JP2012189088A - 手動弁 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ロッドガイド81の上面には、Oリング87が配置された環状の凹溝86が形成され、ロッド50の下方への移動に伴ってストッパーリング58の下面がOリング87の上面に当接する。つまみ10をさらに回転させると、弁体63の変形に伴う抗力に加えて、Oリング87が凹溝86の側壁に当接したのちに凹溝86内に充填されるように弾性変形するために、つまみ10の操作が更に急速に重くなる。このようになると、作業者は、弁を閉鎖状態まで完全に操作したものと感じ、つまみ10の回転操作を完了する。
【選択図】 図1
Description
この特許文献1の手動弁301Aでは、つまみ312の回転操作により、つまみ312が、弁軸310と当接した状態でねじ送りにされると、弁軸310は、スプリング311の付勢力に抗して、開閉方向に移動し、弁開度が調整できるようになっている。
(1)弁体が当接又は離間する弁座を備える匡体と、一端側が前記弁体と連結され、他端側が前記筐体外に突出するロッドと、前記ロッドの他端部側に配置され、前記弁体の開閉方向に前記ロッドを移動させるためのノブとを備え、前記ノブの回転により、前記ロッドを介して前記弁体を移動させる手動弁において、前記弁体及び弁座の相互に当接する部分が平面状に形成され、前記匡体内に配置され、前記ロッドの、前記弁体の閉方向の移動に伴って弾性変形して、前記ノブ部の回転操作力を増大させる弾性部材を有することを特徴とする。
(3)(2)に記載の手動弁において、前記匡体は、前記弁座を備える弁本体と、その弁本体の上方を覆うように弁本体に連結されたカバー部材とから構成され、前記案内部材は、弁本体と前記カバー部材との間に挟持されることにより前記匡体内に固定されていることを特徴とする。
(5)(2)または(3)に記載の手動弁において、前記弾性部材は、前記ロッドを囲むリング状に形成されると共に、その断面形状において底面側が上面側に比べて長辺に形成されていることを特徴とする。
(3)(2)に記載の手動弁において、前記匡体は、前記弁座を備える弁本体と、その弁本体の上方を覆うように弁本体に連結されたカバー部材とから構成され、前記案内部材は、弁本体と前記カバー部材との間に挟持されることにより前記匡体内に固定されているので、簡単な構造で、且つノブを過度に回転させて弁体が弁座を過度に押圧することがなく、したがって弁体の押圧による弁座の損傷が防止できる。
(5)(2)または(3)に記載の手動弁において、前記弾性部材は、前記ロッドを囲むリング状に形成されると共に、その断面形状において底面側が上面側に比べて長辺に形成されているので、簡単な構造で、且つノブの回転操作により弁体が弁座を過度に押圧することがなく、したがって弁体の過度の押圧による弁座の損傷が防止できる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図1は、本実施形態に係る手動弁の構成を示す断面図である。図2は、手動弁の側面図である。図3は、図1に示す手動弁のI−I線における中央付近の断面図である。図4は、図1に示す手動弁のII−II線における中央付近の断面図である。
手動弁1は、例えば、半導体製造装置において、薬液供給ユニットに供給する薬液(流体)の流量を制御する薬液弁や、薬液をサンプリングするときの薬液採取バルブ等として用いられる。ここでは、接続呼び1/2inchの手動弁1を例として、以下に説明する。
操作部2はさらに、つまみ10、スライドナット20、止めネジ30及びストッパーネジ40等からなる。
つまみ10は、例えば、フッ素系樹脂等のような耐酸性(または耐アルカリ性)を有する樹脂からなり、図1に示すように、その中央部に、図1において上下方向に貫通する貫通孔10Hを有する略円筒状の形状をなしている。
前記駆動伝達部3は、この発明のカバー部材に相当するカバー80、この発明の案内部材に相当するロッドガイド81、ロッド50などから構成されている。前記カバー80は、略円筒状をなしており、その上方部分の内部には、前記スライドナット20の膨径部24が配置されている。また、前記カバー80の下方部分の内部には、前記ロッドガイド81が配置されており、したがって、前記スライドナット20は、その膨径部24が前記カバー80の上部と前記ロッドガイド81との間に挟まれた状態で、前記カバー80内で回転可能に保持されている。さらに、前記カバー80の上方部分には、ストッパーネジ40が螺着されており、ストッパーネジ40を前記スライドナット20に向かってねじ込むことにより、前記スライドナット20の回転を規制することができる。
なお、図示しないが、インジケータ61には弁開度を識別するための標識を付している。この標識は、例えば色テープや着色塗料などにより、弁開度に対応した色分けで識別されたものとなっている。
弁機構部4は、弁体保持部材62、弁体63及び弁本体90等から構成されている。弁体保持部材62は、前記ロッド50の下端に一体に固着されていて、ダイアフラムである弁体63とも固着されている。弁本体90には、第1ポート91及び第2ポート92と、弁座93とを有している。
まず、手動弁1を開弁状態から閉弁状態にする場合について説明をする。図5には、手動弁1の開弁状態を示す説明図である。図5に示す手動弁1の開弁状態から、図1に示す閉弁状態にするには、まず、作業者がつまみ10を指でつまんで一方向(例えば右回り)に回転させると、スライドナット20とつまみ10とが共に同方向に回転し、このスライドナット20の回転によって、ロッド50が図5の状態から弁体63の閉方向である下方向へ移動する。
90・・・弁本体
80・・・カバー
50・・・ロッド
10・・・つまみ
81・・・ロッドガイド
63・・・弁体
93・・・弁座
86・・・凹溝
87・・・Oリング
58・・・ストッパーリング
Claims (5)
- 弁体が当接又は離間する弁座を備える匡体と、一端側が前記弁体と連結され、他端側が前記筐体外に突出するロッドと、前記ロッドの他端部側に配置され、前記弁体の開閉方向に前記ロッドを移動させるためのノブとを備え、前記ノブの回転により、前記ロッドを介して前記弁体を移動させる手動弁において、
前記弁体及び弁座の相互に当接する部分が平面状に形成され、
前記匡体内に配置され、前記ロッドの、前記弁体の閉方向の移動に伴って弾性変形して、前記ノブ部の回転操作力を増大させる弾性部材を有することを特徴とする手動弁。 - 請求項1に記載の手動弁において、
前記匡体内には、前記ロッドが貫通してロッドの移動を案内する案内部材を備え、
前記弾性部材は、前記ロッドを囲む環状形状をなして前記案内部材上に支持されていると共に、前記ロッドには、そのロッドの移動に伴って前記弾性部材に当接する当接部材が設けられていることを特徴とする手動弁。 - 請求項2に記載の手動弁において、
前記匡体は、前記弁座を備える弁本体と、その弁本体の上方を覆うように弁本体に連結されたカバー部材とから構成され、前記案内部材は、弁本体と前記カバー部材との間に挟持されることにより前記匡体内に固定されていることを特徴とする手動弁。 - 請求項2又は請求項3に記載の手動弁において、
前記案内部材の、前記ロッドの他端部側面には、前記ロッドを囲うようにして環状の溝部が形成され、前記弾性部材は、Oリングで構成されると共にその溝部内に保持されており、
前記溝部の幅は、前記弁体の閉方向への移動途中において、前記弾性部材の弾性変形に伴って弾性部材が溝部を区画する壁面に接触するような幅に設定されていることを特徴とする手動弁。 - 請求項2または請求項3に記載の手動弁において、
前記弾性部材は、前記ロッドを囲むリング状に形成されると共に、その断面形状において底面側が上面側に比べて長辺に形成されていることを特徴とする手動弁。
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- 2011-03-08 JP JP2011050729A patent/JP5467066B2/ja active Active
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