JP2016170171A - 圧力トランスデューサ - Google Patents

圧力トランスデューサ Download PDF

Info

Publication number
JP2016170171A
JP2016170171A JP2016045889A JP2016045889A JP2016170171A JP 2016170171 A JP2016170171 A JP 2016170171A JP 2016045889 A JP2016045889 A JP 2016045889A JP 2016045889 A JP2016045889 A JP 2016045889A JP 2016170171 A JP2016170171 A JP 2016170171A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure transducer
edge
pressure
seal
key
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2016045889A
Other languages
English (en)
Inventor
ジェー ラバド マイケル
J Lavado Michael
ジェー ラバド マイケル
シー カルロス マーク
C Carlos Mark
シー カルロス マーク
クライン ブルーミンク ヤン
Klein Bluemink Jan
クライン ブルーミンク ヤン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sensata Technologies Inc
Original Assignee
Sensata Technologies Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sensata Technologies Inc filed Critical Sensata Technologies Inc
Publication of JP2016170171A publication Critical patent/JP2016170171A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • G01L9/0075Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0061Electrical connection means
    • G01L19/0084Electrical connection means to the outside of the housing
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14Housings
    • G01L19/142Multiple part housings
    • G01L19/143Two part housings
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14Housings
    • G01L19/142Multiple part housings

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)

Abstract

【課題】圧力トランスデューサに汚染物質が進入するのを防止するための費用のかからない容易な組み立ての構造を提供する。
【解決手段】圧力トランスデューサ900は、第1の部分100、第2の部分400および第3の部分500を含む。第3の部分は、第2の部分内に含まれる空洞内に置かれる。また、シール710が空洞内に置かれる。第1および第2の部分は、第1の部分と第2の部分とが接合されるときに第3の部分上に下向きの圧力を印加するための備えを含む。下向きの圧力は、空洞を封止するように、第3の部分によりシールに対して印加される。
【選択図】図1B

Description

本出願は、「圧力トランスデューサ」という表題の、2015年3月12日に出願された米国仮特許出願番号第62/132,171号の優先権および利益を主張するものであり、その内容は参照により全体が本出願に組み込まれる。
圧力トランスデューサは、圧力を測定するデバイスである。圧力トランスデューサによって測定された圧力は、多くの場合、電気信号などの信号の形で圧力トランスデューサによって出力される。例えば、圧力トランスデューサの中には、ホイートストンブリッジ構成に配線され、且つダイヤフラムに接合された歪みゲージを用いるものがある。この場合、圧力トランスデューサに印加される圧力がダイヤフラムの偏向(たわみ)を生じさせ、これがゲージに歪みをもたらす。ゲージに対する歪みは、圧力に比例した、ゲージ内の電気抵抗の変化を生じさせる。この電気抵抗の変化は、多くの場合、アナログ電気信号の形で圧力トランスデューサから出力される。
圧力トランスデューサには、圧着される部品を用いて組み立てられるものがある。例えば、いくつかの圧力トランスデューサは、圧力トランスデューサを組み立てる間に、圧着される金属構部品を使用する。この場合、圧着(かしめ)は、圧力トランスデューサにより用いられるシールの位置をセットするために使用され、汚染物質が圧力トランスデューサに進入するのを防止する。圧力トランスデューサを組み立てる間に1つまたは複数の部品を圧着すると、多くの場合、圧力トランスデューサの組み立ての費用および/または複雑さが増大する。
本明細書に組み込まれ、またこの一部を構成する添付の図面は、説明と共に、本願で記載される1つまたは複数の実施形態を示し、また、これらの実施形態を説明するものである。図面の構成要素は必ずしも等倍で描かれておらず、本開示の原則を示すことに重点が置かれている。
圧力トランスデューサの例示的な実施形態を示す図である。
圧力トランスデューサの例示的な断面図である。
圧力トランスデューサの第1の部分の例示的な実施形態の第1の図である。
第1の部分の第2の図である。
第1の部分の正面図である。 第1の部分の正面図である。
圧力トランスデューサの第2の部分の例示的な実施形態を示す図である。
圧力トランスデューサの第3の部分の例示的な実施形態を示す図である。
圧力トランスデューサの組み立ての例示的な技法を示す図である。 圧力トランスデューサの組み立ての例示的な技法を示す図である。
本願で説明される特徴は、例えば、圧力トランスデューサの製造において使用できる。圧力トランスデューサは、多数の用途に使用できる。例えば、圧力トランスデューサは、自動車内のオイル圧力やボイラ内のボイラ圧力を測定するのに使用できる。
ある実施形態において、圧力トランスデューサは、第1の部分、第2の部分および第3の部分を含む。第1の部分は、圧力トランスデューサを外部デバイス(例えば、コンピュータ)に電気的に接続できるコネクタを収容するための備えを含む。第1の部分は、圧力トランスデューサを組み立てる間に、第2の部分と接合するための備えも含む。さらに、第3の部分が、圧力トランスデューサの外部に存在し得る汚染物質から第3の部分を封止するのに使用されるシールを押圧するように、第1の部分は、第3の部分を設置するための備えを含む。
第2の部分は、圧着動作(クリンプ動作)を必要とせずに、第1の部分と接合するための備えを含む。さらに、第2の部分は、第3の部分およびシールを収容するための備えを含む。また、第2の部分は、圧力センサにより測定される圧力を、圧力センサ内に備わる感知素子に提供するための備えを含む。第2の部分は、圧力センサを搭載するための備えも含む。
第3の部分は、圧力を測定し、当該測定された圧力に基づく信号を生成するための備えを含む。生成された信号は、測定された圧力を表す電気信号を含む。
図1Aは、圧力トランスデューサ900の例示的な実施形態を示す。圧力トランスデューサ900は、第1の部分100および第2の部分400を含む。以下でさらに説明するように、第1の部分100は、とりわけ、圧力トランスデューサ900に接続できるコネクタを収容するための設備を含む。コネクタは、圧力トランスデューサ900により生成された信号を、例えばコンピュータなどの外部デバイスへ伝送できる。
また、以下でさらに説明するように、第2の部分400は、とりわけ、圧力トランスデューサ900の第3の部分の設置を収容するための備えを含む。ある実施形態において、第3の部分は、圧力トランスデューサ900内に含まれるチャンネルに導入される圧力を測定するための電子的構成要素(例えば、集積回路、抵抗、コンデンサ、感知素子)を含む電子モジュールアセンブリ(EMA)である。第3の部分は、圧力トランスデューサ900内に含まれたシールに抗して設置される。
図1Bは、圧力トランスデューサ900の例示的な断面図を示す。図1Bを参照すると、圧力トランスデューサ900における第1の部分100、第2の部分400および第3の部分500の例示的な配置が示してある、この例示的な配置において、第1の部分100が、(1)第3の部分500と接触すること、(2)第3の部分500上に下向きの圧力を提供すること、に留意されたい。この下向きの圧力は、第3の部分500によりシール710に印加される。シール710は、例えば、Oリングシールとすることができる。下向きの圧力は、シール710を押圧または圧縮する。チャンネル714を通って圧力トランスデューサ900に侵入し、第3の部分500の動作に悪影響を及ぼすことのある汚染物質(例えば、ほこり、金属片)から第3の部分500を封止するように、押圧されたシール710は機能する。
チャンネル714により、圧力トランスデューサ900の外側からの圧力が、圧力トランスデューサ900に入ることができる。この圧力は、本実施形態では第3の部分500の一部である感知素子(以下でさらに説明する)に印加される。圧力トランスデューサ900は、圧力トランスデューサ900がデバイス(例えば、エンジン、ボイラ)に搭載されたときに、圧力トランスデューサ900のための封止を提供するように機能する搭載シール712を含むことにも留意されたい。搭載シール712は、例えば、Oリングシールとすることができる。
図2は、第1の部分100の例示的な実施形態の第1の図を示す。図2を参照すると、第1の部分100は、コネクタ部分110およびキー部分120を含む。
コネクタ部分110は、第1の部分100のコネクタ端部140にある。コネクタ部分110は、圧力トランスデューサ900と外部デバイスとの間の接続を提供する。当該接続は電気的接続とすることができ、これにより、圧力トランスデューサ900により生成された電気信号(例えば、アナログ信号、デジタル信号)を、圧力トランスデューサ900と外部デバイスとの間で伝達することが可能となる。コネクタ部分110は、接続を固定するのに使用できるロック機構112(例えば、クリップ)を含む。
キー部分120は、第1の部分100と第2の部分400との接合または結合を提供するための備えを含む。さらに、第1の部分100は、シール710に抗して、第3の部分500を第2の部分400内に載置または設置するための備えを含む。第2の部分400および第3の部分500の例示的な実施形態は、以下でさらに説明される。また、(1)第1の部分100を第2の部分400と接合するための例示的な技法、および(2)第2の部分400内に第3の部分500を設置するための例示的な技法が、以下でさらに説明される。
キー部分120は、上面130、底面132、面134およびキー136を含む。上面130および底面132は、平坦とすることができる。以下でさらに説明するように、底面132は、第3の部分500と接触して、第3の部分500を第2の部分400内に設置するのを可能にする力(例えば、下向きの力)を提供する。
地点138は、キー部分120の第1の端部にある。第1の端部は、キー部分120がコネクタ部分110と接続するポイントに位置される。面134は、キー部分120の第2の端部にある。第2の端部は、第1の端部と対向する。面134は、第1の部分100と第2の部分400との接合を提供するように調整して取付けられる。さらに、面134は、第2の部分400の形状に従うように湾曲される。
キー136は、縁(エッジ)部122、124、126および128により形成される。縁部122は、コネクタ部分110がキー部分120とぶつかる場所から、面134に向かって下方向に傾斜される。一実施形態において、縁部122の傾斜は、(1)第1の部分100と第2の部分400との接合の提供と、(2)第1の部分100が第3の部分500に印加する圧力の量とに基づいて規定される。この圧力は、(1)圧力トランスデューサ900が組み立てられるときに、第1の部分100により第3の部分500へ印加される圧力と、(2)圧力トランスデューサ900が組み立てられた後に、第1の部分100により第3の部分500へ印加される圧力とを含む。縁部122が面134に向かって地点138からある角度で傾斜していることに留意されたい。当該角度は、例えば0度〜45度の間とすることができるが、他の角度が用いられてもよい。
縁部128は、キー136の第1の側部を画定する。第1の端部で、縁部128は底面132に隣接する。第2の端部(縁部128の第1の端部に対向する)で、縁部128は、第1の縁部124に隣接する。縁部126は、キー136第2の側部を画定する。第1の端部で、縁部126は上面130に隣接する。第2の端部(縁部126の第1の端部に対向する)で、縁部126は、縁部124の第2の端部に隣接し、縁部124の第1の端部が縁部124の第2の端部に対向している。
縁部124は、縁部126に向かって下向きに傾斜する。他の実施形態において、縁部124は、縁部126に向かって上向きに傾斜してもよく、または全く傾斜しなくてもよい(例えば、縁部124は、縁部126と垂直であってもよい)。縁部124の傾斜は、例えば、第1の部分100を第2の部分400と接合するときに、第1の部分100の横方向の動きを減少させることに基づいて、規定できる。縁部124は、縁部122から縁部126に向かってある角度で傾斜することに留意されたい。こうした角度は、例えば、0〜90度の間であってもよく、他の角度が用いられてもよい。
図3は、第1の部分100の上面図を示す。図3を参照すると、当該上面図が、上面130に関するキー136の位置を示すものであることに留意されたい。さらに、当該上面図は、面134の例示的な湾曲を示す。この実施形態において、湾曲は、圧力トランスデューサ900が組み立てられた後に、面134が第2の部分400の外面とぴったり重なるように、第2の部分400の湾曲と整合する。
コネクタ部分110において、上面図は、さらに、キー部分120の大きさおよび形状に対する、コネクタ部分110の大きさおよび形状を示す。コネクタ部分110の側部がキー部分120よりもさらに外側に延在することに留意されたい。こうした延在は、第1の部分100が第2の部分400と接合されるときに、コネクタ部分110が止め部(ストッパー)の働きをするのを可能にする。また、図3において、ロック機構112の別の視点が示されていることに留意されたい。
図4A〜図4Bは、第1の部分100の正面図を示す。具体的には、図4Aは、コネクタ部分110からキー部分120に向かって眺めた正面図を示し、図4Bは、キー部分120からコネクタ部分110に向かって眺めた正面図を示す。
図4A〜図4Bを参照すると、第1の部分100は、キー310、止め部312、開口部314および台316を含む。キー310は、コネクタ部分110での圧力トランスデューサ900に接続できるコネクタを配向および誘導するように機能する。コネクタは、ロック機構112を使用して固定できる。
止め部312は、第3の部分500の移動を誘導および抑制するのに使用される。以下でさらに説明するように、第3の部分500は、回路基板を含む。止め部312は、第1の部分100が第2の部分400と接合されるときに、開口部314を通って回路基板の誘導を提供するように機能する。さらに、第1の部分100が第2の部分400に接合された後、止め部312は、回路基板の移動を抑制するように機能する。
開口部314は、第3の部分500を収容するために提供される。第1の部分100および第2の部分400が接合または結合された後、第3の部分500と関連する回路基板の一部は、開口部314を通過する。回路基板のこうした一部は、回路基板上の回路とコネクタ部分110で接続されたコネクタとの間の電気的接続を提供する導電性の端子を含む。
台316は、開口部314を通って回路基板の誘導を提供するように機能する。さらに、台316は、第1の部分100が第2の部分400に接合された後に、回路基板のための静止場所(resting point)を提供するように機能する。
図5は、圧力トランスデューサ900の第2の部分400の例示的な実施形態を示す。図5を参照すると、第2の部分400は、開口部410、空洞(cavity)416および縁部414を含む。
開口部410は、圧力トランスデューサ900を組み立てる間に、第1の部分100を受けるように成形される。開口部410は、例えば、圧力トランスデューサ900を組み立てる間に、第1の部分100を第2の部分400と位置合わせするように機能する縁部412を含む。例えば、以下でさらに説明するように、圧力トランスデューサ900を組み立てることは、第1の部分100を第2の部分400と接合することを含む。ここで、例えば、縁部412は、第1の部分100が第2の部分400と接合されるときに、第1の部分100を第2の部分400と位置合わせするように機能する。
縁部414は、第2の部分400の前側418から、第2の部分400の後側420に向かって、下向きに傾斜される。前側418は、第1の部分100が第2の部分400との接合を開始する地点を含む。後側420は、第1の部分100と第2の部分400とが完全に接合される地点を含む。
空洞416は、第3の部分500を受けるように成形される。さらに、空洞416は、図1Bに示したように、第3の部分500とチャンネル714との間の空洞416に配置されるシール710を収容するための備えを含む。
縁部414の傾斜は、例えば、第1の部分100を第2の部分400と接合するときの、第1の部分100の所望の動きに基づいて規定される。こうした所望の動きは、空洞416内に第3の部分500の設置を収容するように機能できる。空洞146内に第3の部分500を設置すると、第3の部分500が、例えば、シール710を押圧するように、シール710に圧力を印加する。シール710を押圧すると、汚染物質がチャンネル714を通って空洞416に入るのが防止できる。
図6は、圧力トランスデューサ900の第3の部分500の例示的な実施形態を示す。第3の部分500は、電子回路512、端子514、回路基板516および感知素子522を含む。
電子回路512は、感知素子522から測定値(例えば、容量値)を受信し、当該測定値に基づいて信号を生成するための電子的構成要素(例えば、集積回路、抵抗、コンデンサ)を含む。電子的構成要素は、回路基板516上に搭載される。端子514は、電子回路512により生成された信号を、圧力トランスデューサ900に接続された外部デバイスに伝達する導電性の接続である。
感知素子522は、セラミック基板518およびセラミックダイヤフラム520を含む。セラミック基板518は、セラミックダイヤフラムのための基板である。セラミック基板518は剛性であり、セラミックダイヤフラム520のためのプラットフォームを提供する。セラミックダイヤフラム520は、感知素子522のためのダイヤフラムである。セラミックダイヤフラム520は、セラミックダイヤフラム520に印加される圧力に基づき収縮する。感知素子522に関連する静電容量は、セラミックダイヤフラム520の収縮に基づき変化する。
動作時に、圧力は、チャンネル714(図1B)を介して圧力トランスデューサ900に導入され、感知素子522に印加される。こうした圧力により、セラミックダイヤフラム520が撓む。感知素子522の静電容量は、セラミックダイヤフラム520の撓みに基づき変化する。こうした静電容量は、静電容量に基づき信号を生成する電子回路512によって読み取られ、処理される。信号は、端子514を介して、第3の部分500から圧力トランスデューサ900に接続された外部デバイスへ伝達される。
図7A〜図7Bは、圧力トランスデューサ900を組み立てるための例示的な技法を示す。図7A〜図7Bを参照すると、シール710(図1B)および第3の部分500(図6)は、第1の部分100を第2の部分400に接合する前に、空洞416(図5)の内側に配置される。シール710は、図1Bに示すように、チャンネル714と第3の部分500との間の空洞416内に配置される。
キー部分120は、第2の部分400の前側418で開口部410(図5)に入る。縁部412および124は、開口部410においてキー部分120を誘導および/または位置合わせするように機能する。キー部分120が開口部410内へ進行するとき、縁部414および122は、キー部分120上に下向きの圧力を印加するように機能する。この下向きの圧力は第3の部分500に印加され、この結果、第3の部分500を空洞416内に着座される。さらに、下向きの圧力は、第3の部分500から空洞416内のシール710へ伝達され、この結果、シール710を押圧する。押圧されたシール710は、それがなければ、例えばチャンネル714を介して空洞416に進入し得る汚染物質から空洞416を封止するように機能する。組み立てられた圧力トランスデューサ900の一例は、図1Aに示されている。
第1の部分100と第2の部分400との間の摩擦が、組み立てられた圧力トランスデューサ900においてこれらの部分100、400を共に保持できることに留意すべきである。これにより、圧力トランスデューサ900を組み立てるときに圧着動作を利用しなければならないことを不要にできる。
また、別の実施形態においては、部分100および400を共に保有するための別の技法(例えば、ロック、スナップ)が使用されてもよいことに留意すべきである。
実施形態の前述の説明は、実例および説明を提供することを意図しており、包括的であることや、開示された明確な形態に本発明を限定することを意図するものではない。修正形態および変形形態が、上記教示の観点から可能であり、または、本発明の実施から獲得できる。
本明細書で使用された要素、機能または手順は、そのように明示される場合を除いて、本発明にとって重大または必須のものと解釈すべきでない。また、本明細書で使用した冠詞「a」は、1つまたは複数のアイテムを含むことを意図するものである。1つのアイテムのみが意図される場合、「1つの(one)」または同様の用語が使用される。さらに、「〜に基づく(based on)」という語句は、そうではないと明示される場合を除いて、「少なくとも部分的に〜に基づく」ことを意味することが意図される。
本発明は、上記で開示した特定の実施形態に限定されるのを意図するものではなく、本発明は、以下の添付の特許請求の範囲の範囲内にある特定の実施形態およびその等価物のうちのいくつかまたは全てを含むことが意図される。

Claims (9)

  1. 第1の部分と、
    前記第1の部分に結合され、且つ空洞を有する第2の部分と、
    前記空洞内に含まれるシールと、
    前記空洞内に含まれる第3の部分とを含み、
    前記第1の部分が、前記シールを押圧するように前記第3の部分に圧力を印加する縁部を備える、圧力トランスデューサ。
  2. 請求項1に記載の圧力トランスデューサであって、前記第1の部分が、前記圧力トランスデューサの外部デバイスへの接続を提供するコネクタ部分を備える、圧力トランスデューサ。
  3. 請求項2に記載の圧力トランスデューサであって、前記第1の部分が、前記第1の部分と前記第2の部分との結合を提供するキー部分を備える、圧力トランスデューサ。
  4. 請求項3に記載の圧力トランスデューサであって、前記キー部分が、前記コネクタ部分が前記キー部分と接続する地点から下向きに傾斜する縁部を備える、圧力トランスデューサ。
  5. 請求項4に記載の圧力トランスデューサであって、前記縁部が0度と45度の間の角度で下向きに傾斜する、圧力トランスデューサ。
  6. 請求項3に記載の圧力トランスデューサであって、前記キー部分が、第1の縁部、第2の縁部および第3の縁部を備え、
    前記第1の縁部が前記キー部分の底面および前記第3の縁部に隣接し、前記第2の縁部が前記キー部分の上面および前記第3の縁部に隣接し、前記第3の縁部が、前記第1の縁部および前記第2の縁部に隣接し、
    前記第3の縁部が前記第2の縁部に向かって傾斜する、圧力トランスデューサ。
  7. 請求項6に記載の圧力トランスデューサであって、前記第3の縁部が、0度と90度の角度で前記第2の縁部に向かって下向きに傾斜する、圧力トランスデューサ。
  8. 請求項1に記載の圧力トランスデューサであって、前記第2の部分が、前記第1の部分を受けるための開口部を備える、圧力トランスデューサ。
  9. 請求項8に記載の圧力トランスデューサであって、前記第2の部分が、前記第1の部分を前記第2の部分に結合する間に、前記第1の部分を前記第2の部分と位置合わせするように機能する縁部を備える、圧力トランスデューサ
JP2016045889A 2015-03-12 2016-03-09 圧力トランスデューサ Pending JP2016170171A (ja)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201562132171P 2015-03-12 2015-03-12
US62/132,171 2015-03-12
US14/694,044 US9857260B2 (en) 2015-03-12 2015-04-23 Pressure transducer with multiple joinable portions
US14/694,044 2015-04-23

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2016170171A true JP2016170171A (ja) 2016-09-23

Family

ID=55451024

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016045889A Pending JP2016170171A (ja) 2015-03-12 2016-03-09 圧力トランスデューサ

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9857260B2 (ja)
EP (1) EP3070451B1 (ja)
JP (1) JP2016170171A (ja)
KR (1) KR20160110146A (ja)
CN (1) CN105973528B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018081039A (ja) * 2016-11-18 2018-05-24 日本電産トーソク株式会社 油圧センサ取付構造

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4903164A (en) * 1988-12-08 1990-02-20 Texas Instruments Incorporated O-ring/back-up ring seal for high pressure transducers
US4888662A (en) * 1988-12-08 1989-12-19 Texas Instruments Incorporated High pressure package for pressure transducers
CA2062543C (en) * 1992-03-09 1996-09-17 Douglas Milne Cable bolt monitoring device
US5331857A (en) * 1992-08-21 1994-07-26 General Automotive Specialty Co., Inc. Pressure transducer
US5349865A (en) * 1993-08-30 1994-09-27 Kavlico Corporation Wide-pressure-range, adaptable, simplified pressure transducer
USRE38557E1 (en) * 1995-10-03 2004-07-20 Nt International, Inc. Non-contaminating pressure transducer module
US5869766A (en) * 1995-10-03 1999-02-09 Nt International, Inc. Non-contaminating pressure transducer module
US7032456B1 (en) * 2004-12-30 2006-04-25 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Isostatic piezoresistive pressure transducer with temperature output
ITTO20050027U1 (it) * 2005-02-18 2006-08-19 Elbi Int Spa Sensore induttivo di pressione, particolarmente per elettrodomestici, caldaie e simili
DE102011079446A1 (de) * 2011-07-20 2013-02-07 Robert Bosch Gmbh Sensoreinrichtung, insbesondere für die Verwendung in einem Kraftfahrzeug
EP2813831B1 (en) * 2012-02-09 2018-04-18 Fuji Electric Co., Ltd. Physical quantity sensor and method for manufacturing physical quantity sensor
US9903777B2 (en) * 2015-03-12 2018-02-27 Sensata Technologies, Inc. Pressure transducer

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018081039A (ja) * 2016-11-18 2018-05-24 日本電産トーソク株式会社 油圧センサ取付構造

Also Published As

Publication number Publication date
CN105973528A (zh) 2016-09-28
EP3070451A1 (en) 2016-09-21
KR20160110146A (ko) 2016-09-21
US20160265997A1 (en) 2016-09-15
US9857260B2 (en) 2018-01-02
CN105973528B (zh) 2019-06-04
EP3070451B1 (en) 2018-06-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10473546B2 (en) Hermetic pressure sensor having a bending part
US9903777B2 (en) Pressure transducer
US8316725B2 (en) Force sensor
US8733182B2 (en) Force sensor assembly and method for assembling a force sensor assembly
US9470593B2 (en) Media isolated pressure sensor
US20150192478A1 (en) Sensor for detecting a temperature and a pressure of a fluid medium
US8196474B2 (en) Pressure sensor
US7930944B2 (en) ASIC compensated pressure sensor with soldered sense die attach
US20150027231A1 (en) Mechanical Quantity Measuring Device
CN110763392A (zh) 物理量测定传感器以及传感器模块
US10969287B2 (en) Filling body for reducing a volume of a pressure measurement chamber
JP2016161567A (ja) マイクロフューズドシリコン歪みゲージ(msg)圧力センサパッケージ
US11454555B2 (en) Force sensor apparatus and a method of assembling the same
JP2016170171A (ja) 圧力トランスデューサ
KR20160086337A (ko) 측정 챔버 내 유체 매체의 압력을 검출하기 위한 압력 센서 장치
US11326971B2 (en) Pressure sensor device including improved conductivity and protection
US11344207B2 (en) Pressure pulse wave sensor and biological information measurement device
JP2008185334A (ja) 圧力センサ
CN113710999A (zh) 用于检测压力和/或料位和/或流量和/或密度和/或质量和/或温度的传感器
JP6147110B2 (ja) 圧力検出装置
JP7004596B2 (ja) 圧力センサー
JP2018105748A (ja) 圧力センサ
JP6728980B2 (ja) 圧力センサの製造方法
JP2016001162A (ja) 圧力センサ
JP2008157740A (ja) 圧力センサ