JP2009150529A - 手動弁 - Google Patents

Abstract

【課題】 ロッドを介した弁体を移動させる手動弁において、安価でかつコンパクトな構造で、ノブを所定値より大きいトルクで回転しても弁座を損傷させない構造を有する手動弁を提供する。
【解決手段】 手動弁１は、弁体６３と連結するロッド５０と、弁体６３の開閉方向ＶＬにロッド５０をねじ送りさせるつまみ１０と、を備え、つまみ１０の回転により、ロッド５０を介して弁体６３を移動させる手動弁１であって、ロッド５０は、その外周に雄ねじ部５２を有すると共に、つまみ１０とは連結せず、かつ、回転止めされており、円筒状であって、ボディ８０に回転可能に保持され、内周にロッド５０の雄ねじ部５２とねじ結合する雌ねじ部２２が形成されたスライドナット２０と、つまみ１０に固定され、スライドナット２０と弾性変形して係合し、所定値より大きいトルクがかかったときに、係合が解除されるクリップ３０と、を有している。
【選択図】 図１

Description

本発明は、ノブを手動で回転操作して流体を制御する手動弁に関するもので、例えば、半導体製造装置で使用される薬液等を制御する手動弁に関する。

従来、手動弁は例えば、半導体製造装置において、薬液供給ユニットに供給する薬液の流量を制御する薬液弁や、薬液をサンプリングするときの薬液採取バルブ等として用いられている。このような手動弁の中には、ノブの回転により、ロッドを介して弁体が移動するものがある（特許文献１及び２参照）。

この特許文献１に開示された手動弁について、図１４を用いて説明する。
手動弁３０１Ａは、弁本体３０３、ダイアフラム押さえ３０４、シリンダ３０５、ダイアフラム弁体３０９、弁軸１０及びつまみ３１２Ａ（ノブ）等から構成されている。ダイアフラム弁体３０９（弁体）は、その周縁部を弁本体３０３とダイアフラム押さえ３０４との間に挟持し、中央部で弁軸３１０（ロッド）と螺設されている。この弁軸３１０は、スプリング３１１により常に上向きに付勢されており、つまみ３１２Ａは、弁軸３１０の上端部と当接した状態で、シリンダ３０５と螺合接続されている。
この特許文献１の手動弁３０１Ａでは、つまみ３１２の回転操作により、つまみ３１２が、弁軸３１０と当接した状態でねじ送りにされると、弁軸３１０は、スプリング３１１の付勢力に抗して、開閉方向に移動し、弁開度が調整できるようになっている。

一方、特許文献２に開示された手動弁について、図１５を用いて説明する。
手動弁１は、ハンドル４１１（ノブ）、スライドナット４１３、ピストン４２３、スプリング４２６、弁体４３３及び弁座４３４等から構成されている。
スライドナット４１３は、そのネジ部４１３ａとピストン４２３のネジ部４２３ａとが螺合して連結して連結できるようになっており、ハンドル４１１と一体に回転するようになっている。弁体４３３は、その周縁部４３３ａを弁本体４３１と下部ピストンシリンダ４２２との間に挟持し、中央部でピストン４２３と一体となっている。ピストン４２３は、金属からなるスプリング４２６により常に下向きに付勢されている。
この特許文献２の手動弁１では、ハンドル４１１を閉弁方向に回転させると、ピストン４２３が、弁体４３３をスライドナット４１３とのねじ送りで下方に移動させ、この弁体４３３は、スプリング４２６の付勢力によって弁座４３４に当接させるようになっている。弁体４３３が弁座４３４に当接して閉弁状態になると、スライドナット４１３のネジ部４１３ａとピストン４２３のネジ部４２３ａとの螺合が解除され、ハンドル４１１が空回りするようになっている。

特開２００４−３２４６６１号公報 特開２００５−３４４９１８号公報

しかしながら、特許文献１に開示された手動弁のように、ロッドが、ノブの回転によりノブと当接した状態でねじ送りにされて、弁体を移動させる手動弁では、ノブを回転させて閉弁操作を行うとき、弁体が弁座に当接した後も、過大なトルクをかけてノブを回転させてしまうことがある。そして、ピストンと一体に連結した弁体が過度に弁座を押圧して、弁座に変形、破損等の損傷が生じる虞があった。

一方、特許文献２の手動弁では、スプリングの付勢力により弁体を弁座に当接させて閉弁する構造になっているので、構造が複雑となり、構成部品の数も多くなってコストアップにもなっていた。また、スプリングを設ける分、手動弁の大きさが大きくなり、手動弁のコンパクト化が困難であった。さらに、金属のスプリングにより弁体を弁座に当接させて閉弁するようになっているため、こぼれた薬液がノブ周囲から手動弁内に侵入して、スプリングに付着することも考えられる。すると、薬液による変質、侵食及び錆び等がスプリングに発生し、手動弁の閉弁が適切にできなくなる虞もある。

本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、ロッドを介した弁体を移動させる手動弁において、安価でかつコンパクトな構造で、ノブを所定値より大きいトルクで回転しても弁座を損傷させない構造を有する手動弁を提供することを目的とする。

その解決手段である本発明の手動弁は、次のような構成を有している。
（１）流入ポートと流出ポートとを繋ぐ流体の流路に有する弁座と、この弁座に当接または離間して流体を制御する弁体と、この弁体と連結するロッドと、弁体の開閉方向にロッドをねじ送りさせるノブと、を備え、ノブの回転により、ロッドを介して弁体を移動させる手動弁において、前記ロッドは、その外周に雄ねじ部を有すると共に、前記ノブとは連結せず、かつ、回転止めされており、筒状であって、ボディに回転可能に保持され、内周に前記ロッドの雄ねじ部とねじ結合する雌ねじ部が形成されたロッド送出部材と、前記ノブに固定され、前記ロッド送出部材と弾性変形して係合し、所定値より大きいトルクがかかったときに、係合が解除される係合部材と、を有する、ことを特徴とする。

（２）（１）に記載の手動弁において、前記ロッド送出部材は、複数の凹部あるいは凸部が所定ピッチの間隔で断続的に配置されて環状に繋がってなる、または、複数の面が環状に繋がってなる係合周囲部を有し、前記係合部材は、前記ロッド送出部材の係合周囲部と係合する、ことを特徴とする。
（３）（２）に記載の手動弁において、前記係合部材は、前記ノブとは別体であり、前記ノブに係止して、前記ロッド送出部材の係合周囲部の一部を弾性的に挟持する、ことを特徴とする。

（４）（２）に記載の手動弁において、前記係合部材は、前記ノブと一体で前記開閉方向に延びる爪であり、前記ノブの径方向から前記ロッド送出部材の係合周囲部の一部を弾性的に挟持する、ことを特徴とする。
（５）（３）または（４）に記載の手動弁において、前記係合部材及び前記ロッド送出部材の少なくともいずれかは、樹脂からなる、ことを特徴とする。

（６）（１）〜（５）に記載の手動弁のいずれか1つにおいて、前記ノブは、その中央
部に貫通孔を有し、前記ロッドは、その端部に当該ロッドの位置が識別可能なインジケータを有すると共に、前記ロッド送出部材内に挿通されており、前記インジケータは、前記ロッドの移動に伴って、前記ノブの貫通孔内を出入りする、ことを特徴とする。
（７）（１）〜（６）に記載する手動弁のいずれか１つにおいて、前記ロッド送出部材と係合が解除されるように、前記係合部材が弾性変形するのを制限する制限手段を有することを特徴とする。
（８）（７）に記載する手動弁において、
前記制限手段は、前記ノブと一体的に形成されていることを特徴とする手動弁。

（９）（７）または（８）に記載する手動弁において、前記制限手段の備える弾性変形力により、前記トルクの所定値を設定することを特徴とする。
（１０）（１）に記載する手動弁において、前記ロッド送出部材と前記ボディとの間に挟持された摺動シートを有することを特徴とする。ここで、摺動シートとしては、ロッド送出部材が閉方向に移動するときに、ボディと当接する間に挟持された第１摺動シートと、ロッド送出部材が開方向に移動するときに、ボディと当接する間に挟持された第２摺動シートを有している。
（１１）（１０）に記載する手動弁において、前記摺動シートが、ＰＴＦＥシートであることを特徴とする。

（１２）（１）に記載する手動弁において、前記ロッド送出部材と前記ボディの当接面の、少なくとも一方が表面処理されていることを特徴とする。
（１３）（１２）に記載する手動弁において、前記表面処理が、フッ素コーティングであることを特徴とする。
（１４）（１）に記載する手動弁において、前記ロッド送出部材と前記ボディが、摩擦係数の異なる材質で形成されていることを特徴とする。
（１５）（１４）に記載する手動弁において、前記ロッド送出部材の材質がＰＦＡであり、前記ボディの材質がＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン(二弗化ビニリデン)）であることを特徴とする。

（１）本発明は、流入ポートと流出ポートとを繋ぐ流体の流路に有する弁座と、この弁座に当接または離間して流体を制御する弁体と、この弁体と連結するロッドと、弁体の開閉方向にロッドをねじ送りさせるノブと、を備え、ノブの回転により、ロッドを介して弁体を移動させる手動弁において、前記ロッドは、その外周に雄ねじ部を有すると共に、前記ノブとは連結せず、かつ、回転止めされており、筒状であって、ボディに回転可能に保持され、内周に前記ロッドの雄ねじ部とねじ結合する雌ねじ部が形成されたロッド送出部材と、前記ノブに固定され、前記ロッド送出部材と弾性変形して係合し、所定値より大きいトルクがかかったときに、係合が解除される係合部材と、を有しているので、ノブを所定値より大きいトルクで回転させたとき、係合部材がロッド送出部材との係合を解除して、ロッド送出部材はノブと共に回転できなくなる。その一方、ロッドは、ノブとは連結せず、かつ、回転止めされている。このため、ロッド送出部材が回転されないと、ロッドの雄ねじ部とロッド送出部材の雌ねじ部とのねじ結合によるねじ送りにより、ロッドを、ロッド送出部材と相対的に開閉方向に移動させることができない。
したがって、ノブを所定値より大きいトルクで回転させた場合でも、ロッドを介して弁体は移動されず、弁体が弁座を過度に押圧することはなく、弁体の押圧による弁座の損傷が防止できる。

（２）本発明は、ロッド送出部材は、複数の凹部あるいは凸部が所定ピッチの間隔で断続的に配置されて環状に繋がってなる、または、複数の面が環状に繋がってなる係合周囲部を有し、係合部材は、ロッド送出部材の係合周囲部と係合するようになっているので、所定値より大きいトルクでノブを回転したときに、ロッド送出部材の係合周囲部と係合部材との係合が容易に解除できる。
（３）本発明は、係合部材は、ノブとは別体であり、ノブに係止して、ロッド送出部材の係合周囲部の一部を弾性的に挟持するようになっているので、ノブの回転をロッド送出部材に伝達することや、その伝達の解除を、係合部材を用いるだけで簡単にできるようになり、しかも、本発明の手動弁を、スプリングを用いた従来の手動弁に比して、コンパクトかつ安価に構成することができる。

（４）本発明は、係合部材は、ノブと一体で開閉方向に延びる爪であり、ノブの径方向からロッド送出部材の係合周囲部の一部を弾性的に挟持するようになっているので、ノブを所定値より大きいトルクをかけて回転させたときに、係合部材によりロッド送出部材の係合周囲部の一部が弾性的に挟持された状態が自動的に解除され、ノブの回転をロッド送出部材に伝達しないようにすることが簡単にできる。
（５） 本発明は、例えば、半導体製造装置で使用される薬液等を制御する手動弁として用いらえることも考えられる。
（６）本発明の手動弁では、係合部材及びロッド送出部材の少なくともいずれかは樹脂からなるので、こぼれた薬液等が手動弁に付着したり、酸性やアルカリ性の雰囲気に晒されても、薬液による変質、侵食及び錆び等の不具合が係合部材及びロッド送出部材の少なくともいずれかに発生することを防止することができる。したがって、このような不具合に起因した（ａ）ノブの回転をロッド送出部材に伝達すること、（ｂ）係合部材でその伝達の解除すること、に対する動作上の支障の発生が抑制されるので、手動弁の閉弁が適切にできなくなることを防止することができる。

（７）本発明は、ノブは、その中央部に貫通孔を有し、ロッドは、その端部に当該ロッドの位置が識別可能なインジケータを有すると共に、ロッド送出部材内に挿通されており、インジケータは、ロッドの移動に伴って、ノブの貫通孔内を出入りするようになっているので、当該手動弁の設置向きにかかわらず、開弁状態あるいは閉弁状態にあるのかを一目で判断でき、目視により容易に開弁度を識別することができる。
（８）本発明は、制限手段が、ノブと一体的に形成されているので、部品点数を減らしてコストダウンすることができる。

（９）本発明の手動弁では、前記ロッド送出部材と係合が解除されるように、前記係合部材が弾性変形するのを制限する制限手段を有するので、制限部材の制限力、すなわち、制限部材の弾性変形力を所定値に設計することにより、係合部材がロッド送出部材と係合を解除する所定トルクを所定値に正確に保持することができる。
係合部材の弾性変形のみに頼って、トルクを所定値に維持しようとしても、係合部材のへたり等により、弾性力が変化すると、トルクを所定値に維持できなくなる恐れがある。それに対して、係合部材にへたりが生じても、制限部材が係合部材の弾性変形に所定の制限を加えるため、トルクを所定値に維持することができる。
更に、係合部材をノブと一体的に形成しているので、部品点数を増やすことなく、上記の効果を奏することができる。

（１０）本発明の手動弁は、ロッド送出部材とボディとの間に挟持された摺動シート（例えば、ＰＴＦＥシート）を有する。ここで、摺動シートとしては、ロッド送出部材が閉方向に移動するときに、ボディと当接する間に挟持された第１摺動シートと、ロッド送出部材が開方向に移動するときに、ボディと当接する間に挟持された第２摺動シートを有している。
（１１）ロッド送出部材とボディとが同じ材質（例えば、ＰＶＤＦ）で形成されている場合、例えば、ロッドを閉方向に締め付けて、所定値より大きなトルクがかかって、係合部材の係合が解除され、ノブが空回りした後で、ノブを開方向に回転しても、ノブが空回りしてしまい、バルブを開くことができない恐れがあった。逆に、ロッドを開方向に回転させて、所定値より大きなトルクがかかって、係合部材の係合が解除され、ノブが空回りした後で、ノブを閉方向に回転しても、ノブが空回りしてしまい、バルブを閉じることができない恐れがあった。
本発明によれば、ロッド送出部材とボディとの間に摺動シート（例えば、ＰＴＦＥシート）を有しているので、閉方向でノブが空回りした時のトルクに対して、ノブを開方向に回転させるトルクを空回りした時のトルクの７０％程度に低減できるため、例えば、ロッドを閉方向に締め付けて、所定値より大きなトルクがかかって、係合部材の係合が解除され、ノブが空回りした後で、ノブを開方向に回転しても、ノブが空回りしてしまうことがなく、バルブを確実に開くことができる。逆に、ロッドを開方向に回転させて、所定値より大きなトルクがかかって、係合部材の係合が解除され、ノブが空回りした後で、ノブを閉方向に回転しても、ノブが空回りしてしまうことがなく、バルブを確実に閉じることができる。

（１２）また、本発明によれば、ロッド送出部材とボディの当接面の、少なくとも一方が表面処理（例えば、フッ素コーティング）されているので、閉方向でノブが空回りした時のトルクに対して、ノブを開方向に回転させるトルクを空回りした時のトルクの７０％程度に低減できるため、例えば、ロッドを閉方向に締め付けて、所定値より大きなトルクがかかって、係合部材の係合が解除され、ノブが空回りした後で、ノブを開方向に回転しても、ノブが空回りしてしまうことがなく、バルブを確実に開くことができる。逆に、ロッドを開方向に回転させて、所定値より大きなトルクがかかって、係合部材の係合が解除され、ノブが空回りした後で、ノブを閉方向に回転しても、ノブが空回りしてしまうことがなく、バルブを確実に閉じることができる。
（１３）また、本発明によれば、ロッド送出部材とボディが、摩擦係数の異なる材質で形成されている（例えば、ロッド送出部材の材質がＰＦＡであり、前記ボディの材質がＰＶＤＦである）ので、閉方向でノブが空回りした時のトルクに対して、ノブを開方向に回転させるトルクを空回りした時のトルクの７０％程度に低減できるため、例えば、ロッドを閉方向に締め付けて、所定値より大きなトルクがかかって、係合部材の係合が解除され、ノブが空回りした後で、ノブを開方向に回転しても、ノブが空回りしてしまうことがなく、バルブを確実に開くことができる。逆に、ロッドを開方向に回転させて、所定値より大きなトルクがかかって、係合部材の係合が解除され、ノブが空回りした後で、ノブを閉方向に回転しても、ノブが空回りしてしまうことがなく、バルブを確実に閉じることができる。

以下、本発明の実施形態１〜４を図面に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、実施形態１に係る手動弁の構成を説明する説明図である。図２は、図１に示す手動弁の要部を示すＡ−Ａ矢視断面図である。図３は、実施形態１に係るつまみを示す図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は（ａ）におけるＢ−Ｂ矢視断面図である。図４は、実施形態１に係るスライドナットを示す図であり、（ａ）側面側から見たときの断面図、（ｂ）は（ａ）におけるＣ−Ｃ矢視断面図である。図５は、実施形態１に係る手動弁に構成されたクリップを示す図であり、（ａ）平面図、（ｂ）側面図である。なお、以下の説明では、手動弁１において、図１中、上下方向を開閉方向ＶＬとし、図１中、左右方向を径方向ＰＲとする。
手動弁１は、例えば、半導体製造装置において、薬液供給ユニットに供給する薬液（流体）の流量を制御する薬液弁や、薬液をサンプリングするときの薬液採取バルブ等として用いられる。

この手動弁１は、図１に示すように、操作部２、駆動伝達部３及び弁機構部４から構成されている。
操作部２はさらに、つまみ１０、スライドナット２０、クリップ３０及びロックリング４０等からなる。
つまみ１０は、例えば、フッ素系樹脂等のような耐酸性（または耐アルカリ性）、耐油性を有する樹脂からなり、図３に示すように、その中央部に開閉方向ＶＬに貫通する貫通孔１０Ｈを有する略円筒状で、本実施形態１では、第１円環部１１、第２円環部１２及びクリップ取付部１３から構成されている。第１円環部１１と第２円環部１２とは、クリップ取付部１３を挟んで開閉方向ＶＬに離間しており、クリップ取付部１３に円弧状に形成された第１係止部１４及び第２係止部１５によって連結している。この第１係止部１４と第２係止部１５とは、図３（ｂ）に示すように、それぞれ対向して配置されている。この第１係止部１４は、径方向ＰＲ外側に固定部当接面１４ａを有している。また、第２係止部１５は、つまみ１０の径方向に沿った係止部当接面１５ａを２つ有している。

本発明のロッド送出部材に対応するスライドナット２０は、例えば、フッ素系樹脂等のような耐酸性（または耐アルカリ性）、耐油性を有する樹脂からなる。このスライドナット２０は、図１及び図４に示すように、その中央部に開閉方向ＶＬに貫通する貫通孔２０Ｈを有する略円筒状で、この貫通孔２０Ｈ内に、ロッド５０の雄ねじ部５２と螺合する雌ねじ部２２を有している。また、このスライドナット２０は、開閉方向ＶＬの一端側に係合周囲部２１を有している。係合周囲部２１は、図４（ｂ）に示すように、当該スライドナット２０の外周より径内側に８つの外周面２１ａを有し、これらの外周面２１ａが八角形形状に繋がってなる。係合周囲部２１の開閉方向ＶＬの寸法は、クリップ３０の厚み（
図５（ｂ）の上下方向の寸法）よりやや大きくなっている。
また、このスライドナット２０の周縁には、ロックリング４０の雌ねじ部４１と螺合する雄ねじ２３が形成されている。ロックリング４０は、スライドナット２０との螺合でスライドナット保持部材８２に当接する位置にあると、スライドナット２０の回転をロックするようになっている。さらに、開閉方向ＶＬ他端側でスライドナット２０の周縁には、スライドナット２０の開閉方向ＶＬへの移動を抑止すると共に、スライドナット２０自身を保持するフランジ部２４が設けられている。

このスライドナット２０は、そのフランジ部２４で、駆動伝達部３のうちのボディ８０に保持されている。具体的には、ボディ８０は、ロッド保持部材８１とスライドナット保持部材８２とからなり、スライドナット２０は、フランジ部２４がロッド保持部材８１に支持された状態で、スライドナット保持部材８２により回転可能に保持されている。
本実施形態１では、図１及び図４（ａ）に示すように、フランジ部２４は、開閉方向ＶＬ両側に突出した突起を有した形態となっている。このような突起を有した形態のフランジ部２４にすることにより、フランジ部２４と、ロッド保持部材８１及びスライドナット保持部材８２との接触面積が小さくでき、スライドナット２０が、ロッド保持部材８１及びスライドナット保持部材８２に対して回転し易くなるからである。

本発明の係合部材に対応するクリップ３０は、例えば、フッ素系樹脂等のような耐酸性（または耐アルカリ性）、耐油性を有する樹脂からなり、図５（ａ）に示すように、固定部３１及びこの固定部３１から延びる２つの挟持部３２を有した略Ｃ字型形状に成形されている。これらの挟持部３２，３２は、互いに離間したり、元の位置に戻ったりする近接離間方向（図５（ａ）に示した矢印方向）に弾性変形可能となっている。
固定部３１は、クリップ３０によりつまみ１０とスライドナット２０とを連結したときに、つまみ１０のうち第１係止部１４の固定部当接面１４ａに当接する第１係止部当接面３１ａを有している。その一方で、挟持部３２，３２は、つまみ１０のうち第２係止部１５の係止部当接面１５ａに当接する第２係止部当接面３２ｂを有している。さらにこの挟持部３２，３２はいずれも、スライドナット２０のうち、係合周囲部２１の８つの外周面２１ａのうちいずれの面とも当接可能な挟持部当接面３２ａを有している。

本実施形態１では、図２に示すように、つまみ１０とスライドナット２０との連結にあたり、クリップ３０の固定部３１の第１係止部当接面３１ａをつまみ１０の第１係止部１４の固定部当接面１４ａに当接させている。また、挟持部３２，３２における６つの挟持部当接面３２ａを、スライドナット２０の係合周囲部２１にある８つの外周面２１ａのうち、６つの外周面２１ａに当接させると共に、挟持部３２，３２の第２係止部当接面３２ｂを、つまみ１０の第２係止部１５の係止部当接面１５ａ，１５ａに当接させている。
このように、クリップ３０は、つまみ１０の第１，第２係止部１４，１５及びスライドナット２０の係合周囲部２１に係止して固定され、スライドナット２０の係合周囲部２１にある８つの外周面２１ａのうち、６つの外周面２１ａを挟持している。これにより、つまみ１０とスライドナット２０とは一体に連結し、つまみ１０を回転することで、スライドナット２０もつまみ１０と共に周方向に回転できるようになっている。

次に、駆動伝達部３について説明する。
駆動伝達部３はさらに、ロッド５０及び前述したボディ８０等から構成されている。
ロッド５０は、例えば、フッ素系樹脂等のような耐酸性（またはアルカリ性）、耐油性を有する樹脂からなり、その外周に前述した雄ねじ部５２と、ロッド５０自身の周方向の回転を規制する回転止め部５３とを有している。このロッド５０は、つまみ１０と直接に連結せず、ロッド保持部材８１、つまみ１０の貫通孔１０Ｈ及びスライドナット２０の貫通孔２０Ｈ内を、開弁方向ＶＬに移動可能に配置されている。このロッド５０は、回転止め部５３を図示しないロッド保持部材８１の一部に周方向に係止して、ロッド保持部材８
１内で自転しないようになっている。

このロッド５０の一端部５１には、ロッド５０の位置が識別可能なインジケータ６１が設けられている。インジケータ６１は、つまみ１０の貫通孔１０Ｈ内を出入り可能に配置され、本実施形態１では、閉弁状態になると貫通孔１０Ｈ内に位置し（図１参照）、ロッド５０が図１に示す位置から上昇して開弁状態になると、つまみ１０の第１円環部１１よりも上方に位置するようになる。
なお、図示しないが、インジケータ６１には弁開度を識別するための標識を付している。この標識は、例えば色テープや着色塗料などにより、弁開度に対応した色分けで識別されたものとなっている。

次に、弁機構部４について説明する。
弁機構部４は、弁体保持部材６２、弁体６３及び弁本体９０等から構成されている。弁体保持部材６２は、ロッド５０の他端（図１中、下方側）に一体に固着されていて、ダイアフラムである弁体６３とも固着されている。弁本体９０には、第１ポート９１及び第１ポート９２と、弁座９３とを有している。弁本体９０は、ボディ８０と一体に固着されている。
手動弁１では、後述するように、つまみ１０を回転操作すると、ロッド５０が開閉方向ＶＬに移動し、このロッド５０を介して弁体６３も開閉方向ＶＬに移動するようになっている。ロッド５０、すなわち弁体６３が開閉方向ＶＬ閉弁側（図１下方）に移動し弁座９３に当接すると、手動弁１は閉弁状態になる。その反対に、開閉方向ＶＬ開弁側（図１上方）に移動し弁座９３から離間すると、手動弁１は開弁状態となる。

次に、手動弁１の作用について説明する。
まず、つまみ１０の回転をクリップ３０を介してスライドナット２０に伝達し、ロッド５０を開閉方向ＶＬに移動させるまでの動作過程について説明する。
ロックリング４０をスライドナット保持部材８２から離間させて、スライドナット２０の回転ロックを解除しておき、スライドナット２０が回転できる状態にしておく。
クリップ３０は、つまみ１０の第１，第２係止部１４，１５及びスライドナット２０の係合周囲部２１に係止し、スライドナット２０の係合周囲部２１にある８つの外周面２１ａのうち、６つの外周面２１ａを挟持しているので、つまみ１０とスライドナット２０とは一体に連結した状態になっている。このスライドナット２０は、そのフランジ部２４とボディ８０により、開閉方向ＶＬへの移動を抑止して保持されているため、つまみ１０を回転させると、スライドナット２０もつまみ１０と共に同方向に回転する。このスライドナット２０の雌ねじ部２２はロッド５０の雄ねじ部５２と螺合され、かつ、ロッド保持部材８１内でロッド５０の自転が抑止されている。このため、つまみ１０を回転させると、スライドナット２０も回転し、スライドナット２０の雌ねじ部２２とロッド５０の雄ねじ部５２との螺合によるねじ送りによって、ロッド５０が、スライドナット２０と相対的に開閉方向ＶＬに移動できるようになっている。

次いで、手動弁１を閉弁状態から開弁状態にする場合を説明する。
本実施形態１の手動弁１では、スライドナット２０の雌ねじ部２２及びロッド５０の雄ねじ部５２はいずれも左ねじになっており、つまみ１０を右回りに回転させると、ロッド５０は閉弁側に移動し、左回りに回転させると、ロッド５０は開弁側に移動するようになっている。
開弁状態にするには、つまみ１０を一方向（左回り）に回転させると、スライドナット２０とつまみ１０とが共に同方向に回転し、このスライドナット２０の回転によってロッド５０が開閉方向ＶＬ開弁側（図１中上方）に移動する。これにより、ロッド５０と連結する弁体６３が、弁座９３から離間して開弁する。このとき、作業者は、インジケータ６１の標識を参考にしながら弁開度を把握し、つまみ１０を回転させる。

次いで、手動弁１を開弁状態から閉弁状態にする場合を説明をする。
閉弁状態にするには、つまみ１０を所定値以内のトルクで他方向（右回り）に回転させると、スライドナット２０とつまみ１０とが共に同方向に回転し、このスライドナット２０の回転によって、ロッド５０が開閉方向ＶＬ閉弁側（図１中下方）に移動する。
ロッド５０と連結する弁体６３が弁座９３に当接した後、さらにつまみ１０を回転させようとすると、ロッド５０は、弁体６３と弁座９３との当接により、その当接位置よりも閉弁側（図１中下方）に移動できず、つまみ１０を回転するときのトルクは所定値よりも大きくなる。

手動弁１では、つまみ１０とスライドナット２０とがクリップ３０により一体に連結されているが、つまみ１０の第１係止部１４の固定部当接面１４ａとクリップ３０の固定部３１の第１係止部当接面３１ａとの当接状態を維持したまま、クリップ３０の挟持部３２，３２は、所定値より大きいトルクがかかったときに、近接離間方向の離間側に弾性変形する。このため、作業者が、たとえ弁体６３と弁座９３との当接後にも、つまみ１０を回転し続けたとしても、挟持部３２，３２の弾性変形により、挟持部３２，３２の挟持部当接面３２ａはスライドナット２０の係合周囲部２１の外周面２１ａから離間して外周面２１ａとの挟持状態を解除し、挟持部３２，３２と係合周囲部２１との係合を解除する。これにより、つまみ１０及びクリップ３０は、スライドナット２０の係合周囲部２１に対し、周方向に空回りし、つまみ１０の回転は、スライドナット２０に伝達されない。

すなわち、本実施形態１の手動弁１は、第１ポート９１と第２ポート９２とを繋ぐ薬液の流路に有する弁座９３と、この弁座９３に当接または離間して薬液の流れを制御する弁体６３と、この弁体６３と連結するロッド５０と、弁体６３の開閉方向ＶＬにロッド５０をねじ送りさせるつまみ１０と、を備え、つまみ１０の回転により、ロッド５０を介して弁体６３を移動させる手動弁１であって、ロッド５０は、その外周に雄ねじ部５２を有すると共に、つまみ１０とは連結せず、かつ、回転止めされており、円筒状であって、ボディ８０に回転可能に保持され、内周にロッド５０の雄ねじ部５２とねじ結合する雌ねじ部２２が形成されたスライドナット２０と、つまみ１０に固定され、スライドナット２０と弾性変形して係合し、所定値より大きいトルクがかかったときに、係合が解除されるクリップ３０と、を有しているので、つまみ１０を所定値より大きいトルクで回転させたとき、クリップ３０はつまみ１０とスライドナット２０との係合を解除して、スライドナット２０は回転できない。その一方で、ロッド５０は、つまみ１０とは連結せず、かつ、回転止め部５３によりロッド保持部材８１内で自転しないようになっている。このため、スライドナット２０が回転しないと、ロッド５０の雄ねじ部５２とスライドナット２０の雌ねじ部２２との螺合によるねじ送りで、ロッド５０を、スライドナット２０と相対的に開閉方向ＶＬに移動させることができない。
したがって、つまみ１０を所定値より大きいトルクで回転させた場合でも、ロッド５０を介して弁体６３は移動されず、弁体６３が弁座９３を過度に押圧することはなく、弁体６３の押圧による弁座９３の損傷が防止できる。

また、本実施形態１の手動弁１は、スライドナット２０は、８つの外周面２１ａが環状に繋がってなる係合周囲部２１を有し、クリップ３０は、スライドナット２０の係合周囲部２１と係合するようになっているので、所定値より大きいトルクでつまみ１０を回転したときに、スライドナット２０の係合周囲部２１とクリップ３０との係合が容易に解除できる。
また、本実施形態１の手動弁１は、クリップ３０は、つまみ１０とは別体であり、つまみ１０に係止して、スライドナット２０の係合周囲部２１にある８つの外周面２１ａのうち、６つの外周面２１ａを挟持するようになっているので、つまみ１０の回転をスライド
ナット２０に伝達することや、その伝達の解除を、クリップ３０を用いるだけで簡単にできるようになる。しかも、本実施形態１の手動弁１は、従来の、スプリングの付勢力により弁体を弁座に当接させて閉弁する構造の手動弁（特許文献２の手動弁）に比して、構造が簡単になり、構成部品の数も削減できるようになるため、安価になる。また、手動弁１は、このような従来の手動弁とは異なり、スプリングを用いていないので、大きさもコンパクトにすることができる。

ところで、上述した、スプリングを用いた従来の手動弁では、金属のスプリングにより弁体を弁座に当接させて閉弁するようになっているため、こぼれた薬液がノブ周囲から手動弁内に侵入して、スプリングに付着することも考えられる。そして、薬液による変質、侵食及び錆び等がスプリングに発生し、手動弁の閉弁が適切にできなくなる虞もある。
これに対し、本実施形態１の手動弁１では、手動弁１を前述した薬液弁や薬液採取バルブとして用いる場合、つまみ１０の回転をスライドナット２０に伝達することと、その伝達の解除することを、クリップ３０で行っている。スライドナット２０及びクリップ３０はいずれかも樹脂からなるので、こぼれた薬液がつまみ１０周囲から手動弁１に付着したり、酸性やアルカリ性の雰囲気に晒されても、薬液による変質、侵食及び錆び等の不具合がつまみ１０、スライドナット２０及びクリップ３０等に発生することが防止できる。したがって、このような不具合に起因した（１）つまみ１１０の回転をスライドナット２０に伝達すること、（２）クリップ３０でその伝達の解除すること、に対する動作上の支障の発生が抑制されるので、手動弁１の閉弁が適切にできなくなることも防止される。

また、本実施形態１の手動弁１では、つまみ１０は、その中央部に貫通孔１０Ｈを有し、ロッド５０は、その一端部５１に当該ロッド５０の位置が識別可能なインジケータ６１を有すると共に、スライドナット２０内に挿通されており、インジケータ６１は、ロッド５０の移動に伴って、つまみ１０の貫通孔１０Ｈ内を出入りするようになっているので、当該手動弁１の設置向きにかかわらず、開弁状態あるいは閉弁状態にあるのかを一目で判断でき、目視により容易に開弁度を識別することができる。

（実施形態２）
本実施形態２に係る手動弁１００について、図６及び図７を用いて説明する。
本実施形態２に係る手動弁１００は、前述の実施形態１に係る手動弁１とは、操作部の構造が異なる。また、実施形態１では、クリップ３０（係合部材）がつまみ１０（ノブ）とは別体で構成した手動弁１とした。これに対し、本実施形態２では、係合部材をノブと一体に構成した手動弁１００である。
しかしながら、本実施形態２の手動弁１００は、駆動伝達部３及び弁機構部４のほか、スライドナット１２０の係合周囲部の外形がほぼ正八角形形状に形成されている点、つまみ１１０及びスライドナット１２０の材質等では、実施形態１の手動弁１と同様である。
したがって、実施形態１とは異なる部分を中心に説明し、同様な部分は実施形態１と同じ符号を用いて、説明を省略または簡単に行う。
なお、図６は、実施形態２に係る手動弁のうち、操作部の構成を説明する説明図である。図７は、図６に示す操作部のＤ−Ｄ矢視断面図である。

本実施形態２では、操作部は、つまみ１１０、スライドナット１２０及びロックリング４０等からなる。
つまみ１１０は、図６に示すように、その中央部に開閉方向ＶＬに貫通する貫通孔１１０Ｈを有する略円筒状で、本実施形態２では、基部１１１、外周部１１２及び爪部１１３（係合部材）から構成されている。外周部１１２は、基部１１１から開閉方向ＶＬに延びた円筒状の部分である。爪部１１３は、外周部１１２より径内側の位置で、当該つまみ１１０の周方向に８等分された位置に８つ設けられている。爪部１１３は、基部１１１から開閉方向ＶＬに延びてなり、スライドナット１２０の係合周囲部１２１の外周面１２１ａ
と当接可能な係合周囲部当接面１１３ａ及び、先端部にスライドナット１２０の保持溝１２５に係止する爪先１１４を有している。各爪部１１３は、当該つまみ１１０の径方向に対し、径外側へ離間したり元の位置に戻したりする近接離間方向に弾性変形可能となっている。

スライドナット１２０は、図６及び図７に示すように、その中央部に開閉方向ＶＬに貫通する貫通孔１２０Ｈを有する略円筒状で、この貫通孔１２０Ｈ内に、ロッド５０の雄ねじ部５２と螺合する雌ねじ部１２２を有している。このスライドナット１２０は、開閉方向ＶＬの一端（図６上方）に先端がやや先細りした形状の係合周囲部１２１を有している。この係合周囲部１２１は、図７に示すように、その周方向に８つの外周面１２１ａを有し、この外周面１２１ａが八角形形状に繋がってなる。係合周囲部１２１より開閉方向ＶＬ閉弁側（図６下方）には、外周面１２１ａよりも径内側に、その外周面が外周面１２１ａに沿って形成された保持溝１２５が凹設されている。
また、前述の実施形態１のスライドナット２０と同様に、スライドナット１２０の周縁には、ロックリング４０の雌ねじ部４１と螺合する雄ねじ１２３が形成されている。また、開閉方向ＶＬ他端側でスライドナット１２０の周縁には、スライドナット１２０の開閉方向ＶＬへの移動を抑止すると共に、スライドナット１２０自身を保持するフランジ部１２４が設けられている。なお、ボディ８０がスライドナット１２０のフランジ部１２４を保持する手法は、実施形態１と同様なので説明を省く。

つまみ１１０とスライドナット１２０とは、つまみ１１０の爪部１１３の係合周囲部当接面１１３ａをスライドナット１２０の係合周囲部１２１の外周面１２１ａに当接させ、爪部１１３の爪先１１４をスライドナット１２０の保持溝１２５に係留して、一体に連結されている。爪部１１３は、係合周囲部１２１を径内側に向けて弾性的に挟持しており、つまみ１１０を所定値以内のトルクで回転するときには、つまみ１１０とスライドナット１２０とが共に回転し、つまみ１１０の回転がスライドナット１２０に伝達されるようになっている。
なお、つまみ１１０を回転し、スライドナット１２０の雌ねじ部１２２とロッド５０の雄ねじ部５２との螺合によるねじ送りによって、ロッド５０を、スライドナット１２０と相対的に開閉方向ＶＬに移動させる手法は、実施形態１と同様なので説明を省く。

手動弁１００では、つまみ１１０を所定値より大きいトルクをかけて回転したとき、爪部１１３は、近接離間方向の離間側に弾性変形する。このため、作業者が、参照する図１に示す弁体６３と弁座９３との当接後にも、つまみ１１０を回転し続けたとしても、爪部１１３が径外側（図６に示す矢印方向）に弾性変形する。これにより、爪部１１３の係合周囲部当接面１１３ａはスライドナット１２０の係合周囲部１２１の外周面１２１ａから離間して外周面１２１ａとの挟持状態を解除し、爪部１１３と係合周囲部１２１との係合が解除される。これにより、つまみ１１０は、スライドナット１２０の係合周囲部１２１に対し、周方向に空回りし、つまみ１１０の回転は、スライドナット１２０に伝達されない。

本実施形態２の手動弁１００では、つまみ１１０の爪部１１３は、つまみ１１０と一体で開閉方向ＶＬに延びる爪であり、スライドナット１２０の係合周囲部１２１を径内側に向けて弾性的に挟持するようになっているので、つまみ１１０を所定値より大きいトルクをかけて回転させたときに、爪部１１３によりスライドナット１２０の係合周囲部１２１の外周面１２１ａが弾性的に挟持された状態が自動的に解除され、つまみ１１０の回転をスライドナット１２０に伝達しないようにすることが簡単にできる。
しかも、本実施形態２の手動弁１００も、従来の、スプリングの付勢力により弁体を弁座に当接させて閉弁する構造の手動弁（特許文献２の手動弁）に比して、構造が簡単になり、構成部品の数も削減できるようになるため、安価になる。さらに、手動弁１００は、
このような従来の手動弁とは異なり、スプリングを用いていないので、大きさもコンパクトにすることができる。

（実施形態３）
本実施形態３に係る手動弁２００について、図８及び図９を用いて説明する。
本実施形態３に係る手動弁２００は、実施形態２に係る手動弁１００とは、操作部の構造と、つまみ２１０及びスライドナット２２０の係合周囲部２２１の形状が共に異なる。
しかしながら、本実施形態３の手動弁２００は、駆動伝達部３及び弁機構部４のほか、係合部材をつまみ２１０と一体に構成した手動弁２００である点、つまみ２１０の爪部２１３でスライドナット２２０の係合周囲部２２１を径内側に向けて弾性的に挟持する点等では、実施形態２の手動弁１００と同様である。
したがって、実施形態１，２とは異なる部分を中心に説明し、同様な部分は実施形態１，２と同じ符号を用いて、説明を省略または簡単に行う。
なお、図８は、実施形態３に係る手動弁のうち、操作部の構成を説明する説明図である。図９は、図８に示す操作部のＥ−Ｅ矢視断面図である。

本実施形態３では、操作部は、つまみ２１０、スライドナット２２０及びロックリング４０等からなる。
つまみ２１０は、図８に示すように、その中央部に開閉方向ＶＬに貫通する貫通孔２１０Ｈを有する略円筒状で、本実施形態３では、外周部２１２、爪部２１３（係合部材）及び係留部２１４等から構成されている。爪部２１３は、外周部２１２から開閉方向ＶＬ閉弁側（図８中下方）に延びてなり、当該つまみ２１０の周方向に４等分された位置に４つ設けられている。各爪部２１３は、スライドナット２２０の係合周囲部２２１のうち、係合周囲部外周面２２１ａと当接する係合周囲部外周当接面２１３ａ、及び、この係合周囲部外周当接面２１３ａよりも径内側に突出した凹部当接面２１３ｂを有している。各爪部２１３は、当該つまみ２１０の径方向に対し、径外側へ離間したり元に戻ったりする近接離間方向に弾性変形可能となっている（図８参照）。
また、つまみ２１０は、外周部１１２より径内側に、スライドナット２２０の保持溝２２５内に係留する係留部２１４を有している。つまみ２１０は、その係留部２１４をスライドナット２２０の保持溝２２５内に係留することで、スライドナット２２０から外れないようになっている。

スライドナット２２０は、図８及び図９に示すように、その中央部に開閉方向ＶＬに貫通する貫通孔２２０Ｈを有する略円筒状で、この貫通孔２２０Ｈ内に、ロッド５０の雄ねじ部５２と螺合する雌ねじ部２２２を有している。このスライドナット２２０は、開閉方向ＶＬの一端（図６上方）に係合周囲部２２１を有している。この係合周囲部２２１は、図９に示すように、その周方向に係合周囲部外周面２２１ａ及び複数の凹部２２１Ｆを有し、これらの凹部２２１Ｆを所定ピッチの間隔で断続的に配置して環状に繋げてなる。各凹部２２１Ｆは、つまみ２１０のうち、各爪部２１３の係合周囲部外周当接面２１３ａと当接可能な凹部底面２２１ａを有している。

つまみ２１０とスライドナット２２０とは、つまみ２１０の爪部２１３の係合周囲部外周当接面２１３ａをスライドナット２２０の係合周囲部２２１の係合周囲部外周面２２１ａに当接させ、爪部２１３の凹部当接面２１３ｂを、スライドナット２２０の各凹部２２１Ｆのうち、４つの凹部２２１Ｆの凹部底面２２１Ｆａに当接させて、一体に連結されている。各爪部２１３は、係合周囲部２２１を径内側に向けて弾性的に挟持しており、つまみ２１０を所定値以内のトルクで回転するときには、つまみ２１０とスライドナット２２０とが共に断続的に回転し、つまみ２１０の回転がスライドナット２２０に伝達されるようになっている。
なお、つまみ２１０の回転により、スライドナット２２０の雌ねじ部２２２とロッド５
０の雄ねじ部５２との螺合によるねじ送りによって、ロッド５０は、スライドナット２２０と相対的に開閉方向ＶＬに移動できる手法は、実施形態１，２と同様なので説明を省く。
また、前述の実施形態１，２のスライドナット２０，１２０と同様に、スライドナット２２０は、その周縁に、雄ねじ２２３及びフランジ部２２４を有している。なお、ボディ８０がスライドナット２２０のフランジ部２２４を保持する手法は、実施形態１，２と同様なので説明を省く。

手動弁２００でも、つまみ２１０を所定値より大きいトルクをかけて回転したとき、爪部２１３は、近接離間方向に弾性変形する。このため、作業者が、参照する図１に示す弁体６３と弁座９３との当接後にも、つまみ２１０を回転し続けたとしても、爪部２１３が径外側（図８に示す矢印方向）に弾性変形する。これにより、爪部２１３の係合周囲部外周当接面２１３ａ及び凹部当接面２１３ｂは、スライドナット２２０の係合周囲部２２１の係合周囲部外周面２２１ａ及び凹部底面２２１Ｆａから離間して係合周囲部２２１との挟持状態を解除し、爪部２１３と係合周囲部２２１との係合が解除される。これにより、つまみ２１０は、スライドナット２２０の係合周囲部２２１に対し、周方向に空回りし、つまみ２１０の回転は、スライドナット２２０に伝達されない。
また、本実施形態３の手動弁２００は、スライドナット２２０は、複数の凹部２２１Ｆが所定ピッチの間隔で断続的に配置されて環状に繋がってなる係合周囲部２２１を有し、つまみ２１０の爪部２１３は、スライドナット２２０の係合周囲部２２１と係合するようになっているので、所定値より大きいトルクでつまみ２１０を回転したときに、スライドナット２２０の係合周囲部２２１とつまみ２１０の爪部２１３との係合が容易に解除できる。

本実施形態３の手動弁２００でも、つまみ２１０の爪部２１３は、つまみ２１０と一体で開閉方向ＶＬに延びる爪であり、スライドナット２２０の係合周囲部２２１を径内側に向けて弾性的に挟持するようになっているので、つまみ２１０を所定値より大きいトルクをかけて回転させたときに、つまみ２１０の回転をスライドナット２２０に伝達しないようにすることが、自動的にかつ簡単にできるようになる。
しかも、本実施形態３の手動弁２００も、従来の、スプリングの付勢力により弁体を弁座に当接させて閉弁する構造の手動弁（特許文献２の手動弁）に比して、構造が簡単になり、構成部品の数も削減できるようになるため、安価になる。さらに、手動弁２００は、このような従来の手動弁とは異なり、スプリングを用いていないので、コンパクトにすることができる。

次に、第４の実施形態について説明する。図１０に正面図を、図１１に平面図を、図１２に右側面図を、図１３に図１０のＡＡ断面図を示す。第４の実施形態の基本形状は、図２に示す第１の実施形態と同じなので、同じ部分については、同じ符号を付して、詳細な説明を省略する。
第２係止部１５は、つまみ１０の下面から垂下して形成されている。図１３に示すように、第２係止部１５の両端には、半径方向外側に向かって、弾性変形可能な押え部１５ｂが形成されている。一対の押え部１５ｂは、外側に変形して挟持部３２を挟持することにより、挟持部３２に対して、スライドナット２０を挟持する方向に所定の弾性力を与えている。
図１０及び図１２に示すように、挟持部３２は、４段に分かれた挟持部３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃ、３２Ｄを備えている。第２係止部１５の押え部１５ｂは、挟持部３２Ｂ、３２Ｃ、３２Ｄに対応する厚みを備えている。挟持部３２を４段に分けているのは、スライドナット２０と挟持部３２に広い当接面３２ａを持たせつつ、挟持部３２に必要な弾性力（挟持力）を持たせるためであり、広い当接面３２ａを持たせることにより、スライドナッ
ト２０と挟持部３２が離間・挟持を繰り返しても変形しにくい構造とするためである。

押え部１５ｂが、所定の弾性力で挟持部３２Ｂ、３２Ｃ、３２Ｄを挟み込むことにより、挟持部３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃ、３２Ｄがスライドナット２０との係合を解除するために必要なトルクを大きくすることができる。また、係合部材である挟持部３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃ、３２Ｄに弾性変形のばらつきが存在しても、押え部１５ｂの弾性力でそれを均一化することができるため、制限部材である第２係止部１５の押え部１５ｂが、ロッド送出部材であるスライドナット２０と係合解除される所定のトルク値を、多数の製品に関して、均質化することができる。
また、係合部材である挟持部３２の弾性変形のみに頼って、トルクを所定値に維持しようとしても、挟持部３２のへたり等により、弾性力が変化すると、トルクを所定値に維持できなくなる恐れがある。それに対して、挟持部３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃ、３２Ｄにへたりが生じても、制限部材である第２係止部１５の押え部１５ｂが、挟持部３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃ、３２Ｄの弾性変形に所定の制限を加えるため、トルクを所定値に維持することができる。
更に、第２係止部１５の押え部１５ｂをつまみ１０と一体的に形成しているので、部品点数を増やすことなく、上記の効果を奏することができる。

次に、第５の実施形態について説明する。図１４に、第５の実施形態の手動弁の断面図を示す。第５の実施の形態の手動弁は、内部の基本構造は、図１に示す第１実施の形態と同じであり、また、挟持部３２、第２係止部１５の構造は、第４の実施の形態と同じなので、同じ部分については、同じ符号を付して詳細な説明を割愛し、相違する点についてのみ説明する。
図１４に示すように、弁本体９０の外周には、開口部を備える係合部７１が複数個形成されている。本実施の形態のボディ７０の外周には、係合部７１に対応する位置に、先端に係止爪７６を備える係止部７５が形成されている。
ボディ７０と弁本体９０との係合は、ボディ７０の係止爪７６を弁本体９０の係合部７１の開口に挿入して係合させることにより行われる。
図１４のＸ部拡大図を図１５に示す。スライドナット２０の上面２０ａと、ボディ７０の内周下面に形成された凸部７０ａの先端面とが、ＰＴＦＥシート１１０を介して、当接している。また、スライドナット２０の下面凸部７０ｂの先端面と、ロッド保持部材８１の上面とが、ＰＴＦＥシート１１１を介して、当接している。

次に、第５実施の形態の作用、及び効果について説明する。
ロッド送出部材であるスライドナット２０と、ボディ７０及びロッド保持部材８１とが同じ材質（例えば、ＰＶＤＦ）で形成されている場合、例えば、ロッド５０を閉方向に締め付けて、所定値より大きなトルクがかかって、係合部材の係合が解除され、ノブ１０が空回りした後で、ノブ１０を開方向に回転しても、ノブ１０が空回りしてしまい、バルブを開くことができない恐れがあった。逆に、ロッド５０を開方向に回転させて、所定値より大きなトルクがかかって、挟持部３２の係合が解除され、ノブ１０が空回りした後で、ノブ１０を閉方向に回転しても、ノブ１０が空回りしてしまい、バルブを閉じることができない恐れがあった。
本実施の形態によれば、スライドナット２０とボディ７０との間にＰＴＦＥシート１１０を有し、スライドナット２０とボディ８１との間にＰＴＦＥシート１１１を有しているので、閉方向でノブ１０が空回りした時のトルクに対して、ノブ１０を開方向に回転させるトルクを空回りした時のトルクの７０％程度に低減できるため、例えば、ロッド５０を閉方向に締め付けて、所定値より大きなトルクがかかって、挟持部３２の係合が解除され、ノブ１０が空回りした後で、ノブ１０を開方向に回転しても、ノブ１０が空回りしてしまうことがなく、バルブを確実に開くことができる。逆に、ロッド５０を開方向に回転させて、所定値より大きなトルクがかかって、挟持部３２の係合が解除され、ノブ１０が空回りした後で、ノブ１０を閉方向に回転しても、ノブ１０が空回りしてしまうことがなく、バルブを確実に閉じることができる。
本実施の形態では、ＰＴＦＥシート１１０、１１１を用いているが、ＰＦＡシート等を用いても良い。

本実施の形態では、ＰＴＦＥシート１１０、１１１を用いているが、それらを用いる代わりに、スライドナット２０とボディ７０の当接面の少なくとも一方にフッ素コーティングを行い、かつスライドナット２０とロッド保持部材８１の当接面の少なくとも一方にフッ素コーティングを行うことにより、閉方向でノブ１０が空回りした時のトルクに対して、ノブ１０を開方向に回転させるトルクを空回りした時のトルクの７０％程度に低減できるため、例えば、ロッド５０を閉方向に締め付けて、所定値より大きなトルクがかかって、挟持部３２の係合が解除され、ノブ１０が空回りした後で、ノブ１０を開方向に回転しても、ノブ１０が空回りしてしまうことがなく、バルブを確実に開くことができる。逆に、ロッド５０を開方向に回転させて、所定値より大きなトルクがかかって、挟持部３２の係合が解除され、ノブ１０が空回りした後で、ノブ１０を閉方向に回転しても、ノブ１０が空回りしてしまうことがなく、バルブを確実に閉じることができる。
フッ素コーティングの他に、摩擦係数の小さな材質であれば、他のコーティングでもよい。

本実施の形態では、ＰＴＦＥシート１１０、１１１を用いているが、それらを用いる代わりに、スライドナット２０の材質をＰＦＡとし、ボディ７０とロッド保持部材８１の材質をＰＶＤＦとすることにより、閉方向でノブ１０が空回りした時のトルクに対して、ノブ１０を開方向に回転させるトルクを空回りした時のトルクの７０％程度に低減できるため、例えば、ロッド５０を閉方向に締め付けて、所定値より大きなトルクがかかって、挟持部３２の係合が解除され、ノブ１０が空回りした後で、ノブ１０を開方向に回転しても、ノブ１０が空回りしてしまうことがなく、バルブを確実に開くことができる。逆に、ロッド５０を開方向に回転させて、所定値より大きなトルクがかかって、挟持部３２の係合が解除され、ノブ１０が空回りした後で、ノブ１０を閉方向に回転しても、ノブ１０が空回りしてしまうことがなく、バルブを確実に閉じることができる。
スライドナット２０の材質を、ボディ７０とロッド保持部材８１の材質と違えればよいので、他の組み合わせであっても良い。

以上において、本発明を実施形態に即して説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、適宜変更して適用できることはいうまでもない。
（１）実施形態１，２では、スライドナット２０，１２０の係合周囲部２１，１２１を８つの外周面２１ａを八角形形状に繋げて構成した。しかしながら、ロッド送出部材の係合部材は、複数の面を多角形状に繋げて構成したものでも良い。
（２）例えば、実施形態３では、スライドナット２２０の係合周囲部２２１を、図９に示すように、その周方向に複数の凹部２２１Ｆを所定ピッチの間隔で断続的に配置して環状に繋げた。しかしながら、ロッド送出部材の係合部材の係合周囲部は、その周方向に複数の凸部を所定ピッチの間隔で断続的に配置して環状に繋げたものであっても良い。

（３）例えば、実施形態１〜３では、つまみ１０，１００，２００及びクリップ３０等の材質をフッ素系樹脂としたが、ノブ及び係合部材の材質は、例えば金属のように、ノブを所定値より大きいトルクをかけて回転したときに、弾性変形できる材質であれば良く、樹脂に限定するものではない。
（４）例えば、実施形態１では、インジケータ６１の標識を、色テープや着色塗料などで色分けしたものとした。しかしながら、インジケータとしては、へこみを設けたもの、あるいは、より正確な開弁度が分かるように目盛りを付したものなど、作業者が開弁度を識別できるものであれば何でもよい。

実施形態１に係る手動弁の構成を説明する説明図である。 図１に示す手動弁の要部を示すＡ−Ａ矢視断面図である。 実施形態１に係るつまみを示す図であり、（ａ）は側面図，（ｂ）は（ａ）におけるＢ−Ｂ矢視断面図である。 実施形態１に係るスライドナットを示す図であり、（ａ）側面側から見たときの断面図、（ｂ）は（ａ）におけるＣ−Ｃ矢視断面図である。 実施形態１に係る手動弁に構成されたクリップを示す図であり、（ａ）平面図、（ｂ）側面図である。 実施形態２に係る手動弁のうち、操作部を示す説明図である。 図６に示す操作部のＤ−Ｄ矢視断面図である。 実施形態３に係る手動弁のうち、操作部を示す説明図である。 図８に示す操作部のＥ−Ｅ矢視断面図である。 第４実施形態に係る手動弁の正面図である。 第４実施形態に係る手動弁の平面図である。 第４実施形態に係る手動弁の右側面図である。 図１０のＡＡ断面図である。 第５実施形態に係る手動弁の断面図である。 図１４のＸ部拡大図である。 従来の手動弁を説明するための説明図である。 従来の手動弁を説明するための説明図である。

符号の説明

１，１００，２００ 手動弁
ＶＬ 開閉方向
１０ つまみ（ノブ）
１１０，２１０ つまみ（ノブ，係合部材）
１０Ｈ，１１０Ｈ，２１０Ｈ （ノブの）貫通孔
１１３，２１３ 爪部（爪）
２０，１２０，２２０ スライドナット（ロッド送出部材）
２１，１２１，２２１ 係合周囲部
２１ａ，１２１ａ 外周面（複数の面）
２２，１２２，２２２ 雌ねじ部
２３，１２３，２２３ 雄ねじ部
２２１Ｆ 凹部
４１ 雌ねじ部
５０ ロッド
５１ （ロッドの）一端部
５２ 雄ねじ部
１１０，１１１ ＰＴＦＥシート

Claims (15)

1. 流入ポートと流出ポートとを連通する流体の流路に形成された弁座と、該弁座に当接または離間して流体の流れを制御する弁体と、該弁体と連結するロッドと、該弁体の開閉方向にロッドをねじ送りさせるノブと、を備え、該ノブの回転により、該ロッドを介して該弁体を移動させる手動弁において、
   前記ロッドは、その外周に雄ねじ部を有すると共に、前記ノブとは連結せず、かつ、回転止めされており、
   筒状であって、ボディに回転可能に保持され、内周に前記ロッドの雄ねじ部とねじ結合する雌ねじ部が形成されたロッド送出部材と、
   前記ノブに固定され、前記ロッド送出部材と弾性変形して係合し、所定値より大きいトルクがかかったときに、係合が解除される係合部材と、を有する、ことを特徴とする手動弁。
2. 請求項１に記載の手動弁において、
   前記ロッド送出部材は、複数の凹部あるいは凸部が所定ピッチの間隔で断続的に配置されて環状に繋がってなる、または、複数の面が環状に繋がってなる係合周囲部を有し、
   前記係合部材は、前記係合周囲部と係合する、ことを特徴とする手動弁。
3. 請求項２に記載の手動弁において、
   前記係合部材は、前記ノブとは別体であり、前記ノブに係止して、前記ロッド送出部材の係合周囲部の一部を弾性的に挟持する、ことを特徴とする手動弁。
4. 請求項２に記載の手動弁において、
   前記係合部材は、前記ノブと一体で前記開閉方向に延びる爪であり、前記ノブの径方向から前記ロッド送出部材の係合周囲部の一部を弾性的に挟持する、ことを特徴とする手動弁。
5. 請求項３または請求項４に記載の手動弁において、
   前記係合部材及び前記ロッド送出部材の少なくともいずれか一方は、樹脂からなる、ことを特徴とする手動弁。
6. 請求項１乃至請求項５に記載の手動弁のいずれか1つにおいて、
   前記ノブは、その中央部に貫通孔を有し、
   前記ロッドは、その端部に当該ロッドの位置が識別可能なインジケータを有すると共に、前記ロッド送出部材内に挿通されており、
   前記インジケータは、前記ロッドの移動に伴って、前記ノブの貫通孔内を出入りする、ことを特徴とする手動弁。
7. 請求項１乃至請求項６に記載する手動弁のいずれか１つにおいて、
   前記ロッド送出部材と係合が解除されるように、前記係合部材が弾性変形するのを制限する制限手段を有することを特徴とする手動弁。
8. 請求項７に記載する手動弁において、
   前記制限手段は、前記ノブと一体的に形成されていることを特徴とする手動弁。
9. 請求項７または請求項８に記載する手動弁において、
   前記制限手段の備える弾性変形力により、前記トルクの所定値を設定することを特徴とする手動弁。
10. 請求項１に記載する手動弁において、
    前記ロッド送出部材と前記ボディとの間に挟持された摺動シートを有することを特徴とする手動弁。
11. 請求項１０に記載する手動弁において、
    前記摺動シートが、ＰＴＦＥシートであることを特徴とする手動弁。
12. 請求項１に記載する手動弁において、
    前記ロッド送出部材と前記ボディの当接面の、少なくとも一方が表面処理されていることを特徴とする手動弁。
13. 請求項１２に記載する手動弁において、
    前記表面処理が、フッ素コーティングであることを特徴とする手動弁。
14. 請求項１に記載する手動弁において、
    前記ロッド送出部材と前記ボディが、摩擦係数の異なる材質で形成されていることを特徴とする手動弁。
15. 請求項１４に記載する手動弁において、
    前記ロッド送出部材の材質がＰＦＡであり、前記ボディの材質がＰＶＤＦであることを特徴とする手動弁。

Images