JP6538882B2 - ビスマスナトリウムストロンチウムチタン酸塩系誘電体組成物、誘電体素子、電子部品および積層電子部品 - Google Patents

ビスマスナトリウムストロンチウムチタン酸塩系誘電体組成物、誘電体素子、電子部品および積層電子部品 Download PDF

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Description

本発明は、定格電圧が高い中高圧用途に好適に用いられ、さらに、高温環境下でも好適に用いられる誘電体組成物、誘電体素子、電子部品および積層電子部品に関する。
積層セラミックコンデンサなどの積層電子部品は、小型、大容量、高信頼性の電子部品として広く利用されている。近年、電子回路の高密度化に伴い、誘電体素子の小型化に対する要求が強くなっている。また、積層セラミックコンデンサ等の積層電子部品の小型・大容量化が急速に進むとともに、その用途も拡大している。積層電子部品の用途の拡大に伴い、様々な特性が積層電子部品に要求されるようになっている。
例えば、エンジンコントロールモジュール(ECM)、燃料噴射装置、電子制御スロットル、インバータ、コンバータ、ハイインテンシティーディスチャージ(HID)ヘッドランプユニット、ハイブリッドエンジンのバッテリコントロールユニット、デジタルスチルカメラ等の機器に用いられる中高圧コンデンサは、高い昇圧回路中で使用されるため、定格電圧が100Vを超えるものが多い。このような中高圧コンデンサにおいては、高いDCバイアスの印加時にも高い比誘電率および高い静電容量を有することが要求される。また、上記中高圧コンデンサを自動車や産業機器等に使用する場合には、高いDCバイアスの印加に加えて、高温環境下においた場合でも、高い比誘電率および高い静電容量を有することが要求される。
しかしながら、従来の誘電体組成物は、低いDCバイアス印加時に使用されることを前提に設計されている。したがって、従来の誘電体組成物からなる誘電体層を有する電子部品を高いDCバイアス印加時に使用すると、比誘電率および静電容量が低下するという問題がある。この問題は、DCバイアスが高くなればなるほど、比誘電率および静電容量は低下する傾向があるため、特に薄層化の進んだ積層セラミックコンデンサにおいて顕著である。
このような問題を解決するべく、下記の特許文献1では、アルカリ金属酸化物の含有量が0.02重量%以下のチタン酸バリウムと、酸化ユーロピウム、酸化ガドリニウム、酸化テルビウム、酸化ジスプロシウム、酸化ホルミウム、酸化エルビウム、酸化ツリウムおよび酸化イッテルビウムの中から選ばれる少なくとも1種と、ジルコン酸バリウムと、酸化マグネシウムと、酸化マンガンとからなり、かつ、次の組成式、{BaO}mTiO2+αR23+βBaZrO3+γMgO+gMnO(ただし、R23はEu23、Gd23、Tb23、Dy23、Ho23、Er23、Tm23およびYb23の中から選ばれる少なくとも1種であり、α、β、γおよびgはモル比を表し、0.001≦α≦0.06、0.005≦β≦0.06、0.001<γ≦0.12、0.001<g≦0.12、γ+g≦0.13、1.000<m≦1.035の範囲内にある。)で表される主成分を含有するとともに、副成分として酸化珪素を、前記主成分100モルに対して、SiO2に換算して0.2〜5.0モル含有していることを特徴とする誘電体磁器組成物が開示されている。
特許文献1に示すような誘電体磁器組成物は、5V/μmのDCバイアス印加時の比誘電率が比較的大きい。しかしながら、中高圧コンデンサの更なる小型化・大容量化に対応するために薄層化した積層電子部品においては、特許文献1に示す誘電体磁器組成物では満足な特性が得られていない。特許文献1に示す誘電体磁器組成物では、室温で8V/μm程度の高いDCバイアスを印加する場合において高い比誘電率が得られていない。さらに、高温で8V/μm程度の高いDCバイアスを印加する場合においても、高い比誘電率が得られていない。
また、従来の誘電体組成物では、高いDCバイアスが印加されることにより、誘電体組成物の破壊が生じてしまう可能性がある。そのため、高いDCバイアスが印加されたとしても、破壊が生じない優れた耐電界が求められる。
特許第3334607号公報
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、その目的は、比較的に定格電圧が高い中高圧用途に好適に用いられ、高いDCバイアス印加時に室温付近でも高温下でも高い比誘電率を有すると共に、優れた耐電界特性を有する誘電体組成物と、その誘電体組成物を用いた誘電体素子、電子部品および積層電子部品を提供することである。
上記目的を達成するため、本発明に係る誘電体組成物は、
主成分と、副成分と、を含有している誘電体組成物であって、
前記主成分が(BiNaSrLn)TiOで表され、
Lnは、希土類元素の中から選択される少なくとも1種であり、
a、b、cおよびdは、それぞれ、0.100≦a≦0.400、0.100≦b≦0.400、0.100≦c≦0.700、0≦d≦0.100および0.900≦a+b+c+d≦1.050を満たし、
前記副成分が第1副成分および/または第2副成分を含有し、
前記第1副成分がLiおよびKからなる群から選択される少なくとも1種を有し、
前記第2副成分がCu、Zn、Mn、Mg、Coからなる群から選択される少なくとも1種を有する。
本発明に係る誘電体組成物は、高いDCバイアス印加時において、室温付近でも高温下でも高い比誘電率を示すと共に、室温付近でも高温下でも優れた耐電界を示す。
前記第1副成分は、前記主成分に含まれるTi100モル部に対し、0.5モル部以上7モル部未満含まれることが好ましい。
前記第2副成分は、前記主成分に含まれるTi100モル部に対し、0.05モル部以上5モル部未満含まれることが好ましい。
本発明に係る誘電体素子は、上記誘電体組成物を備える。
本発明に係る誘電体素子は、上記誘電体組成物を備えることで、小型化および高性能化が可能となる。
本発明に係る電子部品は、上記誘電体組成物からなる誘電体層を備える。
本発明に係る積層電子部品は、上記誘電体組成物からなる誘電体層と内部電極層とを交互に積層されてなる積層部分を有する。
本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの断面図である。 DCバイアスの変化に対する比誘電率の変化を表すグラフである。 温度の変化に対する比誘電率の変化を表すグラフである。
以下、図1を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明する。
図1は本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの断面図である。積層セラミックコンデンサ200は、誘電体層7と、内部電極層6A,6Bと、が交互に積層された構成のコンデンサ素子本体5を有する。この素子本体5の両端部には、素子本体5の内部で交互に配置された内部電極層6A,6Bと各々導通する一対の端子電極11A,11Bが形成してある。素子本体5の形状に特に制限はないが、通常、直方体状とされる。また、その寸法にも特に制限はなく、用途に応じて適当な寸法とすればよい。
誘電体7を形成する本実施形態に係る誘電体組成物は、下記式(1)を有する主成分を含有するとともに、第1副成分(Li、Kのうち少なくとも一種以上)と、第2副成分(Cu、Zn、Mn、Mg、Coのうち少なくとも一種以上)とからなる群のうち少なくとも一種を、前記主成分に含まれるTi100モル部に対して、0.05モル部以上10モル部以下含有している。
(BiNaSrLn)TiO ・・・式(1)
(Lnは希土類元素)
ただし、上記式(1)の組成におけるa、b、c、dが下記の数値範囲内である。
0.100≦a≦0.400
0.100≦b≦0.400
0.100≦c≦0.700
0≦d≦0.100
0.900≦a+b+c+d≦1.050
前記誘電体組成物は、上記式(1)の組成を有し、a、b、c、dが上記の数値範囲内である主成分と、第1副成分および第2副成分からなる群から選択される少なくとも一種以上の副成分と、を含むことにより、150℃におけるDCバイアス印加時の比誘電率が上昇する。a、b、c、dは、Tiの原子数を1とした場合のBi、Na、Sr、Lnの各原子数の比を表す。なお、DCバイアス印加時の比誘電率が上昇するのは、本実施形態に係る誘電体組成物が従来のBaTiO系誘電体組成物と比較して常誘電体に近いためと考えられる。
少なくとも8V/μmのDCバイアス印加時における比誘電率が25℃において900以上、150℃において850以上、かつ25℃および150℃において15V/μm以上の耐電界を有する誘電体組成物を提供することができる。
なお、150℃における前記誘電体組成物の比誘電率が上昇するのは、第1副成分および/または第2副成分の添加により、主成分の比誘電率が最も高くなる温度(−10℃〜100℃の範囲に存在する)が高温側に移動するためと考えられる。
前記誘電体組成物が第1副成分も第2副成分も含有しない場合には、150℃、8V/μmのDCバイアス印加時において、850以上の比誘電率を得ることができない。
aが0.100未満の場合、誘電体組成物は、常誘電体の特性が支配的になりすぎる。そのため、比誘電率が低下し、25℃、8V/μmのDCバイアス印加時において、900以上の比誘電率を得ることができない。また、aが0.400より大きい場合、絶縁抵抗が低下し、絶縁破壊しやすくなるため、25℃において15V/μm以上の耐電界を得ることができない。
bが0.100未満の場合、誘電体組成物は、常誘電体の特性が支配的になりすぎる。そのため、比誘電率が低下し、25℃、8V/μmのDCバイアス印加時において、900以上の比誘電率を得ることができない。また、bが0.400より大きい場合、絶縁抵抗が低下し、絶縁破壊しやすくなるため、25℃において15V/μm以上の耐電界を得ることができない。
cが0.100未満の場合、絶縁抵抗が低下し、絶縁破壊しやすくなるため、25℃において15V/μm以上の耐電界を得ることができない。また、cが0.700より大きい場合、誘電体組成物は、常誘電体の特性が支配的になりすぎる。そのため、25℃、8V/μmのDCバイアス印加時において、900以上の比誘電率を得ることができない。
dが0.100より大きい場合、誘電体組成物は、常誘電体の特性が支配的になりすぎる。そのため、25℃、8V/μmのDCバイアス印加時において、900以上の高い比誘電率を得ることができない。
a+b+c+dが0.900未満又は1.050を超えると絶縁抵抗が低下し絶縁破壊しやすくなるため25℃において15V/μm以上の耐電界を得ることができない。
前記誘電体組成物に含まれる第1副成分および第2副成分は、前記誘電体組成物に含まれるTi100モル部に対し、前記第1副成分および前記第2副成分の合計で0.5モル部以上10モル部以下、含まれることが好ましい。前記第1副成分および前記第2副成分の含有量の合計を0.5モル部以上とすることにより、主成分の比誘電率のピークが高温側へ十分に移動しやすくなる。また、前記第1副成分および前記第2副成分の含有量の合計を10モル部以下とすることにより、高温時の絶縁抵抗の低下を防ぎやすくなり、150℃において15V/μm以上の耐電界を有する誘電体組成物を得やすくなる。
また、前記誘電体組成物に含まれる第1副成分は、前記誘電体組成物に含まれるTi100モル部に対し、0.5モル部以上7モル部未満含まれることが好ましい。第1副成分の含有量を0.5モル部以上とすることにより、主成分の比誘電率のピークが高温側へ十分に移動しやすくなる。また、第1副成分の含有量を7モル部未満とすることにより、第1副成分が全量、主相に固溶しやすくなる。主相に固溶せず焼結体内部に余る第1副成分を低減することにより、さらに比誘電率を向上させることができる。以上より、第1副成分を0.5モル部以上7モル部未満、含有させることで、8V/μm以上のDCバイアス印加時の比誘電率が25℃および150℃において900以上の比較的高い比誘電率を有し、25℃および150℃において15V/μm以上の耐電界を有する誘電体組成物を得ることができる。
また、前記誘電体組成物に含まれる第2副成分は、前記誘電体組成物に含まれるTi100モル部に対し、0.05モル部以上5モル部未満含まれることが好ましい。第2副成分の含有量を0.05モル部以上とすることにより、主成分の比誘電率のピークが高温側へ十分に移動する。また、第2副成分の含有量を5モル部未満とすることにより、第2副成分が全量、主相に固溶しやすくなる。主相に固溶せず焼結体内部に余る第2副成分を低減することにより、さらに比誘電率を向上させることができる。以上より、第2副成分を0.05モル部以上5モル部未満、含有させることで、8V/μm以上のDCバイアス印加時の比誘電率が25℃および150℃において900以上の比較的高い比誘電率を有し、25℃および150℃において15V/μm以上の耐電界を有する誘電体組成物を得ることができる。
また、誘電体7を形成する本実施形態に係る誘電体組成物は、下記(2)、(3)の両方を満たすと、本発明の効果がより顕著となるため、さらに好ましい。下記(2)、(3)の両方を満たす場合には、25℃において8V/μm以上のDCバイアス印加時に比誘電率が1200以上、150℃おいて8V/μm以上のDCバイアス印加時に比誘電率が1000以上となる。さらに、25℃および150℃において15V/μm以上の耐電界を有する。
(2)a、b、c、dがそれぞれ、以下に示す数値範囲内である。
0.150≦a≦0.375
0.150≦b≦0.375
0.150≦c≦0.600
0.010≦d≦0.080
0.920≦a+b+c+d≦1.020
(3)前記誘電体組成物に含まれるTi100モル部に対し、第1副成分の含有量が1モル部以上5モル部未満、および/または、第2副成分の含有量が0.1モル部以上3モル部以下である。
また、第1副成分としてLiを含み、LnとしてLa、Pr、Nd、Smのうち1種以上を含む場合には、第1副成分の含有量を3%以上6%以下とすることが好ましい。
誘電体組成物の原料には、上記式(1)に含まれる元素の酸化物やその混合物、複合酸化物を用いることができるが、その他、焼成により上記した酸化物や複合酸化物となる各種化合物、例えば炭酸塩、シュウ酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物等から適宜選択し、混合して用いることができる。誘電体原料中の各化合物の含有量は、焼成後に上記した誘電体組成物が形成されるように決定すればよい。
誘電体組成物として実用に十分な比誘電率を得やすくするために、上記式(1)で表される主成分の含有量は、誘電体組成物全体を100重量%として、90重量%以上であることが好ましい。また、主成分、第1副成分および第2副成分の他に、上記組成物は、第3副成分として、Ni、Al、Siから選択される元素の化合物を1種以上同様に含有してもよい。第3副成分の含有量に特に制限はないが、前記誘電体組成物に含まれるTi100モル部に対し、1モル部以下とすることが好ましい。
さらに、本発明に係る誘電体組成物を作製する上で混入する可能性があるP、Zrなどの不純物を、誘電体組成物全体を100重量%として、0.5重量%以下、同様に含有しても良い。
誘電体層7の1層当たりの厚さは、任意に設定することができ、特に制限はない。例えば1〜100μmとすることができる。
内部電極層6A、6Bはそれぞれ平行となるように設けられている。内部電極層6Aは、一方の端部が積層体5における端子電極11Aが形成された端面に露出するように形成されている。また、内部電極層6Bは、一方の端部が積層体5における端子電極11Bが形成された端面に露出するように形成されている。さらに、内部電極層6Aと内部電極層6Bとは、これらの大部分が積層方向に重なり合うように配置されている。
内部電極層6A、6Bの材質には特に制限はない。Ag、Ag−Pd合金、NiあるいはCu等を用いることができる。
端子電極11A、11Bは、これらが設けられている積層体5の端面において、当該端面に露出している内部電極層6Aの端部、内部電極層6Bの端部とそれぞれ接している。これにより、端子電極11A、11Bは、内部電極層6A、6Bとそれぞれ電気的に接続される。
端子電極11A、11Bの構成材料には、特に制限はない。例えば、Ag、Au、Cu等を主成分とする導電材料から構成することができる。端子電極11A、11Bの厚さは、用途や積層型誘電素子のサイズ等によって適宜設定することができ、特に制限はない。端子電極11A、11Bの厚さは、例えば10〜50μmにすることができる。
(積層セラミックコンデンサの製造方法)
本発明の積層セラミックコンデンサは、従来の積層セラミックコンデンサと同様に、ペーストを用いた通常の印刷法やシート法によりグリーンチップを作製し、前記グリーンチップを焼成した後に、外部電極を印刷又は転写して焼成することにより製造される。以下、製造方法について具体的に説明する。
セラミック層用ペーストは、誘電体原料と有機ビヒクルとを混練した有機系の塗料であってもよく、誘電体原料と水系ビヒクルとを混練した水系の塗料であってもよい。
誘電体原料には、上記した主成分および副成分に含まれる金属、例えばBi、Na、Sr、Ln、Ti、Li、K、Cu、Mn、Zn、Mg、Co、Ni、AlおよびSiからなる群から選択される元素の酸化物やその混合物、複合酸化物を用いることができる。その他、焼成により上記した酸化物や複合酸化物となる各種化合物、例えば炭酸塩、シュウ酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物等から適宜選択し、混合して用いることができる。誘電体原料中の各化合物の含有量は、焼成後に上記した誘電体組成物が形成されるように決定すればよい。誘電体原料としては、通常、平均粒径0.1〜3μm程度の粉末が用いられる。誘電体原料の粉末の平均粒径は、原料の混合時間を適宜調整することにより調整することができる。
誘電体層用ペーストを有機系の塗料とする場合には、バインダ等を有機溶剤に溶解させた有機ビヒクルと、誘電体原料とを混練すればよい。有機ビヒクルに用いるバインダは特に限定されず、エチルセルロース、ポリビニルブチラール等の通常の各種バインダから適宜選択すればよい。また、有機ビヒクルに用いる有機溶剤も特に限定されず、印刷法やシート法等、利用する方法に応じて、テルピネオール、ブチルカルビトール、アセトン、トルエン等の各種有機溶剤から適宜選択すればよい。
また、誘電体層用ペーストを水系の塗料とする場合には、水溶性のバインダや分散剤等を水に溶解させた水系ビヒクルと、誘電体原料とを混練すればよい。水系ビヒクルに用いる水溶性バインダは特に限定されず、例えばポリビニルアルコール、セルロース、水溶性アクリル樹脂等を用いればよい。
内部電極層用ペーストは、上記した各種金属または合金からなる導電材、あるいは焼成後に上記した導電材を形成する各種酸化物、有機金属化合物、レジネート等と、上記した有機ビヒクルまたは水系ビヒクルとを混練して調製する。外部電極用ペーストは、上記した内部電極用ペーストと同様にして調製することができる。
上記した各ペーストの作成に有機ビヒクルを用いる場合、当該有機ビヒクルの含有量に特に制限はない。例えば、前記バインダは1〜5重量%程度、前記有機溶剤は10〜50重量%程度とすることができる。また、各ペースト中には、必要に応じて各種分散剤、可塑剤、誘電体、絶縁体等から選択される添加物が含有されていてもよい。これらの添加物の総含有量は、10重量%以下とすることが好ましい。
印刷法を用いる場合、誘電体セラミック層用ペースト及び内部電極層用ペーストを、ポリエチレンテレフタレート(PET)等の基板上に積層印刷し、所定形状に切断した後、基板から剥離してグリーンチップとする。また、シート法を用いる場合には、前記誘電体層用ペーストを用いてグリーンシートを形成し、前記グリーンシートの上に前記内部電極層用ペーストを印刷した後に、前記グリーンシートを積層してグリーンチップとする。
前記グリーンチップを焼成する前に、脱バインダ処理を施す。脱バインダ処理条件には特に制限はなく、通常の条件で行えばよい。
脱バインダ処理は、大気または還元雰囲気において、昇温速度を好ましくは0.1〜100℃/時間、より好ましくは1〜10℃/時間、保持温度を好ましくは200〜500℃、より好ましくは300〜450℃、温度保持時間を好ましくは1〜48時間、より好ましくは2〜24時間とする。また、バインダ成分等の有機成分を300ppm程度まで除去することが好ましく、200ppm程度まで除去することがより好ましい。
グリーンチップ焼成時の雰囲気は、内部電極層用ペースト中の導電材の種類に応じて適宜決定すればよく、当該焼成は大気または還元雰囲気で行う。
焼成時の保持温度は、好ましくは900〜1250℃、より好ましくは950〜1150℃である。保持温度を900℃以上とすることにより、焼成による緻密化を十分に進行させやすくなる。また、保持温度を1250℃以下とすることにより、内部電極層の異常焼結および内部電極層を構成する各種材料の拡散を抑制しやすくなる。内部電極層の異常焼結を抑制することで、内部電極の途切れを防止しやすくなる。内部電極層を構成する各種材料の拡散を抑制することで、DCバイアス特性の悪化を防止しやすくなる。
上記のようにして得られた積層誘電体素子本体に、例えばバレル研磨やサンドブラスト等により端面研磨を施し、外部電極用ペーストを印刷又は転写して焼成し、外部電極を形成する。外部電極用ペーストの焼成条件は、600〜800℃にて10分間〜1時間程度とすることが好ましい。そして、必要に応じ、外部電極表面に、めっき等により被覆層を形成する。このようにして製造された本発明の積層セラミックコンデンサは、ハンダ付等によりプリント基板上等に実装され、各種電子機器等に使用される。
以上、本発明の実施形態に係る積層セラミックコンデンサついて説明した。本発明に係る誘電体組成物は、高いDCバイアス印加時において高い比誘電率および静電容量を有するため、例えば、比較的に定格電圧が高い中高圧コンデンサに好適に用いることができる。
また、本発明は上記の実施形態に限定されるものではない。例えば、本発明に係る誘電体組成物は、例えば、半導体装置の誘電体素子などとして用いることもできる。さらに、本発明に係る誘電体組成物、誘電体素子、電子部品および積層電子部品は、例えば、高いDCバイアス印加時に高い比誘電率を必要とする回路保護用のスナバコンデンサ、平滑コンデンサなどにも有用である。
本発明において、誘電体組成物の構成以外は、公知の構成を自由に用いることができる。また、例えば、上記積層セラミックコンデンサの製造において、当該仮焼物粉体を水熱合成法等の公知の方法により製造することもできる。また、主成分の前駆体として(Bi0.5Na0.5)TiO、SrTiO、La0.67TiOなどを作製し、第1副成分および/または第2副成分を含む原料とともに混合、焼結することもできる。
以下、実施例及び比較例を用いて、本発明をさらに詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。なお、以下の説明では、第1副成分を副成分A、第2副成分を副成分Bと記載することがある。
誘電体組成物を作製するため、主成分の元素を含む各原料粉末(酸化ビスマス(Bi)、炭酸ナトリウム(NaCO)、炭酸ストロンチウム(SrCO)、水酸化ランタン(La(OH))、酸化イッテルビウム(Yb)、酸化サマリウム(Sm)、酸化セリウム(CeO)、酸化イットリウム(Y)、酸化プラセオジム(Pr11)、酸化ネオジム(Nd)、酸化ガドリニウム(Gd)、酸化テルビウム(Tb)、酸化ジスプロシウム(Dy)、酸化ホルミウム(Ho)、酸化エルビウム(Er)、酸化チタン(TiO))および副成分の元素を含む各原料粉末(炭酸リチウム(LiCO)、炭酸カリウム(KCO)、酸化銅(CuO)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化マンガン(MnO)、酸化マグネシウム(MgO)、酸化コバルト(Co))を用意した。本焼成後の誘電体組成物(焼結体)が、以下に示す表1〜表4の組成を満たすものとなるように、上記原料粉末を調整して秤量した。なお、表1〜表4中のa、b、cおよびdは、それぞれ下記式(1)におけるa、b、cおよびdの数値を示す。また、焼結体が、表1〜表4の各副成分の量を含有するように、上記副成分の原料粉末を調整して秤量した。
BiNaSrLnTiO…(1)
ただし、表1〜表3の実施例および比較例でのLnはLa、Yb、Sm、Ceからなる群より選択される1種である。表4の実施例でのLnはY、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Ybからなる群より選択される1種または2種である。2種を選択する場合には、それぞれの含有量がモル換算で1:1となるようにした。
次に、秤量した各原料粉末を、ボールミルにより湿式混合して混合物を得た。その後、上記混合物を、空気中において750〜850℃で2時間仮焼して仮焼物を得た。そして、上記仮焼物をボールミルにより湿式粉砕して仮焼物粉末を得た。
次いで、上記仮焼物粉末に、有機溶剤および有機ビヒクルを加え、ボールミルにより湿式混合して誘電体層用ペーストを作製した。
さらに、前記誘電体層用ペーストとは別に、導電材料の粉末と有機ビヒクルとを混練し、内部電極層用ペーストを作製した。前記導電材料の粉末として、Ag、Ag−Pd合金、あるいはCu等を用いた。
続いて、前記誘電体層用ペーストをシート成形法によりシート状に成形し、厚さ10μmのセラミックグリーンシートを得た。
作製したセラミックグリーンシート上に内部電極層用ペーストをスクリーン印刷により塗布し、内部電極層を印刷し、それらを積層後、4.5mm×4.3mm×1.0mmの直方体状に切断することにより積層体グリーンチップを作製した。内部電極層の厚さは2μmとした。また、誘電体層の積層数は10とした。その後、各チップを300℃〜500℃で脱バインダを行い、有機成分を300ppm程度まで除去し、900℃〜1250℃の大気または還元雰囲気にて焼成を行った。焼成後、内部電極の露出面を研磨し、AgまたはCuを導電材料とする外部電極用ペーストを塗布し、積層セラミックコンデンサを得た。
得られた積層セラミックコンデンサの組成を分析した。組成分析は蛍光X線分析法および誘導結合プラズマ(ICP)発光分光分析で行った。その結果、各積層セラミックコンデンサの組成が表1〜表3の組成と同一であることを確認した。
得られた各積層セラミックコンデンサについて、室温(25℃)および150℃において、実効値で0.1V/μmの交流電圧印加時に重畳して8V/μmのDCバイアスを印加したときの比誘電率(ε)を測定した。
比誘電率は、直流高圧電源(GLASSMAN HIGH VOLTAGE社,WX10P90)をデジタルLCRメータ(Hewlett−Packard社,4284A)に接続して、室温(25℃)および150℃において、8V/μmのDCバイアスを印加しながら前記デジタルLCRメータにて測定した。
25℃および150℃における耐電界は、直流高圧電源(GLASSMAN HIGH VOLTAGE社,WX10P90)を用いて、電圧を徐々に印加し、絶縁破壊を起こす電圧を測定することで求めた。
各実施例および比較例の室温(25℃)および150℃における8V/μmのDCバイアス印加時の比誘電率と、25℃および150℃における耐電界を表1〜表3に示す。25℃において8V/μmのDCバイアス印加時の比誘電率が900以上および150℃において8V/μmのDCバイアス印加時の比誘電率が850以上、かつ25℃および150℃における耐電界が15V/μm以上のものを良好とした。
また、25℃および150℃において8V/μmのDCバイアス印加時の比誘電率が900以上、かつ25℃および150℃における耐電界が15V/μm以上のものをさらに良好とした。
Figure 0006538882
Figure 0006538882
Figure 0006538882
表1〜表3の各実施例の積層セラミックコンデンサは、a、b、cおよびdが、それぞれ、0.100≦a≦0.400、0.100≦b≦0.400、0.100≦c≦0.700、0≦d≦0.100、0.900≦a+b+c+d≦1.050を満たす。さらに、前記積層セラミックコンデンサは、第1副成分(Li、Kのうち少なくとも一種以上)と、第2副成分(Cu、Zn、Mn、Mg、Coのうち少なくとも一種以上)と、からなる群から選択される少なくとも一種を含有している。そして、前記第1副成分と前記第2副成分との合計の含有量が、前記主成分に含まれるTi100モル部に対して、0.05モル部以上10モル部以下である。
表1〜表3の各実施例の積層セラミックコンデンサは、25℃において8V/μmのDCバイアス印加時の比誘電率が900以上、150℃において8V/μmのDCバイアス印加時の比誘電率が850以上、かつ25℃および150℃における耐電界が15V/μm以上であった。また、LnとしてLa、Yb、Sm、Ceのいずれを用いた場合でも各特性が良好な積層セラミックコンデンサが得られた。
第1副成分が前記誘電体組成物に含まれるTi100モル部に対し、0.5モル部以上7モル部未満含まれる表1〜表3の各実施例の積層セラミックコンデンサは、25℃および150℃において8V/μmのDCバイアス印加時の比誘電率が900以上、かつ25℃および150℃の耐電界が15V/μm以上であった。
第2副成分が前記誘電体組成物に含まれるTi100モル部に対し、0.05モル部以上5モル部未満含まれる表1〜表3の各実施例の積層セラミックコンデンサは、25℃および150℃において8V/μmのDCバイアス印加時の比誘電率が900以上、かつ25℃および150℃の耐電界が15V/μm以上であった。
さらに、表1〜表3の各実施例の積層セラミックコンデンサのうち、一部の実施例は、a、b、cおよびdがそれぞれ0.150≦a≦0.375、0.150≦b≦0.375、0.150≦c≦0.600、0.010≦d≦0.080、0.920≦a+b+c+d≦1.020を満たす。さらに、前記積層セラミックコンデンサは、第1副成分(Li、Kのうち少なくとも一種以上)を前記誘電体組成物に含まれるTi100モル部に対し、1モル部以上5モル部未満、および/または、第2副成分(Cu、Zn、Mn、Mg、Coのうち少なくとも一種以上)を0.1モル部以上3モル部以下、含む。
上記一部の実施例では、特に本発明の効果が顕著である。上記一部の実施例では、25℃において8V/μmのDCバイアス印加時の比誘電率が1200以上、150℃において8V/μmのDCバイアス印加時の比誘電率が1000以上、かつ25℃および150℃での耐電界が15V/μm以上であった。
Figure 0006538882
表4の一部の実施例では、LnとしてLa、Pr、Nd、Smのうち1種以上を含有し、第1副成分(Li)の含有量が3モル部以上、6モル部以下となっている。
上記一部の実施例では、特に本発明の効果が顕著である。上記一部の実施例では、25℃において8V/μmのDCバイアス印加時の比誘電率が1200以上、150℃において8V/μmのDCバイアス印加時の比誘電率が1300以上、かつ25℃および150℃での耐電界が18V/μm以上であった。
また、実施例4の積層セラミックコンデンサについて、25℃において印加するDCバイアスの大きさを変化させ、比誘電率を測定した。比誘電率の測定結果について、従来のBaTiO系コンデンサ試料の比誘電率変化の概略と合せて図2に示す。
図2より、従来のBaTiO系コンデンサ試料は印加するDCバイアスが大きくなるに従って比誘電率が急激に低下するのに対し、本願発明に係る誘電体組成物を有する積層セラミックコンデンサは印加するDCバイアスが大きくなっても比誘電率は大きく低下せずに高い比誘電率を維持することが分かる。これは、本願発明に係る誘電体組成物が、従来のBaTiO系の誘電体組成物と比較して、常誘電体に近いためと考えられる。
さらに、実施例4の積層セラミックコンデンサについて、25℃から150℃まで温度を変化させながら8V/μmのDCバイアス印加時の比誘電率を測定した。測定結果について、従来のBaTiO系コンデンサ試料の比誘電率変化の概略と合せて図3に示す。
図3より、本願発明に係る誘電体組成物を有する積層セラミックコンデンサは、8V/μmのDCバイアス印加時に25℃から150℃の範囲内において850以上の比誘電率という従来のBaTiO系コンデンサ試料の比誘電率と比較して高い比誘電率を得ていることが分かる。
5…積層体
6A,6B…内部電極層
7…誘電体層
11A,11B…端子電極
200…積層セラミックコンデンサ

Claims (13)

  1. 主成分と、副成分と、を含有している誘電体組成物であって、
    前記主成分が(BiNaSrLn)TiOで表され、
    Lnは、希土類元素の中から選択される少なくとも1種であり、
    a、b、cおよびdは、それぞれ、0.100≦a≦0.400、0.100≦b≦0.400、0.100≦c≦0.700、0<d≦0.100および0.900≦a+b+c+d≦1.050を満たし、
    前記副成分が第1副成分および/または第2副成分を含有し、
    前記第1副成分であり
    前記第2副成分がCu、Zn、Coからなる群から選択される少なくとも1種を有する誘電体組成物。
  2. 前記主成分に含まれるTi100モル部に対し、前記第1副成分を0.5モル部以上7モル部未満、含有する請求項1に記載の誘電体組成物。
  3. 前記主成分に含まれるTi100モル部に対し、前記第2副成分を0.05モル部以上5モル部未満、含有する請求項1または2に記載の誘電体組成物。
  4. 請求項1〜3のいずれかに記載の誘電体組成物を備える誘電体素子。
  5. 請求項1〜3のいずれかに記載の誘電体組成物からなる誘電体層を備える電子部品。
  6. 請求項1〜3のいずれかに記載の誘電体組成物からなる誘電体層と内部電極層とを交互に積層されてなる積層部分を有する積層電子部品。
  7. 前記内部電極層の形成に内部電極層用ペーストが用いられ、前記内部電極層用ペーストが各種金属または合金からなる導電材、あるいは焼成後に前記導電材となる各種酸化物、有機金属化合物、レジネート等と、有機ビヒクルまたは水系ビヒクルとを混練して調製することにより準備されることを特徴とする請求項6に記載の積層電子部品。
  8. 前記内部電極層の材質がAg、Ag−Pd合金、NiまたはCuからなる請求項6または7に記載の積層電子部品。
  9. 導電材料から構成されている端子電極からなる請求項6〜8のいずれかに記載の積層電子部品。
  10. 前記端子電極がAg、Au、Cu等を主成分とする導電材料から構成されている請求項9に記載の積層電子部品。
  11. 積層セラミックコンデンサを形成する請求項6〜10のいずれかに記載の積層電子部品。
  12. 混合物を得るために秤量した各原料粉末がボールミルにより湿式混合され、次いで、有機溶剤および有機ビヒクルが仮焼物粉末に加えられ、原料がボールミルにより湿式混合されて誘電体層用ペーストが作製され、
    さらに、前記誘電体層用ペーストとは別に、導電材料の粉末と有機ビヒクルとを混練し、内部電極層用ペーストが作製され、
    その後、前記誘電体層用ペーストがシート成形法によりシート状に成形されて厚さ10μmのセラミックグリーンシートが得られ、
    その後、前記内部電極層用ペーストが前記セラミックグリーンシート上にスクリーン印刷により塗布され、印刷されたシートが積層され、その後、4.5mm×4.3mm×1.0mmの直方体状に切断されることによって積層体グリーンチップが作製され、
    その後、有機成分を300ppm程度まで除去するために、前記積層体グリーンチップが300〜500℃で脱バインダされ、
    900〜1250℃の大気または還元雰囲気にて焼成され、
    焼成後、内部電極の露出面が研磨され、AgまたはCuを導電材料とする外部電極用ペーストが塗布されて積層セラミックコンデンサが得られる請求項1に記載の誘電体組成物を有する積層セラミックコンデンサの製造方法。
  13. 前記内部電極および外部電極が銅から形成される請求項12に記載の積層セラミックコンデンサの製造方法。
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