JP6645881B2 - 銅めっき液及び銅めっき方法 - Google Patents
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Description
実施形態1に係る銅めっき液は、水溶性の銅塩と、エチレンジアミンと、EDTA、EDTAの置換誘導体、エチレンジアミン誘導体及びグリシンのうちの少なくとも1種類と、ヒダントイン及びその置換誘導体のうちの少なくとも1種類とを含み、アルミニウム基材又はアルミニウム合金基材に対して置換銅めっきを行うものである。この場合、ジンケート処理を行っていないジンケート未処理の基材に対して置換銅めっきを行う。イオン化傾向の違いにより本実施形態の銅めっき液中に置かれたアルミニウムがアルミニウムイオンとなってめっき液中に溶け出し、銅イオンがアルミニウム基材又はアルミニウム合金基材表面に析出する。めっき液中の銅イオン、アルミニウムイオンは、エチレンジアミン、及び、EDTA、EDTAの置換誘導体、エチレンジアミン誘導体及びグリシンのうちの少なくとも1種類を錯化剤として錯塩を形成する。錯塩が安定して形成されるように、銅めっき液はアルカリ性であることが好ましく、具体的にはpHが9以上であることが好ましい。ここで、EDTAの置換誘導体としては、例えばHEDTA、EDTA4Naなどを挙げることができる。ヒダントインの置換誘導体としては、例えば5,5-ジメチルヒダントイン、アラントインなどを挙げることができる。
−前処理−
基材として、アルミニウム標準試験板(A1050P)を用意した。この基材を、前処理として、(1)クリーナーコンディショナー(脱脂処理剤)を用いて、40℃5分間の処理を行い、次に(2)アルカリによるエッチングを30℃3分間行い、それから(3)酸洗浄を25℃1分間行った。
実験No.1では、
エチレンジアミン 25g/L
エチレンジアミン4酢酸4ナトリウム(EDTA4Na) 100g/L
硫酸銅5水和物 30g/L
PEG#1000(ポリエチレングリコール) 0.5g/L
ヒダントイン 0.5g/L
を構成成分とした銅めっき液を用いて、pH10、めっき温度40℃、めっき時間10分として、上述の前処理を行ったアルミニウムの基材を浸漬させて、銅めっきを行った。
実験No.4は、実験No.2の銅めっき液においてヒダントインの量を0.3g/Lとし、それ以外の構成要素については同じにし、めっき条件も同じにしたものである。また実験No.5〜10は、実験No.4の銅めっき液においてエチレンジアミンとエチレンジアミン4酢酸4ナトリウム(EDTA4Na)の量のみを変更して、EDTA4Na/エチレンジアミンのモル比を変更したものである。実験結果を表2に示す。
実験No.11は、実験No.4とめっき液構成が同じであり、めっき条件も同じである。実験No.12〜16は、実験No.11の銅めっき液においてEDTA4Naを別の錯化剤(キレート剤)に変更したものである。実験結果を表3に示す。
実験No.17は、実験No.4からヒダントインを除いためっき液構成でめっき条件は同じであり、実験No.18は、実験No.4とめっき液構成が同じであり、めっき条件も同じである。実験No.19〜24は、実験No.18におけるヒダントインを別の含窒素有機化合物(特に含窒素複素環式化合物)に変更したものである。実験結果を表4に示す。
上述の実施形態は本願発明の例示であって、本願発明はこれらの例に限定されず、これらの例に周知技術や慣用技術、公知技術を組み合わせたり、一部置き換えたりしてもよい。また当業者であれば容易に思いつく改変発明も本願発明に含まれる。
Claims (7)
- 水溶性の銅塩と、
エチレンジアミンと、
EDTA、EDTAの置換誘導体、エチレンジアミン誘導体及びグリシンのうちの少なくとも1種類と、
ヒダントイン及びその置換誘導体のうちの少なくとも1種類と
を含み、
アルミニウム基材又はアルミニウム合金基材に対して置換銅めっきを行う、銅めっき液。 - EDTA、EDTAの置換誘導体、エチレンジアミン誘導体及びグリシンのうち、いずれか1種類が含有されており、
前記エチレンジアミンに対するEDTA、EDTAの置換誘導体、エチレンジアミン誘導体及びグリシンのうち、含有されている1種類のモル比は、0.3以上1.0以下である、請求項1に記載されている銅めっき液。 - 前記エチレンジアミンに対するEDTA、EDTAの置換誘導体、エチレンジアミン誘導体及びグリシンのうち、含有されている1種類のモル比は、0.4以上0.7以下である、請求項2に記載されている銅めっき液。
- さらに次亜リン酸塩および有機酸塩のいずれか一つ以上を含む、請求項1から3のいずれか一つに記載されている銅めっき液。
- ニッケル塩は含まれていない、請求項4に記載されている銅めっき液。
- アルミニウム基材又はアルミニウム合金基材の表面に対して前処理を行う前処理工程と、
前記前処理工程の後で、請求項1から5のいずれか一つに記載されている銅めっき液を用いて前記アルミニウム基材又はアルミニウム合金基材に置換銅めっき行う銅めっき工程と
を含み、
前記銅めっき工程では、ジンケート未処理の前記アルミニウム基材又はアルミニウム合金基材を用いる、銅めっき方法。 - 前記前処理工程で行われる前処理には、脱脂処理と、アルカリによるエッチング処理と、酸洗浄処理とが含まれる、請求項6に記載されている銅めっき方法。
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