JP5786007B2 - ボールスプライン付きリニアモータアクチュエータ及びその製造方法 - Google Patents

ボールスプライン付きリニアモータアクチュエータ及びその製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、ボールスプラインを備えるボールスプライン付きリニアモータアクチュエータ及びその製造方法に関する。
出願人はこの種のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータとして、特許文献1に記載のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータを提案している。図10に示すように、このボールスプライン付きリニアモータアクチュエータは、本体部52に対して駆動軸53が軸方向に直線運動するリニアモータ51と、リニアモータ51に平行に配置されるボールスプライン47と、を備え、例えば部品実装機の一軸アクチュエータとして用いられる。ボールスプライン47は電子部品等の移動体の直線運動を高精度に案内するために使用される。リニアモータ51の駆動軸53とボールスプライン47のスプライン軸46とはヘッドプレート48で連結される。ボールスプライン47のナット41はハウジング43に収容され、リニアモータ51の本体部52に連結プレート49を介して連結される。リニアモータ51の駆動軸53が直線運動すると、ボールスプライン47のスプライン軸46がリニアモータ51の駆動軸53と一緒に直線運動する。
ボールスプライン付きリニアモータアクチュエータを部品実装機の一軸アクチュエータとして用いる場合、リニアモータ51の本体部52が部品実装機に装着される。リニアモータ51の本体部52には、部品実装機に取り付けられる取付け面52aが形成される。スプライン軸46の先端部には、電子部品等の移動体を吸着するための吸着パッド(図示せず)が設けられる。移動体はリニアモータ51の本体部52の取付け面52aを基準面として一軸方向に直線運動する。リニアモータ51の本体部52にもブッシュ等のすべり軸受が設けられるが、すべり軸受であるがゆえに移動体の直線運動の案内精度をそれほど高くすることができない。案内精度を向上させるために、ボールの転がり運動を利用して案内するボールスプライン47が用いられる。
特開2010−57357号公報
ところで、従来のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータにおいては、図11に示すように、ボールスプライン47のナット41をハウジング43の穴に挿入し、接着剤を用いてハウジング43の穴内に接着していた。しかし、ハウジング43の穴内のすきまの遊び分だけ、ボールスプライン47のナット41が傾くおそれがあり、リニアモータ51の本体部52の取付け面52aに対するナット41の取付け精度が出しにくい。それゆえ、リニアモータ51の取付け面52aに対するスプライン軸46の走り平行度が低下するという課題がある。ここで、走り平行度とは、リニアモータ51の本体部52の取付け面52aからスプライン軸46までの距離が、直線運動するスプライン軸46の位置に係わらずどの程度の許容範囲にあるかを数値で示したものである。
そこで、本発明は、リニアモータの本体部の取付け面に対するスプライン軸の走り平行度を向上させることができるボールスプライン付きリニアモータアクチュエータ及びその製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明の態様は、本体部に対して駆動軸が直線運動するリニアモータと、前記リニアモータの前記駆動軸から所定距離だけ離れて平行に配置されるスプライン軸、及び前記スプライン軸に多数のボールを介して軸方向に相対的に移動可能に組み付けられるナットを有し、前記ナットに相手部品に取り付けるための取付け部が形成されるハウジングを一体化するボールスプラインと、前記リニアモータの前記本体部に固定されると共に、前記取付け部を用いて前記ボールスプラインの前記ナットに固定される第一の連結部材と、前記リニアモータの前記駆動軸に固定されると共に、前記ボールスプラインの前記スプライン軸に固定される第二の連結部材と、を備え、前記ナットは、前記スプライン軸のスプライン溝に対向するボール転走溝、及び前記ボール転走溝に平行な転動体戻し部が形成されるナット本体と、前記ナット本体の軸方向の両端面に取り付けられ、前記ボール転走溝の端部と前記転動体戻し部の端部を接続する方向転換部が形成される一対の蓋部材と、を有し、前記ナット本体に前記ハウジングを一体化し、前記第一の連結部材は、前記ナット本体の前記両端面のうちの一方の端面に固定され、前記一対の蓋部材のうちの一方の蓋部材は、前記ナット本体の前記一方の端面から軸方向に突出すると共に、前記第一の連結部材の内側に入るボールスプライン付きリニアモータアクチュエータである。
本発明の第二の態様は、本体部に対して駆動軸が直線運動するリニアモータと、前記リニアモータの前記駆動軸から所定距離だけ離れて平行に配置されるスプライン軸、及び前記スプライン軸に多数のボールを介して軸方向に相対的に移動可能に組み付けられるナットを有し、前記ナットに相手部品に取り付けるための取付け部が形成されるハウジングを一体化するボールスプラインと、前記リニアモータの前記本体部に固定されると共に、前記取付け部を用いて前記ボールスプラインの前記ナットに固定される第一の連結部材と、前記リニアモータの前記駆動軸に固定されると共に、前記ボールスプラインの前記スプライン軸に固定される第二の連結部材と、を備え、前記ナットは、前記スプライン軸のスプライン溝に対向するボール転走溝、及び前記ボール転走溝に平行な転動体戻し部が形成されるナット本体と、前記ナット本体の軸方向の両端面に取り付けられ、前記ボール転走溝の端部と前記転動体戻し部の端部を接続する方向転換部が形成される一対の蓋部材と、を有し、前記ナット本体に前記ハウジングを一体化し、前記ナット本体には、前記一対の蓋部材の少なくとも一方の周囲を覆うように、前記ナット本体の前記両端面の少なくとも一方の端面から軸方向に突出する壁部が一体に設けられるボールスプライン付きリニアモータアクチュエータである。
本発明の第三の態様は、本体部に対して駆動軸が直線運動するリニアモータと、前記リニアモータの前記駆動軸から所定距離だけ離れて平行に配置されるスプライン軸、及び前記スプライン軸に多数のボールを介して軸方向に相対的に移動可能に組み付けられるナットを有し、前記ナットに相手部品に取り付けるための取付け部が形成されるハウジングを一体化するボールスプラインと、前記リニアモータの前記本体部に固定されると共に、前記取付け部を用いて前記ボールスプラインの前記ナットに固定される第一の連結部材と、前記リニアモータの前記駆動軸に固定されると共に、前記ボールスプラインの前記スプライン軸に固定される第二の連結部材と、を備え、前記ナットは、前記スプライン軸のスプライン溝に対向するボール転走溝、及び前記ボール転走溝に平行な転動体戻し部が形成されるナット本体と、前記ナット本体の軸方向の両端面に取り付けられ、前記ボール転走溝の端部と前記転動体戻し部の端部を接続する方向転換部が形成される一対の蓋部材と、を有し、前記ナット本体に前記ハウジングを一体化し、前記ナット本体を軸方向に直交する断面で見たとき、前記ナット本体の断面形状の外形は、四角形に形成されるボールスプライン付きリニアモータアクチュエータである。
本発明の第四の態様は、本体部に対して駆動軸が直線運動するリニアモータと、前記リニアモータの前記駆動軸から所定距離だけ離れて平行に配置されるスプライン軸、及び前記スプライン軸に多数のボールを介して軸方向に相対的に移動可能に組み付けられるナットを有し、前記ナットに相手部品に取り付けるための取付け部が形成されるハウジングを一体化するボールスプラインと、前記リニアモータの前記本体部に固定されると共に、前記取付け部を用いて前記ボールスプラインの前記ナットに固定される第一の連結部材と、前記リニアモータの前記駆動軸に固定されると共に、前記ボールスプラインの前記スプライン軸に固定される第二の連結部材と、を備え、前記ナットは、前記スプライン軸のスプライン溝に対向するボール転走溝、及び前記ボール転走溝に平行な転動体戻し部が形成されるナット本体と、前記ナット本体の軸方向の両端面に取り付けられ、前記ボール転走溝の端部と前記転動体戻し部の端部を接続する方向転換部が形成される一対の蓋部材と、を有し、前記ナット本体に前記ハウジングを一体化し、前記ナット本体の前記取付け部は、前記ナット本体の前記両端面のうちの少なくとも一方の端面、又は前記一対の蓋部材の少なくとも一方の周囲を覆うように、前記ナット本体の前記両端面の少なくとも一方の端面から軸方向に突出する壁部の先端面に設けられるボールスプライン付きリニアモータアクチュエータである。
本発明によれば、ボールスプラインのナットと相手部品に取り付けるための取付け部が形成されるハウジングとを一体化し、ナットを第一の連結部材を介してリニアモータの本体部に連結するので、リニアモータの本体部の取付け面に対するナットの取付け精度を向上させることができる。したがって、リニアモータの本体部の取付け面に対するスプライン軸の走り平行度を向上させることができる。
本発明の一実施形態のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータの斜視図 本実施形態の連結プレートに固定されるリニアモータの本体部及びナットを示す図(図2(a)は正面図を示し、図2(b)は側面図を示す) 本実施形態のリニアモータの斜視図(一部断面を含む) 本実施形態のボールスプラインの斜視図 図5(a)は本実施形態のボールスプラインの平面図、図5(b)は本実施形態のボールスプラインの正面図 本実施形態のボールスプラインの軸方向に沿った断面図 本実施形態のボールスプラインの軸方向に直交する断面図 本実施形態のボールスプラインのボール循環路の模式図 従来のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータと本実施形態のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータとを比較する図(図9(a1)(a2)は従来例を示し、図9(b1)(b2)は本実施形態を示す) 従来のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータの斜視図 従来のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータのハウジングに収容されたナットを示す図
以下、添付図面を参照して本発明の一実施形態のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータを説明する。図1は本実施形態のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータの斜視図を示す。本実施形態のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータは、リニアモータ1と、リニアモータ1から所定距離だけ離れて平行に配置されるボールスプライン4と、を備える。
リニアモータ1は、本体部としてのフォーサ2、フォーサ2に対して直線運動する駆動軸3と、を備える。リニアモータ1のフォーサ2には、部品実装機等に取り付けるための取付け面2aが形成される。取付け面2aには、雌ねじ7が埋め込まれる。ボールスプライン4は、ナット5と、ナット5に直線運動可能に支持されるスプライン軸6と、を備える。リニアモータ1のフォーサ2とボールスプライン4のナット5とは、第一の連結部材としての連結プレート8で連結される。リニアモータ1の駆動軸3とボールスプライン4のスプライン軸6とは、第二の連結部材としてのヘッドプレート9で連結される。
スプライン軸6の先端部には、電子部品等の移動体を吸着する吸着パッド(図示せず)が設けられる。リニアモータ1の駆動軸3を直線運動させると、駆動軸3と一緒にスプライン軸6が直線運動し、吸着パッドに吸着した移動体が直線運動する。リニアモータ1の駆動軸3の位置はセンサ22によって検出される。本実施形態のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータは、単一の一軸アクチュエータとして使用されることもあるし、複数組み合わせて多軸アクチュエータとして使用されることもある。
ヘッドプレート9は四角形の板状に形成される。連結プレート8には、駆動軸3が貫通する貫通穴8aが空けられる。駆動軸3の直線運動を許容するように、貫通穴8aの内周面と駆動軸3との間にはわずかなすきまが空く。連結プレート8には、スプライン軸6が貫通する貫通穴8bが空けられる。貫通穴8bには、後述するエンドキャップ32aが嵌められる。連結プレート8には、ボルト24が通される複数の通し穴が形成される。連結プレート8は、ボルト24等の結合手段によってリニアモータ1のフォーサ2及びボールスプライン4のナット5に固定される。
図2は、連結プレート8に固定されるリニアモータ1のフォーサ2及びボールスプライン4のナット5を示す。図2(a)はこれらの正面図を示し、図2(b)はこれらの側面図を示す。図2(b)において、ナット5の一部を断面図で示す。ナット5は、金属製のナット本体31と、ナット本体31の軸方向の両端面に取り付けられる一対の蓋部材としての一対のエンドキャップ32a,32bと、を備える。エンドキャップ32a,32bの外側には、ナット本体31の内部に異物が入るのを防止するために、またナット本体31の内部の潤滑剤を保持するためにシール33が取り付けられる。軸方向に直交する断面で見たとき、ナット本体31は外形が四角形に形成される(図1参照)。エンドキャップ32a,32b及びシール33は円形に形成される。
ナット本体31は、取付け部としての雌ねじ34が形成されるハウジングと一体化される。すなわち、ナット本体31は単一の材料から製造される単一の部品であり、接着によって2部品を結合したものではない。ナット本体31の軸方向の一方の端面31aが連結プレート8に接する。ナット本体31の端面31aには、ナット本体31を連結プレート8に固定するための雌ねじ34が形成される。雌ねじ34にはボルト24がねじ込まれる。ナット本体31の軸方向から見て、雌ねじ34は外形が四角形のナット本体31の端面31aの四隅にかつ円形のエンドキャップ32aの外側に配置される。エンドキャップ32aは、ナット本体31の端面31aから軸方向に突出していて、連結プレート8の内側に入る。連結プレート8には、エンドキャップ32a及びシール33が入る貫通穴8bが空けられる。
ナット本体31の軸方向の他方の端面31bには、エンドキャップ32b及びシール33が取り付けられる。ナット本体31の端面31bからは円筒状の壁部31cが軸方向に突出する。壁部31cは、ナット本体31と同一の金属製であり、ナット本体31と一体に形成される。壁部31cは、エンドキャップ31bの円筒形の側面の周囲を囲む。壁部31cの軸方向の先端面は、シール33の端面よりも軸方向に突出する。壁部31cの先端面31c1には、雌ねじ36が形成される(図9(b1)(b2)参照)。雌ねじ36は、外形が四角形の壁部31cの四隅にかつ外形が円形のエンドキャップ32bの外側に配置される。
リニアモータ1の構造は以下のとおりである。図3は本実施形態のリニアモータ1の斜視図(一部断面図)を示す。駆動軸3は、中空のロッド11と、ロッド11の中空空間に収容される複数のマグネット12と、を備える。ロッド11は、例えばステンレス等の非磁性材料からなる。マグネット12は円柱状に形成されていて、軸線方向に着磁される。ロッド11の中空空間には、複数のマグネット12が互いに同極が対向するように配列される。マグネット12間には、例えば鉄等の磁性材料からなる磁極ブロック13が介在する。
駆動軸3は中心線方向に配列された複数のコイル15によって囲まれる。駆動軸3とコイル15との間には磁気的なすきまが介在する。コイル15は銅線を螺旋状に巻いたもので、コイルホルダ16に保持されている。コイルホルダ16の上面には複数のコイル15に配線するための基板17が設けられる。コイル15、コイルホルダ16、基板17はフォーサ2によって覆われる。フォーサ2がリニアモータ1の本体部を構成する。フォーサ2は、例えばコイル15、コイルホルダ16及び基板17を射出成型の金型にセットし、溶融した樹脂又は特殊セラミックスを流すインサート成型によって形成される。フォーサ2には、部品実装機に取り付けるための取付け面2aが形成される。取付け面2aには、雌ねじ7が設けられると共に、位置決めピンが挿入される位置決め凹部が形成される。
フォーサ2の中心線方向の両端部にはエンド部材19a,19bが設けられる。エンド部材19a,19bには、駆動軸3が軸方向に移動するのを案内するブッシュ21が設けられる。ブッシュ21は樹脂製である。駆動軸3はブッシュ21の内周面を滑る。ブッシュ21は駆動軸3がコイル15に接触するのを防止し、これらの間に磁気的なすきまを介在させる役割を持つ。一方のエンド部材19aには、連結プレート8を固定するための雌ねじ(図示せず)が形成される。他方のエンド部材19bには、駆動軸3の位置を検出するセンサ22(図1参照)が取り付けられる。
ロッド11内の中空空間には、円柱状の複数のマグネット12が互いに同極が対向するように、すなわちN極とN極が、S極とS極とが対向するように配列される。駆動軸3の周囲には、複数のコイル15が積層される。コイル15はU・V・W相からなる三相コイルである。三相コイルに120°ずつ位相がずれる三相電流を流すと、駆動軸3に発生する磁束と三相コイルに流れる電流との相互作用によって駆動軸3に推力が発生する。これにより、駆動軸3がフォーサ2に対して軸方向に移動する。
ボールスプライン4の詳細な構造は以下のとおりである。図4は、ボールスプライン4の斜視図を示す。ボールスプライン4は、スプライン軸6と、スプライン軸6に多数のボールを介して軸方向に相対的に移動可能に組み付けられるナット5と、を備える。スプライン軸6の外周面には、軸方向に伸びる複数条の、この実施形態では四条のスプライン溝6aが形成される。ナット5は、ナット本体31と、ナット本体31の軸方向の両端面に取り付けられる蓋部材としてのエンドキャップ32a,32bと、を備える。ナット本体31の断面形状の外形は、ナット本体31の軸方向の全長に渡って四角形である。
図5(a)はボールスプライン4の平面図、図5(b)は軸方向から見たボールスプライン4の正面図を示す。ナット本体31の軸方向の両端面31a,31bには、一対のエンドキャップ32a,32bが取り付けられる(図6参照)。一方のエンドキャップ32aはナット本体31から露出しており、他方のエンドキャップ32bはナット本体31の壁部31c内に埋め込まれる。
図6はボールスプライン4の軸方向に沿った断面図を示し、図7はボールスプライン4の軸方向に直交する断面図を示す。図6に示すように、ナット本体31には、スプライン軸6のスプライン溝6aに対向するボール転走溝35が形成される。図7に示すように、ナット本体31には、ボール転走溝35に平行にボール戻し部36が形成される。ボール戻し部36もスプライン軸6に対向する溝からなる。図6に示すように、エンドキャップ32a,32bには、ボール転走溝35の端部とボール戻し部36の端部を接続するU字状の方向転換部37が形成される。図7に示すように、方向転換部37もスプライン軸6に対向する溝からなる。図8に示すように、ボール転走溝35、ボール戻し部36、一対の方向転換部37から構成されるボール循環路には、多数のボール38が配列される。
ナット5に対してスプライン軸6が直線運動すると、ボール38がスプライン溝6aとボール転走溝35との間を圧縮荷重を受けながら転がり運動する。ボール転走溝35の一端まで転がったボール38は方向転換部37に入り、荷重から開放されて180°方向転換し、ボール戻し部36を反対方向に移動する。そして、反対側の方向転換部37に入った後、再び元のボール転走溝35に入る。
図9を参照しつつ、本実施形態のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータの効果を説明する。図9(a1)(a2)は従来のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータを示し、図9(b1)(b2)は本実施形態のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータを示す。図9(a1)(b1)はボールスプライン付きリニアモータアクチュエータの側面図を示し、図9(a2)(b2)は正面図を示す。
<走り平行度>図9(b1)に示すように、本実施形態のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータによれば、ボールスプライン4のナット5とハウジングとを一体化し、ナット5を連結プレート8を介してリニアモータ1のフォーサ2に連結するので、リニアモータ1のフォーサ2の取付け面2aに対するスプライン軸6の走り平行度を向上させることができる。
<寸法>図9(a1)に示すように、従来のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータにおいては、ナット41の飛び出し防止のために、蓋42が必要になる。このため、蓋42まで含めたハウジング43の全長Lが長くなる。これに対して、図9(b1)に示すように、本実施形態のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータによれば、連結プレート8にナット5自体を固定するので、蓋42に相当する部分が不要になる。しかも、エンドキャップ32aが連結プレート8に埋め込まれるので、ナット5の全長Lを短くすることができる。さらに、ナット本体31の断面の外形を四角形に形成し、四角形の四隅に雌ねじ34を形成することで、ナット本体31の断面の外形を円形に形成する場合に比べて、ナット本体31の半径方向の寸法も小さくすることができる。
<組み立て性、メンテナンス性>図9(a1)に示すように、従来のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータにおいては、ハウジング43内にナット41を挿入する際、樹脂製のエンドキャップ44又は樹脂製のシール45が金属製の連結プレート58に接する。このため、エンドキャップ44又はシール45が変形して、スプライン軸56の摺動抵抗の増加を招いたり、スプライン軸56の動きに影響を与えたりする。これに対して、図9(b2)に示すように、本実施形態のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータによれば、金属製のナット5がボルト24で連結プレート8に固定されるので、組み立て時に樹脂製のエンドキャップ32a,32b又はシール33が他の部品に接することがない。このため、組み立ての安定性が向上する。さらに、ハウジングにナット5を接着する必要がなくなるので、組立工数を大幅に削減することができる。ナット5に従来では困難であった給脂穴も設けることができるし、破損時にもナット5を容易に交換できるようになる。
<ユーザ取付け>図9(a2)に示すように、従来のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータにおいては、蓋42を取り付けるためのねじ46を必要とするので、蓋42に他の部品を取り付けるための取付け面及び雌ねじを設けることができない。これに対して、図9(b2)に示すように、本実施形態のボールスプライン付きリニアモータアクチュエータによれば、エンドキャップ32b及びシール33がナット5の壁部31cの内側に埋め込まれるので、ナット5の壁部31cの先端面31c1に取付け面及び雌ねじ36を設けることができ、ユーザが他の部品を取り付けることが容易になる。
なお、本発明は上記実施形態に具現化されるのに限られることはなく、本発明の要旨を変更しない範囲で様々な実施形態に具現化できる。
例えば、上記実施形態では、リニアモータの本体部にコイルが設けられ、駆動軸にマグネットが設けられているが、本体部にマグネットが設けられ、駆動軸にコイルが設けられてもよい。
上記実施形態では、一方のエンドキャップのみをナットの壁部で囲んでいるが、両方のエンドキャップをナットの壁部で囲むこともできる。この場合、ナットの壁部の先端面を連結プレートに固定することもできる。
1…リニアモータ,2…フォーサ(本体部),2a…取付け面,3…駆動軸,4…ボールスプライン,5…ナット,6…スプライン軸,6a…スプライン溝,8…連結プレート(第一の連結部材),9…ヘッドプレート(第二の連結部材),31…ナット本体,31a,31b…ナット本体の端面,31c…ナット本体の壁部,31c1…ナット本体の壁部の先端面,32a,32b…エンドキャップ,34…雌ねじ(取付け部),35…ボール転走溝,36…ボール戻し部,38…ボール

Claims (4)

  1. 本体部に対して駆動軸が直線運動するリニアモータと、
    前記リニアモータの前記駆動軸から所定距離だけ離れて平行に配置されるスプライン軸、及び前記スプライン軸に多数のボールを介して軸方向に相対的に移動可能に組み付けられるナットを有し、前記ナットに相手部品に取り付けるための取付け部が形成されるハウジングを一体化するボールスプラインと、
    前記リニアモータの前記本体部に固定されると共に、前記取付け部を用いて前記ボールスプラインの前記ナットに固定される第一の連結部材と、
    前記リニアモータの前記駆動軸に固定されると共に、前記ボールスプラインの前記スプライン軸に固定される第二の連結部材と、を備え
    前記ナットは、
    前記スプライン軸のスプライン溝に対向するボール転走溝、及び前記ボール転走溝に平行な転動体戻し部が形成されるナット本体と、
    前記ナット本体の軸方向の両端面に取り付けられ、前記ボール転走溝の端部と前記転動体戻し部の端部を接続する方向転換部が形成される一対の蓋部材と、を有し、
    前記ナット本体に前記ハウジングを一体化し、
    前記第一の連結部材は、前記ナット本体の前記両端面のうちの一方の端面に固定され、
    前記一対の蓋部材のうちの一方の蓋部材は、前記ナット本体の前記一方の端面から軸方向に突出すると共に、前記第一の連結部材の内側に入るボールスプライン付きリニアモータアクチュエータ。
  2. 本体部に対して駆動軸が直線運動するリニアモータと、
    前記リニアモータの前記駆動軸から所定距離だけ離れて平行に配置されるスプライン軸、及び前記スプライン軸に多数のボールを介して軸方向に相対的に移動可能に組み付けられるナットを有し、前記ナットに相手部品に取り付けるための取付け部が形成されるハウジングを一体化するボールスプラインと、
    前記リニアモータの前記本体部に固定されると共に、前記取付け部を用いて前記ボールスプラインの前記ナットに固定される第一の連結部材と、
    前記リニアモータの前記駆動軸に固定されると共に、前記ボールスプラインの前記スプライン軸に固定される第二の連結部材と、を備え、
    前記ナットは、
    前記スプライン軸のスプライン溝に対向するボール転走溝、及び前記ボール転走溝に平行な転動体戻し部が形成されるナット本体と、
    前記ナット本体の軸方向の両端面に取り付けられ、前記ボール転走溝の端部と前記転動体戻し部の端部を接続する方向転換部が形成される一対の蓋部材と、を有し、
    前記ナット本体に前記ハウジングを一体化し、
    前記ナット本体には、前記一対の蓋部材の少なくとも一方の周囲を覆うように、前記ナット本体の前記両端面の少なくとも一方の端面から軸方向に突出する壁部が一体に設けられるボールスプライン付きリニアモータアクチュエータ。
  3. 本体部に対して駆動軸が直線運動するリニアモータと、
    前記リニアモータの前記駆動軸から所定距離だけ離れて平行に配置されるスプライン軸、及び前記スプライン軸に多数のボールを介して軸方向に相対的に移動可能に組み付けられるナットを有し、前記ナットに相手部品に取り付けるための取付け部が形成されるハウジングを一体化するボールスプラインと、
    前記リニアモータの前記本体部に固定されると共に、前記取付け部を用いて前記ボールスプラインの前記ナットに固定される第一の連結部材と、
    前記リニアモータの前記駆動軸に固定されると共に、前記ボールスプラインの前記スプライン軸に固定される第二の連結部材と、を備え、
    前記ナットは、
    前記スプライン軸のスプライン溝に対向するボール転走溝、及び前記ボール転走溝に平行な転動体戻し部が形成されるナット本体と、
    前記ナット本体の軸方向の両端面に取り付けられ、前記ボール転走溝の端部と前記転動体戻し部の端部を接続する方向転換部が形成される一対の蓋部材と、を有し、
    前記ナット本体に前記ハウジングを一体化し、
    前記ナット本体を軸方向に直交する断面で見たとき、
    前記ナット本体の断面形状の外形は、四角形に形成されるボールスプライン付きリニアモータアクチュエータ。
  4. 本体部に対して駆動軸が直線運動するリニアモータと、
    前記リニアモータの前記駆動軸から所定距離だけ離れて平行に配置されるスプライン軸、及び前記スプライン軸に多数のボールを介して軸方向に相対的に移動可能に組み付けられるナットを有し、前記ナットに相手部品に取り付けるための取付け部が形成されるハウジングを一体化するボールスプラインと、
    前記リニアモータの前記本体部に固定されると共に、前記取付け部を用いて前記ボールスプラインの前記ナットに固定される第一の連結部材と、
    前記リニアモータの前記駆動軸に固定されると共に、前記ボールスプラインの前記スプライン軸に固定される第二の連結部材と、を備え、
    前記ナットは、
    前記スプライン軸のスプライン溝に対向するボール転走溝、及び前記ボール転走溝に平行な転動体戻し部が形成されるナット本体と、
    前記ナット本体の軸方向の両端面に取り付けられ、前記ボール転走溝の端部と前記転動体戻し部の端部を接続する方向転換部が形成される一対の蓋部材と、を有し、
    前記ナット本体に前記ハウジングを一体化し、
    前記ナット本体の前記取付け部は、前記ナット本体の前記両端面のうちの少なくとも一方の端面、又は前記一対の蓋部材の少なくとも一方の周囲を覆うように、前記ナット本体の前記両端面の少なくとも一方の端面から軸方向に突出する壁部の先端面に設けられるボールスプライン付きリニアモータアクチュエータ。
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