JP6545414B1 - 走査装置及び走査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
[走査装置の構成]
[MEMSミラー機構の構成]
[第1及び第2駆動信号とフレームとの関係]
[制御部の構成]
[作用及び効果]
[変形例]
Claims (26)
- レーザ光を出射する光源と、
前記光源から出射された前記レーザ光を反射するミラーを有し、第1軸線を中心線として前記ミラーを揺動させることにより、第1方向において前記レーザ光の照射領域を往復させると共に、前記第1軸線と交差する第2軸線を中心線として前記ミラーを揺動させることにより、前記第1方向と交差する第2方向において前記照射領域を往復させるMEMSミラー機構と、
前記第1軸線を中心線として前記ミラーを揺動させるための第1駆動信号、及び前記第2軸線を中心線として前記ミラーを揺動させるための第2駆動信号を生成し、前記第1駆動信号及び前記第2駆動信号を前記MEMSミラー機構に入力する制御部と、を備え、
前記第1駆動信号は、前記第1軸線を中心線とする前記ミラーの1回の揺動を1周期とする電気信号であり、
前記第2駆動信号は、前記第2軸線を中心線とする前記ミラーの1回の揺動を1周期とする電気信号であり、
前記制御部は、前記第1駆動信号における1周期以下の期間の第1信号要素に対応するように、前記第2駆動信号を構成する第2信号要素を生成し、前記第2軸線を中心線とする前記ミラーの1回の揺動のうち往路期間及び復路期間の点灯期間において、前記第2信号要素の生成を繰り返すことで、前記第1駆動信号及び前記第2駆動信号を生成する、走査装置。 - 前記第1駆動信号は、前記第1軸線を中心線として前記ミラーを共振動作させるための電気信号であり、
前記第2駆動信号は、前記第2軸線を中心線として前記ミラーをリニア動作させるための電気信号であり、
前記制御部は、前記ミラーの共振周波数に追従するように、前記第1駆動信号の周波数を変調する、請求項1に記載の走査装置。 - 前記制御部は、前記往路期間が点灯期間となり、前記復路期間が消灯期間となるように、前記光源を制御し、前記点灯期間において、前記第2信号要素の生成を繰り返す、請求項1又は2に記載の走査装置。
- 前記制御部は、前記往路期間が第1点灯期間となり、前記復路期間が第2点灯期間となるように、前記光源を制御し、前記第1点灯期間及び前記第2点灯期間の両期間において、前記第2信号要素の生成を繰り返す、請求項1又は2に記載の走査装置。
- 前記制御部は、前記第1駆動信号における1周期未満の期間の前記第1信号要素に対応するように、前記第2信号要素を生成する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の走査装置。
- 前記制御部は、前記第1駆動信号における1/2周期の期間の前記第1信号要素に対応するように、前記第2信号要素を生成する、請求項5に記載の走査装置。
- 前記制御部は、前記第1駆動信号における1周期の期間の前記第1信号要素に対応するように、前記第2信号要素を生成する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の走査装置。
- 前記制御部は、前記第1駆動信号における現在の1周期内の前記第1信号要素に対応するように、前記第2信号要素を生成する、請求項1〜7のいずれか一項に記載の走査装置。
- 前記制御部は、前記第1駆動信号における直前の1周期内の前記第1信号要素に対応するように、前記第2信号要素を生成する、請求項1〜7のいずれか一項に記載の走査装置。
- 前記MEMSミラー機構は、
前記ミラーが設けられた第1可動部と、
前記第1軸線を中心線として揺動可能となるように前記第1可動部を支持する第2可動部と、
前記第2軸線を中心線として揺動可能となるように前記第2可動部を支持する支持部と、
前記第2可動部に設けられた駆動用コイルと、
前記駆動用コイルに作用する磁界を発生させる磁石と、を更に有する、請求項1〜9のいずれか一項に記載の走査装置。 - 前記光源は、投影表示用の前記レーザ光を出射し、
前記制御部は、前記第1方向における前記照射領域のm回(m:2以上の整数)の往復及び前記第2方向における前記照射領域の1回の往復が互いに対応する場合に、前記第1方向における前記照射領域の前記m回の往復及び前記第2方向における前記照射領域の前記1回の往復によって、1フレーム又は2フレームの画像が形成されるように、前記第1駆動信号及び前記第2駆動信号を生成する、請求項1〜10のいずれか一項に記載の走査装置。 - 前記制御部は、前記照射領域の位置に応じて前記レーザ光が変調されるように、前記光源を制御する、請求項11に記載の走査装置。
- 前記制御部は、フレームレートを変動させつつ、前記第2信号要素の生成を繰り返す、請求項11又は12に記載の走査装置。
- レーザ光を出射する光源と、
前記光源から出射された前記レーザ光を反射するミラーを有し、第1軸線を中心線として前記ミラーを揺動させることにより、第1方向において前記レーザ光の照射領域を往復させると共に、前記第1軸線と交差する第2軸線を中心線として前記ミラーを揺動させることにより、前記第1方向と交差する第2方向において前記照射領域を往復させるMEMSミラー機構と、を備える走査装置で実施される走査方法であって、
前記第1軸線を中心線として前記ミラーを揺動させるための電気信号であり且つ前記第1軸線を中心線とする前記ミラーの1回の揺動を1周期とする電気信号である第1駆動信号、及び前記第2軸線を中心線として前記ミラーを揺動させるための電気信号であり且つ前記第2軸線を中心線とする前記ミラーの1回の揺動を1周期とする電気信号である第2駆動信号を生成し、前記第1駆動信号及び前記第2駆動信号を前記MEMSミラー機構に入力する工程を備え、
前記工程においては、前記第1駆動信号における1周期以下の期間の第1信号要素に対応するように、前記第2駆動信号を構成する第2信号要素を生成し、前記第2軸線を中心線とする前記ミラーの1回の揺動のうち往路期間及び復路期間の点灯期間において、前記第2信号要素の生成を繰り返すことで、前記第1駆動信号及び前記第2駆動信号を生成する、走査方法。 - 前記第1駆動信号は、前記第1軸線を中心線として前記ミラーを共振動作させるための電気信号であり、
前記第2駆動信号は、前記第2軸線を中心線として前記ミラーをリニア動作させるための電気信号であり、
前記工程においては、前記ミラーの共振周波数に追従するように、前記第1駆動信号の周波数を変調する、請求項14に記載の走査方法。 - 前記工程においては、前記往路期間が点灯期間となり、前記復路期間が消灯期間となるように、前記光源を制御し、前記点灯期間において、前記第2信号要素の生成を繰り返す、請求項14又は15に記載の走査方法。
- 前記工程においては、前記往路期間が第1点灯期間となり、前記復路期間が第2点灯期間となるように、前記光源を制御し、前記第1点灯期間及び前記第2点灯期間の両期間において、前記第2信号要素の生成を繰り返す、請求項14又は15に記載の走査方法。
- 前記工程においては、前記第1駆動信号における1周期未満の期間の前記第1信号要素に対応するように、前記第2信号要素を生成する、請求項14〜17のいずれか一項に記載の走査装置。
- 前記工程においては、前記第1駆動信号における1/2周期の期間の前記第1信号要素に対応するように、前記第2信号要素を生成する、請求項18に記載の走査方法。
- 前記工程においては、前記第1駆動信号における1周期の期間の前記第1信号要素に対応するように、前記第2信号要素を生成する、請求項14〜17のいずれか一項に記載の走査方法。
- 前記工程においては、前記第1駆動信号における現在の1周期内の前記第1信号要素に対応するように、前記第2信号要素を生成する、請求項14〜20のいずれか一項に記載の走査方法。
- 前記工程においては、前記第1駆動信号における直前の1周期内の前記第1信号要素に対応するように、前記第2信号要素を生成する、請求項14〜20のいずれか一項に記載の走査方法。
- 前記MEMSミラー機構は、
前記ミラーが設けられた第1可動部と、
前記第1軸線を中心線として揺動可能となるように前記第1可動部を支持する第2可動部と、
前記第2軸線を中心線として揺動可能となるように前記第2可動部を支持する支持部と、
前記第2可動部に設けられた駆動用コイルと、
前記駆動用コイルに作用する磁界を発生させる磁石と、を更に有する、請求項14〜22のいずれか一項に記載の走査方法。 - 前記光源は、投影表示用の前記レーザ光を出射し、
前記工程においては、前記第1方向における前記照射領域のm回(m:2以上の整数)の往復及び前記第2方向における前記照射領域の1回の往復が互いに対応する場合に、前記第1方向における前記照射領域の前記m回の往復及び前記第2方向における前記照射領域の前記1回の往復によって、1フレーム又は2フレームの画像が形成されるように、前記第1駆動信号及び前記第2駆動信号を生成する、請求項14〜23のいずれか一項に記載の走査方法。 - 前記工程においては、前記照射領域の位置に応じて前記レーザ光が変調されるように、前記光源を制御する、請求項24に記載の走査方法。
- 前記工程においては、フレームレートを変動させつつ、前記第2信号要素の生成を繰り返す、請求項24又は25に記載の走査方法。
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US7031040B2 (en) * | 2003-05-16 | 2006-04-18 | Ricoh Company, Ltd. | Optical scanning apparatus, optical writing apparatus, image forming apparatus, and method of driving vibration mirror |
US7675669B2 (en) * | 2004-09-27 | 2010-03-09 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and system for driving interferometric modulators |
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US8576468B2 (en) * | 2010-09-22 | 2013-11-05 | Microvision, Inc. | Scanning projector with dynamic scan angle |
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JPWO2014132447A1 (ja) * | 2013-03-01 | 2017-02-02 | パイオニア株式会社 | 光走査装置 |
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JP6059094B2 (ja) * | 2013-06-25 | 2017-01-11 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線画像読出装置 |
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