JP2009168718A - 圧力センサ - Google Patents

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Seiichi Shimakawa
清一 島川
Tomoyuki Nakamura
友幸 中村
Susaburo Asakawa
崇三郎 淺川
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Abstract

【課題】継ぎ手フランジの変形が抑えられるとともに、ケースフランジの位置決めの精度が向上した圧力センサを提供する
【解決手段】継ぎ手フランジ14の厚肉部15は、ねじ孔の端縁に対応する位置で薄肉部14Aよりも回路部30側に突出して形成されているので、継ぎ手10を配管1Bに取付ける際、継ぎ手フランジ14が変形するという不都合を防止できる。また、継ぎ手フランジ14には、薄肉部14Aが設けられるので、圧力センサ1Aの高さ寸法を小さくすることができ、小型化が図れる。また、厚肉部15の位置決め面15Aは、径方向寸法が大きい状態でケースフランジ42を位置決めすることができるので、位置決め精度が向上する。
【選択図】図1

Description

本発明は、建設機械や工業用油圧ユニット、その他の装置において圧力測定に使用される圧力センサに関する。
従来、気体や液体などの流体の圧力を計測する圧力センサが知られている。この圧力センサの従来例として、例えば、図5や特許文献1〜3がある。
図5の圧力センサ61Aでは、継ぎ手610がOリング613を介して配管1Bに取り付けられている。継ぎ手610の継ぎ手本体611の内部には、流路612が形成されており、この流路612に、配管1Bを流れる流体が流入する。継ぎ手本体611の外周部には、位置決め部611Aが設けられており、この位置決め部611Aがケースフランジ641の内側部分に当接することにより、ケース640が位置決めされる。
継ぎ手本体611には、厚さ寸法がH1の継ぎ手フランジ614が設けられている。継ぎ手フランジ614は位置決め部611Aから外縁に亘って平坦な対向面614Aを有し、この対向面614Aには、ケースフランジ641の下面641Aが接合される。
センサ部620のダイアフラム621は、流路612に流入した流体が作用すると流体の圧力により弾性変形する。そして、センサ部620の歪ゲージ622は、ダイアフラム621の弾性変形による歪み量に対応した電気信号を生成し、圧力値を測定する。
回路部630は、センサ部620で発生した電気信号を増幅し、増幅した電気信号を外部に伝達する。回路部630およびセンサ部620は、ケース640に収納されている。ケース640の上部に設けられた電気的接続手段650は、ケーブル651を介して図示しない外部端末と回路部630とを連絡する。
特許文献1には、被設置部材にねじ込まれる継手の本体部に、フランジが設けられた圧力センサが示されている。フランジの上部には、継手を被設置部に固定するためのフランジ部材が接合されている。
特許文献2には、継手の本体より突出形成された鍔部を有する圧力センサが示されている。鍔部の一側端面にはフランジと接合するための接合面が設けられている。
特許文献3には、相手方部材の取付部にネジ部をねじ込むための締め付け部を有する圧力センサが示されている。締め付け部の内部には、センサ本体収納部として凹部が形成され、凹部の底部に環状の溝が設けられている。この溝を設けることにより、凹部の底部が薄肉になり剛性が低下する。そして、締め付け時の応力がケース座面にかかった場合に、薄肉の溝底部が撓む点が示されている。
特開2002−168718号公報 特開2002−228535号公報 特開平10−153509号公報
図5で示される従来例および特許文献1、2では、フランジや鍔部としての継ぎ手フランジが肉厚に形成されており、圧力センサの高さ寸法を小さくして小型化を図れないおそれがある。小型化するために、単に、継ぎ手フランジの厚さ寸法をH1からH2にして薄肉にする構成が考えられるが(図5の想像線参照)、それでは、継ぎ手を配管等に取り付けるにあたり、強度が不足して継ぎ手フランジが変形するおそれがある。そして、図5の従来例では、ケースフランジの内周縁が継ぎ手本体の外周部に当接して位置決めされるが、ケースフランジの内周径が小さいので、位置決め精度が必ずしも十分ではない。また、特許文献2では、継ぎ手フランジにフランジ部材としてのケースフランジを接合する場合において、位置決めするための構成が不明であるため、ケースフランジの位置決めの精度が十分ではない。
特許文献3では、ネジ部と締め付け部とが一体に設けられているので、高さ寸法が高くなり、小型化が図れないおそれがある。また、締め付け部には溝が設けられているので、凹部の底部が薄肉になり剛性が低下し、ケース座面が締め付け時の応力を受けた場合に、薄肉の溝底部が撓むとの記載がある。このため、ケース座面を有する継ぎ手フランジの強度が不足する場合、変形するおそれがある。
本発明の目的は、継ぎ手フランジの変形を抑えて小型化が可能であるとともに、ケースフランジの位置決めの精度が向上した圧力センサを提供することである。
本発明の圧力センサは、相手部材に取り付けられる継ぎ手と、この継ぎ手に設けられ、流体の圧力を測定するセンサ部と、このセンサ部が収納され、前記継ぎ手に取り付けられるケースフランジを有するケースと、を備えた圧力センサであって、前記継ぎ手は、前記相手部材に形成された開口部に嵌合され前記センサ部に前記相手部材の流体の圧力を導入する継ぎ手本体と、この継ぎ手本体に設けられ前記相手部材の外側部に当接するとともに前記ケースフランジに接合される継ぎ手フランジとを有し、前記継ぎ手フランジは、外周部に形成された薄肉部と、前記開口部の端縁に対応する位置で前記薄肉部よりも前記センサ側に突出して形成された厚肉部とを有し、前記厚肉部は、外周縁が前記ケースフランジを位置決め可能な位置決め部とされたことを特徴とする。
この発明によれば、相手部材の開口部、すなわち圧力センサの継ぎ手がねじ込まれるねじ孔の端縁に対応する位置において、厚肉部は薄肉部よりもセンサ側に突出して設けられている。そのため、継ぎ手を相手部材にねじ込む際、継ぎ手における開口部の端縁上に剪断力が生じても継ぎ手フランジが補強されているから、継ぎ手フランジの変形を防止できる。また、継ぎ手フランジに薄肉部が設けられるので、圧力センサの高さ寸法を小さくすることができ、小型化が図れる。さらに、厚肉部は位置決め部を有するので、継ぎ手本体の外周縁でケースフランジの位置決めを行う場合よりも、幅寸法が大きい状態、すなわち、径方向寸法が大きい状態で位置決めするので寸法公差が小さくなり位置決め精度が向上する。したがって、継ぎ手フランジにケースフランジを安定して取り付けることができる。
本発明の圧力センサでは、前記継ぎ手は、前記ケースフランジが溶接で取り付けられ、前記厚肉部と前記ケースフランジとの間には、所定の間隙が設けられ、この間隙は、前記継ぎ手フランジに前記ケースフランジを溶接する際に生じる応力集中を緩和可能な第1の逃げ部であることが好ましい。
この発明によれば、ケースフランジと継ぎ手フランジとを溶接する際、第1の逃げ部は応力集中を緩和するので、ケースフランジが変形するという不都合を防止して精度良く圧力を測定できる。
本発明の圧力センサでは、前記厚肉部は、周方向に所定の間隙を有して複数設けられ、隣り合う前記厚肉部同士の間隙は、前記継ぎ手フランジに前記ケースフランジを溶接する際に生じる応力集中を緩和可能な第2の逃げ部であることが好ましい。
この発明によれば、厚肉部は複数設けられているので、ケースフランジが位置決めされやすくなる。したがって、継ぎ手フランジにケースフランジを容易に溶接することができる。また、継ぎ手フランジにケースフランジを溶接する際、隣り合う厚肉部同士の間に設けられた第2の逃げ部は、溶接により発生する応力集中を緩和するので、継ぎ手フランジやケースフランジが変形するという不都合を防止してさらに精度よく圧力を測定できる。
〔第1実施形態〕
以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明の第1実施形態にかかる圧力センサの断面図である。図2は、本発明の第1実施形態にかかる圧力センサの継ぎ手の平面図である。
図1および図2において、圧力センサ1Aは、継ぎ手10と、継ぎ手10に接続されたセンサ部20と、センサ部20で測定した信号を増幅する回路部30と、センサ部20および回路部30を収納する収納空間43が形成された円筒状のケース40と、回路部30に接続した電気的接続手段50とを備えている。
この圧力センサ1Aは、配管1B内を流通する気体、液体、その他様々な流体を被測定流体とし、その圧力を計測することができる。
〔継ぎ手の構成〕
図1に示されるように、継ぎ手10は、被測定流体が流通する相手部材としての配管1Bに接続される。また、継ぎ手10は、配管1Bを流通する流体の圧力が導入されセンサ部20を載置する継ぎ手本体11と、継ぎ手本体11より突設された略円盤状の継ぎ手フランジ14とを有する。
継ぎ手本体11には外周に配管1Bにねじ込まれる雄ねじが形成され、内部には継ぎ手本体11の配管1B側の端部からセンサ部20にわたって、流体が流入可能な流入口12Aを有する流路12が形成されている。そして、継ぎ手本体11および配管1Bとの間には所定の間隙が設けられ、この間隙にはOリング13が配設されている。
継ぎ手フランジ14は、外周縁から所定寸法に亘って形成された薄肉部14Aと、薄肉部14Aより厚さ寸法が大きい厚肉部15と、厚肉部15の内側に形成された薄肉凹部14Bとを有する。薄肉部14Aは、継ぎ手フランジ14の外周部に形成されている。そして、薄肉部14Aの上面には、ケースフランジ42の下面が当接する状態で、レーザー溶接などで接合されている。
厚肉部15は、配管1Bの開口部、すなわち圧力センサ1Aの継ぎ手10がねじ込まれるねじ孔の端縁に対応する位置に配設され、センサ部20側に突出して形成されている。また、厚肉部15は、図2に示すように、継ぎ手フランジ14の外周部および継ぎ手本体11の外周部から所定の間隙を有する状態で配設され略環状である。そして、厚肉部15は、継ぎ手フランジ14を切削加工することにより成形される。
また、厚肉部15の外周面には位置決め面15Aが設けられ、この位置決め面15Aは、ケースフランジ42の内側部分に当接して位置決め固定する。
そして、厚肉部15の上面とケースフランジ42の内側との間には、位置決め面15Aに連続する状態で所定の間隙が設けられている。この間隙は、第1の逃げ部16であり、ケースフランジ42と継ぎ手フランジ14とを溶接する際、第1の逃げ部16は溶接により発生する応力集中を緩和する。
継ぎ手10へケース40を固定する際には、継ぎ手10にケース40をはめ込む状態とし、継ぎ手フランジ14にケースフランジ42をレーザー溶接などで接合固定する。これにより、ケースフランジ42はケース40の下端部に接合されているので、継ぎ手10にケース40を固定することができる。
[センサ部20の構成]
センサ部20は、図1に示すように、継ぎ手10の流入口12Aとは反対側に設けられ、流路12を塞ぐ状態に形成されている。そして、このセンサ部20は、略円盤薄肉状のダイアフラム21と、このダイアフラム21の外周部に形成される円筒部22と、ダイアフラム21の一面側に設けられた歪ゲージ23とを有する。ダイアフラム21は、流体が作用すると流体の圧力により弾性変形する。そして、歪ゲージ23は、このダイアフラム21の弾性変形による歪み量に対応した電気信号を生成する。
[回路部30の構成]
回路部30は、歪ゲージ23で発生した電気信号を増幅し、増幅した電気信号を外部に伝達する機能を有する。
回路部30は、図1に示すように、円筒部22を囲む円筒状の台座部31と、台座部31の表面に設けられたフレキシブルシート32と、スペーサ35とを備えている。
台座部31は、ケースフランジ42と一体的に形成され、その内周側にセンサ部20が収納されている。台座部31の上面がセンサ部20の歪ゲージ23と略同一面内にある状態に配置される。
フレキシブルシート32は、台座部31の上面に載置され、歪ゲージ23に接触しないように設けられている。
スペーサ35は、歪ゲージ23を覆う状態に略凹状に形成された凹部351と、この凹部351の開口部側とは反対側に一体的に形成された一対の壁部352と、で形成される。
凹部351は、歪ゲージ23との間に空間を形成するための外壁部351Aおよび基部351Bにより略凹状に形成され、開口部を歪ゲージ23側に向けて設置されている。
そして、台座部31の外周において、フレキシブルシート32が台座部31の外周面とスペーサ35の内周面との間に挟まれ、さらにスペーサ35の外周面に沿った状態で、フレキシブルシート32の端部がスペーサ35の外部に露出している。また、フレキシブルシート32を介して、スペーサ35とケースフランジ42との間に導電性の接着剤33が塗布されている。
一対の壁部352は、凹部351の基部351Bの開口部側とは反対側の上面に一体的に形成される。凹部351の上面の中央には回路部品が設けられており、一対の壁部352は、この回路部品を挟んで対向する状態に設けられる。回路部品としては、例えば、ICチップ等が用いられる。
また、スペーサ35の表面には、歪ゲージ23で発生した電気信号を増幅させながら電気的接続手段50に伝達する回路パターンと、回路パターンの経路に位置するチップコンデンサ34とが設けられている。そして、壁部352の上部には、回路部30を外部の電源等と接続する電気的接続手段50に接続する突出形状の係合ピン353および基板36が設けられている。
スペーサ35の表面の回路パターンは凹部351の外周面および壁部352の外周面に形成され、係合ピン353の表面に形成された回路パターンへと接続する。
基板36には、係合ピン353が嵌合するための係合孔が、係合ピン353と対応する位置に形成されている。そして、係合ピン353が係合孔に係合され、半田付けにより固定される。基板36としては、電気的特性を有するものであれば特に限定されないが、例えば、ガラスエポキシ基板等を使用することができる。
また、基板36には、電気的接続手段50のケーブル51を係合するための挿通孔(図示しない)が形成されている。そして、この挿通孔にケーブル51が挿入され、半田付けにより固定されている。これにより、基板36と電気的接続手段50とが電気的に導通している。
[電気的接続手段50の構成]
電気的接続手段50は、基板36と電気的に接続され、図示しない外部端末と回路部30とを連絡する例えば、図示しない1本のケーブルを含む3本のケーブル51である。外部端末には回路部品により増幅された歪みゲージ23の電気信号を出力し、外部端末からは電源を回路部30に供給する。
また、これらのケーブル51は、ゴム部材52に取り付けられている。ゴム部材52は、略筒状の形状を有しており、3本のケーブル51に対応するの貫通孔が長手方向に形成されている。そして、ゴム部材52は、ケース40の取付孔41に嵌合する状態で取り付けられる。
ケーブル51は、ゴム部材52の貫通孔を貫通する状態で取り付けられ、その先端は基板36の挿通孔(図示しない)にそれぞれ挿入され、半田付けにより固定される。これにより、回路部30と電気的接続手段50とが電気的に導通する。
ゴム部材52としては、例えば、可塑化ポリ塩化ビニル(PVC)、クロロプレンゴム(CR)等を使用することができる。
[第1実施形態の効果]
このような本実施形態によれば、以下のような作用効果がある。
(1)継ぎ手10の継ぎ手フランジ14は、配管1Bのねじ孔の端縁に対応する位置で薄肉部14Aよりも厚さ寸法が大きくセンサ部20側に突出して形成された厚肉部15を有する。
このため、厚肉部15は薄肉部14Aよりも肉厚に設けられているので、継ぎ手10を配管1Bに取付ける際、継ぎ手フランジ14を補強して継ぎ手フランジ14の変形を防止できる。また、継ぎ手フランジ14に薄肉部14Aが設けられているので、圧力センサ1Aの高さ寸法を小さくすることができ、小型化が図れる。
(2)また、厚肉部15の内側には、薄肉凹部14Bが形成されている。
このため、薄肉凹部14Bを有する継ぎ手フランジ14を用いることにより、圧力センサ1Aが軽量化される。
(3)また、厚肉部15はケースフランジ42を位置決め可能な位置決め面15Aを有する。
このため、幅寸法が大きい状態、すなわち、径方向寸法が大きい状態で位置決めすることができるので寸法公差が小さくなり位置決め精度が向上する。したがって、継ぎ手フランジ14にケースフランジ42を安定して取り付けることができる。
(4)そして、厚肉部15は略環状に形成されている。
このため、ケースフランジ42を容易に位置決めすることができるので、継ぎ手フランジ14にケースフランジ42を容易に溶接することができる。また、厚肉部15を有しない場合と比較して、継ぎ手フランジ14とケースフランジ42とをレーザー溶接する際にレーザビーム先端に発生する溶接スパッタがセンサ部20に混入することによるセンサ部20の損傷を防止できる。
(5)さらに、厚肉部15は、継ぎ手フランジ14を切削加工して形成されている。
このため、厚肉部15は所定の厚さ寸法を有する継ぎ手フランジ14のうち所定の部分を切り削って形成されるので、別の部材を用いて継ぎ手フランジ14に取り付けて厚肉部を設ける場合と比較して、容易に形成できる。
(6)また、第1の逃げ部16は、位置決め面15Aに連続して設けられるとともに厚肉部15とケースフランジ42との間の所定の間隙であり、継ぎ手フランジ14にケースフランジ42を溶接する際に応力集中を緩和する。
このため、第1の逃げ部16は応力集中を緩和するので、継ぎ手フランジ14にケースフランジ42を溶接する際、継ぎ手フランジ14やケースフランジ42が変形するという不都合を防止し、圧力センサ1Aが測定する際の精度を向上させることができる。
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態を図3に基づいて説明する。
図3は、本発明の第2実施形態にかかる圧力センサの継ぎ手の平面図である。
第2実施形態にかかる圧力センサ1Aは、肉厚部が異なる以外は第一実施形態と同様の構成であるので、肉厚部のみを説明する。
図3に示すように、継ぎ手フランジ14には、厚肉部15Bが設けられている。厚肉部15Bは配管1Bのねじ孔に対応する位置に配設されるとともに、所定の間隙を有する状態で複数設けられている。隣り合う厚肉部15B同士の間隙は、ケースフランジ42と継ぎ手フランジ14とを溶接する際に発生する応力集中を緩和する第2の逃げ部17である。また、これらの厚肉部15Bの厚さ寸法は略同等である。
そして、厚肉部15Bの外周面は、ケースフランジ42の内側部分に当接する位置決め面15B1である。
継ぎ手10にケース40を固定する際には、ケースフランジ42の内側部分に位置決め面15B1および薄肉部14Aの上面を当接させる状態で、継ぎ手フランジ14にケースフランジ42をレーザー溶接などで接合固定する。これにより、継ぎ手10にケース40を固定することができる。
[第2実施形態の効果]
このような第2実施形態によれば、第1実施形態と同様の作用効果および以下の作用効果を奏することができる。
(7)第2の逃げ部17は、継ぎ手フランジ14にケースフランジ42を溶接する際に応力集中を緩和する。
このため、第2の逃げ部17は応力集中を緩和するので、継ぎ手フランジ14にケースフランジ42を溶接する際、継ぎ手フランジ14やケースフランジ42が変形するという不都合を防止する。したがって、圧力センサ1Aは、さらに精度良くに圧力を測定できる。
(8)また、継ぎ手フランジ14の隣り合う厚肉部15B同士の間には、間隙が設けられている。
このため、継ぎ手フランジ14を取り付けることにより圧力センサがさらに軽量化される。
なお、第2実施形態では、厚肉部15Bに対応する継ぎ手フランジ14の外周部において、継ぎ手フランジ14とケースフランジ42とをレーザー溶接してもよい。これにより、厚肉部15Bが壁となってレーザー溶接する際に発生する溶接スパッタによりセンサ部20が損傷することを防止できる。また、第2実施形態では、複数の厚肉部15Bは、互いに所定の間隙を有する状態で設けられている構成を示したが、厚肉部15B同士の間に設けられた間隙にスペーサを設けても良い。これにより、第1実施形態の厚肉部15が略環状に形成されている場合と同様に、複数の厚肉部15Bとスペーサとで略環状となり、レーザー溶接する際に発生する溶接スパッタによってセンサ部20が損傷することを防止できる。
[第3実施形態]
次に、本発明の第3実施形態を図4に基づいて説明する。
図4の(A)は、本発明の第3実施形態にかかる圧力センサの継ぎ手の平面図である。図4の(B)は、本発明の第3実施形態にかかる圧力センサの継ぎ手の断面図である。
第3実施形態にかかる圧力センサ1Aは、肉厚部が異なる以外は第一実施形態と同様の構成であるので、肉厚部のみを説明する。
図4に示すように、厚肉部15Cは複数設けられ、隣り合う厚肉部15Cの間には第2の厚肉部18が設けられている。すなわち、厚肉部15Cおよび第2の厚肉部18は、全体として環状に形成されている。厚肉部18は、薄肉部14Aよりも厚さ寸法が大きく、厚肉部15よりも厚さ寸法が小さく設けられている。また、第2の厚肉部18の外周面は、ケースフランジ42の内面に当接する第2の位置決め面18Aである。第2の位置決め面18Aは、位置決め面15Aに連続して設けられている。そして、厚肉部15の上面と同様に、第2の厚肉部18の上面とケースフランジ42の内面との間には、所定の間隙が設けられている。この間隙は、ケースフランジ42と継ぎ手フランジ14とを溶接する際、溶接により発生する応力集中を緩和する。
[第3実施形態の効果]
このような第3実施形態によれば、第1実施形態と同様の作用効果および以下の作用効果を奏することができる。
(9)第2の厚肉部18の上面と、ケースフランジ42の内面との間に設けられた所定の間隙は、ケースフランジ42と継ぎ手フランジ14とを溶接する際、溶接により発生する応力集中を緩和する。
このため、所定の間隙は、溶接により発生する応力を緩和するための逃げとして利用でき、溶接によるケースフランジ42や継ぎ手フランジ14の変形を防止できる。
[変形例]
なお、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲で以下に示される変形をも含むものである。
例えば、継ぎ手フランジ14は、ケースフランジ42と溶接されている構成を示したが、継ぎ手フランジ14は、ケースフランジ42と接着剤にて固着されていてもよい。
そして、第2および第3実施形態において、厚肉部15の位置決め面15Aには、継ぎ手本体11側に向かって凹んだ凹部が設けられ、ケースフランジ42には、凹部に嵌合される凸状の凸部が設けられていても良い。第2実施形態では、ケースフランジ42の凸部は継ぎ手10の第2の逃げ部17に嵌合可能に設けられている。これにより、継ぎ手フランジ14とケースフランジ42とを接着剤にて固着した際、回動に対して接着剤の固定を補強して固定できる。また、第3実施形態では、上述の凸部は第2の厚肉部18の上側の空間、すなわち、第2の厚肉部18の上面と2つの第2の肉厚部18のそれぞれの側面とで形成されたスペースに嵌合可能に設けられている。これにより、継ぎ手フランジ14とケースフランジ42とを接着剤にて固着した際、回動に対して接着剤の固定を補強して固定できる。
また、厚肉部15とケースフランジ42との間には所定の間隙が設けられる構成を示したが、所定の間隙を設けることなく、厚肉部15の上面に直接ケースフランジ42が接着されていてもよい。
その他、本発明の実施の際の具体的な構造および手順は、本発明の目的を達成できる範囲で他の構造などに適宜変更できる。
本発明は、建設機械や工業用油圧ユニットなどの圧力測定を行う圧力センサに利用することができる。
本発明の第1実施形態にかかる圧力センサの断面図。 本発明の第1実施形態にかかる圧力センサの継ぎ手の平面図。 本発明の第2実施形態にかかる圧力センサの継ぎ手の平面図。 (A)本発明の第3実施形態にかかる圧力センサの継ぎ手の平面図、(B)本発明の第3実施形態にかかる圧力センサの継ぎ手の断面図。 従来例の圧力センサの断面図。
符号の説明
1A…圧力センサ
1B…相手部材としての配管
10…継ぎ手
11…継ぎ手本体
13…Oリング
14…継ぎ手フランジ
14A…薄肉部
15…厚肉部
15A…位置決め部としての位置決め面
15B…厚肉部
16…第1の逃げ部
20…センサ部
30…回路部
40…ケース
50…電気的接続手段

Claims (3)

  1. 相手部材に取り付けられる継ぎ手と、
    この継ぎ手に設けられ、流体の圧力を測定するセンサ部と、
    このセンサ部が収納され、前記継ぎ手に取り付けられるケースフランジを有するケースと、
    を備えた圧力センサであって、
    前記継ぎ手は、前記相手部材に形成された開口部に嵌合され前記センサ部に前記相手部材の流体の圧力を導入する継ぎ手本体と、この継ぎ手本体に設けられ前記相手部材の外側部に当接するとともに前記ケースフランジに接合される継ぎ手フランジとを有し、
    前記継ぎ手フランジは、外周部に形成された薄肉部と、前記開口部の端縁に対応する位置で前記薄肉部よりも前記センサ側に突出して形成された厚肉部とを有し、
    前記厚肉部は、外周縁が前記ケースフランジを位置決め可能な位置決め部とされた
    ことを特徴とする圧力センサ。
  2. 請求項1に記載の圧力センサにおいて、
    前記継ぎ手は、前記ケースフランジが溶接で取り付けられ、前記厚肉部と前記ケースフランジとの間には、所定の間隙が設けられ、
    この間隙は、前記継ぎ手フランジに前記ケースフランジを溶接する際に生じる応力集中を緩和可能な第1の逃げ部である
    ことを特徴とする圧力センサ。
  3. 請求項1または請求項2に記載の圧力センサにおいて、
    前記厚肉部は、周方向に所定の間隙を有して複数設けられ、
    隣り合う前記厚肉部同士の間隙は、前記継ぎ手フランジに前記ケースフランジを溶接する際に生じる応力集中を緩和可能な第2の逃げ部である
    ことを特徴とする圧力センサ。
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