JP2006215029A - 圧力・温度共用トランスデューサー - Google Patents
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- G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
- G01L9/0052—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements
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Abstract
【解決手段】特に高温流体に適する圧力・温度共用トランスデューサー10が、感知素子組立体を有し、これは、流体流路に配置するように構成された管状プローブ20の先端に取り付けられる。感知素子12が含む感圧ダイヤフラム12gは、管状プローブの開放端部を閉鎖し、感圧ダイヤフラムに結合されたピエゾ抵抗ゲージが設けられる。ワイヤが、ゲージ素子と、第1の熱抵抗性印刷回路基板(PCB)との間に結合される。
【選択図】図3
Description
ねじ付き部分20cをねじ受けするねじ穴2bを有する。ねじ穴2bの入口2cには、管20の截頭円錐面20eに相補的な截頭円錐面が設けられ、それによって、トランスデューサー10が穴内にねじ込まれる時、気密シールが形成される。図17から分かることとして、ガス流の圧力および温度の最適監視のために、感知素子12が充分にガス流路2aの範囲内に配設される。
2a ガス流路
2b 穴
2c 入口
10 圧力・温度共用トランスデューサー
12 感知素子
12a 隆起部
12b 平坦部
12c 軸線方向に延びる部分
12d 位置合せ平坦部
12e 唇状部分
12f 空所
12g 平坦なダイヤフラム
12h ダイヤフラム面
12k ピエゾ抵抗歪ゲージ
14 支持リング
14a 側壁
14b 支持リングキャッチ
14c 熱杭
14d 外側平坦部
16 下方耐熱印刷回路基板(PCB)
16b 開口
16c 中央開口
16d ワイヤ接合パッド
16e 着地パッド
18 ゲル堰体
18a 側壁
18b 底壁
18c 接触ピン受取開口
18d 錠止ピン
20 管
20a 開放端部
20b 管の端部
20c ねじ切部分
20d 段付円筒状隆起部
20e 截頭円錐形の外側面
22 フランジ
22a 位置合せ平坦部
24 内部コネクタ
24c ハブ部分
24d 位置合せ機能
26 軸線方向歪吸収接触部材
26a U字形状のループ
26b、26c 対向端部
28 第2PCB
28a 着地帯域
30 カバー
30a 空所
30b 環状密封着座
30d 開口
30e 側壁
32 電気コイルばね接触子
34 オーリング・シール
36 EMC遮蔽体
36a タブ
38 外部コネクタ
40 端子
40a 曲げられた部分
42 挿入成形金属ハウジング部分
42a 多角形の外周面
42b 唇状部分
Claims (10)
- 特に高温の流体での使用に適合された、圧力・温度共用トランスデューサーであって、
細長い金属製管状プローブ部材であって、第1開放端部と第2開放端部を有し、また、前記プローブ部材を、流体流路を画成する導管の側壁の孔に装着するための装着構造を有するプローブと、
前記プローブ部材の前記第1端部で受承されるとともに前記プローブ部材の前記第1端部を閉じる感圧ダイヤフラムを規定し、ピエゾ抵抗歪ゲージが、前記プローブ部材内の圧力感知ダイヤフラムに接合されている金属製感知素子と、 前記金属製感知素子に隣接する前記プローブ部材に装着され、電気回路と、前記電気回路に接合されてホイートストーン・ブリッジを形成する歪ゲージ・ワイヤとを有する第1耐熱印刷回路基板(PCB)と、
前記プローブ部材に装着され、前記プローブ部材の第2端部を越えて上端まで延び出る内部コネクタと、
前記内部コネクタの前記上端に装着され、電気回路を有し、信号を調整し増幅する電子部品を装架する第2印刷回路基板(PCB)であって、前記内部コネクタが、複数の細長い軸線方向歪吸収接触部材を含み、各接触部材が、前記第1PCBの電気回路と電気的に係合する第1端部分と、前記第2PCBの電気回路と電気的に係合する第2端部分とを有する前記第2印刷回路基板(PCB)と、
前記プローブ部材が取り付けられ、前記第2PCB用の囲いを形成し、かつ、前記圧力・温度共用トランスデューサーとの電気的インターフェースを提供する外部コネクタ・ハウジング組立体とを含む圧力・温度共用トランスデューサー。 - 前記装着構造が、前記管の前記第1端部と第2端部の中間に配設されたねじ付き部分を含む請求項1に記載された圧力・温度共用トランスデューサー。
- 前記管の外表面が、前記管の前記第2端部に隣接する截頭円錐形部分で形成されて、流体シール表面として働く請求項2に記載された記載された圧力・温度共用トランスデューサー。
- 前記細長い軸線方向歪吸収接触部材が、それぞれ、温度変化による長さの変化を吸収するループを含むように構成されている請求項1に記載された圧力・温度共用トランスデューサー。
- 溜り部を形成する側壁を有し、これが、前記歪ゲージと共にワイヤ接合部が取り付けられた前記第1PCBの前記電気回路の第1部分を取り囲み、前記軸線方向歪吸収接触部材が係合する前記第1PCBの前記電気回路の第2部分と、前記溜り部内に受容されたゲルとを分離するようになされたゲル堰体を更に含む請求項1に記載された圧力・温度共用トランスデューサー。
- 特に高温流体での利用に適する圧力・温度共用トランスデューサーにおいて、
細長い管状プローブ部材と、
細長い内部コネクタと、
第2印刷回路(PCB)と、
外部コネクタ・ハウジングとを含み、
前記細長い管状プローブ部材が、第1開放端部と第2開放端部と、それらの間に配設された密閉構造体とを有し、前記管状プローブ部材の前記第1開放端部が壁の開口を通じてシーリング状態で監視場所内に挿入可能であり、
さらに、前記細長い管状プローブ部材が、前記管状プローブ部材の前記第2開放端部に装着された半径方向外方に延びるフランジと、前記第1開放端部で受承されるとともに前記第1開放端部を閉じるとともに歪ゲージが装着された感圧ダイヤフラムを含む感知素子と、前記感知素子に隣接した前記管状プローブ部材に装着された第1耐熱印刷回路基板(PCB)とを有し、該第1耐熱印刷回路基板(PCB)は、ワイヤ接合パッドおよび接触パッドを有し、ワイヤが前記歪ゲージと前記ワイヤ接合パッドとに接合されて、それらの間に電気接続を形成し、
前記細長い内部コネクタは、電気絶縁材料から形成されるとともに、前記管状プローブ部材に受容されており、また、前記管状プローブ部材の前記第2端部の外に延びる上端を有し、
前記第2印刷回路(PCB)は、前記内部コネクタに前記上端で装着されるとともに、電気回路および接触パッドを有し、また、電子信号調整・増幅部品を含み、
前記内部コネクタは、第1と第2の両端を有する複数の細長い、軸線方向応力吸収接触部材を有し、各接触部材それぞれの第1端部が、前記第1PCBのそれぞれの接触パッドと電気係合し、接触部材それぞれの第2端部が、第2PCBの電気回路と電気係合しており、
前記外部コネクタ・ハウジングは、前記フランジに取り付けて、前記トランスデューサーとの電気的インターフェースを提供し、前記第2PCBを収容し、それによって、前記管状プローブ部材の第1端部の、前記感知素子および前記第1PCBが、高温流体流内に、壁の開口を通じてシーリング状態で挿入可能であり、前記第2PCBが、前記監視場所の外側で、前記管状プローブ部材の前記第1端部から物理的に分離されるように構成されている圧力・温度共用トランスデューサー。 - 前記管の第1端部と第2端部の中間に配設された外部ねじ付き部分を更に含む請求項6に記載された圧力・温度共用トランスデューサー。
- 前記密閉構造体が、前記管の前記外表面に形成されて流体シール表面として働く截頭円錐部分を含む請求項7に記載された圧力・温度共用トランスデューサー。
- 細長い、軸線方向歪吸収接触部材が、それぞれ、温度変化による長さの変化を吸収するループを含むように構成されている請求項6に記載された圧力・温度共用トランスデューサー。
- 溜り部を形成する側壁を有し、これが歪ゲージと共にワイヤ接合が取り付けられた第1PCBの前記ワイヤ接合パッドを囲み、軸線方向歪吸収接触部材が係合する第1PCBの接触パッドと、前記溜り部内に受容されたゲルとを分離するゲル堰体を更に含む請求項6に記載された圧力・温度共用トランスデューサー。
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