JP6606055B2 - 着色感光性樹脂組成物、これを利用して製造されたカラーフィルタ及び画像表示装置 - Google Patents

着色感光性樹脂組成物、これを利用して製造されたカラーフィルタ及び画像表示装置 Download PDF

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Description

本発明は塗布性、密着力、感度及び現像速度に優れた着色感光性樹脂組成物、これを利用して製造されたカラーフィルタ及び画像表示装置に関する。
カラーフィルタは撮像素子、液晶表示装置(LCD)などに広く利用されるものであり、その応用範囲が急速に拡大されている。カラー液晶表示装置や撮像素子などに使用されるカラーフィルタは、通常、ブラックマトリックスがパターン形成された基板上に赤色、緑色及び青色の各色に相当する顔料を含む着色感光性樹脂組成物をスピンコーティングによって均一に塗布した後、加熱乾燥して形成された塗膜を露光、現像し、必要に応じてさらに加熱硬化する操作を色ごとに繰り返して各色の画素を形成することで製造されている。このような着色感光性樹脂組成物を利用したカラーフィルタは画像形成時に高解像性、基板との優れた密着性、低い現像残渣などが要求されている。また、最近は色濃度が高い画素が要求されており、着色感光性樹脂組成物に使用される顔料及びカーボンブラックの含量が高くなっている。
一方、上記のように着色剤の含量が高い着色感光性樹脂組成物を利用して画素を形成する時には現像工程時に未露光部の基板の上に現像残渣が生じたり、未露光部が完全溶解タイプではない剥離タイプで現像されることにより現像液フィルタを詰まらせたり、工程中に溶解されずに残っている不純物が画素及び非画素部の基板に付いてしまう問題を持っている。また、露光部に形成される画素の感度も十分ではなく、塗膜の表面に不良が生じたり、膜硬度が不足するという問題がある。
特許文献1(韓国公開特許第2009−0031259号)は、特定化合物を共重合して得られるアルカリ可溶性樹脂を使用することにより現像性に優れた着色感光性樹脂組成物を開示している。しかし、上記開示された着色感光性樹脂組成物は、感度及び現像密着性が劣り、剥がれが発生し得る。
特許文献2(韓国登録特許第1435652号)は、フルオレン系光重合開始剤を使用することで密着性に優れた着色感光性樹脂組成物を開示している。しかし、上記開示された着色感光性樹脂組成物は現像時間が増加するという問題が発生し得る。
韓国公開特許第2009−0031259号(2009.03.25、東友ファインケム株式会社) 韓国登録特許第1435652号(2014.08.22、株式会社三養社)
上記問題を解決するための本発明は、塗布性、密着力、感度及び現像速度に優れた着色感光性樹脂組成物、これを利用して製造されたカラーフィルタ及び画像表示装置を提供することをその目的とするものである。
上記目的を達成するための本発明による着色感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂;光重合性化合物及びフルオレン系光重合開始剤を含み、上記アルカリ可溶性樹脂は下記(A1)乃至(A3)の化合物を共重合して得られる共重合体であることを特徴とする。
(A1):下記化学式1で表される化合物、
(上記化学式1において、
は水素またはメチル基であり、
は置換または非置換された2価の炭素数1乃至6のアルキレン基またはアルケニル基であり、
Aは置換または非置換されたベンゼン基、シクロヘキシル基、炭素数1乃至6のアルキル基またはアルケニル基であり、
このとき、R の置換体及びAの置換体は、それぞれ独立してフッ素、塩素、臭素、ヨウ素、炭素数1乃至6のアルキル基、炭素数1乃至3のパーハロゲン化アルキル基、ヒドロキシ基、炭素数1乃至6のケトン基、炭素数1乃至6のエステル基、N,N−(C−C)アルキル置換されたアミド基からなる群より選択される。)
(A2):(A1)及び(A3)と共重合が可能な不飽和結合を含む化合物、
(A3):不飽和カルボン酸
また、上述した目的を達成するための本発明によるカラーフィルタ及び画像表示装置は、上記着色感光性樹脂組成物を含むことを特徴とする。
本発明による着色感光性樹脂組成物は特定化学式で表されるアルカリ可溶性樹脂を含むことで、塗布性、密着力、感度及び現像速度に優れる効果がある。本発明におけるカラーフィルタ及び画像表示装置は、上記着色感光性樹脂組成物を含むことで、上記と同様の効果を奏することができる。
本発明のいくつかの実施形態によって製造した着色感光性樹脂組成物を利用して感度評価を行った図である。
本発明において、ある部分がある構成要素を「含む」とは、これは特に反対の記載がない限り、他の構成要素を除くものではなく、他の構成要素をさらに含むことができるということを意味する。
以下、本発明の好ましい実施様態を詳細に説明する。
<着色感光性樹脂組成物>
本発明の一様態による着色感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂、光重合性化合物及びフルオレン系光重合開始剤を含んでなる。
アルカリ可溶性樹脂
本発明の一様態によるアルカリ可溶性樹脂は下記(A1)、(A2)及び(A3)の化合物の重合(これは共重合も含む概念である)で得られる構成単位を含む共重合体であることを特徴とする。
(A1):下記化学式1で表される化合物
(上記化学式1において、
は水素またはメチル基であり、
は置換または非置換された2価の炭素数1乃至6のアルキレン基またはアルケニル基であり、
Aは置換または非置換されたベンゼン基、シクロヘキシル基、炭素数1乃至6のアルキル基またはアルケニル基であり、
このとき、R の置換体及びAの置換体はそれぞれ独立してフッ素、塩素、臭素、ヨウ素、炭素数1乃至6のアルキル基、炭素数1乃至3のパーハロゲン化アルキル基、ヒドロキシ基、炭素数1乃至6のケトン基、炭素数1乃至6のエステル基、N,N−(C−C)アルキル置換されたアミド基からなる群より選択される。)
(A2):(A1)及び(A3)と共重合が可能な不飽和結合を含む化合物、
(A3): 不飽和カルボン酸、
上記アルカリ可溶性樹脂は、上記単量体以外にも他の単量体を追加して共に重合可能である。すなわち、上記の(A1)乃至(A3)以外の単量体がさらに含まれて共重合される場合にも本発明に含まれる。
本発明の実施様態において、上記化学式1で表される化合物(A1)の具体的な例は下記のとおりである。
上記(A1)化合物のより具体的な例としては、2−フェニルチオエチル(メタ)アクリレート、ヘキシルチオエチル(メタ)アクリレートなどが挙げられる。これらは、それぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせて使用することができる。
特に、上記化学式1で表される化合物(A1)は、下記化学式6で表される化合物の中で少なくとも1つ以上が選択されることがより好ましい。下記化学式6で表される化合物を利用して画素を形成するとき、現像性及び表面現像にさらに優れるからである。
上記化学式6において、
は水素またはメチル基であり、
は置換または非置換された2価の炭素数1乃至6のアルキレン基またはアルケニル基であり、
このとき、Rの置換体はフッ素、塩素、臭素、ヨウ素、炭素数1乃至6のアルキル基、炭素数1乃至3のパーハロゲン化アルキル基、ヒドロキシ基、炭素数1乃至6のケトン基、炭素数1乃至6のエステル基及びN,N−(C−C)アルキル置換されたアミド基からなる群より選択される。
より具体例としては、2−フェニルチオエチル(メタ)アクリレートが挙げられる。
本発明において(A1)及び(A3)と共重合が可能な不飽和結合を有する化合物(A2)としては、芳香族ビニル化合物、N−置換マレイミド系化合物、不飽和カルボン酸の非置換または置換アルキルエステル、脂環式置換基を含む不飽和カルボン酸エステル化合物、カルボン酸ビニルエステル系、オキセタン基を含む不飽和オキセタニル系などが挙げられる。上記化合物の中、芳香族ビニル化合物、N−置換マレイミド系化合物が感度及び密着性向上の面でより好ましい。これらは、それぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせて使用することができる。
上記(A2)化合物の中、芳香族ビニル化合物としては、ビニルトルエン、スチレン、α−メチルスチレン、α−クロロスチレン、ジビニルベンゼンなどが挙げられ、これらは、それぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせて使用することができる。本発明においては特に上記ビニルトルエンを追加単量体として使用して結合剤樹脂を製造し、上記製造された結合剤樹脂を含む着色感光性樹脂組成物の性能をテストした結果、感度及び密着性などの効果に優れることを見出した。
また、上記N−置換マレイミド系化合物としては、下記の化学式7で表される化合物を例示することができる。
上記化学式7において、
はヘテロ原子を含むか含まない炭素数1乃至20の脂肪族または芳香族炭化水素である。
上記Rの具体例としてはフェニル基、ベンジル基、ナフチル基、シクロヘキシル基、メチル基、エチル基、プロピル基などが挙げられ、特にベンジル基及びシクロヘキシル基が好ましい。これらはそれぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせて使用することができる。
また、上記不飽和カルボン酸の非置換または置換アルキルエステル化合物系としては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、アミノエチル(メタ)アクリレートなどが挙げられる。これらは、それぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせて使用することができる。
また、上記脂環式置換基を含む不飽和カルボン酸エステル化合物系としては、シクロペンチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、メチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘプチル(メタ)アクリレート、シクロオクチル(メタ)アクリレート、メンチル(メタ)アクリレート、シクロペンテニル(メタ)アクリレート、シクロヘキセニル(メタ)アクリレート、シクロヘプテニル(メタ)アクリレート、シクロオクテニル(メタ)アクリレート、メンタジエニル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、ピナニル(メタ)アクリレート、アダマンチル(メタ)アクリレート、ノルボルニル(メタ)アクリレート、ピネニル(メタ)アクリレートなどが挙げられる。これらは、それぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせて使用することができる。
また、上記カルボン酸ビニルエステル系化合物としては、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルなどが挙げられる。これらは、それぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせて使用することができる。
また、上記オキセタン基を含む不飽和オキセタニル系化合物としては、3−(メタクリロイルオキシメチル)オキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−3−エチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2−メチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2−トリフルオロメチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2−ペンタフルオロエチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2−フェニルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2,2−ジフルオロオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2,2,4−トリフルオロオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2,2,4,4−テトラフルオロオキセタン、3−(メタクリロイルオキシエチル)オキセタン、3−(メタクリロイルオキシエチル)−3−エチルオキセタン、2−エチル−3−(メタクリロイルオキシエチル)オキセタン、3−(メタクリロイルオキシエチル)−2−トリフルオロメチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシエチル)−2−ペンタフルオロエチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシエチル)−2−フェニルオキセタン、2,2−ジフルオロ−3−(メタクリロイルオキシエチル)オキセタン、3−(メタクリロイルオキシエチル)−2,2,4−トリフルオロオキセタン、3−(メタクリロイルオキシエチル)−2,2,4,4−テトラフルオロオキセタンなどが挙げられる。これらは、それぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせて使用することができる。
本発明において、不飽和カルボキシル基を有する化合物(A3)としては、重合が可能な不飽和二重結合を有するカルボン酸化合物であれば制限されず、それぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせて使用することができる。具体例として、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸などのモノカルボン酸類;フマル酸、メサコン酸、イタコン酸などのジカルボン酸類;及びこれらジカルボン酸の無水物;ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレートなどの両末端にカルボキシル基と水酸基を有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート類などが挙げられる。上記の中でアクリル酸、メタクリル酸が共重合反応性及び現像液に対する溶解性に優れて好ましい。
本発明で使用される(A1)乃至(A3)を共重合して得られる共重合体、すなわちアルカリ可溶樹脂において、(A1)乃至(A3)各々から誘導される構成成分の割合は、上記の共重合体を構成する構成成分の合計モル数に対してモル分率で下記の範囲にあることが好ましい。
(A1)から誘導される構成単位:2乃至50モル%、
(A2)から誘導される構成単位:2乃至50モル%、
(A3)から誘導される構成単位:2乃至70モル%
本発明の実施形態において、上記共重合体の製造方法としては(A1)乃至(A3)を共重合させて得られる場合であれば特に制限されず、従来公知の各種の重合方法が使用されることができ、公知の重合方法の中で溶液重合法がより好ましい。また、重合温度や重合時間は導入される単量体の種類や割合、目標結合剤樹脂の分子量及び酸価によって異なるが、好ましくは60℃乃至130℃で1乃至10時間重合させることである。
そして、上記の工程で重合開始剤の一部または全量をフラスコに入れることもでき、(A1)、(A2)及び(A3)の一部または全量をフラスコに入れることもできる。
また、上記の工程で溶媒を利用する場合には、通常のラジカル重合反応時に使用される溶媒を利用することができ、具体的には、テトラヒドロフラン、ジオキサン、エチレングリコールジメチルエチル、ジエチレングリコールジメチルエチル、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸エチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエチルアセテート、3−メトキシブチルアセテート、メタノール、エタノール、プロパノール、n−ブタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、クロロホルム、ジメチルスルホキシドなどが挙げられる。これら溶媒は、それぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせて使用することができる。
また、上記の工程で使用される重合開始剤としては、通常使用される重合開始剤を添加することができ、特に制限されない。具体的にはジイソプロピルベンゼンヒドロパーオキシド、ジ−t−ブチルパーオキシド、ベンゾイルパーオキシド、t−ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート、t−アミルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエートなどの有機過酸化物;2,2’−アゾビス(イソブチロニトリル)、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、ジメチル2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)などの窒素化合物が挙げられる。これらは、単独でまたは2種以上を組み合わせて使用することができる。
また、分子量や分子量分布を制御するために、例えば、n−ドデシルメルカプト、メルカプト酢酸、メルカプト酢酸メチルなどのメルカプト系連鎖移動剤、α−メチルスチレンダイマーなどを連鎖移動剤として使用することもできる。上記α−メチルスチレンダイマーまたはメルカプト化合物の使用量は(A1)、(A2)及び(A3)の合計量に対して0.005乃至5質量%である。
また、上記の重合条件は製造設備や重合による発熱量などを考慮して投入方法や反応温度を適切に調整することもできる。
本発明の一実施形態の着色感光性樹脂組成物に含有されるアルカリ可溶性樹脂は、(A1)、(A2)及び(A3)を共重合して得られる共重合体に1分子中に不飽和結合とエポキシ基を有する化合物(A4)をさらに反応させることにより得ることができる。
上記の共重合体に(A4)を付加することにより、結合剤樹脂に光/熱硬化性を付与することができる。
本発明の上記1分子中に不飽和結合とエポキシ基を有する化合物(A4)の具体例としてはグリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、メチルグリシジル(メタ)アクリレートなどが挙げられる。これらの中でグリシジル(メタ)アクリレートがより好ましく使用される。これらは、それぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせて使用することができる。
また、上記アルカリ可溶性樹脂内の(A4)から誘導される構成単位の割合は、上記アルカリ可溶性樹脂内の(A3)から誘導される構成成分のモル数に対して5乃至80モル%であることが好ましく、10乃至70モル%がより好ましい。
(A4)の組成比が上記範囲内にあれば十分な光硬化性や熱硬化性が得られ、感度と鉛筆硬度が両立されて信頼性に優れるので好ましい。
本発明の一実施形態において、結合剤樹脂は上記の(A1)、(A2)及び(A3)を共重合して得られる共重合体と(A4)を、例えば以下のような方法で反応させることで製造することができる。
フラスコ内雰囲気を窒素から空気に置換し、上記共重合体(A3)から誘導される構成単位に対してモル分率で5乃至80モル%の(A4)、カルボキシル基とエポキシ基の反応触媒として、例えばトリスジメチルアミノメチルフェノールを(A1)乃至(A4)の合計量に対して0.01乃至5質量%及び、重合剤として、例えばヒドロキノンを(A1)乃至(A4)の合計量に対して0.001乃至5質量%をフラスコ内に入れて60乃至130℃で1乃至10時間反応させることで、上記の共重合体と(A4)を反応させることができる。また、重合条件と同様に製造設備や重合による発熱量などを考慮して投入方法や反応温度を適切に調整することもできる。
本発明のアルカリ可溶性樹脂は着色感光性樹脂組成物中に、固形分総重量に対して、10乃至80重量%で含まれることができ、好ましくは10乃至70重量%で含まれることができる。上記アルカリ可溶性樹脂が上記含量範囲を満足する場合、現像液での溶解性が十分であるためパターン形成が容易であり、現像時の露光部の画素部分の膜減少が防止され、非画素部分の欠落性が良好になる利点がある。
また、本発明のアルカリ可溶性樹脂は特に制限されないが、そのポリスチレン換算の重量平均分子量が3,000乃至100,000の範囲にあることが好ましく、5,000乃至50,000の範囲にあることがより好ましい。アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量が3,000乃至100,000の範囲にあれば現像時に膜減少が生じにくく、非画素部分の欠落性の良好な傾向があるので好ましい。
アルカリ可溶性樹脂の分子量分布([重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn)]は1.5乃至6.0であることが好ましく、1.8乃至4.0であることがより好ましい。分子量分布[重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn)]が1.5乃至6.0であれば現像性に優れるので好ましい。
光重合性化合物
本発明の着色感光性樹脂組成物は光重合性化合物をさらに含むことができる。
本発明で光重合性化合物は、後述する光重合開始剤の作用で重合することができる化合物であり、単官能単量体、2官能単量体または多官能単量体を使用することができ、具体的には2官能以上の多官能単量体を使用することができる。
上記単官能単量体の具体例としては、ノニルフェニルカルビトールアクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート、2−エチルヘキシルカルビトールアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレートまたはN−ビニルピロリドンなどがあるが、これに限定されるのではない。
上記2官能単量体はこれに限定されるのではないが、例えば1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAのビス(アクリロイルオキシエチル)エーテルまたは3−メチルペンタンジオールジ(メタ)アクリレートなどがある。
上記多官能単量体は具体的に、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、プロポキシル化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、エトキシ化ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、プロポキシル化ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートまたはジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートなどがあるが、これに限定されるのではない。
上記光重合性化合物は、本発明の着色感光性樹脂組成物中に固形分総重量に対して5乃至45重量%で含まれることができ、7乃至45重量%で含まれることが好ましい。上記光重合性化合物が上記範囲を満足する場合、画素部の強度や平坦性を良好にすることができる利点がある。
光重合開始剤
本発明による着色感光性樹脂組成物は下記化学式8で表されるフルオレン系光重合開始剤をさらに含むことができる。
上記フルオレン系光重合開始剤は上記着色感光性樹脂組成物の感度を向上させるために使用する。
上記フルオレン系光重合開始剤は上記光重合性化合物を開示するための化合物であり、本発明では下記化学式8で表されるオキシムエステルフルオレン系光重合開始剤を使用することにより、上記着色感光性樹脂組成物が高感度化されて露出時間を短縮させ、これによるパターン性が向上するとともに高い解像度を有することができる。
上記化学式8において、
乃至Rはそれぞれ独立して水素、ハロゲン、炭素数1乃至20のアルキル基、炭素数6乃至20のアーリル基、炭素数1乃至20のアルコキシ基、炭素数7乃至40のアーリルアルキル基、炭素数1乃至20のヒドロキシアルキル基、炭素数2乃至40のヒドロキシアルコキシアルキル基及び炭素数3乃至20のシクロアルキル基からなる群より選択され、
乃至R15はそれぞれ独立して水素、炭素数1乃至20のアルキル基、炭素数6乃至20のアーリル基、炭素数1乃至20のアルコキシ基、炭素数7乃至40のアーリルアルキル基、炭素数1乃至20のヒドロキシアルキル基、炭素数2乃至40のヒドロキシアルコキシアルキル基、炭素数3乃至20のシクロアルキル基、アミノ基、ニトロ基、シアノ基及びヒドロキシ基からなる群より選択され、
pは0または1であり、
上記ハロゲンはフッ素(F)、塩素(Cl)、臭素(Br)またはヨウ素(I)である。
上記アルキル基は炭素及び水素原子のみからなり、不飽和度がなく、単一結合によって分子の残りに結合される直鎖または側鎖状の炭化水素ラジカルを意味する。アルキル基は炭素数1乃至20の直鎖状または分岐状アルキル基が好ましく、炭素数1乃至10の直鎖状または分岐状アルキル基がさらに好ましく、炭素原子数1乃至6の直鎖状または分岐状アルキル基が最も好ましい。このような非置換されたアルキル基の例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、ペンチル基、イソアミル基、ヘキシル基などが挙げられる。上記アルキル基に含まれている1つ以上の水素原子はハロゲン原子、ヒドロキシ基、チオール基(−SH)、ニトロ基、シアノ基、アミノ基、アミジノ基、ヒドラジンまたはヒドラゾン基、カルボキシル基、スルホン酸基、リン酸基、炭素数1乃至20のアルキル基、炭素数1乃至20のハロゲン化アルキル基、炭素数1乃至20のアルケニル基、炭素数1乃至20のアルキニル基、炭素数1乃至20のヘテロアルキル基、炭素数6乃至20のアーリル基、炭素数6乃至20のアーリルアルキル基、炭素数6乃至20のヘテロアーリル基、または炭素数6乃至20のヘテロアーリルアルキル基で置換され得る。
上記アーリル基は水素及び炭素のみからなる芳香族モノサイクリックまたはマルチサイクリック炭化水素環システムを意味し、このとき、環システムは、部分的にまたは完全飽和され得る。アーリル基のうち少なくとも1つ以上の水素原子は、上記アルキル基の場合と同様の置換基で置換可能である。上記アーリル基は、1つの水素除去によって芳香族炭化水素から誘導された有機ラジカルであり、各環に適切には4乃至7個、好ましくは5または6個の環原子を含む単一または融合環系を含み、多数個のアーリルが単一結合でつながっている形態まで含む。上記アーリル基は炭素数6乃至20であることが好ましく、炭素数6乃至18を有することがさらに好ましい。
上記アルコキシ基は炭素数1乃至20のアルキル部分をそれぞれ有する酸素−含有直鎖状または分岐状アルコキシ基が好ましい。炭素数1乃至10のアルコキシ基がさらに好ましく、炭素数1乃至4のアルコキシ基がもっとも好ましい。このようなアルコキシ基の例としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、及びt−ブトキシ基が挙げられる。上記アルコキシ基はフルオロ、クロロでまたはブロモのような1つ以上のハロ原子でさらに置換されてハロアルコキシ基を提供することもできる。このような例としては、フルオロメトキシ基、クロロメトキシ基、トリフルオロメトキシ基、トリフルオロエトキシ基、フルオロエトキシ基及びフルオロプロポキシ基などが挙げられる。上記アルコキシ基のうち1つ以上の水素原子は上記アルキル基の場合と同様の置換基で置換可能である。
上記アーリルアルキル基は上記アルキル基の1つ以上の水素原子が上記アーリル基で置換されていることを意味する。アーリルアルキル基は炭素数7乃至40であることが好ましく、炭素数7乃至28であることがさらに好ましく、7乃至24であることがもっとも好ましい。
上記ヒドロキシアルキル基は上記で定義されたアルキル基にヒドロキシ基が結合されたOH−アルキル基を意味し、ヒドロキシアルコキシアルキル基は上記ヒドロキシアルキル基とアルキル基が酸素で連結されたヒドロキシアルキル−O−アルキルを意味する。上記ヒドロキシアルキル基は炭素数1乃至20であることが好ましく、炭素数1乃至10であることがさらに好ましく、炭素数1乃至6であることがもっとも好ましい。上記ヒドロキシアルコキシアルキル基は炭素数2乃至40であることが好ましく、炭素数2乃至20であることがさらに好ましく、炭素数2乃至9であることがもっとも好ましい。
上記シクロアルキル基は単環系だけでなく多環系炭化水素も含み、上記シクロアルキル基のうち少なくとも1つ以上の水素原子は上記アルキル基の場合と同様の置換基で置換可能である。上記シクロアルキル基は炭素数3乃至20であることが好ましく、炭素数3乃至10のシクロアルキル基がさらに好ましく、炭素数3乃至8のシクロアルキル基がもっとも好ましい。
上記化学式8で表されるフルオレン系光重合開始剤は、pが0または1であることができ、pが0の場合には下記化学式9で表すことができ、pが1の場合には下記化学式10で表すことができる。
上記化学式9において、
16乃至R19はそれぞれ独立して、水素、ハロゲン、炭素数1乃至20のアルキル基、炭素数6乃至20のアーリル基、炭素数1乃至20のアルコキシ基、炭素数7乃至40のアーリルアルキル基、炭素数1乃至20のヒドロキシアルキル基、炭素数2乃至40のヒドロキシアルコキシアルキル基または炭素数3乃至20のシクロアルキル基であり;
Bは水素、炭素数1乃至20のアルキル基、炭素数6乃至20のアーリル基、炭素数1乃至20のアルコキシ基、炭素数7乃至40のアーリルアルキル基、炭素数1乃至20のヒドロキシアルキル基、炭素数2乃至40のヒドロキシアルコキシアルキル基、炭素数3乃至20のシクロアルキル基、アミノ基、ニトロ基、シアノ基またはヒドロキシ基である。
上記R16乃至R19は、具体的に水素、臭素、塩素、ヨウ素、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、i−ブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基、i−ペンチル基、n−ヘキシル基、i−ヘキシル基、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、ターフェニル基、アントリル基、インデニル基、フェナントリル基、メトキシ基、エトキシ基、n−プロピルオキシ基、i−プロピルオキシ基、n−ブトキシ基、i−ブトキシ基、t−ブトキシ基、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基、ヒドロキシn−プロピル基、ヒドロキシn−ブチル基、ヒドロキシi−ブチル基、ヒドロキシn−ペンチル基、ヒドロキシi−ペンチル基、ヒドロキシn−ヘキシル基、ヒドロキシi−ヘキシル基、ヒドロキシメトキシメチル基、ヒドロキシメトキシエチル基、ヒドロキシメトキシプロピル基、ヒドロキシメトキシブチル基、ヒドロキシエトキシメチル基、ヒドロキシエトキシエチル基、ヒドロキシエトキシプロピル基、ヒドロキシエトキシブチル基、ヒドロキシエトキシペンチル基またはヒドロキシエトキシヘキシル基であり;
上記Bは、具体的に水素、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、i−ブチル基、t−ブチル基、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、ターフェニル基、アントリル基、インデニル基、フェナントリル基、メトキシ基、エトキシ基、プロピルオキシ基、ブトキシ基、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基、ヒドロキシプロピル基、ヒドロキシブチル基、ヒドロキシメトキシメチル基、ヒドロキシメトキシエチル基、ヒドロキシメトキシプロピル基、ヒドロキシメトキシブチル基、ヒドロキシエトキシメチル基、ヒドロキシエトキシエチル基、ヒドロキシエトキシプロピル基、ヒドロキシエトキシブチル基、アミノ基、ニトロ基、シアノ基またはヒドロキシ基であることができ、これに限定されるのではない。
好ましくは上記R16及びR17はそれぞれ独立して水素またはn−ブチル基であり;R18はメチル基であり;R19はメチル基、n−ブチル基またはフェニル基であり;Bは水素またはニトロ基であることができる。上記R16及びR17は同一であることが好ましい。
上記化学式9のフルオレン系光重合開始剤としては、代表的に下記の化合物(a乃至e)が挙げられるが、下記の化合物(a乃至e)に限定されず、上記条件に合うものであってこの分野で公知されたものは全部使用可能である。
上記化学式10で、
20乃至R30はそれぞれ独立して水素、ハロゲン、炭素数1乃至20のアルキル基、炭素数6乃至20のアリール基、炭素数1乃至20のアルコキシ基、炭素数7乃至40のアリールアルキル基、炭素数1乃至20のヒドロキシアルキル基、炭素数2乃至40のヒドロキシアルコキシアルキル基または炭素数3乃至20のシクロアルキル基である。
上記R20乃至R30は、具体的に水素、臭素、塩素、ヨウ素、メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、i−ブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基、i−ペンチル基、n−ヘキシル基、i−ヘキシル基、フェニル基、ナフチル基、ビフェニル基、ターフェニル基、アントリル基、インデニル基、フェナントリル基、メトキシ基、エトキシ基、n−プロピルオキシ基、i−プロピルオキシ基、n−ブトキシ基、i−ブトキシ基、t−ブトキシ基、ヒドロキシメチル基、ヒドロキシエチル基、ヒドロキシn−プロピル基、ヒドロキシn−ブチル基、ヒドロキシi−ブチル基、ヒドロキシn−ペンチル基、ヒドロキシi−ペンチル基、ヒドロキシn−ヘキシル基、ヒドロキシi−ヘキシル基、ヒドロキシメトキシメチル基、ヒドロキシメトキシエチル基、ヒドロキシメトキシプロピル基、ヒドロキシメトキシブチル基、ヒドロキシエトキシメチル基、ヒドロキシエトキシエチル基、ヒドロキシエトキシプロピル基、ヒドロキシエトキシブチル基、ヒドロキシエトキシペンチル基またはヒドロキシエトキシヘキシル基であり得る。
好ましくは上記R20及びR21はそれぞれ独立して水素、メチル基、エチル基、プロピル基、またはブチル基であり;R26はメチル基、エチル基、またはプロピル基であり;R23はメチル基、エチル基、プロピル基、またはブチル基であり;R24乃至R30は水素であり得る。上記R20及びR21は同一であることが好ましい。
上記化学式10のフルオレン系光重合開始剤としては代表的に下記の化合物が挙げられるが、下記の例に限定されず、上記条件に合うものであってこの分野で公知されたものは全部使用可能である。
上記フルオレン系光重合開始剤の含量は特に限定されないが、上記着色感光性樹脂組成物全体100重量%に対して0.1乃至10重量%、具体的には0.1乃至5重量%、さらに具体的には0.1乃至1重量%で含まれることができる。上記フルオレン系光重合開始剤の含量が上記範囲内で含まれる場合、感度が低下されて現像工程中にパターンの脱落が発生する現像を防止することができ、過度な反応によって架橋反応が度を超してしわが発生するという塗膜の物性が低下される現像を防止することができる。
本発明の効果を損傷しない範囲で上記以外の光重合開始剤を追加で使用することができる。上記追加で使用することができる光重合開始剤は、例えば、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、トリアジン系化合物、ビイミダゾール系化合物及びチオキサントン系化合物からなる群より選択される1種以上の化合物を使用することが好ましい。
上記アセトフェノン系化合物は、例えば、ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、2−ヒドロキシ−1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル]−2−メチルプロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルポリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−[4−(1−メチルビニル)フェニル]プロパン−1−オン及び2−(4−メチルベンジル)−2−(ジメチルアミノ)−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オンなどが挙げられる。
上記ベンゾフェノン系化合物は、例えば、ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4´−メチルジフェニルスルフィド、3,3´,4,4´−テトラ(tert−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン及び2,4,6−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。
上記トリアジン系化合物は、例えば、2,4−ビス(卜リクロロメチル)−6−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(卜リクロロメチル)−6−(4−メトキシナフチル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(卜リクロロメチル)−6−ピペロニル−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(卜リクロロメチル)−6−(4−メトキシスチリル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(卜リクロロメチル)−6−[2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル]−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(卜リクロロメチル)−6−[2−(フラン−2−イル)エテニル]−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(卜リクロロメチル)−6−[2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル]−1,3,5−トリアジン及び2,4−ビス(卜リクロロメチル)−6−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]−1,3,5−トリアジンなどが挙げられる。
上記ビイミダゾール化合物は、例えば、2,2´−ビス(2−クロロフェニル)−4,4,5,5´−テトラフェニルビイミダゾール、2,2´−ビス(2,3−ジクロロフェニル)−4,4´,5,5´−テトラフェニルビイミダゾール、2,2´−ビス(2−クロロフェニル)−4,4´,5,5´−テトラ(アルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2´−ビス(2−クロロフェニル)−4,4´,5,5´−テトラ(トリアルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2−ビス(2,6−ジクロロフェニル)−4,4´,5,5´−テトラフェニル−1,2´−ビイミダゾール及び4,4´,5,5´位置のフェニル基がカルボアルコキシ基によって置換されているイミダゾール化合物などが挙げられる。上記ビイミダゾール化合物の中で2,2´−ビス(2−クロロフェニル)−4,4´,5,5´−テトラフェニルビイミダゾール、2,2´−ビス(2,3−ジクロロフェニル)−4,4´,5,5´−テトラフェニルビイミダゾール及び2,2−ビス(2,6−ジクロロフェニル)−4,4´,5,5´−テトラフェニル−1,2´−ビイミダゾールが好ましく使用される。
上記チオキサントン系化合物は、例えば、2−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン及び1−クロロ−4−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
また、上記光重合開始剤は、本発明の着色感光性樹脂組成物の感度を向上させるために、光重合開始補助剤をさらに含むことができる。本発明による着色感光性樹脂組成物は、光重合開始補助剤を含むことで感度をさらに向上させることができ、生産性を増加させることができる。
上記光重合開始補助剤は、例えば、アミン化合物、カルボン酸化合物及びチオール基を有する有機硫黄化合物からなる群より選択される1種以上の化合物が好ましく使用され得る。
上記アミン化合物は、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン及びトリイソプロパノールアミンなどの脂肪族アミン化合物;4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノベンゾ酸イソアミル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4´−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称:ミヒラーケトン)及び4,4´−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンなどの芳香族アミン化合物が挙げられ、上記アミン化合物として芳香族アミン化合物が使用されることが好ましい。
上記カルボン酸化合物は、例えば、フェニルチオ酢酸、メチルフェニルチオ酢酸、エチルフェニルチオ酢酸、メチルエチルフェニルチオ酢酸、ジメチルフェニルチオ酢酸、メトキシフェニルチオ酢酸、ジメトキシフェニルチオ酢酸、クロロフェニルチオ酢酸、ジクロロフェニルチオ酢酸、N−フェニルグリシン、フェノキシ酢酸、ナフチルチオ酢酸、N−ナフチルグリシン及びナフトキシ酢酸などの芳香族ヘテロ酢酸類が挙げられる。
上記チオール基を有する有機硫黄化合物は、例えば、2−メルカプトベンゾチアゾール、1,4−ビス(3−メルカプトブチリルオキシ)ブタン、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−メルカプトプロピオネート)及びテトラエチレングリコールビス(3−メルカプトプロピオネート)などが挙げられる。
このような光重合開始補助剤は、光重合開始剤1モル当たり通常10モル以下、好ましくは0.01乃至5モルの範囲で使用することが好ましい。上記範囲内で光重合開始補助剤を使用する場合、重合効率を高めて生産性の向上効果を期待することができる。
溶剤
本発明の着色感光性樹脂組成物は、溶剤をさらに含むことができる。
溶剤は本発明の着色感光性樹脂組成物の他の成分を溶解させるために使用されるものであって、通常使用される着色感光性樹脂組成物に使用される溶剤であれば特に制限されずに使用されることができ、エーテル類、芳香族炭化水素類、ケトン類、アルコール類、エステル類、アミド類などが好ましい。
上記溶剤の具体例としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルなどのエチレングリコールモノアルキルエーテル類;プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテルなどのプロピレングリコールモノアルキルエーテル類;ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテルなどのジエチレングリコールジアルキルエーテル類;メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテートなどのエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類;プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテートなどのアルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類;ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどの芳香族炭化水素類;メチルエチルケトン、アセトン、メチルアミルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類;エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセリンなどのアルコール類;3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチルなどのエステル類、γ−ブチロラクトンなどの環状エステル類などが挙げられる。
上記溶剤は塗布性及び乾燥性の面で沸点が100乃至200℃である有機溶剤が好ましく、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、乳酸エチル、乳酸ブチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチルなどが挙げられる。上記例示した溶剤はそれぞれ単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
また、上記溶剤は本発明の着色感光性樹脂組成物の総100重量%に対して、60乃至90重量%、好ましくは70乃至85重量%で含まれる。上記溶剤が60乃至90重量%の範囲で含まれればロールコータ、スピンコータ、スリットアンドスピンコータ、スリットコータ(ダイコータ)、スプレーコータ、リバース印刷、グラビア印刷、スクリーン印刷、パッド印刷及びインクジェットなどの塗布装置で塗布したとき、塗布性が良好になる。
着色剤
本発明の着色感光性樹脂組成物は、着色剤をさらに含むことができる。
本発明で着色剤は1種以上の顔料、1種以上の染料またはこれらの混合物を含むことができる。
上記顔料は、当該分野で一般的に使用される有機顔料または無機顔料を使用することができる。また、上記顔料は必要に応じてレジン処理、酸性基または塩基性基が導入された顔料誘導体などを用いた表面処理、高分子化合物などによる顔料表面のグラフト処理、硫酸微粒化法などによる微粒化処理、不純物を除去するための有機溶剤や水などによる洗浄処理またはイオン交換法などによるイオン性不純物の除去処理などを実施することもできる。
上記有機顔料は、印刷インク、インクジェットインクなどに使用される各種の顔料を使用することができ、具体的には水溶性アゾ顔料、不溶性アゾ顔料、フタロシアニン顔料、キナクリドン顔料、イソインドリノン顔料、イソインドリン顔料、ペリレン顔料、ペリノン顔料、ジオキサジン顔料、アントラキノン顔料、ジアントラキノニル顔料、アントラピリミジン顔料、アンサントロン顔料、インダントロン顔料、フラバントロン顔料、ピラントロン顔料、ジケトピロロピロール顔料などが挙げられる。
また、上記無機顔料としては、金属酸化物や金属錯塩などの金属化合物を使用することができ、具体的には鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン、カーボンブラック、有機ブラック顔料、チタニウムブラック及び赤色、緑色及び青色を混合して黒色を帯びる顔料などの金属の酸化物または複合金属酸化物などが挙げられる。
特に、上記有機顔料及び無機顔料としては、具体的に色指数(The society of Dyers and Colourists出版)でピグメントに分類されている化合物が挙げられ、より具体的には以下のような色指数(C.I.)番号の顔料が挙げられるが、必ずしもこれらに限定されるのではない。
C.I.ピグメントイエロー13、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、180及び185;
C.I.ピグメントオレンジ13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65、及び71;
C.I.ピグメントレッド9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、208、215、216、224、242、254、255及び264;
C.I.ピグメントバイオレット14、19、23、29、32、33、36、37及び38;
C.I.ピグメントブルー15(15:3、15:4、15:6など)、21、28、60、64及び76;
C.I.ピグメントグリーン7、10、15、25、36、47及び58;
C.Iピグメントブラウン28;
C.Iピグメントブラック1及び7などの顔料が挙げられる。
上記顔料は単独または2種以上を混合して使用することができる。
また、好ましくはC.Iピグメントオレンジ38;C.Iピグメントレッド166、177、208、242、255;C.Iピグメントイエロー138、139、150、185;C.Iピグメントグリーン7、36、58;C.Iピグメントバイオレット23;C.Iピグメントブルー15:3、15:6からなる群より選択される1種以上を使用する。
上記顔料は着色感光性樹脂組成物のうち固形分総重量に対して5乃至60重量%、好ましくは10乃至45重量%で含まれる。上記顔料が5乃至60重量%含まれれば、薄膜を形成しても画素の色濃度が十分であり、現像時の非画素部の欠落性が低下されないため、残渣が発生しないので好ましい。
上記顔料は、顔料の粒径が均一に分散した顔料分散液を使用することが好ましい。顔料の粒径を均一に分散させるための方法の例としては、顔料分散剤を含有させて分散処理する方法などが挙げられ、上記方法によって顔料が溶液中で均一に分散した状態の顔料分散液を得ることができる。
上記顔料分散剤は顔料の脱凝集及び安定性の維持のために添加するものであって、顔料分散剤の具体例としては、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性系、ポリエステル系、ポリアミン系などの界面活性剤などが挙げられ、これらは、それぞれ単独または2種以上を組み合わせて使用することができる。
上記カチオン系界面活性剤の具体例としては、ステアリルアミン塩酸塩及びラウリルトリメチルアンモニウムクロリドなどのアミン塩または4級アンモニウム塩などが挙げられる。
上記アニオン系界面活性剤の具体例としては、ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウム及びオレイルアルコール硫酸エステルナトリウムなどの高級アルコール硫酸エステル塩類、ラウリル硫酸ナトリウム及びラウリル硫酸アンモニウムなどのアルキル硫酸塩類、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム及びドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウムなどのアルキルアリールスルホン酸塩類などが挙げられる。
上記ノニオン系界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン/オキシプロピレンブロック共重合体、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル及びポリオキシエチレンアルキルアミンなどが挙げられる。
その他にポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、3級アミン変性ポリウレタン類及びポリエチレンイミン類などが挙げられる。
また、上記顔料分散剤はブチルメタアクリレート(BMA)またはN,N−ジメチルアミノエチルメタアクリレート(DMAEMA)を含むアクリレート系分散剤(以下、アクリレート系分散剤)を含むことが好ましい。上記アクリレート系分散剤の市販品としてはDISPER BYK−2000、DISPER BYK−2001、DISPER BYK−2070またはDISPER BYK−2150などが挙げられ、上記アクリレート系分散剤はそれぞれ単独または2種以上を混合して使用することができる。
上記顔料分散剤は、アクリレート系分散剤以外に他の樹脂タイプの顔料分散剤を使用することもできる。上記他の樹脂タイプの顔料分散剤としては、公知の樹脂タイプの顔料分散剤、特にポリウレタン、ポリアクリレートに代表されるポリカルボン酸エステル、不飽和ポリアミド、ポリカルボン酸、ポリカルボン酸の(部分的)アミン塩、ポリカルボン酸のアンモニウム塩、ポリカルボン酸のアルキルアミン塩、ポリシロキサン、長鎖ポリアミノアミドリン酸塩、ヒドロキシル基−含ポリカルボン酸のエステル及びこれらの改質生成物、またはフリー(free)カルボキシル基を有するポリエステルとポリ(低級アルキレンイミン)の反応によって形成されたアミドまたはこれらの塩のような油質の分散剤;(メト)アクリル酸−スチレンコポリマー、(メト)アクリル酸−(メト)アクリレートエステルコポリマー、スチレン−マレイン酸コポリマー、ポリビニルアルコールまたはポリビニルピロリドンのような水溶性樹脂または水溶性ポリマー化合物;ポリエステル;改質ポリアクリレート;エチレンオキシド/プロピレンオキシドの付加生成物;及びリン酸エステルなどが挙げられる。
上記他の樹脂タイプの顔料分散剤の市販品としては、カチオン系樹脂分散剤としては、例えば、BYK(ビッグ)ケミ社の商品名:DISPER BYK−160、DISPER BYK−161、DISPER BYK−162、DISPER BYK−163、DISPER BYK−164、DISPER BYK−166、DISPER BYK−171、DISPER BYK−182、DISPER BYK−184;BASF社の商品名:EFKA−44、EFKA−46、EFKA−47、EFKA−48、EFKA−4010、EFKA−4050、EFKA−4055、EFKA−4020、EFKA−4015、EFKA−4060、EFKA−4300、EFKA−4330、EFKA−4400、EFKA−4406、EFKA−4510、EFKA−4800;Lubirzol社の商品名:SOLSPERS−24000、SOLSPERS−32550、NBZ−4204/10;川研ファインケミカル社の商品名:HINOACT T−6000、HINOACT T−7000、HINOACT T−8000;味の素社の商品名:アジスパー(AJISPUR)PB−821、アジスパーPB−822、アジスパーPB−823;共栄社化学社の商品名:フローレン(FLORENE)DOPA−17HF、フローレンDOPA−15BHF、フローレンDOPA−33、フローレンDOPA−44などが挙げられる。
上記のアクリレート系分散剤以外に他の樹脂タイプの顔料分散剤はそれぞれ単独または2種以上を混合して使用することができ、アクリレート系分散剤と併用して使用することもできる。
上記顔料分散剤は、顔料中に固形分100重量部に対して、5乃至60重量部、好ましくは15乃至50重量部で含まれる。上記顔料分散剤の含量が60重量部を超過すると粘度が高くなり、5重量部未満の場合は顔料の微粒化が困難となったり、分散後のゲル化などの問題を引き起こし得る。
上記染料は有機溶剤に対する溶解性を有するものであれば制限なく使用することができる。好ましくは有機溶剤に対する溶解性を有しながらアルカリ現像液に対する溶解性及び耐熱性、耐溶剤性などの信頼性を確保することができる染料を使用することが好ましい。
上記染料としてはスルホン酸やカルボン酸などの酸性基を有する酸性染料、酸性染料と窒素含有化合物の塩、酸性染料のスルホンアミド体などとこれらの誘導体で選択されたものを使用することができ、それ以外にもアゾ系、キサンテン系、フタロシアニン系の酸性染料及びこれらの誘導体も選択され得る。好ましくは、上記染料はカラーインデックス(The Society of Dyers and Colourists出版)内で染料に分類されている化合物または染色ノート(色染社)に記載されている公知の染料が挙げられる。
上記染料の具体例としては、C.I.ソルベント染料として、
C.I.ソルベントレッド8、45、49、89、111、122、125、130、132、146及び179;
C.I.ソルベントブルー5、35、36、37、44、59、67及び70;
C.I.ソルベントバイオレット8、9、13、14、36、37、47及び49;
C.I.ソルベントイエロー4、14、15、23、24、38、62、63、68、82、94、98、99及び162;
C.I.ソルベントオレンジ2、7、11、15、26及び56;
C.I.ソルベントグリーン1、3、4、5、7、28、29、32、33、34及び35などの染料が挙げられる。
上記C.I.ソルベント染料の中でもC.I.ソルベントレッド8、49、89、111、122、132、146及び179;C.I.ソルベントブルー35、36、44、45及び70;C.I.ソルベントバイオレット13が好ましく、C.I.ソルベントレッド8、122及び132がより好ましい。
また、C.I.アシッド染料として、
C.I.アシッドレッド1、4、8、14、17、18、26、27、29、31、34、35、37、42、44、50、51、52、57、66、73、80、87、88、91、92、94、97、103、111、114、129、133、134、138、143、145、150、151、158、176、182、183、195、198、206、211、215、216、217、227、228、249、252、257、258、260、261、266、268、270、274、277、280、281、308、312、315、316、339、341、345、346、349、382、383、394、401、412、417、418、422及び426;
C.I.アシッドイエロー1、3、7、9、11、17、23、25、29、34、36、38、40、42、54、65、72、73、76、79、98、99、111、112、113、114、116、119、123、128、134、135、138、139、140、144、150、155、157、160、161、163、168、169、172、177、178、179、184、190、193、196、197、199、202、203、204、205、207、212、214、220、221、228、230、232、235、238、240、242、243及び251;
C.I.アシッドオレンジ6、7、8、10、12、26、50、51、52、56、62、63、64、74、75、94、95、107、108、169及び173;
C.I.アシッドブルー1、7、9、15、18、23、25、27、29、40、42、45、51、62、70、74、80、83、86、87、90、92、96、103、112、113、120、129、138、147、150、158、171、182、192、210、242、243、256、259、267、278、280、285、290、296、315、324:1、335及び340;
C.I.アシッドバイオレット6B、7、9、17、19及び66;
C.I.アシッドグリーン1、3、5、9、16、25、27、50、58、63、65、80、104、105、106及び109などの染料が挙げられる。
上記C.I.アシッド染料の中でC.I.アシッドレッド92;C.I.アシッドブルー80、90;及びC.I.アシッドバイオレット66が有機溶媒に対する溶解度に優れるので好ましい。
また、C.I.ダイレクト染料として、
C.I.ダイレクトレッド79、82、83、84、91、92、96、97、98、99、105、106、107、172、173、176、177、179、181、182、184、204、207、211、213、218、220、221、222、232、233、234、241、243、246及び250;
C.I.ダイレクトイエロー2、33、34、35、38、39、43、47、50、54、58、68、69、70、71、86、93、94、95、98、102、108、109、129、136、138及び141;
C.I.ダイレクトオレンジ34、39、41、46、50、52、56、57、61、64、65、68、70、96、97、106及び107;
C.I.ダイレクトブルー38、44、57、70、77、80、81、84、85、86、90、93、94、95、97、98、99、100、101、106、107、108、109、113、114、115、117、119、137、149、150、153、155、156、158、159、160、161、162、163、164、166、167、170、171、172、173、188、189、190、192、193、194、196、198、199、200、207、209、210、212、213、214、222、228、229、237、238、242、243、244、245、247、248、250、251、252、256、257、259、260、268、274、275及び293;
C.I.ダイレクトバイオレット47、52、54、59、60、65、66、79、80、81、82、84、89、90、93、95、96、103及び104;
C.I.ダイレクトグリーン25、27、31、32、34、37、63、65、66、67、68、69、72、77、79及び82などの染料が挙げられる。
また、C.I.モーダント染料として、
C.I.モーダントイエロー5、8、10、16、20、26、30、31、33、42、43、45、56、61、62及び65;
C.I.モーダントレッド1、2、3、4、9、11、12、14、17、18、19、22、23、24、25、26、30、32、33、36、37、38、39、41、43、45、46、48、53、56、63、71、74、85、86、88、90、94及び95;
C.I.モーダントオレンジ3、4、5、8、12、13、14、20、21、23、24、28、29、32、34、35、36、37、42、43、47及び48;
C.I.モーダントブルー1、2、3、7、8、9、12、13、15、16、19、20、21、22、23、24、26、30、31、32、39、40、41、43、44、48、49、53、61、74、77、83及び84;
C.I.モーダントバイオレット1、2、4、5、7、14、22、24、30、31、32、37、40、41、44、45、47、48、53及び58;
C.I.モーダントグリーン1、3、4、5、10、15、19、26、29、33、34、35、41、43及び53などの染料が挙げられる。
上記染料はそれぞれ単独または2種以上を組み合わせて使用することができる。
上記着色剤中の染料の含量は、着色剤の中に固形分の総100重量%に対して0.5乃至80重量%含まれ、0.5乃至70重量%が好ましく、1乃至70重量%がより好ましい。上記着色剤中の染料の含量が上記0.5乃至80重量%で含まれればパターン形成後に有機溶媒によって染料が溶出される信頼性低下の問題を防止することができ、感度が高くなる。
上記着色剤の含量は、上記着色感光性樹脂組成物の中に固形分の総100重量%に対して5乃至60重量%、好ましくは10乃至45重量%で含まれる。上記着色剤が上記5乃至60重量%で含まれる場合には薄膜を形成したときの画素の色濃度が十分であり、現像時の非画素部の欠落性が低下されないため残渣が発生しにくいという利点がある。
添加剤
本発明の着色感光性樹脂組成物は必要に応じて選択的に他の高分子化合物、硬化剤、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤及び凝集防止剤からなる群より選択される1種以上の添加剤を含むことができる。
上記他の高分子化合物の具体例としてはエポキシ樹脂、マレイミド樹脂などの硬化性樹脂、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフルオロアルキルアクリレート、ポリエステル及びポリウレタンなどの熱可塑性樹脂などが挙げられる。
上記硬化剤は深部硬化及び機械的強度を高めるために使用され、硬化剤の具体例としてはエポキシ化合物、多官能イソシアネート化合物、メラミン化合物及びオキセタン化合物などが挙げられる。
上記硬化剤で、エポキシ化合物の具体例としては、ビスフェノールA系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールA系エポキシ樹脂、ビスフェノールF系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールF系エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、その他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、または上記エポキシ樹脂の臭素化誘導体、エポキシ樹脂及びその臭素化誘導体以外の脂肪族、脂環族または芳香族エポキシ化合物、ブタジエン(共)重合体エポキシ化合物、イソプレン(共)重合体エポキシ化合物、グリシジル(メタ)アクリレート(共)重合体及びトリグリシジルイソシアヌレートなどが挙げられる。
上記硬化剤で、オキセタン化合物の具体例としては、カーボネートビスオキセタン、キシレンビスオキセタン、アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセタン及びシクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタンなどが挙げられる。
上記硬化剤は、硬化剤とともにエポキシ化合物のエポキシ基、オキセタン化合物のオキセタン骨格を開環重合できるようにする硬化補助化合物を併用することができる。
上記硬化補助化合物は、例えば多価カルボン酸類、多価カルボン酸無水物類及び酸発生剤などがある。上記多価カルボン酸無水物類はエポキシ樹脂硬化剤として市販されるものを利用することができる。上記市販品としては、アデカハードナーEH−700(アデカ工業(株)製造)、リカシッドHH(新日本理化(株)製造)及びMH−700(新日本理化(株)製造)などが挙げられる。上記で例示した硬化剤は単独または2種以上を混合して使用することができる。
上記界面活性剤は着色感光性樹脂組成物の被膜形成をより向上させるために使用することができ、シリコーン系、フッ素系、エステル系、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性界面活性剤などが好ましく使用されることができる。
上記シリコーン系界面活性剤は、例えば、市販品としてダウコーニング・東レシリコーン社のDC3PA、DC7PA、SH11PA、SH21PA及びSH8400などがあり、GE東芝シリコーン社のTSF−4440、TSF−4300、TSF−4445、TSF−4446、TSF−4460及びTSF−4452などがある。
上記フッ素系界面活性剤は、例えば、市販品として大日本インキ化学工業社のメガピースF−470、F−471、F−475、F−482及びF−489などがある。
また、その他に使用可能な市販品としてはKP(信越化学工業(株))、ポリフロー(POLYFLOW)(共栄社化学(株))、エフトップ(EFTOP)(トーケムプロダクツ社)、メガファック(MEGAFAC)(大日本インキ化学工業(株))、フロラード(Flourad)(住友スリーエム(株))、アサヒガード(Asahi guard)、サーフロン(Surflon)(以上、旭ガラス(株))、ソルスパース(SOLSPERSE)(Lubrisol社)、EFKA(EFKAケミカルズ社)、PB821(味の素(株))及びDisperbyk−series(BYK−chemi)などが挙げられる。
上記例示された界面活性剤は、それぞれ単独または2種以上を組み合わせて使用することができる。
上記密着促進剤の種類は特に限定されず、使用可能な密着促進剤の具体例としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−イソシアネートプロピルトリメトキシシラン及び3−イソシアネートプロピルトリエトキシシランなどが挙げられる。上記で例示した密着促進剤はそれぞれ単独または2種以上を組み合わせて使用することができる。上記密着促進剤は着色感光性樹脂組成物の中に固形分の総重量に対して通常0.01乃至10重量%、好ましくは0.05乃至2重量%含まれ得る。
上記酸化防止剤の種類は特に限定しないが、2,2´−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチル−4−メチルフェノールなどが挙げられる。
上記紫外線吸収剤の種類は特に限定しないが、使用可能な具体例としては、2−(3−tert−ブチル−2−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどが挙げられる。
上記凝集防止剤の種類は特に限定しないが、使用可能な具体例としてはポリアクリル酸ナトリウムなどが挙げられる。
上記添加剤は上記着色感光性樹脂組成物の全体100重量%に対して0.1乃至5重量%で含まれることができる。上記添加剤が上記着色感光性樹脂組成物に対して上記範囲内で含まれる場合、上記着色感光性樹脂組成物で製造されるカラーフィルタの性能を低下させないながらも、添加剤それぞれの目的とする性能の付与が可能であるという利点がある。
本発明の着色感光性樹脂組成物は、例えば下記のように製造することができる。
まず、上記着色剤のうち顔料を溶剤と混合して顔料の平均粒径が0.2μm以下程度となるまでビーズミルなどを利用して分散させる。このとき、必要に応じて顔料分散剤、アルカリ可溶性樹脂の一部または全部、または染料を溶剤とともに混合させて、溶解または分散させることができる。
上記混合した分散剤に染料、アルカリ可溶性樹脂の残り、光重合性化合物、光重合開始剤と必要に応じて添加剤及び溶剤を所定の濃度になるようにさらに添加して本発明による着色感光性樹脂組成物を製造することができるが、これに限定されない。
<カラーフィルタ>
本発明の他の様態は、上記着色感光性樹脂組成物を利用して製造されたカラーフィルタである。
カラーフィルタは前述の本発明の着色感光性樹脂組成物を基材上に塗布し、光硬化及び現像してパターンを形成することにより製造することができる。
まず、着色感光性樹脂組成物を基材に塗布した後、加熱乾燥することにより溶媒などの揮発成分を除去し、平滑な塗膜を得る。
塗布方法としては、例えばスピンコート、柔軟塗布法、ロール塗布法、スリットアンドスピンコートまたはスリットコート法などによって実施されることができる。塗布後加熱乾燥(プリベーク)、または減圧乾燥後に加熱して溶媒などの揮発成分を揮発させる。ここで、加熱温度は通常70乃至200℃、好ましくは80乃至130℃である。加熱乾燥後の塗膜の厚さは通常1乃至8μm程度である。このようにして得られた塗膜に、目的とするパターンを形成するためのマスクを通じて紫外線を照射する。このとき、露光部全体に均一に平行光線が照射され、またマスクと基板の正確な位置合わせが実施されるように、マスクアライナやステッパーなどの装置を使用することが好ましい。紫外線を照射すると、紫外線が照射された部位の硬化が行われる。
上記紫外線としてはg線(波長:436nm)、h線、i線(波長:365nm)などを使用することができる。紫外線の照射量は必要に応じて適切に選択され得るものであり、本発明ではこれを限定しない。硬化が終了された塗膜を現像液に接触させて非露光部を溶解させて現像すると、目的とするパターン形状を形成することができる。
上記現像方法は、液添加法、ディッピング法、スプレー法などのいずれでもよい。また、現像時に基板を任意の角度に傾けてもよい。上記現像液は、通常アルカリ性化合物と界面活性剤を含む水溶液である。上記アルカリ性化合物は、無機及び有機アルカリ性化合物のいずれでもよい。無機アルカリ性化合物の具体例としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、リン酸水素二ナトリウム、リン酸二水素ナトリウム、リン酸水素二アンモニウム、リン酸二水素アンモニウム、リン酸二水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニアなどが挙げられる。また、有機アルカリ性化合物の具体例としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、2−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミンなどが挙げられる。
これら無機及び有機アルカリ性化合物は、それぞれ単独または2種以上組み合わせて使用することができる。アルカリ現像液中のアルカリ性化合物の濃度は、好ましくは0.01乃至10重量%であり、より好ましくは0.03乃至5重量%である。
上記アルカリ現像液中の界面活性剤はノニオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤またはカチオン系界面活性剤からなる群より選択される少なくとも1つを使用することができる。
上記ノニオン系界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアーリルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアーリルエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン/オキシプロピレンブロック共重合体、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトル脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミンなどが挙げられる。
上記アニオン系界面活性剤の具体例としては、ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウムやオレイルアルコール硫酸エステルナトリウムなどの高級アルコール硫酸エステル塩類、ラウリル硫酸ナトリウムやラウリル硫酸アンモニウムなどのアルキル硫酸塩類、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムやドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウムなどのアルキルアーリルスルホン酸塩類などが挙げられる。
上記カチオン系界面活性剤の具体例としては、ステアリルアミン塩酸塩やラウリルトリメチルアンモニウムクロリドなどのアミン塩または4級アンモニウム塩などが挙げられる。これら界面活性剤はそれぞれ単独でまたは2種以上組み合わせて使用することができる。
上記現像液中の界面活性剤の濃度は、通常0.01乃至10重量%、好ましくは0.05乃至8重量%、より好ましくは0.1乃至5重量%である。現像後、水洗し、必要に応じて150乃至230℃、10乃至60分間のポストベークを実施することもできる。
<画像表示装置>
本発明のまた他の様態は上述したカラーフィルタが具備される画像表示装置である。
本発明の画像表示装置は上記カラーフィルタを具備したものであり、具体例としては、液晶ディスプレイ、OLED、フレキシブルディスプレイなどが挙げられるが、これに限定されるものではない。
以下、本発明の理解を助けるために好ましい実施例を提示するが、下記実施例は本発明を例示するだけであって、本発明の範疇及び技術思想の範囲内で多様な変更及び修正が可能であることは当業者にとって明白なことであり、このような変形及び修正が添付された特許請求の範囲に属することも当然のことである。以下の実施例及び比較例で含量を表す「%」及び「部」は、特に言及しない限り重量基準である。
合成例1乃至3:アクリル可溶性樹脂の合成
合成例1:アクリル可溶性樹脂(A−1)の合成
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロート及び窒素導入管を具備したフラスコを準備し、一方、モノマー滴下ロートとして2−フェニルチオエチルアクリレート52g(0.25モル)、ベンジルメタクリレート44g(0.25モル)、メタクリル酸12.9g(0.15モル)、ビニルトルエン41.3g(0.35モル)、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート4g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)40gを投入した後、撹拌混合して準備し、連鎖移動剤滴下槽として、n−ドデカンチオール6g、PGMEA24gを入れて撹拌混合したものを準備した。以後、フラスコにPGMEA395gを導入してフラスコ内の雰囲気を空気から窒素にした後、撹拌しながらフラスコの温度を90℃まで昇温した。次いで、モノマー及び連鎖移動剤を滴下ロートから滴下を開始した。滴下は、90℃を維持しながら、それぞれ2時間進行し、1時間後に110℃昇温して8時間反応を進行して合成例1のアルカリ可溶性樹脂(A−1)を得た。
上記合成例1のアルカリ可溶性樹脂(A−1)は上記化学式1の構造単位を含んでおり、上記合成例1のアルカリ可溶性樹脂(A−1)の固形分の酸価は70mgKOH/gであり、GPCで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は23,000であり、分子量分布(Mw/Mn)は2.4であった。
合成例2:アクリル可溶性樹脂(A−2)の合成
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロート及び窒素導入管を具備したフラスコを準備し、一方、モノマー滴下ロートとして2−フェニルチオエチルアクリレート52g(0.25モル)、メチルメタクリレート15g(0.15モル)、メタクリル酸21.5g(0.25モル)、ベンジルマレイミド65.4g(0.35モル)、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート4g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)40gを投入した後、撹拌混合して準備し、連鎖移動剤滴下槽として、n−ドデカンチオール6g、PGMEA24gを入れて撹拌混合したものを準備した。以後、フラスコにPGMEA395gを導入してフラスコ内の雰囲気を空気から窒素にした後、撹拌しながらフラスコの温度を90℃まで昇温した。続いてモノマー及び連鎖移動剤を滴下ロートから滴下を開始した。滴下は、90℃を維持しながら、それぞれ2時間進行し、1時間後に110℃昇温して5時間維持した後、ガス導入管を導入させ、酸素/窒素=5/95(v/v)混合ガスのバブリングを開始した。次いで、グリシジルメタクリレート21.3g(0.15モル)、2,2´−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)0.4g、トリエチルアミン0.8gをフラスコ内に投入して110℃で8時間反応を続けて合成例2のアルカリ可溶性樹脂(A−2)を得た。
上記合成例2のアルカリ可溶性樹脂(A−2)は上記化学式1の構造単位を含んでおり、上記合成例2のアルカリ可溶性樹脂(A−2)の固形分の酸価は73mgKOH/gであり、GPCで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は18,000であり、分子量分布(Mw/Mn)は2.2であった。
合成例3:アクリル可溶性樹脂(A−3)の合成
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロート及び窒素導入管を具備したフラスコを準備し、一方、モノマー滴下ロートとして、ベンジルメタクリレート88g(0.5モル)、メタクリル酸12.9g(0.15モル)、ビニルトルエン41.3g(0.35モル)、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート4g、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)40gを投入した後、撹拌混合して準備し、連鎖移動剤滴下槽として、n−ドデカンチオール6g、PGMEA24gを入れて撹拌混合したものを準備した。以後、フラスコにPGMEA395gを導入してフラスコ内の雰囲気を空気から窒素にした後、撹拌しながらフラスコの温度を90℃まで昇温した。次いで、モノマー及び連鎖移動剤を滴下ロートから滴下を開始した。滴下は、90℃を維持しながら、それぞれ2時間進行し、1時間後に110℃昇温して8時間反応を進行して合成例3のアルカリ可溶性樹脂(A−3)を得た。
上記合成例3のアルカリ可溶性樹脂(A−3)は上記化学式1の構造単位を含んでおらず、上記合成例3のアルカリ可溶性樹脂(A−3)の固形分の酸価は70mgKOH/gであり、GPCで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は21,000であり、分子量分布(Mw/Mn)は2.2であった。
合成例4乃至5:光重合開始剤の合成
合成例4:光重合開始剤(C−1)の合成
反応1.
2−ニトロフロレン5.0gを無水ニトロベンゼン100mlに溶解させ、無水塩化アルミニウム6.31gを加えた後、反応物を45℃に昇温して塩化アセチル2.79gを無水ニトロベンゼン30mlに溶解させた溶液を30分にかけて徐々に加え、反応物を65℃に昇温して1時間撹拌した。その後、反応物を室温に冷却して蒸溜水70mlを加え、30分間ほど撹拌した後、生成物を濾過した。得られた固体生成物を50mlのエーテルに分散させ、室温で30分撹拌後、濾過して乾燥して淡い黄色の反応物1(1−(9,9−H−7−ニトロフロレン−2−イル)−エタノン)5.08gを得た。
反応2.
反応物1を1.5gエタノール30mlに分散させ、塩酸ヒドロキシルアミン0.49gと酢酸ナトリウム0.58gを加えた後、反応溶液を徐々に昇温して2時間還流反応した。反応物を室温に冷却して蒸溜水20mlを加えた後、30分間ほど撹拌して得られた固体生成物を濾過し、蒸溜水で数回洗った後、乾燥して淡い灰色の反応物2(1−(9,9−H−7−ニトロフロレン−2−イル)−エタノンオキシム)1.38gを得た。
反応3.
反応物2を1.20gエチルアセテート50mlに分散させ、無水酢酸0.69gを加えた後、反応溶液を徐々に昇温して3時間還流反応した。反応物を室温に冷却して飽和炭酸水素ナトリウム水溶液20mlと蒸溜水20mlの順で洗った後、回収した有機層を無水硫酸マグネシウムで乾燥して溶媒を減圧蒸溜して得た生成物をメタノール20mlで再結晶して淡い黄色の開始剤C−1(1−(9,9−H−7−ニトロフロレン−2−イル)−エタノンオキシム−O−アセテート)1.22gを得た。
合成例5:光重合開始剤(C−2)の合成
反応1.
フルオレン200.0g、水酸化カリウム268.8gとヨウ化カリウム19.9gを窒素雰囲気下で無水ジメチルスルホキシド1Lに溶解させ、反応物を15℃で維持した後、ブロモエタン283.3gを2時間にかけて徐々に加え、反応物を15℃で1時間撹拌した。その後、反応物に蒸溜水2Lを加え、30分間撹拌した後、ジクロロメタン2Lで生成物を抽出し、抽出した有機層を蒸溜水2Lで2回洗った後、回収した有機層を無水硫酸マグネシウムで乾燥し、溶媒を減圧蒸溜して得た生成物を減圧下で分別蒸溜して粘度が高い液体である淡い黄色の反応物1(9,9−ジエチル−9H−フルオレン)248.6gを得た。
反応2.
100.5gの反応物1をジクロロメタン1Lに溶解させ、反応物を−5℃に冷却した後、塩化アルミニウム72.3gを徐々に加えた後、反応物の温度が昇温されないように注意しながら、ジクロロメタン50mlに希釈させた塩化プロピオニル50.1gを2時間かけて徐々に加え、−5℃で1時間反応物を撹拌した。その後、反応物を氷水1Lに徐々に注いで30分間撹拌して有機層を分離した後、蒸溜水500mlで洗い、回収した有機層を減圧蒸溜して得た生成物をシリカゲルコラムクロマトグラフィー(展開溶媒;エチルアセテート:n−ヘキサン=1:4)で精製して淡い黄色の固体である反応物2(1−(9,9−ジエチル−9H−フルオレン−2−イル)−1−プロパンオン)75.8gを得た。
反応3.
反応物2を44.5gテトラヒドラフラン(THF)900mlに溶解させ、1,4−ジオキサンに溶解された4N HCl 150mlとイソブチル亜硝酸24.7gを順に加えて反応物を25℃で6時間撹拌した。その後、反応溶液にエチルアセテート500ml加えて30分間撹拌し、有機層を分離した後、蒸溜水600mlで洗った後、回収した有機層を無水硫酸マグネシウムで乾燥し、溶媒を減圧蒸溜して得られた固体生成物をエチルアセテート:ヘキサン(1:6)の混合溶媒300mlを使用して再結晶した後、乾燥して淡い灰色の固体である反応物3(1−(9,9−ジエチル−9H−フルオレン−2−イル)−1,2−プロパンジオン−2−オキシム)27.5gを得た。
反応4.
反応物3を窒素雰囲気下でN−メチル−2−ピロリジノン(NMP)1Lに溶解させ、反応物を−5℃で維持した後、トリエチルアミン35.4gを加え、反応溶液を30分間撹拌した後、塩化アセチル27.5gをN−メチル−2−ピロリジノン75mlに溶解させた溶液を30分かけて徐々に加え、反応物が昇温されないように注意しながら30分間撹拌した。その後、蒸溜水1Lを反応物に徐々に加えて30分間撹拌し、有機層を分離した後、回収した有機層を無水硫酸マグネシウムで乾燥して溶媒を減圧蒸溜した。得られた固体生成物をエタノール1Lを使用して再結晶した後、乾燥して淡い灰色の固体である開始剤C−2(1−(9,9−ジエチル−9H−フルオレン−2−イル)−1,2−プロパンジオン−2−オキシム−O−アセテート)93.7gを得た。
製造例:顔料分散組成物の製造
顔料としてC.I.ピグメントブルー15:6 12.5重量部、顔料分散剤としてDISPERBYK−2001(BYK社製造)7.5重量部、染料としてC.I.ピグメントアシッドレッド52 1.2重量部、溶媒としてプロピレングリコールメチルエーテルアセテート72重量部及びプロピレングリコールモノメチルエーテル8重量部をビーズミルによって12時間混合及び分散して顔料分散組成物を製造した。
実施例1乃至6及び比較例1乃至6:着色感光性樹脂組成物の製造
下記表1の成分及び含量を使用して着色感光性樹脂組成物を製造した。
実験例
上記実施例1乃至6及び比較例で製造した着色感光性樹脂組成物の物性を次のような方法で測定して、その結果を下記表2に記載した。本発明で利用した測定法及び評価方法は次のとおりである。
(1)塗布性の評価
実施例1乃至6及び比較例1乃至6による着色感光性樹脂組成物をMUSASI社SHOT mini 200sを利用して吐出実験を行った。具体的に、下記実施例1乃至6及び比較例1乃至6の着色感光性樹脂組成物を一定の圧力に、250mm/sのhead speedを適用して15インチ角のガラス基板(コーニング社、EAGLE XG)の上に10cm×10回吐出して塗布性を評価した。
評価基準は下記のとおりであり、評価結果を下表2に示した。
◎:吐出切れなし
○:吐出切れ1以上3回未満
△:吐出切れ3以上10回未満
×:吐出切れ10回以上
(2)現像速度、密着性及び感度の評価
実施例1乃至6及び比較例1乃至6の着色感光性樹脂組成物をそれぞれスピンコート法で2インチ角のガラス基板(コーニング社、EAGLE XG)の上に塗布した後、加熱板の上にのせて100℃の温度で3分間維持して薄膜を形成させた。その後、上記薄膜の上に透過率を1乃至100%の範囲で階段状に変化させるパターンと1μm乃至100μmのライン/スペースパターンを有する試験フォトマスクを載置して試験フォトマスクとの間隔を300μmにして紫外線を照射した。このとき、紫外線光源はg、h、i線を全部含む1kWの高圧水銀燈を使用して60mJ/cmの照度で照射し、特別な光学フィルタは使用しなかった。上記紫外線が照射された薄膜をpH10.5のKOH水溶液現像溶液に2分間浸して現像した。上記薄膜が塗布されたガラス板を蒸溜水を使用して洗浄した後、窒素ガスを吹いて乾燥し、200℃の加熱オーブンで25分間加熱してそれぞれのカラーフィルタを製造した。上記で製造されたカラーフィルタのフィルム厚さは2.4μmであった。
上記工程のうち現像工程で、非露光部が現像液に完全に溶解されるまでにかかる時間(現像速度)を測定して下表2に表した。
また、生成されたパターンを光学顕微鏡で観察し、20μmパターンの剥がれ現象程度を下記基準で評価して密着性評価結果を下記表2に表した。
○:パターン上剥がれなし
△:パターン上剥がれ1乃至4個
×:パターン上剥がれ5以上
また、感度評価のために、上記のように得られた画素部を観察し、表面粗さがあるかどうかをNaランプ下で観察し、これを図1に示した。
図1の左側部分が表面粗さがある部分であり、右側部分が表面粗さがない部分である。
ここに表面粗さがないパターンを形成するための最低必要露光量(mJ/cm)を測定して下記表2に示した。
上表2を参照すると、本発明でのアルカリ可溶性樹脂(A−1またはA−2)及びフルオレン系光重合開始剤(C−1またはC−2)を全て含む着色感光性樹脂組成物を使用する場合(実施例1乃至6)、本発明でのアルカリ可溶性樹脂(A−1またはA−2)は含まないが、本発明のフルオレン系光重合開始剤(C−2)は含む場合の着色感光性樹脂組成物を使用する場合(比較例1及び2)より塗布性、現像速度及び密着性に優れることを確認した。
また、本発明でのアルカリ可溶性樹脂(A−1またはA−2)及びフルオレン系光重合開始剤(C−1またはC−2)を全て含む着色感光性樹脂組成物を使用する場合(実施例1乃至6)、本発明でのアルカリ可溶性樹脂(A−1またはA−2)は含むが、本発明のフルオレン系光重合開始剤(C−1またはC−2)は含まない着色感光性樹脂組成物を使用する場合(比較例3乃至6)より感度に優れることを確認した。

Claims (10)

  1. アルカリ可溶性樹脂、光重合性化合物及びフルオレン系光重合開始剤を含み、前記アルカリ可溶性樹脂は下記(A1)乃至(A3)の化合物を共重合して得られる共重合体であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物:
    (A1):下記化学式1で表される化合物;
    (前記化学式1において、
    は水素またはメチル基であり、
    は置換または非置換された2価の炭素数1乃至6のアルキレン基またはアルケニル基であり、
    Aは置換または非置換されたベンゼン基、シクロヘキシル基、炭素数1乃至6のアルキル基またはアルケニル基であり、
    このとき、R の置換体及びAの置換体はそれぞれ独立してフッ素、塩素、臭素、ヨウ素、炭素数1乃至6のアルキル基、炭素数1乃至3のパーハロゲン化アルキル基、ヒドロキシ基、炭素数1乃至6のケトン基、炭素数1乃至6のエステル基、N,N−(C−C)アルキル置換されたアミド基からなる群より選択される。)
    (A2):(A1)及び(A3)と共重合が可能な不飽和結合を含む化合物;及び
    (A3):不飽和カルボン酸
  2. 前記フルオレン系光重合開始剤は、下記化学式8で表される化合物を含むことを特徴とする請求項1に記載の着色感光性樹脂組成物:
    前記化学式8において、
    乃至Rはそれぞれ独立して水素、ハロゲン、炭素数1乃至20のアルキル基、炭素数6乃至20のアーリル基、炭素数1乃至20のアルコキシ基、炭素数7乃至40のアーリルアルキル基、炭素数1乃至20のヒドロキシアルキル基、炭素数2乃至40のヒドロキシアルコキシアルキル基及び炭素数3乃至20のシクロアルキル基からなる群より選択され、
    乃至R15はそれぞれ独立して水素、炭素数1乃至20のアルキル基、炭素数6乃至20のアーリル基、炭素数1乃至20のアルコキシ基、炭素数7乃至40のアーリルアルキル基、炭素数1乃至20のヒドロキシアルキル基、炭素数2乃至40のヒドロキシアルコキシアルキル基、炭素数3乃至20のシクロアルキル基、アミノ基、ニトロ基、シアノ基及びヒドロキシ基からなる群より選択され、
    pは0または1であり、
    前記ハロゲンはフッ素(F)、塩素(Cl)、臭素(Br)またはヨウ素(I)である。
  3. 前記化学式1で表される化合物は下記化学式6で表される化合物からなる群より選択される1種以上を含むことを特徴とする請求項1に記載の着色感光性樹脂組成物:
    前記化学式6において、
    は水素またはメチル基であり、
    は置換または非置換された2価の炭素数1乃至6のアルキレン基またはアルケニル基であり、
    このとき、Rの置換体はフッ素、塩素、臭素、ヨウ素、炭素数1乃至6のアルキル基、炭素数1乃至3のパーハロゲン化アルキル基、ヒドロキシ基、炭素数1乃至6のケトン基、炭素数1乃至6のエステル基及びN,N−(C−C)アルキル置換されたアミド基からなる群より選択される。
  4. 前記アルカリ可溶性樹脂は不飽和結合及びエポキシ基を含む化合物(A4)をさらに反応させて得られる不飽和基含有樹脂であることを特徴とする請求項1に記載の着色感光性樹脂組成物。
  5. 前記アルカリ可溶性樹脂は、前記着色感光性樹脂組成物中、固形分の総100重量%に対して10乃至80重量%で含まれることを特徴とする請求項1に記載の着色感光性樹脂組成物。
  6. 前記フルオレン系光重合開始剤は、前記着色感光性樹脂組成物全体100重量%に対して0.1乃至10重量%で含まれることを特徴とする請求項1に記載の着色感光性樹脂組成物。
  7. 前記光重合性化合物は、前記着色感光性樹脂組成物の全体固形分の総100重量%に対して5乃至45重量%で含まれることを特徴とする請求項1に記載の着色感光性樹脂組成物。
  8. 前記着色感光性樹脂組成物は、溶剤及び着色剤からなる群より選択される1種以上をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の着色感光性樹脂組成物。
  9. 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の着色感光性樹脂組成物を利用して製造されたカラーフィルタ。
  10. 請求項9に記載のカラーフィルタを含む画像表示装置。
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102397084B1 (ko) * 2017-11-21 2022-05-11 동우 화인켐 주식회사 착색 감광성 수지 조성물, 컬러필터 및 화상표시장치
CN108117616B (zh) * 2017-11-22 2019-08-09 惠州市华泓新材料股份有限公司 二丁基芴基衍生物与其作为光引发剂的应用
CN110471255B (zh) * 2018-05-10 2022-05-06 东友精细化工有限公司 感光性树脂组合物、光固化图案及图像显示装置
JP6636081B2 (ja) * 2018-05-14 2020-01-29 東友ファインケム株式会社Dongwoo Fine−Chem Co., Ltd. 感光性樹脂組成物、感光性樹脂組成物で製造される光硬化パターン、及び光硬化パターンを含む画像表示装置
KR101982448B1 (ko) * 2018-08-08 2019-05-27 동우 화인켐 주식회사 적색 감광성 수지 조성물 및 이를 이용하여 제조된 컬러필터 및 화상표시장치
JP7453023B2 (ja) 2020-03-12 2024-03-19 東京応化工業株式会社 着色感光性組成物、着色膜及び着色膜の製造方法

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008248118A (ja) 2007-03-30 2008-10-16 Fujifilm Corp 微粒子含有組成物、表示装置用着色膜形成用インク、遮光材料、表示装置用遮光膜、遮光膜付き基板、カラーフィルタ、液晶表示素子、及び液晶表示装置
TWI424271B (zh) * 2007-09-21 2014-01-21 Dongwoo Fine Chem Co Ltd 染色感光性樹脂組成物、彩色濾光片及其所構成之液晶顯示裝置
KR20090098416A (ko) * 2008-03-14 2009-09-17 애경화학 주식회사 알칼리 현상성 감광성 바인더 및 그 제조방법
KR20110018645A (ko) * 2009-08-18 2011-02-24 동우 화인켐 주식회사 안료 분산 조성물, 착색 수지 조성물, 컬러필터 및 이를 구비한 화상 표시장치
KR101594187B1 (ko) * 2009-12-18 2016-02-15 동우 화인켐 주식회사 안료 분산 조성물, 그 제조방법, 착색 수지 조성물, 컬러필터 및 이를 구비한 화상 표시장치
KR20120034835A (ko) * 2010-10-01 2012-04-13 동우 화인켐 주식회사 안료 분산 조성물, 그 제조방법, 착색 감광성 수지 조성물, 컬러필터 및 이를 포함하는 표시 장치
KR20120064192A (ko) * 2010-12-09 2012-06-19 동우 화인켐 주식회사 표면처리된 안료, 이를 포함하는 안료 분산 조성물, 착색 수지 조성물, 컬러 필터 및 이를 구비한 화상 표시 장치
CN102854743A (zh) * 2011-06-30 2013-01-02 Jsr株式会社 感放射线性树脂组成物、显示元件用硬化膜、显示元件用硬化膜的形成方法及显示元件
CN103890018B (zh) * 2011-08-11 2016-08-17 大阪燃气化学有限公司 具有芴骨架的多官能性(甲基)丙烯酸酯及其固化性组合物
JP6064411B2 (ja) * 2011-09-28 2017-01-25 Jsr株式会社 着色組成物、カラーフィルタ及び表示素子
JP6074949B2 (ja) * 2011-10-03 2017-02-08 Jsr株式会社 着色組成物、カラーフィルタ及び表示素子
CN104661997B (zh) * 2012-05-03 2018-06-26 韩国化学研究院 新型芴类肟酯化合物,及含有该芴类肟酯化合物的光聚合引发剂和光阻剂组合物
CN107266334B (zh) * 2012-09-28 2020-04-24 大东凯米克斯株式会社 芴系化合物、含有该芴系化合物的光聚合引发剂、以及含有该光聚合引发剂的光敏性组合物
KR101435652B1 (ko) 2014-01-17 2014-08-28 주식회사 삼양사 신규한 β-옥심에스테르 플루오렌 화합물, 이를 포함하는 광중합 개시제 및 포토레지스트 조성물
JP6375236B2 (ja) * 2014-02-04 2018-08-15 新日鉄住金化学株式会社 遮光膜用感光性組成物、及びその硬化物

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