JP2007002902A - マニホールド構造体及びそれを用いたバルブユニット - Google Patents

Abstract

【課題】連結するブロックの内部流路を精度良く位置合わせし、安定したシール性能を発揮できるマニホールド構造体及びそれを用いたバルブユニットを提供すること。
【解決手段】内部流路２４Ａ，２４Ｂが形成されたブロック３Ａ，３Ｂを連結するマニホールド構造体２において、内部流路２４Ａが開口する側面に、該内部流路２４Ａの開口部と同軸上に第１フランジ部２８Ａが設けられた第１ブロック３Ａと、内部流路２４Ｂが開口する側面に、該内部流路２４Ｂの開口部と同軸上に第１フランジ部２８Ａと同一形状の第２フランジ部２８Ｂが設けられた第２ブロック３Ｂと、第１フランジ部２８Ａと第２フランジ部２８Ｂとの間に介在するシール部材６１Ｄと、シール部材を挟んで第１フランジ部２８Ａと第２フランジ部２８Ｂを突き合わせた接続部を連結する接続部材６Ｄとを設ける。
【選択図】 図３

Description

本発明は、流体の分流位置又は合流位置に配設されるマニホールド構造体及びそれを用いたバルブユニットに関する。

従来より、例えば半導体製造装置では、水や酸性薬液、アルカリ性薬液、洗浄液など各種流体を分流又は合流させるために、マニホールド構造体が用いられている。

図２８は、マニホールド構造体１０２及びバルブユニット１０１の従来例を示す断面図である。図２９は、図２８に示すバルブユニット１０１の分解斜視図である。
図２８に示す従来のバルブユニット１０１は、複数のブロック１０３を水平方向に連結するとともに、両端のブロック１０３に継手ブロック１１５をそれぞれ取り付けてマニホールド構造体１０２を構成し、各ブロック１０３に１個のアクチュエータ１１１を搭載する。バルブユニット１０１は、各ブロック１０３の主流路１０６と継手ブロック１１５とが互いに連通し、アクチュエータ１１１によって各ブロック１０３の弁部を開閉することにより、図中矢印方向に流れる薬液を分流出力する。

各ブロック１０３は、流路構成に合わせて簡単に増減できるように、同じ構成を備える。ブロック１０３は、直方体のブロック形状に成形され、アクチュエータ１１１を取り付けるための取付孔１０４が上面から円筒状に穿設され、さらに弁孔１０５が取付孔１０４と同軸上に上面から設けられる。弁孔１０５は、取付孔１０４の下方に水平に穿設された主流路１０６に連通し、取付孔１０４の底面に開口する開口部分の周りに弁座１０７が設けられる。ブロック１０３の側面には、図２９に示すように、継手１０８が一体的に設けられ、取付孔１０４の内側面に継手１０８に連通する流路が開口する。従って、アクチュエータ１１１で弁体１１２を弁座１０７に当接又は離間させれば、継手１０８と主流路１０６の連通状態を制御できる。
一方、継手ブロック１１５は、ブロック１０３の側面に当接する本体部に継手部を一体的に形成される。

ブロック１０３同士、及び、ブロック１０３と継手ブロック１１５は、パッキン１１６とＯリング１１７を用いて接続部をシールされる。ブロック１０３は、主流路１０６が開口する側面に、環状溝１０９が開口部の周りに環状に形成され、また、継手ブロック１１５は、ブロック１０３と当接する側面に、流路開口部の周りに沿って環状溝１０９が形成される。パッキン１１６は、ブロック１０３同士の当接面の間、又は、ブロック１０３と継手ブロック１１５の当接面の間で押し潰され、環状溝１０９に収納されるＯリング１１７によって保持される。

ブロック１０３同士は、次のように連結される。
パッキン１１６の外周にＯリング１１７，１１７を装着し、パッキン１１６をブロック１０３の環状溝１０９に嵌め込むように、隣り合うブロック１０３の端面を互いに当接させる。ブロック１０３は、環状溝１０９の両側にジョイントブロック１１８に係合する係合凹部１１９，１１９がそれぞれ設けられており、各係合凹部１１９を通るように上面から挿通孔１２０が穿設されている。ジョイントブロック１１８にも、挿通孔１２０に対応する貫通孔１２１が形成される。互いに端面を当接するブロック１０３は、係合凹部１１９に側方からジョイントブロック１１８を係合され、金属製のピン１２２をブロック１０３の上方から挿通孔１１９と貫通孔１２１に挿し通し、ブロック１０３とジョイントブロック１１８とを位置決め固定する。これにより、隣合うブロック１０３が位置決め固定され、パッキン１１６を安定して狭持する。なお、継手ブロック１１５とブロック１０３も同様の構造で連結される（例えば、特許文献１参照）。

特開２００４−３１６６６７号公報

しかしながら、従来のマニホールド構造体１０２及びバルブユニット１０１は、主流路１０６の位置あわせが難しく、安定したシール性能を得にくかった。マニホールド構造体１０２は、主流路１０６がブロック１０３の平らな側面に開口し、隣り合うブロック１０３の平らな側面を当接させて主流路１０６を連通させるため、ブロック１０３の連結時に主流路１０６の開口位置を確認しにくく、主流路１０６の開口位置を精度良く位置あわせすることが難しかった。これに加え、従来のマニホールド構造体１０２は、主流路１０６を水平方向に当接させて位置あわせするのに対して、ピン１２２をブロック１０３の挿通孔１２０とジョイントブロック１１８の貫通孔１２１に垂直方向に挿通してブロック１０３同士をジョイントブロック１１８を介して位置決め固定するため、接続方向と位置決め固定の方向との間に９０度の位相差が生じ、組立時に主流路１０６の接続部がずれることがあった。主流路１０６の位置が少しずれると、環状溝１０９に収納したパッキン１１６を押し潰す力が円周方向に均一にならず、シール力が小さい部分から流体漏れを生じる恐れがあった。

本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、連結するブロックの内部流路を精度良く位置合わせし、安定したシール性能を発揮できるマニホールド構造体及びそれを用いたバルブユニットを提供することを目的とする。

本発明に係るマニホールド構造体は、上記目的を達成するために以下の構成を有する。
（１）内部流路が形成されたブロックを複数備え、内部流路を連通させるようにブロックを連結するマニホールド構造体において、内部流路が開口する側面に、該内部流路の開口部と同軸上に第１フランジ部が設けられた第１ブロックと、内部流路が開口する側面に、該内部流路の開口部と同軸上に第１フランジ部と同一形状の第２フランジ部が設けられた第２ブロックと、第１フランジ部と第２フランジ部との間に介在するシール部材と、シール部材を挟んで第１フランジ部と第２フランジ部を突き合わせた接続部を連結する接続部材とを有することを特徴とする。

（２）（１）に記載の発明において、接続部材は、第１フランジ部と第２フランジ部の接続部に対して、一方向から装着される第１固定ブロックと、第１フランジ部と第２フランジ部の接続部に対して、第１固定ブロックと反対方向から装着される第２固定ブロックと、第２固定ブロックに取り付けられたナットと、第１ブロックと第２ブロックに挿通され、ナットに締結されるボルトとを有し、第１ブロックと第２ブロックとの間に第１フランジ部と第２フランジ部の接続部に係合する係合溝が形成されていることを特徴とする。

（３）（１）又は（２）に記載の発明において、第１ブロック及び第２ブロックは、取付板に接触する接触面が正方形状をなす樹脂製のブロック体であり、第１ブロックの内部流路が開口する開口位置と、第２ブロックの内部流路が開口する開口位置とが同一の高さに設定され、第１フランジ部と第２フランジ部が同一の高さに配設されていることを特徴とする。

（４）（１）乃至（３）の何れか１つに記載の発明において、第１フランジ部又は第２フランジ部と同一形状を有する第３フランジ部を備える継手ブロックを有し、継手ブロックの第３フランジ部を第１ブロックの第１フランジ部又は第２ブロックの第２フランジ部に突き合わせた接続部の周りに、接続部材を着脱自在に装着されるものであることを特徴とする。

（５）（１）乃至（４）の何れか１つに記載の発明において、第１フランジ部の端面に第１シール溝を形成し、第１シール溝に第１凸凹条を設け、第２フランジ部の端面に第２シール溝を形成し、第２シール溝に第２凸凹条を設け、シール部材が、樹脂をリング状に成形したものであり、第１凸凹条に嵌合する第１凹凸条と、第２凸凹条に嵌合する第２凹凸条を有し、第１凸凹条又は第１凹凸条の少なくとも一方が、肉厚方向に設けられた圧入代を有するとともに、第２凸凹条と第２凹凸条の少なくとも一方が、肉厚方向に設けられた圧入代を有することを特徴とする。

（６）（１）乃至（５）の何れか１つに記載の発明において、第１ブロックと接続部材との間、及び、第２ブロックと接続部材との間に、回転止め機構をそれぞれ設けたことを特徴とする。

本発明に係るバルブユニットは、上記目的を達成するために、（１）乃至（６）の何れか１つに記載するマニホールド構造体を有することを特徴とする。

本発明のマニホールド構造体は、同一形状を有する第１フランジ部と第２フランジをシール部材を介して突き合わせたときに、第１ブロックに形成した内部流路の開口部と第２ブロックに形成した内部流路の開口部とが精度良く位置合わせされ、その第１フランジ部と第２フランジ部の接続部を接続部材で連結するので、第１ブロックと第２ブロックがシール部分に近い位置を接続部材で連結され、接続部の周りを均一な力でシールされる。よって、本発明のマニホールド構造体は、連結するブロックの内部流路を精度良く位置合わせし、安定したシール性能を発揮することができる。

また、本発明のマニホールド構造体は、接続部材が第１固定ブロックと、第２固定ブロックと、ナットと、ボルトを有し、第１フランジ部と第２フランジ部との接続部の周りを第１固定ブロックと第２固定ブロックで挟み込み、第１固定ブロックから第２ブロックに挿通したボルトを第２固定ブロックに取り付けたナットに締結したときに、第１固定ブロックと第２固定ブロックとの間に形成された係合溝が第１フランジ部と第２フランジ部の接続部に係合し、第１フランジ部と第２フランジ部の接続部の周りを固定するので、第１ブロックと第２ブロックを簡単に位置決めして連結できる。

また、本発明のマニホールド構造体は、第１ブロックと第２ブロックの下面が同一の正方形状をなし、第１フランジ部と第２フランジ部が同一の高さで設けられるため、第１ブロックと第２ブロックを９０度ずつ回転させて第１フランジ部と第２フランジ部の配置を変え、ブロック接続部分に接続部材を装着するだけで、簡単に流路構成を変更できる。

また、本発明のマニホールド構造体は、第１フランジ部又は第２フランジ部と同一形状を有する第３フランジ部を備える継手ブロックを有し、継手ブロックの第３フランジ部を第１フランジ部又は第２フランジ部に突き合わせた接続部の周りに接続部材を装着することにより、継手ブロックを第１ブロック又は第２ブロックに連結するので、第１フランジ部と第２フランジ部を他のブロックとの接続部分及び継手ブロックとの接続部分に共用し、ブロックを連結して形成する流路の構成に幅を持たせることができる。

また、本発明のマニホールド構造体は、第１ブロックの第１凸凹条と第２ブロックの第２凸凹条を、シール部材の第１凹凸条と第２凹凸条にそれぞれ嵌合させ、第１凸凹条と第１凹凸条の少なくとも一方に肉厚方向に設けた圧入代を押し潰してシール力を生じさせるとともに、第２凸凹条と第２凹凸条の少なくとも一方に肉厚方向に設けた圧入代を押し潰してシール力を生じさせるので、第１フランジ部と第２フランジ部の接続部が流路径方向にシールされ、例え、第１ブロックと第２ブロックが樹脂で形成され、薬液の温度によって伸び縮みしたり、経時的変形を生じる場合でも、その変形がシール力に与える影響を小さくして、安定したシール性能を確保できる。

また、本発明のマニホールド構造体は、第１ブロックと接続部材との間、及び、第２ブロックと接続部材との間に回転止め機構を設けたので、第１フランジ部と第２フランジ部の接続部分にねじれ方向の力が作用せず、安定したシール性能を確保できる。

また、本発明のバルブユニットは、上記作用効果を奏するマニホールド構造体を有するため、マニホールド構造体と同様の作用効果を奏する。

次に、本発明に係るマニホールド構造体及びそれを用いたバルブユニットの一実施の形態について図面を参照して説明する。

図１は、本発明の実施形態に係るバルブユニット１の外観斜視図である。
図１に示すバルブユニット１は、半導体製造装置に組み付けられ、薬液の分流又は合流を制御する。バルブユニット１は、ブロック（第１ブロック）３Ａとブロック（第２ブロック）３Ｂを水平方向に連結するとともに、ブロック３Ａ，３Ｂの側面に継手ブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃをそれぞれ取り付けることによりマニホールド構造体２を構成し、各ブロック３Ａ，３Ｂに１個の薬液弁５Ａ，５Ｂを搭載する。本実施形態のバルブユニット１は、ブロック３Ａと継手ブロック４Ａ、ブロック３Ｂと継手ブロック４Ｂ、ブロック３Ｂと継手ブロック４Ｃ、及び、ブロック３Ａ，３Ｂ同士を接続部材６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄを介して接続する点に特徴を有する。

図２は、図１に示すバルブユニット１の平面図である。
ブロック３Ａに取り付けられた薬液弁５Ａは、エアオペレートタイプの２ポート弁である。また、ブロック３Ｂに取り付けられた薬液弁５Ｂは、エアオペレートタイプの３ポート弁である。バルブユニット１は、ブロック３Ａの継手ブロック４Ａに入力した薬液の供給と遮断を薬液弁５Ａで制御し、薬液弁５Ｂによって薬液を継手ブロック４Ｃのみから出力する流路と、継手ブロック４Ｂと継手ブロック４Ｃから分流して出力する流路とを切り替えるように流路構成されている。

図３は、図２に示すバルブユニット１のＡ−Ａ断面図である。
バルブユニット１は、取付板７Ａ，７Ｂにブロック３Ａ，３Ｂ、薬液弁５Ａ，５Ｂを積層し、４本の図示しない金属製ボルトを薬液弁５Ａ，５Ｂからブロック３Ａ，３Ｂを貫いて取付板７Ａ，７Ｂに締結し、取付板７Ａ，７Ｂ、ブロック３Ａ，３Ｂ、薬液弁５Ａ，５Ｂをそれぞれ一体的に組み上げる。なお、薬液弁５Ａ，５Ｂは、図示しないボルトが腐食性雰囲気にさらされないように、図示しないボルトを挿通するボルト孔にキャップ８Ａ，８Ｂをそれぞれ取り付ける。ブロック３Ａ，３Ｂは、主流路２４Ａ，２４Ｂが連通するように、接続部材６Ｄによって連結される。

薬液弁５Ａ，５Ｂは、同様の構成をなすので、薬液弁５Ａの構成についてのみ説明し、薬液弁５Ｂの説明は割愛する。
図３に示すように、薬液弁５Ａは、ブロック３Ａに連結するシリンダ１１Ａとカバー１２Ａにより外観を構成され、シリンダ１１Ａとブロック３Ａとの間でダイアフラム弁体１３Ａの外縁部を狭持する。シリンダ１１Ａとカバー１２Ａの間には、ピストン室１４Ａが形成される。ピストン室１４Ａには、ピストン１５Ａが上下方向へ摺動自在に装填され、ピストン１５Ａの下端部がシリンダ１１Ａを貫いてブロック３Ａ側へ突き出し、ダイアフラム弁体１３Ａに連結される。ピストン１５Ａは、ピストン室１４Ａを上室１６Ａと下室１７Ａに気密に区画し、上室１６Ａがシリンダ１１Ａに開設された第１パイロットポート１８Ａ（図１参照）に連通する一方、下室１７Ａがシリンダ１１Ａに開設された第２パイロットポート１９Ａ（図１参照）に連通する。従って、薬液弁５Ａは、上室１６Ａと下室１７Ａの圧力バランスを調整することによりピストン１５Ａを図中上下方向へ移動させ、ダイアフラム弁体１３Ａの保持位置を調整できる。
なお、薬液弁５Ａを構成する部品は、耐腐食性に優れる樹脂又は金属で構成される。

図４は、図３に示すバルブユニット１のＢ−Ｂ断面図である。
ブロック３Ａは、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）やＰＦＡ（四フッ化エチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）などの樹脂を直方体のブロック状に成形（樹脂成形又は切削加工等）したものである。ブロック３Ａは、図中上面と下面が正方形状に形成され、４個の外側側面が上面と下面に垂直に接続する。ブロック３Ａは、ダイアフラム弁体１３Ａに気密に区画されて弁室を形成する開口部２１Ａが上面から円柱状に穿設され、開口部２１Ａの周りにダイアフラム弁体１３Ａの外縁部を位置決め保持する保持溝２２Ａが形成されている。ブロック３Ａは、開口部２１Ａより小径の弁孔２３Ａが開口部２１Ａと同軸上に形成され、開口部２１Ａの下方に水平に穿設された主流路２４Ａに垂直に接続して連通する。弁孔２３Ａが開口部２１Ａの底面に開口する開口部分には、ダイアフラム弁体１３Ａが当接又は離間する弁座２５Ａが設けられる。また、ブロック３Ａは、弁座２５Ａの外側に接続孔２６Ａが円弧状に形成され、連通路２７Ａが主流路２４Ａと同じ高さでブロック３Ａの側面から水平方向に穿設され、接続孔２６Ａに連通する。

ブロック３Ａは、図３に示すように、フランジ部（第１フランジ部）２８Ａが主流路２４Ａの開口部に同軸上に設けられ、図４に示すように、フランジ部２９Ａが連通路２７Ａの開口部に同軸上に設けられており、フランジ部２８Ａ，２９Ａが同一の高さに配設される。フランジ部２８Ａ，２９Ａは、同様の構成であり、ブロック３Ａの側面から円筒状に突設され、開口端部が肉厚にされている。フランジ部２８Ａ，２９Ａの開口端面には、後述するＨ形リング６１Ａ，６１Ｄを収納するシール溝３０Ａ，３１Ａが形成される。シール構造については、後述する。

図５は、図３に示すバルブユニット１のＣ−Ｃ断面図である。
ブロック３Ｂは、ブロック３Ａと同様、ＰＴＦＥやＰＦＡなどの樹脂を直方体のブロック状に成形したものである。ブロック３Ｂは、基本的にブロック３Ａと同様の構成であるが、副流路３２Ｂとフランジ部３３Ｂを備える点でブロック３Ａと相違する。ここでは、ブロック３Ｂがブロック３Ａと相違する点について説明し、ブロック３Ａと共通する点については説明を割愛する。
ブロック３Ｂは、図５に示すように、連通路２７Ｂが開口する側面と対向する側面から、副流路３２Ｂが主流路２４Ｂと同じ高さで水平方向に穿設され、弁孔２３Ｂと主流路２４Ｂに連通する。ブロック３Ｂは、フランジ部３３Ｂが副流路３２Ｂの開口部に同軸上に設けられ、フランジ部（第２フランジ部）２８Ｂ，２９Ｂ，３３Ｂが同一の高さで配設される。フランジ部３３Ｂは、フランジ部２８Ｂ，２９Ｂと同様の構成を有し、ブロック３Ｂの側面から円筒状に突設され、開口端部が肉厚にされている。フランジ部３３Ｂの開口端面にも、Ｈ形リング６１Ｃを収納するシール溝３４Ｂが形成される。

図４及び図５に示すように、継手ブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃは、ＰＴＦＥやＰＦＡなどの樹脂を成形したものであり、同様の構成を有する。ここでは継手ブロック４Ａの構成について説明し、継手ブロック４Ｂ，４Ｃの構成については説明を割愛する。
図４に示すように、継手ブロック４Ａは、ブロック３Ａに接続される本体３６Ａに継手部３７Ａを一体的に設けたものである。本体３６Ａは、継手ブロック３７Ａを突設される端面と反対側の端面に、フランジ部３８Ａを備える。フランジ部３８Ａは、フランジ部２８Ａと同様の構成を有し、本体３６Ａの端面から円筒状に突設され、、開口端部が肉厚にされている。フランジ部３８Ａの開口端面には、Ｈ形リング６１を収納するシール溝３９Ａが形成される。なお、継手部３７Ａの外周面には、図示しないソケットを螺合するための雄ネジ４０Ａが形成されている。

このようなブロック３Ａと継手ブロック４Ａ、ブロック３Ｂと継手ブロック４Ｂ、ブロック３Ｂと継手ブロック４Ｃ、ブロック３Ａとブロック３Ｂは、それぞれ接続部材６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄを用いて連結される。接続部材６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄを用いた連結構造は、同様であるので、ここでは、接続部材６Ｄを用いてブロック３Ａ，３Ｂを連結する連結構造について説明し、他の連結構造の説明は割愛する。

図６は、図３に示すバルブユニット１のＤ−Ｄ断面図である。なお、図６の断面図は、本来ならば薬液弁５Ａの側面が見えるが、図６では薬液弁５Ａの側面図を省略し、ブロック接続部のみを記載している。
接続部材６Ｄは、固定ブロック４１Ｄ，４２Ｄ、ボルト４３Ｄ，４３Ｄ、ナット４８Ｄ，４８Ｄ、キャップ４９Ｄ，５０Ｄなどから構成され、ブロック３Ａ，３Ｂのフランジ部２８Ａ，２８Ｂを挟み込んで連結する。

図７は、図１に示すバルブユニットが使用するマニホールド構造体の分解斜視図である。
固定ブロック４１Ｄ，４２Ｄは、耐熱、耐薬品性、耐クリープ性に優れた樹脂（例えば、ＰＦＡ、ＰＶＤＦ（二弗化ビニリデン）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）など）を直方体のブロック状に成形（樹脂成形又は切削加工等）したものである。固定ブロック４１Ｄ，４２Ｄは、互いに当接する端面に、切欠部５６Ｄ，５７Ｄが、ブロック３Ａ，３Ｂのフランジ部２８Ａ，フランジ部２８Ｂの外径半径と同一半径を備える半円状に切り欠いて設けられる。固定ブロック４１Ｄ，４２Ｄは、切欠部５６Ｄ，５７Ｄの内周面中央に凹溝４４Ｄ，４５Ｄが断面コの字形に形成され、フランジ部２８Ａ，２８Ｂの肉厚部を突き合わせた状態で凹溝４４Ｄ，４５Ｄの間に収納するようにされている（図３参照）。すなわち、凹溝４４Ｄ，４５Ｄにより、フランジ部２８Ａ，２８Ｂの接続部に係合する「係合溝」が形成される（図３、図７参照）。図７に示すように、固定ブロック４１Ｄ，４２Ｄは、凹溝４４Ｄ，４５Ｄの両側にボルト４３Ｄを挿通するボルト孔４６Ｄ，４６Ｄ，４７Ｄ，４７Ｄがそれぞれ形成される。固定ブロック４２Ｄは、ボルト孔４７Ｄ，４７Ｄに金属製のナット４８Ｄ，４８Ｄがインサート成形によって取り付けられ、固定ブロック４１Ｄ側から挿通されたボルト４３Ｄをナット４８Ｄに締結することにより固定ブロック４１Ｄ，４２Ｄを一体化する。ボルト孔４６Ｄ，４６Ｄ，４７Ｄ，４７Ｄの開口部は、ボルト４３Ｄやナット４８Ｄを腐食性雰囲気から遮断するため、樹脂製のキャップ４９Ｄ，４９Ｄ，５０Ｄ，５０Ｄによってそれぞれ塞がれる（図６参照）。

また、固定ブロック４１Ｄ，４２Ｄは、ブロック３Ａ，３Ｂに当接する端面であって、切欠部５６Ｄ，５７Ｄの両側に、一対の凸部５２Ｄ，５２Ｄ，５２Ｄ，５２Ｄ，５３Ｄ，５３Ｄ，５３Ｄ，５３Ｄが図中上下方向に長くそれぞれ突設される。ブロック３Ａは、固定ブロック４１Ｄ，４２Ｄの凸部５２Ｄ，５３Ｄに対応する位置に、凹部５４Ａ，５４Ａが図中上下方向に長く形成される。ブロック３Ｂは、固定ブロック４１Ｄ，４２Ｄの凸部５２Ｄ，５３Ｄに対応する位置に、凹部５４Ｂ，５４Ｂが図中上下方向に長く形成される。固定ブロック４１Ｄ，４２Ｄは、凸部５２Ｄ，５２Ｄ，５３Ｄ，５３Ｄをブロック３Ａ，３Ｂの凹部５４Ａ，５４Ａ，５４Ｂ，５４Ｂに係合させ、ブロック３Ａ，３Ｂに対する回転を制限される。なお、本実施形態では、凸部５２Ｄ，５３Ｄと凹部５４Ａ、凸部５２Ｄ，５３Ｄと凹部５４Ｂのよってそれぞれ「回転止め機構」が構成される。

なお、ブロック３Ａ，３Ｂは、フランジ部２８Ａ，２８Ｂ，２９Ａ，２９Ｂ，３３Ｂを備えない外側側面にも、凹部５４Ａ，５４Ｂが設けられる。

次に、マニホールド構造体２の接続部シール構造について説明する。ブロック３Ａと継手ブロック４Ａ、ブロック３Ｂと継手ブロック４Ｂ、ブロック３Ｂと継手ブロック４Ｃ、ブロック３Ａとブロック３Ｂの接続部シール構造は、同様であるので、ここではブロック３Ａとブロック３Ｂの接続部シール構造について説明し、その他の接続部シール構造については説明を省略する。

図８は、図７に示すマニホールド構造体の接続部分の構造を示す図であって、（ａ）はシール部材装着前の状態を示し、（ｂ）はシール部材装着後の状態を示す。なお、フランジ部２８Ａ，２８Ｂは、図３に示すように外周面に凹凸を有するが、図８（ａ）（ｂ）では、その凹凸を省略してフランジ部２８Ａ，２８Ｂを記載している。
Ｈ形リング６１Ｄは、ＰＴＦＥよりやや硬いＰＦＡや変性ＰＴＦＥにより形成され、その断面がＨ形をなす。Ｈ形リング６１Ｄは、肉厚なリング形状をなし、その下面において、図中矢印Ｘで示す肉厚方向（半径方向）中央に第２周溝６３Ｄが形成され、リング状の第２凹凸条をなしている。同じく、Ｈ形リング６１Ｄは、その上面において、図中矢印Ｘで示す肉厚方向（半径方向）中央に第１周溝６２Ｄが形成され、リング状の第１凹凸条をなしている。

一方、ブロック３Ａに設けたフランジ部２８Ａの端面には、第１シール溝３０Ａが環状に形成される。第１シール溝３０Ａの底部には、ブロック３Ｂ側へ延びる第１周状突起６４Ａが突設され、第１凸凹条を形成する。第１凸凹条は、Ｈ形リング６１Ｄの第１周溝６２Ｄに対応する第１周状突起６４Ａを有し、円環状に構成される。
また、ブロック３Ｂに設けたフランジ部２８Ｂの端面には、第２シール溝３０Ｂが環状に形成される。第２シール溝３０Ｂの底部には、ブロック３Ａ側へ延びる第２周状突起６４Ｂが突設され、第２凸凹条を形成する。第２凸凹条は、Ｈ形リング６１Ｄの第２周溝６３Ｄに対応する第２周状突起６４Ｂを有し、円環状に構成される。

図９は、第１周溝６２Ｄの拡大図である。
Ｈ形リング６１Ｄの第１周溝６２Ｄは、内環状壁６６Ｄと外環状壁６７Ｄにより形成され、その深さＨは、第１周状突起６４Ａの高さとほぼ同一である。第１周溝６２Ｄの内壁には、Ｈ形リング６１Ｄの肉厚方向（半径方向）に厚みを有する圧入代Ｐがそれぞれ設けられる。この圧入代Ｐは、内側段部６８Ｄの溝幅Ｗ１と外側段部６９Ｄの溝幅Ｗ２の差分により設けられる。すなわち、内側段部６８Ｄの溝幅Ｗ１は、第１周状突起６４Ａの肉厚方向の幅Ｗ３（図８（ａ）参照）より小さく設定され、外側段部６９Ｄの溝幅Ｗ２は、第１周状突起６４Ａの肉厚方向の幅Ｗ３（図８（ａ）参照）とほぼ同程度に設定されている。そのため、図８（ｂ）に示すように、第１，第２周状突起６４Ａ，６４Ｂの先端部を第１，第２周溝６２Ｄ，６３Ｄの底部に突き当てるように、Ｈ形リング６１Ｄを第１，第２シール溝３０Ａ，３０Ｂの間に装着すると、第１，第２周状突起６４Ａ，６４Ｂの両側に圧入代Ｐが設けられる。
なお、第２周溝６３Ｄは、第１周溝６２Ｄと同様の構成であるので、説明を省略する。

次に、バルブユニット１の組立方法について説明する。
まず、ブロック３Ａのフランジ部２８Ａとブロック３Ｂのフランジ部２８ＢをＨ形リング６１Ｄを介して突き合わせ、その接続部分の周りに接続部材６Ｄを装着し、ブロック３Ａとブロック３Ｂを連結する。そして、ブロック３Ａのフランジ部２９Ａに継手ブロック４Ａのフランジ部３４ＡをＨ形リング６１Ａを介して突き合わせ、その接続部分の周りに接続部材６Ａを装着し、ブロック３Ａと継手ブロック４Ａを連結する。また、ブロック３Ｂのフランジ部２９Ｂに継手ブロック４Ｃのフランジ部３４ＣをＨ形リング６１Ｂを介して突き合わせ、その接続部分の周りに接続部材６Ｂを装着してブロック３Ｂと継手ブロック４Ｂを連結するとともに、ブロック３Ｂのフランジ部３３Ｂに継手ブロック４Ｃのフランジ部３４ＣをＨ形リング６１Ｃを介して突き合わせ、その接続部分の周りに接続部材６Ｃを装着してブロック３Ｂと継手ブロック４Ｃを連結する。

このとき、例えば、突き合わされるフランジ部２８Ａ，２８Ｂが同一形状をなすため、フランジ部２８Ａ，２８Ｂの端面を重ねると、主流路２４Ａ，２４Ｂが同軸上に位置合わせされる。しかも、Ｈ形リング６１Ｄの第１，第２周溝６２Ｄ，６３Ｄにブロック３Ａ，３Ｂの第１，第２周状突起６４Ａ，６４Ｂを軽く挿入すると、Ｈ形リング６１Ｄが樹脂で一定の硬さを有するため、Ｈ形リング６１Ｄによっても主流路２４Ａ，２４Ｂが位置合わせされる。さらに、フランジ部２８Ａ，２８Ｂの端面を互いに当接させるようにブロック３Ａ，３Ｂに力を加えると、Ｈ形リング６１Ｄの圧入代Ｐにブロック３Ａの第１周状突起６４Ａとブロック３Ｂの第２周状突起６４Ｂがそれぞれ圧入されて締まり嵌めされる。この場合にも、ブロック３Ａ，３Ｂは、シール溝３０Ａ，３０ＢがＨ形リング６１Ｄにガイドされ、主流路２４Ａ，２４Ｂが位置合わせされる。このことは、ブロック３Ａ，３Ｂと継手ブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃを連結する場合でも同様である。従って、マニホールド構造体２は、組み立て時において、ブロック３Ａ，３Ｂの内部流路の開口位置同士を精度良く位置合わせした状態で、フランジ部２８Ａ，２８Ｂの間にＨ形リング６１Ｄを装着できる。

マニホールド構造体２は、フランジ部２８Ａ，２８Ｂの端面を当接させると、接続部材６Ｄの凸部５２Ｄ，５３Ｄがブロック３Ａの凹部５４Ａとブロック３Ｂの凹部５４Ｂにそれぞれ嵌合する。また、継手ブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃは、フランジ部３８Ａ，３８Ｂ，３８Ｃの両側に、凹部５８Ａ，５８Ｂ，５８Ｃがブロック３Ａ，３Ｂの凹部５４Ａ，５４Ｂと同様に形成され、接続部材４Ａ，４Ｂ，４Ｃの凸部５２Ａ，５２Ｂ，５２Ｃが継手ブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃの凹部５８Ａ，５８Ｂ，５８Ｃにそれぞれ嵌合する。

それから、ブロック３Ａの下面に取付板７Ａを設置し、ブロック３Ａの上面に薬液弁５Ａを設置し、図示しないボルトを薬液弁５Ａからブロック３Ａ、取付板７Ａへと貫き通し、取付板７Ａにインサート成形された図示しないインサートナットに図示しないボルトを締結することにより、薬液弁５Ａ、ブロック３Ａ、取付板７Ａを一体化する。これと同様にして、薬液５Ｂ、ブロック３Ｂ、取付板７Ｂを一体化する。これにより、バルブユニット１が組み立てられる。

このようにして組み立てられたバルブユニット１は、継手ブロック４Ａ，４Ｂ，４Ｃの雄ネジ４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃに図示しないソケットをねじ込み、図示しない配管を接続する。そして、例えば、継手ブロック４Ａに薬液を供給した場合、薬液弁５Ａ，５Ｂが閉弁されているときには、薬液は継手ブロック４Ｂ，４Ｃの何れからも出力されない。一方、薬液弁５Ａを開弁し、薬液弁５Ｂを閉弁した状態で継手ブロック４Ａに薬液を供給すると、薬液は、継手ブロック４Ｃのみから出力される。その後、薬液弁５Ａ，５Ｂを開弁すると、薬液は、継手ブロック４Ｃから出力されるとともに、弁座２５Ｂを通って継手ブロック４Ｂから出力される。

本実施形態は、ブロック３Ａ，３Ｂを連結して流路を構成しており、接続部材６やＨ形リング６１などが以下のような作用効果を奏する。

例えば、ブロック３Ａとブロック３Ｂは、フランジ部２８Ａ，２８Ｂが同一形状をなすため、フランジ部２８Ａ，２８Ｂの肉厚な端面をＨ形リング６１Ｄを挟んで重ねるように突き合わせると、主流路２４Ａ，２４Ｂの開口位置を確認するまでもなく、ブロック３Ａの主流路２４Ａとブロック３Ｂの主流路２４Ｂを同軸上に配置できる（図３参照）。特に、フランジ部２８Ａ，２８Ｂの端面が肉厚であるため、フランジ部２８Ａ，２８Ｂ同士の位置合わせが容易である。フランジ部２８Ａ，２８Ｂの接続部分は、接続部材６Ｄによって連結され（図３参照）、円周方向に均一な力でシールされる。よって、本発明のマニホールド構造体２は、連結するブロック３Ａ，３Ｂの主流路２４Ａ，２４Ｂを精度良く位置合わせし、安定したシール性能を発揮できる。

また、本実施形態のマニホールド構造体２は、接続部材６Ｄを構成する固定ブロック４１Ｄ，４２Ｄの切欠部５６Ｄ，５７Ｄと凹溝４４Ｄ，４５Ｄによってフランジ部２８Ａ，２８Ｂの接続部分を上下方向から隙間無く挟み込み、固定ブロック４１Ｄ，４２Ｄにボルト４３Ｄを締結したときに（図６、図７参照）、固定ブロック４１Ｄ，４２Ｄの凹溝４４Ｄ，４５Ｄによって形成される「係合溝」がフランジ部２８Ａ，２８Ｂの接続部に係合し、フランジ部２８Ａ，２８Ｂの周りを固定するので（図３参照）、ブロック３Ａ，３Ｂを簡単に位置決めして連結できる。しかも、例えば、バルブユニット１のマニホールド構造体２に７０〜８０度の薬液を断続的に供給し、ブロック３Ａ，３Ｂが伸び縮みし、クリープ変形した場合でも、ブロック３Ａのフランジ部２８Ａとブロック３Ｂのフランジ部２８Ｂを突き合わせた接続部分の周りを、ブロック３Ａ，３Ｂより硬度の大きい樹脂からなる接続部材６Ｄを用いて固定するので、フランジ部２８Ａ，２８Ｂの接続部分の変形が接続部材６Ｄによって抑えられる。

また、本実施形態のマニホールド構造体２は、例えば、ブロック３Ａのフランジ部２８Ａ，２９Ａと同一形状を有するフランジ部３８Ａを備える継手ブロック４Ａを有し、継手ブロック４Ａのフランジ部３８Ａをフランジ部２９Ａに突き合わせた接続部の周りに接続部材６Ａを装着することにより、継手ブロック４Ａをブロック３Ａに連結するので（図４参照）、フランジ部２８Ａやフランジ部２９Ａを他のブロック３Ｂとの接続部分及び継手ブロック４Ａとの接続部分に共用し、ブロック３Ａ，３Ｂを連結して形成する流路の構成に幅を持たせることができる。

また、本実施形態のマニホールド構造体２は、ブロック３Ａのフランジ部２８Ａとブロック３Ｂのフランジ部２８Ｂとの接続部が、Ｈ形リング６１Ｄの第１，第２周溝６２Ｄ，６３Ｄに設けた圧入代Ｐに第１，第２周状突起６４Ａ，６４Ｂの先端をそれぞれ圧入し、流路径方向にシールするので（図８（ｂ）参照）、ブロック３Ａ，３Ｂが薬液の温度によって伸び縮みしたり、経時的変形を生じた場合でも、その変形がシール力に与える影響を小さくして、安定したシール性能を確保できる。

また、本実施形態のマニホールド構造体２は、ブロック３Ａに形成した凹部５４Ａと、接続部材６Ｄの固定ブロック４１Ｄ，４２Ｄに突設した凸部５２Ｄ，５３Ｄを係合して、接続部材６Ｄがブロック３Ａに対して回転するのを防止するとともに、ブロック３Ｂに形成した凹部５４Ｂと、接続部材６Ｄの固定ブロック４１Ｄ，４２Ｄに突設した凸部５２Ｄ，５３Ｄを係合して、接続部材６Ｄがブロック３Ｂに対して回転するのを防止するので（図７参照）、フランジ部２８Ａ，２８Ｂの接続部分にねじれ方向の力が作用せず、安定したシール性能を確保できる。

マニホールド構造体２は、ブロック３Ａ，３Ｂの下面が正方形状であり、ブロック３Ａの主流路２４Ａの開口位置、連通路２７Ａの開口位置、ブロック３Ｂの主流路２４Ｂの開口位置、連通路２７Ｂの開口位置、副流路３２Ｂの開口位置が同じ高さで設けられるため（図３、図４、図５参照）、ブロック３Ａ，３Ｂを９０度ずつ回転させて流路開口位置を変更し、接続部を接続部材６で固定すれば、流路構成を簡単に変えることができる。

すなわち、例えば、図２に示す接続部材６Ｄを取り外してブロック３Ａとブロック３Ｂを分離するとともに、接続部材６Ｂを取り外してブロック３Ｂのフランジ部２８Ｂから継手ブロック４Ｂを取り外し、その後、ブロック３Ｂを図中右方向に９０度回転させ、ブロック３Ａのフランジ部２８ＡにブロックＢのフランジ部２９Ｂを突き合わせて接続部材６Ｄで固定し、さらに、ブロック３Ｂのフランジ部２８Ｂに継手ブロック４Ｂのフランジ部３８Ｂを突き合わせて接続部材６Ｂで固定する。これにより、バルブユニット１は、薬液弁５Ｂを閉弁した状態で薬液弁５Ａを開弁しても、継手ユニット４Ａに供給した薬液が継手ブロック４Ｂ，４Ｃの何れからも出力されず、薬液弁５Ｂを開弁したときに、継手ブロック４Ｂ，４Ｃから薬液を分流して出力することが可能な流路構成に変更される。

さらに、マニホールド構造体２は、ブロック３Ａ，３Ｂの内部流路の構成に限定されず、内部流路を種々に変更したものを適用することにより、流路構成の自由度を更に広げることができる。

例えば、図１０、図１１、図１２は、マニホールド構造体２を構成する２ポートブロックの種類を示す図である。
図１０、図１１、図１２に示すブロック３Ａ，３Ａ１，３Ａ２は、２つの外側側面にフランジ部（ポート）を備える点で共通するが、内部流路の形成の仕方が異なる。即ち、図１０に示すブロック３Ａは、上記バルブユニット１で使用したものと同様であるが、図１１に示すブロック３Ａ１は、図１０に示すブロック３Ａと連通路２７Ａを１８０度反対に設け、その連通路２７Ａの開口部の周りにフランジ部２９Ａを設ける。また、図１２に示すブロック３Ａ２は、主流路２４Ａを穿設する側面と対向する側面から連通路２７Ａを穿設し、その開口部の周りにフランジ部２９Ａを設ける。

また、例えば、図１３、図１４、図１５、図１６、図１７、図１８は、マニホールド構造体２を構成する３ポートブロックの種類を示す図である。
図１３〜図１８に示すブロック３Ｂ，３Ｂ１，３Ｂ２，３Ｂ３，３Ｂ４，３Ｂ５は、３つの外側側面にフランジ部（ポート）を備える点で共通するが、内部流路の形成の仕方が異なる。すなわち、図１３に示すブロック３Ｂは、上記バルブユニット１で使用したものと同様であるが、図１４に示すブロック３Ｂ１は、図１３に示すブロック３Ｂと連通路２７Ｂと副流路３２Ｂの形成位置及びフランジ部２９Ｂ，３３Ｂの配置が１８０度反対にされている。また、図１５に示すブロック３Ｂ２は、図１３に示すブロック３Ｂが主流路２４Ｂと副流路３２Ｂを直角に形成していたのに対して、主流路２４Ｂと副流路３２Ｂを直線状に設けている。図１６に示すブロック３Ｂ３は、接続孔２６Ｂを連通路２７Ｂと副流路３２Ｂに連通するように形成する点が図１３に示すブロック３Ｂと相違する。また、図１７に示すブロック３Ｂ４は、図１６に示すブロック３Ｂ３と、主流路２４Ｂと副流路３２Ｂを形成する位置及びフランジ部２８Ｂ，３３Ｂが図中左右逆になっている点が相違する。図１８に示すブロック３Ｂ５は、主流路２４Ｂを挟んで対称に接続孔２６Ｂ，２６Ｂを設け、各接続孔２６Ｂ，２６Ｂに連通路２７Ｂと副流路３２Ｂが連通する点が図１３に示すブロック３Ｂと相違する。

さらに、例えば、図１９、図２０、図２１、図２２は、マニホールド構造体２を構成する４ポートブロックの種類を示す図である。
図１９〜図２２に示すブロック３Ｃ，３Ｃ１，３Ｃ２，３Ｃ３は、外側側面の全てにフランジ部（ポート）を備える点で共通するが、内部流路の形成の仕方が相違する。図１９に示すブロック３Ｃは、主流路２４Ｃ、第１副流路７１Ｃ、第２副流路７２ＣがＴ字状に形成され、それぞれ弁孔２３Ｂに連通し、接続孔２６Ｂが連通路２７Ｃのみに連通する。主流孔２４Ｃ、連通路２７Ｃ、第１副流路７１Ｃ、第２副流路７２Ｃの開口部には、フランジ部２８Ｃ，２９Ｃ，７３Ｃ，７４Ｃが設けられる。図２０に示すブロック３Ｃ１は、弁孔２３Ｃを挟んで対象位置に接続孔２６Ｂ，２６Ｂを設け、連通路２７Ｂ、第１副流路７１Ｃを接続孔２６Ｃ，２６Ｃにそれぞれ連通させる点で図１９に示すブロック３Ｃと相違する。また、図２１に示すブロック３Ｃ２は、接続孔２６Ｃを約１８０度に渡って形成し、連通路２７Ｃと第２副流路７２Ｃを接続孔２６Ｃに連通させる点で図１９に示すブロック３Ｃと相違する。さらに、図２２に示すブロック３Ｃ３は、接続孔２６Ｃを約２７０度の円弧状に設け、主流路２４Ｃのみを弁孔２３Ｃに連通させ、他の連通路２７Ｃ、第１副流路７１Ｃ、第２副流路７２Ｃを接続孔２６Ｃに連通するように流路を形成する。

マニホールド構造体２は、上記図１０〜図２２に示す各ブロックを組み合わせることにより、直列回路のみならず、並列回路も構成しうる。その一例を図２３〜図２５に示す。
図２３に示すように、薬液弁５Ｂ，５Ｃを並列に接続し、薬液弁５Ｂ，５Ｃの上流に薬液弁５Ａ，５Ｄを配置する回路構成を実現する場合、図２４及び図２５に示すように、複数種類のブロックを組み合わせてマニホールド構造体２を構成する。すなわち、バルブユニット７６のマニホールド構造体２は、接続部材６Ｆを用いてブロック３Ｂ２とブロック３Ａ１を連結し、接続部材６Ｇを用いてブロック３Ａ１とブロック３Ｂ１を連結し、接続部材６Ｈを用いてブロック３Ｂ１とブロック３Ｂ２を連結する。そして、継手ブロック４Ａ，４Ｂを接続部材６Ａ，６Ｂを用いてブロック３Ｂ２に連結し、継手ブロック４Ｃを接続部材６Ｃを用いてブロック３Ｂ１に連結し、継手ブロック４Ｄ，４Ｅを接続部材６Ｄ，６Ｅを用いてブロック３Ｂ２に連結する。そして、各ブロック３Ｂ２，３Ａ１，３Ｂ１，３Ｂ２の上下面に薬液弁５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，５Ｄと取付板７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄをそれぞれ積層して図示しないボルトで一体化する。

このような流路構成を備えるバルブユニット７６は、例えば、継手ブロック４Ａに第１薬液を供給し、継手ブロック４Ｂに第２薬液を供給し、継手ブロック４Ｄに第３薬液を供給し、継手ブロック４Ｅに第４薬液を供給したときに、薬液弁５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，５Ｄの何れも閉弁していれば、継手ブロック４Ｃから薬液を出力しない。一方、薬液弁５Ａ，５Ｂ，５Ｄを閉弁し、薬液弁５Ｃを開弁すると、第４薬液が薬液弁５Ｄ、５Ｃを通過して、継手ブロック４Ｃから出力される。また、薬液弁５Ａ，５Ｂを閉弁し、薬液弁５Ｃ，５Ｄを開弁すると、第３薬液と第４薬液が合流し、その混合液が継手ブロック４Ｃから出力される。なお、バルブユニット７６は、薬液弁５Ａ，５Ｂを開弁した場合も、薬液弁５Ｃ，５Ｄとほぼ同様にして薬液を出力するため、説明を省略する。

尚、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。

（１）例えば、上記実施の形態では、例えば、Ｈ形リング６１Ｄに第１，第２周溝６２Ｄ，６３Ｄを形成して第１，第２凹凸条を形成し、ブロック３Ａのシール溝３０Ａに第１周状突起６４Ａを設けて第１凸凹条を設け、ブロック３Ｂのシール溝３０Ｂに第２周状突起６４Ｂを設けて第２凸凹条を設けたが、Ｈ形リング６１Ｄ側に第１，第２周状突起を設けて第１，第２凹凸条を形成し、ブロック３Ａ，３Ｂのシール溝３０Ａ，３０Ｂに第１，第２周溝を形成して第１，第２凸凹条を形成してもよい。

（２）例えば、上記実施の形態では、接続部材６の固定ブロック４１，４２に設けた凸部５２，５３と、ブロック３Ａ，３Ｂに形成した凹部５４Ａ，５４Ｂとの嵌め合い形状を断面四角形状にして回転止め機構を構成したが、この嵌め合い形状を図２６に示す凹凸部８１，８２のように断面Ｔ字形状にしてもよいし、図２７に示す凹凸部８３，８４のように断面三角形状にしてもよい。図２６及び図２７に示すようなＴ形状や三角形状による嵌め合いは、凹凸部８１，８２，８３，８４を係合させれば、ブロック３Ａ，３Ｂのフランジ部を備えない外側側面同士であっても接続部材６を用いて連結することが可能になり、ブロック配置に自由度を持たせることができる。さらには、ブロック３Ａ，３Ｂに孔を形成し、その孔に挿通するピンを固定ブロック４１，４２に固設して回転止め機構としてもよい。また、上記実施形態では、凸部５２Ｄ，５３Ｄと凹部５４Ａ，５４Ｂを図中上下方向（図７参照）に形成したが、図中左右方向に形成してもよい。
（３）例えば、上記実施形態では、ナット４８Ｄを固定ブロック４２Ｄにインサート成形によって取り付けたが、圧入や接着剤などで取り付けてもよい。

（４）例えば、上記実施形態では、フランジ部２８Ａ，２８Ｂの端面接続部の周りに接続部材６Ｄを装着したが、フランジ部２８Ａ，２８Ｂの端面拡径部にピンを一方から他方へ貫き通し、ピンの一端に脱落防止部材を装着してピンの抜け止めをするようにしてもよい。つまり、ピンと脱落防止部材により接続部材を構成してもよい。
（５）例えば、上記実施形態では、接続部材６を固定ブロック４１，４２に２分割したが、３分割以上にしてもよい。また、固定ブロック４１，４２を上下分割ではなく、左右分割にしてもよい。

（６）例えば、上記実施の形態では、ブロック３Ａ，３Ｂにエアオペレート式の薬液弁５Ａ，５Ｂを搭載したが、手動弁やレギュレータ、圧力計などをコンポーネント部品として搭載してもよい。
（７）例えば、上記実施形態のバルブユニット１では、継手ユニット４Ａに供給した薬液を継手ブロック４Ｂ，４Ｃから分流して出力したが、継手ブロック４Ｂ，４Ｃから第１薬液と第２薬液を供給し、第１薬液と第２薬液を合流させて継手ユニット４Ａから出力するようにしてもよい。

本発明の実施形態に係るバルブユニットの外観斜視図である。 図１に示すバルブユニットの平面図である。 図２に示すバルブユニットのＡ−Ａ断面図である。 図３に示すバルブユニットのＢ−Ｂ断面図である。 図３に示すバルブユニットのＣ−Ｃ断面図である。 図３に示すバルブユニットのＤ−Ｄ断面図である。 図１に示すバルブユニットが使用するマニホールド構造体の分解斜視図である。 図７に示すマニホールド構造体の接続部シール構造を示す図であって、（ａ）はシール部材装着前の状態を示し、（ｂ）はシール部材装着後の状態を示す。 シール部材に形成した第１周溝の拡大図である。 マニホールド構造体を構成する２ポートブロックの種類を示す図である。 マニホールド構造体を構成する２ポートブロックの種類を示す図である。 マニホールド構造体を構成する２ポートブロックの種類を示す図である。 マニホールド構造体を構成する３ポートブロックの種類を示す図である。 マニホールド構造体を構成する３ポートブロックの種類を示す図である。 マニホールド構造体を構成する３ポートブロックの種類を示す図である。 マニホールド構造体を構成する３ポートブロックの種類を示す図である。 マニホールド構造体を構成する３ポートブロックの種類を示す図である。 マニホールド構造体を構成する３ポートブロックの種類を示す図である。 マニホールド構造体を構成する４ポートブロックの種類を示す図である。 マニホールド構造体を構成する４ポートブロックの種類を示す図である。 マニホールド構造体を構成する４ポートブロックの種類を示す図である。 マニホールド構造体を構成する４ポートブロックの種類を示す図である。 バルブユニットの流路構成の別例を示す回路図である。 図２３に示す回路図を実現したバルブユニットの外観斜視図である。 図２４に示すバルブユニットの平面図である。 図７に示すマニホールド構造体の回転防止機構の別例を示す図である。 図７に示すマニホールド構造体の回転防止機構の別例を示す図である。 マニホールド構造体及びバルブユニットの従来例を示す断面図である。 図２８に示すバルブユニットの分解斜視図である。

符号の説明

１ バルブユニット
２ マニホールド構造体
３Ａ，３Ｂ ブロック
４Ａ，４Ｂ，４Ｃ 継手ブロック
６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄ 接続部材
２４Ａ，２４Ｂ 主流路
２８Ａ，２８Ｂ フランジ部
２９Ａ，２９Ｂ フランジ部
３３Ｂ フランジ部
３０Ａ，３０Ｂ シール溝
４１Ａ，４１Ｂ，４１Ｃ，４１Ｄ 固定ブロック
４２Ａ，４２Ｂ，４２Ｃ，４２Ｄ 固定ブロック
４３Ａ，４３Ｂ，４３Ｃ，４３Ｄ ボルト
４８Ａ，４８Ｂ，４８Ｃ，４８Ｄ ナット
５２Ａ，５２Ｂ，５２Ｃ，５２Ｄ 凸部（回転止め機構）
５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃ，５３Ｄ 凸部（回転止め機構）
５４Ａ，５４Ｂ 凹部（回転止め機構）
６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃ，６１Ｄ Ｈ形リング（シール部材）

Claims (7)

1. 内部流路が形成されたブロックを複数備え、前記内部流路を連通させるように前記ブロックを連結するマニホールド構造体において、
   内部流路が開口する側面に、該内部流路の開口部と同軸上に第１フランジ部が設けられた第１ブロックと、
   内部流路が開口する側面に、該内部流路の開口部と同軸上に前記第１フランジ部と同一形状の第２フランジ部が設けられた第２ブロックと、
   前記第１フランジ部と前記第２フランジ部との間に介在するシール部材と、
   前記シール部材を挟んで前記第１フランジ部と前記第２フランジ部を突き合わせた接続部を連結する接続部材とを有することを特徴とするマニホールド構造体。
2. 請求項１に記載するマニホールド構造体において、
   前記接続部材は、
   前記第１フランジ部と前記第２フランジ部の接続部に対して、一方向から装着される第１固定ブロックと、
   前記第１フランジ部と前記第２フランジ部の接続部に対して、第１固定ブロックと反対方向から装着される第２固定ブロックと、
   前記第２固定ブロックに取り付けられたナットと、
   前記第１ブロックと前記第２ブロックに挿通され、前記ナットに締結されるボルトとを有し、
   前記第１ブロックと前記第２ブロックとの間に前記第１フランジ部と前記第２フランジ部の接続部に係合する係合溝が形成されていることを特徴とするマニホールド構造体。
3. 請求項１又は請求項２に記載するマニホールド構造体において、
   前記第１ブロック及び前記第２ブロックは、取付板に接触する接触面が正方形状をなす樹脂製のブロック体であり、
   前記第１ブロックの前記内部流路が開口する開口位置と、前記第２ブロックの前記内部流路が開口する開口位置とが同一の高さに設定され、
   前記第１フランジ部と前記第２フランジ部が同一の高さに配設されていることを特徴とするマニホールド構造体。
4. 請求項１乃至請求項３の何れか１つに記載するマニホールド構造体において、
   前記第１フランジ部又は前記第２フランジ部と同一形状を有する第３フランジ部を備える継手ブロックを有し、
   前記継手ブロックの第３フランジ部を前記第１ブロックの第１フランジ部又は前記第２ブロックの第２フランジ部に突き合わせた接続部の周りに、前記接続部材を着脱自在に装着されるものであることを特徴とするマニホールド構造体。
5. 請求項１乃至請求項４の何れか１つに記載するマニホールド構造体において、
   前記第１フランジ部の端面に第１シール溝を形成し、前記第１シール溝に第１凸凹条を設け、
   前記第２フランジ部の端面に第２シール溝を形成し、前記第２シール溝に第２凸凹条を設け、
   前記シール部材が、樹脂をリング状に成形したものであり、前記第１凸凹条に嵌合する第１凹凸条と、前記第２凸凹条に嵌合する第２凹凸条を有し、
   前記第１凸凹条又は前記第１凹凸条の少なくとも一方が、肉厚方向に設けられた圧入代を有するとともに、前記第２凸凹条と前記第２凹凸条の少なくとも一方が、肉厚方向に設けられた圧入代を有することを特徴とするマニホールド構造体。
6. 請求項１乃至請求項５の何れか１つに記載するマニホールド構造体において、
   前記第１ブロックと前記接続部材との間、及び、前記第２ブロックと前記接続部材との間に、回転止め機構をそれぞれ設けたことを特徴とするマニホールド構造体。
7. 請求項１乃至請求項６の何れか１つに記載するマニホールド構造体を有することを特徴とするバルブユニット。

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