JP6329599B2 - 緑色感光性樹脂組成物、これを含むカラーフィルタおよび表示装置 - Google Patents

緑色感光性樹脂組成物、これを含むカラーフィルタおよび表示装置 Download PDF

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Description

本発明は、緑色感光性樹脂組成物、これを含むカラーフィルタおよび表示装置に関する。
カラーフィルタは、撮像素子、液晶表示装置(LCD)などに広く用いられるもので、その応用範囲が急速に広がっている。カラー液晶表示装置や撮像素子などに用いられるカラーフィルタは、通常、ブラックマトリックスがパターン形成された基板上に、赤色、緑色および青色の各色に相当する顔料を含有する着色感光性樹脂組成物をスピンコーティングによって均一に塗布した後、加熱乾燥(以下、「予備焼成」ということもある)して形成された塗膜を露光、現像し、必要に応じてさらに加熱硬化(以下、「後焼成」ということもある)する操作を色ごとに繰り返して各色の画素を形成することにより製造されている。ここで、パターンが形成されるブラックマトリックスは、通常、黒色感光性樹脂組成物で形成する。
このような着色感光性樹脂組成物として、通常、顔料、アルカリ可溶性樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤、および溶剤を含み、これに、必要に応じて、界面活性剤、接着促進剤、残渣低減用化合物などが添加される。
最近は、ディスプレイの色再現力が高い高品質のディスプレイに対する市場ニーズが高まっている。また、高色再現力を表現しながらも、高い光透過およびコントラストが高い画素の開発が要求されている。
従来は、緑色顔料として、主に、C.I.ピグメントグリーン7およびC.I.ピグメントグリーン36(中心金属として銅を含むハロゲン化フタロシアニン化合物)が主に使用された。しかし、前記顔料を含む着色感光性樹脂組成物から得られる画素の光透過率およびコントラスト比は十分な水準とはいえず、より高画質の画像を提供するのに限界がある。
また、特許文献1には、耐溶剤性に優れたピクセルを形成できる着色感光性樹脂組成物が開示されているが、着色剤の含有量が高くて、レジスト製造時、耐薬品性および耐熱性が不足する問題が提示されている。
特開2002−296778号公報
本発明は、高色再現力、高い光透過率および高いコントラスト比の画素を形成できる緑色感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
また、本発明は、耐熱性および耐薬品性に優れた緑色感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
さらに、本発明は、前記緑色感光性樹脂組成物を含むカラーフィルタおよびこれを含む表示装置を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するために、
本発明は、着色剤、熱架橋型オキセタン樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤、および溶剤を含む緑色感光性樹脂組成物であって、
前記着色剤は、C.I.ピグメントグリーン59と、顔料および染料からなる群より選択される1種以上とを含み、
前記熱架橋型オキセタン樹脂は、下記化学式2の単量体を含むことを特徴とする緑色感光性樹脂組成物を提供する。
Figure 0006329599
前記XおよびXは、それぞれ独立に、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のパーフルオロアルキル基、−O−基、−CO−基、−C(=O)O−基、−CONH−基、またはフェニレン基であり、
前記Rは、水素またはメチル基である。
また、本発明は、前記緑色感光性樹脂組成物を含むカラーフィルタを提供する。
さらに、本発明は、前記カラーフィルタを含む表示装置を提供する。
本発明の緑色感光性樹脂組成物は、高色再現力、高感度、高い光透過率および高いコントラスト比に優れた画素を形成することができる。
また、本発明の緑色感光性樹脂組成物は、耐熱性および耐薬品性に優れた効果を奏する。
さらに、本発明の緑色感光性樹脂組成物を含むカラーフィルタおよびこれを含む表示装置は、高色再現に優れた効果を奏する。
前記C.I.ピグメントグリーン59(G59)、C.I.ピグメントグリーン7(G7)、およびC.I.ピグメントグリーン58(G58)の透過スペクトルである。
以下、本発明をより詳細に説明する。
本発明は、着色剤、熱架橋型オキセタン樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤、および溶剤を含む緑色感光性樹脂組成物であって、
前記着色剤は、C.I.ピグメントグリーン59と、顔料および染料からなる群より選択される1種以上とを含み、
前記熱架橋型オキセタン樹脂は、下記化学式2の単量体を含むことを特徴とする緑色感光性樹脂組成物に関する。
Figure 0006329599
前記XおよびXは、それぞれ独立に、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のパーフルオロアルキル基、−O−基、−CO−基、−C(=O)O−基、−CONH−基、またはフェニレン基であり、
前記Rは、水素またはメチル基である。
本発明の緑色感光性樹脂組成物の前記C.I.ピグメントグリーン59は、顔料の一種類であり、着色剤として前記C.I.ピグメントグリーン59を含むことにより、顔料の含有量が少なくても高色再現のレジストを製造することができる。
また、前記化学式2の単量体を含むオキセタン樹脂を使用することにより、光透過度、コントラスト比、耐熱性および耐薬品性に優れた緑色感光性樹脂組成物を提供することができる。
以下、本発明の緑色感光性樹脂組成物を各成分ごとに詳細に説明する。
(A)着色剤
本発明の緑色感光性樹脂組成物に含まれる着色剤は、緑色を発現する。
また、前記着色剤は、C.I.ピグメントグリーン59と、顔料および染料からなる群より選択される1種以上とを含む。
(a1)C.I.ピグメントグリーン59
着色剤は、C.I.ピグメントグリーン59を含み、前記C.I.ピグメントグリーン59は、下記化学式1の構造を有する。前記C.I.ピグメントグリーン59は、ZnPc(Zinc Phthalocyanine)の構造を有し、前記C.I.ピグメントグリーン59を含むと、少量の顔料を使用しても高色再現が可能である。
Figure 0006329599
前記A〜A16は、それぞれ独立に、水素、臭素、または塩素であり、
前記A〜A16中、水素は、1〜6個であり、
塩素は、0〜5個であり、
臭素は、5〜13個である。
また、前記化学式1の化合物は、好ましくは、A〜A16中、水素は1〜6個、塩素は0〜5個、および臭素は7〜13個である。より好ましくは、A〜A16中、水素は2〜5個、塩素は0〜3個、および臭素は8〜13個である。
従来の緑色顔料として使用されていたC.I.ピグメントグリーン58(G58)は、輝度が高いという利点があるが、高色再現を実現するためには多量を使用しなければならず、それによって顔料の量が多くなると、現像性が低下し、組成物によって形成されたパターンが剥離されることがあり、感度が低くなる問題が発生した。
しかし、着色剤として前記C.I.ピグメントグリーン59を使用すると、顔料の含有量を低減することができ、少ない含有量でも高色再現を実現することができる。
また、従来の緑色顔料として使用されていたC.I.ピグメントグリーン7(G7)は、少ない含有量でも高い着色性を示すことができるが、輝度が低い問題が発生した。
前記C.I.ピグメントグリーン59は、前記C.I.ピグメントグリーン7と400〜610nmの波長で類似の透過スペクトルおよび色座標を示しながらも、輝度に優れた効果を持っていて、上記の問題を解決することができる。
本明細書において、Tmaxとは、顔料の透過率が最大である点の波長を意味し、T50%とは、顔料の透過率が最大値の50%以上である地点の波長を意味する。
前記C.I.ピグメントグリーン59のTmaxは、500〜530nmであり、T50%は、445〜580nmである。前記範囲でより高い着色性を示すことができるので、本発明の緑色感光性樹脂組成物は、高色再現を実現することができる。
また、前記C.I.ピグメントグリーン59は、本発明の緑色感光性樹脂組成物の総重量に対して、0.05〜30重量%含まれ、好ましくは0.1〜25重量%、より好ましくは0.5〜20重量%含まれる。
前記C.I.ピグメントグリーン59が0.05重量%〜30重量%の含有量範囲で含まれると、光透過率およびコントラスト比が向上し、優れた現像性を示すことができる。
前記着色剤は、前記C.I.ピグメントグリーン59と、当分野で通常使用する顔料および染料からなる群より選択される1種以上とを含み、ミルベース形態に製造されて使用される。
前記C.I.ピグメントグリーン59と、顔料および染料からなる群より選択される1種以上とは、1:0.05〜1:18の重量比で混合され、好ましくは1:0.1〜1:9、より好ましくは1:0.2〜1:4の重量比で混合される。
前記重量比の範囲で高着色性および高輝度の効果を示し、工程マージンが向上し、感度に優れることができる。
この場合、前記着色剤は、XYZ表色系において、y=0.6以上の時、x=0.1〜0.35の色座標を有することができる。
反面、一例として、C.I.ピグメントグリーン58を使用する場合、XYZ表色系において、y=0.6以上の時、x=約0.2〜0.35の色座標を有することができる。この時、C.I.ピグメントグリーン58を用いてx=0.1付近の値を有するためにはブルー(blue)と調色をしなければならず、この場合、輝度低下の問題があって、好ましくない。
他の例として、C.I.ピグメントグリーン7を使用する場合、色を出せる領域は広いものの、輝度が低い問題がある。
(a2)顔料
前記顔料は、当該分野で一般的に使用される有機顔料または無機顔料を使用することができる。耐熱性および発色性の面で有機顔料を使用することが好ましく、有機顔料は、合成色素または天然色素であるとよい。
また、前記顔料は、必要に応じて、レジン処理、酸性基または塩基性基が導入された顔料誘導体などを用いた表面処理、高分子化合物などによる顔料表面のグラフト処理、硫酸微粒化法などによる微粒化処理、不純物を除去するための有機溶剤や水などによる洗浄処理、またはイオン交換法などによるイオン性不純物の除去処理などを施してもよい。
前記有機顔料は、印刷インク、インクジェットインクなどに使用される各種の顔料を使用することができ、具体的には、水溶性アゾ顔料、不溶性アゾ顔料、フタロシアニン顔料、キナクリドン顔料、イソインドリノン顔料、イソインドリン顔料、ペリレン顔料、ペリノン顔料、ジオキサジン顔料、アントラキノン顔料、ジアントラキノニル顔料、アントラピリミジン顔料、アンタントロン顔料、インダントロン顔料、フラバントロン顔料、ピラントロン顔料、ジケトピロロピロール顔料などが挙げられる。
また、前記無機顔料としては、金属酸化物や金属錯塩などの金属化合物を使用することができ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン、カーボンブラック、有機ブラック顔料、チタンブラック、および赤色、緑色および青色を混合して黒色を呈する顔料などの金属の酸化物または複合金属酸化物などが挙げられる。
特に、前記有機顔料および無機顔料としては、具体的には、色指数(The society of Dyers and Colourists出版)においてピグメントに分類されている化合物が挙げられ、より具体的には、以下の色指数(C.I.)番号の顔料が挙げられるが、必ずしもこれらに限定されるものではない。
C.I.ピグメントイエロー1、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、128、129、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、180、185、194、および214;
C.I.ピグメントオレンジ13、31、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65、71、および73;
C.I.ピグメントレッド9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、209、215、216、224、242、254、255、264、および265;
C.I.ピグメントバイオレット14、19、23、29、32、および177;
C.I.ピグメントブルー15:3、15:4、15:6、16、22、28、および60;
C.I.ピグメントグリーン7、36、および58;などの顔料が挙げられる。
前記顔料は、単独または2種以上を混合して使用することができる。
前記例示されたC.I.ピグメント顔料の中でも、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー129、C.I.ピグメントイエロー150、およびC.I.ピグメントイエロー185からなる群より選択される1種以上の顔料を使用することが好ましい。
前記顔料は、顔料の粒径が均一に分散した顔料分散液を使用することが好ましい。顔料の粒径を均一に分散させるための方法の例としては、顔料分散剤(a3)を含有させて分散処理する方法などが挙げられ、前記方法により顔料が溶液中に均一に分散した状態の顔料分散液を得ることができる。
(a3)顔料分散剤
前記顔料分散剤は、顔料の脱凝集および安定性維持のために添加するもので、顔料分散剤の具体例としては、陽イオン系、陰イオン系、非イオン系、両性系、ポリエステル系、ポリアミン系などの界面活性剤などが挙げられ、これらは、それぞれ単独または2種以上を組み合わせて使用することができる。
前記陽イオン系界面活性剤の具体例としては、ステアリルアミン塩酸塩およびラウリルトリメチルアンモニウムクロライドなどのアミン塩または4級アンモニウム塩などが挙げられる。
前記陰イオン系界面活性剤の具体例としては、ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウムおよびオレイルアルコール硫酸エステルナトリウムなどの高級アルコール硫酸エステル塩類、ラウリル硫酸ナトリウムおよびラウリル硫酸アンモニウムなどのアルキル硫酸塩類、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムおよびドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウムなどのアルキルアリールスルホン酸塩類などが挙げられる。
前記非イオン系界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン/オキシプロピレンブロック共重合体、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、およびポリオキシエチレンアルキルアミンなどが挙げられる。
その他、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、3級アミン変性ポリウレタン類、およびポリエチレンイミン類などが挙げられる。
また、前記顔料分散剤は、ブチルメタアクリレート(BMA)またはN,N−ジメチルアミノエチルメタアクリレート(DMAEMA)を含むアクリレート系分散剤(以下、アクリレート系分散剤)を含むことが好ましい。前記アクリレート系分散剤の市販品としては、DISPER BYK−2000、DISPER BYK−2001、DISPER BYK−2070、またはDISPER BYK−2150などが挙げられ、前記アクリレート系分散剤は、それぞれ単独または2種以上を混合して使用することができる。
前記顔料分散剤は、アクリレート系分散剤のほか、他の樹脂タイプの顔料分散剤を使用してもよい。前記他の樹脂タイプの顔料分散剤としては、公知の樹脂タイプの顔料分散剤、特に、ポリウレタン、ポリアクリレートに代表されるポリカルボン酸エステル、不飽和ポリアミド、ポリカルボン酸、ポリカルボン酸の(部分的)アミン塩、ポリカルボン酸のアンモニウム塩、ポリカルボン酸のアルキルアミン塩、ポリシロキサン、長鎖ポリアミノアミドホスフェート塩、ヒドロキシル基−含ポリカルボン酸のエステルおよびこれらの改質生成物、またはフリー(free)カルボキシル基を有するポリエステルとポリ(低級アルキレンイミン)の反応によって形成されたアミドまたはこれらの塩のような油質の分散剤;(メタ)アクリル酸−スチレンコポリマー、(メタ)アクリル酸−(メタ)アクリレートエステルコポリマー、スチレン−マレイン酸コポリマー、ポリビニルアルコール、またはポリビニルピロリドンのような水溶性樹脂または水溶性ポリマー化合物;ポリエステル;改質ポリアクリレート;エチレンオキサイド/プロピレンオキサイドの付加生成物;およびホスフェートエステルなどが挙げられる。
前記他の樹脂タイプの顔料分散剤の市販品としては、陽イオン系樹脂分散剤としては、例えば、BYK(ビック)ケミー社の商品名:DISPER BYK−160、DISPER BYK−161、DISPER BYK−162、DISPER BYK−163、DISPER BYK−164、DISPER BYK−166、DISPER BYK−171、DISPER BYK−182、DISPER BYK−184;BASF社の商品名:EFKA−44、EFKA−46、EFKA−47、EFKA−48、EFKA−4010、EFKA−4050、EFKA−4055、EFKA−4020、EFKA−4015、EFKA−4060、EFKA−4300、EFKA−4330、EFKA−4400、EFKA−4406、EFKA−4510、EFKA−4800;Lubirzol社の商品名:SOLSPERS−24000、SOLSPERS−32550、NBZ−4204/10;川研ファインケミカル社の商品名:ヒノアクト(HINOACT)T−6000、ヒノアクトT−7000、ヒノアクトT−8000;味の素社の商品名:アジスパー(AJISPUR)PB−821、アジスパーPB−822、アジスパーPB−823;共栄社化学社の商品名:フローレン(FLORENE)DOPA−17HF、フローレンDOPA−15BHF、フローレンDOPA−33、フローレンDOPA−44などが挙げられる。
前記アクリレート系分散剤のほか、他の樹脂タイプの顔料分散剤は、それぞれ単独または2種以上を混合して使用することができ、アクリレート系分散剤と併用して使用してもよい。
前記顔料分散剤は、顔料中の固形分総重量に対して、5〜60重量%、好ましくは15〜50重量%含まれる。前記顔料分散剤が5重量%未満で含まれると、顔料の微粒化が難しく、分散後ゲル化などの問題が発生することがあり、60重量%を超えて含まれると、粘度が高くなり得る。
(a4)染料
前記染料は、有機溶剤に対する溶解性を有するものであれば制限なく使用することができる。好ましくは、有機溶剤に対する溶解性を有し、かつ、アルカリ現像液に対する溶解性および耐熱性、耐溶剤性などの信頼性を確保できる染料を使用することが好ましい。また、有機溶剤に対する溶解性のない染料は、分散して使用することも可能である。
前記染料としては、スルホン酸やカルボン酸などの酸性基を有する酸性染料、酸性染料と窒素含有化合物の塩、酸性染料のスルホンアミド体などとこれらの誘導体から選択されたものを使用することができ、その他にも、アゾ系、キサンテン系、フタロシアニン系の酸性染料およびこれらの誘導体も選択可能である。好ましくは、前記染料は、カラーインデックス(The Society of Dyers and Colourists出版)内に染料として分類されている化合物または染色ノート(色染社)に記載されている公知の染料が挙げられる。
前記染料の具体例としては、C.I.ソルベント染料として、
C.I.ソルベントイエロー2、14、16、33、34、44、56、82、93、94、98、116、および135;
C.I.ソルベントレッド1、2、3、8、18、23、24、27、35、43、45、48、49、91:1、119、135、140、196、および197;
C.I.ソルベントブルー4、5、25、35、36、38、および70;
C.I.ソルベントバイオレット8、9、13、26、28、31、および59;
C.I.ソルベントオレンジ1、3、7、および63;
C.I.ソルベントグリーン3、5、および7などの染料が挙げられ、これらに限定されるものではない。
着色剤は、本発明の緑色感光性樹脂組成物中の固形分総重量に対して、5〜70重量%、好ましくは10〜50重量%含まれる。
前記着色剤が5重量%未満であれば、形成されたパターンの色分離能が低下することがあり、70重量%を超えると、リソグラフィー性能が低下して残渣が残ったり、現像されないなどの問題が発生する。
本発明において、固形分総重量とは、緑色感光性樹脂組成物中の、溶剤を除いた含有量を意味する。
(B)熱架橋型オキセタン樹脂
本発明の緑色感光性樹脂組成物に含まれる熱架橋型オキセタン樹脂は、下記化学式2の単量体を含み、熱工程で前記顔料に対する結合剤として作用する。
Figure 0006329599
前記XおよびXは、それぞれ独立に、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のパーフルオロアルキル基、−O−基、−CO−基、−C(=O)O−基、−CONH−基、またはフェニレン基であり、
前記Rは、水素またはメチル基である。
また、前記熱架橋型オキセタン樹脂は、前記化学式2の単量体(b1)のみからなるオキセタン樹脂、
前記化学式2の単量体と不飽和カルボン酸単量体(b2)との共重合体、
または、前記化学式2の単量体、不飽和カルボン酸単量体、および前記化学式2の単量体および不飽和カルボン酸単量体との共重合が可能な不飽和結合を含む単量体(b3)の共重合体であるとよい。
不飽和カルボン酸単量体をともに使用することにより、アルカリ現像液に対する可溶性を付与することができる。
前記化学式2の単量体(b1)は、具体的には、例えば、
3−(ビニルオキシメチル)−2−メチルオキセタン、3−(ビニルオキシメチル)−3−メチルオキセタン、3−(ビニルオキシメチル)−2−エチルオキセタン、3−(ビニルオキシメチル)−3−エチルオキセタン、3−(ビニルオキシエチル)−2−メチルオキセタン、3−(ビニルオキシエチル)−3−メチルオキセタン、3−(ビニルオキシエチル)−2−エチルオキセタン、3−(ビニルオキシエチル)−3−エチルオキセタン、2−(ビニルオキシメチル)−2−メチルオキセタン、2−(ビニルオキシメチル)−3−メチルオキセタン、2−(ビニルオキシメチル)−2−エチルオキセタン、2−(ビニルオキシメチル)−3−エチルオキセタン、2−(ビニルオキシエチル)−2−メチルオキセタン、2−(ビニルオキシエチル)−3−メチルオキセタン、2−(ビニルオキシエチル)−2−エチルオキセタン、および2−(ビニルオキシエチル)−3−エチルオキセタンなどの(ビニルオキシアルキル)アルキルオキセタン;
3−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]オキセタン、3−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]オキセタン、2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]オキセタン、および2−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]オキセタンなどの(メタ)アクリロイルオキシアルキルオキセタン;
3−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−2−メチルオキセタン、3−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−3−メチルオキセタン、3−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−2−エチルオキセタン、3−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−3−エチルオキセタン、3−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−2−メチルオキセタン、3−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−3−メチルオキセタン、3−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−2−エチルオキセタン、3−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−3−エチルオキセタン、2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−2−メチルオキセタン、2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−3−メチルオキセタン、2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−4−メチルオキセタン、2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−2−エチルオキセタン、2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−3−エチルオキセタン、2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−4−エチルオキセタン、2−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−2−メチルオキセタン、2−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−3−メチルオキセタン、2−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−4−メチルオキセタン、2−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−2−エチルオキセタン、2−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−3−エチルオキセタン、および2−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−4−エチルオキセタンなどの[(メタ)アクリロイルオキシアルキル]アルキルオキセタン;
3−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−2−トリフルオロメチルオキセタン、3−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−2−ペンタフルオロエチルオキセタン、3−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−2−フルオロオキセタン、3−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−2,2−ジフルオロオキセタン、3−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−2,2,4−トリフルオロオキセタン、3−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−2,2,4,4−テトラフルオロオキセタン、3−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−2−トリフルオロメチルオキセタン、3−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−2−ペンタフルオロエチルオキセタン、3−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−2−フルオロオキセタン、3−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−2,2−ジフルオロオキセタン、3−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−2,2,4−トリフルオロオキセタン、3−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−2,2,4,4−テトラフルオロオキセタン、2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−2−トリフルオロメチルオキセタン、2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−3−トリフルオロメチルオキセタン、2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−4−トリフルオロメチルオキセタン、2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−2−ペンタフルオロエチルオキセタン、2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−3−ペンタフルオロエチルオキセタン、2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−4−ペンタフルオロエチルオキセタン、2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−2,3−ジフルオロオキセタン、2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−2,4−ジフルオロオキセタン、2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−3,3−ジフルオロオキセタン、2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−3,4−ジフルオロオキセタン、2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−4,4−ジフルオロオキセタン、2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−3,3,4−トリフルオロオキセタン、2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−3,4,4−トリフルオロオキセタン、2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−3,3,4,4−テトラフルオロオキセタン、2−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−2−トリフルオロメチルオキセタン、2−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−3−トリフルオロメチルオキセタン、2−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−4−トリフルオロメチルオキセタン、2−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−2−ペンタフルオロエチルオキセタン、2−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−3−ペンタフルオロエチルオキセタン、2−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−4−ペンタフルオロエチルオキセタン、2−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−2,3−ジフルオロオキセタン、2−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−2,4−ジフルオロオキセタン、2−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−3,3−ジフルオロオキセタン、2−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−3,4−ジフルオロオキセタン、2−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−4,4−ジフルオロオキセタン、2−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−3,3,4−トリフルオロオキセタン、2−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−3,4,4−トリフルオロオキセタン、および2−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−3,3,4,4−テトラフルオロオキセタンなどの[(メタ)アクリロイルオキシアルキル]フルオロオキセタンまたは[(メタ)アクリロイルオキシアルキル]フルオロアルキルオキセタン;
2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−2−フェニルオキセタン、2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−3−フェニルオキセタン、2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−4−フェニルオキセタン、2−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−2−フェニルオキセタン、2−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−3−フェニルオキセタン、および2−[2−(メタ)アクリロイルオキシエチル]−4−フェニルオキセタンなどの[(メタ)アクリロイルオキシアルキル]フェニルオキセタン;
4−[3−(3−エチルオキセタン−3−イルメトキシ)プロポキシ]スチレン、4−[4−(3−エチルオキセタン−3−イルメトキシ)ブチルオキシ]スチレン、4−[5−(3−エチルオキセタン−3−イルメトキシ)ペンチルオキシ]スチレン、4−[6−(3−エチルオキセタン−3−イルメトキシ)ヘキシルオキシ]スチレン、および4−[7−(3−エチルオキセタン−3−イルメトキシ)ヘプチルオキシ]スチレンなどのオキセタニル基を含む芳香族ビニル化合物;などが挙げられる。
前記化合物のうち、3−(ビニルオキシメチル)−3−エチルオキセタン、3−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]オキセタン、3−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−3−エチルオキセタン、3−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−2−トリフルオロメチルオキセタン、3−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−2−フェニルオキセタン、2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]オキセタン、および2−[(メタ)アクリロイルオキシメチル]−4−トリフルオロメチルオキセタンからなる群より選択される1種以上を含むことが、着色層の耐溶剤性および耐熱性を増加させる面でより好ましい。
前記化合物は、単独または2種以上を混合して使用することができる。
前記不飽和カルボン酸単量体(b2)は、アクリル酸およびメタクリル酸をそれぞれ単独または2種以上を組み合わせて使用することができる。
また、前記アクリル酸やメタクリル酸に、その他の酸を1種以上付加して使用してもよい。
前記その他の酸としては、具体的には、例えば、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、およびフマル酸などの他の不飽和カルボン酸から1種以上選択されるカルボン酸をともに使用することも可能である。また、α−(ヒドロキシメチル)アクリル酸などの同一分子中に、ヒドロキシ基およびカルボキシル基を含有する単量体をともに使用してもよい。
前記化学式2の単量体および不飽和カルボン酸単量体との共重合が可能な不飽和結合を含む単量体(b3)は、重合が可能な不飽和二重結合を有する化合物であれば制限はない。
具体的には、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、およびアミノエチル(メタ)アクリレートなどの不飽和カルボン酸の非置換もしくは置換アルキルエステル化合物;
シクロペンチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、メチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘプチル(メタ)アクリレート、シクロオクチル(メタ)アクリレート、メチル(メタ)アクリレート、シクロペンテニル(メタ)アクリレート、シクロヘキセニル(メタ)アクリレート、シクロヘプテニル(メタ)アクリレート、シクロオクテニル(メタ)アクリレート、メタジエニル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、ピナニル(メタ)アクリレート、アダマンチル(メタ)アクリレート、ノルボルニル(メタ)アクリレート、およびピネニル(メタ)アクリレートなどの脂環式置換基を含む不飽和カルボン酸エステル化合物;
オリゴエチレングリコールモノアルキル(メタ)アクリレートなどのグリコール類のモノ飽和カルボン酸エステル化合物;
ベンジル(メタ)アクリレートおよびフェノキシ(メタ)アクリレートなどの芳香族環を有する置換基を含む不飽和カルボン酸エステル化合物;
スチレン、α−メチルスチレン、およびビニルトルエンなどの芳香族ビニル化合物;
酢酸ビニルおよびプロピオン酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル;
(メタ)アクリロニトリルおよびα−クロロアクリロニトリルなどのシアン化ビニル化合物;
N−シクロヘキシルマレイミドおよびN−フェニルマレイミドなどのマレイミド化合物などが挙げられる。
本発明の熱架橋型オキセタン樹脂が、前記化学式2の単量体および不飽和カルボン酸単量体の共重合体の場合、熱架橋型オキセタン樹脂の総モル数に対して、前記化学式2の単量体5〜95モル%および不飽和カルボン酸単量体5〜95モル%からなる。
前記化学式2の単量体が5モル%未満であれば、信頼性が不足し、95モル%を超えると、下部基材に対する現像性が不利であり得る。
また、前記不飽和カルボン酸単量体が5モル%未満であれば、現像後に残渣が発生することがあり、95モル%を超えると、パターンの密着力が劣化することがある。
本発明の熱架橋型オキセタン樹脂が、前記化学式2の単量体、不飽和カルボン酸単量体、および前記化学式2の単量体および不飽和カルボン酸単量体との共重合が可能な不飽和結合を含む単量体の共重合体の場合、熱架橋型オキセタン樹脂の総モル数に対して、前記化学式2の単量体5〜90モル%、不飽和カルボン酸単量体5〜90モル%、および前記化学式2の単量体および不飽和カルボン酸単量体と共重合が可能な不飽和結合を含む単量体5〜70モル%からなる。
前記化学式2の単量体が5モル%未満であれば、信頼性が不足し、90モル%を超えると、現像性および残渣に不利であり得る。
また、前記不飽和カルボン酸単量体が5モル%未満であれば、現像性に不利であり、90モル%を超えると、信頼性が不足することがある。
さらに、前記化学式2の単量体および不飽和カルボン酸単量体と共重合が可能な不飽和結合を含む単量体が5モル%未満であれば、信頼性が不足し、90モル%を超えると、パターンの密着力が不良になり得る。
本発明の一実施形態において、前記熱架橋型オキセタン樹脂の製造方法の一例として、前記化学式2の単量体(b1)、不飽和カルボン酸単量体(b2)、および前記化学式2の単量体および不飽和カルボン酸単量体との共重合が可能な不飽和結合を含む単量体(b3)の共重合体の場合、以下の方法で共重合させることにより製造することができる。
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたフラスコに、前記化学式2の単量体(b1)、不飽和カルボン酸単量体(b2)、および前記化学式2の単量体および不飽和カルボン酸単量体との共重合が可能な不飽和結合を含む単量体(b3)の総重量に対して、0.5〜20倍の溶剤をともに添加し、フラスコ内の雰囲気を空気から窒素に置換する。
その後、溶剤を40〜140℃に昇温させた後、不飽和カルボン酸単量体(b2)、および前記化学式2の単量体および不飽和カルボン酸単量体との共重合が可能な不飽和結合を含む単量体(b3)の所定量、不飽和カルボン酸単量体(b2)、および前記化学式2の単量体および不飽和カルボン酸単量体との共重合が可能な不飽和結合を含む単量体(b3)の総重量に対して0〜20倍の溶剤、およびアゾビスイソブチロニトリルやタートブチルパーオキシ2−エチルヘキシルカーボネートなどの重合開始剤を、前記化学式2の単量体(b1)、不飽和カルボン酸単量体(b2)、および前記化学式2の単量体および不飽和カルボン酸単量体との共重合が可能な不飽和結合を含む単量体(b3)の総モル数に対して0.1〜10モル%添加した溶液(室温または加熱下で撹拌溶解)を、滴下ロートから0.1〜8時間かけて前記フラスコに滴下し、40〜140℃で1〜10時間さらに撹拌する。
また、前記工程で重合開始剤の一部または全量をフラスコに入れてもよく、前記化学式2の単量体(b1)、不飽和カルボン酸単量体(b2)、および前記化学式2の単量体および不飽和カルボン酸単量体との共重合が可能な不飽和結合を含む単量体(b3)の一部または全量をフラスコに入れてもよい。
さらに、分子量や分子量分布を制御するために、α−メチルスチレンダイマーやメルカプト化合物を連鎖移動剤として使用してもよい。α−メチルスチレンダイマーやメルカプト化合物の使用量は、前記化学式2の単量体(b1)、不飽和カルボン酸単量体(b2)、および前記化学式2の単量体および不飽和カルボン酸単量体との共重合が可能な不飽和結合を含む単量体(b3)の総重量に対して、0.005〜5重量%である。
また、前記重合条件は、製造設備や重合による発熱量などを考慮して、投入方法や反応温度を適切に調節してもよい。
前記熱架橋型オキセタン樹脂は、ポリスチレン換算の重量平均分子量が3,000〜100,000であり、5,000〜50,000がより好ましい。熱架橋型オキセタン樹脂の重量平均分子量が3,000〜100,000の範囲にあれば、貯蔵安定性に優れ、現像時に膜減少が発生しにくい。
また、前記熱架橋型オキセタン樹脂は、本発明の緑色感光性樹脂組成物中の固形分総重量に対して、5〜80重量%含まれ、好ましくは10〜70重量%含まれる。
前記熱架橋型オキセタン樹脂が5重量%未満であれば、信頼性が不足し、80重量%を超えると、下部基材に対する現像性および残渣に不利であり得る。
(C)光重合性化合物
本発明の緑色感光性樹脂組成物に含まれる光重合性化合物は、後述する光重合開始剤(D)の作用で重合可能な化合物でなければならない。単官能光重合性化合物、2官能光重合性化合物、または3官能光重合性化合物などが挙げられ、これらに限定されるものではない。
前記単官能単量体は、具体的には、例えば、ノニルフェニルカルビトールアクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート、2−エチルヘキシルカルビトールアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、N−ビニルピロリドンなどが挙げられ、市販品としては、アロニックスM−101(東亜合成)、KAYARAD TC−110S(日本化薬)、またはビスコート158(大阪有機化学工業)などが挙げられる。
前記2官能単量体は、具体的には、例えば、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAのビス(アクリロイルオキシエチル)エーテル、3−メチルペンタンジオールジ(メタ)アクリレートなどが挙げられ、市販品としては、アロニックスM−210、M−1100、1200(東亜合成)、KAYARAD HDDA(日本化薬)、ビスコート260(大阪有機化学工業)、AH−600、AT−600、またはUA−306H(共栄社化学社)などがある。
前記3官能以上の多官能光重合性化合物は、具体的には、例えば、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、エトキシル化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、プロポキシル化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、エトキシル化ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、プロポキシル化ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートなどがあり、市販品としては、アロニックスM−309、TO−1382(東亜合成)、KAYARAD TMPTA、KAYARAD DPHA、またはKAYARAD DPHA−40H(日本化薬)などがある。
前記例示した光重合性化合物の中でも、3官能以上の(メタ)アクリル酸エステル類およびウレタン(メタ)アクリレートが重合性に優れ、強度を向上させることができて、好ましい。
前記光重合性化合物は、本発明の着色感光性樹脂組成物中の固形分総重量に対して、5〜45重量%含まれ、10〜35重量%含まれることが好ましい。前記光重合性化合物は、前記5〜45重量%の範囲で画素部の強度や平坦性を良好にすることができる。
(D)光重合開始剤
本発明の緑色感光性樹脂組成物に含まれる光重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、およびX線などの放射線の露光によって光重合性化合物(C)を重合させることができるものであれば、その種類を特に制限なく使用することができる。
前記光重合開始剤はその種類を特に限定するものではないが、重合特性、開始効率、吸収波長、入手性および価格などの観点で、オキシム系化合物、アセトフェノン系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、チオキサントン系化合物、およびアントラセン系化合物からなる群より選択される1種以上の化合物を使用することが好ましく、オキシム系化合物を使用することがより好ましい。
前記オキシム系化合物として、例えば、o−エトキシカルボニル−α−オキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オン、(Z)−2−((ベンゾイルオキシ)イミノ)−1−(4−(フェニルチオ)フェニル)オクタン−1−オン、(E)−1−(((1−(9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル)エチリデン)アミノ)オキシ)エタノン、および(E)−1−(((1−(6−(4−((2,2−ジメチル−1,3−ジオキソラン−4−イル)メトキシ)−2−メチルベンゾイル)−9−エチル−9H−カルバゾール−3−イル)エチリデン)アミノ)オキシ)エタノンなどが挙げられ、市販品としては、バスフ社のOXE−01、OXE−02などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
前記オキシム系化合物は、その機能を果たせる範囲内であれば、特にその含有量を限定するものではなく、好ましくは、前記光重合開始剤の総重量に対して、10〜100重量%、より好ましくは20〜100重量%含まれる。前記オキシム系化合物の含有量が前記範囲内の場合、輝度および感度を極大化することができる。
前記アセトフェノン系化合物としては、例えば、ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、2−ヒドロキシ−1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル]−2−メチルプロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−[4−(1−メチルビニル)フェニル]プロパン−1−オン、および2−(4−メチルベンジル)−2−(ジメチルアミノ)−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オンなどが挙げられる。
前記ベンゾイン系化合物としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、およびベンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。
前記ベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、0−ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルスルフィド、3,3’,4,4’−テトラ(tert−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、および2,4,6−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。
前記ビイミダゾール系化合物としては、例えば、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,3−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(アルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(トリアルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2−ビス(2,6−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、または4,4’,5,5’位のフェニル基がカルボアルコキシ基で置換されたイミダゾール化合物などが挙げられる。これらのうち、より好ましくは、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,3−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、または2,2−ビス(2,6−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールなどが挙げられる。
前記トリアジン系化合物としては、例えば、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシナフチル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−ピペロニル−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシスチリル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル]−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[2−(フラン−2−イル)エテニル]−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル]−1,3,5−トリアジン、および2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]−1,3,5−トリアジンなどが挙げられる。
前記チオキサントン系化合物としては、例えば、2−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、および1−クロロ−4−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
前記アントラセン系化合物としては、例えば、9,10−ジメトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、および2−エチル−9,10−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。
また、その他、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、10−ブチル−2−クロロアクリドン、2−エチルアントラキノン、9,10−フェナントレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、およびチタノセン化合物などを使用することができる。
さらに、前記光重合開始剤は、本発明の緑色感光性樹脂組成物の感度を向上させるために、光重合開始補助剤(d1)を追加的に含むことができる。本発明に係る緑色感光性樹脂組成物は、光重合開始補助剤(d1)を含有することにより、感度がより高くなって、生産性を向上させることができる。
前記光重合開始補助剤としては、例えば、アミン化合物、カルボン酸化合物、およびチオール基を有する有機硫黄化合物からなる群より選択される1種以上の化合物が好ましく使用される。
前記アミン化合物としては、芳香族アミン化合物を使用することが好ましく、具体的には、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミンなどの脂肪族アミン化合物、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称:ミヒラーケトン)、および4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンなどが挙げられる。
前記カルボン酸化合物は、芳香族ヘテロ酢酸類であることが好ましく、具体的には、例えば、フェニルチオ酢酸、メチルフェニルチオ酢酸、エチルフェニルチオ酢酸、メチルエチルフェニルチオ酢酸、ジメチルフェニルチオ酢酸、メトキシフェニルチオ酢酸、ジメトキシフェニルチオ酢酸、クロロフェニルチオ酢酸、ジクロロフェニルチオ酢酸、N−フェニルグリシン、フェノキシ酢酸、ナフチルチオ酢酸、N−ナフチルグリシン、およびナフトキシ酢酸などが挙げられる。
前記チオール基を有する有機硫黄化合物は、具体的には、例えば、2−メルカプトベンゾチアゾール、1,4−ビス(3−メルカプトブチリルオキシ)ブタン、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−メルカプトプロピオネート)、およびテトラエチレングリコールビス(3−メルカプトプロピオネート)などが挙げられる。
前記光重合開始剤は、本発明の緑色感光性樹脂組成物中の固形分総重量に対して、2〜10重量%、好ましくは3〜7重量%含まれる。
前記光重合開始剤が前記範囲の含有量で含まれると、緑色感光性樹脂組成物が高感度化されて露光時間が短縮されるので、生産性が向上し、高い解像度を維持することができる。また、前記着色感光性樹脂組成物を用いて形成した画素部の強度と前記画素部の表面における平滑性が良好になる。
さらに、前記光重合開始補助剤を追加的に使用する場合、前記光重合開始剤1モルあたり10モル以下、好ましくは0.01〜5モルで使用する。
前記光重合開始補助剤を前記範囲で使用する場合、緑色感光性樹脂組成物の感度が向上し、これを含むカラーフィルタの生産性が向上できる。
(E)溶剤
前記溶剤は、緑色感光性樹脂組成物に含まれる他の成分を溶解させるのに効果的なものであれば、通常の緑色感光性樹脂組成物で使用される溶剤を特に制限なく使用することができ、特に、エーテル類、アセテート類、芳香族炭化水素類、ケトン類、アルコール類、エステル類、またはアミド類などが好ましい。
前記エーテル類としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、およびエチレングリコールモノブチルエーテルなどのエチレングリコールモノアルキルエーテル類;
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、およびジエチレングリコールジブチルエーテルなどのジエチレングリコールジアルキルエーテル類などが挙げられる。
前記アセテート類としては、例えば、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチルアセテート、ブチルアセテート、アミルアセテート、メチルラクテート、エチルラクテート、ブチルラクテート、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシ−1−ブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、エチレングリコールモノアセテート、エチレングリコールジアセテート、メチル3−メトシプロピオネート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、3−メトキシ−1−ブチルアセテート、1,2−プロピレングリコールジアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、1,3−ブチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノアセテート、ジエチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノアセテート、プロピレングリコールジアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレンカーボネート、およびプロピレンカーボネートなどが挙げられる。
前記芳香族炭化水素類としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、およびメシチレンなどが挙げられる。
前記ケトン類としては、例えば、メチルエチルケトン、アセトン、メチルアミルケトン、メチルイソブチルケトン、およびシクロヘキサノンなどが挙げられる。
前記アルコール類としては、例えば、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセリン、および4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノンなどが挙げられる。
前記エステル類としては、例えば、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、およびγ−ブチロラクトンなどが挙げられる。
前記アミド類としては、例えば、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドンなどが挙げられる。
前記溶剤は、それぞれ単独または2種以上を混合して使用することができる。
前記溶剤は、塗布性および乾燥性の面で、沸点が100℃〜200℃の有機溶剤を使用することが好ましく、例えば、アルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類、ケトン類、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチルなどのエステル類が挙げられ、より好ましくは、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、エチルラクテート、ブチルラクテート、3−エトキシプロピオン酸エチル、および3−メトキシプロピオン酸メチルなどが挙げられる。
前記溶剤は、緑色感光性樹脂組成物の総重量に対して、60〜90重量%、好ましくは70〜85重量%含まれる。前記溶剤が前記60〜90重量%の範囲で含まれると、ロールコーター、スピンコーター、スリットアンドスピンコーター、スリットコーター(ダイコーターということもある)、およびインクジェットなどの塗布装置で塗布した時、塗布性が良好になる。
(F)アルカリ可溶性樹脂
本発明の緑色感光性樹脂組成物は、追加的にアルカリ可溶性樹脂を含むことができる。
前記アルカリ可溶性樹脂は、通常、緑色感光性樹脂組成物を用いて形成された緑色感光性樹脂層の非露光部をアルカリ可溶性にし、顔料に対して分散媒質として作用する。
前記アルカリ可溶性樹脂の種類は特に限定せず、当該技術分野で使用される多様な重合体の中から選択可能であり、カルボキシル基を含む単量体(f1)を含むことが好ましい。前記カルボキシル基を含む単量体を含む重合体としては、特に、カルボキシル基を含む単量体(f1)、および前記カルボキシル基を含む単量体と共重合可能な他の単量体(f2)から得られた共重合体を使用することが好ましい。
前記カルボキシル基を含む単量体(f1)は、例えば、不飽和モノカルボン酸および不飽和ジカルボン酸のように、分子内に1つ以上のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸であるとよい。
より具体的には、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、およびフマル酸が挙げられる。前記カルボン酸を含む単量体は、それぞれ単独または2種以上を混合して使用することができる。
また、前記カルボキシル基を含む単量体と共重合可能な他の単量体(f2)は、重合可能な炭素−炭素不飽和結合を有する化合物で、具体的には、例えば、
α−メチルスチレンおよびビニルトルエンなどの芳香性ビニル化合物;
メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、およびベンジル(メタ)アクリレートなどの不飽和カルボキシレート;
アミノエチルアクリレートなどの不飽和アミノアルキルカルボキシレート;
グリシジル(メタ)アクリレートなどの不飽和グリシジルカルボキシレート;
ビニルアセテートおよびビニルプロピオネートなどのビニルカルボキシレート;
(メタ)アクリロニトリルおよびα−クロロアクリロニトリルなどのビニルシアニド化合物が挙げられる。
前記単量体も、それぞれ単独または2種以上を混合して使用することができる。
また、前記共重合体の好ましい例としては、ベンジルメタクリレート/メタクリル酸コポリマー、ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/スチレンコポリマー、メチルメタクリレート/メタクリル酸コポリマー、およびメチルメタクリレート/メタクリル酸/スチレンコポリマーなどが挙げられる。
前記アルカリ可溶性樹脂が、前記カルボキシル基を含む単量体(f1)、および前記カルボキシル基を含む単量体と共重合可能な他の単量体(f2)から得られた共重合体の場合、前記カルボキシル基を含む単量体(f1)は、前記共重合体の総重量に対して、10〜50重量%含まれ、好ましくは15〜40重量%含まれる。
前記アルカリ可溶性樹脂は、ポリスチレンで換算されるゲル透過クロマトグラフィーによって測定された重量平均分子量が3,000〜100,000であることが好ましく、5,000〜50,000であることがより好ましい。前記アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量が3,000〜100,000の範囲にあれば、現像時に膜減少が生じにくく、現像時に非画素部分の欠落性が良好な傾向にあるので、好ましい。
また、前記アルカリ可溶性樹脂の分子量分布、すなわち、数平均分子量に対する重量平均分子量(重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn))は、好ましくは1.5〜6.0、より好ましくは1.8〜4.0であることが、現像性の面で良い。
さらに、前記アルカリ可溶性樹脂の酸価は、固形分基準30〜170mgKOH/gであることが好ましく、50〜150mgKOH/gであることがより好ましい。前記アルカリ可溶性樹脂の酸価が30mgKOH/g未満の場合には、緑色感光性樹脂組成物が十分な現像速度を確保しにくく、酸価が170mgKOH/gを超える場合には、基板との密着性が減少してパターンの短絡が発生しやすく、着色剤との相溶性に問題が発生して緑色感光性樹脂組成物中の着色剤が析出したり、緑色感光性樹脂組成物の貯蔵安定性が低下して粘度が上昇する恐れがあって、好ましくない。
前記アルカリ可溶性樹脂は、本発明の緑色感光性樹脂組成物中の固形分総重量に対して、5〜85重量%、好ましくは10〜70重量%含まれる。
前記アルカリ可溶性樹脂の含有量が5〜85重量%であれば、現像液への溶解性が十分で非画素部分の基板上に現像残渣が発生しにくく、現像時に露光部の画素部分の膜減少が防止されて非画素部分の欠落性が良好になる。
(G)添加剤
前記添加剤は、必要に応じて選択的に添加されるものであって、例えば、他の高分子化合物、硬化剤、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、および凝集防止剤からなる群より選択される1種以上を含むことができる。
前記他の高分子化合物の具体例としては、エポキシ樹脂、マレイミド樹脂などの硬化性樹脂、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフルオロアルキルアクリレート、ポリエステル、およびポリウレタンなどの熱可塑性樹脂などが挙げられる。
前記硬化剤は、深部硬化および機械的強度を高めるために使用され、硬化剤の具体例としては、エポキシ化合物、多官能イソシアネート化合物、メラミン化合物、およびオキセタン化合物などが挙げられる。
前記硬化剤において、エポキシ化合物の具体例としては、ビスフェノールA系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールA系エポキシ樹脂、ビスフェノールF系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールF系エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、その他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、または前記エポキシ樹脂の臭素化誘導体、エポキシ樹脂、およびその臭素化誘導体以外の脂肪族、脂環族または芳香族エポキシ化合物、ブタジエン(共)重合体エポキシ化物、イソプレン(共)重合体エポキシ化物、グリシジル(メタ)アクリレート(共)重合体、およびトリグリシジルイソシアヌレートなどが挙げられる。
前記硬化剤において、オキセタン化合物の具体例としては、カーボネートビスオキセタン、キシレンビスオキセタン、アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセタン、およびシクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタンなどが挙げられる。
前記硬化剤は、硬化剤とともに、エポキシ化合物のエポキシ基、オキセタン化合物のオキセタン骨格を開環重合可能にする硬化補助化合物を併用することができる。
前記硬化補助化合物は、例えば、多価カルボン酸類、多価カルボン酸無水物類、および酸発生剤などがある。前記多価カルボン酸無水物類は、エポキシ樹脂硬化剤として市販のものを用いることができる。前記市販品としては、アデカハードナーEH−700(アデカ工業(株)製造)、リカシッドHH(新日本理化(株)製造)およびMH−700(新日本理化(株)製造)などが挙げられる。前記例示した硬化剤は、単独または2種以上を混合して使用することができる。
前記界面活性剤は、着色感光性樹脂組成物の皮膜形成をより向上させるために使用することができ、シリコーン系、フッ素系、エステル系、陽イオン系、陰イオン系、非イオン系、両性界面活性剤などが好ましく使用される。
前記シリコーン系界面活性剤は、例えば、市販品として、ダウコーニング東レシリコーン社のDC3PA、DC7PA、SH11PA、SH21PA、およびSH8400などがあり、GE東芝シリコーン社のTSF−4440、TSF−4300、TSF−4445、TSF−4446、TSF−4460、およびTSF−4452などがある。
前記フッ素系界面活性剤は、例えば、市販品として、大日本インキ化学工業社のメガピスF−470、F−471、F−475、F−482、およびF−489などがある。
また、その他使用可能な市販品としては、KP(信越化学工業(株))、ポリフロー(POLYFLOW)(共栄社化学(株))、エフトップ(EFTOP)(トーケムプロダクツ社)、メガファック(MEGAFAC)(大日本インキ化学工業(株))、フロラード(Flourad)(住友スリーエム(株))、アサヒガード(Asahi guard)、サーフロン(Surflon)(以上、旭硝子(株))、ソルスパース(SOLSPERSE)(Lubrisol)、EFKA(EFKAケミカルズ社)、PB821(味の素(株))、およびDisperbyk−series(BYK−chemi)などが挙げられる。
前記陽イオン系界面活性剤は、例えば、ステアリルアミン塩酸塩およびラウリルトリメチルアンモニウムクロライドなどのアミン塩または4級アンモニウム塩などがある。
前記陰イオン系界面活性剤は、例えば、ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウムおよびオレイルアルコール硫酸エステルナトリウムなどの高級アルコール硫酸エステル塩類、ラウリル硫酸ナトリウムおよびラウリル硫酸アンモニウムなどのアルキル硫酸塩類、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムおよびドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウムなどのアルキルアリールスルホン酸塩類などがある。
前記非イオン系界面活性剤は、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン/オキシプロピレンブロック共重合体、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、およびポリオキシエチレンアルキルアミンなどがある。
前記例示された界面活性剤は、それぞれ単独または2種以上を組み合わせて使用することができる。
前記密着促進剤の種類は特に限定されず、使用可能な密着促進剤の具体例としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−イソシアネートプロピルトリメトキシシラン、および3−イソシアネートプロピルトリエトキシシランなどが挙げられる。
前記例示した密着促進剤は、それぞれ単独または2種以上を組み合わせて使用することができる。前記密着促進剤は、緑色感光性樹脂組成物中の固形分総重量に対して、通常0.01〜10重量%、好ましくは0.05〜2重量%含まれる。
前記酸化防止剤の種類は特に限定しないが、2−tert−ブチル−6−(3−tert−ブチル−2−ヒドロキシ−5−メチルベンジル)−4−メチルフェニルアクリレート、2−[1−(2−ヒドロキシ−3,5−ジ−tert−ペンチルフェニル)エチル]−4,6−ジ−tert−ペンチルフェニルアクリレート、6−[3−(3−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)プロポキシ]−2,4,8,10−テトラ−tert−ブチルジベンズ[d,f][1,3,2]ジオキサホスフェピン、3,9−ビス[2−{3−(3−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)プロピオニルオキシ}−1,1−ジメチルエチル]−2,4,8,10−テトラオキサスピロ[5.5]ウンデカン、2,2’−メチレンビス(6−tert−ブチル−4−メチルフェノール)、4,4’−ブチリデンビス(6−tert−ブチル−3−メチルフェノール)、4,4’−チオビス(2−tert−ブチル−5−メチルフェノール)、2,2’−チオビス(6−tert−ブチル−4−メチルフェノール)、ジラウリル3,3’−チオジプロピオネート、ジミリスチル3,3’−チオジプロピオネート、ジステアリル3,3’−チオジプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキス(3−ラウリルチオプロピオネート)、1,3,5−トリス(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン、3,3’,3’’,5,5’,5’’−ヘキサ−tert−ブチル−a,a’,a’’−(メシチレン−2,4,6−トリイル)トリ−p−クレゾール、ペンタエリスリトールテトラキス[3−(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]、2,6−ジ−tert−ブチル−4−メチルフェノール、および2,2’−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、および2,6−ジ−t−ブチル−4−メチルフェノールなどが挙げられる。
前記紫外線吸収剤の種類は特に限定しないが、使用可能な具体例としては、2−(3−tert−ブチル−2−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどが挙げられる。
前記凝集防止剤の種類は特に限定しないが、使用可能な具体例としては、ポリアクリル酸ナトリウムなどが挙げられる。
本発明の緑色感光性樹脂組成物の製造方法を例に挙げて説明すれば下記の通りである。
まず、前記着色剤(A)中、前記化学式1の化合物(a1)または顔料(a2)を溶剤(E)と混合して、顔料の平均粒径が0.2μm以下程度となるまでビーズミルなどを用いて分散させる。この時、必要に応じて、顔料分散剤(a3)、熱架橋型オキセタン樹脂(B)の一部または全部、または染料(a4)を溶剤(E)とともに混合させて、溶解または分散させることができる。
前記混合された分散液に、染料(a4)、熱架橋型オキセタン樹脂(B)の残り、光重合性化合物(C)、および光重合開始剤(D)と、必要に応じて、添加剤(G)および溶剤(E)を所定の濃度となるようにさらに添加して、本発明に係る緑色感光性樹脂組成物を製造することができる。
また、本発明は、前記緑色感光性樹脂組成物で製造された着色パターンを含む。前記着色パターンは、本発明の緑色感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、光硬化および現像して製造される。前記着色パターンの厚さは特に限定されず、例えば1〜6μmであるとよい。
前記着色パターンは、例えば、下記の方法で形成される。
まず、前記緑色感光性樹脂組成物を基板または先に形成された緑色感光性樹脂組成物の固形分からなる層上に塗布し、塗布された緑色感光性樹脂組成物層からプリベークすることにより、溶剤などの揮発成分を除去して平滑な塗膜を得る。
前記塗布方法としては、例えば、スピンコート、流延塗布法、ロール塗布法、スリットアンドスピンコート、またはスリットコート法などを実施することができる。
前記塗布後、プリベーク(加熱乾燥)、または減圧乾燥後に加熱して溶剤などの揮発成分を揮発させることにより、緑色感光性樹脂組成物層が形成される。ここで、加熱温度は、通常70〜200℃、好ましくは80〜130℃である。
こうして得られた塗膜に、目的のパターンを形成するためのマスクを介して紫外線を照射する。この時、露光部全体に均一に平行光線が照射され、また、マスクと基板との正確な位置合わせが行われるように、マスクアライナやステッパなどの装置を用いることが好ましい。
また、その後、硬化の終わった塗膜をアルカリ現像液に接触させて非露光部を溶解させて現像することにより、目的のパターン形状を得ることができる。前記現像方法として、液添加法、ディッピング法、スプレー法などを実施することができ、現像時に基板を任意の角度に傾けることができる。
パターニング露光後の現像に使用する前記現像液は、通常、アルカリ性化合物と界面活性剤を含有する水溶液である。前記アルカリ性化合物は、無機および/または有機アルカリ性化合物のいずれでもよい。
前記無機アルカリ性化合物の具体例としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、リン酸水素二ナトリウム、リン酸二水素ナトリウム、リン酸水素二アンモニウム、リン酸二水素アンモニウム、リン酸二水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、およびアンモニアなどが挙げられる。
前記有機アルカリ性化合物の具体例としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、2−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、およびエタノールアミンなどが挙げられる。
前記無機および有機アルカリ性化合物は、それぞれ単独または2種以上を混合して使用することができる。
前記アルカリ現像液中のアルカリ性化合物の濃度は、例えば、0.01〜10重量%であり、より好ましくは0.03〜5重量%である。
前記アルカリ現像液中の界面活性剤は、非イオン系界面活性剤、陰イオン系界面活性剤、または陽イオン系界面活性剤のいずれでもよい。
前記非イオン系界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン/オキシプロピレンブロックコポリマー、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、およびポリオキシエチレンアルキルアミンなどが挙げられる。
前記陰イオン系界面活性剤の具体例としては、ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウムやオレイルアルコール硫酸エステルナトリウムのような高級アルコール硫酸エステル塩類;ラウリル硫酸ナトリウムやラウリル硫酸アンモニウムのようなアルキル硫酸塩類;ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムやドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウムのようなアルキルアリールスルホン酸塩類;などが挙げられる。
前記陽イオン系界面活性剤の具体例としては、ステアリルアミン塩酸塩またはラウリルトリメチルアンモニウムクロライドなどのアミン塩;第4級アンモニウム塩;などが挙げられる。
前記界面活性剤は、単独または2種以上を混合して使用することができる。
前記アルカリ現像液中の界面活性剤の濃度は、例えば、0.01〜10重量%、好ましくは0.05〜8重量%、より好ましくは0.1〜5重量%である。
前記現像後、水洗し、必要に応じて、150〜230℃で10〜60分のポストベークを行ってもよい。
また、本発明は、前記緑色感光性樹脂組成物を含むカラーフィルタに関する。
本発明のカラーフィルタは、基板と、前記基板上に本発明の緑色感光性樹脂組成物で製造された着色パターンとを含む。前記基板は、透明な材質であって、カラーフィルタの安定性のために十分な強度と支持力を有する素材を使用することができる。好ましくは、化学的安定性に優れ、強度の高いガラスを使用することができる。
前記カラーフィルタの製造方法は、当該分野でよく知られた通常の方法を用いることができる。
また、本発明は、前記カラーフィルタを含む表示装置に関する。
前記表示装置の具体例として、液晶ディスプレイ(液晶表示装置;LCD)、有機ELディスプレイ(有機EL表示装置)、液晶プロジェクタ、ゲーム機用表示装置、携帯電話などの携帯端末用表示装置、デジタルカメラ用表示装置、および自動車ナビゲーション用表示装置などの表示装置などが挙げられ、特に、カラー表示装置が好ましい。
前記表示装置は、前記カラーフィルタを含むことを除けば、本発明の技術分野における当業者に知られた構成を含み、すなわち、本発明は、本発明のカラーフィルタを適用できる表示装置を含む。
以下、本発明を実施例および実験例を用いてより詳細に説明する。しかし、下記の実施例は本発明を例示するためのものであって、本発明は下記の実施例によって限定されず、本発明の範囲内で多様に修正および変更可能である。本発明の範囲は、後述する特許請求の範囲の技術的思想によって定められる。
<熱架橋型オキセタン樹脂の合成>
合成例1.
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート180g導入後、80℃に昇温させた。
その後、3−エチル−3−(メタクリロイルオキシ)メチルオキセタン110.5g、アクリル酸14.4g、ベンジルメタクリル酸35.2gを含む混合物を溶解させ、α−メチルスチレン二量体(連鎖移動剤)5.0g重量部を添加した後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート50重量部に2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)3.3gを添加した溶液を、滴下ロートから1時間かけてフラスコに滴下し、80℃で5時間撹拌して、固形分酸価が65mgKOH/gの熱架橋型オキセタン樹脂B−1を得た。
GPCによって測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は10,100であり、分子量分布(Mw/Mn)は2.8であった。
合成例2.
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート180g導入後、80℃に昇温させた。
その後、3−エチル−3−(メタクリロイルオキシ)メチルオキセタン110.5g、メタクリル酸17.2g、4−ビニルトルエン23.6gを含む混合物を溶解させ、α−メチルスチレン二量体(連鎖移動剤)5.0g重量部を添加した後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート50重量部に2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)3.3gを添加した溶液を、滴下ロートから1時間かけてフラスコに滴下し、80℃で5時間撹拌して、固形分酸価が68mgKOH/gの熱架橋型オキセタン樹脂B−2を得た。
GPCによって測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は12,300であり、分子量分布(Mw/Mn)は2.7であった。
合成例3.
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート180g導入後、80℃に昇温させた。
その後、3−エチル−3−(アクリロイルオキシ)メチルオキセタン102.1g、アクリル酸21.6g、ベンジルメタクリル酸17.6gを含む混合物を溶解させ、α−メチルスチレン二量体(連鎖移動剤)5.0g重量部を添加した後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート50重量部に2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)3.3gを添加した溶液を、滴下ロートから1時間かけてフラスコに滴下し、80℃で5時間撹拌して、固形分酸価が95mgKOH/gの熱架橋型オキセタン樹脂B−3を得た。
GPCによって測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は8,900であり、分子量分布(Mw/Mn)は2.9であった。
合成例4.
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート180g導入後、80℃に昇温させた。
その後、3−エチル−3−(アクリロイルオキシ)メチルオキセタン51.0g、アクリル酸21.6g、ベンジルメタクリル酸35.2g、メチルメタクリル酸20.0gを含む混合物を溶解させ、α−メチルスチレン二量体(連鎖移動剤)5.0g重量部を添加した後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート50重量部に2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)3.3gを添加した溶液を、滴下ロートから1時間かけてフラスコに滴下し、80℃で5時間撹拌して、固形分酸価が90mgKOH/gの熱架橋型オキセタン樹脂B−4を得た。
GPCによって測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は11,300であり、分子量分布(Mw/Mn)は2.7であった。
合成例5.
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート180g導入後、80℃に昇温した。
その後、3−エチル−3−(アクリロイルオキシ)メチルオキセタン17.0g、アクリル酸21.6g、ベンジルメタクリル酸35.2g、メチルメタクリル酸40.0gを含む混合物を溶解させ、α−メチルスチレン二量体(連鎖移動剤)5.0g重量部を添加した後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート50重量部に2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)3.3gを添加した溶液を、滴下ロートから1時間かけてフラスコに滴下し、80℃で5時間撹拌して、固形分酸価が105mgKOH/gの熱架橋型オキセタン樹脂B−5を得た。
GPCによって測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は8,100であり、分子量分布(Mw/Mn)は2.8であった。
<アルカリ可溶性樹脂の合成>
合成例6.
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート180g導入後、80℃に昇温した。
その後、アクリル酸21.6g、ベンジルメタクリル酸70.4g、メチルメタクリル酸30.0gを含む混合物を溶解させ、α−メチルスチレン二量体(連鎖移動剤)5.0g重量部を添加した後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート50重量部に2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)3.3gを添加した溶液を、滴下ロートから1時間かけてフラスコに滴下し、80℃で5時間撹拌して、固形分酸価が103mgKOH/gのアルカリ可溶性樹脂B−6を得た。
GPCによって測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は12,800であり、分子量分布(Mw/Mn)は2.4であった。
前記合成例1〜6で製造した樹脂の重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、GPC法を利用して下記の条件で測定した。
装置:HLC−8120GPC(東ソー(株)製造)
カラム:TSK−GELG4000HXL+TSK−GELG2000HXL(直列接続)
カラム温度:40℃
移動相溶媒:テトラヒドロフラン
流速:1.0ml/分
注入量:50μl
検出器:RI
測定試料濃度:0.6重量%(溶剤=テトラヒドロフラン)
校正用標準物質:TSK STANDARD POLYSTYRENE F−40、F−4、F−1、A−2500、A−500(東ソー(株)製造)
上記で得られた重量平均分子量および数平均分子量の比を分子量分布(Mw/Mn)とした。
<顔料分散液の製造>
製造例1〜4.
下記表1の組成で製造例1〜4の顔料分散液を製造した。
Figure 0006329599
<緑色感光性樹脂組成物の製造>
実施例1〜10および比較例1〜3.
下記表2の組成で実施例1〜10および比較例1〜3の緑色感光性樹脂組成物を製造した。
Figure 0006329599
実験例1.緑色感光性樹脂組成物の物性評価
2平方インチのガラス基板(コーニング社製造、#1737)を、中性洗剤、水、およびアルコールで順に洗浄してから、乾燥した。前記ガラス基板上にそれぞれ、前記実施例1〜10および比較例1〜3の緑色感光性樹脂組成物を100mJ/cmの露光量(365nm)で露光して、現像工程を省略した時の後焼成後の膜厚さが2.0μmとなるようにスピンコーティングした。
次いで、クリーンオーブン中、100℃で3分間予備乾燥した。冷却後、前記緑色感光性樹脂組成物を塗布した基板と石英ガラス製フォトマスク(透過率を1〜100%の範囲で階段状に変化させるパターンと、1μmから50μmまでのライン/スペースパターンを有する)との間隔を100μmとし、ウシオ電機(株)製の超高圧水銀ランプ(商品名USH−250D)を用いて、大気雰囲気下、100mJ/cmの露光量(365nm)で光照射した。
その後、非イオン系界面活性剤0.12%と水酸化カリウム0.06%を含む水系現像液に、前記塗膜を26℃で所定時間浸漬して現像した後、水洗後、220℃で30分間乾燥して、カラーフィルタを製造した。
1−1.輝度(Y)の測定
前記製造したカラーフィルタの輝度をマイクロスコピックスペクトロメーターOSP−SP2000を用いて測定し、結果を下記表3に記載した。
1−2.色度(色座標)の測定
前記製造したカラーフィルタの色座標をマイクロスコピックスペクトロメーターOSP−SP2000を用いて測定し、結果を下記表3に記載した。
1−3.耐溶剤性評価
前記製造したカラーフィルタをそれぞれの溶剤(NMP;1−メチル−2−ピロリジノン、IPA;イソプロピルアルコール、GBL;ガンマブチロラクトン)に30分間浸漬させて、評価前後の色変化を計算して比較評価した。
この時使用する式は下記数式1で、L*、a*、b*で定義される3次元色度計での色変化を示す。
[数1]
△Eab =[(△L+(△a+(△b1/2
また、評価基準は下記の通りであり、結果を下記表3に記載した。
<耐溶剤性の評価基準>
○:△Eab=1未満
△:△Eab=1〜3
×:△Eab=3超過
1−4.耐熱性評価
前記製造したカラーフィルタを230℃の加熱オーブンで2時間加熱後、加熱前後の色変化を測定した。
色変化は前記数式1で計算し、耐熱性評価前後の輝度変化(ΔY)を確認して、熱的黄変による輝度低下の有無を確認した。
また、評価基準は下記の通りであり、結果を下記表3に記載した。
<耐熱性の評価基準>
○:△Eab=1未満
△:△Eab=1〜3
×:△Eab=3超過
<輝度変化(ΔY)の評価基準>
○:0.3未満
△:0.3〜0.5
×:0.5超過
Figure 0006329599
C.I.ピグメントイエロー185の顔料が含まれた色座標はx=0.256、y=0.641で、実施例1〜5および比較例1〜2で現れた。
C.I.ピグメントイエロー150の顔料が含まれた色座標はx=0.24、y=0.606で、実施例6〜10および比較例3で現れた。
前記色座標において、C.I.ピグメントイエロー185またはC.I.ピグメントイエロー150と、C.I.ピグメントグリーン7を含む比較例1および比較例3が色座標の基準値になる。
前記表3の結果から、C.I.ピグメントグリーン7の代わりに、本発明の前記C.I.ピグメントグリーン59を含む実施例1〜10の緑色感光性樹脂組成物は、色度(Y)が7〜10%向上したことを確認することができた。
また、本発明の前記化学式2の単量体を含む熱架橋型オキセタン樹脂を含む実施例1〜10の緑色感光性樹脂組成物は、耐熱性および耐溶剤性にすべて優れていることを確認することができ、前記化学式2の単量体を含まない比較例2の緑色感光性樹脂組成物は、耐熱性および耐溶剤性が不良であることを確認することができた。
したがって、本発明の緑色感光性樹脂組成物は、色度、耐熱性および耐溶剤性に優れ、前記緑色感光性樹脂組成物を含むカラーフィルタは、高色再現を示すことができる。

Claims (11)

  1. 着色剤、熱架橋型オキセタン樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤、および溶剤を含む緑色感光性樹脂組成物であって、
    前記着色剤は、C.I.ピグメントグリーン59と、C.I.ピグメントイエロー185およびC.I.ピグメントイエロー150からなる群より選択される1種以上とを含み、
    前記熱架橋型オキセタン樹脂は、3−エチル−3−(メタクリロイルオキシ)メチルオキセタンおよび3−エチル−3−(アクリロイルオキシ)メチルオキセタンからなる群より選択される1種以上の単量体を含むことを特徴とする緑色感光性樹脂組成物
  2. 前記C.I.ピグメントグリーン59と、C.I.ピグメントイエロー185およびC.I.ピグメントイエロー150からなる群より選択される1種以上とは、1:0.05〜1:18の重量比で混合されることを特徴とする請求項1に記載の緑色感光性樹脂組成物。
  3. 前記熱架橋型オキセタン樹脂は、
    3−エチル−3−(メタクリロイルオキシ)メチルオキセタンおよび3−エチル−3−(アクリロイルオキシ)メチルオキセタンからなる群より選択される1種以上の単量体からなる熱架橋型オキセタン樹脂、
    3−エチル−3−(メタクリロイルオキシ)メチルオキセタンおよび3−エチル−3−(アクリロイルオキシ)メチルオキセタンからなる群より選択される1種以上の単量体および不飽和カルボン酸単量体の共重合体、または
    3−エチル−3−(メタクリロイルオキシ)メチルオキセタンおよび3−エチル−3−(アクリロイルオキシ)メチルオキセタンからなる群より選択される1種以上の単量体、不飽和カルボン酸単量体、およびこれらとの共重合が可能な不飽和結合を含む単量体の共重合体であることを特徴とする請求項1または2に記載の緑色感光性樹脂組成物。
  4. 前記熱架橋型オキセタン樹脂の総モル数に対して、3−エチル−3−(メタクリロイルオキシ)メチルオキセタンおよび3−エチル−3−(アクリロイルオキシ)メチルオキセタンからなる群より選択される1種以上の単量体5〜95モル%および不飽和カルボン酸単量体5〜95モル%を含むことを特徴とする請求項3に記載の緑色感光性樹脂組成物。
  5. 前記熱架橋型オキセタン樹脂の総モル数に対して、3−エチル−3−(メタクリロイルオキシ)メチルオキセタンおよび3−エチル−3−(アクリロイルオキシ)メチルオキセタンからなる群より選択される1種以上の単量体5〜90モル%、不飽和カルボン酸単量体5〜90モル%、およびこれら共重合が可能な不飽和結合を含む単量体5〜70モル%を含むことを特徴とする請求項3に記載の緑色感光性樹脂組成物。
  6. 前記緑色感光性樹脂組成物中の固形分総重量に対して、着色剤5〜70重量%、熱架橋型オキセタン樹脂5〜80重量%、光重合性化合物5〜45重量%、および光重合開始剤2〜10重量%を含み、前記緑色感光性樹脂組成物の総重量に対して、溶剤60〜90重量%を含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の緑色感光性樹脂組成物。
  7. 前記C.I.ピグメントグリーン59のTmaxは、500〜530nmであることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の緑色感光性樹脂組成物。
  8. 前記C.I.ピグメントグリーン59のT50%は、445〜580nmであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の緑色感光性樹脂組成物。
  9. 前記着色剤は、XYZ表色系において、y=0.6以上の時、x=0.1〜0.35の色座標を有することを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の緑色感光性樹脂組成物。
  10. 請求項1〜9のいずれか1項に記載の緑色感光性樹脂組成物を含むカラーフィルタ。
  11. 請求項10に記載のカラーフィルタを含む表示装置。
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JP7209471B2 (ja) * 2018-03-28 2023-01-20 株式会社Dnpファインケミカル 感光性着色樹脂組成物、硬化物、カラーフィルタ、及び表示装置
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4368157B2 (ja) * 2002-07-24 2009-11-18 大日本印刷株式会社 カラーフィルター用緑色顔料、緑色顔料分散体、感光性着色組成物、カラーフィルター、及び、液晶パネル
JP4368158B2 (ja) * 2002-07-24 2009-11-18 大日本印刷株式会社 感光性着色組成物、カラーフィルター、及び、液晶パネル
JP4706560B2 (ja) * 2006-05-29 2011-06-22 Jsr株式会社 着色層形成用感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示素子
JP5495991B2 (ja) * 2010-07-12 2014-05-21 富士フイルム株式会社 着色感光性樹脂組成物、硬化膜及びその製造方法、カラーフィルタ、並びに、表示装置
JP6733280B2 (ja) * 2015-04-28 2020-07-29 Jsr株式会社 着色剤分散液及びその製造方法、着色組成物及びその製造方法、着色硬化膜、表示素子並びに固体撮像素子

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