KR20180011736A - 매니폴드 장치 - Google Patents

Abstract

매니폴드 장치(10A)는, 일렬로 연결된 복수의 매니폴드 블록(12)을 구비한다. 각각의 매니폴드 블록(12)에 있어서, 분기 포트(36)의 축선(Ax2)은, 메인 포트(34)의 축선(Ax1)에 대해서 연결방향과 직교하는 방향으로 어긋나게 위치되어 있다. 복수의 매니폴드 블록(12)은, 서로 인접하는 일측의 매니폴드 블록(12)을 타측의 매니폴드 블록(12)에 대해서 분기 포트(36)의 축선방향 및 연결방향과 직교하는 방향으로 180도 반전시킨 상태로 연결 가능하도록 구성되어 있다.

Description

매니폴드 장치 {MANIFOLD APPARATUS}

본 발명은, 일렬로 연결된 복수의 매니폴드 블록을 구비한 매니폴드 장치에 관한 것이다.

종래로부터, 물 등의 유체를 분기 또는 집합시키기 위한 매니폴드 장치가 널리 이용되고 있다. 예를 들면, 일본 공개특허 특개2007－056975호 공보에는, 본관과, 본관에 일체로 설치된 복수의 분기관을 구비한 매니폴드 장치가 개시되어 있다. 이들 분기관의 축선은, 본관의 축선에 대해서 직교하는 동시에 일렬로 늘어서 있다. 분기관으로부터 돌출하는 각 분기관의 돌출단부에는, 분기관에 대해서 분기 배관을 부착시키기 위한 접속부재(배관 어댑터)가 설치되어 있다.

그렇지만, 상술한 일본 공개특허 특개2007－056975호 공보와 같은 종래 기술에서는, 복수의 분기관의 축선이 본관의 축선에 대해서 직교하는 동시에 일렬로 늘어서 있기 때문에, 각 분기관의 접속부재에 대해서 분기 배관을 착탈할 때에, 인접하는 배관이 서로 간섭되는 일이 있다. 그 때문에, 접속부재에 대한 분기 배관의 착탈 작업을 효율적으로 실시할 수 없을 우려가 있다.

본 발명은, 이러한 과제를 고려하여 이루어진 것으로서, 접속부재에 대한 분기 배관의 착탈 작업을 효율적으로 실시할 수 있는 매니폴드 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 따른 매니폴드 장치는, 일렬로 연결된 복수의 매니폴드 블록과, 각각의 상기 매니폴드 블록의 외측면에 설치되어, 분기 배관이 착탈 가능한 복수의 접속부재를 구비하며, 각각의 상기 매니폴드 블록에는, 복수의 상기 매니폴드 블록의 연결방향을 따라서 상기 매니폴드 블록을 관통하여 형성되고, 또한 유체가 유동하는 메인 포트와, 상기 매니폴드 블록의 상기 외측면에 개구되어, 상기 접속부재에 장착된 상기 분기 배관의 내부구멍 및 상기 메인 포트를 서로 연통시키는 분기 포트가 형성되며, 각각의 상기 분기 포트의 축선은, 상기 메인 포트의 축선에 대해서 상기 연결방향과 직교하는 방향으로 어긋나게 위치되며, 복수의 상기 매니폴드 블록은, 서로 인접하는 일측의 매니폴드 블록을 타측의 매니폴드 블록에 대해서 상기 분기 포트의 축선방향 및 상기 연결방향과 직교하는 방향으로 180도 반전시킨 상태로 연결 가능하도록 구성되어 있는, 것을 특징으로 한다.

이러한 구성에 의하면, 서로 인접하는 일측의 매니폴드 블록을 타측의 매니폴드 블록에 대해서 분기 포트의 축선방향 및 연결방향과 직교하는 방향으로 180도 반전시킨 상태로 연결하는 것에 의해, 서로 인접하는 매니폴드 블록에 설치된 접속부재를 지그재그 형상으로 배치할 수 있다. 이것에 의해, 접속부재에 대한 분기 배관의 착탈 작업을 효율적으로 실시할 수 있다.

상기의 매니폴드 장치에 있어서, 상기 접속부재는, 각각의 상기 매니폴드 블록에 1개씩 설치될 수 있다.

이러한 구성에 의하면, 모든 접속부재를 지그재그 형상으로 배치할 수 있으므로, 접속부재에 대한 배관의 착탈 작업을 한층 효율적으로 실시할 수 있다.

상기의 매니폴드 장치에 있어서, 서로 연결되는 복수의 상기 매니폴드 블록을 상기 연결방향에서 사이에 끼우도록 배치되는 2개의 메인 어댑터를 더 구비하며, 상기 메인 포트는 상기 메인 어댑터에 착탈 가능하며, 상기 메인 포트는 상기 메인 어댑터에 장착된 상기 메인 배관의 내부구멍에 연통할 수 있다.

이러한 구성에 의하면, 메인 배관으로부터 메인 포트로의 유체의 유입 또는 메인 포트로부터 메인 배관으로의 유체의 유출을 실시할 수 있다.

상기의 매니폴드 장치에 있어서, 각각의 상기 매니폴드 블록은, 상기 메인 포트로서의 내부구멍을 가지는 내관부와, 상기 내관부의 외주측에 위치하고, 상기 내관부보다 상기 연결방향의 양측으로 연장되는 외관부와, 상기 내관부 및 상기 외관부를 서로 연결하는 내측 연결부를 가지며, 상기 매니폴드 장치는, 서로 인접하는 각각의 상기 외관부에 끼워져, 서로 인접하는 상기 내관부의 상기 내부구멍끼리를 연통시키는 연결관을 더 구비할 수 있다.

이러한 구성에 의하면, 서로 인접하는 매니폴드 블록의 메인 포트끼리를 연결관에 의해서 확실하게 연통시킬 수 있다.

상기의 매니폴드 장치에 있어서, 각각의 상기 매니폴드 블록은, 상기 외관부의 외주측에 위치하고, 상기 매니폴드 블록의 상기 외측면을 구성하는 사각 링 형상의 외측 틀부와, 상기 외관부 및 상기 외측 틀부를 서로 연결하는 외측 연결부를 가지고 있을 수 있다.

이러한 구성에 의하면, 매니폴드 블록을 간단한 구성으로 할 수 있는 동시에 외측 틀부의 외주면에 접속부재를 용이하게 설치할 수 있다.

상기의 매니폴드 장치에 있어서, 상기 매니폴드 장치는, 상기 접속부재를 상기 매니폴드 블록에 부착시키기 위한 나사부재와, 상기 외측 틀부 및 상기 외관부의 사이에 삽입 가능한 고정부재를 구비하며, 상기 접속부재에는, 상기 나사부재가 삽입되는 복수의 나사 삽입구멍이 형성되며, 상기 외측 틀부에는, 상기 나사부재가 삽입 가능한 복수의 관통구멍이 형성되며, 상기 고정부재에는, 상기 나사부재를 나사결합 가능한 복수의 설치구멍이 형성되며, 상기 접속부재와 상기 고정부재는, 복수의 상기 나사 삽입구멍의 피치가 상이한 복수 종류의 접속부재와 상기 피치에 대응하는 피치의 상기 설치구멍이 형성된 복수 종류의 고정부재로 교환 가능하며, 각각의 상기 관통구멍은, 복수 종류의 상기 접속부재의 상기 나사 삽입구멍과 복수 종류의 상기 설치구멍에 연통 가능한 크기로 형성될 수 있다.

이러한 구성에 의하면, 매니폴드 블록에 대해서 복수 종류의 접속부재를 부착시킬 수 있다. 또, 예를 들면, 1개의 매니폴드 장치에 복수 종류의 접속부재를 혼재시킬 수 있기 때문에, 매니폴드 장치의 설계 자유도를 향상시킬 수 있다.

상기의 매니폴드 장치에 있어서, 서로 연결된 복수의 상기 매니폴드 블록을 지지하는 다리부를 더 구비하며, 상기 다리부는, 상기 매니폴드 블록의 상기 외측면 중 상기 접속부재가 설치되는 부위와는 상이한 부위에 부착될 수 있다.

이러한 구성에 의하면, 다리부에 의해서 매니폴드 장치를 안정되게 설치할 수 있다. 또, 매니폴드 블록의 연결 개수가 비교적 많은 경우에도 자중에 의해서 매니폴드 장치가 휘어지는 것을 억제할 수 있다.

상기의 매니폴드 장치에 있어서, 각각의 상기 매니폴드 블록의 상기 외측면에는, 상기 연결방향으로 개구되는 절결부가 형성되며, 서로 인접하는 상기 매니폴드 블록의 상기 절결부끼리가 서로 연통하는 것에 의해서 장착구멍이 형성되며, 상기 다리부는, 상기 장착구멍에 착탈 가능한 축부를 가질 수 있다.

이러한 구성에 의하면, 다리부를 매니폴드 블록에 대해서 간단하게 착탈할 수 있다.

상기의 매니폴드 장치에 있어서, 상기 접속부재는, 상기 분기 배관이 착탈 가능한 분기 어댑터와, 상기 분기 어댑터 및 상기 매니폴드 블록을 연결하는 접속부재 본체를 구비할 수 있다.

이러한 구성에 의하면, 매니폴드 블록에 장착되어 있는 접속부재를 다른 접속부재로 용이하게 교환할 수 있다.

상기의 매니폴드 장치에 있어서, 상기 접속부재 본체는, 유량 조정 밸브, 스톱 밸브 및 유량계 중 적어도 하나를 가질 수 있다.

이러한 구성에 의하면, 매니폴드 장치의 컴팩트화를 도모하면서 설계 자유도를 높일 수 있다.

상기의 매니폴드 장치에 있어서, 상기 접속부재 본체는, 상기 분기 어댑터의 내부구멍 및 상기 분기 포트를 연통시키는 유체 유로가 형성된 연결 블록을 가지며, 상기 유체 유로는, 상기 연결 블록의 제1 외면에 개구되어 상기 분기 포트에 연통하는 제1 연통 포트와, 상기 제1 외면에 대해서 수직으로 연장되는 제2 외면에 개구되어 상기 분기 어댑터의 내부구멍에 연통하는 제2 연통 포트를 가질 수 있다.

이러한 구성에 의하면, 매니폴드 블록에 대한 분기 어댑터의 방향을 용이하게 변경할 수 있다.

상기의 매니폴드 장치에 있어서, 상기 접속부재 본체는, 상기 매니폴드 블록의 상기 외측면에 설치된 중간 블록과, 상기 중간 블록에 설치된 제1 개폐밸브 및 제2 개폐밸브를 가지며, 상기 중간 블록에는, 상기 분기 어댑터의 내부구멍에 연통하는 중간 유로와, 상기 분기 포트 및 상기 중간 유로를 연통시키는 제1 포트와, 상기 분기 포트를 통하여 유동하는 유체와는 상이한 유체가 유동하고, 상기 중간 유로에 연통하는 제2 포트가 형성되며, 상기 제1 개폐밸브는, 상기 제1 포트를 개폐 가능하게 설치되고, 상기 제2 개폐밸브는, 상기 제2 포트를 개폐 가능하게 설치될 수 있다.

이러한 구성에 의하면, 예를 들면, 2 종류의 유체를 선택적으로 분기 배관을 통하여 유동시킬 수 있다.

상기의 매니폴드 장치에 있어서, 상기 매니폴드 장치는, 유체 공급원으로부터 공급된 유체를 복수의 유로로 분기시켜 복수의 유체 공급처로 안내하는 제1 유닛과, 각각의 상기 유체 공급처에서 이용된 상기 유체를 집합시켜 상기 유체 공급원으로 안내하는 제2 유닛을 구비하며, 상기 제1 유닛 및 상기 제2 유닛의 각각은, 상기 접속부재가 설치된 복수의 상기 매니폴드 블록이 연결되어 구성될 수 있다.

이러한 구성에 의하면, 간단한 구성에 의해, 유체 공급원으로부터 공급된 유체를 제1 유닛, 복수의 유체 공급처 및 제2 유닛을 통하여 유체 공급원으로 복귀시킬 수 있다.

상기의 매니폴드 장치에 있어서, 상기 제1 유닛 및 상기 제2 유닛은, 상기 매니폴드 블록이 서로 연결되는 것에 의해서 일체로 설치되며, 상기 제1 유닛 및 상기 제2 유닛의 사이에는, 서로 인접하는 상기 매니폴드 블록의 상기 메인 포트끼리의 연통을 차단하는 폐쇄부재가 설치될 수 있다.

이러한 구성에 의하면, 예를 들면, 소정의 유체 공급처에 유체를 공급하는 제1 유닛과 상기 유체 공급처에서 이용된 유체가 도입되는 제2 유닛을 복수의 매니폴드 블록의 연결방향으로 일체로 설치할 수 있다.

상기의 매니폴드 장치에 있어서, 상기 매니폴드 블록에 부착되어 상기 폐쇄부재의 위치를 나타내는 표시부재를 더 구비할 수 있다.

이러한 구성에 의하면, 표시부재에 의해서 폐쇄부재의 위치를 나타낼 수 있기 때문에, 제1 유닛과 제2 유닛과의 경계를 용이하게 알 수 있다.

상기의 매니폴드 장치에 있어서, 상기 매니폴드 장치는, 해당 매니폴드 장치가 설치되는 설치부에 대해서 서로 연결된 복수의 상기 매니폴드 블록을 고정시키는 고정도구를 더 구비하며, 상기 고정도구는, 상기 매니폴드 블록의 상기 외측면 중 상기 접속부재가 설치되는 부위와는 상이한 부위에 부착될 수 있다.

이러한 구성에 의하면, 매니폴드 장치를 설치부에 대해서 확실하게 고정할 수 있다.

본 발명에 의하면, 서로 인접하는 매니폴드 블록에 설치된 접속부재를 지그재그 형상으로 배치할 수 있기 때문에, 접속부재에 대한 분기 배관의 착탈 작업을 효율적으로 실시할 수 있다.

본 발명의 상기한 및 또 다른 목적, 특징 및 장점은, 본 발명의 바람직한 실시예가 예시되어 도시된 첨부 도면들과 함께 이어지는 상세한 설명으로부터 더욱 명확해질 것이다.

도 1은, 본 발명의 제1 실시형태에 따른 매니폴드 장치의 사시도이다.
도 2는, 상기 매니폴드 장치의 일부 분해 사시도이다.
도 3a는 상기 매니폴드 장치의 정면도이며, 도 3b는 상기 매니폴드 장치의 저면도이다.
도 4는, 도 3b의 IV－IV선을 따른 종단면도이다.
도 5a는 도 3a의 VA－VA선을 따른 횡단면도이며, 도 5b는 도 3a의 VB－VB선을 따른 횡단면도이다.
도 6a는 도 1에 나타내는 매니폴드 블록의 사시도이며, 도 6b는 분기 포트의 축선을 따른 상기 매니폴드 블록의 일부 단면 사시도이다.
도 7a는 분기 포트의 축선과 직교하는 방향을 따른 상기 매니폴드 블록의 일부 단면 사시도이며, 도 7b는 상기 매니폴드 블록의 평면도이다.
도 8은, 도 1에 나타내는 매니폴드 블록 및 접속부재의 분해 사시도이다.
도 9a는 상기 매니폴드 블록에 대한 고정판의 부착 설명도이며, 도 9b는 상기 매니폴드 블록에 대한 접속부재의 부착 설명도이다.
도 10a는 도 2에 나타내는 다리부의 사시도이며, 도 10b는 상기 다리부의 평면도이다.
도 11은, 상기 다리부의 상기 매니폴드 블록에의 부착 설명도이다.
도 12는, 복수의 분기 배관 및 2개의 메인 배관이 접속된 상기 매니폴드 장치의 사시도이다.
도 13은, 제1 변형예에 따른 접속부재 및 매니폴드 블록의 분해 사시도이다.
도 14는, 도 13에 나타내는 접속부재 및 매니폴드 블록의 제1 종단면도이다.
도 15는, 도 13에 나타내는 접속부 및 매니폴드 블록의 제2 종단면도이다.
도 16은, 도 13에 나타내는 접속부재의 동작 설명도이다.
도 17은, 제2 변형예에 따른 접속부재 및 매니폴드 블록의 분해 사시도이다.
도 18은, 도 17에 나타내는 접속부재 및 매니폴드 블록의 제1 종단면도이다.
도 19는, 도 17에 나타내는 접속부재 및 매니폴드 블록의 제2 종단면도이다.
도 20은, 제3 변형예에 따른 접속부재 및 매니폴드 블록의 분해 사시도이다.
도 21은, 도 20에 나타내는 접속부재 및 매니폴드 블록의 제1 종단면도이다.
도 22는, 도 20에 나타내는 접속부재 및 매니폴드 블록의 제2 종단면도이다.
도 23은, 도 20에 나타내는 접속부재의 동작 설명도이다.
도 24는, 본 발명의 제2 실시형태에 따른 매니폴드 장치의 사시도이다.
도 25는, 도 24에 나타내는 매니폴드 장치의 평면도이다.
도 26은, 본 발명의 제3 실시형태에 따른 매니폴드 장치를 구비한 유체 유동 시스템의 모식도이다.
도 27은, 도 26에 나타내는 제1 유닛의 사시도이다.
도 28은, 도 27의 XXVIII－XXVIII선을 따른 단면도이다.
도 29는, 도 27의 XXIX－XXIX선을 따른 단면도이다.
도 30은, 도 26에 나타내는 제2 유닛의 사시도이다.
도 31은, 도 30의 제2 유닛을 다른 각도에서 본 사시도이다.
도 32는, 도 30의 XXXII－XXXII선을 따른 단면도이다.
도 33은, 도 30의 XXXIII－XXXIII선을 따른 단면도이다.
도 34는, 도 33에 나타내는 접속부재의 매니폴드 블록에 대한 접속 구조를 설명하기 위한 단면도이다.
도 35는, 도 29에 나타내는 접속부재의 동작 설명도이다.
도 36은, 도 33에 나타내는 접속부재의 동작 설명도이다.
도 37은, 본 발명의 제4 실시형태에 따른 매니폴드 장치를 구비한 유체 유동 시스템의 모식도이다.
도 38은, 도 37의 매니폴드 장치의 사시도이다.
도 39는, 도 38의 매니폴드 장치의 분해 사시도이다.
도 40은, 도 37에 나타내는 매니폴드 장치의 제1 유닛을 구성하는 접속부재 및 매니폴드 블록의 단면도이다.
도 41은, 본 발명의 제5 실시형태에 따른 매니폴드 장치의 사시도이다.
도 42a는 도 41의 매니폴드 장치의 저면도이며, 도 42b는 고정도구의 사시도이다.
도 43은, 본 발명의 제6 실시형태에 따른 매니폴드 장치의 사시도이다.
도 44는, 도 43의 매니폴드 장치의 저면도이다.

이하, 본 발명에 따른 매니폴드 장치에 대해 바람직한 실시형태를 들어, 첨부의 도면을 참조하면서 설명한다. 본 발명에 따른 매니폴드 장치는, 메인 포트 및 분기 포트가 형성된 복수의 매니폴드 블록을 일렬로 연결해 조립할 수 있는 연결 구조체이며, 물 등의 유체를 분기 또는 집합시킨다.

이하의 설명에서는, 매니폴드 블록의 연결방향을 X방향이라고 규정하고, X방향의 일측을 X1방향, X방향의 타측을 X2방향이라고 규정한다. 또, X방향에 직교하는 매니폴드 장치의 폭방향을 Y방향이라고 규정하고, 특히, Y방향의 일측을 Y1방향, Y방향의 타측을 Y2방향이라고 규정한다. 또한, X방향 및 Y방향에 직교하는 매니폴드 장치의 높이방향을 Z방향이라고 규정하고, 특히, Z방향의 일측을 Z1방향, Z방향의 타측을 Z2방향이라고 규정한다.

또한, 이러한 방향은 설명의 편의상의 것이며, 매니폴드 장치는, 임의의 방향으로(예를 들면, 상하를 반전시켜) 사용 가능한 것은 물론이다.

(제1 실시형태)

도 1 ~ 도 4에 도시된 바와 같이, 매니폴드 장치(10A)는, 일렬로 연결된 복수의 매니폴드 블록(12)과, 매니폴드 블록(12)에 설치된 복수의 연결관(14)과, 매니폴드 블록(12)을 양측에서 사이에 끼워 고정하는 1조의 엔드 플레이트(16)와, 복수의 매니폴드 블록(12)을 일렬로 연결한 상태로 유지하는 복수의 유지부재(20)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 6개의 매니폴드 블록(12)이 일렬로 연결된 예에 대해 설명하지만, 매니폴드 장치(10A)는, 2 ~ 5개 또는 7개 이상의 매니폴드 블록(12)이 연결되어 있을 수도 있다.

복수의 매니폴드 블록(12)은, 서로 동일한 구성을 가지고 있다. 매니폴드 블록(12)은, 수지에 의해서 일체로 성형되어 있다. 다만, 매니폴드 블록(12)은, 금속 등 수지 이외의 재료로 구성될 수도 있다.

도 4, 도 5b ~ 도 7a에 도시된 바와 같이, 매니폴드 블록(12)은, 원통형의 내관부(22)와, 내관부(22)로부터 연장하는 분기관부(24)와, 내관부(22)의 외주측에 설치된 원통형의 외관부(26)와, 외관부(26)의 외주측에 설치된 사각 링 형상의 외측 틀부(28)와, 내관부(22) 및 외관부(26)을 연결하는 내측 연결부(30)와, 외관부(26) 및 외측 틀부(28)를 연결하는 외측 연결부(32)를 구비하고 있다.

내관부(22) 및 외관부(26)는, 매니폴드 블록(12)의 연결방향(X방향)으로 연장된 상태로 서로 동축으로 설치되어 있다. 내관부(22)의 내부구멍은, 유체 유로로서의 메인 포트(34)로서 기능한다. 분기관부(24)는, 내관부(22)로부터 외관부(26)를 관통하여 외측 틀부(28)까지 연장되어 있다(도 6b 참조). 분기관부(24)의 내부구멍은, 메인 포트(34)에 연통하는 동시에 외측 틀부(28)의 외측면(29a)에서 개구되고, 유체 유로로서의 분기 포트(36)로서 기능한다.

도 5a 및 도 7b에 도시된 바와 같이 분기 포트(36)는, 메인 포트(34)의 축선(Ax1)과 직교하는 방향(Y방향)으로 메인 포트(34)로부터 직선 형상으로 연장되어 있다. 분기 포트(36)의 축선은, 메인 포트(34)의 축선(Ax1)과 교차하지 않는다. 즉, 분기 포트(36)의 축선(Ax2)은, 메인 포트(34)의 축선(Ax1)에 대해서 Z방향으로 어긋나게 위치하고 있다. 분기 포트(36)의 유로 단면적은, 메인 포트(34)의 유로 단면적보다 작다.

외관부(26)는, 내관부(22)보다 X방향의 양측으로 연장되어 있다(도 4 및 도 6b 참조). 도 5b 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 내측 연결부(30)는, 내관부(22)의 축선방향과 직교하는 방향으로 연장되고, 분기관부(24)의 외측면에 연결되어 있다. 외측 연결부(32)는, 외관부(26)의 축선방향과 직교하는 방향으로 연장되고, 분기관부(24)의 외측면에 연결되어 있다(도 7a 참조). 외관부(26)의 X방향의 길이는, 외측 틀부(28)의 X방향의 길이와 대략 동일하다(도 4 참조).

도 5b 및 도 6a에 도시된 바와 같이, 외측 틀부(28)는, 분기관부(24)가 연결되고 매니폴드 블록(12)의 연결방향과 직교하는 방향(Z방향)으로 연장되는 제1 벽부(28a)와, 제1 벽부(28a)의 일단부(Z2방향의 단부)로부터 Y2방향으로 연장되는 제2 벽부(28b)와, 제2 벽부(28b)의 연장 단부로부터 제1 벽부(28a)의 타단부측(Z1방향)으로 연장되는 제3 벽부(28c)와, 제3 벽부(28c)의 연장 단부와 제1 벽부(28a)의 타단부(Z1방향의 단부)를 서로 연결하는 제4 벽부(28d)를 가지고 있다.

제1 벽부(28a) 및 제3 벽부(28c)는 Y방향으로 서로 대향되고, 제2 벽부(28b) 및 제4 벽부(28d)는 Z방향으로 서로 대향되어 있다. 또, 제1 벽부(28a) 및 제3 벽부(28c)의 길이방향(Z방향)의 길이 치수는, 제2 벽부(28b) 및 제4 벽부(28d)의 길이방향(Y방향)의 길이 치수보다 작다.

도 5b, 도 6a ~ 도 7a에 있어서, 제2 벽부(28b)의 내면에는, 외측 연결부(32)로부터 제2 벽부(28b)의 X방향의 양단까지 연장되는 1조의 볼록부(38a)가 설치되어 있다. 제2 벽부(28b) 및 제3 벽부(28c)에 의해 형성되는 내측 모서리부에는, 외측 연결부(32)로부터 제2 벽부(28b)의 X방향의 양단까지 연장되는 1조의 볼록부(38b)가 설치되어 있다. 제3 벽부(28c) 및 제4 벽부(28d)에 의해 형성되는 내측 모서리부에는, 외측 연결부(32)로부터 제3 벽부(28c)의 X방향의 양단까지 연장되는 1조의 볼록부(38c)가 설치되어 있다. 제4 벽부(28d)의 내면에는, 외측 연결부(32)로부터 제4 벽부(28d)의 X방향의 양단까지 연장되는 1조의 볼록부(38d)가 설치되어 있다.

볼록부(38a) 및 볼록부(38d)는, 내관부(22)보다 Y1방향의 위치에서 서로 대향하고 있다. 매니폴드 블록(12)에는, 볼록부(38a ~ 38d)의 X1방향의 끝면에서 외측 연결부(32)를 관통하여 볼록부(38a ~ 38d)의 X2방향의 끝면까지 연장되고, 유지부재(20)를 구성하는 로드(106)가 삽입될 수 있는 4개의 삽입구멍(40)이 형성되어 있다(도 2 및 도 5b 참조).

도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 4개의 삽입구멍(40)은, 메인 포트(34)의 축선(Ax1)으로부터 등거리에 위치되고, 메인 포트(34)의 축선 주위에서 소정 각도(90도)만큼 위상이 어긋나게 위치되어 있다. 즉, 4개의 삽입구멍(40)은, 메인 포트(34)의 축선(Ax1)에 대해서 점대칭으로 위치되어 있다. 인접하는 삽입구멍(40)의 중심끼리의 간격은 동일하게 설정되어 있다.

도 7a에 도시된 바와 같이, 각각의 볼록부(38a) 중 제1 벽부(28a)에 대향하는 평탄면에는, 제1 벽부(28a)측(Y1방향)으로 돌출하는 제1 돌출부(44)가 형성되어 있다. 각각의 제1 돌출부(44)는, 제2 벽부(28b) 및 외측 연결부(32)에 연결되어 있다. 각각의 제1 돌출부(44)의 돌출 끝면은, 제1 벽부(28a)에 대해서 이격되어 있다.

볼록부(38a) 및 볼록부(38d)의 사이에는, 외측 연결부(32)로부터 X방향의 양측으로 연장되는 1조의 벽부(48)가 설치되어 있다. 벽부(48)는, 외관부(26)의 외주면에 연결되어 있다. 벽부(48) 중 제2 벽부(28b)에 대향하는 면에는, 제2 벽부(28b)측(Z2방향)으로 돌출하는 제2 돌출부(50)가 형성되어 있다. 제2 돌출부(50)는, 제1 벽부(28a)에 대해서 이격되어 있다. 구체적으로는, 제2 돌출부(50) 및 제1 벽부(28a)의 이격 간격은, 제1 돌출부(44) 및 제1 벽부(28a)의 이격 간격과 동일하다.

도 6a 및 도 7b에 도시된 바와 같이, 제1 벽부(28a)의 외측면(29a)에는, 분기 포트(36)의 개구부(36a)와, 개구부(36a)의 가장자리 부분을 따라서 설치된 환형 홈(54)이 형성되어 있다. 분기 포트(36)의 개구부(36a)는, 외측면(29a)의 길이방향 중앙보다 Z2방향에 위치되어 있다. 제1 벽부(28a)에는, 서로 형상이 다른 관통구멍(56)과 관통구멍(58)이 2개씩 형성되어 있다. 이들 관통구멍(56, 58)은, 분기 포트(36)의 축선(Ax2)을 중심으로 점대칭으로 설치되어 있다. 관통구멍(58)은, 관통구멍(56)보다 크게 형성되어 있다.

도 8에 도시된 바와 같이, 제1 벽부(28a)의 외측면(29a)에는, 1조의 고정판(고정부재)(60)을 이용하여 분기 배관(61)(도 12 참조)이 접속될 수 있는 접속부재(62)가 장착된다. 도 5a 및 도 8에 도시된 바와 같이, 접속부재(62)는, 분기 포트(36)와 분기 배관(61)의 내부구멍을 연통시키기 위한 내부구멍(64a)이 형성된 분기 어댑터(64)를 구비하고 있다. 분기 어댑터(64)는, 분기 배관(61)이 삽입되는 분기 어댑터 본체(66)와, 분기 어댑터 본체(66)의 단부에 설치된 사각 판 형상의 플랜지부(68)를 가진다.

분기 어댑터(64)와 매니폴드 블록(12)과의 사이에는, 유체의 외부로의 누출을 억제하기 위한 씰 부재(69)가 배열설치된다. 도 5b, 도 8 및 도 9b에 있어서, 플랜지부(68)의 각각의 다리부에는, 분기 어댑터(64)를 매니폴드 블록(12)에 부착시키기 위한 나사부재(70)가 삽입되는 4개의 나사 삽입구멍(72)이 형성되어 있다.

도 8 및 도 9a에 도시된 바와 같이, 1조의 고정판(60)은, 분기관부(24)를 X방향에서 사이에 끼우도록 매니폴드 블록(12)에 장착된다. 고정판(60)은, 제1 벽부(28a) 및 제1 돌출부(44)의 사이와, 제1 벽부(28a) 및 제2 돌출부(50)의 사이에 삽입된다.

각각의 고정판(60)에는, 나사부재(70)를 끼울 있는 2개의 설치구멍(74)이 Z방향으로 소정간격 이격되어 형성되어 있다. 또한, 이들 설치구멍(74)의 위치(피치 L2)는, 분기 어댑터(64)의 나사 삽입구멍(72)의 위치(피치 L1)에 대응한다(동일하다). 각각의 고정판(60)은, 분기관부(24)와의 간섭을 피하기 위해서 반원 형상으로 절결되어 있다.

본 실시형태에서는, 매니폴드 블록(12)에 대해서 1조의 고정판(60)을 각각 장착시키고, 나사부재(70)를 분기 어댑터(64)의 나사 삽입구멍(72) 및 관통구멍(56, 58)에 삽입하여 고정판(60)의 설치구멍(74)에 나사결합시키는 것에 의해 접속부재(62)가 매니폴드 블록(12)에 대해서 부착된다(도 8 ~ 도 9b 참조).

도 1, 도 3b, 도 5a 및 도 6a 등에 도시된 바와 같이, 제2 벽부(28b)의 외측면(29b), 제3 벽부(28c)의 외측면(29c) 및 제4 벽부(28d)의 외측면(29d)의 각각에는, 그 길이방향으로 소정간격 이격되어 늘어선 2개의 고정구멍(76)이 형성되어 있다. 2개의 고정구멍(76)은, 예를 들면, 도 42b에 나타내는 고정도구(550)를 매니폴드 블록(12)에 대해서 부착시키기 위한 구멍이다.

고정도구(550)는, 매니폴드 블록(12)을 설치부(700)(도 4 참조)에 대해서 고정시키기 위한 부재이며, 그 상세한 구성에 대해서는 후술한다. 또한, 본 실시형태에서는, 매니폴드 블록(12)에 대해서 고정도구(550)가 부착되지 않은 구성을 예시하고 있지만, 본 실시형태의 매니폴드 블록(12)에 대해서 고정도구(550)를 부착시킬 수 있음은 물론이다.

도 1 및 도 6a에 있어서, 제2 벽부(28b)에는, 반원 형상의 절결부(78)가 매니폴드 블록(12)의 연결방향(X방향)의 양측으로 2개씩 형성되어 있다. 이들 절결부(78)는, 서로 동일한 크기로 형성되어 있다. 같은 쪽에 형성된 2개의 절결부(78)는, 제2 벽부(28b)의 길이방향으로 소정간격만큼 이격되어 있다. 제3 벽부(28c) 및 제4 벽부(28d)의 각각에는, 제2 벽부(28b)와 마찬가지로 4개의 절결부(78)가 형성되어 있다.

도 1로부터 알 수 있는 바와 같이, 절결부(78)는, 복수의 매니폴드 블록(12)을 연결했을 때에 인접하는 절결부(78)에 연결되어(연통되어), 서로 연결된 2개의 절결부(78)에 의해서 1개의 원 형상의 장착구멍(80)이 형성된다. 도 2 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 이 장착구멍(80)에는, 다리부(82)가 장착된다. 즉, 다리부(82)는, 서로 인접하는 매니폴드 블록(12)의 사이에 장착되어 있다. 본 실시형태에서는, 일렬로 연결된 매니폴드 블록(12)에 대해서 5개의 다리부(82)가 장착되어 있다.

도 10a 및 도 10b에 도시된 바와 같이, 다리부(82)는, 고무 등의 가요성을 가지는 재료로 구성되어 있고, 일방향으로 연장된 평판부(84)와, 평판부(84)로부터 돌출하는 한 쌍의 축부(86)와, 각각의 축부(86)의 선단부에 2개씩 설치된 발톱부(88)를 가지고 있다. 평판부(84)에는, 복수(예를 들면, 4개)의 오목부(90)가 형성되어 있다.

한 쌍의 축부(86)는, 평판부(84)의 길이방향으로 소정간격 이격되어 늘어서 설치되어 있다. 한 쌍의 발톱부(88)는, 축부(86)의 선단부의 외면에 평판부(84)의 폭방향으로 늘어서도록 설치되어 있다. 각각의 발톱부(88)에는, 축부(86)의 선단을 향하여 축부(86)의 축선 측으로 경사지는 테이퍼 면(92)이 형성되어 있다.

이와 같이 구성된 다리부(82)는, 복수의 매니폴드 블록(12)을 연결한 후에, 각각의 장착구멍(80)에 축부(86)를 외측으로부터 밀어넣는 것에 의해 매니폴드 블록(12)에 대해서 부착시킬 수 있다. 이 경우, 각각의 발톱부(88)의 테이퍼 면(92)이 장착구멍(80)을 구성하는 벽면에 접촉하는 것에 의해 한 쌍의 발톱부(88)가 서로 근접하도록 축부(86)가 탄성변형되기 때문에, 축부(86)를 장착구멍(80)에 대해서 원활하게 삽입할 수 있다. 그리고, 축부(86)가 장착구멍(80)에 완전하게 삽입되면, 축부(86)가 원래의 형상으로 복귀하고, 한 쌍의 발톱부(88)가 외측 틀부(28)의 내면에 접촉한다(도 11 참조). 이것에 의해, 축부(86)가 장착구멍(80)으로부터 빠져 나오는 것을 억제할 수 있다.

또, 매니폴드 블록(12)으로의 다리부(82)의 설치는, 매니폴드 블록(12)의 절결부(78)에 다리부(82)의 축부(86)를 세팅시켜 두고, 복수의 매니폴드 블록(12)을 연결할 때에, 인접하는 매니폴드 블록(12)에 의해서 축부(86)를 사이에 끼우도록 할 수도 있다.

매니폴드 블록(12)에 장착된 다리부(82)는, 예를 들면, 다리부(82)에 형성되어 있는 오목부(90)에 마이너스 드라이버 등의 공구를 삽입하여 빼내는 것에 의해 간단하게 제거할 수 있다.

도 4에 도시된 바와 같이, 연결관(14)은, 원통형으로 구성되어 있고, 그 외 주면에는, 링 형상의 씰 부재(94)가 배열설치되는 2개의 환 형상 홈이 형성되어 있다. 연결관(14)은, 매니폴드 블록(12)의 외관부(26)의 단부에 끼워져 있다. 즉, 본 실시형태에서는, 중간에 위치하는 복수의 연결관(14)은, 인접하는 매니폴드 블록(12)의 내관부(22) 사이에 개재되어 있다. 그 때문에, 각각의 매니폴드 블록(12)의 메인 포트(34)는, 연결관(14)의 내부구멍(14a)을 통하여 연통한다. 또, 연결관(14)에 의해서 인접하는 매니폴드 블록(12)의 사이에서 유체가 외부로 누출되는 것이 억제된다.

X방향으로 가장 바깥쪽에 위치하는 2개의 연결관(14)은, 매니폴드 블록(12)의 외관부(26)에 끼워지는 동시에 엔드 플레이트(16)에 설치된 메인 어댑터(98)의 내부구멍(98a)에 끼워져 있다. 이것에 의해, 메인 어댑터(98)와 매니폴드 블록(12)과의 사이에서 유체가 누출되는 것이 억제된다.

도 1 및 도 4에 도시된 바와 같이, 엔드 플레이트(16)는, 4각형의 판 형상 부재이다. 엔드 플레이트(16)의 중앙부에는, 연결관(14)의 내부구멍(14a)을 통하여 메인 포트(34)에 연통하는 내부구멍(98a)을 가지는 동시에 메인 배관(99)이 접속 가능한 메인 어댑터(98)가 일체로 설치되어 있다. 엔드 플레이트(16)에는, 복수(도 1의 예에서는 2개)의 장공(100)이 형성된 베이스 판(102)이 유지부재(20)에 의해서 부착되어 있다. 각각의 장공(100)에는, 베이스 판(102)을 설치부(700)에 고정하기 위한 도시하지 않은 볼트가 삽입된다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 각각의 유지부재(20)는, 각각의 엔드 플레이트(16)의 다리부를 관통하는 동시에 각각의 매니폴드 블록(12)의 삽입구멍(40)을 관통하도록 설치된 로드(106)를 가지고 있다. 각각의 로드(106)의 외주면에는, 한 쌍의 엔드 플레이트(16)를 내측으로 조이기 위한 너트 부재(108)의 암나사가 나사결합되는 수나사가 전체 길이에 걸쳐 형성되어 있다. 다만, 각각의 로드(106)는, 그 양단부에만 수나사가 형성되어 있어도 괜찮다.

도 1에 있어서, 본 실시형태에서는, 서로 인접하는 일측의 매니폴드 블록(12)을 타측의 매니폴드 블록(12)에 대해서 분기 포트(36)의 축선방향 및 매니폴드 블록(12)의 연결방향과 직교하는 방향(Z방향)으로 180도 반전시킨 상태로 연결하고 있다. 또, 각각의 매니폴드 블록(12)에 접속된 분기 어댑터(64)의 개구부(64b)는 Y1방향을 향하고 있다.

본 실시형태에 의하면, 분기 포트(36)의 축선(Ax2)이 메인 포트(34)의 축선(Ax1)에 대해서 X방향과 직교하는 방향(Z방향)으로 어긋나게 위치되어 있다(도 5a 참조). 그 때문에, 인접하는 매니폴드 블록(12)에 설치된 분기 어댑터(64)를 지그재그 형상으로 배치할 수 있다(도 1 및 도 3a 참조). 이것에 의해, 도 12에 도시된 바와 같이, 접속부재(62)에 대한 분기 배관(61)의 착탈 작업을 효율적으로 실시할 수 있다.

또, 각각의 매니폴드 블록(12)에 대해서 접속부재(62)가 1개씩 설치되어 있으므로, 모든 접속부재(62)를 지그재그 형상으로 배치할 수 있다. 그 때문에, 접속부재(62)에 대한 분기 배관(61)의 착탈 작업을 한층 효율적으로 실시할 수 있다.

또한, 서로 연결된 복수의 매니폴드 블록(12)을 그 연결방향에서 사이에 끼우도록 메인 배관(99)이 착탈될 수 있는 2개의 메인 어댑터(98)를 설치하여, 메인 포트(34)가 메인 배관(99)의 내부구멍에 연통하고 있다. 그 때문에, 메인 배관(99)으로부터 메인 포트(34)로의 유체의 유입 또는 메인 포트(34)로부터 메인 배관(99)으로의 유체의 유출을 실시할 수 있다.

본 실시형태에서는, 연결관(14)이, 서로 인접하는 외관부(26)에 끼워지는 동시에 서로 인접하는 내관부(22)의 내부구멍끼리를 연통시키고 있다. 그 때문에, 서로 인접하는 매니폴드 블록(12)의 메인 포트(34)끼리를 연결관(14)에 의해서 확실하게 연통시킬 수 있다.

또, 각각의 매니폴드 블록(12)은, 사각 링 형상의 외측 틀부(28)와 외관부(26)를 외측 연결부(32)에 의해 서로 연결하고 있기 때문에, 매니폴드 블록(12)을 간단한 구성으로 할 수 있는 동시에 외측 틀부(28)의 외측면(29a)에 접속부재(62)를 용이하게 설치할 수 있다.

본 실시형태에 의하면, 매니폴드 블록(12)에 대해서 다리부(82)를 장착하고 있으므로, 매니폴드 블록(12)을 설치부(700)에 대해서 안정적으로 설치할 수 있다. 특히, 매니폴드 블록(12)의 연결 개수가 많은 경우에는 자중에 의해서 그 X방향의 중간부분이 휘어지기 쉽지만, 이러한 다리부(82)를 이용하면, 일렬로 연결된 매니폴드 블록(12)(매니폴드 장치(10A))의 휘어짐을 억제할 수 있다.

또, 예를 들면, 바닥면에 설치한 매니폴드 장치(10A)가 유저에게 밟혔을 경우에도, 매니폴드 블록(12)에 작용하는 하중을 각각의 다리부(82)에 의해 받을 수 있다. 그 때문에, 매니폴드 블록(12)끼리의 연결이 어긋나는 것을 억제할 수 있다.

본 실시형태는, 상기의 구성으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 도 13 ~ 도 16에 도시된 바와 같이, 매니폴드 블록(12)의 외측면(29a)에는, 접속부재(62)를 대신하여 접속부재(110)를 부착시킬 수 있다. 또한, 접속부재(110)에 있어서, 상술한 접속부재(62)와 동일한 구성요소에는 동일한 참조부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 생략한다.

도 13에 도시된 바와 같이, 접속부재(110)는, 매니폴드 블록(12)의 외측면(29a)에 장착되는 접속부재 본체(111)와, 접속부재 본체(111)에 설치된 분기 어댑터(64)를 구비한다. 접속부재 본체(111)는, 유량 조정 밸브(112)와, 유량 조정 밸브(112)에 설치된 유량계(114)를 가지고 있다.

도 14에 도시된 바와 같이, 유량 조정 밸브(112)는, 유체 유로(112a)가 형성된 밸브 몸체(120)와, 밸브 몸체(120)에 설치된 밸브 기구부(122)와, 밸브 기구부(122)를 지지하는 밸브 지지부(124)를 가지고 있다. 밸브 몸체(120)는, 매니폴드 블록(12)에 부착되는 대략 직육면체 형상의 제1 몸체(126)와, 제1 몸체(126)에 설치된 제2 몸체(128)를 포함한다.

유체 유로(112a)는, 제1 몸체(126)에 있어서의 매니폴드 블록(12)에 부착되는 제1 설치면(130)에 개구된 제1 포트(132)와, 제1 설치면(130)에 대해서 수직으로 연장되는 제2 설치면(134)에 개구된 제2 포트(136)를 포함한다. 제1 몸체(126) 및 매니폴드 블록(12)의 사이에는, 유체의 외부로의 누출을 억제하기 위한 환 형상의 씰 부재(138)가 설치되어 있다.

제1 몸체(126)에는, 제1 설치면(130)에 대해서 수직인 방향으로 연장되어 나사부재(140)가 삽입될 수 있는 4개의 나사 삽입구멍(142)이 관통 형성되고 있다(도 15 참조). 또한, 도 15에서는, 2개의 나사 삽입구멍(142)이 나타나 있다. 제2 몸체(128)에는, 제1 몸체(126)에 형성된 구멍(144)에 배열설치된 상태로 밸브 기구부(122)가 삽입관통하는 구멍(146)이 형성되어 있다.

밸브 기구부(122)는, 제1 몸체(126)에 형성된 밸브 시트(148)에 착좌 가능한 상태로 유체 유로(112a) 내에 배열설치된 원기둥 형상의 밸브 본체(150)와, 밸브 본체(150)로부터 밸브 시트(148)와는 반대쪽(Y1방향)으로 연장되는 축부(152)와, 축부(152)에 설치된 조작부(154)를 가지고 있다. 축부(152)의 외주면에는, 수나사가 형성되어 있다. 조작부(154)는, 나사부재(156)에 의해서 축부(152)에 고정되어 있다.

밸브 지지부(124)는, 제2 몸체(128)에 설치된 상태로 제1 몸체(126)의 각각의 나사 삽입구멍(142)에 연통하는 4개의 나사 삽입구멍(158)이 형성되어 있다(도 13 및 도 15 참조). Z방향으로 인접하는 나사 삽입구멍(158)의 간격(피치 L3)은, 상술한 피치(L1)와는 상이하다. 밸브 지지부(124)에는, 밸브 본체(150)가 삽입관통 가능한 제1 구멍(160)과, 제1 구멍(160)에 연통하고 축부(152)가 위치하는 제2 구멍(162)이 형성되어 있다. 제2 구멍(162)을 구성하는 벽면에는, 축부(152)의 수나사가 나사결합 가능한 암나사가 형성되어 있다.

밸브 지지부(124) 및 밸브 본체(150)의 사이에는, 유체의 제2 구멍(162)으로의 유입을 억제하기 위한 환 형상의 씰 부재(164)가 설치되어 있다. 밸브 지지부(124) 및 제1 몸체(126)의 사이에는, 유체의 외부로의 누출을 억제하기 위한 환 형상의 씰 부재(166)가 설치되어 있다.

유량계(114)는, 유량 조정 밸브(112)의 유체 유로(112a)와 분기 어댑터(64)의 내부구멍(64a)을 연통시키는 유체 유로(114a)가 형성된 몸체(168)와, 몸체(168)에 설치된 유량계 본체(170)를 구비하고 있다. 제1 몸체(126) 및 몸체(168)의 사이에는, 유체의 외부로의 누출을 억제하기 위한 환 형상의 씰 부재(172)가 설치되어 있다. 몸체(168) 및 분기 어댑터(64)의 사이에는, 유체의 외부로의 누출을 억제하기 위한 환 형상의 씰 부재(174)가 설치되어 있다.

유량계 본체(170)는, 유체 유로(114a)를 통하여 유동하는 유체의 유량을 표시하는 표시부(176)을 포함하고 있다. 유량계(114)의 몸체(168) 및 분기 어댑터(64)는, 복수(4개)의 나사부재(178)에 의해서 제1 몸체(126)에 대해서 고정되어 있다(도 15 참조). 또한, 도 15에서는, 2개의 나사부재(178)가 나타나 있다.

이러한 접속부재(110)에서는, 유량 조정 밸브(112)의 밸브 폐쇄시에 있어서, 밸브 본체(150)가 밸브 시트(148)에 착좌하여, 분기 포트(36)와 유량계(114)의 유체 유로(114a)와의 연통을 차단하고 있다(도 14 참조).

유량 조정 밸브(112)를 개방시키는 경우에는, 조작부(154)를 회전시킨다. 그렇게 하면, 축부(152)가 밸브 지지부(124)에 대해서 조작부(154) 측으로 변위하기 때문에, 밸브 본체(150)가 밸브 시트(148)로부터 이격되어 분기 포트(36)와 유량계(114)의 유체 유로(114a)가 연통한다(도 16 참조). 이 때, 조작부(154)의 회전량을 조정하는 것에 의해, 밸브 본체(150)와 밸브 시트(148)와의 간격을 변화시킬 수 있기 때문에, 밸브 본체(150)와 밸브 시트(148)와의 사이의 간극을 통하여 유동하는 유량을 증감시킬 수 있다.

도 13 및 도 15에 있어서, 접속부재(110)에서는, 밸브 지지부(124)의 각각의 나사 삽입구멍(158)은, 제1 몸체(126)의 각각의 나사 삽입구멍(142)을 통하여 외측면(29a)의 각각의 관통구멍(56, 58)에 연통한다. 이 경우, 매니폴드 블록(12)에는, 나사 삽입구멍(158) 및 나사 삽입구멍(142)에 삽입관통된 나사부재(140)가 나사결합 가능한 2개의 설치구멍(180)이 형성된 1조의 고정판(고정부재)(182)이 장착된다.

즉, 각각의 고정판(182)의 2개의 설치구멍(180)의 간격(피치 L4)은, 밸브 지지부(124)의 나사 삽입구멍(158)의 피치(L3)와 동일하게 설정되어 있다. 또한, 제1 몸체(126)의 나사 삽입구멍(142)의 피치는, 피치(L3)와 동일하다. 다시 말해서, 유량 조정 밸브(112)의 나사 삽입구멍(158) 및 나사 삽입구멍(142)의 위치는, 고정판(182)의 설치구멍(180)의 위치에 대응하고 있다.

이것에 의해, 각각의 관통구멍(56, 58) 및 나사 삽입구멍(142)을 통하여 나사 삽입구멍(158)과 설치구멍(180)을 연통시킬 수 있다. 따라서, 나사 삽입구멍(158) 및 나사 삽입구멍(142)에 삽입한 나사부재(140)를 고정판(182)의 설치구멍(180)에 나사결합시키는 것에 의해, 접속부재(110)를 매니폴드 블록(12)에 대해서 간단하게 부착시킬 수 있다.

본 실시형태에 있어서, 예를 들면, 도 17 ~ 도 19에 도시된 바와 같이, 매니폴드 블록(12)의 외측면(29a)에는, 접속부재(62)를 대신하여 접속부재(190)를 부착시킬 수 있다. 또한, 접속부재(190)에 있어서, 상술한 접속부재(62, 110)와 동일한 구성요소에는 동일한 참조부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 생략한다.

도 17에 도시된 바와 같이, 접속부재(190)는, 매니폴드 블록(12)의 외측면(29a)에 부착되는 접속부재 본체(191)와, 접속부재 본체(191)에 설치되는 분기 어댑터(64)를 구비한다. 접속부재 본체(191)는, 연결 블록(192)과, 연결 블록(192)에 설치된 유량계(114)를 가지고 있다.

도 18에 도시된 바와 같이, 연결 블록(192)에는, 분기 포트(36)와 유량계(114)의 유체 유로(114a)를 연통시키는 유체 유로(192a)가 형성되어 있다. 유체 유로(192a)는, 연결 블록(192)에 있어서의 매니폴드 블록(12)의 외측면(29a)에 부착되는 제1 설치면(제1 외면)(194)에서 개구되어 분기 포트(36)에 연통하는 제1 연통 포트(196)와, 제1 설치면(194)에 대해서 수직으로 연장되는 제2 설치면(제2 외면)(198)에서 개구되어 분기 어댑터(64)의 내부구멍(64a)에 연통하는 제2 연통 포트(200)를 포함한다. 즉, 분기 포트(36)는, 연결 블록(192)의 유체 유로(192a) 및 유량계(114)의 유체 유로(114a)를 통하여 분기 어댑터(64)의 내부구멍(64a)에 연통하고 있다.

연결 블록(192) 및 매니폴드 블록(12)의 사이에는, 유체의 외부로의 누출을 억제하기 위한 환 형상의 씰 부재(202)가 설치되어 있다. 연결 블록(192)과 유량계(114)의 몸체(168)와의 사이에는, 유체의 외부로의 누출을 억제하기 위한 환 형상의 씰 부재(204)가 설치되어 있다.

연결 블록(192)에는, 제1 설치면(194)에 대해서 수직인 방향으로 연장되어 나사부재(206)가 삽입될 수 있는 4개의 나사 삽입구멍(208)이 관통 형성되어 있다(도 17 및 도 19 참조). Z방향으로 인접하는 나사 삽입구멍(208)의 간격(피치 L5)은, 상술한 피치(L1, L3)와는 상이하다.

도 17 및 도 19에 있어서, 연결 블록(192)의 각각의 나사 삽입구멍(208)은, 외측면(29a)의 각각의 관통구멍(56, 58)에 연통한다. 이 경우, 매니폴드 블록(12)에는, 나사 삽입구멍(208)에 삽입된 나사부재(206)를 끼워맞출 수 있는 2개의 설치구멍(210)이 형성된 1조의 고정판(고정부재)(212)이 장착된다. 즉, 각각의 고정판(212)의 2개의 설치구멍(210)의 간격(피치 L6)은, 연결 블록(192)의 나사 삽입구멍(208)의 피치(L5)와 동일하게 설정되어 있다. 다시 말해서, 연결 블록(192)의 나사 삽입구멍(208)의 위치는, 고정판(212)의 설치구멍(210)의 위치에 대응하고 있다.

이것에 의해, 각각의 관통구멍(56, 58)을 통하여 나사 삽입구멍(208)과 설치구멍(210)을 연통시킬 수 있다. 따라서, 나사 삽입구멍(208)에 삽입관통시킨 나사부재(206)를 고정판(212)의 설치구멍(210)에 나사결합시키는 것에 의해, 접속부재(190)를 매니폴드 블록(12)에 대해서 용이하게 부착시킬 수 있다.

또, 접속부재(190)가 연결 블록(192)을 가지고 있기 때문에, 매니폴드 블록(12)에 대한 분기 어댑터(64)의 개구부(64b)의 방향을 용이하게 변경할 수 있다. 다시 말해서, 분기 어댑터(64)의 개구부(64b)의 방향을 매니폴드 블록(12)의 외측면(29a)이 지향하는 방향에 대해서 수직으로 할 수 있다.

본 실시형태에 있어서, 예를 들면, 도 20 ~ 도 23에 도시된 바와 같이, 매니폴드 블록(12)의 외측면(29a)에는, 접속부재(62)를 대신하여 접속부재(220)를 부착시킬 수 있다. 또한, 접속부재(220)에 있어서, 상술한 접속부재(62, 110, 190)와 동일한 구성요소에는 동일한 참조부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 생략한다.

도 20에 도시된 바와 같이, 접속부재(220)는, 매니폴드 블록(12)의 외측면(29a)에 부착되는 접속부재 본체(221)와, 접속부재 본체(221)에 설치되는 분기 어댑터(64)를 구비한다. 접속부재 본체(221)는, 직육면체 형상의 중간 블록(222)과, 중간 블록(222)에 병설된 제1 개폐밸브(224) 및 제2 개폐밸브(226)를 가지고 있다.

도 21에 도시된 바와 같이, 중간 블록(222)에는, 분기 어댑터(64)의 내부구멍(64a)에 연통하는 중간 유로(228)와, 분기 포트(36) 및 중간 유로(228)를 연통시키는 제1 도입 포트(230)(제1 중간 연통 포트)와, 중간 유로(228)에 연통하는 제2 도입 포트(232)(제2 중간 연통 포트)가 형성되어 있다.

중간 유로(228)는, 중간 블록(222)의 길이방향으로 관통 형성되어 있다. 중간 유로(228)의 일단측은, 중간 블록(222)의 일단면(Z1방향의 단면)에 설치된 분기 어댑터(64)의 내부구멍(64a)에 연통하고 있다. 중간 유로(228)의 타단측은, 플러그(240)에 의해서 폐쇄되어 있다. 제1 도입 포트(230)는, 중간 블록(222)의 길이방향과 직교하는 방향에 위치하는 측면에서 개구되어 있다. 제2 도입 포트(232)는, 중간 블록(222)의 길이방향에 직교하는 방향에 위치하여 제1 도입 포트(230)가 개구되는 측면과는 상이한 측면에서 개구되어 있다.

중간 블록(222) 및 매니폴드 블록(12)의 사이에는, 유체의 외부로의 누출을 억제하기 위한 환 형상의 씰 부재(242)가 설치되어 있다. 중간 블록(222)과 분기 어댑터(64)와의 사이에는, 유체의 외부로의 누출을 억제하기 위한 환 형상의 씰 부재(244)가 설치되어 있다.

도 20 ~ 도 22에 도시된 바와 같이, 중간 블록(222) 중 제1 도입 포트(230)가 개구되는 측면과는 반대쪽의 측면에는, 제1 개폐밸브(224)가 배열설치되는 제1 구멍(246)과, 제2 개폐밸브(226)가 배열설치되는 제2 구멍(248)과, 나사부재(250)가 삽입될 수 있는 2개의 나사 삽입구멍(252)과, 나사부재(254)가 삽입될 수 있는 2개의 나사 삽입구멍(256)과, 나사부재(258)가 나사결합 가능한 2개의 나사구멍(260)이 형성되어 있다.

제1 구멍(246) 및 제2 구멍(248)은, 중간 블록(222)의 길이방향으로 병설되어 있다. 나사 삽입구멍(252) 및 나사 삽입구멍(256)은, Y방향으로 중간 블록(222)을 관통하고 있다. 나사 삽입구멍(252)의 구멍 직경은, 나사 삽입구멍(256)의 구멍 직경보다 작다. 또, 도 20에 있어서, 나사 삽입구멍(252) 및 나사 삽입구멍(256)은, 제1 구멍(246)의 가장자리를 따라서 교대로 설치되어 있다. Y방향을 따라서 인접하는 나사 삽입구멍(252) 및 나사 삽입구멍(256)의 간격(피치 L7)은, 상술한 피치(L1, L3, L5)와 상이하다. 나사구멍(260)은, 제2 구멍(248)의 가장자리를 따라서 설치되어 있다.

또, 중간 블록(222)의 제2 도입 포트(232)에는, 도시하지 않은 도입 배관이 접속 가능한 커넥터(264)가 설치되어 있다. 도입 배관은, 중간 유로(228), 분기 어댑터(64)의 내부구멍(64a) 및 상술한 분기 배관(61) 내에 존재하는 물 등의 유체(이하, 제1 유체라고도 한다.)를 배출하기 위한 압축공기 등의 유체(이하, 제2 유체라고도 한다.)를 제2 도입 포트(232)에 도입시키기 위한 것이다.

도 21에 도시된 바와 같이, 제1 개폐밸브(224)는, 작동유체의 작용에 의해서 제1 도입 포트(230)를 개폐한다. 제1 개폐밸브(224)는, 밸브 몸체(268)와, 밸브 몸체(268)에 형성된 구멍의 개구부를 폐쇄시키는 외측 엔드 블록(270) 및 내측 엔드 블록(272)과, 밸브 몸체(268) 내에 이동 가능하게 배열설치된 피스톤(274)과, 피스톤(274)에 연결된 로드(276)와, 로드(276)에 설치된 밸브 본체(278)를 가지고 있다.

도 20 및 도 22에 도시된 바와 같이, 밸브 몸체(268)에는, 중간 블록(222)의 각각의 나사 삽입구멍(256)에 연통하는 2개의 나사 삽입구멍(280)이 형성되어 있다. 나사 삽입구멍(280)은, 나사 삽입구멍(256)의 연장 방향을 따라서 연장되어 있다. 도 21에 있어서, 피스톤(274)과 내측 엔드 블록(272)과의 사이에는 제1 챔버(282)가 형성되고, 피스톤(274)의 내측 엔드 블록(272)의 반대쪽에는 제2 챔버(284)가 형성된다.

밸브 몸체(268)에는, 제1 챔버(282) 내에 연통하는 대기 개방용의 호흡 포트(286)와, 제2 챔버(284)에 연통하여 작동유체를 흡배기하기 위한 구동 포트(288)가 형성되어 있다. 구동 포트(288)는, 밸브 몸체(268)에 설치된 이음새(290)의 내부구멍(290a)에 연통하고 있다. 이음새(290)에는, 작동유체가 유동하는 도시하지 않는 배관이 연결된다.

외측 엔드 블록(270) 및 내측 엔드 블록(272)에는, 로드(276)가 관통하고 있다 밸브 본체(278)는, 중간 블록(222)에 형성된 제1 밸브 시트(302)에 착좌 가능하도록 중간 유로(228) 내에 배열설치되어 있다.

제2 개폐밸브(226)는, 제2 도입 포트(232)를 개폐시키는 것으로서, 기본적으로 제1 개폐밸브(224)와 마찬가지로 구성되어 있다. 즉, 제2 개폐밸브(226)는, 밸브 몸체(304), 외측 엔드 블록(306), 내측 엔드 블록(308), 피스톤(310), 로드(312) 및 밸브 본체(314)를 가지고 있다. 제2 개폐밸브(226)의 밸브 몸체(304)에는, 중간 블록(222)의 나사구멍(260)에 연통하는 2개의 나사 삽입구멍(316)이 형성되어 있다(도 20 및 도 22 참조). 제2 개폐밸브(226)는, 각각의 나사 삽입구멍(316)을 통하여 삽입한 나사부재(258)를 나사구멍(260)에 나사결합하는 것에 의해 중간 블록(222)에 대해서 고정된다.

피스톤(310)과 내측 엔드 블록(308)과의 사이에는 제1 챔버(318)가 형성되고, 피스톤(310)의 내측 엔드 블록(308)의 반대쪽에는 제2 챔버(320)가 형성된다. 제2 개폐밸브(226)의 밸브 몸체(304)에는, 내측 엔드 블록(308)측의 제1 챔버(318) 내에 연통하여 작동유체를 흡배기하기 위한 구동 포트(322)와, 제2 챔버(320) 내에 연통하는 대기 개방용의 호흡 포트(324)가 형성되어 있다. 구동 포트(322)는, 밸브 몸체(304)에 설치된 이음새(326)의 내부구멍(326a)에 연통하고 있다. 이음새(326)에는, 작동유체가 유동하는 도시하지 않는 배관이 연결된다. 밸브 본체(314)는, 중간 블록(222)에 형성된 제2 밸브 시트(338)에 착좌 가능하도록 중간 유로(228) 내에 설치되어 있다.

이러한 접속부재(220)에서는, 제1 개폐밸브(224)는 노멀 오픈 방식의 밸브로서 구성되고, 제2 개폐밸브(226)는 노멀 클로우즈 방식의 밸브로서 구성되어 있다. 즉, 제1 개폐밸브(224)의 밸브 본체(278)는, 제1 개폐밸브(224)의 제2 챔버(284)에 작동유체가 공급되지 않는 상태에서 제1 밸브 시트(302)로부터 이격되어, 분기 포트(36)와 중간 유로(228)가 서로 연통한다. 이것에 의해, 예를 들면, 메인 포트(34)로부터 분기 포트(36)로 분기된 제1 유체를 제1 도입 포트(230), 중간 유로(228), 분기 어댑터(64)의 내부구멍(64a), 및 분기 배관(61)을 통하여 도시하지 않는 유체 공급처로 안내할 수 있다.

또, 제2 개폐밸브(226)의 밸브 본체(314)는, 제2 개폐밸브(226)의 제1 챔버(318)에 작동유체가 공급되지 않는 상태에서 제2 밸브 시트(338)에 착좌되어, 제2 도입 포트(232)와 중간 유로(228)와의 연통이 차단된다. 이것에 의해, 분기 포트(36)로부터 중간 유로(228)에 안내된 제1 유체가 제2 도입 포트(232)에 유입되지 않는다.

한편, 도 23에 도시된 바와 같이, 제1 개폐밸브(224)의 밸브 본체(278)는, 제1 개폐밸브(224)의 제2 챔버(284)에 작동유체를 공급하는 것에 의해 제1 밸브 시트(302)에 착좌되어, 분기 포트(36)와 중간 유로(228)와의 연통이 차단된다. 이것에 의해, 예를 들면, 분기 포트(36)로부터 중간 유로(228)로의 제1 유체의 유입이 차단되게 된다.

제2 개폐밸브(226)의 밸브 본체(314)는, 제2 개폐밸브(226)의 제1 챔버(318)에 작동유체를 공급하는 것에 의해 제2 밸브 시트(338)로부터 이격되어, 제2 도입 포트(232)와 중간 유로(228)가 연통된다. 이것에 의해, 제2 도입 포트(232)로부터 중간 유로(228)에 제2 유체를 공급하여, 중간 유로(228), 분기 어댑터(64)의 내부구멍(64a) 및 분기 배관(61) 내에 존재하는 제1 유체를 배출하는 것이 가능해진다.

접속부재(220)에서는, 중간 블록(222)의 나사 삽입구멍(252)은 매니폴드 블록(12)의 각각의 관통구멍(56)에 연통하고, 제1 개폐밸브(224)의 나사 삽입구멍(280)은 중간 블록(222)의 나사 삽입구멍(256)을 통하여 매니폴드 블록(12)의 관통구멍(58)에 연통한다. 이 경우, 매니폴드 블록(12)에는, 나사 삽입구멍(252)을 통하여 삽입된 나사부재(250)를 나사결합 가능한 설치구멍(340)과, 나사 삽입구멍(256) 및 나사 삽입구멍(280)을 통하여 삽입된 나사부재(254)를 나사결합 가능한 설치구멍(342)가 형성된 1조의 고정판(고정부재)(344)이 장착된다. 또한, 설치구멍(342)의 구멍 직경은, 설치구멍(340)의 구멍 직경보다 크다.

각각의 고정판(344)의 설치구멍(340)과 설치구멍(342)의 간격(피치 L8)은, 나사 삽입구멍(252)과 나사 삽입구멍(256)의 피치(L7)와 동일하게 설정되어 있다. 다시 말해서, 나사 삽입구멍(252) 및 나사 삽입구멍(256)의 위치는, 고정판(344)의 설치구멍(340) 및 설치구멍(342)의 위치에 대응하고 있다.

이것에 의해, 관통구멍(56)을 통하여 나사 삽입구멍(252)과 설치구멍(340)을 연통시키는 동시에 관통구멍(58)을 통하여 나사 삽입구멍(256)과 설치구멍(342)을 연통시킬 수 있다. 따라서, 나사 삽입구멍(252)을 통하여 삽입한 나사부재(250)를 고정판(344)의 설치구멍(340)에 나사결합시키는 동시에 나사 삽입구멍(256) 및 나사 삽입구멍(280)을 통하여 삽입한 나사부재(254)를 고정판(344)의 설치구멍(342)에 나사결합시키는 것에 의해, 접속부재(220)를 매니폴드 블록(12)에 대해서 용이하게 부착시킬 수 있다.

이와 같이, 본 실시형태에서는, 매니폴드 블록(12)에는, 복수 종류의 고정판(60, 182, 212, 344)를 이용하는 것에 의해, 복수 종류의 접속부재(62, 110, 190, 220)를 부착시킬 수 있다. 그 때문에, 매니폴드 장치(10A)에 있어서, 복수 종류의 접속부재(62, 110, 190, 220)를 혼재시킬 수 있다. 따라서, 매니폴드 장치(10A)의 설계 자유도를 향상시킬 수 있다. 또한, 매니폴드 블록(12)의 외측면(29a)에는, 후술하는 접속부재(386, 388, 420, 422, 538)를 부착시키는 것도 가능하다. 이것에 의해, 매니폴드 장치(10A)의 컴팩트화를 도모하면서 설계 자유도를 높일 수 있다.

(제2 실시형태)

다음에, 본 발명의 제2 실시형태에 따른 매니폴드 장치(10B)에 대해 도 24 및 도 25를 참조하면서 설명한다. 또한, 제2 실시형태에 따른 매니폴드 장치(10B)에 있어서, 제1 실시형태에 따른 매니폴드 장치(10A)와 동일한 구성요소에는 동일한 참조부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 생략한다.

도 24에 도시된 바와 같이, 본 실시형태에 따른 매니폴드 장치(10B)에서는, 3개의 매니폴드 블록(12)을 분기 어댑터(64)의 개구부(64b)의 방향이 각각 상이하도록 메인 포트(34)의 축선 주위에서 90도씩 위상을 상대적으로 바꿔 연결하고 있다. 즉, X1방향의 단부에 위치하는 분기 어댑터(64)의 개구부(64b)는 Y1방향을 향하고, X방향의 중앙에 위치하는 분기 어댑터(64)의 개구부(64b)는 Z2방향을 향하고, X2방향의 단부에 위치하는 분기 어댑터(64)의 개구부(64b)는 Y2방향을 향하고 있다.

본 실시형태에 의하면, 각각의 매니폴드 블록(12)의 4개의 삽입구멍(40)이, 메인 포트(34)의 축선(Ax1)으로부터 등거리인 위치에 메인 포트(34)의 축선 주위에서 90도씩 위상이 어긋나도록 설치되어 있다. 이것에 의해, 복수의 매니폴드 블록(12)을 메인 포트(34)의 축선 주위에서 상대적으로 소정 각도(90도, 180도, 270도)만큼 회전시킨 상태로 각각의 매니폴드 블록(12)의 삽입구멍(40)의 위치를 맞출 수 있다.

즉, 각각의 매니폴드 블록(12)에 장착된 분기 어댑터(64)의 개구부(64b)를 4 방향(Y1방향, Y2방향, Z1방향, Z2방향) 중 어느 하나의 방향으로 향하게 할 수 있다. 그 때문에, 예를 들면, 도 24 및 도 25와 같이, 각각의 접속부재(62)의 개구부가 서로 상이한 방향으로 향하도록 매니폴드 장치(10B)를 구성하는 것도 가능해진다. 이것에 의해, 각각의 매니폴드 블록(12)의 분기 어댑터(64)의 개구부(64b) 방향의 자유도를 높일 수 있다.

본 실시형태에 있어서, 접속부재(62)를 대신하여 상술한 접속부재(110, 190, 220) 또는 후술하는 접속부재(386, 388, 420, 422, 538)가 설치되어 있을 수도 있다.

(제3 실시형태)

다음에, 본 발명의 제3 실시형태에 따른 매니폴드 장치(10C)를 구비한 유체 유동 시스템(360)에 대해 도 26 ~ 도 36을 참조하면서 설명한다. 또한, 제3 실시형태에 따른 매니폴드 장치(10C)에 있어서, 상술한 매니폴드 장치(10A, 10B)와 동일한 구성요소에는 동일한 참조부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 생략한다.

도 26에 도시된 바와 같이, 유체 유동 시스템(360)은, 제1 유닛(362) 및 제2 유닛(364)의 조합으로 이루어지는 매니폴드 장치(10C)를 구비하고 있다. 이 유체 유동 시스템(360)은, 제1 유체 공급원(366)의 제1 유체가, 제1 메인 배관(368), 제1 유닛(362), 제1 분기 배관(370, 371), 유체 공급처(372, 373), 제2 분기 배관(374, 375), 제2 유닛(364), 제2 메인 배관(376)을 통하여 제1 유체 공급원(366)으로 복귀하도록 구성되어 있다.

즉, 제1 메인 배관(368)은, 제1 유체 공급원(366)과 제1 유닛(362)의 메인 어댑터(98)를 연결한다. 제1 분기 배관(370)은, 제1 유닛(362)의 접속부재(386)의 분기 어댑터(64)와 유체 공급처(372)를 연결하고, 제1 분기 배관(371)은, 제1 유닛(362)의 접속부재(388)의 분기 어댑터(64)와 유체 공급처(373)를 연결한다. 제2 분기 배관(374)은, 유체 공급처(372)와 제2 유닛(364)의 분기 어댑터(64)를 연결한다. 제2 메인 배관(376)은, 제2 유닛(364)의 메인 어댑터(98)와 제1 유체 공급원(366)을 연결한다.

또, 유체 유동 시스템(360)에는, 그 유체 유로 내에 존재하고 있는 물 등의 제1 유체를 해당 유체 유로 내로부터 배출하기 위한 이른바 플러쉬(flush) 기능이 설치되어 있다. 즉, 유체 유동 시스템(360)은, 제2 유체 공급원(378)의 제2 유체가, 도입 배관(380), 제1 유닛(362), 제1 분기 배관(371), 유체 공급처(373), 제2 분기 배관(375), 제2 유닛(364), 배출 배관(382)을 통하여 배출부(384)에 안내되도록 구성되어 있다.

도 27에 도시된 바와 같이, 제1 유닛(362)은, 복수(도 27에서는 7개)의 매니폴드 블록(12)이 일렬로 연결되어 있다. X1방향으로 위치하는 4개의 매니폴드 블록(12)에는 접속부재(386)이 장착되어 X2방향에 위치하는 3개의 매니폴드 블록(12)에는 플러쉬용의 접속부재(388)가 부착되어 있다.

도 28에 도시된 바와 같이, 접속부재(386)는, 접속부재 본체(387)와, 접속부재 본체(387)에 설치된 분기 어댑터(64)를 구비한다. 접속부재 본체(387)는, 매니폴드 블록(12)에 부착된 연결 블록(192)과, 연결 블록(192)에 설치된 스톱 밸브(390)을 구비하고 있다. 연결 블록(192) 및 분기 어댑터(64)의 구성은 상술한 바와 같다. 분기 어댑터(64)는, 스톱 밸브(390)에 설치되어 있다. 또한, 접속부재(386)의 스톱 밸브(390) 및 분기 어댑터(64)는, 복수(4개)의 나사부재(392)에 의해서 연결 블록(192)에 대해 고정되어 있다(도 27 참조).

스톱 밸브(390)는, 연결 블록(192)의 유체 유로(192a)에 연통하는 제1 포트(394)와 분기 어댑터(64)의 내부구멍(64a)에 연통하는 제2 포트(396)가 형성된 밸브 몸체(398)와, 밸브 몸체(398)에 설치된 원기둥 형상의 밸브 본체(400)와, 밸브 본체(400)를 조작하기 위한 조작부(402)를 가지고 있다. 밸브 몸체(398)와 연결 블록(192)과의 사이에는, 유체의 외부로의 누출을 억제하기 위한 환 형상의 씰 부재(404)가 설치되어 있다. 밸브 몸체(398)와 분기 어댑터(64)와의 사이에는, 유체의 외부로의 누출을 억제하기 위한 환 형상의 씰 부재(405)가 설치되어 있다.

밸브 본체(400)에는, 그 축선과 직교하는 방향으로 관통하는 관통구멍(406)이 형성되어 있다. 관통구멍(406)은, 밸브 몸체(398)의 제1 포트(394) 및 제2 포트(396)를 연통하여, 스톱 밸브(390)의 유체 유로(390a)를 구성한다.

또, 밸브 본체(400)는, 그 축선 주위에서 회전 가능한 상태로 밸브 몸체(398)에 설치되어 있다. 밸브 본체(400)의 외주면에는, 복수의 씰 부재가 설치되어 있다. 밸브 본체(400)는, 밸브 몸체(398)의 외측에 노출되도록 연장되는 축부(408)를 가지며, 축부(408)에는, 조작부(402)가 고정되어 있다. 즉, 밸브 본체(400) 및 조작부(402)는, 밸브 몸체(398)에 대해서 밸브 본체(400)의 축선 주위에서 회전 가능하게 이루어져 있다.

이러한 접속부재(386)에서는, 조작부(402)를 개방위치로 함(스톱 밸브(390)를 개방)으로써, 밸브 본체(400)의 관통구멍(406)이 제1 포트(394) 및 제2 포트(396)에 연통한다. 즉, 분기 포트(36)는, 연결 블록(192)의 유체 유로(192a), 스톱 밸브(390)의 유체 유로(390a)를 통하여 분기 어댑터(64)의 내부구멍(64a)에 연통한다. 한편, 조작부(402)를 소정의 폐쇄위치까지 회전시키면(스톱 밸브(390)를 폐쇄), 제1 포트(394) 및 제2 포트(396)의 연통이 밸브 본체(400)에 의해서 차단된다.

도 29에 도시된 바와 같이, 접속부재(388)는, 접속부재 본체(389)와, 접속부재 본체(389)에 설치된 분기 어댑터(64)를 구비한다. 접속부재 본체(389)는, 매니폴드 블록(12)에 장착된 중간 블록(222)과, 중간 블록(222)에 설치된 제1 개폐밸브(224) 및 제2 개폐밸브(226)와, 중간 블록(222)의 길이방향 단부에 설치된 스톱 밸브(390)를 가지고 있다. 분기 어댑터(64)는, 스톱 밸브(390)에 설치되어 있다.

중간 블록(222), 제1 개폐밸브(224), 제2 개폐밸브(226), 스톱 밸브(390) 및 분기 어댑터(64)의 구성은 상술한 바와 같다. 또한, 접속부재(388)의 스톱 밸브(390) 및 분기 어댑터(64)는, 복수(4개)의 나사부재(410)에 의해서 중간 블록(222)에 대해 고정되어 있다(도 27 참조). 또, 스톱 밸브(390)의 밸브 몸체(398)와 중간 블록(222)과의 사이에는, 유체의 외부로의 누출을 억제하기 위한 환 형상의 씰 부재(412)가 설치되어 있다.

접속부재(388)에서는, 스톱 밸브(390)의 조작부(402)를 개방위치로 하는 동시에 제1 개폐밸브(224)의 밸브 본체(278)를 제1 밸브 시트(302)로부터 이격시킨 상태에서, 분기 포트(36)는, 중간 블록(222)의 제1 도입 포트(230), 중간 유로(228), 스톱 밸브(390)의 제1 포트(394), 관통구멍(406), 제2 포트(396)를 통하여 분기 어댑터(64)의 내부구멍(64a)에 연통한다.

도 30 및 도 31에 도시된 바와 같이, 제2 유닛(364)에서는, 7개의 매니폴드 블록(12)이 X방향으로 연결된 제1 매니폴드 블록 그룹(414)과, 3개의 매니폴드 블록(12)이 X방향으로 연결된 제2 매니폴드 블록 그룹(416)이 Y방향으로 서로 인접하고 있다. 구체적으로는, 제1 매니폴드 블록 그룹(414) 중 X2방향으로 위치하는 3개의 매니폴드 블록(12)이 제2 매니폴드 블록 그룹(416)의 3개의 매니폴드 블록(12)에 대해서 Y방향으로 인접하고 있다. 제2 유닛(364)의 X2방향의 엔드 플레이트(418)는, 상술한 엔드 플레이트(16)에 비해서 큰 폭으로(Y방향의 치수가 넓게) 형성되어 있다.

제1 매니폴드 블록 그룹(414) 중 X1방향으로 위치하는 4개의 매니폴드 블록(12)에는 접속부재(420)가 부착되고, X2방향으로 위치하는 3개의 매니폴드 블록(12)에는 플러쉬용의 접속부재(422)가 부착되어 있다.

도 32에 도시된 바와 같이, 접속부재(420)는, 접속부재 본체(421)와, 접속부재 본체(421)에 설치된 분기 어댑터(64)를 구비한다. 접속부재 본체(421)는, 매니폴드 블록(12)에 부착된 연결 블록(192)과, 연결 블록(192)에 설치된 스톱 밸브(390)와, 스톱 밸브(390)에 설치된 유량계(114)를 구비하고 있다. 분기 어댑터(64)는, 유량계(114)에 설치되어 있다.

연결 블록(192), 스톱 밸브(390), 유량계(114) 및 분기 어댑터(64)의 구성은 상술한 바와 같다. 또한, 스톱 밸브(390), 유량계(114) 및 분기 어댑터(64)는, 복수(4개)의 나사부재(424)에 의해서 연결 블록(192)에 대해 고정되어 있다(도 31 참조). 또, 스톱 밸브(390)와 유량계(114)와의 사이에는, 유체의 외부로의 누출을 억제하기 위한 환 형상의 씰 부재(425)가 설치되어 있다.

접속부재(420)에서는, 스톱 밸브(390)의 조작부(402)를 개방위치로 한 상태에서, 분기 포트(36)는, 연결 블록(192)의 유체 유로(192a), 스톱 밸브(390)의 제1 포트(394), 관통구멍(406), 제2 포트(396), 유량계(114)의 유체 유로(114a)를 통하여 분기 어댑터(64)의 내부구멍(64a)에 연통한다.

도 33에 도시된 바와 같이, 접속부재(422)는, 접속부재 본체(423)와, 접속부재 본체(423)에 설치된 분기 어댑터(64)를 구비한다. 접속부재 본체(423)는, 중간 블록(426), 제3 개폐밸브(428), 제4 개폐밸브(430), 연결 블록(192), 스톱 밸브(390) 및 유량 조정 밸브(112)를 구비하고 있다. 분기 어댑터(64)는, 유량 조정 밸브(112)에 설치되어 있다. 연결 블록(192), 스톱 밸브(390), 유량 조정 밸브(112) 및 분기 어댑터(64)의 구성은 상술한 바와 같다.

중간 블록(426)은, 대략 직육면체 형상으로 형성되어 있고, 제1 매니폴드 블록 그룹(414)의 매니폴드 블록(12)과 제2 매니폴드 블록 그룹(416)의 매니폴드 블록(12)에 대해서 부착되어 있다.

중간 블록(426)에는, 연결 블록(192)의 유체 유로(192a)에 연통하는 중간 유로(432)와, 제1 매니폴드 블록 그룹(414)의 분기 포트(36) 및 중간 유로(432)를 연통시키는 제1 유출 포트(제1 중간 연통 포트)(434)와, 제2 매니폴드 블록 그룹(416)의 분기 포트(36) 및 중간 유로(432)를 연통시키는 제2 유출 포트(제2 중간 연통 포트)(436)가 형성되어 있다.

중간 유로(432)는, 중간 블록(426)의 길이방향으로 관통 형성되는 동시에 중간 블록(426)의 길이방향과 직교하는 방향으로 위치하는 Z2방향 측면에서 개구되어 있다. 제1 유출 포트(434) 및 제2 유출 포트(436)는, 중간 블록(426)의 길이방향(Y방향)으로 배열되고, 중간 블록(426)의 길이방향과 직교하는 방향으로 위치하는 Z1방향 측면으로 개구되어 있다.

제1 매니폴드 블록 그룹(414)의 매니폴드 블록(12)과 중간 블록(426)과의 사이에는, 유체의 외부로의 누출을 억제하기 위한 환 형상의 씰 부재(442)가 설치되어 있다. 제2 매니폴드 블록 그룹(416)의 매니폴드 블록(12)과 중간 블록(426)과의 사이에는, 유체의 외부로의 누출을 억제하기 위한 환 형상의 씰 부재(444)가 설치되어 있다.

중간 블록(426)과 연결 블록(192)과의 사이에는, 유체의 외부로의 누출을 억제하기 위한 환 형상의 씰 부재(446)가 설치되어 있다. 중간 블록(426)의 길이방향의 일단면(Y1방향의 단면)에는 제3 개폐밸브(428)가 배열설치되는 구멍이 형성되고, 중간 블록(426)의 길이방향의 타단면(Y2방향의 단면)에는 제4 개폐밸브(430)가 배열설치되는 구멍이 형성되어 있다.

제3 개폐밸브(428)는, 상술한 제1 개폐밸브(224)와 마찬가지로 구성되어 있고, 밸브 몸체(448), 외측 엔드 블록(450), 내측 엔드 블록(452), 피스톤(454), 로드(456) 및 밸브 본체(458)를 가지고 있다. 내측 엔드 블록(452)과 피스톤(454)과의 사이에는 제1 챔버(460)가 형성되고, 피스톤(454)의 내측 엔드 블록(452)의 반대쪽에는 제2 챔버(462)가 형성되어 있다.

밸브 몸체(448)에는, 제1 챔버(460)에 연통하는 대기 개방용의 호흡 포트(464)와, 제2 챔버(462)에 연통하여 작동유체를 흡배기하기 위한 구동 포트(466)가 형성되어 있다. 구동 포트(466)는, 밸브 몸체(448)에 설치된 이음새(468)의 내부구멍(468a)에 연통하고 있다. 제3 개폐밸브(428)의 밸브 본체(458)는, 중간 블록(426)에 형성된 제3 밸브 시트(470)에 착좌 가능하도록 설치되어 있다.

제3 개폐밸브(428)는, 밸브 본체(458)가 제3 밸브 시트(470)로부터 이격된 상태에서 제1 매니폴드 블록 그룹(414)의 분기 포트(36)와 연결 블록(192)의 유체 유로(192a)를 연통시킨다. 또, 제3 개폐밸브(428)는, 밸브 본체(458)가 제3 밸브 시트(470)에 착좌된 상태로 제1 매니폴드 블록 그룹(414)의 분기 포트(36)와 연결 블록(192)의 유체 유로와의 연통을 차단한다.

제4 개폐밸브(430)는, 상술한 제2 개폐밸브(226)와 마찬가지로 구성되어 있고, 밸브 몸체(472), 외측 엔드 블록(474), 내측 엔드 블록(476), 피스톤(478), 로드(480) 및 밸브 본체(482)를 가지고 있다. 내측 엔드 블록(476)과 피스톤(478)과의 사이에는 제1 챔버(484)가 형성되고, 피스톤(478)의 내측 엔드 블록(476)의 반대쪽에는 제2 챔버(486)가 형성되어 있다.

밸브 몸체(472)에는, 제1 챔버(484)에 연통하여 작동유체를 흡배기하기 위한 구동 포트(488)와, 제2 챔버(486)에 연통하는 대기 개방용의 호흡 포트(490)가 형성되어 있다. 구동 포트(488)는, 밸브 몸체(472)에 설치된 이음새(492)의 내부구멍(492a)에 연통하고 있다. 제4 개폐밸브(430)의 밸브 본체(482)는, 중간 블록(426)에 형성된 제4 밸브 시트(494)에 착좌 가능하도록 설치되어 있다.

제4 개폐밸브(430)는, 밸브 본체(482)가 제4 밸브 시트(494)로부터 이격된 상태에서 제2 매니폴드 블록 그룹(416)의 분기 포트(36)와 연결 블록(192)의 유체 유로(192a)를 연통시킨다. 또, 제4 개폐밸브(430)는, 밸브 본체(482)가 제4 밸브 시트(494)에 착좌된 상태로 제2 매니폴드 블록 그룹(416)의 분기 포트(36)와 연결 블록(192)의 유체 유로(192a)와의 연통을 차단한다.

도 34에 도시된 바와 같이, 이러한 접속부재(422)에서는, 중간 블록(426) 및 연결 블록(192)은, 복수(4개)의 나사부재(496)에 의해서 제1 매니폴드 블록 그룹(414)의 매니폴드 블록(12)의 고정판(고정부재)(498)에 대해서 고정되어 있다. 즉, 나사부재(496)는, 연결 블록(192)의 나사 삽입구멍(208), 중간 블록(426)의 나사 삽입구멍(495), 제1 매니폴드 블록 그룹(414)의 매니폴드 블록(12)의 관통구멍(56, 58)을 삽입관통하여, 고정판(498)에 형성된 설치구멍(499)에 나사결합하고 있다.

또, 중간 블록(426)은, 복수(4개)의 나사부재(500)에 의해서 제2 매니폴드 블록 그룹(416)의 매니폴드 블록(12)의 고정판(고정부재)(502)에 대해서 고정되어 있다. 즉, 나사부재(500)는, 중간 블록(426)의 나사 삽입구멍(501), 제2 매니폴드 블록 그룹(416)의 매니폴드 블록(12)의 관통구멍(56, 58)을 삽입관통하여, 고정판(502)에 형성된 설치구멍(503)에 나사결합하고 있다.

제3 개폐밸브(428)는 복수(2개)의 나사부재(504)에 의해서 중간 블록(426)의 일단면에 대해 고정되고, 제4 개폐밸브(430)는 복수(2개)의 나사부재(506)에 의해서 중간 블록(426)의 타단면에 대해 고정되어 있다(도 31 참조). 연결 블록(192), 스톱 밸브(390), 유량 조정 밸브(112) 및 분기 어댑터(64)는, 복수(4개)의 나사부재(508)에 의해서 연결 블록(192)에 대해 고정되어 있다.

또한, 스톱 밸브(390)와 유량 조정 밸브(112)와의 사이에는, 유체가 외부로 누출되는 것을 억제하기 위한 환 형상의 씰 부재(510)가 설치되고, 유량 조정 밸브(112)와 분기 어댑터(64)와의 사이에는, 유체가 외부로 누출되는 것을 억제하기 위한 환 형상의 씰 부재(512)가 설치되어 있다(도 33 참조).

다음에, 본 실시형태에 따른 매니폴드 장치(10C)의 동작에 대해 설명한다. 제1 유체를 복수의 유체 공급처(372)에 유동시키는 경우, 제1 유닛(362)의 각각의 접속부재(386)에 있어서, 스톱 밸브(390)를 연다(도 28 참조). 또, 제1 유닛(362)의 각각의 접속부재(388)에 있어서, 스톱 밸브(390)를 열어, 제1 개폐밸브(224)의 밸브 본체(278)를 제1 밸브 시트(302)로부터 이격시키는 동시에 제2 개폐밸브(226)의 밸브 본체(314)를 제2 밸브 시트(338)에 착좌시킨다(도 29 참조).

또한, 제2 유닛(364)의 각각의 접속부재(420)에 있어서, 스톱 밸브(390)를 연다(도 32 참조). 나아가서, 제2 유닛(364)의 각각의 접속부재(422)에 있어서, 유량 조정 밸브(112)의 밸브 본체(150)를 밸브 시트(148)로부터 이격시키는 동시에 스톱 밸브(390)를 열어, 제3 개폐밸브(428)의 밸브 본체(458)를 제3 밸브 시트(470)로부터 이격시키는 동시에 제4 개폐밸브(430)의 밸브 본체(482)를 제4 밸브 시트(494)에 착좌시킨다(도 33 참조).

그리고, 제1 유체 공급원(366)으로부터 제1 메인 배관(368)을 통하여 제1 유닛(362)의 메인 어댑터(98)의 내부구멍(98a)에 제1 유체를 공급한다. 그렇게 하면, 도 26에 도시된 바와 같이, 메인 어댑터(98)의 내부구멍(98a)으로 안내된 제1 유체는, 매니폴드 블록(12)의 메인 포트(34)에서 7개의 분기 포트(36)로 분기되어 4개의 접속부재(386)와 3개의 접속부재(388) 각각으로 안내된다. 그리고, 각각의 접속부재(386)에 있어서, 제1 유체는, 연결 블록(192)의 유체 유로(192a), 스톱 밸브(390)의 유체 유로(390a) 및 분기 어댑터(64)의 내부구멍(64a)을 통과하고, 제1 분기 배관(370)을 통하여 4개의 유체 공급처(372) 각각으로 안내된다(도 28 참조).

또, 각각의 접속부재(388)에 있어서, 제1 유체는, 중간 블록(222)의 제1 도입 포트(230), 중간 유로(228), 스톱 밸브(390)의 유체 유로(390a) 및 분기 어댑터(64)의 내부구멍(64a)을 통과하고, 제1 분기 배관(371)을 통하여 3개의 유체 공급처(373) 각각으로 안내된다(도 29 참조). 이 때, 접속부재(388)에서는, 제2 개폐밸브(226)의 밸브 본체(314)가 제2 밸브 시트(338)에 착좌되어 있기 때문에, 제1 유체가 제2 도입 포트(232)를 통하여 제2 유체 공급원(378)에 유입되지 않는다.

4개의 유체 공급처(372)에서 이용된 제1 유체는, 제2 분기 배관(374)을 통하여 제2 유닛(364)의 4개의 접속부재(420) 각각에 안내되고, 3개의 유체 공급처(373)에서 이용된 제1 유체는, 제2 분기 배관(375)을 통하여 제2 유닛(364)의 3개의 접속부재(422) 각각에 안내된다. 그리고, 각각의 접속부재(420)에 있어서, 제1 유체는, 분기 어댑터(64)의 내부구멍(64a), 유량계(114)의 유체 유로(114a), 스톱 밸브(390)의 유체 유로(390a), 연결 블록(192)의 유체 유로(192a)를 통과하고, 제1 매니폴드 블록 그룹(414)의 분기 포트(36)로 안내된다(도 32 참조).

또, 각각의 접속부재(422)에 있어서, 제1 유체는, 분기 어댑터(64)의 내부구멍(64a), 유량 조정 밸브(112)의 유체 유로(112a), 스톱 밸브(390)의 유체 유로(390a), 연결 블록(192)의 유체 유로(192a), 중간 블록(426)의 중간 유로(432), 제1 유출 포트(434)를 통과하고, 제1 매니폴드 블록 그룹(414)의 분기 포트(36)로 안내된다(도 33 참조). 이 때, 접속부재(422)에서는, 제4 개폐밸브(430)의 밸브 본체(482)가 제4 밸브 시트(494)에 착좌되어 있기 때문에, 제1 유체가 제2 매니폴드 블록 그룹(416)의 분기 포트(36)에 유입되지 않는다.

제1 매니폴드 블록 그룹(414)에 있어서, 각각의 분기 포트(36)로 안내된 제1 유체는, 메인 포트(34)에 합류되고, 제2 메인 배관(376)을 통하여 제1 유체 공급원(366)으로 복귀된다.

한편, 유체 유동 시스템(360)의 유체 유로 내의 제1 유체를 배출하는 경우에는, 제1 유체 공급원(366)으로부터 제1 유닛(362)으로의 제1 유체의 공급을 정지시킨다. 또, 각각의 접속부재(388)에 있어서, 제1 개폐밸브(224)의 밸브 본체(278)를 제1 밸브 시트(302)에 착좌시키는 동시에 제2 개폐밸브(226)의 밸브 본체(314)를 제2 밸브 시트(338)로부터 이격시킨다(도 35 참조). 또한, 각각의 접속부재(422)에 있어서, 제3 개폐밸브(428)의 밸브 본체(458)를 제3 밸브 시트(470)에 착좌시키는 동시에 제4 개폐밸브(430)의 밸브 본체(482)를 제4 밸브 시트(494)로부터 이격시킨다(도 36 참조).

그리고, 제2 유체 공급원(378)으로부터 도입 배관(380)을 통하여 제1 유닛(362)의 각각의 접속부재(388)에 제2 유체를 공급한다. 각각의 접속부재(388)에 있어서, 제2 유체는, 제2 도입 포트(232), 중간 블록(222)의 중간 유로(228), 스톱 밸브(390)의 유체 유로(390a) 및 분기 어댑터(64)의 내부구멍(64a)을 통과하고, 제1 분기 배관(371)을 통하여 3개의 유체 공급처(373) 각각으로 안내된다. 이 때, 접속부재(388)에서는, 제1 개폐밸브(224)의 밸브 본체(278)가 제1 밸브 시트(302)에 착좌되어 있기 때문에, 제2 유체가 제1 유닛(362)의 분기 포트(36)에 유입되지 않는다.

3개의 유체 공급처(373)를 유동한 제2 유체는, 제2 분기 배관(375)을 통하여 제2 유닛(364)의 3개의 접속부재(422) 각각으로 안내된다. 그리고, 접속부재(422)에 있어서, 제2 유체는, 분기 어댑터(64)의 내부구멍(64a), 유량 조정 밸브(112)의 유체 유로(112a), 스톱 밸브(390)의 유체 유로(390a), 연결 블록(192)의 유체 유로(192a), 중간 블록(426)의 중간 유로(432)를 통과하고, 제2 매니폴드 블록 그룹(416)의 분기 포트(36)로 안내된다(도 36 참조). 이 때, 접속부재(422)에서는, 제3 개폐밸브(428)의 밸브 본체(458)가 제3 밸브 시트(470)에 착좌되어 있기 때문에, 제2 유체가 제1 매니폴드 블록 그룹(414)의 분기 포트(36)에 유입되지 않는다. 제2 매니폴드 블록 그룹(416)의 각각의 분기 포트(36)로 안내된 제2 유체는, 메인 포트(34)에서 합류되고, 배출 배관(382)을 통하여 배출부(384)에서 배출된다.

이것에 의해, 각각의 접속부재(388)의 유체 유로(중간 블록(426)의 중간 유로(432), 스톱 밸브(390)의 유체 유로(390a), 분기 어댑터(64)의 내부구멍(64a)), 제1 분기 배관(371), 각각의 접속부재(422)의 유체 유로(분기 어댑터(64)의 내부구멍(64a), 유량 조정 밸브(112)의 유체 유로(112a), 스톱 밸브(390)의 유체 유로(390a), 연결 블록(192)의 유체 유로(192a), 중간 블록(426)의 중간 유로(432))에 잔류하고 있던 제1 유체를 제2 유체에 의해서 배출부(384)로 배출할 수 있다.

본 실시형태에 의하면, 제1 유체를 분기 또는 집합시키는 매니폴드 블록(12)에 플러쉬용의 접속부재(388) 및 접속부재(422)를 부착시킬 수 있다. 이것에 의해, 플러쉬용의 매니폴드 장치(10C)를 따로 설치하는 경우와 비교하여 매니폴드 장치(10C)의 설치면적(풋프린트)을 감소시킬 수 있다.

(제4 실시형태)

다음에, 본 발명의 제4 실시형태에 따른 매니폴드 장치(10D)를 구비한 유체 유동 시스템(520)에 대해 도 37 ~ 도 40을 참조하면서 설명한다. 또한, 제4 실시형태에 따른 매니폴드 장치(10D)에 있어서, 상술한 매니폴드 장치(10A ~ 10C)와 동일한 구성요소에는 동일한 참조부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 생략한다.

도 37에 도시된 바와 같이, 유체 유동 시스템(520)은, 제1 유닛(522) 및 제2 유닛(524)의 조합으로 이루어지는 매니폴드 장치(10D)를 구비하고 있다. 이 유체 유동 시스템(520)에서는, 유체 공급원(526)의 유체가, 제1 메인 배관(528), 제1 유닛(522), 제1 분기 배관(530), 유체 공급처(532), 제2 분기 배관(534), 제2 유닛(524), 제2 메인 배관(536)을 통하여 유체 공급원(526)으로 복귀되도록 구성되어 있다.

도 38 및 도 39에 도시된 바와 같이, 매니폴드 장치(10D)는, 복수(예를 들면, 10개)의 매니폴드 블록(12)이 일렬로 연결되어 있다. X1방향으로 위치하는 5개의 매니폴드 블록(12)이 제1 유닛(522)을 구성하고, X2방향으로 위치하는 5개의 매니폴드 블록(12)이 제2 유닛(524)을 구성한다. 제1 유닛(522)의 각각의 매니폴드 블록(12)에는, 접속부재(538)가 부착되어 있다. 접속부재(538)의 접속부재 본체(539)는, 분기 어댑터(64) 및 매니폴드 블록(12)을 연결하는 연결 블록(192)을 가지고 있다(도 40 참조). 연결 블록(192) 및 분기 어댑터(64)의 구성은 상술한 바와 같다.

또한, 분기 어댑터(64)는, 복수(4개)의 나사부재(540)에 의해서 연결 블록(192)에 대해 고정되어 있다. 접속부재(538)에서는, 분기 포트(36)는, 연결 블록(192)의 유체 유로(192a)를 통하여 분기 어댑터(64)의 내부구멍(64a)에 연통한다(도 40 참조). 또한, 연결 블록(192)과 분기 어댑터(64)와의 사이에는, 유체의 외부로의 누출을 억제하기 위한 환 형상의 씰 부재(541)가 설치되어 있다. 제2 유닛(524)의 각각의 매니폴드 블록(12)에는, 상술한 접속부재(420)가 부착되어 있다.

도 39에 있어서, 제1 유닛(522)과 제2 유닛(524)과의 사이에는, 연결관(14)을 대신하여 폐쇄부재(542)가 배열설치되어 있다. 폐쇄부재(542)는, 연결관(14)의 내부구멍(14a)을 폐쇄시키는 형상을 가지고 있고, 제1 유닛(522)의 메인 포트(34)와 제2 유닛(524)의 메인 포트(34)와의 연통을 차단하는 부재이다.

또, 매니폴드 장치(10D)에는, 제1 유닛(522)과 제2 유닛(524)의 경계를 나타내는 표시부재(544)가 설치되어 있다. 표시부재(544)는, 상술한 다리부(82)와 마찬가지의 구성을 구비하고 있기 때문에, 그 상세한 설명은 생략한다. 표시부재(544)는, 제1 유닛(522)의 매니폴드 블록(12)의 제4 벽부(28d)와 제2 유닛(524)의 매니폴드 블록(12)의 제4 벽부(28d)와의 사이에 형성된 2개의 장착구멍(80)에 장착되어 있다.

도 38에서는, 매니폴드 블록(12)에 대해서 Y1방향으로 표시부재(544)를 장착한 예를 나타내고 있지만, 매니폴드 블록(12)의 Y2방향으로 표시부재(544)를 장착해도 괜찮은 것은 말할 필요도 없다. 표시부재(544)는, 매니폴드 블록(12)의 색과는 상이한 색(예를 들면, 청색 등)으로 착색할 수도 있다. 이것에 의해, 표시부재(544)를 매니폴드 블록(12)에 비해서 눈에 띄게 할 수 있다.

본 실시형태에 의하면, 제1 유닛(522)과 제2 유닛(524)을 매니폴드 블록(12)의 연결방향으로 일체로 설치할 수 있다. 또, 표시부재(544)에 의해서 폐쇄부재(542)의 위치를 나타낼 수 있기 때문에, 제1 유닛(522)과 제2 유닛(524)과의 경계를 용이하게 알 수 있다.

본 실시형태에 있어서, 제1 유닛(522)은, 예를 들면, 접속부재(538)를 대신하여 상술한 접속부재(62, 110, 190, 386, 420) 중 어느 하나가 설치될 수도 있다. 또, 제2 유닛(524)은, 예를 들면, 접속부재(420)를 대신하여 상술한 접속부재(62, 110, 190, 386, 538) 중 어느 하나가 설치될 수도 있다.

(제5 실시형태)

다음에, 본 발명의 제5 실시형태에 따른 매니폴드 장치(10E)에 대해 도 41 ~ 도 42b를 참조하면서 설명한다. 또한, 제5 실시형태에 따른 매니폴드 장치(10E)에 있어서, 상술한 매니폴드 장치(10A ~ 10D)와 동일한 구성요소에는 동일한 참조부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 생략한다.

도 41 및 도 42a에 도시된 바와 같이, 본 실시형태에 따른 매니폴드 장치(10E)는, 상술한 접속부재(538)가 부착된 복수(예를 들면, 5개)의 매니폴드 블록(12)이 일렬로 연결되어 있다. 또, 연결방향의 중앙에 위치하는 매니폴드 블록(12)에는, 매니폴드 블록(12)을 설치부(700)에 대해서 고정하기 위한 고정도구(550)가 부착되어 있다.

도 42a 및 도 42b에 도시된 바와 같이, 고정도구(550)는, 일방향(Y방향)으로 연장되는 판 형상 부재이다. 고정도구(550)는, 직사각형의 중앙부(552)와, 중앙부(552)로부터 제1 단차부(554)를 통하여 Y1방향으로 연장하는 제1 연장부(556)와, 제1 연장부(556)에 설치된 제1 단부(558)와, 중앙부(552)로부터 제2 단차부(560)를 통하여 Y2방향으로 연장하는 제2 연장부(562)와, 제2 연장부(562)에 설치된 제2 단부(564)를 구비하고 있다.

중앙부(552)에는, 길이방향을 따라서 고정구멍(76)의 피치와 같은 피치의 2개의 중앙구멍(566)이 형성되어 있다. 제1 단차부(554)는, 중앙부(552)로부터 Z1방향으로 돌출되어 있다. 제1 단차부(554)는, 중앙부(552)의 전체 폭에 걸쳐 설치되어 있다. 제1 연장부(556)는, 제1 단차부(554)와 동일한 폭치수를 가지고 있다. 제1 단부(558)는, 제1 연장부(556)보다 X방향 양쪽으로 연장되어 있다. 제1 단부(558)에는, X방향으로 연장된 2개의 제1 설치구멍(568)이 X방향으로 늘어서 형성되어 있다.

제2 단차부(560)는, 중앙부(552)로부터 Z2방향으로 제1 단차부(554)와 동일한 치수만큼 돌출되어 있다. 제2 단차부(560)는, 중앙부(552)의 폭방향(X방향) 중앙으로부터 X2방향의 단부에 걸쳐 설치되어 있다. 제2 연장부(562)는, 제2 단차부(560)와 동일한 폭치수를 가지고 있다. 제2 단부(564)는, 제2 연장부(562)보다 X2방향으로 연장되어 있다. 제2 단부(564)에는, X방향으로 연장된 1개의 제2 설치구멍(570)이 형성되어 있다.

이와 같이 구성된 고정도구(550)는, 예를 들면, 고정도구(550)의 중앙구멍(566)을 통하여 삽입한 2개의 탭핑 나사 각각을 중앙에 위치하는 매니폴드 블록(12)의 Z1방향의 각각의 고정구멍(76)에 단단히 조이는 것에 의해 매니폴드 블록(12)에 대해서 부착된다. 이 때, 제1 단부(558)는 매니폴드 블록(12)보다 Y1방향에 위치하고, 제2 단부(564)는 매니폴드 블록(12)보다 Y2방향에 위치한다.

그리고, 제1 단부(558)의 각각의 제1 설치구멍(568) 및 제2 단부(564)의 제2 설치구멍(570)에 대해서 도시하지 않은 나사부재를 삽입시켜 이들 나사부재를 설치부(700)에 대해서 단단히 조이는 것에 의해, 매니폴드 블록(12)이 고정도구(550)를 통하여 설치부(700)에 대해서 고정된다. 이것에 의해, 매니폴드 장치(10E)를 설치부(700)에 대해서 확실하게 고정할 수 있다.

본 실시형태에 있어서, 매니폴드 장치(10E)는, 예를 들면, 접속부재(538)를 대신하여 상술한 접속부재(62, 110, 190, 386, 420) 중 어느 하나가 설치될 수도 있다.

(제6 실시형태)

다음에, 본 발명의 제6 실시형태에 따른 매니폴드 장치(10F)에 대해 도 43 및 도 44를 참조하면서 설명한다. 또한, 제6 실시형태에 따른 매니폴드 장치(10F)에 있어서, 상술한 매니폴드 장치(10A ~ 10E)와 동일한 구성요소에는 동일한 참조부호를 부여하고, 그 상세한 설명은 생략한다.

도 43 및 도 44에 도시된 바와 같이, 본 실시형태에 따른 매니폴드 장치(10F)는, Y방향으로 병설된 제1 유닛(580)과 제2 유닛(582)을 구비하고 있다. 제1 유닛(580)은, 상술한 제5 실시형태에 따른 매니폴드 장치(10E)와 마찬가지의 구성을 가지고 있다. 그 때문에, 제1 유닛(580)의 상세한 설명에 대해서는 생략한다.

제2 유닛(582)은, 복수(예를 들면, 5개)의 매니폴드 블록(12)이 일렬로 연결되어 있다. 제2 유닛(582)의 각각의 매니폴드 블록(12)에는, 상술한 접속부재(420)가 부착되어 있다. 본 실시형태의 엔드 플레이트(418)는, 제1 유닛(580)의 매니폴드 블록(12)과 제2 유닛(582)의 매니폴드 블록(12)을 양쪽에서 사이에 끼워 고정하고 있다.

제2 유닛(582)의 연결방향 중앙에 위치하는 매니폴드 블록(12)의 Z1방향 외측면(29c)에는, 제1 단부(558)가 Y2방향에 위치하는 동시에 제2 단부(564)가 Y1방향에 위치하도록 고정도구(550)가 부착되어 있다. 제2 유닛(582)의 고정도구(550)는, 제1 유닛(580)의 고정도구(550)에 대해서 180도만큼 방향이 상이하다. 이것에 의해, 제2 유닛(582)의 고정도구(550)의 제2 단부(564)를 제1 유닛(580)의 고정도구(550)의 제2 단부(564)에 간섭하지 않고 배치할 수 있다.

이 경우, 제1 유닛(580)의 고정도구(550) 각각의 제1 설치구멍(568)과 제2 유닛(582)의 고정도구(550) 각각의 제1 설치구멍(568)에 삽입관통시킨 도시하지 않은 4개의 나사부재를 설치부(700)에 대해서 체결하는 것에 의해, 제1 유닛(580) 및 제2 유닛(582)이 설치부(700)에 대해서 용이하게 또한 확실하게 고정될 수 있다.

본 실시형태에 있어서, 제1 유닛(580)은, 예를 들면, 접속부재(538)를 대신하여 상술한 접속부재(62, 110, 190, 386, 420) 중 어느 하나가 설치될 수도 있다. 또, 제2 유닛(582)은, 예를 들면, 접속부재(420)를 대신하여 상술한 접속부재(62, 110, 190, 386, 538) 중 어느 하나가 설치될 수도 있다.

본 발명에 따른 매니폴드 장치는, 상술한 실시형태에 한정하지 않고, 본 발명의 요지를 일탈함 없이, 여러 가지의 구성을 채택할 수 있는 것은 물론이다.

10A ~ 10F: 매니폴드 장치
12: 매니폴드 블록
22: 내관부
26: 외관부
28: 외측 틀부
30: 내측 연결부
32: 외측 연결부
34: 메인 포트
36: 분기 포트
56, 58: 관통구멍
60, 182, 212, 344, 498, 502: 고정부재
61, 370, 371, 374, 375, 530, 534: 분기 배관
62, 110, 190, 220, 386, 388, 420, 422, 538: 접속부재
64: 분기 어댑터
70, 140, 206, 250, 254, 496, 500: 나사부재
72, 142, 208, 252, 256, 280, 495, 501: 나사 삽입구멍
74, 180, 210, 340, 342, 499, 503: 설치구멍
78: 절결부
80: 장착구멍
82: 다리부
86: 축부
98: 메인 어댑터
99, 368, 376, 528, 536: 메인 배관
111, 191, 221, 387, 389, 421, 423, 539: 접속부재 본체
112: 유량 조정 밸브
114: 유량계
192: 연결 블록
192a: 유체 유로
194: 제1 외면
196: 제1 연통 포트
198: 제2 외면
200: 제2 연통 포트
222, 426: 중간 블록
224, 428: 제1 개폐밸브
226, 430: 제2 개폐밸브
228, 432: 중간 유로
230, 434: 제1 중간 연통 포트
232, 436: 제2 중간 연통 포트
390: 스톱 밸브
542: 폐쇄부재
544: 표시부재
550: 고정도구
700: 설치부
Ax1: (메인 포트의) 축선
Ax2: (분기 포트의) 축선

Claims (16)

1. 일렬로 연결된 복수의 매니폴드 블록(12)과,
   각각의 상기 매니폴드 블록(12)의 외측면에 설치되어, 분기 배관(61, 370, 371, 374, 375, 530, 534)이 착탈 가능한 복수의 접속부재(62, 110, 190, 220, 386, 388, 420, 422, 538)를 구비하며,
   각각의 상기 매니폴드 블록(12)에는,
   복수의 상기 매니폴드 블록(12)의 연결방향을 따라서 상기 매니폴드 블록(12)을 관통하여 형성되고, 유체가 유동하는 메인 포트(34)와,
   상기 매니폴드 블록(12)의 상기 외측면에 개구되어, 상기 접속부재(62, 110, 190, 220, 386, 388, 420, 422, 538)에 장착된 상기 분기 배관(61, 370, 371, 374, 375, 530, 534)의 내부구멍 및 상기 메인 포트(34)를 서로 연통시키는 분기 포트(36)가 형성되며,
   각각의 상기 분기 포트(36)의 축선(Ax2)은, 상기 메인 포트(34)의 축선(Ax1)에 대해서 상기 연결방향과 직교하는 방향으로 어긋나게 위치되며,
   복수의 상기 매니폴드 블록(12)은, 서로 인접하는 일측의 매니폴드 블록(12)을 타측의 매니폴드 블록(12)에 대해서 상기 분기 포트(36)의 축선방향 및 상기 연결방향과 직교하는 방향으로 180도 반전시킨 상태로 연결 가능하도록 구성되는,
   것을 특징으로 하는 매니폴드 장치(10A ~ 10F).
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 접속부재(62, 110, 190, 220, 386, 388, 420, 422, 538)는, 각각의 상기 매니폴드 블록(12)에 1개씩 설치되는,
   것을 특징으로 하는 매니폴드 장치(10A ~ 10F).
3. 청구항 1에 있어서,
   서로 연결되는 복수의 상기 매니폴드 블록(12)을 상기 연결방향에서 사이에 끼우도록 배치되고, 메인 배관(99, 368, 376, 528, 536)이 착탈 가능한 2개의 메인 어댑터(98)를 더 구비하며,
   상기 메인 포트(34)는, 상기 메인 어댑터(98)에 장착된 상기 메인 배관(99, 368, 376, 528, 536)의 내부구멍에 연통하는,
   것을 특징으로 하는 매니폴드 장치(10A ~ 10F).
4. 청구항 1에 있어서,
   각각의 상기 매니폴드 블록(12)은,
   상기 메인 포트(34)로서의 내부구멍을 가지는 내관부(22)와,
   상기 내관부(22)의 외주측에 위치하고, 상기 내관부(22)보다 상기 연결방향의 양측으로 연장되는 외관부(26)와,
   상기 내관부(22) 및 상기 외관부(26)를 서로 연결하는 내측 연결부(30)를 가지며,
   상기 매니폴드 장치(10A ~ 10F)는, 서로 인접하는 각각의 상기 외관부(26)에 끼워져, 서로 인접하는 상기 내관부(22)의 상기 내부구멍끼리를 연통시키는 연결관(14)을 더 구비하는,
   것을 특징으로 하는 매니폴드 장치(10A ~ 10F).
5. 청구항 4에 있어서,
   각각의 상기 매니폴드 블록(12)은,
   상기 외관부(26)의 외주측에 위치하고, 상기 매니폴드 블록(12)의 상기 외측면을 구성하는 사각 링 형상의 외측 틀부(28)와,
   상기 외관부(26) 및 상기 외측 틀부(28)를 서로 연결하는 외측 연결부(32)를 가지는,
   것을 특징으로 하는 매니폴드 장치(10A ~ 10F).
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 매니폴드 장치(10A ~ 10F)는,
   상기 접속부재(62, 110, 190, 220, 386, 388, 420, 422, 538)를 상기 매니폴드 블록(12)에 부착시키기 위한 나사부재(70, 140, 206, 250, 254, 496, 500)와,
   상기 외측 틀부(28) 및 상기 외관부(26)의 사이에 삽입 가능한 고정부재(60, 182, 212, 344, 498, 502)를 구비하며,
   상기 접속부재(62, 110, 190, 220, 386, 388, 420, 422, 538)에는, 상기 나사부재(70, 140, 206, 250, 254, 496, 500)가 삽입되는 복수의 나사 삽입구멍(72, 142, 208, 252, 256, 280, 495, 501)이 형성되며,
   상기 외측 틀부(28)에는, 상기 나사부재(70, 140, 206, 250, 254, 496, 500)가 삽입 가능한 복수의 관통구멍(56, 58)이 형성되며,
   상기 고정부재(60, 182, 212, 344, 498, 502)에는, 상기 나사부재(70, 140, 206, 250, 254, 496, 500)를 나사결합 가능한 복수의 설치구멍(74, 180, 210, 340, 342, 499, 503)이 형성되며,
   상기 접속부재(62, 110, 190, 220, 386, 388, 420, 422, 538)와 상기 고정부재(60, 182, 212, 344, 498, 502)는, 복수의 상기 나사 삽입구멍(72, 142, 208, 252, 256, 280, 495, 501)의 피치가 상이한 복수 종류의 접속부재(62, 110, 190, 220, 386, 388, 420, 422, 538)와 상기 피치에 대응하는 피치의 상기 설치구멍(74, 180, 210, 340, 342, 499, 503)이 형성된 복수 종류의 고정부재(60, 182, 212, 344, 498, 502)로 교환 가능하며,
   각각의 상기 관통구멍(56, 58)은, 복수 종류의 상기 접속부재(62, 110, 190, 220, 386, 388, 420, 422, 538)의 상기 나사 삽입구멍(72, 142, 208, 252, 256, 280, 495, 501)과 복수 종류의 상기 설치구멍(74, 180, 210, 340, 342, 499, 503)에 연통 가능한 크기로 형성되어 있는,
   것을 특징으로 하는 매니폴드 장치(10A ~ 10F).
7. 청구항 1에 있어서,
   서로 연결된 복수의 상기 매니폴드 블록(12)을 지지하는 다리부(82)를 더 구비하며,
   상기 다리부(82)는, 상기 매니폴드 블록(12)의 상기 외측면 중 상기 접속부재(62, 110, 190, 220, 386, 388, 420, 422, 538)가 설치되는 부위와는 상이한 부위에 부착되는,
   것을 특징으로 하는 매니폴드 장치(10A).
8. 청구항 7에 있어서,
   각각의 상기 매니폴드 블록(12)의 상기 외측면에는, 상기 연결방향으로 개구 하는 절결부(78)가 형성되며,
   서로 인접하는 상기 매니폴드 블록(12)의 상기 절결부(78)끼리가 서로 연통하는 것에 의해서 장착구멍(80)이 형성되며,
   상기 다리부(82)는, 상기 장착구멍(80)에 착탈 가능한 축부(86)를 가지는,
   것을 특징으로 하는 매니폴드 장치(10A).
9. 청구항 1에 있어서,
   상기 접속부재(110, 190, 220, 386, 388, 420, 422, 538)는,
   상기 분기 배관(61, 370, 371, 374, 375, 530, 534)이 착탈 가능한 분기 어댑터(64)와;
   상기 분기 어댑터(64) 및 상기 매니폴드 블록(12)을 연결하는 접속부재 본체(111, 191, 221, 387, 389, 421, 423, 539)를 구비하는,
   것을 특징으로 하는 매니폴드 장치(10A ~ 10F).
10. 청구항 9에 있어서,
    상기 접속부재 본체(111, 387, 389, 421, 423)는, 유량 조정 밸브(112), 스톱 밸브(390) 및 유량계(114) 중 적어도 1개를 가지는,
    것을 특징으로 하는 매니폴드 장치(10A ~ 10F).
11. 청구항 9에 있어서,
    상기 접속부재 본체(191)는, 상기 분기 어댑터(64)의 내부구멍 및 상기 분기 포트(36)를 연통시키는 유체 유로(192a)가 형성된 연결 블록(192)을 가지며,
    상기 유체 유로(192a)는,
    상기 연결 블록(192)의 제1 외면(194)에 개구되어 상기 분기 포트(36)에 연통하는 제1 연통 포트(196)와,
    상기 제1 외면(194)에 대해서 수직으로 연장되는 제2 외면(198)에 개구되어 상기 분기 어댑터(64)의 내부구멍에 연통하는 제2 연통 포트(200)를 가지는,
    것을 특징으로 하는 매니폴드 장치(10A ~ 10F).
12. 청구항 9에 있어서,
    상기 접속부재 본체(221, 389, 423)는,
    상기 매니폴드 블록(12)의 상기 외측면에 설치된 중간 블록(222, 426)과,
    상기 중간 블록(222, 426)에 설치된 제1 개폐밸브(224, 428) 및 제2 개폐밸브(226, 430)를 가지며,
    상기 중간 블록(222, 426)에는,
    상기 분기 어댑터(64)의 내부구멍에 연통하는 중간 유로(228, 432)와,
    상기 분기 포트(36) 및 상기 중간 유로(228, 432)를 연통시키는 제1 중간 연통 포트(230, 434)와,
    상기 분기 포트(36)를 유동하는 유체와는 상이한 유체가 유동하고, 상기 중간 유로(228, 432)에 연통하는 제2 중간 연통 포트(232, 436)가 형성되며,
    상기 제1 개폐밸브(224, 428)는, 상기 제1 중간 연통 포트(230, 434)를 개폐 가능하게 설치되며,
    상기 제2 개폐밸브(226, 430)는, 상기 제2 중간 연통 포트(232, 436)를 개폐 가능하게 설치되는,
    것을 특징으로 하는 매니폴드 장치(10A ~ 10F).
13. 청구항 1에 있어서,
    상기 매니폴드 장치(10C, 10D)는,
    유체 공급원(366, 378, 526)으로부터 공급된 유체를 복수의 유로로 분기시켜 복수의 유체 공급처(372, 373, 532)로 안내하는 제1 유닛(362, 522)과,
    각각의 상기 유체 공급처(372, 373, 532)에서 이용된 상기 유체를 집합시켜 상기 유체 공급원(366, 378, 526)으로 안내하는 제2 유닛(364, 524)을 구비하며,
    상기 제1 유닛(362, 522) 및 상기 제2 유닛(364, 524) 각각은, 상기 접속부재(62, 110, 190, 220, 386, 388, 420, 422, 538)가 설치된 복수의 상기 매니폴드 블록(12)이 연결되어 구성되는,
    것을 특징으로 하는 매니폴드 장치(10C, 10D).
14. 청구항 13에 있어서,
    상기 제1 유닛(522) 및 상기 제2 유닛(524)은, 상기 매니폴드 블록(12)이 서로 연결하는 것에 의해서 일체로 설치되며,
    상기 제1 유닛(522) 및 상기 제2 유닛(524)의 사이에는, 서로 인접하는 상기 매니폴드 블록(12)의 상기 메인 포트(34)끼리의 연통을 차단하는 폐쇄부재(542)가 설치되는,
    것을 특징으로 하는 매니폴드 장치(10D).
15. 청구항 14에 있어서,
    상기 매니폴드 블록(12)에 부착되어 상기 폐쇄부재(542)의 위치를 나타내는 표시부재(544)를 더 구비하는,
    것을 특징으로 하는 매니폴드 장치(10D).
16. 청구항 1에 있어서,
    상기 매니폴드 장치(10A ~ 10F)는, 상기 매니폴드 장치(10A ~ 10F)가 설치되는 설치부(700)에 대해서 서로 연결된 복수의 상기 매니폴드 블록(12)을 고정하는 고정도구(550)를 더 구비하며,
    상기 고정도구(550)는, 상기 매니폴드 블록(12)의 상기 외측면 중 상기 접속부재(62, 110, 190, 220, 386, 388, 420, 422, 538)가 설치되는 부위와는 상이한 부위에 장착되는,
    것을 특징으로 하는 매니폴드 장치(10E, 10F).

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