JPWO2013118843A1 - 物理量センサおよび物理量センサの製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 27
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 41
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 41
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 27
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 27
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 46
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 39
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 39
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 37
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 13
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 13
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 12
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 claims description 8
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 8
- 239000012530 fluid Substances 0.000 abstract description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 9
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 6
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 4
- 238000005242 forging Methods 0.000 description 4
- 238000004512 die casting Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 2
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 229920006351 engineering plastic Polymers 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 239000012815 thermoplastic material Substances 0.000 description 1
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
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- B23K10/00—Welding or cutting by means of a plasma
- B23K10/02—Plasma welding
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/20—Bonding
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
- B32B37/12—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by using adhesives
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
- B32B38/0008—Electrical discharge treatment, e.g. corona, plasma treatment; wave energy or particle radiation
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
- B32B38/18—Handling of layers or the laminate
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/0038—Fluidic connecting means being part of the housing
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/142—Multiple part housings
- G01L19/143—Two part housings
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/145—Housings with stress relieving means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P1/00—Details of instruments
- G01P1/02—Housings
- G01P1/023—Housings for acceleration measuring devices
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- H—ELECTRICITY
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
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- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
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- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
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Abstract
Description
実施の形態1にかかる物理量センサについて、圧力センサを例に説明する。図1は、この発明の実施の形態1にかかる圧力センサ100の構成を示す説明図である。図1(a)は要部平面図であり、図1(b)は図1(a)のX−X線で切断した要部断面図である。
実施の形態2にかかる物理量センサの製造方法について、図1に示す圧力センサ100を製造する場合を例に説明する。図6は、この発明の実施の形態2にかかる圧力センサ100の製造方法を工程順に示した要部製造工程断面図である。
次に、実施の形態3にかかる物理量センサの構成について説明する。図11は、この発明の実施の形態3にかかる圧力センサ110の構成を示す断面図である。図12は、図11の圧力センサ110の組み立て前の状態を示す斜視図である。図13は、図11の圧力センサ110のソケット部1の構成を示す斜視図である。図14は、図11の圧力センサ110のソケット部1の内部構成を示す斜視図である。実施の形態3にかかる圧力センサ110が実施の形態1にかかる圧力センサと異なる点は、ナット部2の凹部3に底部3aを備え凹部3の開口部側壁4から底部3aにわたって接着剤5を注入するための接着剤注入部(溝部)34が設けられている点である。
次に、実施の形態4にかかる物理量センサの構成について説明する。図15は、この発明の実施の形態4にかかる加速度センサ120の構成を示す断面図である。実施の形態4にかかる物理量センサは、実施の形態1にかかる圧力センサ100の構成を適用した加速度センサ120である。実施の形態4にかかる加速度センサ120が実施の形態1にかかる圧力センサ100と異なる点は、ナット部42の凹部43にセンスエレメント47を固定するためのネジ部46に圧力を導入するための貫通孔が設けられていない点である。実施の形態4にかかる加速度センサ120のソケット部41、ナット部42およびネジ部46で構成されるパッケージ48のその他の構成と、センスエレメント47の図示省略する内部の構成は、実施の形態1〜3の圧力センサのパッケージおよびセンスエレメントと同様である。符号49は外部導出端子であり、符号44,43aはそれぞれナット部42の凹部43の開口部側壁および底部であり、符号45は接着剤である。
2,42 ナット部
3,43 ナット部の凹部
3a,43a ナット部の凹部の底部
4,44 開口部側壁
5,12,45 接着剤
6,46 ネジ部
7,47 センスエレメント
8,48 パッケージ
9,11,22 貫通孔
10,31,49 外部導出端子
13 収納箱
14 収納箱を構成する凹部
14a 収納箱を構成する凹部の底部
15 支持部
16 ガラス基板
17 圧力センサ素子
18 収納箱を構成する凹部の開口部
19 ダイアフラム
20 ボンディングワイヤ
21 液体
23 絶縁性部材
24 ネジ部の台座部
25 ネジ部の台座部の凹凸
26,28,28a ナット部の凹部の開口部側壁の凹部
27 ネジ部の台座部の側壁の凸部
29 センスエレメントの側壁の凸部
30 センスエレメントの側壁下部の凸部
100,110 圧力センサ
31a〜31c 端子
33 ノイズ対策用基板
34 接着剤注入部
35 溝
36 チップコンデンサ
37 ノイズ対策用基板の貫通孔
38 ノイズ対策用基板の配線パターン
100 圧力センサ
120 加速度センサ
Claims (19)
- 外部配線との接続部であるソケット部と、取り付けトルクである回転力が工具から伝達されるナット部と、前記ナット部から回転力が伝達される、被圧力測定気体もしくは被圧力測定液体を導く導入孔を有し、当該導入孔の一端に台座部を備えるネジ部と、を備えたパッケージと、
前記台座部上に前記導入孔を塞ぐように固定され、前記ナット部の凹部に収納されるセンスエレメントと、
を備え、
前記ソケット部と前記ナット部とは一体化された樹脂部材であり、
前記ネジ部は金属部材であり、
前記ナット部の凹部の内側壁と前記台座部の側壁とは接着剤により固着されたことを特徴とする物理量センサ。 - 前記センスエレメントは、
圧力もしくは加速度を感知する素子と、
前記素子を収納する収納箱と、
前記素子と電気的に接続し前記収納箱を貫通して配置される端子と、
を備えることを特徴とする請求項1に記載の物理量センサ。 - 前記台座部の側壁に凹凸を有することを特徴とする請求項1に記載の物理量センサ。
- 前記ナット部の凹部の内側壁面に、底部とは反対側の開口端部から底部の方向に延びる溝部を有することを特徴とする請求項1に記載の物理量センサ。
- 前記台座部の側壁に凸部または凹部を有し、
前記ナット部の凹部の内側壁面に、前記台座部の側壁の凸部または凹部が嵌合する凹部または凸部を有することを特徴とする請求項1に記載の物理量センサ。 - 前記ナット部の凹部の平面形状が多角形であり、
前記台座部の平面形状が前記ナット部の凹部に嵌合する多角形であることを特徴とする請求項1に記載の物理量センサ。 - 前記ナット部の凹部の底部とは反対側の開口端部から所定の深さまでの平面形状が多角形であり、
前記センスエレメントの平面形状が、前記ナット部の凹部の平面形状が多角形の箇所に嵌合する多角形であることを特徴とする請求項1に記載の物理量センサ。 - 前記ナット部の凹部と前記センスエレメントの少なくとも一部とを嵌合し、当該嵌合された部分に形成された隙間に接着剤を充填して、前記ナット部と前記センスエレメントとを固着することを特徴とする請求項7に記載の物理量センサ。
- 外部配線との接続部であるソケット部と、取り付けトルクである回転力が工具から伝達されるナット部と、前記ナット部から回転力が伝達される、一端に台座部を備えるネジ部と、を備えたパッケージと、
前記台座部上に配置されるセンスエレメントと、
を備え、
前記ソケット部と前記ナット部とは一体化された樹脂部材であり、
前記ネジ部は金属部材であり、
前記ナット部の凹部の内側壁と前記台座部の側壁とは接着剤により固着されたことを特徴とする物理量センサ。 - 前記ネジ部は、被圧力測定気体もしくは被圧力測定液体を導く導入孔を有し、
前記センスエレメントは、
前記導入孔を塞ぐように前記台座部に溶接された金属製のダイアフラムと、
前記ダイアフラムに溶接されることで前記センスエレメントの内部に空間を形成する金属製の収納箱と、
前記収納箱に収納された素子と、
前記空間に充填された液体と、
を備えることを特徴とする請求項9に記載の物理量センサ。 - 前記台座部の側壁に凹凸を有することを特徴とする請求項10に記載の物理量センサ。
- 前記ナット部の凹部の内側壁面に、底部とは反対側の開口端部から底部の方向に延びる溝部を有することを特徴とする請求項10に記載の物理量センサ。
- 前記ナット部の凹部の内側壁には、前記ソケット部側の底部とは反対側の開口端部に段差部が設けられ、
前記段差部によって、前記ナット部の凹部の底部とは反対側の開口端部の開口幅が底部側の開口幅よりも大きいことを特徴とする請求項4に記載の物理量センサ。 - 前記段差部に、前記センスエレメントの上面が前記接着剤によって固着されていることを特徴とする請求項13に記載の物理量センサ。
- 前記ナット部の凹部の内側壁には、前記ソケット部側の底部とは反対側の開口端部に段差部が設けられ、
前記段差部によって、前記ナット部の凹部の底部とは反対側の開口端部の開口幅が底部側の開口幅よりも大きいことを特徴とする請求項12に記載の物理量センサ。 - 前記段差部に、前記センスエレメントの上面が前記接着剤によって固着されていることを特徴とする請求項15に記載の物理量センサ。
- 請求項1〜16のいずれか一つに記載の物理量センサの製造方法において、
前記ソケット部と前記ナット部とを樹脂で一体成形する工程と、
金属製の前記ネジ部の表面に前記センスエレメントを固定する工程と、
前記ネジ部を前記ナット部の凹部に嵌合させ、前記ネジ部と前記ナット部とを接着剤で固着する工程と、
を含むことを特徴とする物理量センサの製造方法。 - 前記ネジ部の表面に前記センスエレメントをレーザ溶接もしくはプラズマ溶接で固定することを特徴とする請求項17に記載の物理量センサの製造方法。
- 請求項10に記載の物理量センサの製造方法において、
前記ソケット部と前記ナット部とを樹脂で一体成形する工程と、
前記ネジ部の表面に前記ダイアフラムを介して前記収納箱を重ねた状態で、前記ネジ部、前記ダイアフラムおよび前記収納箱を溶接することにより、前記ネジ部に前記ダイアフラムおよび前記収納箱を固定する工程と、
前記ネジ部を前記ナット部の凹部に嵌合させ、前記ネジ部と前記ナット部とを接着剤で固着する工程と、
を含むことを特徴とする物理量センサの製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012026335 | 2012-02-09 | ||
JP2012026335 | 2012-02-09 | ||
PCT/JP2013/052948 WO2013118843A1 (ja) | 2012-02-09 | 2013-02-07 | 物理量センサおよび物理量センサの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2013118843A1 true JPWO2013118843A1 (ja) | 2015-05-11 |
JP5935812B2 JP5935812B2 (ja) | 2016-06-15 |
Family
ID=48947598
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013557580A Expired - Fee Related JP5935812B2 (ja) | 2012-02-09 | 2013-02-07 | 物理量センサおよび物理量センサの製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9874487B2 (ja) |
EP (1) | EP2813831B1 (ja) |
JP (1) | JP5935812B2 (ja) |
CN (1) | CN104126107B (ja) |
WO (1) | WO2013118843A1 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5972850B2 (ja) | 2013-11-15 | 2016-08-17 | 長野計器株式会社 | 物理量測定センサ |
US9903777B2 (en) | 2015-03-12 | 2018-02-27 | Sensata Technologies, Inc. | Pressure transducer |
US9857260B2 (en) | 2015-03-12 | 2018-01-02 | Sensata Technologies, Inc. | Pressure transducer with multiple joinable portions |
CN107290099B (zh) | 2016-04-11 | 2021-06-08 | 森萨塔科技公司 | 压力传感器、用于压力传感器的插塞件和制造插塞件的方法 |
EP3236226B1 (en) | 2016-04-20 | 2019-07-24 | Sensata Technologies, Inc. | Method of manufacturing a pressure sensor |
JP6471118B2 (ja) * | 2016-05-24 | 2019-02-13 | 日本電産トーソク株式会社 | 圧力検出装置、および圧力検出装置を格納した電動油圧ポンプ |
DE102016209479A1 (de) | 2016-05-31 | 2017-11-30 | Robert Bosch Gmbh | Schlüsselweitenadapter für ein in eine Gewindeöffnung einschraubbares Bauteil |
JP6834405B2 (ja) * | 2016-11-25 | 2021-02-24 | 日本電産トーソク株式会社 | 油圧センサ取付構造 |
JP6564358B2 (ja) * | 2016-12-08 | 2019-08-21 | 長野計器株式会社 | 物理量測定装置 |
JP6809285B2 (ja) | 2017-02-23 | 2021-01-06 | 富士電機株式会社 | 物理量センサ装置の製造方法および物理量センサ装置 |
JP6809284B2 (ja) | 2017-02-23 | 2021-01-06 | 富士電機株式会社 | 物理量センサ装置の製造方法および物理量センサ装置 |
US10545064B2 (en) | 2017-05-04 | 2020-01-28 | Sensata Technologies, Inc. | Integrated pressure and temperature sensor |
US10323998B2 (en) | 2017-06-30 | 2019-06-18 | Sensata Technologies, Inc. | Fluid pressure sensor |
US10724907B2 (en) | 2017-07-12 | 2020-07-28 | Sensata Technologies, Inc. | Pressure sensor element with glass barrier material configured for increased capacitive response |
US10557770B2 (en) | 2017-09-14 | 2020-02-11 | Sensata Technologies, Inc. | Pressure sensor with improved strain gauge |
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- 2013-02-07 JP JP2013557580A patent/JP5935812B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2013-02-07 WO PCT/JP2013/052948 patent/WO2013118843A1/ja active Application Filing
- 2013-02-07 CN CN201380008703.2A patent/CN104126107B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2013-02-07 EP EP13746930.0A patent/EP2813831B1/en not_active Not-in-force
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EP2813831A4 (en) | 2015-09-30 |
JP5935812B2 (ja) | 2016-06-15 |
CN104126107A (zh) | 2014-10-29 |
CN104126107B (zh) | 2016-08-24 |
US9874487B2 (en) | 2018-01-23 |
EP2813831B1 (en) | 2018-04-18 |
US20140338448A1 (en) | 2014-11-20 |
EP2813831A1 (en) | 2014-12-17 |
WO2013118843A1 (ja) | 2013-08-15 |
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JPWO2020009091A5 (ja) | ||
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150707 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150907 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
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