JP6504426B2 - 電気機械変換部材の形成方法 - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP6909420B2 (ja) * 2016-05-19 2021-07-28 株式会社リコー 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置
JP7473774B2 (ja) * 2019-09-12 2024-04-24 ミツミ電機株式会社 圧電アクチュエータ、光走査装置
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1056140A (ja) * 1996-08-08 1998-02-24 Sharp Corp 強誘電体メモリ素子及びその製造方法
JP3903474B2 (ja) * 1997-03-25 2007-04-11 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ、及びインクジェット式記録ヘッド、並びに圧電体薄膜素子の製造方法
JPH10275896A (ja) * 1997-03-28 1998-10-13 Murata Mfg Co Ltd メモリ素子
JP3633304B2 (ja) * 1997-09-22 2005-03-30 株式会社村田製作所 強誘電体薄膜素子の製造方法
JP2000106422A (ja) * 1998-09-29 2000-04-11 Murata Mfg Co Ltd 強誘電体薄膜素子およびその製造方法
JP2008205048A (ja) * 2007-02-16 2008-09-04 Seiko Epson Corp 圧電素子の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法
JP2009231612A (ja) * 2008-03-24 2009-10-08 Kyocera Corp 積層型圧電素子、これを備えた噴射装置及び燃料噴射システム
JP2009274226A (ja) * 2008-05-12 2009-11-26 Ricoh Co Ltd 液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、画像形成装置、圧電アクチュエータ、マイクロポンプ及び光変調デバイス
JP5710153B2 (ja) * 2010-05-11 2015-04-30 日本信号株式会社 圧電素子の製造方法
JP5720879B2 (ja) * 2010-12-08 2015-05-20 株式会社リコー 電気−機械変換膜とその作製方法、電気−機械変換素子、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置
JP5853846B2 (ja) * 2012-04-26 2016-02-09 コニカミノルタ株式会社 圧電素子およびその製造方法

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