JP2009047532A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】コネクタケース10の一端部に設けられた突出部12に凹部13を設け、凹部13にセンサチップ30の圧力受圧面を圧力媒体の導入方向に平行にして配置する。また、センサチップ30とターミナル15を接続するボンディングワイヤ50をコネクタケース10にて封止する。これにより、圧力媒体の導入方向に垂直な方向におけるセンサチップ30の幅を小さくして圧力センサを小型化することができ、かつ、圧力媒体の圧力がボンディングワイヤ50に直接印加されてボンディングワイヤ50が切断されることを回避し、センサチップ30とターミナル15との電気的接続の遮断を防止することができる。
【選択図】図1
Description
以下、本発明の第1実施形態について図を参照して説明する。本実施形態で示される圧力センサは、例えば自動車に搭載され、燃料圧力、エンジンや駆動系の潤滑用オイル圧、あるいはエアコンの冷媒圧、さらには排気ガス圧などを検出する圧力センサ等に用いられる。
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。上記第1実施形態では、Oリング41等でコネクタケース10とハウジング20とをシールしていたが、本実施形態では、ガスケットを用いることが特徴となっている。
本実施形態では、第2実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図5は、本発明の第3実施形態に係る圧力センサの概略断面図である。この図に示されるように、ハウジング20に形成された圧力導入孔24のうち、ハウジング20の他端側の開口部分にテーパ面26が設けられている。
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図6は、本発明の第4実施形態に係る圧力センサの概略断面図である。この図に示されるように、コネクタケース10の先端面11に図1に示される溝17が形成されておらず、平面になっている。また、コネクタケース10の先端面11から突出する突出部12に先端面11側からバックアップリング42およびOリング41が配置されている。言い換えると、突出部12の側面と圧力導入孔24の壁面との間にバックアップリング42およびOリング41がそれぞれ配置されている。
本実施形態では、第2実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図7は、本発明の第5実施形態に係る圧力センサの概略断面図である。この図に示されるように、コネクタケース10の凹部13の底面に露出するように補強用ターミナル18がコネクタケース10にインサート成形されている。
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図8は、本発明の第6実施形態に係る圧力センサの概略断面図である。この図に示されるように、本実施形態では、コネクタケース10の先端面11から突出する突出部12が設けられておらず、先端面11からセンサチップ30が突出した形態となっている。
本実施形態では、第2実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図9は、本発明の第7実施形態に係る圧力センサの概略断面図である。この図に示されるように、本実施形態では、コネクタケース10の先端面11から突出する突出部12がハウジング20の開口部23まで設けられていると共に、突出部12の先端部分の内部にサーミスタ60がインサート成形されている。このように、本実施形態に係る圧力センサは、圧力検出と温度検出を行う複合型のセンサになっている。
本実施形態では、第7実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図10は、本発明の第8実施形態に係る圧力センサの概略断面図である。この図に示されるように、サーミスタ用ターミナル63が突出部12の先端部に達する長さになっている。これにより、サーミスタ用ターミナル63を補強用として機能させることができ、圧力媒体の導入方向に対する突出部12の変形を防止することができる。
本実施形態では、上記各実施形態と異なる部分についてのみ説明する。上記各実施形態では、センサチップ30とターミナル15とを接続するボンディングワイヤ50をコネクタケース10を構成する樹脂によって封止することにより、ボンディングワイヤ50に圧力媒体の圧力が直接印加されない構成となっていたが、本実施形態ではボンディングワイヤ50そのものをなくした構成になっていることが特徴となっている。
本実施形態では、第9実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図13は、本発明の第10実施形態に係る圧力センサの概略断面図である。図13に示されるように、第2実施形態と同様に、突出部12にOリング41等を配置してコネクタケース10とハウジング20とをシールすることができる。
本実施形態では、上記各実施形態と異なる部分についてのみ説明する。図14は、本発明の第11実施形態に係る圧力センサの概略断面図である。この図に示されるように、本実施形態では、ゲージ部が設けられた板状の第1チップ91がコネクタケース100の先端面110から突出する突出部120の側部に設けられ、回路部が設けられた板状の第2チップ92がコネクタケース100にインサート成形されている。第1チップ91の側部には図示しないシール部材が設けられている。各チップ91、92は、その面が圧力媒体の導入方向に平行に配置されている。
Claims (11)
- 圧力導入孔(24)を有するハウジング(20)と、前記ハウジング(20)に一体に組み付けられるコネクタケース(10)とを備え、前記ハウジング(20)の一端部に設けられた開口部(23)から前記圧力導入孔(24)内を経由して前記コネクタケース(10)側に圧力媒体が導入されてなる圧力センサであって、
前記コネクタケース(10)は、
前記コネクタケース(10)の一端部における先端面(11)から前記圧力媒体の導入方向に突出すると共に、前記圧力媒体の導入方向に対して垂直方向に凹んだ凹部(13)が設けられた突出部(12)を有し、前記コネクタケース(10)が前記ハウジング(20)に組み付けられることで、前記突出部(12)が前記圧力導入孔(24)内に突出するようになっており、
一面側に圧力検出を行うゲージ部(31)を備えており、前記一面が前記圧力媒体の導入方向に平行になるように前記凹部(13)に設置されるセンサチップ(30)と、
一端部が前記コネクタケース(10)にインサート成形されて封止されるターミナル(15)と、
前記センサチップ(30)と前記ターミナル(15)の一端部とを電気的に接続するボンディングワイヤ(50)とを備え、
前記ボンディングワイヤ(50)と前記ターミナル(15)との接続部、前記ボンディングワイヤ(50)と前記センサチップ(30)との接続部、および前記ボンディングワイヤ(50)が前記コネクタケース(10)によって封止されていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記突出部(12)は、当該突出部(12)の側面に前記圧力媒体の導入方向に対して垂直方向に突出した複数の突起部(12a)を有していることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記ハウジング(20)は、前記圧力導入孔(24)のうち前記突出部(12)が挿入される開口部分にテーパ面(26)を有していることを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサ。
- 前記コネクタケース(10)は、前記センサチップ(30)に対向すると共に、前記圧力媒体の導入方向に平行に配置され、前記コネクタケース(10)にインサート成形される補強用ターミナル(18)を有していることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 前記突出部(12)は、前記ハウジング(20)の開口部(23)に達する長さになっており、当該突出部(12)の先端部分にサーミスタ(60)がインサート成形されており、
前記コネクタケース(10)は、棒状であって、前記棒の一端部が前記サーミスタ(60)に接続されたリード線(61)に接続され、前記棒の他端部が前記開口部(16)に露出するようにインサート成形されたサーミスタ用ターミナル(63)を有していることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の圧力センサ。 - 前記サーミスタ用ターミナル(63)は、少なくとも前記センサチップ(30)に対向すると共に、前記圧力媒体の導入方向に平行に配置されていることを特徴とする請求項5に記載の圧力センサ。
- 圧力導入孔(24)を有するハウジング(20)と、前記ハウジング(20)に一体に組み付けられるコネクタケース(10)とを備え、前記ハウジング(20)の一端部に設けられた開口部(23)から前記圧力導入孔(24)内を経由して前記コネクタケース(10)側に圧力媒体が導入されてなる圧力センサであって、
前記コネクタケース(10)は、
一面側に圧力検出を行うゲージ部(31)を備えており、前記コネクタケース(10)の先端面(11)から前記ゲージ部(31)が設けられた部分が露出するように取り付けられると共に、前記圧力媒体の導入方向に平行に設置されるセンサチップ(30)と、
一端部が前記コネクタケース(10)にインサート成形されて封止されるターミナル(15)と、
前記センサチップ(30)と前記ターミナル(15)の一端部とを電気的に接続するボンディングワイヤ(50)とを備え、
前記ボンディングワイヤ(50)と前記ターミナル(15)との接続部、前記ボンディングワイヤ(50)と前記センサチップ(30)との接続部、および前記ボンディングワイヤ(50)が前記コネクタケース(10)によって封止されていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記コネクタケース(10)の先端面(11)と前記センサチップ(30)との境界部分にシール部材(44)が設けられていることを特徴とする請求項7に記載の圧力センサ。
- 圧力導入孔(24)を有するハウジング(20)と、前記ハウジング(20)に一体に組み付けられるコネクタケース(10)とを備え、前記ハウジング(20)の一端部に設けられた開口部(23)から前記圧力導入孔(24)内を経由して前記コネクタケース(10)側に圧力媒体が導入されてなる圧力センサであって、
前記コネクタケース(10)は、
前記コネクタケース(10)の一端部における先端面(11)から前記圧力媒体の導入方向の前記圧力導入孔(24)内に突出すると共に、前記圧力媒体の導入方向に対して垂直方向に凹んだ凹部(13)が設けられた突出部(12)とを有し、
一面側に圧力検出を行うゲージ部(84)を備えており、前記圧力媒体の導入方向に平行になるように前記凹部(13)に設置されるセンサチップ(80)と、
一端部が前記コネクタケース(10)にインサート成形されると共に、ボンディングワイヤを用いずに前記センサチップ(80)に電気的に接続されるターミナル(19)とを備えていることを特徴とする圧力センサ。 - 前記センサチップ(30、80)は長方形の板状をなしており、前記長方形の長辺が前記圧力媒体の導入方向と平行に、前記長方形の短辺が前記圧力媒体の導入方向に対して垂直方向に平行になるように前記凹部(13)に設置されていることを特徴とする請求項1ないし9のいずれか1つに記載の圧力センサ。
- 圧力導入孔(24)を有するハウジング(20)と、前記ハウジング(20)に一体に組み付けられるコネクタケース(100)とを備え、前記ハウジング(20)の一端部に設けられた開口部(23)から前記圧力導入孔(24)内を経由して前記コネクタケース(100)側に圧力媒体が導入されてなる圧力センサであって、
前記コネクタケース(100)は、
前記コネクタケース(100)の一端部における先端面(110)から前記圧力媒体の導入方向に突出する突出部(120)を有し、前記コネクタケース(100)が前記ハウジング(20)に組み付けられることで、前記突出部(120)が前記圧力導入孔(24)内に挿入され配置されるようになっており、
一面側に圧力検出を行うゲージ部を有し、前記圧力媒体の導入方向に平行になるように前記突出部(120)の側面に配置される第1チップ(91)と、
前記第1チップ(91)から出力される信号を処理する回路部を有し、前記圧力媒体の導入方向に平行に前記コネクタケース(100)にインサート成形される第2チップ(92)と、
棒状であって、一端部が前記第1チップ(91)に電気的に接続され、他端部が第1ボンディングワイヤ(210)を介して前記第2チップ(92)に接続される内部接続用ターミナル(130)と、
棒状であって、一端部が第2ボンディングワイヤ(220)を介して前記第2チップ(92)に接続される外部接続用ターミナル(140)とを備え、
前記内部接続用ターミナル(130)、前記内部接続用ターミナル(130)と前記第1ボンディングワイヤ(210)との接続部、前記第1ボンディングワイヤ(210)、前記第1ボンディングワイヤ(210)と前記第2チップ(92)との接続部、前記第2チップ(92)、前記第2チップ(92)と前記第2ボンディングワイヤ(220)との接続部、前記第2ボンディングワイヤ(220)、前記第2ボンディングワイヤ(220)と前記外部接続用ターミナル(140)の他端部との接続部が前記コネクタケース(100)によって封止されていることを特徴とする圧力センサ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007213487A JP4453729B2 (ja) | 2007-08-20 | 2007-08-20 | 圧力センサ |
US12/219,785 US8028584B2 (en) | 2007-08-20 | 2008-07-29 | Pressure sensor and method for manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007213487A JP4453729B2 (ja) | 2007-08-20 | 2007-08-20 | 圧力センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009047532A true JP2009047532A (ja) | 2009-03-05 |
JP4453729B2 JP4453729B2 (ja) | 2010-04-21 |
Family
ID=40499892
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007213487A Expired - Fee Related JP4453729B2 (ja) | 2007-08-20 | 2007-08-20 | 圧力センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4453729B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012013655A (ja) * | 2010-07-05 | 2012-01-19 | Denso Corp | 力学量センサ |
JP2012068229A (ja) * | 2010-07-21 | 2012-04-05 | Hella Kgaa Hueck & Co | 媒体の物理的な状態変数を検出するためのデバイス |
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WO2015004933A1 (ja) * | 2013-07-10 | 2015-01-15 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 温湿度測定装置 |
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WO2017212800A1 (ja) * | 2016-06-06 | 2017-12-14 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 圧力センサ |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5591374B1 (ja) | 2013-05-07 | 2014-09-17 | 三菱電機株式会社 | 防水型主端子 |
JP6234299B2 (ja) | 2014-03-28 | 2017-11-22 | 三菱電機株式会社 | 放射性ガスモニタ |
-
2007
- 2007-08-20 JP JP2007213487A patent/JP4453729B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP2015017849A (ja) * | 2013-07-10 | 2015-01-29 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 温湿度測定装置 |
JP2015148511A (ja) * | 2014-02-06 | 2015-08-20 | 株式会社デンソー | 圧力センサ |
WO2017212800A1 (ja) * | 2016-06-06 | 2017-12-14 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 圧力センサ |
JPWO2017212800A1 (ja) * | 2016-06-06 | 2019-01-31 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 圧力センサ |
US10788388B2 (en) | 2016-06-06 | 2020-09-29 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Pressure sensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4453729B2 (ja) | 2010-04-21 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081225 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090818 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090922 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130212 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4453729 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130212 Year of fee payment: 3 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140212 Year of fee payment: 4 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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