JP5067360B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
したがって、センサチップのセンシング部を気密封止するための封止部材の破損を抑制することができる。
したがって、センサチップのセンシング部を気密封止するための封止部材の破損を抑制することができる。
[第1実施形態]
本発明の第1実施形態について図を参照して説明する。図1は、本第1実施形態に係るセンサチップ40を採用する圧力センサ10の全体概略断面図である。
次に、本発明の第2実施形態に係る圧力センサについて、図5を参照して説明する。図5は、第1実施形態と同様に、図1中の一点鎖線A−Aに沿ったセンサチップ40の長手方向中央部40cの部分概略断面図である。
次に、本発明の第3実施形態に係る圧力センサについて、図7を参照して説明する。図7は、センサチップ40の長手方向中央部40cを長手方向に平行に切断したときの断面図である。
(1)上記第1、2実施形態におけるセンサチップ40の各角部55は、長手方向中央部40cのみ湾曲状に形成されていてもよい。また、上記第1実施形態における第1の変形例の各角部56a〜56hも同様に、長手方向中央部40cのみ湾曲状に形成されていてもよい。
図10に示すように、上記第1実施形態におけるセンサチップ40に代えてセンサチップ80を採用してもよい。このセンサチップ80は、長手方向に直交する断面の角部が湾曲状に形成されるとともに、長手方向一側端部(圧力導入側端部)80aが長手方向他側端部(反圧力導入側端部)80bよりも大きくなるようにテーパ状に形成されている。これにより、センサチップ80と接着剤60との間で発生する応力が分散され接着剤60の破損が抑制されることは勿論のこと、長手方向一側端部(圧力導入側端部)80aが圧力媒体により押圧されるため、接着剤60に対するセンサチップ80の圧力導入方向(長手方向)の位置ずれを抑制することができる。
図11に示すように、上記第1実施形態におけるセンサチップ40において、隣接する歪みゲージ45同士の中間位置(図11中のα参照)とセンサチップ40の長手方向に直交する断面における中心P1とを通る直線Lが両板面51,52に直交するようにセンサチップが形成されるとともに、この中心P1と接着剤60の中心位置P2が一致するようにセンサチップ40が接着剤60を介して支持されてもよい。これにより、接着剤60を介する応力が各歪みゲージ45に均等に伝達されるため、接着剤60の破損防止に加えて、圧力検出精度の向上を図ることができる。
20…コネクタケース
30…ハウジング
30c,30d,30e…内周面
31…圧力導入通路
40,40e,…センサチップ
40a…センシング部
40b…長手方向一側端部
40c…長手方向中央部
40d…長手方向他側端部
40f…凸部
40g…凹部
41…第1のシリコン基板(第1の基板)
42…第2のシリコン基板(第2の基板)
45…歪みゲージ(圧力検出部)
48…薄肉部,ダイアフラム
49…圧力基準室
51…第1の板面
52…第2の板面
53…第1の側面
54…第2の側面
55,56a〜56h…角部
60…接着剤
Claims (6)
- 圧力媒体の圧力を検出可能なセンシング部が長手方向一側端部に形成されるセンサチップと、
前記圧力媒体を導入するための圧力導入通路が形成されるケースと、
前記センサチップのうち前記長手方向一側端部が前記圧力導入通路内に露出するとともに長手方向他側端部が配置される空間と前記圧力導入通路との連通を遮断するために当該センサチップの長手方向中央部と前記ケースとの間に介在される封止部材と、
を備える圧力センサであって、
前記長手方向中央部は、長手方向に直交する断面の角部が前記封止部材により覆われているとともに、前記角部の断面形状が鈍角の内角のみからなる多角形状に形成されることを特徴とする圧力センサ。 - 圧力媒体の圧力を検出可能なセンシング部が長手方向一側端部に形成されるセンサチップと、
前記圧力媒体を導入するための圧力導入通路が形成されるケースと、
前記センサチップのうち前記長手方向一側端部が前記圧力導入通路内に露出するとともに長手方向他側端部が配置される空間と前記圧力導入通路との連通を遮断するために当該センサチップの長手方向中央部と前記ケースとの間に介在される封止部材と、
を備える圧力センサであって、
前記長手方向中央部は、長手方向に直交する断面の角部が前記封止部材により覆われているとともに、前記角部の断面形状が湾曲状に形成されることを特徴とする圧力センサ。 - 前記ケースは、前記封止部材を介して前記長手方向中央部に対向する部位と当該長手方向中央部との間の最短距離が一定になるように形成されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の圧力センサ。
- 圧力媒体の圧力を検出可能なセンシング部が長手方向一側端部に形成されるセンサチップと、
前記圧力媒体を導入するための圧力導入通路が形成されるケースと、
前記センサチップのうち前記長手方向一側端部が前記圧力導入通路内に露出するとともに長手方向他側端部が配置される空間と前記圧力導入通路との連通を遮断するために当該センサチップの長手方向中央部と前記ケースとの間に介在される封止部材と、
を備える圧力センサであって、
前記ケースは、前記封止部材を介して前記長手方向中央部に対向する部位と当該長手方向中央部との間の最短距離が一定になるように形成されることを特徴とする圧力センサ。 - 前記センサチップは、圧力検出部が形成される薄肉部を有する第1の基板と凹部が形成される第2の基板とを備えており、
前記センシング部は、前記薄肉部と前記凹部を近接させるように前記第1の基板と前記第2の基板とを貼り合わせることで前記薄肉部および前記凹部により形成される圧力基準室を備え、この圧力基準室の圧力と前記圧力媒体の圧力との圧力差に基づく前記薄肉部の変位に応じた信号を前記圧力検出部から出力するように構成されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の圧力センサ。 - 前記長手方向中央部は、長手方向に直交する断面形状の断面積が前記長手方向に沿い変化するように形成されることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の圧力センサ。
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