JP5542384B2 - リニアモータアクチュエータ及び多軸リニアモータアクチュエータ - Google Patents
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Description
上記課題を解決するために、本発明の第二の態様は、複数のマグネットを有し、軸線方向にN極及びS極が交互に形成される第一の軸部材と、前記第一の軸部材を囲み、前記第一の軸部材の軸線方向に積層される複数のコイルと、前記複数のコイルが収容されるハウジングと、前記第一の軸部材と平行に配置される第二の軸部材と、前記ハウジングに対して前記第一の軸部材がその軸線方向に直線運動するのに連れて、前記第二の軸部材がその軸線方向に直線運動するように、前記第一の軸部材と前記第二の軸部材を連結する第一の
連結部材と、前記第二の軸部材がその軸線方向に直線運動できるように前記第二の軸部材と前記ハウジングとを連結すると共に、前記第一の軸部材の軸線の回りを前記第二の軸部材が旋回するのを防止する第二の連結部材と、を備え、前記第二の軸部材が中空であり、前記第二の軸部材の先端部に設けた吸着具で移動体を吸着できるように真空吸引されるリニアモータアクチュエータである。
上記課題を解決するために、本発明の第三の態様は、複数のマグネットを有し、軸線方向にN極及びS極が交互に形成される第一の軸部材と、前記第一の軸部材を囲み、前記第一の軸部材の軸線方向に積層される複数のコイルと、前記複数のコイルが収容されるハウジングと、前記第一の軸部材と平行に配置される第二の軸部材と、前記ハウジングに対して前記第一の軸部材がその軸線方向に直線運動するのに連れて、前記第二の軸部材がその軸線方向に直線運動するように、前記第一の軸部材と前記第二の軸部材を連結する第一の連結部材と、前記第二の軸部材がその軸線方向に直線運動できるように前記第二の軸部材と前記ハウジングとを連結すると共に、前記第一の軸部材の軸線の回りを前記第二の軸部材が旋回するのを防止する第二の連結部材と、を備え、前記第二の連結部材には、ケーシングが取り付けれ、当該ケーシングには前記第二の軸部材がその軸線方向に直線運動するのを案内する外筒が収容されるリニアモータアクチュエータである。
Claims (8)
- 複数のマグネットを有し、軸線方向にN極及びS極が交互に形成される第一の軸部材と、
前記第一の軸部材を囲み、前記第一の軸部材の軸線方向に積層される複数のコイルと、
前記複数のコイルが収容されるハウジングと、
前記第一の軸部材と平行に配置される第二の軸部材と、
前記ハウジングに対して前記第一の軸部材がその軸線方向に直線運動するのに連れて、前記第二の軸部材がその軸線方向に直線運動するように、前記第一の軸部材と前記第二の軸部材を連結する第一の連結部材と、
前記第二の軸部材がその軸線方向に直線運動できるように前記第二の軸部材と前記ハウジングとを連結すると共に、前記第一の軸部材の軸線の回りを前記第二の軸部材が旋回するのを防止する第二の連結部材と、を備え、
前記ハウジングに対して前記第一の軸部材がその軸線の回りを回転できないように、前記第一の軸部材が前記第一の連結部材に固定されるリニアモータアクチュエータ。 - 前記第一の連結部材に対して前記第二の軸部材がその軸線の回りを回転できないように、前記第二の軸部材が前記第一の連結部材に固定されることを特徴とする請求項1に記載のリニアモータアクチュエータ。
- 複数のマグネットを有し、軸線方向にN極及びS極が交互に形成される第一の軸部材と、
前記第一の軸部材を囲み、前記第一の軸部材の軸線方向に積層される複数のコイルと、
前記複数のコイルが収容されるハウジングと、
前記第一の軸部材と平行に配置される第二の軸部材と、
前記ハウジングに対して前記第一の軸部材がその軸線方向に直線運動するのに連れて、前記第二の軸部材がその軸線方向に直線運動するように、前記第一の軸部材と前記第二の軸部材を連結する第一の連結部材と、
前記第二の軸部材がその軸線方向に直線運動できるように前記第二の軸部材と前記ハウジングとを連結すると共に、前記第一の軸部材の軸線の回りを前記第二の軸部材が旋回するのを防止する第二の連結部材と、を備え、
前記第二の軸部材が中空であり、前記第二の軸部材の先端部に設けた吸着具で移動体を吸着できるように真空吸引されるリニアモータアクチュエータ。 - 複数のマグネットを有し、軸線方向にN極及びS極が交互に形成される第一の軸部材と、
前記第一の軸部材を囲み、前記第一の軸部材の軸線方向に積層される複数のコイルと、
前記複数のコイルが収容されるハウジングと、
前記第一の軸部材と平行に配置される第二の軸部材と、
前記ハウジングに対して前記第一の軸部材がその軸線方向に直線運動するのに連れて、前記第二の軸部材がその軸線方向に直線運動するように、前記第一の軸部材と前記第二の軸部材を連結する第一の連結部材と、
前記第二の軸部材がその軸線方向に直線運動できるように前記第二の軸部材と前記ハウジングとを連結すると共に、前記第一の軸部材の軸線の回りを前記第二の軸部材が旋回するのを防止する第二の連結部材と、を備え、
前記第二の連結部材には、ケーシングが取り付けられ、当該ケーシングには前記第二の軸部材がその軸線方向に直線運動するのを案内する外筒が収容されるリニアモータアクチュエータ。 - 前記外筒は、前記第二の軸部材の軸線方向に離間させた状態で少なくとも二つ設けられることを特徴とする請求項4に記載のリニアモータアクチュエータ。
- 前記第二の軸部材の外周面には、前記第二の軸部材の軸線方向に伸びる複数のスプライン溝が形成され、
前記少なくとも二つの外筒それぞれには、前記複数本のスプライン溝に対向する複数の転動体転走溝が形成されると共に、前記複数のスプライン溝と前記複数の転動体転走溝との間を転がる転動体を循環させる複数の転動体循環経路が設けられ、
前記少なくとも二つの外筒が前記第二の軸部材に対して反対方向にねじられた状態で前記ケーシングに収容されることを特徴とする請求項5に記載のリニアモータアクチュエータ。 - 前記第二の軸部材、前記第一の連結部材、及び前記第二の連結部材から構成される回転阻止構造が、前記第一の軸部材の軸線方向の両端部に設けられることを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載のリニアモータアクチュエータ。
- 請求項1ないし7のいずれかに記載のリニアモータアクチュエータが複数組み合わされた多軸リニアモータアクチュエータであって、
複数の第二の軸部材の軸線が平行に配置され、かつ、隣り合う一対のリニアモータアクチュエータの一対の第一の軸部材が、隣り合う一対の第二の軸部材の軸線が含まれる平面を挟んで当該平面の両側に配置されることを特徴とする多軸リニアモータアクチュエータ。
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