JP6500518B2 - シート検査装置 - Google Patents

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Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6296499B2 (ja) * 2014-08-11 2018-03-20 株式会社 東京ウエルズ 透明基板の外観検査装置および外観検査方法
JP2018059772A (ja) * 2016-10-04 2018-04-12 オムロン株式会社 シート検査装置
JP2018105663A (ja) * 2016-12-24 2018-07-05 Ｔｂカワシマ株式会社 シート状物の検査装置
JP6801156B2 (ja) * 2017-01-31 2020-12-16 オムロン株式会社 シート検査装置
JP2018147579A (ja) * 2017-03-01 2018-09-20 オムロン株式会社 光電センサ
CN106733723A (zh) * 2017-03-21 2017-05-31 湖南师范大学 缺陷检测装置
JP6597691B2 (ja) * 2017-03-27 2019-10-30 Ｊｆｅスチール株式会社 表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査システム
JP2018179698A (ja) * 2017-04-11 2018-11-15 オムロン株式会社 シート検査装置
CN107367479A (zh) * 2017-07-11 2017-11-21 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种固体薄膜检测装置
DE102017120035A1 (de) * 2017-08-07 2019-02-07 Bw Papersystems Hamburg Gmbh Verfahren und Prüfvorrichtung zum Prüfen der Qualität von Ergebnissen der mechanischen Bearbeitung eines Bogens
CN107917918B (zh) * 2017-11-17 2021-02-23 南京大学 一种基于镜面反射的鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法
JP7059730B2 (ja) * 2018-03-20 2022-04-26 株式会社Ｊｖｃケンウッド 検査装置及び検査方法
JP2019215230A (ja) * 2018-06-12 2019-12-19 日新電機株式会社 電線被覆劣化検出装置及び電線被覆劣化検出方法
JP7077807B2 (ja) * 2018-06-12 2022-05-31 オムロン株式会社 画像検査システム及びその制御方法
JP6980241B2 (ja) * 2018-06-12 2021-12-15 株式会社 エフケー光学研究所 異物検査装置及び異物検査方法
JP7067321B2 (ja) * 2018-06-29 2022-05-16 オムロン株式会社 検査結果提示装置、検査結果提示方法及び検査結果提示プログラム
FR3088724B1 (fr) * 2018-11-16 2022-05-27 Arck Sensor Dispositif de detection optique des defauts d’un materiau en feuille, muni de deux tetes de detection
CN111464132B (zh) * 2019-01-18 2023-08-18 长沙青波光电科技有限公司 物体表面检测装置、硅片检测装置及方法
JP2020204579A (ja) * 2019-06-18 2020-12-24 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 ウェハの表面検査方法、表面検査装置、および電子部品の製造方法
CN110751630B (zh) * 2019-09-30 2020-12-08 山东信通电子股份有限公司 基于深度学习的输电线路异物检测方法、装置及介质
JP7547722B2 (ja) * 2019-10-09 2024-09-10 オムロン株式会社 シート検査装置
CN110702694A (zh) * 2019-10-30 2020-01-17 江苏上达电子有限公司 一种ir光源与led光源叠加使用的avi检查方法
CN112864034B (zh) * 2019-11-27 2023-09-01 上海先进半导体制造有限公司 铝腐蚀的处理方法及系统
TWI791971B (zh) * 2020-04-08 2023-02-11 財團法人紡織產業綜合研究所 布料檢測機
CN111982929B (zh) * 2020-08-14 2024-09-20 加藤义晴 一种电子部件检测设备及电子部件检测方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09281054A (ja) * 1996-04-11 1997-10-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd ディスク表面検査方法とその装置
US6624885B1 (en) * 1999-06-10 2003-09-23 Aradigm Corporation Method and device for non-destructive analysis of perforation in a material
JP2001013261A (ja) * 1999-06-30 2001-01-19 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 異物検出方法及びその装置
KR100589110B1 (ko) * 2002-09-26 2006-06-13 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키 패턴 결함 검사 장치 및 패턴 결함 검사 방법
JP5225064B2 (ja) * 2008-12-26 2013-07-03 花王株式会社 検査装置
JP5659540B2 (ja) * 2009-04-15 2015-01-28 Ｊｆｅスチール株式会社 鋼板表面欠陥検査方法および装置
JP2013253906A (ja) * 2012-06-08 2013-12-19 Toppan Printing Co Ltd ウェブ搬送物の検査方法及び検査装置
JP5673621B2 (ja) * 2012-07-18 2015-02-18 オムロン株式会社 欠陥検査方法及び欠陥検査装置
JP5825278B2 (ja) * 2013-02-21 2015-12-02 オムロン株式会社 欠陥検査装置および欠陥検査方法
TW201410613A (zh) * 2013-06-18 2014-03-16 Taiflex Scient Co Ltd 可塑化隔熱組成物、透明隔熱中間膜及包含其之透明隔熱夾層板

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