JP6535005B2 - バルクの炭化ケイ素を製造するための装置 - Google Patents
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Description
本出願は、2013年9月6日出願の米国仮特許出願第61/874633号に関連する。当該特許出願の全内容は参照により本明細書に組み込まれる。
本発明は、昇華炉及び低い欠陥密度を有するバルクの炭化ケイ素を製造する方法に関する。
Claims (8)
- 炉殻、炉殻の外側に位置する少なくとも一つの加熱素子、及び断熱材に囲まれ炉殻内部に位置するホットゾーンを含む昇華炉であって、
当該ホットゾーンが
a)上部領域と下部領域を有し、1又は複数の通気口を有するるつぼ;
b)るつぼを密封するるつぼカバー;
c)るつぼの下部領域に位置する炭化ケイ素前駆体;
d)るつぼの上部領域に位置するシードモジュールであり、少なくとも一つの蒸気放出開口部を有するシードホルダー、及び上面と底面を有する炭化ケイ素シードをシードホルダー内に含む、シードモジュール、
ここで、炭化ケイ素シードの上面は、るつぼの上部領域に露出しているか又はシード保護層を有しており、炭化ケイ素シードの底面は、るつぼの上部領域に露出し、かつ炭化ケイ素前駆体に向いている;及び
e)1又は複数の孔を有する少なくとも一つの蒸気放出リングであり、シードホルダー内の頂部側に組み込まれているか、又はシードホルダーの外側の頂部に配置され、少なくとも一つの孔がるつぼの通気口の少なくとも一つとそろえられている蒸気放出リング、
を含み、
さらに、ホットゾーンは、シードホルダーに設けられた蒸気放出開口部を通り、蒸気放出リングが有する孔と位置合わせされたるつぼの通気口を通って排出するための蒸気の経路を有する、
炭化ケイ素を形成するための昇華炉。 - 炭化ケイ素前駆体がソースモジュール内に含まれ、ソースモジュールがるつぼの下部領域に配置される、請求項1に記載の昇華炉。
- ソースモジュールが前駆体チャンバを含み、炭化ケイ素前駆体が前駆体チャンバ内に含まれている、請求項2に記載の昇華炉。
- 炭化ケイ素前駆体が多孔質である、請求項1に記載の昇華炉。
- 炭化ケイ素前駆体が炭化ケイ素の密度よりも小さい密度を有する、請求項4に記載の昇華炉。
- 炭化ケイ素前駆体が炭化ケイ素前駆体の総重量に対して10%未満の粒子状物質を含有する、請求項1に記載の昇華炉。
- 炭化ケイ素シードの上面がシード保護層を含む、請求項1に記載の昇華炉。
- るつぼの上部領域が上部直径を有する実質的に円筒の形状であり、るつぼの下部領域が下部直径を有する実質的に円筒の形状であり、ここで上部直径が下部直径よりも大きいことを特徴とする、請求項1に記載の昇華炉。
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