CN206711871U - 装片机装片机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种装片机装片机构，包括水平工作台和芯片放取机构，芯片放取机构包括真空泵、吸嘴和运动架，所述运动架上固定有金属管，金属管一端与真空泵相连，另一端与吸嘴相连，所述工作台靠近运动架的侧面固定有固定台，所述固定台上固定有十字滑台，所述十字滑台与运动架相连，运动架朝向固定台的侧面上固定有感光器，所述固定台上设有正对感光器的激光发射器，所述固定台上固定有计数警报器，所述感光器与计数警报器电连接，其具有精确把控吸嘴使用寿命，便于及时更换吸嘴的优点。

Description

装片机装片机构

技术领域

本实用新型涉及装片机，特别涉及装片机装片机构。

背景技术

在集成电路装片机中，装片部件是其核心部件。装片过程涉及芯片的剥离、拾取、转移、对准和放置。目前，公开号为CN201717251U的中国专利公开了一种集成电路装片机四自由度装片模块，它包括真空泵、吸嘴和顶针，采用吸嘴和顶针，将晶圆盘上的芯片转移到引线框架上，实现芯片与引线框架的待贴片位置的对准和绑定；对准是通过数控装置保证X、Y、Z、θ四个自由度上的对准。从而保证了较高的装片精度和装片效率。

上述装片机在使用时，吸嘴吸附芯片放于引线框架上进行焊接，吸嘴长时间在高温环境下对芯片一直进行取放容易磨损，对芯片的取放会产生影响，但是上述装片模块中，操作人员无法对吸嘴的使用时间进行精确地计算，从而无法把控吸嘴的磨损状况。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种装片机装片机构，其具有精确把控吸嘴使用寿命，便于及时更换吸嘴的优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种装片机装片机构，包括水平工作台和芯片放取机构，芯片放取机构包括真空泵、吸嘴和运动架，所述运动架上固定有金属管，金属管一端与真空泵相连，另一端与吸嘴相连，所述工作台靠近运动架的侧面固定有固定台，所述固定台上固定有十字滑台，所述十字滑台与运动架相连，运动架朝向固定台的侧面上固定有感光器，所述固定台上设有正对感光器的激光发射器，所述固定台上固定有计数警报器，所述感光器与计数警报器电连接。

通过采用上述技术方案，先对计数警报器进行设定，设定一个上限值，表示吸嘴的额定工作次数，装片机工作时，十字滑台驱动运动架移动，运动架下降，运动架上的感光器接收到激光发射器发出的激光，传递信号给技术警报器，计数警报器的实时数加一，表示吸嘴已工作的次数，当实时数小于上限数时，装片机继续工作，当实时数等于上限数时，计数警报器开始报警，提醒操作人员更换吸嘴；吸嘴跟随运动架下降，靠近芯片时，真空泵开启，吸嘴吸附芯片，运动架上升，运动架水平移动到待焊引线框架的上方，运动架下降，芯片放置于焊液上，吸嘴在运动架的带动下离开引线框架，完成焊接；激光发射器所发出的激光不易发散，方向性好，感光器接收信号更准确；计数警报器可精确计算吸嘴的使用次数，对吸嘴的使用次数进行严格把控，避免操作人员通过人力记忆等方式对吸嘴的使用时间进行把控的不精确。

本实用新型进一步设置为：工作台下方设有芯源转盘，工作台在芯源转盘的上方开有槽口，槽口内壁上设有风扇。

通过采用上述技术方案，将带有芯片的晶圆盘放置于芯源转盘内，装片机工作时，运动架带动吸嘴移动，吸嘴穿过槽口吸附晶圆盘上的芯片，在运动架的带动下将芯片焊在待焊引线框架上，由于在焊接芯片时温度较高，吸嘴通过芯片的传递使自身温度升高，吸嘴一直处于高温时容易发生氧化，对吸嘴造成腐蚀，且高温时，吸嘴容易发生软化，序芯片接触时容易磨损，降低吸嘴使用寿命，在槽口内设置的风扇可对吸嘴进行降温，当吸嘴带着高温从待焊引线框架上向下移动经过槽口时，槽口内的风扇对吸嘴进行降温，防止吸嘴温度过高。

本实用新型进一步设置为：所述工作台上开设有安装孔，安装孔内固定有轴承，轴承内圈固定有旋转轴，旋转轴远离工作台的一端连接芯源转盘，所述芯源转盘的上表面固定有磁性固定块，所述工作台的侧壁上开设有容纳固定块的固定槽。

通过采用上述技术方案，芯源转盘转动连接于工作台下方，工作前，将芯源转盘转出，将晶圆盘放置于芯源转盘内，再将芯源转盘转入，固定块嵌于固定槽内，磁性固定块吸附在固定槽内，对芯源转盘进行固定。

本实用新型进一步设置为：装片机构还包括磨损警报器，所述真空泵与吸嘴之间设有压力传感器，所述压力传感器与磨损警报器电连接。

通过采用上述技术方案，当吸嘴上发生较小磨损时，吸嘴虽然可以吸附芯片，但是由于发生磨损，吸附并不牢固影响芯片的焊接；在真空泵与吸嘴之间设有的压力传感器可有效控制吸嘴与真空泵之间的压力，当吸嘴发生磨损时，吸嘴与真空泵之间压力产生变化，压力传感器传递信号给磨损警报器，磨损警报器报警提醒操作人员更换吸嘴。

本实用新型进一步设置为：金属管与吸嘴螺纹连接，连接处设有密封箍，密封箍内设有密封垫。

通过采用上述技术方案，金属管与吸嘴通过螺纹连接，方便安装与拆除，金属管与吸嘴连接处用密封箍箍紧，密封垫将连接处封堵，对吸嘴与金属管的连接起到密封作用。

本实用新型进一步设置为：所述吸嘴的下端设为锥形，所述吸嘴的下端面处封堵有挡片，所述挡片的中间开设有过气孔。

通过采用上述技术方案，吸嘴通过底端挡片与芯片进行接触，避免吸嘴与芯片直接接触造成吸嘴的磨损，挡片代替吸嘴与芯片直接接触，挡片发生磨损产生破口时，吸嘴同样可通过破口与过气孔吸附芯片，不影响正常使用，提高吸嘴使用寿命。

本实用新型进一步设置为：所述运动架的下端面上设有摄像头，所述固定台上固定有成像显示屏，所述摄像头与成像显示屏电连接。

通过采用上述技术方案，摄像头通过分析芯片的摆放位置与引线框架上待焊位置的误差，控制芯片的焊接，精确度高，通过成像显示屏观察芯片的焊接位置，以便调节。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：具有计数警报器，可精确控制吸嘴的使用次数，把控吸嘴的使用寿命，提醒工作人员及时更换吸嘴；具有散热装置可降低吸嘴的温度，增加吸嘴使用寿命；摄像头可精确控制芯片的焊接位置。

附图说明

图1为实施例一的结构示意图；

图2为实施例一中挡片的结构示意图。

图中：1、工作台；2、真空泵；3、吸嘴；4、运动架；5、金属管；6、固定台；7、十字滑台；8、固定块；9、感光器；10、激光发射器；11、计数警报器；12、芯源转盘；13、风扇；14、轴承；15、旋转轴；16、压力传感器；17、密封箍；18、挡片；19、过气孔；20、摄像头；21、成像显示屏。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

实施例一：

如图1和图2，一种装片机装片机构，包括水平工作台1和芯片放取机构，芯片放取机构包括运动架4，运动架4上固定有金属管5，金属管5一端与真空泵2相连，与真空泵2相连端内粘有压力传感器16，压力传感器16点连接有磨损警报器，金属管5另一端螺纹连接有锥形吸嘴3，金属管5与吸嘴3连接处箍有密封箍17，密封箍17内设有密封垫；吸嘴3底部焊有环形挡片18，挡片18中间为过气孔19。

如图1，工作台1上固定有固定台6，固定台6靠近运动架4的侧面固定有十字滑台7，所述十字滑台7与运动架4固定连接，运动架4的下表面用螺栓固定有摄像头20，摄像头20电连接有成像显示屏21，运动架4朝向固定台6的侧面上用螺栓固定有感光器9，固定台6上用螺栓固定有正对感光器9的激光发射器10，感光器9电连接有计数警报器11，成像显示屏21与计数警报器11固定于固定台6的上表面。

如图1，工作台1的下方设有芯源转盘12，工作台1在芯源转盘12的上方开设有槽口，槽口内壁上固定有风扇13；工作台1上开设有安装孔，安装孔内固定有轴承14，轴承14外径与安装孔直径一致，轴承14内圈固定有旋转轴15，旋转轴15远离工作台1的端面与芯源转盘12固定连接，芯源转盘12在旋转轴15对称位置固顶焊有一磁性固定块8，工作台1朝向芯源转盘12的端面上开设有相对应的固定槽，固定槽尺寸大于固定块8尺寸，当芯源转盘12转入时，固定块8嵌于固定槽内。

装片机装片机构在正常使用时，将芯源转盘12转出，将晶圆盘放入芯源转盘12内，将芯源转盘12转入，芯源转盘12上的固定块8吸附在固定槽内，启动，运动架4在十字滑台7的带动下下降，感光器9跟着下降，感光器9感应到激光发射器10发出的激光时，传递信号给计数警报器11，计数警报器11内的实时数自动加一，实时数不小于上限数时，计数警报器11报警，提醒工作人员检查更换吸嘴3；实时数小于上限数时，装片机装片机构正常运转；吸嘴3跟随运动架4下降，穿过水平工作台1上的槽口，真空泵2开启，吸嘴3对晶圆盘上的芯片进行吸取，吸取后，运动架4上升，运动架4在十字滑台7的带动下水平移动到待焊引线框架的正上方，通过图像传感器12对芯片的位置进行调整，保证芯片焊接的精确，运动架4下降，芯片放置于待焊位置，运动架4上升，离开引线框架，完成焊接。

装片机上的吸嘴3发生损坏时，吸嘴3的工作端的边缘发生磨损时，真空泵2抽气，吸嘴3吸附芯片，由于磨损，会产生漏气现象，此时金属管5内的压强会发生变化，压力传感器16会传递信号给磨损警报器，磨损警报器报警提醒工作人员检修与更换吸嘴3。

本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims (7)

1.一种装片机装片机构，包括水平工作台（1）和芯片放取机构，芯片放取机构包括真空泵（2）、吸嘴（3）和运动架（4），其特征在于：所述运动架（4）上固定有金属管（5），金属管（5）一端与真空泵（2）相连，另一端与吸嘴（3）相连，所述工作台（1）上固定有固定台（6），所述固定台（6）靠近运动架（4）的侧面上固定有十字滑台（7），所述十字滑台（7）与运动架（4）相连，运动架（4）朝向固定台（6）的侧面固定有感光器（9），所述固定台（6）上设有正对感光器（9）的激光发射器（10），所述固定台（6）上固定有计数警报器（11），所述感光器（9）与计数警报器（11）电连接。

2.根据权利要求1所述的一种装片机装片机构，其特征在于：工作台（1）下方设有芯源转盘（12），工作台（1）在芯源转盘（12）的上方开有槽口，槽口内壁上设有风扇（13）。

3.根据权利要求2所述的一种装片机装片机构，其特征在于：所述工作台（1）上开设有安装孔，安装孔内固定有轴承（14），轴承（14）内圈固定有旋转轴（15），旋转轴（15）远离工作台（1）的一端连接芯源转盘（12），所述芯源转盘（12）的上表面固定有磁性固定块（8），所述工作台（1）的侧壁上开设有容纳固定块（8）的固定槽。

4.根据权利要求1所述的一种装片机装片机构，其特征在于：装片机构还包括磨损警报器，所述真空泵（2）与吸嘴（3）之间设有压力传感器（16），所述压力传感器（16）与磨损警报器电连接。

5.根据权利要求1所述的一种装片机装片机构，其特征在于：金属管（5）与吸嘴（3）螺纹连接，连接处设有密封箍（17），密封箍（17）内设有密封垫。

6.根据权利要求1所述的一种装片机装片机构，其特征在于：所述吸嘴（3）的下端设为锥形，所述吸嘴（3）的下端面处封堵有挡片（18），所述挡片（18）的中间开设有过气孔（19）。

7.根据权利要求1所述的一种装片机装片机构，其特征在于：所述运动架（4）的下端面上设有摄像头（20），所述固定台（6）上固定有成像显示屏（21），所述摄像头（20）与成像显示屏（21）电连接。