JP2000092813A - リニアモータ駆動装置 - Google Patents

リニアモータ駆動装置

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JP2000092813A
JP2000092813A JP10258167A JP25816798A JP2000092813A JP 2000092813 A JP2000092813 A JP 2000092813A JP 10258167 A JP10258167 A JP 10258167A JP 25816798 A JP25816798 A JP 25816798A JP 2000092813 A JP2000092813 A JP 2000092813A
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Japan
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linear motor
bearing
guide shaft
driven body
driving device
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JP10258167A
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English (en)
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Katsuhiro Nanba
克宏 難波
Mitsutoshi Iko
光俊 位高
Masazo Ishiyama
雅三 石山
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Minolta Co Ltd
Original Assignee
Minolta Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 被駆動体を所定方向に駆動するために、固定
子及び被駆動体に連結される可動子とからなるリニアモ
ータ、可動子を所定方向に案内するためのガイド部材及
び可動子に連結され、前記ガイド部材に当接する軸受け
部材とを備えるリニアモータ駆動装置であって、可動子
から発生する振動が、被駆動体、軸受け部材、ガイド部
材に伝達されるのを抑制できるリニアモータ駆動装置を
提供する。 【解決手段】 所定方向に延びるガイド軸1に形成され
た界磁マグネットFMをモータ固定子とし、界磁マグネ
ットFMに外嵌する電機子コイルACをモータ可動子と
するシャフト型リニアモータでキャリッジ(被駆動体)
CGを駆動するリニアモータ駆動装置。電機子コイルA
Cは、ゴムG11、G12を介してガイド軸1に外嵌す
る軸受けB1、B2に連結する。キャリッジCGは、軸
受けB1、B2に連結する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、被駆動体を所定方
向に直線的に移動させることができるリニアモータを利
用したリニアモータ駆動装置に関する。
【0002】
【従来の技術】リニアモータを利用して、被駆動体を直
線的に移動させることができるリニアモータ駆動装置の
一例の概略断面図を図21に示す。図21に示すリニア
モータ駆動装置は、被駆動体としてキャリッジCGを所
定方向に直線的に駆動するためのものである。キャリッ
ジCGに所定の機器を搭載すれば、その機器も被駆動体
としてリニアモータ駆動装置によって所定方向に直線的
に駆動することができる。
【0003】このリニアモータ駆動装置は、所定方向に
直線的に延びるガイド軸91とガイド板92を備えてい
る。ガイド軸91とガイド板92は、その両端部がフレ
ームFR93、FR94に支持されている。ガイド軸9
1は磁性材料からなり、N極の磁極とS極の磁極が交互
に並ぶ界磁マグネットFMが形成されている。
【0004】ガイド軸91には、コイルユニットCUが
外嵌している。コイルユニットCUは、リング状の電機
子コイルAC及び電機子コイルACを外側から覆うコイ
ルカバーCcからなる。電機子コイルACは、U相コイ
ルLu、V相コイルLv及びW相コイルLwの三つのリ
ング状コイルからなる。コイルLu、Lv、Lwはコイ
ルカバーCcに支持されている。コイルLu、Lv、L
wは、いずれもガイド軸91に形成された界磁マグネッ
トFMに臨んでいる。
【0005】コイルユニットCUには、ガイド軸91に
摺動可能に外嵌する軸受けB91、B92が連結されて
いる。これにより、コイルユニットCUは、ガイド軸9
1に沿って滑らかに往復移動できる。被駆動体であるキ
ャリッジCGは、軸受けB91、B92を介してコイル
ユニットCUに連結されている。キャリッジCGには、
ガイド板92上を転動できるローラRが配置されてい
る。これらにより、コイルユニットCUと一体的にキャ
リッジCGをガイド軸91に沿って安定した姿勢で移動
させることができる。
【0006】ガイド軸91に形成された界磁マグネット
FMとこれに臨む電機子コイルACにより、シャフト型
リニアモータが構成されている。このリニアモータは、
界磁マグネットFMをモータ固定子とし、電機子コイル
ACをモータ可動子とするリニアモータである。リニア
モータを次のように駆動することで、電機子コイルAC
を含むコイルユニットCUをガイド軸91に沿って駆動
でき、コイルユニットCUに連結されたキャリッジCG
をガイド軸91に沿って直線的に移動させることができ
る。
【0007】電機子コイルACの各相コイルに、例え
ば、そのコイルが臨む界磁マグネットFMの磁極の極
性、及びそのコイルとその磁極とのガイド軸長手方向
(固定子長手方向)における位置関係に応じて、パルス
状の電流を間欠的に流すことで、リニアモータを駆動で
きる。また、例えば、電機子コイルACの各相コイル
に、そのコイルが臨む界磁マグネットFMの磁極が形成
する磁界の大きさ及びその磁界の向きに応じた電流を流
しても、リニアモータを駆動できる。電機子コイルAC
の各相コイルへの通電量の制御は、PWM制御でなされ
ることがある。
【0008】このようなリニアモータ駆動装置は、例え
ばキャリッジに物品を搭載して、その物品を直線的に移
動させることに利用できる。リニアモータ駆動装置は、
例えばインク射出ノズルを有するプリントヘッドを所定
方向に直線的に移動させながら、ノズルから記録シート
に向けてインクを射出することで記録シートに描画する
インクジェットプリンタにおいて、プリントヘッドを搭
載するキャリッジの駆動に利用することができる。
【0009】また、リニアモータ駆動装置は、所定位置
に配置される原稿の画像を光学的に走査して、原稿画像
を読み取るイメージスキャナなどの画像読み取り装置に
おいて、原稿画像を光学的に走査するための光学機器を
搭載するキャリッジの駆動に利用することもできる。イ
ンクジェットプリンタや画像読み取り装置などの装置に
おいて、リニアモータ駆動装置を利用するとき、物品を
搭載するキャリッジCGが振動することで発生する不具
合を防止するなどのために、コイルユニットCU、軸受
けB91、B92及びキャリッジCGは、剛に連結され
て、剛性の高い構造となっている。剛に連結されたコイ
ルユニットCU、軸受けB91、B92及びキャリッジ
CGは、一つの剛体とみなすことができるため、これら
はほとんど弾性変形せず、弾性変形に起因する振動の発
生を抑制して、これらを一体的にガイド軸91に沿って
移動させることができる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、コイル
ユニットCU、軸受けB91、B92及びキャリッジC
Gが、剛に連結されて、剛性の高い構造となっているが
ために、次に述べる問題が発生する。前述のように電機
子コイルACの各相コイルにそれぞれパルス状の電流を
間欠的に流して、リニアモータをパルス駆動し、キャリ
ッジCGを駆動するときには、コイルユニットCUの電
機子コイルACから振動が発生してしまう。リニアモー
タをパルス駆動するときには、電機子コイルACの各相
コイルには、通常、高周波のパルス電流が流されるた
め、電機子コイルACからは高周波振動(細かな振動)
が発生しやすい。
【0011】また、前述のように電機子コイルACの各
相コイルへの通電量をPWM制御するときには、高い周
波数(オン間隔の周波数)の振動が電機子コイルACか
ら発生してしまう。特に、各相コイルへの通電量を大き
くするようにPWM制御しているときには、高周波振動
が発生しやすい。電機子コイルACから振動が発生する
と、前述のように電機子コイルACを含むコイルユニッ
トCU、軸受けB91、B92及びキャリッジCGが剛
に連結されているがため、その振動は軸受けB91、B
92や、キャリッジCGに伝達されて、これらも振動す
る。振動により騒音も発生する。しかも、電機子コイル
ACから発生した振動は、コイルユニットCU、軸受け
B91、B92及びキャリッジCGが剛性高く連結され
ているがため、減衰しにくい。
【0012】軸受けB91、B92に伝達された振動
は、これらが外嵌するガイド軸91にも伝達される。ガ
イド軸91が振動すると、ガイド軸91を支持するフレ
ームFR93、FR94も振動する。フレームFR9
3、FR94に、直接的、或いは間接的に支持された機
器等があれば、その機器も振動してしまう。振動は、ガ
イド軸91と軸受けB91、B92の間でも発生する。
ガイド軸長手方向の各位置でのガイド軸91の表面粗さ
の僅かな違いや、ガイド軸長手方向の各位置でのガイド
軸91と軸受け間の潤滑性の違いでも、ガイド軸91や
軸受けB91、B92は振動してしまう。また、ガイド
軸91を精度良く製作しても、ガイド軸91は長さ60
0mmに対して100μm程度は弓なりに曲がってしま
うので、その曲がりによっても軸受けB91、B92と
の摺動性が変化して、ガイド軸91や軸受けB91、B
92は振動してしまう。ガイド軸91の曲がりによっ
て、ガイド軸91と軸受けB91、B92がこじれて、
最悪の場合、キャリッジCGが移動できない事態も発生
してしまう。
【0013】ガイド軸91と軸受けB91、B92の間
で発生した振動は、軸受けB91、B92に剛に連結さ
れたキャリッジCGやコイルユニットACに伝達される
とともに、ガイド軸91を支持するフレームFR93、
FR94にも伝達される。したがって、例えば、インク
ジェットプリンタにおいて、インク射出ノズルを有する
プリントヘッドを搭載するキャリッジの駆動に、パルス
駆動されるリニアモータを利用するときには、電機子コ
イルACから発生した振動は、キャリッジに搭載された
プリントヘッドを振動させてしまう。同様に、ガイド軸
91と軸受けB91、B92の間で発生した振動は、キ
ャリッジに搭載されたプリントヘッドを振動させてしま
う。プリントヘッドが振動すると、プリントヘッドのノ
ズルから記録シートに向けて射出されるインクの射出位
置がぶれて、記録シートに形成される画像が劣化してし
まう。
【0014】また、例えば、イメージスキャナなどの光
学式画像読み取り装置において、光学機器を搭載するキ
ャリッジの駆動に、パルス駆動されるリニアモータを利
用するときには、電機子コイルACから発生した振動
は、キャリッジに搭載されたミラーなどの光学機器を振
動させてしまう。また、電機子コイルACから発生した
振動は、ガイド軸91を支持する装置フレームを介し
て、装置フレームに直接的、又は間接的に支持されたレ
ンズやイメージセンサなども振動させてしまう。同様
に、ガイド軸91と軸受けB91、B92の間で発生し
た振動は、キャリッジに搭載された光学機器を振動さ
せ、ガイド軸91を支持する装置フレームを介して、レ
ンズやイメージセンサなども振動させてしまう。これら
振動によって、イメージセンサで読み取った画像が劣化
してしまう。前述のように電機子コイルACへの通電量
をPWM制御するなどの場合において、電機子コイルA
Cから発生する振動の周期(周波数)が画素ピッチに近
いときには、さらに画像劣化(MTF劣化)がひどくな
る。
【0015】光学機器を搭載するキャリッジを回転モー
タで駆動するイメージスキャナーにおいて、キャリッジ
を案内するガイド軸を弾性部材を介して装置フレームで
支持する手法が提案されている。光学機器を搭載するキ
ャリッジの駆動をパルス駆動されるリニアモータで行う
画像読み取り装置に、この手法を適用しても、ガイド軸
を支持する装置フレームを介して、装置フレームに支持
されたレンズやイメージセンサへの振動の伝達は抑制で
きても、キャリッジへの振動の伝達は抑制できない。
【0016】以上述べた不具合は、図21に示すシャフ
ト型のリニアモータ利用のリニアモータ駆動装置だけで
なく、例えばプレーン型のリニアモータや、リニアパル
スモータ利用のリニアモータ駆動装置においても発生し
うる。また、ムービングコイル型のリニアモータ利用の
リニアモータ駆動装置だけでなく、ムービングマグネッ
ト型のリニアモータ利用のリニアモータ駆動装置におい
ても、上記述べた不具合は発生しうる。
【0017】そこで本発明は、被駆動体を所定方向に直
線的に駆動するために、所定方向に直線的に延びる固定
子及び該固定子に沿って往復移動することができ、前記
被駆動体に連結される可動子とからなるリニアモータを
備えるリニアモータ駆動装置であって、可動子から発生
する振動の被駆動体への伝達を従来より抑制できるリニ
アモータ駆動装置を提供することを課題とする。
【0018】また、本発明は、被駆動体を所定方向に直
線的に駆動するために、所定方向に直線的に延びる固定
子及び該固定子に沿って往復移動することができ、前記
被駆動体に連結される可動子とからなるリニアモータ、
前記所定方向に延び、前記可動子を該所定方向に案内す
るためのガイド部材並びに前記可動子に連結され、前記
ガイド部材に当接して該可動子を該ガイド部材に沿って
移動させるための軸受け部材とを備えるリニアモータ駆
動装置であって、次の(A)〜(E)の利点を1又は2
以上有するリニアモータ駆動装置を提供することを課題
とする。 (A)可動子から発生する振動の軸受け部材への伝達を
従来より抑制できる。 (B)可動子から発生する振動が、軸受け部材を介して
ガイド軸に伝達されるのを従来より抑制できる。 (C)ガイド部材と軸受け部材の間で発生する振動の可
動子への伝達を従来より抑制できる。 (D)ガイド部材と軸受け部材の間で発生する振動自体
を従来より抑制できる。 (E)ガイド部材と軸受け部材のこじれを抑制して、可
動子が移動できなくなる事態を抑制できる。
【0019】また、本発明は、被駆動体を所定方向に直
線的に駆動するために、所定方向に直線的に延びるガイ
ド軸と、ガイド軸に形成された界磁マグネットと、ガイ
ド軸に摺動可能に外嵌する軸受けと、ガイド軸に外嵌し
て界磁マグネットに臨み、軸受けに連結されて該ガイド
軸に沿って往復移動可能で、被駆動体に連結された電機
子コイルとを備えるリニアモータ駆動装置であって、次
の(a)〜(f)の利点を1又は2以上有するリニアモ
ータ駆動装置を提供することを課題とする。 (a)電機子コイルから発生する振動の被駆動体への伝
達を従来より抑制できる。 (b)電機子コイルから発生する振動の軸受けへの伝達
を従来より抑制できる。 (c)電機子コイルから発生する振動が、軸受けを介し
てガイド軸に伝達されることを従来より抑制できる。 (d)軸受けとガイド軸の間で発生する振動が、被駆動
体へ伝達されることを従来より抑制できる。 (e)軸受けとガイド軸の間で発生する振動自体を従来
より抑制できる。 (f)軸受けとガイド軸のこじりを抑制して、電機子コ
イル及びこれに連結された被駆動体が移動できなくなる
事態を抑制できる。
【0020】
【課題を解決するための手段】(I) 前記課題を解決
するために本発明は、次の第1〜第3の三つのタイプの
リニアモータ駆動装置を提供する。 (1)第1タイプのリニアモータ駆動装置 被駆動体を所定方向に直線的に駆動するためのリニアモ
ータ駆動装置であって、前記所定方向に直線的に延びる
固定子及び該固定子に沿って往復移動することができ、
前記被駆動体に連結された可動子とからなるリニアモー
タを備え、前記可動子は前記被駆動体に弾性部材を介し
て連結されていることを特徴とするリニアモータ駆動装
置。
【0021】第1タイプのリニアモータ駆動装置は、被
駆動体を所定方向に直線的に駆動するために、リニアモ
ータを備えている。リニアモータを利用して被駆動体を
駆動する。リニアモータは、固定子と可動子を有してい
る。固定子は、被駆動体を駆動すべき所定方向に直線的
に延びている。可動子は、固定子に沿って、所定方向に
往復移動することができる。被駆動体は可動子に連結さ
れている。
【0022】第1タイプのリニアモータ駆動装置におい
ては、可動子は被駆動体に弾性部材を介して連結されて
いる。これにより、可動子から発生する振動をその弾性
部材で減衰することができる。例えば、可動子又は固定
子に設けられている電機子コイルへの通電量(コイルに
流される電流の大きさ)の調整をPWM制御で行うとき
には、可動子は振動しやすい。したがって、可動子から
発生する振動の被駆動体への伝達を抑制することができ
る。
【0023】弾性部材としては、例えば防振ゴム、弾性
合成樹脂(弾性シリコン樹脂)、金属及び(又は)樹脂
と弾性ゴムとを積層した積層材、各種バネなどからなる
ものを挙げることができる。 (2)第2タイプのリニアモータ駆動装置 被駆動体を所定方向に直線的に駆動するためのリニアモ
ータ駆動装置であって、前記所定方向に直線的に延びる
固定子及び該固定子に沿って往復移動することができ、
前記被駆動体に連結される可動子とからなるリニアモー
タと、前記所定方向に延び、前記可動子を該所定方向に
案内するためのガイド部材と、前記可動子に連結され、
前記ガイド部材に当接して該可動子を該ガイド部材に沿
って移動させるための軸受け部材とを備え、前記軸受け
部材は前記可動子に弾性部材を介して連結されているこ
とを特徴とするリニアモータ駆動装置。
【0024】第2タイプのリニアモータ駆動装置は、固
定子及び可動子からなるリニアモータ、ガイド部材及び
軸受け部材を備えている。固定子は所定方向に延びてい
る。可動子はガイド部材及び軸受け部材によって、固定
子に沿って所定方向に往復移動することができる。被駆
動体は可動子に連結されている。
【0025】ガイド部材は、可動子を固定子に沿って移
動させるために所定方向に延びている。軸受け部材は可
動子に連結されている。軸受け部材は、ガイド部材と当
接しており、可動子をガイド部材に沿って、したがって
固定子に沿って所定方向に案内することができる。第2
タイプのリニアモータ駆動装置においては、軸受け部材
は可動子に弾性部材を介して連結されている。これによ
り、可動子から発生する振動をその弾性部材で減衰する
ことができる。したがって、可動子から発生する振動
が、軸受け部材へ伝達されることを抑制することができ
る。可動子から発生する振動が、軸受け部材を介してガ
イド部材に伝達されることを抑制できる。可動子から発
生する振動が、ガイド部材を支持するフレームに伝達さ
れることを抑制でき、そのフレームに直接的又は間接的
に支持された他の機器の振動も抑制できる。
【0026】また、ガイド部材と軸受け部材の間で発生
する振動が、可動子に伝達されることも抑制できる。し
たがって、ガイド部材と軸受け部材の間で発生する振動
が、可動子に連結された被駆動体へ伝達されることを抑
制できる。さらに、ガイド部材と軸受け部材のこじれを
抑制できる。これにより、可動子が移動できなくなる事
態を抑制できる。
【0027】弾性部材としては、例えば防振ゴム、弾性
合成樹脂(弾性シリコン樹脂)、金属及び(又は)樹脂
と弾性ゴムとを積層した積層材、各種バネなどからなる
ものを挙げることができる。 (3)第3タイプのリニアモータ駆動装置 被駆動体を所定方向に直線的に駆動するためのリニアモ
ータ駆動装置であって、前記所定方向に直線的に延びる
固定子及び該固定子に沿って往復移動することができ、
前記被駆動体に連結される可動子とからなるリニアモー
タと、前記所定方向に延び、前記可動子を該所定方向に
案内するためのガイド部材と、前記可動子に連結され、
前記ガイド部材に当接して該可動子を該ガイド部材に沿
って移動させるための軸受け部材とを備え、前記軸受け
部材は弾性材料からなることを特徴とするリニアモータ
駆動装置。
【0028】第3タイプのリニアモータ駆動装置は、第
2タイプのリニアモータ駆動装置と同様に、固定子及び
可動子からなるリニアモータ、ガイド部材及び軸受け部
材を備えている。第3タイプのリニアモータ駆動装置に
おいては、軸受け部材自身が弾性材料からなる。これに
より、可動子から発生する振動をその弾性材料からなる
軸受けで減衰することができる。したがって、可動子か
ら発生する振動が、軸受け部材を介してガイド部材に伝
達されることを抑制できる。可動子から発生する振動
が、ガイド部材を支持するフレームに伝達されることを
抑制でき、そのフレームに直接的又は間接的に支持され
た他の機器の振動も抑制できる。
【0029】また、ガイド部材と軸受け部材の間で発生
する振動自体を抑制できる。さらに、ガイド部材と軸受
け部材のこじれを抑制できる。これにより、可動子が移
動できなくなる事態を抑制できる。弾性材料からなる軸
受けの材料としては、例えばゴムなどを挙げることがで
きる。
【0030】第1〜第3のいずれのタイプのリニアモー
タ駆動装置においても、可動子及び固定子からなるリニ
アモータは、例えばガイド軸に形成された界磁マグネッ
トをモータ固定子とし、界磁マグネットに外嵌する電機
子コイルをモータ可動子とするシャフト型リニアモータ
とすることができる。リニアモータは、ガイド軸に形成
された界磁マグネットをモータ可動子とし、界磁マグネ
ットに外嵌する電機子コイルをモータ固定子とするシャ
フト型リニアモータとしてもよい。リニアモータがシャ
フト型リニアモータの場合には、ガイド部材がモータ固
定子の機能を兼ねていてもよく、逆にモータ固定子がガ
イド部材の機能を兼ねていてもよい。リニアモータは、
平板状のN極磁極と平板状のS極磁極が交互に並ぶ界磁
マグネットをモータ固定子とし、界磁マグネットに臨む
電機子コイルをモータ可動子とするプレーン型リニアモ
ータとしてもよい。リニアモータは、平板状のN極磁極
と平板状のS極磁極が交互に並ぶ界磁マグネットをモー
タ可動子とし、界磁マグネットに臨む電機子コイルをモ
ータ固定子とするプレーン型リニアモータとしてもよ
い。リニアモータは、複数の磁極歯をモータ固定子と
し、この磁極歯に臨み、コイルが巻き回された磁極歯を
モータ可動子とするリニアパルスモータとしてもよい。
リニアモータは、複数の磁極歯をモータ可動子とし、こ
の磁極歯に臨み、コイルが巻き回された磁極歯をモータ
固定子とするリニアパルスモータとしてもよい。 (II) シャフト型リニアモータを備えるリニアモー
タ駆動装置として、次のリニアモータ駆動装置を挙げる
ことができる。
【0031】すなわち、被駆動体を所定方向に直線的に
駆動するためのリニアモータ駆動装置であって、前記所
定方向に直線的に延びるガイド軸と、前記所定方向にN
極の磁極とS極の磁極が交互に並び、前記ガイド軸に形
成された界磁マグネットと、前記ガイド軸に摺動可能に
外嵌する軸受けと、前記ガイド軸に外嵌して前記界磁マ
グネットに臨み、前記軸受けに連結されて該ガイド軸に
沿って往復移動可能で、前記被駆動体に連結された電機
子コイルとを備え、前記被駆動体は、前記電機子コイル
に弾性部材を介して連結されていることを特徴とするリ
ニアモータ駆動装置である。
【0032】このシャフト型リニアモータ利用のリニア
モータ駆動装置は、ガイド軸、界磁マグネット、軸受け
及び電機子コイルを備えている。ガイド軸は、被駆動体
を駆動すべき所定方向に延びている。界磁マグネット
は、ガイド軸に形成されている。界磁マグネットは、所
定方向(ガイド軸長手方向)にN極の磁極とS極の磁極
が交互に並んだものである。
【0033】軸受けは、ガイド軸に外嵌している。軸受
けは、ガイド軸に沿って滑らかに往復移動できる。電機
子コイルは、ガイド軸に外嵌している。これにより、電
機子コイルは、ガイド軸に形成された界磁マグネットに
臨んでいる。電機子コイルは、軸受けに連結されてい
る。これにより、電機子コイルは、ガイド軸に沿って往
復移動することができる。
【0034】ガイド軸に形成された界磁マグネットと、
界磁マグネットに外嵌する電機子コイルによりシャフト
型リニアモータが構成されている。このシャフト型リニ
アモータは、界磁マグネットをモータ固定子とし、電機
子コイルをモータ可動子とするものである。被駆動体
は、電機子コイル(モータ可動子)に連結されている。
被駆動体は、電機子コイル(モータ可動子)に弾性部材
を介して連結されている。電機子コイルに通電すること
で、電機子コイルをガイド軸に沿って駆動し、被駆動体
をガイド軸に沿って所定方向に駆動することができる。
【0035】以上述べたように、被駆動体、電機子コイ
ル、軸受けは連結されており、被駆動体と電機子コイル
の間には弾性部材が介在している。被駆動体、電機子コ
イル、軸受け及び弾性部材は、一体的にガイド軸に沿っ
て移動する。被駆動体と電機子コイルの間に弾性部材が
介在した被駆動体、電機子コイル、軸受け及び弾性部材
の連結の態様としては、例えば次の〜の連結態様を
挙げることができる。 電機子コイルと軸受けは弾性部材を介して連結され
ており、被駆動体は軸受けと剛に連結されている。 電機子コイルは軸受けと剛に連結されており、被駆
動体は軸受けに弾性部材を介して連結されている。 電機子コイルは軸受けと剛に連結されており、被駆
動体は電機子コイルと弾性部材を介して連結されてい
る。 電機子コイルは弾性材料からなる軸受けに連結され
ており、被駆動体は電機子コイルと弾性部材を介して連
結されている。 被駆動体は弾性材料からなる軸受けを介して電機子
コイルに連結されている。 被駆動体は電機子コイルと弾性部材を介して連結さ
れており、軸受けは弾性部材に連結されている。 被駆動体は電機子コイルと弾性部材を介して連結さ
れており、軸受けは被駆動体に剛に連結されている。
【0036】なお、二つの部材が剛に連結された状態と
は、連結された二つの部材が一つの剛体とみなすことが
できるように、弾性部材を介さずに連結された状態のこ
とをいう。二つの部材が連結されているいうときは、こ
れら二つの部材は、別の第三の部材を介して間接的に連
結されていてもよい。また、二つの部材が弾性部材を介
して連結されているというときは、これら二つの部材
は、別の第三の部材及び弾性部材を介して連結されてい
てもよい。
【0037】上記〜の連結態様を模式的に表せば、
次のようになる。 コイル−弾性部材−軸受け−被駆動体 コイル−軸受け−弾性部材−被駆動体 軸受け−コイル−弾性部材−被駆動体 弾性軸受け−コイル−弾性部材−被駆動体 コイル−弾性軸受け−被駆動体 コイル−弾性部材−被駆動体−軸受け 上記〜のいずれの連結態様でも、電機子コイルと被
駆動体の間には、弾性部材(弾性材料からなる軸受けを
含む)が介在しているので、電機子コイルから発生する
振動は弾性部材で減衰でき、被駆動体に伝達されるのを
抑制できる。電機子コイルへの通電量の調整をPWM制
御で行うときには、電機子コイルは振動しやすい。
【0038】上記、、のように、電機子コイルと
軸受けの間に弾性部材(弾性材料からなる軸受けを含
む)が介在している連結態様、及び上記、のように
軸受け自体が弾性材料からなる連結態様では、電機子コ
イルから発生する振動が軸受けへ伝達されることも抑制
できる。電機子コイルから発生する振動が軸受けを介し
てガイド軸に伝達されることも抑制できる。
【0039】上記、のように軸受け自体が弾性材料
からなるものであるときには、軸受けとガイド軸のこじ
りを抑制できる。また、軸受けとガイド軸の間で発生す
る振動自体を低減できる。上記、、、、のよ
うに、軸受け(弾性材料からなる軸受けを含む)と被駆
動体の間に弾性部材が介在している連結態様では、軸受
けとガイド軸の間で発生する振動が、被駆動体へ伝達さ
れることも抑制できる。
【0040】前記ガイド軸(以下、第1ガイド軸とい
う)と平行に配置された第2のガイド軸を設けるととも
に、被駆動体に第2ガイド軸に摺動可能に外嵌する軸受
けを設けて、第1ガイド軸に外嵌する軸受けの規制力を
第2ガイド軸に外嵌する軸受けの規制力より小さくして
もよい。軸受けの規制力は、例えば軸受けの内周とガイ
ド軸の外周のクリアランスを調整することで、大きくし
たり、小さくすることができる。界磁マグネットが形成
されている第1ガイド軸が多少曲がっていても、この第
1ガイド軸に外嵌する軸受けの規制力が小さいため、こ
の軸受けと第1ガイド軸がこじれて、電機子コイルやこ
れに連結された被駆動体が移動できなくなることを抑制
できる。また、第2ガイド軸に外嵌する軸受けの規制力
を十分に大きくしておくことで、第1ガイド軸が多少曲
がっていても、電機子コイル及びこれに連結された被駆
動体を第2ガイド軸に沿って直線的に移動させることが
できる。
【0041】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。 (1)図1に本発明に係るリニアモータ駆動装置LD1
の概略平面図を示す。また、図2にリニアモータ駆動装
置LD1の図1のX−X線に沿う概略断面図を示す。
【0042】リニアモータ駆動装置LD1は、本例での
被駆動体であるキャリッジCGを所定方向に直線的に駆
動するためのものである。キャリッジCGに所定の機器
を搭載すれば、その機器も被駆動体としてリニアモータ
駆動装置LD1によって所定方向に直線的に駆動するこ
とができる。リニアモータ駆動装置LD1は、所定方向
に直線的に延びる断面円形のガイド軸1を備えている。
ガイド軸1はその両端部が図示を省略したフレームに支
持されている。
【0043】ガイド軸1は磁性材料からなる。ガイド軸
1は本例ではMnAlからなる。ガイド軸1は着磁され
ることで、N極の磁極とS極の磁極が交互に並ぶ界磁マ
グネットFMが形成されている。界磁マグネットFMの
一磁極幅Mwは本例では30mmである。ガイド軸1に
は、図3に示すコイルユニットCUが外嵌している。
【0044】コイルユニットCUは、リング状の電機子
コイルAC及び電機子コイルACを外側から覆うコイル
カバーCcからなる。電機子コイルACは、本例ではU
相コイルLu、V相コイルLv及びW相コイルLwの三
つのリング状コイルからなる。コイルLu、Lv、Lw
とコイルカバーCcは一体化されている。コイルLu、
Lv、Lwは、いずれもガイド軸1に形成された界磁マ
グネットFMに臨んでいる。コイルLu、Lv、Lw
は、それぞれコイル素線を同じように巻き回すことで、
同形状に形成されている。これら各コイルの幅は同じで
あり、本例では界磁マグネットFMの一磁極幅Mwの1
/3より小さい。コイルLu、Lv、Lwは、図4に示
すようにスター結線されている。
【0045】コイルカバーCcは、コイルLu、Lv、
Lwの外周面及び両側面を覆っており、これらコイルを
次のように支持している。コイルカバーCcは、これら
コイルのガイド軸長手方向における中心位置が互いにM
w/3ずつ離間するように、これらコイルを支持してい
る。コイルカバーCcは、電気絶縁性材料からなる。コ
イルユニットCUは、一方の端部において弾性部材であ
るゴムG11を介して軸受けB1に連結されており、他
方の端部において弾性部材であるゴムG12を介して軸
受けB2に連結されている。
【0046】ゴムG11、G12は、いずれもリング状
であり、ガイド軸1に外嵌している。ゴムG11、G1
2は、本例では防振ゴム(例えばブチルゴム)からな
る。軸受けB1、B2は、いずれもガイド軸1に外嵌す
るリング状のすべり軸受けであり、ガイド軸1に沿って
滑らかに摺動できる。これらにより、コイルユニットC
Uはガイド軸1に沿って滑らかに往復移動できる。
【0047】被駆動体であるキャリッジCGは、その一
方の端部において軸受けB1、B2に剛に連結されてい
る。キャリッジCGと軸受けB1、B2は、一つの剛体
を構成している。キャリッジCGの他方の端部には、ガ
イド軸1と平行に配置されたガイド板2の上を転動でき
るローラRが支持されている。これらにより、キャリッ
ジCGのガイド軸1回りの回転を防止して、キャリッジ
CGを安定した姿勢でガイド軸1に沿って往復移動させ
ることができる。
【0048】以上まとめると、リニアモータ駆動装置L
D1においては、電機子コイルACは、一方の端部にお
いてコイルカバーCc、ゴムG11を介して軸受けB1
に連結されており、他方の端部においてコイルカバーC
c、ゴムG12を介して軸受けB2に連結されている。
また、被駆動体であるキャリッジCGは軸受けB1、B
2と剛に連結されている。
【0049】ガイド軸1に形成された界磁マグネットF
Mとこれに臨む電機子コイルACにより、シャフト型リ
ニアモータが構成されている。このリニアモータは、界
磁マグネットFMをモータ固定子とし、電機子コイルA
Cをモータ可動子とするリニアモータである。電機子コ
イルACに通電することで、コイルユニットCUをガイ
ド軸1に沿って駆動することができ、キャリッジCGを
ガイド軸1に沿って所定方向に移動させることができ
る。
【0050】リニアモータを駆動するときに、電機子コ
イルACの各コイルが臨む界磁マグネットFMの磁極の
極性や、その磁極とのガイド軸長手方向における位置関
係を検出して、電機子コイルACのコイルLu、Lv、
Lwへの通電を制御するために、次の位置に三つのホー
ル素子h1 、h2 、h3 が配置されている。ホール素子
1 は、コイルLuのガイド軸長手方向における中心位
置から図2中右方向にMW /6ずれた位置に配置されて
いる。ホール素子h2 は、コイルLvのガイド軸長手方
向における中心位置から図2中右方向にMW /6ずれた
位置に配置されている。ホール素子h3 は、コイルLw
のガイド軸長手方向における中心位置から図2中右方向
にMW /6ずれた位置に配置されている。これらホール
素子h1、h2 、h3 は、それぞれコイルユニットCU
の外周面に配置されており、界磁マグネットFMに臨ん
でいる。
【0051】リニアモータ駆動装置LD1においては、
リニアモータをPLL制御するなどのためにリニアエン
コーダチャートEc及びエンコーダセンサEsを含むリ
ニアエンコーダが設けられている。リニアエンコーダ
は、本例では磁気式のものである。エンコーダチャート
(エンコーダスケール)Ecは、本例においてはガイド
軸1に形成された界磁マグネットFMに重畳させて形成
されている。エンコーダチャートEcは、ガイド軸長手
方向にN極の磁極とS極の磁極が所定ピッチで交互に並
んだものである。エンコーダチャートEcのエンコーダ
ピッチEpは、本例では100μmである。エンコーダ
センサEsは、軸受けB1に支持されており、エンコー
ダチャートEcに臨んでいる。
【0052】リニアモータの駆動制御装置4の概略ブロ
ック図を図4に示す。駆動制御装置4は、駆動指令部4
1、PLL制御部42、補償回路部43、通電制御部4
4及び三相相全波通電回路45を有している。前記ホー
ル素子h1 、h2 、h3 が検出した界磁マグネット信号
は、通電制御部44に入力される。ホール素子h1 、h
2 、h3 が検出した界磁マグネット信号は、増幅され、
矩形波信号に変換された後、通電制御回路部44に入力
される。
【0053】通電制御部44には、さらに駆動指令部4
1からキャリッジCGを駆動すべき方向(図2中右方向
又は左方向)を示す駆動方向信号が入力される。通電制
御部44は、ホール素子h1 、h2 、h3 からの界磁マ
グネット信号及び駆動指令部41からの駆動方向信号に
基づき、三相全波通電回路45のトランジスタQ1 〜Q
6 を制御して、次のように電機子コイルACの各コイル
にパルス通電する。
【0054】通電制御部44は、電機子コイルACの各
コイルに、それぞれそのコイルのガイド軸長手方向(固
定子長手方向)における中心位置が、界磁マグネットF
Mの磁極の駆動方向上流端よりMw/6駆動方向に進ん
だ位置から、さらに2Mw/3駆動方向に進む位置まで
の間、そのコイルが対向する磁極の極性に応じて、その
コイルが駆動方向に電磁力を発生する向きの電流を流
す。
【0055】図5に、キャリッジCGを図2中左方向に
駆動するときのホール素子h1 、h 2 、h3 の検出磁極
と各コイルへの通電タイミングとの位相関係及び各コイ
ルへの通電方向を示す。このように各コイルに通電する
ことで、リニアモータを推力変動少なく駆動することが
できる。駆動制御装置4においては、前記エンコーダセ
ンサEsが検出したエンコーダ信号が、PLL制御部4
2に入力され、次のようにしてリニアモータはPLL制
御される。なお、エンコーダセンサEsが検出したエン
コーダ信号は、図示を省略した増幅・矩形波回路によっ
て、増幅され、矩形波信号に変換された後、PLL制御
部42に入力される。
【0056】PLL制御部42には、さらに駆動指令部
41からキャリッジCGの目標速度(リニアモータの可
動子の目標速度)に応じた周波数の基準クロック信号が
入力される。PLL制御部42は、駆動指令部41から
のキャリッジCGの目標速度を示す基準クロック信号と
キャリッジCGの実際の移動速度を示すエンコーダ信号
との位相差に応じた信号を補償回路部43に出力する。
補償回路部43においては、伝達系の進み遅れ補償が行
われ、補償された基準クロック信号と移動速度信号との
位相差に応じた信号は、通電制御部44に入力される。
【0057】通電制御部44は、補償回路部43から入
力される信号に応じた大きさの電流を各コイルに通電す
る。通電制御部44は、各コイルへの通電量をPWM制
御にて調整する。通電制御部44は、前述のようにホー
ル素子h1 、h2 、h3 からの界磁マグネット信号及び
駆動指令部41からの駆動方向信号に基づき、前述のタ
イミングで各相コイルに通電する。
【0058】これらにより、電機子コイルACの各相コ
イルには、目標速度に応じた基準クロック信号とキャリ
ッジCGの実際の移動速度に応じたエンコーダ信号の位
相を合わせるような電流が流される。したがって、キャ
リッジCGが目標速度で移動するようにキャリッジCG
を駆動することができる。このように電機子コイルAC
の各コイルに間欠的にパルス電流を流して、推力を発生
させるため、コイルユニットCUから振動が発生しやす
い。また、各コイルへの通電量は、PWM制御にて調整
されるため、これによってもコイルユニットCUから振
動が発生しやすい。しかし、本発明のリニアモータ駆動
装置LD1においては、コイルユニットCUは、ゴムG
11、G12を介して軸受けB1、B2に連結され、さ
らには被駆動体であるキャリッジCGに連結されている
ため、コイルユニットCUから軸受けB1、B2、キャ
リッジCGへの振動の伝達を抑制できる。また、ゴムG
11、G12はコイルユニットCUから発生する振動を
減衰することができる。
【0059】したがって、被駆動体であるキャリッジC
Gをガイド軸1に沿って駆動するときにおいて、キャリ
ッジCGの振動を従来より抑制できる。キャリッジCG
に所定の機器を搭載して、キャリッジCGをガイド軸1
に沿って駆動するときには、その機器の振動も抑制でき
る。振動により発生する騒音も、従来より抑制できる。
【0060】また、コイルユニットCUから軸受けB
1、B2を介してガイド軸1への振動の伝達も従来より
抑制できる。したがって、ガイド軸1と同じフレーム
(図示省略)に支持されているリニアモータ駆動装置L
D1以外の機器があるときには、その機器への振動の伝
達も従来より抑制できる。コイルユニットCUから軸受
けB1、B2への振動の伝達が抑制できるので、逆に、
軸受けB1、B2とガイド軸1の間の摩擦力の変化など
によって発生する振動のコイルユニットCUへの伝達も
抑制できる。これにより、コイルユニットCUに支持さ
れたホール素子h1 、h2 、h3 の振動を抑制でき、こ
れらホール素子は正確に界磁マグネットFMの磁極の検
出ができるため、それだけ精度よくリニアモータを駆動
することができる。
【0061】ゴムG11、G12に代えて、例えば積層
ゴム、コイルバネ等のバネ、シリコンなど弾性部材を採
用してもよい。図6に積層ゴムの一例の概略断面図を示
す。図6に示す積層ゴムG2は、リング状の金属板G2
aとリング状のゴムG2bが順に積層されたものであ
る。金属板G2aに代えて樹脂性板を隣合うゴムG2b
の間に挟んでもよい。このような積層ゴムを採用する
と、比較的容易に吸収したい振動の方向や周波数に応じ
た弾性材とすることができる。
【0062】以下、本発明に係るリニアモータ駆動装置
の他の例(リニアモータ駆動装置LD2〜LD10)を
図面を参照して説明する。その後、本発明に係るリニア
モータ駆動装置を画像形成装置に適用した例及び本発明
に係るリニアモータ駆動装置をインクジェットプリンタ
に適用した例について説明する。なお、前述のリニアモ
ータ駆動装置LD1及び後述するリニアモータ駆動装置
LD2〜LD10を示す図面においては、相互に実質的
に同じ機能の部品については、同じ参照符号を付してあ
る。 (2)図7にリニアモータ駆動装置LD2の概略断面図
を示す。
【0063】リニアモータ駆動装置LD2においては、
コイルユニットCUにはその両端部において、軸受けB
1、B2が剛に連結されている。被駆動体であるキャリ
ッジCGは、ゴムG11を介して軸受けB1に連結され
ているとともに、ゴムG12を介して軸受けB2に連結
されている。これらにより、リニアモータ駆動装置LD
2においては、コイルユニットCUからキャリッジCG
への振動の伝達を抑制できる。また、軸受けB1、B2
とガイド軸の間の摺動抵抗の変動などによって発生する
振動のキャリッジCGへの伝達を抑制できる。 (3)図8にリニアモータ駆動装置LD3の概略断面図
を示す。また、図9にリニアモータ駆動装置LD3の図
8のY−Y線に沿う概略断面図を示す。
【0064】リニアモータ駆動装置LD3においては、
コイルユニットCUにはその両端部において、軸受けB
1、B2が剛に連結されている。被駆動体であるキャリ
ッジCGは、ゴムG31、G32を介してコイルユニッ
トCUに連結されている。これらにより、リニアモータ
駆動装置LD2においては、コイルユニットCUからキ
ャリッジCGへの振動の伝達を抑制できる。また、軸受
けB1、B2とガイド軸の間の摺動抵抗の変動などによ
って発生する振動のキャリッジCGへの伝達を抑制でき
る。 (4)図10にリニアモータ駆動装置LD4の概略断面
図を示す。
【0065】リニアモータ駆動装置LD4においては、
コイルユニットCUにはその両端部において、軸受けB
1、B2が剛に連結されている。被駆動体であるキャリ
ッジCGは、ゴムG41を介して軸受けB1に連結され
ているとともに、ゴムG42を介して軸受けB2に連結
されている。キャリッジCGは、ゴムG41、G42を
介してコイルユニットCUにも連結されている。
【0066】これらにより、リニアモータ駆動装置LD
4においては、コイルユニットCUからキャリッジCG
への振動の伝達を抑制できる。また、軸受けB1、B2
とガイド軸の間の摺動抵抗の変動などによって発生する
振動のキャリッジCGへの伝達を抑制できる。 (5)図11にリニアモータ駆動装置LD5の概略断面
図を示す。
【0067】リニアモータ駆動装置LD5においては、
コイルユニットCUにはその両端部において、軸受けB
3、B4が連結されている。軸受けB3、B4は、いず
れも弾性材料からなる弾性部材でもある。軸受けB3、
B4は、本例ではゴム(例えばブチルゴム、シリコンゴ
ムなど)からなる。被駆動体であるキャリッジCGは、
ゴムG31、G32を介してコイルユニットCUに連結
されている。
【0068】リニアモータ駆動装置LD5においては、
ゴムG31、G32によってコイルユニットCUからキ
ャリッジCGへの振動の伝達を抑制できる。弾性材料か
らなる軸受けB3、B4によって、コイルユニットCU
からガイド軸1への振動の伝達を抑制できる。ガイド軸
1が多少弓なりに曲がっていても、軸受けB3、B4が
弾性材料からなるため、ガイド軸1の形状なりに軸受け
B3、B4は弾性変形できるので、軸受けB3、B4と
ガイド軸1の間の摺動抵抗(リニアモータの負荷)の変
動を従来より抑制できる。その摺動抵抗の変動により発
生する振動も従来より抑制できる。その摺動抵抗の変動
などによって発生する振動のコイルユニットCUやキャ
リッジCGへの伝達を抑制できる。また、軸受けB3、
B4とガイド軸1のこじりを従来より抑制できる。 (6)図12にリニアモータ駆動装置LD6の概略断面
図を示す。
【0069】リニアモータ駆動装置LD6においては、
コイルユニットCUはその両端部において、弾性材料か
らなる軸受けB3、B4が連結されている。被駆動体で
あるキャリッジCGは、これら弾性材料からなる軸受け
B3、B4を介してコイルユニットCUに連結されてい
る。リニアモータ駆動装置LD6においては、弾性材料
からなる軸受けB3、B4によってコイルユニットCU
からキャリッジCGへの振動の伝達を抑制できる。コイ
ルユニットCUからガイド軸1への振動の伝達も抑制で
きる。ガイド軸1が多少弓なりに曲がっていても、軸受
けB3、B4とガイド軸1の間の摺動抵抗(リニアモー
タの負荷)の変動を従来より抑制できる。その摺動抵抗
の変動により発生する振動も従来より抑制できる。その
摺動抵抗の変動などによって発生する振動のコイルユニ
ットCUやキャリッジCGへの伝達を抑制できる。ま
た、軸受けB3、B4とガイド軸1のこじりを従来より
抑制できる。 (7)図13にリニアモータ駆動装置LD7の概略断面
図を示す。
【0070】リニアモータ駆動装置LD7においては、
コイルユニットCUは一方の端部においてゴムG11を
介して軸受けB1に連結されているとともに、他方の端
部にいてゴムG12を介して軸受けB2に連結されてい
る。被駆動体であるキャリッジCGは、ゴムG11、G
12に連結されている。すなわち、キャリッジCGは、
ゴムG11、G12を介してコイルユニットCUに連結
されている。
【0071】これらにより、リニアモータ駆動装置LD
7においては、コイルユニットCUからキャリッジCG
への振動の伝達を抑制できる。コイルユニットCUから
軸受けB1、B2への振動の伝達を抑制できるととも
に、軸受けB1、B2からコイルユニットCUへの振動
の伝達も抑制できる。軸受けB1、B2からキャリッジ
CGへの振動の伝達も抑制できる。 (8)図14にリニアモータ駆動装置LD8の概略断面
図を示す。
【0072】リニアモータ駆動装置LD8においては、
コイルユニットCUは一方の端部においてゴムG11を
介してキャリッジCGに連結されているとともに、他方
の端部にいてゴムG12を介してキャリッジCGに連結
されている。軸受けB1、B2は、キャリッジCGに剛
に連結されている。これらにより、リニアモータ駆動装
置LD8においては、コイルユニットCUからキャリッ
ジCGへの振動の伝達を抑制できる。また、コイルユニ
ットCUから軸受けB1、B2への振動の伝達を抑制で
きるとともに、軸受けB1、B2からコイルユニットC
Uへの振動の伝達も抑制できる。 (9)図15にリニアモータ駆動装置LD9の概略平面
図を示す。
【0073】リニアモータ駆動装置LD9は、被駆動体
であるキャリッジCGを所定方向に直線的に移動させる
ために、所定方向に延びる二つのガイド軸1、3を備え
ている。ガイド軸1、3は、いずれも断面円形のガイド
軸である。ガイド軸1には、界磁マグネットFMが形成
されている。界磁マグネットFMが形成されたガイド軸
1には、コイルユニットCUが外嵌している。
【0074】コイルユニットCUは、一方の端部におい
てゴムG11を介して軸受けB5が連結されており、他
方の端部においてゴムG12を介して軸受けB6が連結
されている。キャリッジCGは、ゴムG11に連結され
ているとともに、ゴムG12に連結されている。キャリ
ッジCGは、ガイド軸3に外嵌するリング状のすべり軸
受けB7、B8を有している。軸受けB7、B8はガイ
ド軸3に沿って滑らかに摺動できる。これらにより、キ
ャリッジCGはガイド軸1、3に沿って安定した姿勢で
往復移動することができる。
【0075】ガイド軸1に外嵌する軸受けB5、B6の
規制力は、ガイド軸3に外嵌する軸受けB7、B8の規
制力より小さい。本例においては、ガイド軸1と軸受け
B5、B6の間のクリアランスは、ガイド軸3と軸受け
B7、B8の間のクリアランスより大きい。キャリッジ
CGは、ガイド軸3に外嵌する軸受けB7、B8の規制
力によって、ガイド軸1、3と平行な所定方向に直線的
に移動させることができる。
【0076】リニアモータ駆動装置LD9においては、
コイルユニットCUからキャリッジCGへの振動の伝達
を抑制できる。コイルユニットCUから軸受けB5、B
6への振動の伝達を抑制できるとともに、軸受けB5、
B6からコイルユニットCUへの振動の伝達も抑制でき
る。軸受けB5、B6からキャリッジCGへの振動の伝
達も抑制できる。
【0077】また、ガイド軸1と、これに摺動可能に外
嵌する軸受けB5、B6の間のクリアランスをガイド軸
1の曲がりより大きくしておくことで、軸受けB5又は
B6とガイド軸1のこじりを防止できる。また、ガイド
軸1が多少弓なりに曲がっていても、ガイド軸3に外嵌
する軸受けB7、B8によって、キャリッジCGを直線
的に移動させることができる。 (10) 図16にリニアモータ駆動装置LD10の概
略平面図を示す。
【0078】リニアモータ駆動装置LD10は、リニア
モータ駆動装置LD9と同様に、二つのガイド軸1、3
を有している。ガイド軸1には軸受けB5、B6が外嵌
しており、ガイド軸3には軸受けB7、B8が外嵌して
いる。ガイド軸1に外嵌する軸受けB5、B6の規制力
は、ガイド軸3に外嵌する軸受けB7、B8の規制力よ
り小さい。
【0079】リニアモータ駆動装置LD10において
は、界磁マグネットFMが形成されたガイド軸1に外嵌
するコイルユニットCUは、軸受けB5、B6に剛に連
結されている。コイルユニットCUは、ゴムG5を介し
て被駆動体であるキャリッジCGに連結されている。ガ
イド軸3に外嵌する軸受けB7、B8はキャリッジCG
に剛に連結されている。
【0080】リニアモータ駆動装置LD10において
は、ゴムG5によってコイルユニットCUからキャリッ
ジCGへの振動の伝達を抑制できる。ガイド軸1と、こ
れに摺動可能に外嵌する軸受けB5、B6の間のクリア
ランスをガイド軸1の曲がりより大きくしておくこと
で、軸受けB5、B6とガイド軸1のこじりを防止でき
る。また、ガイド軸1が多少弓なりに曲がっていても、
ガイド軸3に外嵌する軸受けB7、B8によって、キャ
リッジCGを直線的に移動させることができる。 (11) 図17に本発明に係るリニアモータ駆動装置
を備える画像読み取り装置の概略側面図を示す。また、
図18にこの画像読み取り装置の概略平面図を示す。
【0081】この画像読み取り装置は、原稿台ガラスG
L上に載置される原稿の画像を読み取るためのものであ
る。なお、図18においてはガラスGLの図示が省略さ
れている。この画像読み取り装置においては、原稿画像
を光学的にイメージセンサISで読み取るために、イメ
ージセンサISに原稿画像光を入力するための光学機器
をガラスGLに平行に直線的に移動させ、原稿画像を光
学的に走査して、画像読み取りが行われる。イメージセ
ンサISに原稿画像光を入力するための光学機器の一部
は、二つのキャリッジCG1、CG2に搭載されてい
る。キャリッジCG1、CG2の駆動に、本発明に係る
リニアモータ駆動装置が利用されている。この画像読み
取り装置においては、前述の図1及び図2に示すリニア
モータ駆動装置LD1が、キャリッジCG1、CG2の
駆動に利用されている。
【0082】キャリッジCG1には、ガラスGL上に載
置された原稿に向けて光を照射するためのランプLP及
び原稿からの反射画像光をキャリッジCG2に向け反射
するミラーm1が搭載されている。キャリッジCG2に
は、ミラーm1からの原稿画像光をイメージセンサIS
に向け反射するミラーm2及びm3が搭載されている。
【0083】ランプLPから照射され、原稿画像面によ
って反射された原稿画像光は、ミラーm1、m2、m3
を介して、レンズLSを通してイメージセンサISに導
くことができる。レンズLS及びイメージセンサIS
は、画像読み取り装置のフレーム(図示省略)に支持さ
れている。イメージセンサISは、本例ではCCDセン
サである。
【0084】光学機器を搭載するキャリッジCG1、C
G2をガラスGLと平行に移動させるために、ガラスG
Lと平行にガイド軸1、ガイド板2が配置されている。
ガイド軸1、ガイド板2は、いずれも一方の端部におい
て画像読み取り装置のフレームFR3に支持されてお
り、他方の端部において画像読み取り装置のフレームF
R4に支持されている。フレームFR3とFR4は、図
示しない部分において連結されており、これらフレーム
は前述のレンズLS及びイメージセンサISを支持する
フレームにも連結されている。
【0085】ガイド軸1には、界磁マグネットFMが形
成されている。ガイド軸1には、界磁マグネットFMに
重畳させて磁気式のリニアエンコーダチャートEcも形
成されている。エンコーダチャートEcに臨む位置に
は、エンコーダセンサEsが配置されている。エンコー
ダセンサEsはキャリッジCG1に支持されている。ガ
イド軸1には、コイルユニットCUが外嵌している。
【0086】コイルユニットCUは、一方の端部におい
てゴムG11を介して軸受けB1に連結されており、他
方の端部においてゴムG12を介して軸受けB2に連結
されている。キャリッジCG1は、軸受けB1、B2に
剛に連結されている。すなわち、キャリッジCG1は、
軸受けB1、ゴムG11を介してコイルユニットCUに
連結されているとともに、軸受けB2、ゴムG12を介
してコイルユニットCUに連結されている。キャリッジ
CG1は、コイルユニットCUが連結された端部とは反
対側の端部に、ガイド板2上を転動できるローラR1を
有している。これらにより、キャリッジCG1は、ガイ
ド軸1に沿って安定した姿勢で往復移動できる。
【0087】キャリッジCG2は、ガイド軸1に摺動可
能に外嵌する二つの軸受けB91、B92及びガイド板
2上を転動できるローラR2を備えている。これらによ
り、キャリッジCG2は、ガイド軸1に沿って安定した
姿勢で往復移動できる。軸受けB91とB92は、ガイ
ド軸長手方向においてキャリッジCG1より外側に配置
されており、連結部材81などによって連結されてい
る。
【0088】キャリッジCG1とCG2は、ワイヤ及び
プーリーを用いて次のように連結されている。ワイヤW
は、一端が定位置フレームFR1に連結されており、軸
受けB91に支持されたプーリーp1に巻き掛けられ、
係止部材82によりキャリッジCG1に係止され、さら
に軸受けB92に支持されたプーリーp2に巻き掛けら
れて、他端が定位置フレームFR2に連結されている。
このようにキャリッジCG1とCG2を連結したこと
で、キャリッジCG1にゴムG11、G12を介して連
結されたコイルユニットCUを駆動すれば、キャリッジ
CG2をキャリッジCG1と同方向に駆動することがで
きる。このとき、キャリッジCG2の移動距離は、上記
のようなリンケージによってキャリッジCG1の移動距
離の1/2となる。これにより、画像走査中における原
稿画像面からイメージセンサISまでの光路長を一定に
することができる。
【0089】この画像読み取り装置においては、次のよ
うにしてガラスGL上に載置される原稿の画像を読み取
る。ランプLPを点灯して、界磁マグネットFMとこれ
に臨む電機子コイルACを含むシャフト型リニアモータ
でキャリッジCG1及びCG2を図17中右方向に駆動
する。これにより、原稿画像全体を光学的に走査(副走
査)する。リニアモータでキャリッジCG1、CG2を
駆動するときには、前述のようにリニアエンコーダなど
を利用してPLL制御が行われる。原稿画像を光学的に
走査している間に、ミラーm1、m2、m3により導か
れ、レンズLSを通してイメージセンサISに入力され
る原稿画像光をイメージセンサISで順次読み取る。原
稿画像の読み取り位置は、リニアエンコーダなどを利用
して検出される。
【0090】この画像読み取り装置においては、本発明
に係るリニアモータ駆動装置によって、キャリッジCG
1、CG2が駆動されるため、次の利点がある。コイル
ユニットCUからキャリッジCG1への振動の伝達を抑
制できる。これにより、キャリッジCG1に搭載された
ランプLP及びミラーm1の振動を抑制できる。
【0091】また、コイルユニットCUから軸受けB
1、B2を介してガイド軸1への振動の伝達も抑制でき
る。ガイド軸1に外嵌する軸受けB91、B92を有す
るキャリッジCG2の振動も抑制できる。これにより、
キャリッジCG2に搭載されたミラーm2、m3の振動
を抑制できる。ガイド軸1を支持するフレームFR3、
FR4の振動を抑制できるので、これらフレームFR
3、FR4に連結されたフレームに支持されているレン
ズLS及びイメージセンサISの振動も抑制できる。
【0092】したがって、原稿画像を光学的に読み取る
ための光学機器や、イメージセンサISの振動を従来よ
り抑制できるので、それだけ良好な画像読み取りを行う
ことができる。振動を抑制できるため、騒音も抑制でき
る。なお、画像を読み取るためのイメージセンサと、イ
メージセンサに原稿画像光を入力するためのランプなど
の光学機器を一つのキャリッジに搭載して、キャリッジ
を駆動することで原稿を光学的に走査しながら原稿画像
を読み取る画像読み取り装置にも、本発明のリニアモー
タ駆動装置を適用することができる。 (12) 図19に本発明に係るリニアモータ駆動装置
を備えるインクジェットプリンタの概略平面図を示す。
また、図20にこのインクジェットプリンタの図19の
Z−Z線に沿う概略断面図を示す。
【0093】このプリンタは、記録シートに向けインク
を飛ばして描画するインクジェット方式のカラープリン
タである。このプリンタにおいては、四つのプリントヘ
ッド51C、51M、51Y、51Bkを所定方向に直
線的に移動させながら記録シートに描画する。四つのプ
リントヘッドはキャリッジCGに搭載されている。キャ
リッジCGの駆動に、本発明のリニアモータ駆動装置が
利用されている。
【0094】キャリッジCGには、シアン色、マゼンタ
色、イエロー色、ブラック色のそれぞれのインクを収納
するインクカートリッジ52C、52M、52Y、52
Bk及び各インクカートリッジに収納されているインク
を記録シートSに向けて射出するためのノズル(図示省
略)を有する四つのプリントヘッド51C、51M、5
1Y、51Bkが搭載されている。これらインクカート
リッジは、着脱可能にキャリッジCGに支持されてい
る。
【0095】プリントヘッド51Cのノズルからは、図
示を省略したインク射出装置によって、インクカートリ
ッジ52C内のシアン色インクを鉛直方向下側に向け射
出することができる。他のプリントヘッド51M、51
Y、51Bkからも同様に、それぞれマゼンタ色イン
ク、イエロー色インク、黒色インクを鉛直方向下側に向
け射出することができる。各プリントヘッドからインク
を射出することで、プリントヘッドの下側に配置される
記録シートSに描画することができる。各プリントヘッ
ドは、記録シートSの送り方向に所定の描画密度(印字
密度)に応じたピッチで並べた複数のノズルを有してい
る。これにより、キャリッジCGをガイド軸に沿って移
動させながら記録シートSに描画するときに、一度に複
数ライン分(ラスター分)の描画を行うことができる。
【0096】キャリッジCGを記録シートSの送り方向
に直交する方向に移動させるために、記録シート送り方
向に直交する水平方向にガイド軸1、ガイド軸3が配置
されている。ガイド軸1及びガイド軸3は、いずれも一
方の端部においてプリンタのフレームFR5に支持され
ており、他方の端部においてプリンタのフレームFR6
に支持されている。フレームFR5とFR6は、図示し
ない部分において連結されている。
【0097】ガイド軸1には、界磁マグネットFMが形
成されている。ガイド軸1には、界磁マグネットFMに
重畳させて磁気式のリニアエンコーダチャートEcも形
成されている。エンコーダチャートEcに臨む位置に
は、エンコーダセンサEsが配置されている。エンコー
ダセンサEsはキャリッジCGに支持されている。ガイ
ド軸1には、コイルユニットCUが外嵌している。
【0098】コイルユニットCUには、一方の端部にお
いてゴムG11を介して軸受けB5が連結されており、
他方の端部においてゴムG12を介して軸受けB6が連
結されている。キャリッジCGは、ゴムG11に連結さ
れているとともに、ゴムG12に連結されている。すな
わち、キャリッジCGは、ゴムG11、G12を介して
コイルユニットCUに連結されている。
【0099】キャリッジCGは、ガイド軸3に外嵌する
リング状のすべり軸受けB7、B8を有している。軸受
けB7、B8はガイド軸3に沿って滑らかに摺動でき
る。これらにより、キャリッジCGはガイド軸1、3に
沿って安定した姿勢で往復移動することができる。ガイ
ド軸1に外嵌する軸受けB5、B6の規制力は、ガイド
軸3に外嵌する軸受けB7、B8の規制力より小さい。
キャリッジCGは、ガイド軸3に外嵌する軸受けB7、
B8の規制力によって、ガイド軸1、3と平行に直線的
に移動させることができる。
【0100】このプリンタは、界磁マグネットFMとこ
れに臨む電機子コイルACを含むシャフト型リニアモー
タで、キャリッジCGに搭載したプリントヘッド等をガ
イド軸1、3に沿って移動させながら、次のように記録
シートSに描画する。キャリッジCGをリニアモータで
ガイド軸1、3に沿って駆動し、各プリントヘッド51
C、51M、51Y、51Bkで記録シートSを走査
(主走査)する。その間に各色毎の画像データに基づき
各プリントヘッドのノズルからインクを記録シートSに
向けて射出することで描画が行われる。記録シートS
は、図示を省略したシート送り機構によって、キャリッ
ジCGの下側に配置される。一回の主走査が終わると、
記録シートSはキャリッジCGの駆動方向に垂直な水平
方向に送られ、次いで次の主走査が行われる。これらを
順次繰り返すことで、記録シートSの全面をプリントヘ
ッドによって走査でき、記録シートSに図形、文字等の
画像を描画することができる。各プリントヘッドが複数
のノズルを備えているため、一度の主走査で複数ライン
分の描画を行うことができる。これにより全体の描画時
間を短くすることができる。
【0101】リニアモータの駆動制御には、前述のよう
にリニアエンコーダなどが利用される。また、リニアエ
ンコーダを利用して各プリントヘッドからのキャリッジ
駆動方向におけるインク射出位置の制御が行われる。こ
のプリンタにおいては、本発明に係るリニアモータ駆動
装置によって、キャリッジCG1、CG2が駆動される
ため、次の利点がある。
【0102】コイルユニットCUからキャリッジCGへ
の振動の伝達を抑制できる。これによりキャリッジCG
に搭載された四つのプリントヘッドの振動を抑制でき
る。したがって、キャリッジCGを移動させながら各プ
リントヘッドのノズルからインクを射出するときにおい
て、インク射出位置のぶれを抑制できるので、それだけ
良好なプリント画像を得ることができる。振動を抑制で
きるため、騒音も抑制できる。
【0103】また、ガイド軸1と、これに摺動可能に外
嵌する軸受けB5、B6の間のクリアランスをガイド軸
1の曲がりより大きくしておくことで、軸受けB5、B
6とガイド軸1のこじりを防止できる。
【0104】
【発明の効果】本発明は、被駆動体を所定方向に直線的
に駆動するために、所定方向に直線的に延びる固定子及
び該固定子に沿って往復移動することができ、前記被駆
動体に連結される可動子とからなるリニアモータを備え
るリニアモータ駆動装置であって、可動子から発生する
振動の被駆動体への伝達を従来より抑制できるリニアモ
ータ駆動装置を提供することができる。
【0105】また、本発明は、被駆動体を所定方向に直
線的に駆動するために、所定方向に直線的に延びる固定
子及び該固定子に沿って往復移動することができ、前記
被駆動体に連結される可動子とからなるリニアモータ、
前記所定方向に延び、前記可動子を該所定方向に案内す
るためのガイド部材並びに前記可動子に連結され、前記
ガイド部材に当接して該可動子を該ガイド部材に沿って
移動させるための軸受け部材とを備えるリニアモータ駆
動装置であって、次の(A)〜(E)の利点を1又は2
以上有するリニアモータ駆動装置を提供することができ
る。 (A)可動子から発生する振動の軸受け部材への伝達を
従来より抑制できる。 (B)可動子から発生する振動が、軸受け部材を介して
ガイド軸に伝達されるのを従来より抑制できる。 (C)ガイド部材と軸受け部材の間で発生する振動の可
動子への伝達を従来より抑制できる。 (D)ガイド部材と軸受け部材の間で発生する振動自体
を従来より抑制できる。 (E)ガイド部材と軸受け部材のこじれを抑制して、可
動子が移動できなくなる事態を抑制できる。
【0106】また、本発明は、被駆動体を所定方向に直
線的に駆動するために、所定方向に直線的に延びるガイ
ド軸と、ガイド軸に形成された界磁マグネットと、ガイ
ド軸に摺動可能に外嵌する軸受けと、ガイド軸に外嵌し
て界磁マグネットに臨み、軸受けに連結されて該ガイド
軸に沿って往復移動可能で、被駆動体に連結された電機
子コイルとを備えるリニアモータ駆動装置であって、次
の(a)〜(f)の利点を1又は2以上有するリニアモ
ータ駆動装置を提供することができる。 (a)電機子コイルから発生する振動の被駆動体への伝
達を従来より抑制できる。 (b)電機子コイルから発生する振動の軸受けへの伝達
を従来より抑制できる。 (c)電機子コイルから発生する振動が、軸受けを介し
てガイド軸に伝達されることを従来より抑制できる。 (d)軸受けとガイド軸の間で発生する振動が、被駆動
体へ伝達されることを従来より抑制できる。 (e)軸受けとガイド軸の間で発生する振動自体を従来
より抑制できる。 (f)軸受けとガイド軸のこじりを抑制して、電機子コ
イル及びこれに連結された被駆動体が移動できなくなる
事態を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るリニアモータ駆動装置の概略平面
図である。
【図2】図1に示すリニアモータ駆動装置の図1のX−
X線に沿う概略断面図である。
【図3】図1に示すリニアモータ駆動装置が備えるコイ
ルユニットの概略斜視図である。
【図4】リニアモータの駆動制御装置の概略ブロック図
である。
【図5】図1に示すリニアモータ駆動装置によりキャリ
ッジを図2中左方向に駆動するときの、ホール素子の検
出磁極と各相コイルへの通電タイミングとの位相関係及
びその通電方向を示す図である。
【図6】積層ゴムの一例の概略断面図である。
【図7】本発明に係るリニアモータ駆動装置の他の例の
概略断面図である。
【図8】本発明に係るリニアモータ駆動装置のさらに他
の例の概略断面図である。
【図9】図8に示すリニアモータ駆動装置の図8のY−
Y線に沿う概略断面図である。
【図10】本発明に係るリニアモータ駆動装置のさらに
他の例の概略断面図である。
【図11】本発明に係るリニアモータ駆動装置のさらに
他の例の概略断面図である。
【図12】本発明に係るリニアモータ駆動装置のさらに
他の例の概略断面図である。
【図13】本発明に係るリニアモータ駆動装置のさらに
他の例の概略断面図である。
【図14】本発明に係るリニアモータ駆動装置のさらに
他の例の概略断面図である。
【図15】本発明に係るリニアモータ駆動装置のさらに
他の例の概略断面図である。
【図16】本発明に係るリニアモータ駆動装置のさらに
他の例の概略断面図である。
【図17】本発明に係るリニアモータ駆動装置を備える
画像読み取り装置の一例の概略側面図である。
【図18】図17に示す画像読み取り装置の概略平面図
である。
【図19】本発明に係るリニアモータ駆動装置を備える
インクジェットプリンタの一例の概略平面図である。
【図20】図19に示すインクジェットプリンタの図1
9のZ−Z線に沿う概略断面図である。
【図21】従来のリニアモータ駆動装置の一例の概略断
面図である。
【符号の説明】
LD1〜LD10 リニアモータ駆動装置 1 ガイド軸(第1ガイド軸) 2 ガイド板 3 ガイド軸(第2ガイド軸) CG、CG1、CG2 キャリッジ(被駆動体) FM 界磁マグネット CU コイルユニット AC 電機子コイル Lu、Lv、Lw コイル Cc コイルカバー B1、B2、B5、B6 軸受け B3、B4 弾性材料からなる軸受け B7、B8 軸受け G11、G12、G31、G32、G41、G42、G
5 ゴム(弾性部材) G2 積層ゴム(弾性部材) 4 駆動制御装置 Ec エンコーダチャート(エンコーダスケール) Es エンコーダセンサ GL ガラス LP ランプ m1、m2、m3 ミラー LS レンズ IS イメージセンサ 51C、51M、51Y、51Bk プリントヘッド 52C、52M、52Y、52Bk インクカートリッ
ジ FR1〜FR6 フレーム
フロントページの続き (72)発明者 石山 雅三 大阪府大阪市中央区安土町二丁目3番13号 大阪国際ビル ミノルタ株式会社内 Fターム(参考) 2C480 CA01 CA16 CB04 CB29 CB33 CB36 CB45 DB03 DB09 5H641 BB03 BB06 BB09 BB14 BB18 BB19 GG02 GG03 GG05 GG07 GG11 GG12 GG18 GG19 GG20 GG24 GG26 GG27 GG28 HH02 HH03 HH05 JA02 JA09 JA16 JA18 JA20

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】被駆動体を所定方向に直線的に駆動するた
    めのリニアモータ駆動装置であって、 前記所定方向に直線的に延びる固定子及び該固定子に沿
    って往復移動することができ、前記被駆動体に連結され
    た可動子とからなるリニアモータを備え、 前記可動子は前記被駆動体に弾性部材を介して連結され
    ていることを特徴とするリニアモータ駆動装置。
  2. 【請求項2】前記固定子と前記可動子のうちいずれか一
    方は電機子コイルを有しており、該電機子コイルへの通
    電量は、PWM制御にて調整される請求項1記載のリニ
    アモータ駆動装置。
  3. 【請求項3】被駆動体を所定方向に直線的に駆動するた
    めのリニアモータ駆動装置であって、 前記所定方向に直線的に延びる固定子及び該固定子に沿
    って往復移動することができ、前記被駆動体に連結され
    る可動子とからなるリニアモータと、 前記所定方向に延び、前記可動子を該所定方向に案内す
    るためのガイド部材と、 前記可動子に連結され、前記ガイド部材に当接して該可
    動子を該ガイド部材に沿って移動させるための軸受け部
    材とを備え、 前記軸受け部材は前記可動子に弾性部材を介して連結さ
    れていることを特徴とするリニアモータ駆動装置。
  4. 【請求項4】被駆動体を所定方向に直線的に駆動するた
    めのリニアモータ駆動装置であって、 前記所定方向に直線的に延びる固定子及び該固定子に沿
    って往復移動することができ、前記被駆動体に連結され
    る可動子とからなるリニアモータと、 前記所定方向に延び、前記可動子を該所定方向に案内す
    るためのガイド部材と、 前記可動子に連結され、前記ガイド部材に当接して該可
    動子を該ガイド部材に沿って移動させるための軸受け部
    材とを備え、 前記軸受け部材は弾性材料からなることを特徴とするリ
    ニアモータ駆動装置。
  5. 【請求項5】被駆動体を所定方向に直線的に駆動するた
    めのリニアモータ駆動装置であって、 前記所定方向に直線的に延びるガイド軸と、 前記所定方向にN極の磁極とS極の磁極が交互に並び、
    前記ガイド軸に形成された界磁マグネットと、 前記ガイド軸に摺動可能に外嵌する軸受けと、 前記ガイド軸に外嵌して前記界磁マグネットに臨み、前
    記軸受けに連結されて該ガイド軸に沿って往復移動可能
    で、前記被駆動体に連結された電機子コイルとを備え、 前記被駆動体は、前記電機子コイルに弾性部材を介して
    連結されていることを特徴とするリニアモータ駆動装
    置。
  6. 【請求項6】前記電機子コイルと前記軸受けは前記弾性
    部材を介して連結されており、前記被駆動体は該軸受け
    と剛に連結されている請求項5記載のリニアモータ駆動
    装置。
  7. 【請求項7】前記電機子コイルは前記軸受けと剛に連結
    されており、前記被駆動体は該軸受けに前記弾性部材を
    介して連結されている請求項5記載のリニアモータ駆動
    装置。
  8. 【請求項8】前記電機子コイルは前記軸受けと剛に連結
    されており、前記被駆動体は該電機子コイルと前記弾性
    部材を介して連結されている請求項5記載のリニアモー
    タ駆動装置。
  9. 【請求項9】前記軸受けは弾性材料からなり、前記電機
    子コイルは該軸受けに連結されており、前記被駆動体は
    該電機子コイルと前記弾性部材を介して連結されている
    請求項5記載のリニアモータ駆動装置。
  10. 【請求項10】前記軸受けは弾性材料からなり、前記被
    駆動体は該軸受けを介して前記電機子コイルに連結され
    ている請求項5記載のリニアモータ駆動装置。
  11. 【請求項11】前記被駆動体は前記電機子コイルと前記
    弾性部材を介して連結されており、前記軸受けは該弾性
    部材に連結されている請求項5記載のリニアモータ駆動
    装置。
  12. 【請求項12】前記被駆動体は前記電機子コイルと前記
    弾性部材を介して連結されており、前記軸受けは該被駆
    動体に剛に連結されている請求項5記載のリニアモータ
    駆動装置。
  13. 【請求項13】前記ガイド軸(以下、第1ガイド軸とい
    う)と平行に配置された第2のガイド軸を備えており、
    前記被駆動体は該第2ガイド軸に摺動可能に外嵌する軸
    受けを有しており、前記第1ガイド軸に外嵌する軸受け
    の規制力は前記第2ガイド軸に外嵌する軸受けの規制力
    より小さい請求項5から12のいずれかに記載のリニア
    モータ駆動装置。
  14. 【請求項14】前記電機子コイルへの通電量は、PWM
    制御にて調整される請求項5から13のいずれかに記載
    のリニアモータ駆動装置。
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