孔的安装螺丝(未图示)与所述螺丝孔螺合即可。在该情况下，由于第一凸片部28、第二凸片部30不存在，因此能够使第一气动阀14a与第二气动阀14b、第二气动阀14b与第三气动阀14c更接近。
在该结构中，如图17所示，在使用现有技术的管接头用螺母230的情况下，能够将相邻的管接头用螺母230彼此的间距P1’设定得比图8所示的间距P1小。但是，即使在该情况下，也需要确保间距P1’在将管接头用螺母230的外径(大径筒部170的外径)与第二工具210的工具宽度相加的和以上。因此，可能不能使第一气动阀14a与第二气动阀14b、第二气动阀14b与第三气动阀14c最近接。
与此相对，如图18所示，在使用第一螺母40(或第二螺母42)的情况下，在相邻的小径筒部172彼此之间形成有较大的间隙。在使第一螺母40(或第二螺母42)螺旋旋转时，与上述相同地，能够从该间隙将第一工具200的小半圆环部204插入，并将该小半圆环部204外嵌于小径筒部172。
因此，即使在该情况下，也能够将相邻的第一螺母40彼此(或第二螺母42彼此)的间距P2’设定为与大径筒部170的外径相同。因此，能够省略第一凸片部28、第二凸片部30而实现第一气动阀14a与第二气动阀14b、第二气动阀14b与第三气动阀14c的最近接，从而能够实现流体控制系统10的紧凑化。
显而易见，即使在图18所示的结构中，通过将第一工具200的卡合爪206卡合于形成于第一螺母40(或第二螺母42)的小径筒部172的卡合用槽186，能够容易地紧固该第一螺母40(或第二螺母42)。
与以上不同地，也能够将第一气动阀14a～第三气动阀14c构成为常开阀。在该情况下，将复位弹簧100配置于活塞部108的下表面侧，从而使活塞部108指向第二壳体26侧弹性施力。另外，也可以将第二供排管146安装于第二先导端口102，并且用插塞部件闭塞第一先导端口86。
或者，也可以将第一气动阀14a～第三气动阀14c构成为所谓的双动型阀。在该情况下，为了将第一气动阀14a～第三气动阀14c设为开状态而从第一先导端口86向上室82供给先导流体，并且为了设为闭状态而从第二先导端口102向第二壳体26内供给先导流体即可。因此，在该结构中，不需要特别地组装复位弹簧100。
Claims (18)
1.一种树脂材料制的管接头用螺母，在该管接头用螺母(40、42)刻有内螺纹部(178)，该内螺纹部与刻在树脂材料制的接头主体(48、50)的外周壁的外螺纹部(154)螺合，该管接头用螺母的特征在于，具有：
中空的大径筒部(170)，在该大径筒部的内周壁刻有所述内螺纹部；以及
小径筒部(172)，该小径筒部与所述大径筒部连续地设置，形成为中空且呈与该大径筒部相比小径的圆筒形状，并且在该小径筒部的顶端面形成有插入孔(182)，该插入孔供管材(150)插通，
在所述小径筒部的外周壁形成有多个卡合用槽(186)，该多个卡合用槽朝向该小径筒部的直径方向内侧陷入且沿与直径方向正交的长度方向延伸。
2.根据权利要求1所述的管接头用螺母，其特征在于，
在所述大径筒部的外周壁形成有多个卡合用突起(180)，该多个卡合用突起朝向该大径筒部的直径方向外侧突出且沿与直径方向正交的长度方向延伸。
3.一种管接头，该管接头(44、46)构成为包含：由树脂材料形成且刻有内螺纹部的管接头用螺母(40、42)、和由树脂材料形成且在外周壁刻有与所述内螺纹部(178)螺合的外螺纹部(154)的接头主体(48、50)，该管接头的特征在于，
所述管接头用螺母具有：
中空的大径筒部(170)，在该大径筒部的内周壁刻有所述内螺纹部；以及
小径筒部(172)，该小径筒部与所述大径筒部连续地设置，形成为中空且呈与该大径筒部相比小径的圆筒形状，并且在该小径筒部的顶端面形成有插入孔(182)，该插入孔供管材(150)插通，
在所述小径筒部的外周壁形成有多个卡合用槽(186)，该多个卡合用槽朝向该小径筒部的直径方向内侧陷入且沿与直径方向正交的长度方向延伸。
4.根据权利要求3所述的管接头，其特征在于，
所述管接头用螺母在所述大径筒部的外周壁形成有多个卡合用突起(180)，该多个卡合用突起朝向该大径筒部的直径方向外侧突出且沿与直径方向正交的长度方向延伸。
5.一种流体压力设备，在该流体压力设备(14a～14c)中，供给流体的流体供给管(150)、排出流体的流体排出管(188)、供先导流体流通的先导流体流通管(144、146)经由管接头(44、46)连接，该流体压力设备的特征在于，
所述管接头构成为包含：由树脂材料形成且刻有内螺纹部(178)的管接头用螺母(40、42)、和由树脂材料形成且在外周壁刻有与所述内螺纹部螺合的外螺纹部(154)的接头主体(48、50)，
所述管接头用螺母具有：
中空的大径筒部(170)，在该大径筒部的内周壁刻有所述内螺纹部；以及
小径筒部(172)，该小径筒部与所述大径筒部连续地设置，形成为中空且呈与该大径筒部相比小径的圆筒形状，并且在该小径筒部的顶端面形成有插入孔(182)，该插入孔供所述流体供给管、所述流体排出管、或所述先导流体流通管插通，
在所述小径筒部的外周壁形成有多个卡合用槽(186)，该多个卡合用槽朝向该小径筒部的直径方向内侧陷入且沿与直径方向正交的长度方向延伸。
6.根据权利要求5所述的流体压力设备，其特征在于，
所述管接头用螺母在所述大径筒部的外周壁形成有多个卡合用突起(180)，该多个卡合用突起朝向该大径筒部的直径方向外侧突出且沿与直径方向正交的长度方向延伸。
7.根据权利要求5所述的流体压力设备，其特征在于，
所述流体供给管或所述流体排出管与所述先导流体流通管并列配置。
8.根据权利要求5所述的流体压力设备，其特征在于，
包含定位固定用部件(20)，该定位固定用部件定位固定于规定的部件，
在所述定位固定用部件的点对称位置设置有第一凸片部(28)及第二凸片部(30)，该第一凸片部及第二凸片部向相互相反的方向突出，并且沿各自的厚度方向形成有贯通孔。
9.一种流体控制系统，该流体控制系统(10)通过并列配置多个流体压力设备(14a～14c)而构成，该流体控制系统的特征在于，
所述流体压力设备通过经由管接头(44、46)连接供给流体的流体供给管(150)、排出流体的流体排出管(188)、供先导流体流通的先导流体流通管(144、146)而构成，
所述管接头构成为包含：由树脂材料形成且刻有内螺纹部(178)的管接头用螺母(40、42)、和由树脂材料形成且在外周壁刻有与所述内螺纹部螺合的外螺纹部(154)的接头主体(48、50)，
所述管接头用螺母具有：
中空的大径筒部(170)，在该大径筒部的内周壁刻有所述内螺纹部；以及
小径筒部(172)，该小径筒部与所述大径筒部连续地设置，形成为中空且呈与该大径筒部相比小径的圆筒形状，并且在该小径筒部的顶端面形成有插入孔(182)，该插入孔供所述流体供给管、所述流体排出管、或所述先导流体流通管插通，
在所述小径筒部的外周壁形成有多个卡合用槽(186)，该多个卡合用槽朝向该小径筒部的直径方向内侧陷入且沿与直径方向正交的长度方向延伸。
10.根据权利要求9所述的流体控制系统，其特征在于，
所述管接头用螺母在所述大径筒部的外周壁形成有多个卡合用突起(180)，该多个卡合用突起朝向该大径筒部的直径方向外侧突出且沿与直径方向正交的长度方向延伸。
11.根据权利要求9所述的流体控制系统，其特征在于，
所述流体供给管或所述流体排出管与所述先导流体流通管并列配置。
12.根据权利要求9所述的流体控制系统，其特征在于，
所述流体压力设备包含定位固定用部件(20)，该定位固定用部件定位固定于规定的部件，
在所述定位固定用部件的点对称位置设置有第一凸片部(28)及第二凸片部(30)，该第一凸片部及第二凸片部向相互相反的方向突出，并且沿各自的厚度方向形成有贯通孔。
13.根据权利要求9所述的流体控制系统，其特征在于，
设置于一个所述流体压力设备的所述管接头用螺母与设置于与该流体压力设备相邻的其他流体压力设备的所述管接头用螺母的间距大致等于构成所述管接头用螺母的最大外径部的外径。
14.一种螺母旋转用夹具，该螺母旋转用夹具(200)用于使螺母(40、42)旋转，该螺母旋转用夹具的特征在于，具有：
弧状附接部(204)，该弧状附接部形成有开口(205)而呈弧状，并附接于所述螺母；以及
柄部(202)，该柄部与所述弧状附接部相连且直线状地延伸，
在所述弧状附接部的内表面设置有一个以上的爪部(206)，该爪部指向所述螺母而突出，
并且在所述开口被扩开之后，所述弧状附接部在闭合方向上呈现出弹性。
15.根据权利要求14所述的螺母旋转用夹具，其特征在于，
所述弧状附接部由弯曲板形成。
16.根据权利要求14所述的螺母旋转用夹具，其特征在于，
所述柄部的刚性比所述弧状附接部的刚性大。
17.一种管接头用螺母的螺旋旋转方法，通过螺母旋转用夹具(200)使管接头用螺母(40、42)旋转，从而将该管接头用螺母螺合于接头主体(48、50)或解除该管接头用螺母与所述接头主体的螺合，该管接头用螺母的螺旋旋转方法的特征在于，
作为所述螺母旋转用夹具，具有：
弧状附接部(204)，该弧状附接部形成有开口(205)而呈弧状，并附接于所述管接头用螺母；以及
柄部(202)，该柄部与所述弧状附接部相连且直线状地延伸，
在所述弧状附接部的内表面形成有一个以上的爪部(206)，该爪部指向所述螺母而突出，
并且在所述开口被扩开之后，所述弧状附接部在闭合方向上呈现出弹性，
一边用所述管接头用螺母扩开所述开口，一边使所述管接头用螺母进入该开口，
将所述爪部与形成于所述管接头用螺母的外周壁的卡合用槽(186)卡合，并且在所述管接头用螺母向所述开口的进入结束时，通过所述弧状附接部的弹性将所述开口闭合而将所述弧状附接部附接于所述管接头用螺母，
之后，经由所述柄部向所述管接头用螺母施加转矩，从而使所述管接头用螺母旋转。
18.根据权利要求17所述的螺旋旋转方法，其特征在于，
所述管接头用螺母具有大径筒部(170)和小径筒部(172)，且所述卡合用槽形成于所述小径筒部，并且设置有该管接头用螺母的至少两个流体压力设备(14a～14c)相邻，从而所述管接头用螺母彼此相邻，且在所述管接头用螺母彼此的间距大致等于所述大径筒部的外径时，将所述弧状附接部从互相相邻的所述小径筒部彼此之间插入。
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