JP6872475B2 - 荷重センサおよび荷重センサ一体型多軸アクチュエータ - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の実施の形態に係る荷重センサ一体型多軸アクチュエータの全体構成を示す外観斜視図である。図2は、本発明の実施の形態に係る多軸アクチュエータの先端部を部分的に拡大して示す略線的斜視図である。図3は、本発明の実施の形態に係る多軸アクチュエータの先端部を部分的に拡大して断面にして示す略線的斜視図である。図4は、本発明の実施の形態に係る連結部材の構成を示す平面図である。図5は、本発明の実施の形態に係る荷重センサが吸引ロッドに取り付けられた状態における断面図である。図6は、本発明の実施の形態に係る荷重センサの分解斜視図である。図7は、図6に示すA−A線に沿った測定部の断面図である。図8は、本発明の実施の形態に係る荷重センサの測定部が撓んだ状態を示す断面図である。
図1に示すように、荷重センサ一体型多軸アクチュエータ10は、例えば電子部品(チップ)等の対象物を基板上にマウントするチップマウンタに組み込まれて用いられる。
なお、上述した実施の形態においては、荷重センサ40は、吸引ロッド22の先端部22aに嵌め合いによって連結するようにした場合について述べたが、本発明はこれに限らず、吸引ロッド22の先端部22aの外周面に雄ネジ部を設け、かつ、荷重センサ40の取付部41の貫通孔41hの内周面に雌ネジ部を設けて、荷重センサ40を吸引ロッド22に螺合させるようにしてもよい。
Claims (6)
- ハウジングに収容された状態で軸線方向へ直線移動する第1の軸状部材、前記第1の軸状部材と平行に配置されて所定の対象物に対して直線移動して該対象物を吸引する中空部が形成された中空状の第2の軸状部材、および、前記第1の軸状部材および前記第2の軸状部材を連結する連結部材を有する多軸アクチュエータに用いられる荷重センサであって、
前記第2の軸状部材の先端部に取り付けられる取付部と、
中央において前記取付部とは反対側に軸線方向に窪んだ凹部が形成され、前記取付部に連結されて荷重を測定する本体部と
を備え、
前記本体部は、
前記凹部を画成する周方向側の面を有する周壁部と、
前記凹部を画成するため、前記取付部と対向する側の面を有し、前記周壁部よりも薄く形成されて起歪体部分として機能する対向壁部と、
前記対向壁部から前記取付部の側へ突出して前記第2の軸状部材の先端部を収容すると共に、前記対向壁部から前記取付部とは反対の側へ突出し、その先端部が前記対象物に押し付けられたとき前記軸線方向に沿って全体が移動可能な筒状の吸着部と、
前記吸着部の周囲で前記対向壁部に設けられたひずみゲージと
を有する、荷重センサ。 - 前記本体部は、前記取付部を介して前記第2の軸状部材に取り付けられる、請求項1に記載の荷重センサ。
- 前記吸着部は、前記第2の軸状部材の延長線上に位置する、請求項1または2に記載の荷重センサ。
- 前記本体部は、前記ひずみゲージを所定のコーティング材で被覆する被覆部を有する、請求項1から3までのいずれか一項に記載の荷重センサ。
- 前記ひずみゲージは、前記取付部に対向する前記対向壁部の面に設けられている、請求項1から4までのいずれか一項に記載の荷重センサ。
- ハウジングに収容された状態で軸線方向へ直線移動する第1の軸状部材と、
前記第1の軸状部材と平行に配置されて所定の対象物に対して直線移動して該対象物を吸引する中空部が形成された中空状の第2の軸状部材と、
前記第1の軸状部材および前記第2の軸状部材を連結する連結部材と、
前記第2の軸状部材の先端部に取り付けられた荷重センサと
を備え、
前記荷重センサは、
前記第2の軸状部材の先端部に取り付けられる取付部と、
中央において前記取付部とは反対側に軸線方向に窪んだ凹部が形成され、前記取付部に連結されて荷重を測定する本体部と
を有し、
前記本体部は、
前記凹部を画成する周方向側の面を有する周壁部と、
前記凹部を画成するため、前記取付部と対向する側の面を有し、前記周壁部よりも薄く形成されて起歪体部分として機能する対向壁部と、
前記対向壁部から前記取付部の側へ突出して前記第2の軸状部材の先端部を収容すると共に、前記対向壁部から前記取付部とは反対の側へ突出し、その先端が前記対象物に押し付けられたとき前記軸線方向に沿って全体が移動可能な筒状の吸着部と、
前記吸着部の周囲で前記対向壁部に設けられたひずみゲージと
を有する、荷重センサ一体型多軸アクチュエータ。
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