JP6543686B1 - 荷重センサおよび荷重センサ一体型多軸アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ハウジング11に収容された状態で軸線方向へ直線移動する駆動ロッド12、および、駆動ロッド12と平行に配置され、軸線方向へ駆動ロッド12と同時に直線移動し、チップを吸着する際に先端部22aがチップに押し付けられる吸着ロッド22を有する多軸アクチュエータ10に用いられる荷重センサであって、駆動ロッド12および吸着ロッド22を連結する連結部材30を備え、連結部材30は、駆動ロッド12を連結する第1連結部31と、吸着ロッド22を連結する第2連結部32と、第1連結部31と第2連結部32との間に設けられて第1連結部31および第2連結部32よりも細く形成された首部33を有し、首部33は、その表面に取り付けられたひずみゲージ41〜44を備える。
【選択図】図1
Description
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の実施の形態に係る荷重センサ一体型多軸アクチュエータの全体構成を示す外観斜視図である。図2は、本発明の実施の形態に係る連結部材の外観構成を示す略線的拡大斜視図である。図3は、本発明の実施の形態に係る連結部材の外観構成を示す平面図および側面図である。図4は、本発明の実施の形態にかかる連結部材の首部が撓んだ状態を示す拡大斜視図である。図5は、本発明の実施の形態に係る連結部材の首部に貼り付けられたひずみゲージの配置を示す平面図である。
図1に示すように、荷重センサ一体型多軸アクチュエータ10は、例えば電子部品(チップ)等の対象物を基板上にマウントするチップマウンタに組み込まれて用いられる。
なお、上述した実施の形態においては、連結部材30の首部33に貫通孔33hが形成されているようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、首部33は、必ずしも貫通孔33hが形成されている必要はなく、吸着ロッド連結部32に対してチップからの反力が付与されたときに、駆動ロッド連結部31および吸着ロッド連結部32よりも先に撓む程度に細く形成されていれば貫通孔33hが形成されていなくてもよい。
Claims (4)
- ハウジングに収容された状態で軸線方向へ直線移動する第1の軸状部材、および、前記第1の軸状部材と平行に配置され、前記軸線方向へ前記第1の軸状部材と同時に直線移動し、所定の対象物を吸着する際に先端部が前記対象物に押し付けられる第2の軸状部材を有する多軸アクチュエータに用いられる荷重センサであって、
前記第1の軸状部材および前記第2の軸状部材を連結する連結部材
を備え、
前記連結部材は、前記第1の軸状部材を連結する第1連結部と、前記第2の軸状部材を連結する第2連結部と、前記第1連結部と前記第2連結部との間に設けられて前記第1連結部および前記第2連結部よりも細く形成された首部を有し、
前記首部は、その表面に取り付けられたひずみゲージを備える、荷重センサ。 - 前記ひずみゲージは、前記首部において前記第1の軸状部材および前記第2の軸状部材の前記軸線方向とは垂直な方向に面する前記表面に貼り付けられている、請求項1に記載の荷重センサ。
- 前記首部は、当該首部を貫通する貫通孔が形成されている、請求項1または2に記載の荷重センサ。
- ハウジングに収容された状態で軸線方向へ直線移動する第1の軸状部材と、
前記第1の軸状部材と平行に配置され、前記軸線方向へ前記第1の軸状部材と同時に直線移動し、所定の対象物を吸着する際に先端部が前記対象物に押し付けられる第2の軸状部材と、
前記第1の軸状部材および前記第2の軸状部材が前記軸線方向へ同時に直線移動するため、前記第1の軸状部材および前記第2の軸状部材を連結する連結部材と
を備え、
前記連結部材は、前記第1の軸状部材を連結する第1連結部と、前記第2の軸状部材を連結する第2連結部と、前記第1連結部と前記第2連結部との間に設けられて前記第1連結部および前記第2連結部よりも細く形成された首部を有し、
前記首部は、その表面に取り付けられたひずみゲージを備える、荷重センサ一体型多軸アクチュエータ。
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