JP2004324661A - 手動弁 - Google Patents
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Abstract
【課題】取扱性を向上させることができる手動弁を提供すること。
【解決手段】入力ポート6と出力ポート7とを連通する弁座8を備えるボディ2につまみ12Aが螺合接続されており、つまみ12Aを回転させることにより弁開度を調整する手動弁1Aであって、つまみ12Aの開口部に内向きの凸部16を設けるとともに、ボディ2とつまみ12Aとの間でOリング15を狭持しており、つまみ12Aをボディ2から取り外すときに、Oリング15の弾性変形量が変化するようにする。
【選択図】 図1
【解決手段】入力ポート6と出力ポート7とを連通する弁座8を備えるボディ2につまみ12Aが螺合接続されており、つまみ12Aを回転させることにより弁開度を調整する手動弁1Aであって、つまみ12Aの開口部に内向きの凸部16を設けるとともに、ボディ2とつまみ12Aとの間でOリング15を狭持しており、つまみ12Aをボディ2から取り外すときに、Oリング15の弾性変形量が変化するようにする。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、つまみを手動で回転させることにより弁開度を調整する手動弁に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、手動弁は、半導体製造装置の流体制御機器の1つとして用いられている。手動弁は、薬液供給ユニットへの薬液の供給又は遮断を行う時、又、薬液のサンプリングを行う時などに操作する必要がある。そのため、図5に示すように、手動弁100は、つまみ101がボディ102に対して着脱可能に設けられ、つまみ101を取り外したボディ102をパネルマウントPの貫通孔P1に貫き通した後、ボディ102につまみ101をとりつけられるよう構成されている。
【0003】
手動弁100は、広く一般に知られているため、敢えて先行技術文献情報を開示しないが、念のためにその構造を図6及び図7に図示して説明する。ボディ102は、弁本体103、ダイアフラム押さえ104、シリンダ105などを連結したものである。弁本体103には、入力ポート106と出力ポート107が形成され、それらを連通する弁座108が設けられている。ダイアフラム弁体109は、周縁部が弁本体103とダイアフラム押さえ104との間で狭持され、中央部に弁軸110が螺設されている。弁軸110は、スプリング111により常に上向きの力が作用している。弁軸110の上端部は、袋状のつまみ101が当接している。つまみ101の内周面には、シリンダ105の外周面に形成された雄ネジに螺合する雌ネジが形成され、つまみ101を回転させることにより弁軸110を上下動させて弁開度を調整できるようになっている。調整した弁開度は、ロックナット112をつまみ101に固定することにより維持できる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の手動弁100は、以下の問題があった。
(1)手動弁100は、ロックナット112を弛めて、つまみ101を開方向に螺進させれば、つまみ101をボディ102から簡単に取り外すことができるものの、作業者は、つまみ101をどの程度回転させればボディ102から取り外すことができるか認識することができなかった。そのため、作業者は、つまみ101をボディ102から取り外すときに、つまみ101を回転させる勢いで手が滑り、つまみ101を床などに落としたり、紛失したりすることがあった。この場合、落としたつまみ101を探して拾い上げたり、ストックするつまみ101を保管場所までとりにいく必要があるため、作業性が低下する問題があった。こうした不具合を回避するため、作業者は、つまみ101を落下させないように注意して回転させる必要があり、手動弁100の取扱性が悪かった。特に、コンパクトな手動弁は、上記問題が顕著になる。
【0005】
(2)また、例えば、手動弁100をマニホールドで使用する場合、作業者の指を差し入れる隙間が狭かった。そのため、作業者は、ロックナット112を弛めた後につまみ101を所定量回転させ、その後にロックナット112でつまみ101を固定して弁開度を維持する作業を行うのが困難であり、最悪の場合には、ロックナット112でつまみ101を固定するときに、つまみ101がロックナット112と一緒に回転して弁開度が変わる不具合があった。
【0006】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、取扱性を向上させることができる手動弁を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る手動弁は、次のような構成を有している。
(1)入力ポートと出力ポートとを連通する弁座を備えるボディにつまみが螺合接続されており、つまみを回転させることにより弁開度を調整する手動弁において、つまみの開口部に内向きの凸部を設けるとともに、ボディとつまみとの間で弾性部材を狭持しており、つまみをボディから取り外すときに、弾性部材の弾性変形量が変化すること、を特徴とする。
【0008】
上記構成を有する発明では、つまみがボディに螺合接続している間、弾性部材は、つまみとボディとの間で押し潰されて弾性変形している。つまみは、弾性部材の反力が内周面に作用して回り止めされているため、弾性部材の反力に抗してつまみを回転させれば、弁開度を調整することができる。つまみを所定量回転させて弁開度を調整した後は、つまみが弾性部材の反力により回り止めされ、調整した弁開度を維持する。よって、弁開度を調整するときに、ロックナットを弛めてつまみから外したり、つまみに固定する必要がない。
【0009】
一方、つまみをボディから取り外す場合には、つまみを所定方向に回転させて取外方向に螺進させる。つまみは、ボディと螺合している間、弾性部材の反力が内周面に作用しているため、一定の回転抵抗が作用する。つまみを所定方向に回転させ続けていると、やがて、つまみの凸部が弾性部材にひっかかり、その後さらにつまみを所定方向に回転させると、つまみが取外方向に螺進して、凸部を弾性部材から外す。これにより、つまみをボディから取り外すことができるようになる。ここで、つまみは、凸部を弾性部材から外すときに、弾性部材の弾性変形量を大きくするため、回転抵抗が凸部を弾性部材に引っかける前より増加する。また、つまみは、凸部が弾性部材に引っかかっている間は、ボディから外れない。よって、つまみの回転抵抗の増加により、つまみがボディから外れる時期を認識することが可能であり、つまみの安易な脱落を防止する。
【0010】
尚、取り外したつまみは、ボディ5に被せて所定方向と反対方向に回転させれば、ボディに取り付けることができる。
【0011】
従って、本発明によれば、ロックナットでつまみを固定しなくても弾性部材でつまみを回り止めすることができるとともに、つまみの取り外し可能な時期を認識することができるので、取扱性を向上させることができる。
【0012】
(2)(1)に記載の発明において、凸部が弾性部材に接触する前に、つまみがボディに対して空回りすること、を特徴とする。
上記構成を有する発明では、つまみを所定方向に回転させて取外方向に螺進させていくと、つまみの凸部が弾性部材にひっかかって接触する前につまみが空回りする。この場合、つまみをいくら回転させても、取外方向の力がつまみに作用しない。一方、つまみは、凸部が弾性部材に引っかかって、ボディから外れない。よって、意図的につまみを取外方向に引っ張らないかぎり、つまみをボディから取り外すことができない。従って、本発明によれば、無意識につまみを取り外すことを防止することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
次に、本発明に係る手動弁の第1実施の形態について図面を参照して説明する。図1は、閉弁時の手動弁1Aの断面図である。図2は、開弁時の手動弁1Aの断面図である。
本実施の形態の手動弁1Aも、従来技術の欄で説明した手動弁100と同様に、半導体製造装置の流体制御機器の一つとして用いられる。そのため、パネルマウントP(図5参照)を取り付けられるように、つまみ12がボディ2に対して着脱できるよう構成されている。
【0014】
手動弁1Aのボディ2は、弁本体3、ダイアフラム押さえ4、シリンダ5などを連結したものである。弁本体3には、入力ポート6と出力ポート7が形成され、それらを連通する弁座8が設けられている。ダイアフラム弁体9は、周縁部が弁本体3とダイアフラム押さえ4との間で狭持され、中央部に弁軸10が螺設されている。弁軸10は、スプリング11により常に上向きの力が作用している。弁軸11の上端部には、つまみ12が当接している。つまみ12Aは、シリンダ5に螺合接続し、つまみ12を回転させることにより弁軸10を上下動させて弁開度を調整できるようになっている。
【0015】
シリンダ5は、上端部外周面に雄ネジ13が形成され、雄ネジ13の下方に環状溝14が断面長方形状に形成されている。環状溝14には、フッ素ゴムなどの弾性材料を材質とするOリング(「弾性部材」に相当するもの。)15が装着されている。Oリング15には、シリンダ5に螺合接続するつまみ12Aを固定するものであり、約5〜20%のつぶししろが設けられている。
【0016】
つまみ12Aは、一方に開口する袋形状をなし、環状の凸部16が開口部内周面から内向きに突き出すように設けられている。つまみ12Aの内周面には、凸部16側から順に摺接面17Aと雌ネジ18Aが形成されている。摺接面17Aは、シリンダ5の環状溝14に装着されたOリング15に摺接するものであり、シリンダ5の雄ネジ13を形成する長さL1と同程度又は短い長さL2で形成されている。雌ネジ18Aは、シリンダ5に形成した雄ネジ13に螺合するものであり、シリンダ5の雄ネジ13の長さL1と同程度又は長い長さL3で形成されている。
【0017】
このような手動弁1Aは、つまみ12Aを所定方向に回転させて図中上方向に螺進させると、弁軸10がスプリング11の付勢力で押し上げられ、ダイアフラム弁体9を弁座8から所定量離間させる。これにより、制御流体が入力ポート6から弁座8を介して出力ポート7に供給される。
一方、つまみ12Aを所定方向と反対方向に回転させて図中下方向に螺進させると、弁軸10がスプリング11の付勢力に抗してつまみ12Aに押し下げられ、ダイアフラム弁体9を弁座8に当接させる。これにより、制御流体が入力ポート6から出力ポート7に供給されなくなる。
【0018】
このようにしてつまみ12Aがボディ2のシリンダ5に螺合接続している間、Oリング15は、つまみ12Aの摺動面16Aとシリンダ5の環状溝14との間で押し潰されて弾性変形している。つまみ12Aは、Oリング15の反力が摺動面16Aに作用して回り止めされているため、Oリング15の反力に抗してつまみ12Aを回転させれば、弁開度を調整することができる。つまみ12Aを所定量回転させて弁開度を調整した後は、つまみ12AがOリング15の反力により回り止めされ、調整した弁開度を維持する。よって、弁開度を調整するときに、ロックナットを弛めてつまみ12Aから外したり、ロックナットをつまみ12Aに固定する必要がない。このことは、隣り合う手動弁1A同士が近接するときに、有益である。
【0019】
一方、つまみ12Aをボディ2のシリンダ5から取り外す場合には、つまみ12Aを所定方向に回転させて図中上方向に螺進させる。つまみ12Aは、ボディ2のシリンダ5と螺合している間、Oリング15の反力が摺動面16Aに作用しているため、一定の回転抵抗が作用する。つまみ12Aを所定方向に回転させ続けていると、やがて、つまみ12Aの凸部16がOリング15にひっかかり、その後さらにつまみ12Aを所定方向に回転させると、つまみ12Aが雌ネジ18Aと雄ネジ13とのネジ送りによって図中上方向に螺進して、凸部16をOリング15から外す。これにより、つまみ12Aをボディ2のシリンダ5から取り外すことができるようになる。
【0020】
ここで、つまみ12Aは、凸部16をOリング15から外すときに、Oリング15の弾性変形量を大きくするため、回転抵抗が凸部16をOリング15に引っかける前より増加する。また、つまみ12Aは、凸部16がOリング15に引っかかっている間は、ボディ2のシリンダ5から外れない。よって、つまみ12Aの回転抵抗の増加により、つまみ12Aがボディ2のシリンダ5から外れる時期を認識することが可能であり、つまみ12Aの安易な脱落を防止する。このことは、コンパクトで操作しにくいものに、特に有益である。
【0021】
尚、取り外したつまみ12Aは、ボディ2のシリンダ5に被せて所定方向と反対方向に回転させれば、ボディ2のシリンダ5に取り付けることができる。
【0022】
従って、本発明の手動弁1Aよれば、入力ポート6と出力ポート7とを連通する弁座8を備えるボディ2に袋状のつまみ12Aが螺合接続されており、つまみ12Aを回転させることにより弁開度を調整するものであって、つまみ12Aの開口部に内向きの凸部16を設けるとともに、ボディ2とつまみ12Aとの間でOリング15を狭持しており、つまみ12Aをボディ2から取り外すときに、Oリング15の弾性変形量が変化するので、ロックナットでつまみ12Aを固定しなくてもOリング15でつまみ12Aを回り止めすることができるとともに、つまみ12Aの取り外し可能な時期を回認識することができるようになり、取扱性を向上させることができる。
【0023】
こうした第1実施の形態の手動弁1Aは、つまみ12Aの凸部16がOリング15に引っかかった後、つまみ12Aを引っ張り上げなくても、つまみ12Aを所定方向に回転させれば、雌ネジ18Aと雄ネジ13のネジ送りによってつまみ12Aの凸部16をOリング15から簡単に外すことができる。
【0024】
ところが、このような手動弁1Aは、作業者が何かの拍子でつまみ12Aを回転させ過ぎたときでも、つまみ12Aがネジ送りで図中上方向に螺進し、凸部16をOリング15から外してしまう。この場合、作業者が、つまみ12Aから手を滑らせ、つまみ12Aを落下又は紛失させることも考えられる。この不具合を解消するために、第2実施の形態の手動弁1Bは、以下の工夫をしている。
【0025】
図3は、閉弁時の手動弁1Bの断面図である。図4は、開弁時の手動弁1Bの断面図である。
第2実施の形態の手動弁1Bは つまみ12Bが第1実施の形態のつまみ12Aと相違し、その他の構成は第1実施の形態の手動弁1Aと同様である。よって、ここでは、第1実施の形態の手動弁1Aと相違する点について説明し、同様の部分については説明を省略する。尚、第1実施の形態の手動弁1Aと同様の構成については図面に同一符号を付している。
【0026】
つまみ12Bは、一方に開口する袋形状をなし、環状の凸部16が開口部内周面から内向きに突き出すように設けられている。つまみ12Bの内周面には、凸部16側から順に摺接面17Bと雌ネジ18Bが形成されている。摺接面17Bは、シリンダ5の環状溝14に装着されたOリング15に摺接するものであり、シリンダ5の雄ネジ13を形成する長さL1より長い長さL4で形成されている。雌ネジ18Bは、シリンダ5に形成した雄ネジ13に螺合するものであり、シリンダ5の雄ネジ13の長さL1より短い長さL5で形成されている。従って、摺接面17Aは、雌ネジ18Bより長く形成され、凸部16がOリング15に接触する前に、つまみ12Aがボディ2のシリンダ5に対して空回りする。
【0027】
このような手動弁1Bは、つまみ12Bを所定方向に回転させて図中上方向に螺進させていくと、つまみ12Bの凸部16がOリング15にひっかかって接触する前に、つまみ12Bの雌ネジ18Bとシリンダ5の雄ネジ13との螺合が解除され、つまみ12Bがシリンダ5に対してが空回りする。この場合、つまみ12Bをいくら回転させても、ネジ送りによる図中上方向の力がつまみ12Bに作用しない。一方、つまみ12Bは、凸部16がOリング15に引っかかって、ボディ2のシリンダ5から外れない。よって、意図的につまみ12Bを図中上方向に引っ張り上げないかぎり、つまみ12Bをシリンダ5から取り外すことができない。
【0028】
従って、本実施の形態の手動弁1Bは、つまみ12Bの凸部16がOリング15に接触する前に、つまみ12Bがボディ2のシリンダ5に対して空回りするので、無意識につまみ12Bを取り外すことを防止することができる。
【0029】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
例えば、上記実施の形態では、パネルマウントを取り付ける手動弁1A,1Bについて説明したが、パネルマウントを取り付けない手動弁であってもよい。
例えば、上記実施の形態では、流量調整可能な手動弁について説明したが、流体を供給又は遮断のみする手動式開閉弁であってもよい。
例えば、上記実施の形態では、半導体製造工程で用いられる手動弁について説明したが、手動弁の用途は、これに限定されるものではない。
例えば、上記実施の形態では、袋状のつまみ12A,12Bを設けたが、円筒内壁に弁軸10に当接するよう鍔を設けた形状等のつまみを用いてもよい。
【0030】
【発明の効果】
本発明の手動弁によれば、入力ポートと出力ポートとを連通する弁座を備えるボディにつまみが螺合接続されており、つまみを回転させることにより弁開度を調整するものであって、つまみの開口部に内向きの凸部を設けるとともに、ボディとつまみとの間で弾性部材を狭持しており、つまみをボディから取り外すときに、弾性部材の弾性変形量が変化するので、ロックナットでつまみを固定しなくても弾性部材でつまみを回り止めすることができるとともに、つまみの取り外し可能な時期を認識することができるようになり、取扱性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施の形態に係り、閉弁時の手動弁の断面図である。
【図2】同じく、開弁時の手動弁の断面図である。
【図3】本発明の第2実施の形態に係り、閉弁時の手動弁の断面図である。
【図4】同じく、開弁時の手動弁の断面図である。
【図5】パネルマウントを取り付けられた手動弁を示す図である。
【図6】従来の手動弁の断面図であって、閉弁時を示す図である。
【図7】従来の手動弁の断面図であって、開弁時を示す図である。
【符号の説明】
1A,1B 手動弁
2 ボディ
6 入力ポート
7 出力ポート
8 弁座
9 ダイアフラム弁体
12A,12B つまみ
15 Oリング
16 凸部
【発明の属する技術分野】
本発明は、つまみを手動で回転させることにより弁開度を調整する手動弁に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、手動弁は、半導体製造装置の流体制御機器の1つとして用いられている。手動弁は、薬液供給ユニットへの薬液の供給又は遮断を行う時、又、薬液のサンプリングを行う時などに操作する必要がある。そのため、図5に示すように、手動弁100は、つまみ101がボディ102に対して着脱可能に設けられ、つまみ101を取り外したボディ102をパネルマウントPの貫通孔P1に貫き通した後、ボディ102につまみ101をとりつけられるよう構成されている。
【0003】
手動弁100は、広く一般に知られているため、敢えて先行技術文献情報を開示しないが、念のためにその構造を図6及び図7に図示して説明する。ボディ102は、弁本体103、ダイアフラム押さえ104、シリンダ105などを連結したものである。弁本体103には、入力ポート106と出力ポート107が形成され、それらを連通する弁座108が設けられている。ダイアフラム弁体109は、周縁部が弁本体103とダイアフラム押さえ104との間で狭持され、中央部に弁軸110が螺設されている。弁軸110は、スプリング111により常に上向きの力が作用している。弁軸110の上端部は、袋状のつまみ101が当接している。つまみ101の内周面には、シリンダ105の外周面に形成された雄ネジに螺合する雌ネジが形成され、つまみ101を回転させることにより弁軸110を上下動させて弁開度を調整できるようになっている。調整した弁開度は、ロックナット112をつまみ101に固定することにより維持できる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の手動弁100は、以下の問題があった。
(1)手動弁100は、ロックナット112を弛めて、つまみ101を開方向に螺進させれば、つまみ101をボディ102から簡単に取り外すことができるものの、作業者は、つまみ101をどの程度回転させればボディ102から取り外すことができるか認識することができなかった。そのため、作業者は、つまみ101をボディ102から取り外すときに、つまみ101を回転させる勢いで手が滑り、つまみ101を床などに落としたり、紛失したりすることがあった。この場合、落としたつまみ101を探して拾い上げたり、ストックするつまみ101を保管場所までとりにいく必要があるため、作業性が低下する問題があった。こうした不具合を回避するため、作業者は、つまみ101を落下させないように注意して回転させる必要があり、手動弁100の取扱性が悪かった。特に、コンパクトな手動弁は、上記問題が顕著になる。
【0005】
(2)また、例えば、手動弁100をマニホールドで使用する場合、作業者の指を差し入れる隙間が狭かった。そのため、作業者は、ロックナット112を弛めた後につまみ101を所定量回転させ、その後にロックナット112でつまみ101を固定して弁開度を維持する作業を行うのが困難であり、最悪の場合には、ロックナット112でつまみ101を固定するときに、つまみ101がロックナット112と一緒に回転して弁開度が変わる不具合があった。
【0006】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、取扱性を向上させることができる手動弁を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る手動弁は、次のような構成を有している。
(1)入力ポートと出力ポートとを連通する弁座を備えるボディにつまみが螺合接続されており、つまみを回転させることにより弁開度を調整する手動弁において、つまみの開口部に内向きの凸部を設けるとともに、ボディとつまみとの間で弾性部材を狭持しており、つまみをボディから取り外すときに、弾性部材の弾性変形量が変化すること、を特徴とする。
【0008】
上記構成を有する発明では、つまみがボディに螺合接続している間、弾性部材は、つまみとボディとの間で押し潰されて弾性変形している。つまみは、弾性部材の反力が内周面に作用して回り止めされているため、弾性部材の反力に抗してつまみを回転させれば、弁開度を調整することができる。つまみを所定量回転させて弁開度を調整した後は、つまみが弾性部材の反力により回り止めされ、調整した弁開度を維持する。よって、弁開度を調整するときに、ロックナットを弛めてつまみから外したり、つまみに固定する必要がない。
【0009】
一方、つまみをボディから取り外す場合には、つまみを所定方向に回転させて取外方向に螺進させる。つまみは、ボディと螺合している間、弾性部材の反力が内周面に作用しているため、一定の回転抵抗が作用する。つまみを所定方向に回転させ続けていると、やがて、つまみの凸部が弾性部材にひっかかり、その後さらにつまみを所定方向に回転させると、つまみが取外方向に螺進して、凸部を弾性部材から外す。これにより、つまみをボディから取り外すことができるようになる。ここで、つまみは、凸部を弾性部材から外すときに、弾性部材の弾性変形量を大きくするため、回転抵抗が凸部を弾性部材に引っかける前より増加する。また、つまみは、凸部が弾性部材に引っかかっている間は、ボディから外れない。よって、つまみの回転抵抗の増加により、つまみがボディから外れる時期を認識することが可能であり、つまみの安易な脱落を防止する。
【0010】
尚、取り外したつまみは、ボディ5に被せて所定方向と反対方向に回転させれば、ボディに取り付けることができる。
【0011】
従って、本発明によれば、ロックナットでつまみを固定しなくても弾性部材でつまみを回り止めすることができるとともに、つまみの取り外し可能な時期を認識することができるので、取扱性を向上させることができる。
【0012】
(2)(1)に記載の発明において、凸部が弾性部材に接触する前に、つまみがボディに対して空回りすること、を特徴とする。
上記構成を有する発明では、つまみを所定方向に回転させて取外方向に螺進させていくと、つまみの凸部が弾性部材にひっかかって接触する前につまみが空回りする。この場合、つまみをいくら回転させても、取外方向の力がつまみに作用しない。一方、つまみは、凸部が弾性部材に引っかかって、ボディから外れない。よって、意図的につまみを取外方向に引っ張らないかぎり、つまみをボディから取り外すことができない。従って、本発明によれば、無意識につまみを取り外すことを防止することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
次に、本発明に係る手動弁の第1実施の形態について図面を参照して説明する。図1は、閉弁時の手動弁1Aの断面図である。図2は、開弁時の手動弁1Aの断面図である。
本実施の形態の手動弁1Aも、従来技術の欄で説明した手動弁100と同様に、半導体製造装置の流体制御機器の一つとして用いられる。そのため、パネルマウントP(図5参照)を取り付けられるように、つまみ12がボディ2に対して着脱できるよう構成されている。
【0014】
手動弁1Aのボディ2は、弁本体3、ダイアフラム押さえ4、シリンダ5などを連結したものである。弁本体3には、入力ポート6と出力ポート7が形成され、それらを連通する弁座8が設けられている。ダイアフラム弁体9は、周縁部が弁本体3とダイアフラム押さえ4との間で狭持され、中央部に弁軸10が螺設されている。弁軸10は、スプリング11により常に上向きの力が作用している。弁軸11の上端部には、つまみ12が当接している。つまみ12Aは、シリンダ5に螺合接続し、つまみ12を回転させることにより弁軸10を上下動させて弁開度を調整できるようになっている。
【0015】
シリンダ5は、上端部外周面に雄ネジ13が形成され、雄ネジ13の下方に環状溝14が断面長方形状に形成されている。環状溝14には、フッ素ゴムなどの弾性材料を材質とするOリング(「弾性部材」に相当するもの。)15が装着されている。Oリング15には、シリンダ5に螺合接続するつまみ12Aを固定するものであり、約5〜20%のつぶししろが設けられている。
【0016】
つまみ12Aは、一方に開口する袋形状をなし、環状の凸部16が開口部内周面から内向きに突き出すように設けられている。つまみ12Aの内周面には、凸部16側から順に摺接面17Aと雌ネジ18Aが形成されている。摺接面17Aは、シリンダ5の環状溝14に装着されたOリング15に摺接するものであり、シリンダ5の雄ネジ13を形成する長さL1と同程度又は短い長さL2で形成されている。雌ネジ18Aは、シリンダ5に形成した雄ネジ13に螺合するものであり、シリンダ5の雄ネジ13の長さL1と同程度又は長い長さL3で形成されている。
【0017】
このような手動弁1Aは、つまみ12Aを所定方向に回転させて図中上方向に螺進させると、弁軸10がスプリング11の付勢力で押し上げられ、ダイアフラム弁体9を弁座8から所定量離間させる。これにより、制御流体が入力ポート6から弁座8を介して出力ポート7に供給される。
一方、つまみ12Aを所定方向と反対方向に回転させて図中下方向に螺進させると、弁軸10がスプリング11の付勢力に抗してつまみ12Aに押し下げられ、ダイアフラム弁体9を弁座8に当接させる。これにより、制御流体が入力ポート6から出力ポート7に供給されなくなる。
【0018】
このようにしてつまみ12Aがボディ2のシリンダ5に螺合接続している間、Oリング15は、つまみ12Aの摺動面16Aとシリンダ5の環状溝14との間で押し潰されて弾性変形している。つまみ12Aは、Oリング15の反力が摺動面16Aに作用して回り止めされているため、Oリング15の反力に抗してつまみ12Aを回転させれば、弁開度を調整することができる。つまみ12Aを所定量回転させて弁開度を調整した後は、つまみ12AがOリング15の反力により回り止めされ、調整した弁開度を維持する。よって、弁開度を調整するときに、ロックナットを弛めてつまみ12Aから外したり、ロックナットをつまみ12Aに固定する必要がない。このことは、隣り合う手動弁1A同士が近接するときに、有益である。
【0019】
一方、つまみ12Aをボディ2のシリンダ5から取り外す場合には、つまみ12Aを所定方向に回転させて図中上方向に螺進させる。つまみ12Aは、ボディ2のシリンダ5と螺合している間、Oリング15の反力が摺動面16Aに作用しているため、一定の回転抵抗が作用する。つまみ12Aを所定方向に回転させ続けていると、やがて、つまみ12Aの凸部16がOリング15にひっかかり、その後さらにつまみ12Aを所定方向に回転させると、つまみ12Aが雌ネジ18Aと雄ネジ13とのネジ送りによって図中上方向に螺進して、凸部16をOリング15から外す。これにより、つまみ12Aをボディ2のシリンダ5から取り外すことができるようになる。
【0020】
ここで、つまみ12Aは、凸部16をOリング15から外すときに、Oリング15の弾性変形量を大きくするため、回転抵抗が凸部16をOリング15に引っかける前より増加する。また、つまみ12Aは、凸部16がOリング15に引っかかっている間は、ボディ2のシリンダ5から外れない。よって、つまみ12Aの回転抵抗の増加により、つまみ12Aがボディ2のシリンダ5から外れる時期を認識することが可能であり、つまみ12Aの安易な脱落を防止する。このことは、コンパクトで操作しにくいものに、特に有益である。
【0021】
尚、取り外したつまみ12Aは、ボディ2のシリンダ5に被せて所定方向と反対方向に回転させれば、ボディ2のシリンダ5に取り付けることができる。
【0022】
従って、本発明の手動弁1Aよれば、入力ポート6と出力ポート7とを連通する弁座8を備えるボディ2に袋状のつまみ12Aが螺合接続されており、つまみ12Aを回転させることにより弁開度を調整するものであって、つまみ12Aの開口部に内向きの凸部16を設けるとともに、ボディ2とつまみ12Aとの間でOリング15を狭持しており、つまみ12Aをボディ2から取り外すときに、Oリング15の弾性変形量が変化するので、ロックナットでつまみ12Aを固定しなくてもOリング15でつまみ12Aを回り止めすることができるとともに、つまみ12Aの取り外し可能な時期を回認識することができるようになり、取扱性を向上させることができる。
【0023】
こうした第1実施の形態の手動弁1Aは、つまみ12Aの凸部16がOリング15に引っかかった後、つまみ12Aを引っ張り上げなくても、つまみ12Aを所定方向に回転させれば、雌ネジ18Aと雄ネジ13のネジ送りによってつまみ12Aの凸部16をOリング15から簡単に外すことができる。
【0024】
ところが、このような手動弁1Aは、作業者が何かの拍子でつまみ12Aを回転させ過ぎたときでも、つまみ12Aがネジ送りで図中上方向に螺進し、凸部16をOリング15から外してしまう。この場合、作業者が、つまみ12Aから手を滑らせ、つまみ12Aを落下又は紛失させることも考えられる。この不具合を解消するために、第2実施の形態の手動弁1Bは、以下の工夫をしている。
【0025】
図3は、閉弁時の手動弁1Bの断面図である。図4は、開弁時の手動弁1Bの断面図である。
第2実施の形態の手動弁1Bは つまみ12Bが第1実施の形態のつまみ12Aと相違し、その他の構成は第1実施の形態の手動弁1Aと同様である。よって、ここでは、第1実施の形態の手動弁1Aと相違する点について説明し、同様の部分については説明を省略する。尚、第1実施の形態の手動弁1Aと同様の構成については図面に同一符号を付している。
【0026】
つまみ12Bは、一方に開口する袋形状をなし、環状の凸部16が開口部内周面から内向きに突き出すように設けられている。つまみ12Bの内周面には、凸部16側から順に摺接面17Bと雌ネジ18Bが形成されている。摺接面17Bは、シリンダ5の環状溝14に装着されたOリング15に摺接するものであり、シリンダ5の雄ネジ13を形成する長さL1より長い長さL4で形成されている。雌ネジ18Bは、シリンダ5に形成した雄ネジ13に螺合するものであり、シリンダ5の雄ネジ13の長さL1より短い長さL5で形成されている。従って、摺接面17Aは、雌ネジ18Bより長く形成され、凸部16がOリング15に接触する前に、つまみ12Aがボディ2のシリンダ5に対して空回りする。
【0027】
このような手動弁1Bは、つまみ12Bを所定方向に回転させて図中上方向に螺進させていくと、つまみ12Bの凸部16がOリング15にひっかかって接触する前に、つまみ12Bの雌ネジ18Bとシリンダ5の雄ネジ13との螺合が解除され、つまみ12Bがシリンダ5に対してが空回りする。この場合、つまみ12Bをいくら回転させても、ネジ送りによる図中上方向の力がつまみ12Bに作用しない。一方、つまみ12Bは、凸部16がOリング15に引っかかって、ボディ2のシリンダ5から外れない。よって、意図的につまみ12Bを図中上方向に引っ張り上げないかぎり、つまみ12Bをシリンダ5から取り外すことができない。
【0028】
従って、本実施の形態の手動弁1Bは、つまみ12Bの凸部16がOリング15に接触する前に、つまみ12Bがボディ2のシリンダ5に対して空回りするので、無意識につまみ12Bを取り外すことを防止することができる。
【0029】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
例えば、上記実施の形態では、パネルマウントを取り付ける手動弁1A,1Bについて説明したが、パネルマウントを取り付けない手動弁であってもよい。
例えば、上記実施の形態では、流量調整可能な手動弁について説明したが、流体を供給又は遮断のみする手動式開閉弁であってもよい。
例えば、上記実施の形態では、半導体製造工程で用いられる手動弁について説明したが、手動弁の用途は、これに限定されるものではない。
例えば、上記実施の形態では、袋状のつまみ12A,12Bを設けたが、円筒内壁に弁軸10に当接するよう鍔を設けた形状等のつまみを用いてもよい。
【0030】
【発明の効果】
本発明の手動弁によれば、入力ポートと出力ポートとを連通する弁座を備えるボディにつまみが螺合接続されており、つまみを回転させることにより弁開度を調整するものであって、つまみの開口部に内向きの凸部を設けるとともに、ボディとつまみとの間で弾性部材を狭持しており、つまみをボディから取り外すときに、弾性部材の弾性変形量が変化するので、ロックナットでつまみを固定しなくても弾性部材でつまみを回り止めすることができるとともに、つまみの取り外し可能な時期を認識することができるようになり、取扱性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施の形態に係り、閉弁時の手動弁の断面図である。
【図2】同じく、開弁時の手動弁の断面図である。
【図3】本発明の第2実施の形態に係り、閉弁時の手動弁の断面図である。
【図4】同じく、開弁時の手動弁の断面図である。
【図5】パネルマウントを取り付けられた手動弁を示す図である。
【図6】従来の手動弁の断面図であって、閉弁時を示す図である。
【図7】従来の手動弁の断面図であって、開弁時を示す図である。
【符号の説明】
1A,1B 手動弁
2 ボディ
6 入力ポート
7 出力ポート
8 弁座
9 ダイアフラム弁体
12A,12B つまみ
15 Oリング
16 凸部
Claims (2)
- 入力ポートと出力ポートとを連通する弁座を備えるボディにつまみが螺合接続されており、前記つまみを回転させることにより弁開度を調整する手動弁において、
前記つまみの開口部に内向きの凸部を設けるとともに、
前記ボディと前記つまみとの間で弾性部材を狭持しており、
前記つまみを前記ボディから取り外すときに、前記弾性部材の弾性変形量が変化すること、を特徴とする手動弁。 - 請求項1に記載する手動弁において、
前記凸部が前記弾性部材に接触する前に、前記つまみが前記ボディに対して空回りすること、を特徴とする手動弁。
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