CN105973909A

CN105973909A - 片材检查装置

Info

Publication number: CN105973909A
Application number: CN201510731461.0A
Authority: CN
Inventors: 江川弘; 江川弘一; 宫田佳昭; 林信二郎
Original assignee: Omron Corp
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 2015-03-10
Filing date: 2015-11-02
Publication date: 2016-09-28
Anticipated expiration: 2035-11-02
Also published as: JP6500518B2; CN105973909B; TW201632871A; JP2016166813A; TWI569004B

Abstract

本发明涉及片材检查装置，提供能够以简单的结构高精度地检测片状的被检查物的正面侧的异常与背面侧的异常的技术。使用拍摄由被检查物反射的光的第一图像与拍摄透过被检查物的第二图像，检测被检查物上的异常部位。在该异常部位中，在第一图像的像素值以及第二图像的像素值都比在被检查物上无异常时的通常值降低的情况下，处理部基于第一图像的像素值的相对于通常值的降低程度与第二图像的像素值的相对于通常值的降低程度，来判别在异常部位产生的异常是异物附着或混入被检查物的第一表面侧的第一表面异物，还是异物附着或混入与第一表面相反一侧的第二表面侧的第二表面异物。

Description

片材检查装置

技术领域

本发明涉及检测片状的被检查物的异常部位的技术。

背景技术

在用于制造或加工片状物品的生产线上使用一种检查装置，该装置使用向片材照射可见光、红外光再利用摄像头拍摄其透过光或反射光所得的图像，来检测片材上的异常部位(异物混入、脏污、伤痕等)。

在这种检查装置中，虽然检测片材上的异常部位比较容易，但详细且准确地判别检测到的是何种异常非常困难。因此，以往被迫要进行转到借助目测的详细检查的处理，来判别是将检测出异常部位的片材废弃还是当作低档产品。然而，实际上，存在多种多样的可能在片材上产生的异常，根据产品的种类、用途、材质等的不同，也有些不必当作不良(缺陷)。

例如，虽然在锂离子充电电池的隔离层上一般使用微多孔性聚烯烃薄膜，但是由于隔离层本身对人眼来讲不可见，所以即使稍微有些脏污等，只要在功能性上没有问题，就不需要当作不良品。另一方面，由于有短路的危险，所以金属的混入或者附着、针孔(孔)可以说是绝对不可忽视的种类的异常。反之，对纸材的情况来讲，虽然可以容许较小的针孔，但是在有些情况下，也想要将对外观有影响的脏污、褶皱当作不良来进行检测。

因此，提供几种检查方法，上述检查方法通过组合多个种类的测定系统，与以往相比，能够判别异常的种类。例如，在专利文献1中公开一种方法，该方法如下：分别将拍摄来自片材的背面的透过光的透过光图像与拍摄在片材的正面正反射的光的反射光图像二值化，将与透过光图像中的黑色像素数相比反射光图像中的黑色像素数明显少的情况，判别为内部异物缺陷，将与反射光图像中的黑色像素数相比透过光图像中的黑色像素数明显少的情况，判别为正面异物缺陷，将除上述以外的情况，判别为正面形状缺陷。另外，在专利文献2中公开一种检查方法，该检查方法如下：向片材的相同部位照射可见光与红外光，使用拍摄上述可见光与红外光的反射光所得的可见光图像与红外光图像，来判别金属缺陷。

然而，以往的方法存在如下问题：虽然能够高精度地检测片材的正面以及片材内部的异常，但片材的背面(与反射光测定系统相反一侧的面)的异常的检测精度低。例如，在异物附着或混入片材的背面的情况下，若异物的颜色浓(即，与片材的底色大大不同)，则处于正面的反射光测定系统也能够检测，但若异物的颜色淡，则难以检测。因此，在以往的检查方法中，存在漏检片材背面的缺陷的可能性。当然，若对片材的背面也进行与片材的正面相同的检查，则能够不漏检背面的缺陷。但是，在该情况下，需要在正面与背面安装两套反射光测定系统，从而会导致装置的大型化以及成本提高，所以不优选。如上所述，由于如隔离层中的金属缺陷是绝对不能漏检的种类的异常，因此，期望能够以简单的结构高精度地检测附着或混入片材背面的异物的方法。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-253906号公报

专利文献2：日本特开2014-20910号公报

发明内容

发明要解决的问题

本发明鉴于上述实际情况，其目的在于，提供能够以简单的结构高精度地检测片状的被检查物的正面侧的异常与背面侧的异常的技术。

解决问题的手段

本发明的片材检查装置，用于检查片状的被检查物，其特征在于，具有：

第一拍摄传感器，对从第一光源照射并在被检查物的第一表面反射的光进行拍摄，第二拍摄传感器，对从第二光源照射并透过所述被检查物的光进行拍摄，处理部，使用由所述第一拍摄传感器所得的所述被检查物的第一图像与由所述第二拍摄传感器所得的所述被检查物的第二图像，检测所述被检查物上的异常部位，并且判别在所述检测出的异常部位产生的异常的种类，以及输出部，输出至少包括示出由所述处理部判别出的异常的种类的信息在内的与异常部位相关的信息；在所述异常部位中，在所述第一图像的像素值以及所述第二图像的像素值与在所述被检查物上无异常时的通常值相比而降低的情况下，所述处理部基于所述第一图像的像素值的相对于所述通常值的降低程度与所述第二图像的像素值的相对于所述通常值的降低程度，来判别在所述异常部位产生的异常是异物附着或混入所述被检查物的第一表面侧的第一表面异物，还是异物附着或混入与所述第一表面相反一侧的第二表面侧的第二表面异物。

在被检查物上有任何的异常时，该异常部位与其它的部位(即无异常的部位)相比，光的吸收率、反射率、透过率等的特性可能发生变化。而且，该变化的方法取决于光的波长以及异常的种类。因此，因在被检查物上产生何种异常，导致在由第一拍摄传感器所得的第一图像与由第二拍摄传感器所得的第二图像的各自的像素值的变化程度上出现特征。根据本发明，基于第一图像与第二图像的像素值的降低程度，能够高精度地判断是在被检查物的第一表面还是第二表面上产生异常。而且，不需要在被检查物的两侧设置反射光测定系统等的大型结构，因此，能够实现片材检查装置的小型化。其中，像素值的相对于通常值的降低程度能够使用例如将通常值与像素值的差(降低量)、通常值与像素值的差(降低量)除以通常值所得的值，或者是将降低量或除法值标准化的值等。

例如，所述处理部在所述第一图像的像素值的相对于所述通常值的降低程度比阈值大的情况下，判断为第一表面异物，在上述以外的情况下，判断为第二表面异物。另外，所述处理部根据所述第二图像的像素值的相对于所述通常值的降低程度，使用不同的所述阈值。由此，能够简单地且高精度地判断第一表面异物与第二表面异物。

优选地，该片材检查装置还具有第三拍摄传感器，该第三拍摄传感器对从第三光源照射并由所述被检查物反射的光进行拍摄，所述第三拍摄传感器配置在所述被检查物的第一表面侧，从所述第一光源照射的光是可见光，从所述第三光源照射的光是红外光，在所述异常部位产生的异常为第一表面异物的情况下，所述处理部使用由所述第三拍摄传感器所得的所述被检查物的第三图像，来判断该第一表面异物是金属还是非金属。根据该结构，不仅能够进行正面背面判断，还能够进行异物是金属还是非金属的判断，因此，能够对被检查物的异常进行更详细地分类。特别地，在如充电电池的隔离层那样的因金属异物会导致重大缺陷的被检查物的情况下，判断是金属还是非金属的功能非常有用。

例如，在所述第一图像的像素值的相对于通常值的降低程度与所述第三图像的像素值的相对于通常值的降低程度大致相同的情况下，所述处理部能够判断为所述第一表面异物是金属。由此，能够简单地且高精度地判断金属与非金属。

优选地，该片材检查装置还具有第四光源，该第四光源隔着所述被检查物从所述第一拍摄传感器的相反一侧照射光，从所述第一光源照射的光与从所述第四光源照射的光是具有包括多个颜色分量的相同的光谱分布的光，所述第一图像的像素具有多个颜色分量中的每一个颜色分量的像素值，在所述异常部位中，在所述第一图像的任一颜色分量的像素值或者综合两个以上的颜色分量的像素值的值比通常值大的情况下，所述处理部基于所述异常部位中的所述第一图像的颜色分量的平衡，判断在所述异常部位产生的异常是否为针孔缺陷。根据该结构，不仅能够进行正面背面判断，还能够进行针孔缺陷的判断，因此，能够对被检查物的异常进行更详细地分类。特别地，在如充电电池的隔离层那样的因针孔缺陷会导致重大缺陷的被检查物的情况下，判断针孔缺陷的功能非常有用。其中，综合两个以上的颜色分量的像素值的值是指，根据两个以上的颜色分量的像素值计算出的与该像素的亮度相对应的值。

例如，在所述异常部位中的所述第一图像的颜色分量的平衡与从所述第四光源照射的光中的颜色分量的平衡大致相同的情况下，所述处理部能够判断为在所述异常部位产生的异常是针孔缺陷。由此，能够简单地且高精度地判断针孔缺陷。

优选地，在一个拍摄装置内设置有：所述第一拍摄传感器，构成为接收所述第一光源的光，所述第二拍摄传感器，构成为接收所述第二光源的光，以及所述第三拍摄传感器，构成为接收所述第三光源的光。由此，能够实现测定系统的小型化。

优选地，所述拍摄装置具有分光元件，该分光元件对一条光路进行分割，并将光分别引导至所述第一拍摄传感器、所述第二拍摄传感器以及所述第三拍摄传感器。由此，由于第一拍摄传感器、第二拍摄传感器以及第三拍摄传感器能够同时在被检查物上的相同位置进行拍摄，所以不需要进行由各传感器所得的图像的对位，从而能够实现处理的简单化与精度的提高。

优选地，所述拍摄装置配置在所述被检查物的第一表面侧，所述第一光源以及所述第三光源配置为向所述被检查物的第一表面侧照射光，所述第二光源配置为隔着所述被检查物与所述拍摄装置相对。由此，能够实现片材检查装置的照明系统以及测定系统的小型化。

优选地，在一个拍摄装置内设置有：所述第一拍摄传感器，构成为接收所述第一光源的光以及所述第四光源的光，以及所述第三拍摄传感器，构成为接收所述第三光源的光，所述拍摄装置配置在所述被检查物的第一表面侧，所述第一光源以及所述第三光源配置为向所述被检查物的第一表面侧照射光，所述第四光源配置为隔着所述被检查物与所述拍摄装置相对，所述第一光源兼作为所述第二光源，所述第二拍摄传感器配置为隔着所述被检查物与所述第一光源相对。由此，能够进一步实现片材检查装置的照明系统以及测定系统的小型化。

优选地，在一个拍摄装置内设置有：所述第一拍摄传感器，构成为接收所述第一光源的光以及所述第四光源的光，以及所述第三拍摄传感器，构成为接收所述第三光源的光，所述拍摄装置配置在所述被检查物的第一表面侧，所述第一光源以及所述第三光源配置为向所述被检查物的第一表面侧照射光，所述第四光源配置为隔着所述被检查物与所述拍摄装置相对，所述第三光源兼作为所述第二光源，所述第二拍摄传感器配置为隔着所述被检查物与所述第三光源相对。由此，能够进一步实现片材检查装置的照明系统以及测定系统的小型化。

优选地，在一个拍摄装置内设置有：所述第一拍摄传感器，构成为接收所述第一光源的光以及所述第四光源的光，所述第二拍摄传感器，构成为接收所述第二光源的光，以及所述第三拍摄传感器，构成为接收所述第三光源的光，所述拍摄装置配置在所述被检查物的第一表面侧，所述第一光源以及所述第三光源配置为向所述被检查物的第一表面侧照射光，兼作为所述第二光源与所述第四光源的共同光源配置为隔着所述被检查物与所述拍摄装置相对。由此，能够进一步实现片材检查装置的照明系统以及测定系统的小型化。

从所述第二光源照射的光包括蓝色波长的光。由于蓝色的波长的光能量大，所以被检查物的透过性高，从而能够实现异常检测的精度的提高。

从所述第一光源照射的光包括红色波长的光。由于红色波长的光与红外光相对于金属的反射特性大致相同，所以能够实现金属/非金属的判断精度的提高。

此外，本发明既可以作为具有上述结构的至少一部分的片材检查装置来理解，也可以作为具有上述处理的至少一部分的片材检查装置的控制方法、片材检查方法或者片材的异常种类判别方法来理解。另外，本发明还可以作为用于使计算机执行相关的方法的程序、永久性地存储如这样的程序的计算机可读取的存储介质来理解。上述的各个结构以及处理只要不产生技术上的矛盾，就能够相互组合进而构成本发明。

发明的效果

根据本发明，能够以简单的结构高精度地检测片状的被检查物的正面侧的异常与背面侧的异常。

附图说明

图1是第一实施例的片材检查装置的框图。

图2是表示由各信号处理部所得的标准化像素值的一个例子的图。

图3是输出部输出的结果输出画面的一个例子。

图4是表示异常的种类(上层)、异常部位中的光的反射以及透过的情况(中层)、异常部位中的反射光图像与透过光图像的标准化像素值的降低程度(下层)之间的对应关系的图。

图5是片材检查装置的异常检测以及种类判别的流程图。

图6是第一实施例的异常的种类判别的流程图。

图7是第二实施例的片材检查装置的框图。

图8A是在非金属的情况下的反射可见光与反射红外光的变化的例子，图8B是在金属的情况下的反射可见光与反射红外光的变化的例子。

图9是第二实施例的异常的种类判别的流程图。

图10A是表示第三实施例以及第四实施例的片材检查装置的结构的图，图10B是表示第三实施例的拍摄装置的结构的图，图10C是表示第四实施例的拍摄装置的结构的图。

图11是表示第五实施例的片材检查装置的结构的图。

图12是第五实施例的异常的种类判别的流程图。

图13是表示第六实施例的片材检查装置的结构的图。

图14是第一实施例的异常的种类判别的变形例。

其中，附图标记说明如下：

1：片材检查装置

2：被检查物

4：拍摄装置

5：处理装置

31：第一光源

32：第二光源

33：第三光源

34：第四光源

35：共同光源

36：共同光源

41：第一拍摄传感器

42：第二拍摄传感器

43：第三拍摄传感器

51：第一信号处理部

52：第二信号处理部

53：第三信号处理部

55：对位处理部

56：异常检测部

56A：检测阈值存储部

57：判断部

57A：判断阈值存储部

58：输出部

具体实施方式

下面，参照附图，基于实施例，对用于实施本发明的方式例示地详细地进行说明。但是，在本实施例中记载的构成部件的尺寸、材质、形状、其相对配置等的宗旨为，只要是没有特别记载的，本发明的范围就不仅限定于此。

<第一实施例>

图1是本实施例的片材检查装置1的框图。在进行片状物品的制造、加工的生产线中，该片材检查装置1是为了自动地检测片状物品的异常和缺陷所使用的系统。

片材检查装置1作为照明系统具有：第一光源31，向片状的被检查物2的正面(第一表面)照射可见光；以及第二光源32，向被检查物2的背面(第二表面)照射可见光。另外，片材检查装置1作为测定系统，具有配置在被检查物2的正面侧的第一拍摄传感器41与第二拍摄传感器42。第一拍摄传感器41是反射光测定系统，构成为对从第一光源31照射并由被检查物2扩散反射的光进行拍摄，第二拍摄传感器42是透过光测定系统，构成为对从第二光源32照射并直线透过被检查物2的光进行拍摄。而且，片材检查装置1具有处理装置5，该处理装置5基于第一拍摄传感器41的输出信号与第二拍摄传感器42的输出信号，进行包含于被检查物2的异常部位的检测与异常的种类判别。

被检查物2是片状物品，通过制造装置或加工装置向图1的箭头方向输送。就被检查物2而言，能够例示出纸、薄膜、树脂、纤维素等。另外，被检查物2也可以是在充电电池中使用的隔离层、在液晶中使用的光学片等。此外，在本实施例中，虽固定了照明系统以及测定系统而使被检查物2移动，但取而代之，也可以固定被检查物2而使照明系统以及测定系统移动。

片材检查装置1具有如下功能：使用由第一拍摄传感器41所得的被检查物2的第一图像与由第二拍摄传感器42所得的被检查物2的第二图像，来检测被检查物2上的异常部位，并且对在检测出的异常部位产生的异常的种类进行判别并输出判别结果。在本实施例中，将具有透明或半透明的底色的树脂薄膜片材作为被检查物2，来检测以及判别被检查物2的“正面异物”与“背面异物”的两个种类的异常。正面异物(第一表面异物)是异物附着或混入薄膜的正面(第一表面)的异常，背面异物(第二表面异物)是异物附着或混入薄膜的背面(第二表面)的异常。

在照明系统中，能够使用LED等的限制波长区域的光源，或者，能够使用以滤波片来限制波长区域的光源。在第一光源31与第二光源32中可以使用相同波长的光，也可以使用不同波长的光。在本实施例中，在第一光源31与第二光源32中使用相同种类的白色光源。

在测定系统中，能够使用例如串联配置有4096个受光元件的CCD图像传感器。为了能够拍摄被检查物2的整个宽度，可以在被检查物2的宽度方向上并列地配置有多个CCD图像传感器来匹配被检查物2的宽度。在各个受光元件中，根据受光量将光转换为电荷。从各受光元件输出的电荷作为输出信号(拍摄数据)输入至处理装置5。作为第一拍摄传感器41以及第二拍摄传感器42，可以使用彩色摄像头(R、G、B的三色传感器)，也可以使用黑白摄像头(单色传感器)。在本实施例中使用黑白摄像头。另外，在本实施例中，第一拍摄传感器41与第二拍摄传感器42在输送方向上错开配置。

处理装置5具有：第一信号处理部51，处理从第一拍摄传感器41输出的拍摄数据(反射光的拍摄数据)；以及第二信号处理部52，处理从第二拍摄传感器42输出的拍摄数据(透过光的拍摄数据)。第一信号处理部51对从第一拍摄传感器41输出的1条线的信号实施白平衡校正处理，并校正每个受光元件的输出水平的偏差。同样地，第二信号处理部52对从第二拍摄传感器42输出的1条线的信号实施白平衡校正处理。然后，将从第一信号处理部51、第二信号处理部52分别输出的白平衡校正后的值记入为输出像素值I_反 _射、I_透过，将由输出像素值I_反射组成的被检查物2的图像称为反射光图像(第一图像)，将由输出像素值I_透过组成的被检查物2的图像称为透过光图像(第二图像)。

而且，第一信号处理部51、第二信号处理部52通过将输出像素值I_反射、I_透过标准化，来计算反射光、透过光各自的标准化像素值。在本实施例中，标准化像素值具有0～255的值域，并将被检查物2无异常状态下的输出像素值(通常值)N_反射、N_透过标准化为值域的中间值即128。“无异常状态的输出像素值(通常值)”可以是进行多次拍摄时的输出像素值的平均值。就标准化像素值而言，输出像素值(传感器的受光量)的降低程度越大则标准化像素值变得越小，输出像素值(传感器的受光量)的增加程度越大则标准化像素值变得越大，即，标准化像素值与输出像素值变动的程度有相关关系。并且，在被检查物2上无异常的部分(成为底色)中，标准化像素值是接近128的值。此外，在以后的说明中，在不需要特别区分输出像素值与标准化像素值的情况下，记入为“像素值”或简单地记入为“值”。

图2是表示由各信号处理部51、52所得的标准化像素值的一个例子的图。横轴是像素(受光元件)，纵轴是标准化像素值。在无异常的部分(底色)中，标准化像素值为大约128，但在与异常部位对应的像素中，标准化像素值增加或减少。标准化像素值的变化的方向(增加或减少)及其变化程度对于反射光与透过光都可能不同。此外，即使是底色部分，因被检查物2的正面的凹凸等的影响，也会导致标准化像素值在每个像素上都有若干偏差。

处理装置5具有对位处理部55，该对位处理部55对从第一拍摄传感器41所得到的图像与从第二拍摄传感器42所得到的图像进行对位。其中，由于第一拍摄传感器41与第二拍摄传感器42在被检查物2的输送方向上错开配置，所以由第一拍摄传感器41拍摄的部位到达由第二拍摄传感器42拍摄的位置要花一定的时间。为了比较被检查物2上的相同部位的像素值，对位处理部555将从第一拍摄传感器41得到的1条线的图像数据与从第二拍摄传感器42得到的1条线的图像数据进行对位(时间拟合)。

在此，由于被检查物2的输送速度与从第一拍摄传感器41到第二拍摄传感器42的距离是预先设定的，基于这些值，能够计算出由第一拍摄传感器41拍摄到的部位至由第二拍摄传感器42拍摄到的时间延迟。即，通过将数据仅错开该时间延迟的量，能够进行对位。

另外，处理装置5具有：异常检测部56，检测包含于被检查物2的异常部位；检测阈值存储部56A，存储用于异常判断的阈值。在本实施例中，如后述，在第一拍摄传感器41的输出像素值的变化程度大到一定程度的情况下，判断为异常。因此，将应该判断为异常的像素值的变化程度的阈值保持于检测阈值存储部56A。该阈值根据被检查物2的种类和用户设定的检查标准等来决定。

另外，处理装置5具有：判断部57，在检测出异常部位时判别其异常的种类；判断阈值存储部57A，存储用于判别异常的种类的处理的多个阈值。判断部57预先规定从第一拍摄传感器41所得到的反射光图像与从第二拍摄传感器42所得到的透过光图像各自的像素值的变化(增加或减少)的类型和应该区别的异常的种类之间的对应关系，通过判断像素值的变化的方式符合哪种类型，来判别异常的种类。详细的处理后述。

输出部58具有输出与异常部位相关的信息的功能。信息的输出目的地典型地为显示装置，但也可以对印刷装置输出信息，从扬声器输出消息和警报，利用电子邮件等向用户的终端发送消息，对外部的计算机发送信息。图3是输出部58向显示装置输出的结果输出画面的一个例子。在该画面中，示出了检测及判断出异常的种类的信息580(在图3的例子中为“淡浓度的背面异物”)、由第一拍摄传感器41拍摄的异常部位的反射光图像581、由第二拍摄传感器42拍摄的异常部位的透过光图像582、示出通过异常部位的线583中的第一拍摄传感器41以及第二拍摄传感器42各自的输出信号(输出像素值或标准化像素值)的变化的图表584、585等。通过输出与这样的异常部位相关的信息，用户(检查者)能够具体地把握产生的异常的内容，能够有助于判断是否为应该当作不良(缺陷)的异常，或有助于向生产设备的制造条件、运转条件进行反馈等。

在图4中示出了异常的种类(上层)、异常部位中的光的反射及透过的情况(中层)、异常部位中的反射光图像与透过光图像的标准化像素值的降低程度(下层)之间的对应关系。此外，在图4中，“降低程度”意味着标准化像素值相对于通常值的降低量(从通常值(128)减去标准化像素值的值)。这样的对应关系能够通过对每个异常的种类实施实验来求得。由于标准化像素值的变化方法、分类方式、可能产生的异常的种类等根据被检查物2的材料和物质性等发生变化，所以也可以对每一个假象的被检查物预先准备图4那样的对应关系，并作为查询或判断逻辑而安装于处理装置5的程序中。

图4从左依次示出，浓度浓的异物20附着或混入被检查物2的正面的异常(正面异物(浓))、浓度淡的异物21附着或混入被检查物2的正面的异常(正面异物(淡))、浓度浓的异物22附着或混入被检查物2的背面的异常(背面异物(浓))、浓度淡的异物23附着或混入被检查物2的背面的异常(背面异物(淡))。在任一情况下，反射光的值与透过光的值都比通常值低，但因异常的种类，反射光与透过光的降低程度不同。

具体而言，就反射光的值的降低程度而言，在正面异物(浓)的情况下最大，在背面异物(淡)的情况下最小，在正面异物(淡)以及背面异物(浓)的情况下处于中间。另一方面，透过光的值的降低程度由异物的浓度决定，并不取决于异物处于正面或背面。因此，在正面异物(浓)以及背面异物(浓)的情况下，透过光的值的降低程度相对地变大，在正面异物(淡)以及背面异物(淡)的情况下，透过光的值的降低程度相对地变小。

图4的下层示出的TH1～TH3是用于判别4个种类的异常的判断阈值的例子。阈值TH1是判别异物的浓/淡的阈值，设定在浓的异物的情况的透过光的降低程度与淡的异物的情况的透过光的降低程度之间。阈值TH2是在浓的异物的情况下判别正面/背面的阈值，设定在正面异物(浓)的情况的反射光的降低程度与背面异物(浓)的情况的反射光的降低程度之间。阈值TH3是在淡的异物的情况下判别正面/背面的阈值，设定在正面异物(淡)的情况的反射光的降低程度与背面异物(淡)的情况的反射光的降低程度之间。这些阈值TH1～TH3由实验等决定，且预先登录于判断阈值存储部57A。

如上所述，通过预先明确反射光与透过光的各自的值的变化的类型与异常的种类之间的对应关系，能够容易地且高精度地进行异常的种类的判别。在本实施例中，使用由通常值将输出像素值标准化所得到的标准化像素值，来评估反射光以及透过光的值的变化程度。由此，能够消除因光源的光量的变动、每个异常部位的透过率、反射率、吸收率的差异、被检查物的透过率、反射率、吸收率的差异等所引起的偏差。因此，能够难以受到噪声的影响、异常或被检查物的偏差的影响，从而能够使异常部位的检测以及异常的种类判别的精度稳定。

接着，参照图5来说明片材检查装置1的处理的流程。图5是由处理装置5执行的处理的流程图。

在步骤S101中，在分别点亮第一光源31与第二光源32的状态下，由第一拍摄传感器41以及第二拍摄传感器42进行被检查物2的拍摄，并将其输出信号取入至处理装置5。

在步骤S102中，对从第一拍摄传感器41输出的信号、从第二拍摄传感器42输出的信号实施白平衡校正处理，并生成输出像素值I_反射、I_透过。另外，各信号处理部51、52根据输出像素值I_反射、I_透过生成反射光的标准化像素值与透过光的标准化像素值。输出像素值以及标准化像素值的数据输出至对位处理部55。

在步骤S103中，对位处理部55基于被检查物2的输送速度、第一拍摄传感器41与第二拍摄传感器42的距离，来进行反射光的数据与透过光的数据的对位。

在步骤S104中，由异常检测部56进行异常的检测。例如，异常检测部56在透过光的标准化像素值的图像中检测由比128×0.9小的像素组成的区域(像素群)，并在该区域的面积超过规定值的情况下，判断该区域为“异常部位”。此外，在本实施例中，将是否异常的检测阈值设定为通常值(128)的-10％的值，但这只不过是个例子，也可以根据被检查物和拍摄传感器的特性等适当地设定阈值。检测阈值的值预先登录于检测阈值存储部56A。

在步骤S105中，判断在步骤S104中是否检测到异常部位。在步骤S105中作出肯定判断的情况下，则进入步骤S106。另一方面，在步骤S105中作出否定判断的情况下，则作为没有异常并结束该过程。

在步骤S106中，由判断部57来判别异常的种类。

在图6中示出了异常的种类判别的详细流程。首先，在步骤S201中，判断部57将检测到的异常部位中的透过光的降低程度与阈值TH1进行比较，来判别异物的浓/淡。在此，将从通常值(128)减去标准化像素值的值(降低量)作为“降低程度”使用。在透过光的降低程度>TH1的情况下，判断部57判断为浓的异物，并读取作为正面背面的判断阈值的阈值TH2。另一方面，在透过光的降低程度≤TH1的情况下，判断部57判断为淡的异物，并读取作为正面背面的判断阈值的阈值TH3。即，判断部57根据透过光的降低程度在正面背面的判断中使用不同的判断阈值。具体而言，在透过光的降低程度比阈值TH1大的情况下，使用比不是上述情况的判断阈值TH3大的判断阈值TH2。

并且，判断部57将反射光的降低程度与判断阈值(TH2或TH3)进行比较(步骤S202或S203)，在反射光的降低程度比判断阈值(TH2或TH3)大的情况下，判断为正面异物(步骤S204或S206)，在除上述以外的情况下，判断为背面异物(步骤S205或S207)。

若通过以上的判断逻辑来确定异常的种类，则进入图5的步骤S107的处理。在步骤S107中，输出部58输出与异常部位有关的信息(参照图3)。

根据上述的本实施例的结构，能够检测片状的被检查物2的异常，并且能够详细地判别检测出的异常的种类。特别地，只由以往的反射光能够检测难以检测的背面异物，而且，能够进行正面异物与背面异物的判别。由此，由于能够严加区别是可能影响产品的品质的异常，还是可以不当作不良(缺陷)的异常，因此，能够抑制所谓的检查过度(过检测)，提高产品的成品率，从而能够应用于缺陷产生倾向的分析等工程改善。

此外，在图6的步骤S201～S203中，求得通常值与标准化像素值的差即降低程度，并将该降低程度与判断阈值进行比较，但判断“像素值的相对于通常值的降低程度是否比阈值大”的具体方法，并不限定于此。例如，在本实施例中，为了预先决定通常值(128)，若以如下方式：

TH1’＝128-TH1

来定义判断阈值TH1’，则在步骤S201中的判断处理：透过光的降低程度(＝128-透过光的标准化像素值)>TH1和下面的判断处理：透过光的标准化像素值≤TH1’(＝128-TH1)是等价的。因此，作为判断阈值预先准备TH1’、TH2’(＝128-TH2)、TH3’(＝128-TH3)，也可以将图6的步骤S201～S203的判断处理置换为图14的步骤S201’～S203’的判断处理。若为图14的判断处理，则可以不明确地计算降低程度的值，因此，处理变得简单。

<第二实施例>

接着，说明关于第二实施例的片材检查装置。第二实施例具有如下特征：通过向第一实施例的结构添加使用红外光的反射光测定系统，能够判别正面异物是金属还是非金属。

图7是第二实施例的片材检查装置1的框图。该片材检查装置1除了第一实施例的结构(参照图1)，还具有向被检查物2的正面(第一表面)照射红外光的第三光源33以及配置在被检查物2的正面(第一表面)的第三拍摄传感器43。第三拍摄传感器43是对红外光的波长具有灵敏度的图像传感器，构成为对从第三光源33照射并由被检查物2扩散反射的红外光进行拍摄。

片材检查装置1使用由第一拍摄传感器41所得的被检查物2的第一图像、由第二拍摄传感器42所得的被检查物2的第二图像、由第三拍摄传感器43所得的被检查物2的第三图像，来检查被检查物2上的异常部位，并且判别在检测出的异常部位产生的异常的种类并输出其结果。

在本实施例中，将在充电电池的隔离层等中使用的由烯烃类树脂组成的多孔质地薄膜作为被检查物2，来判别与第一实施例相同的“正面异物”与“背面异物”，并且在“正面异物”的情况下，进行该异物是“金属”还是“非金属”的判别。在片状物品的制造/加工工程中，存在从制造装置或输送装置中产生或剥离出来的金属粉混入或附着在片状物品上的情况。这样的金属缺陷会产生电器的短路，因此，对于充电电池的隔离层这样的片状物品来讲，是不可忽视的重大缺陷。

其中，在第一光源31中使用可见光。作为可见光可以使用白色光，也可以使用固定波长(色)的光，但在可见光区域中优选使用长波长的光(例如红色光)。另外，在第三光源33中也可以使用近红外光。本实施例的片材检查装置1进行第一光源31的光(可见光)的反射光的降低程度与第三光源33的光(红外光)的反射光的降低程度是否大致相同和是金属还是非金属的判别，可见光与红外光的波长越接近，能够判别的金属的种类越增多，并且也提高其判别精度。此外，在片状物品的制造/加工工程中，存在附着和混入的可能性的金属的种类限定为某种程度(例如，铁、氧化铁、不锈钢、铝、钢等)，若是这些金属，则可知相对于红色光的反射特性与相对于近红外光的反射特性大致相等。

本实施例的处理装置5除了第一实施例的结构(参照图1)，还具有处理从第三拍摄传感器43输出的拍摄数据(红外光的拍摄数据)的第三信号处理部53。第三信号处理部53对红外光的拍摄数据实施白平衡校正处理，并输出输出像素值I_IR。将由输出像素值I_IR组成的被检查物2的图像称为红外光图像(第三图像)。另外，第三信号处理部53通过将输出像素值I_IR除以该通常值N_IR，来输出标准化像素值。

图8A与图8B分别示意地示出了正面异物为“非金属”的情况与“金属”的情况下的反射可见光的标准化像素值与反射红外光的标准化像素值的变化。如图8A所示，在非金属的异物(脏污)附着在片材上的情况下，由于该脏污吸收可见光，所以反射可见光的值与通常值相比明显地变小。另一方面，由于红外光的吸收较小，所以反射红外光的值的降低程度与反射可见光的值的降低程度相比明显地变小。另一方面，在金属附着在片材上的情况下，如图8B所示，由于相对于金属的可见光与不可见光的反射率大致相同，所以反射可见光的值的降低程度与反射红外光的值的降低程度大致相等。这样，就附着或混入在片材正面上的异物是金属还是非金属而言，在反射可见光与反射红外光的值的降低程度上会出现差别，基于这些能够进行是金属还是非金属的判别。

在图9中示出了本实施例的异常的种类判别的流程。从步骤S201至S207的处理与第一实施例的处理(参照图6)相同。在本实施例中，在步骤S204或S206判断为“正面异物”后，判断部57从判断阈值存储部57A读取阈值TH4来作为金属/非金属的判断阈值。阈值TH4设定为比非金属附着或混入的情况的反射可见光与反射红外光的降低程度之差的最小值(例如，能够由实验统计地求得)小且比0大的值。

在步骤S208中，判断部57计算反射红外光与反射可见光的降低程度之差的绝对值，在该值比阈值TH4小的情况(即反射红外光与反射可见光的相对于通常值的降低程度大致相同的情况)下，判断为“金属”(步骤S209)，在其它的情况下，判断为“非金属”(步骤S210)。

根据上面所述的本实施例的结构，不仅能够判别正面异物与背面异物，还能够判别正面异物是金属还是非金属。由此，能够严加区别能够成为重大缺陷的金属缺陷及其以外的异常，能够抑制所谓的检查过度(过检测)，从而能够提高产品的成品率。此外，在本实施例的方法中，虽不能判别背面异物是金属还是非金属，但就判断为背面异物而言，能够判断为“存在是金属缺陷的可能性”，因此，能够进行传送至目测检查等的适当的处理。

在本实施例中，也可以将图9的步骤S201～S203的判断处理置换为图14的步骤S201’～S203的判断处理。另外，在步骤S208的判断处理中，也可以使用“反射红外光与反射可见光的标准化像素值之差的绝对值”来代替“反射红外光与反射可见光的降低程度之差的绝对值”。

<第三实施例>

图10A示出了第三实施例的片材检查装置1的照明系统以及测定系统的结构。在第三实施例中，用1台拍摄装置4拍摄第一光源31的反射可见光、第二光源32的透过可见光、第三光源33的反射红外光。作为拍摄装置4，如图10B所示，第一拍摄传感器41、第二拍摄传感器42、第三拍摄传感器43的3个线传感器使用在输送方向上错开配置的3线摄像头。

在该结构中，在将拍摄装置4配置在被检查物2的正面侧(第一表面侧)的情况下，第一光源31与第三光源33配置在与拍摄装置4相同的正面侧，第二光源32以隔着被检查物2与拍摄装置4相对的方式配置在背面侧(第二表面侧)。此时，以第一光源31的光、第二光源32的光、第三光源33的光包括相互不同的波长的光的方式，设定各光源的波长区域，并且以各拍摄传感器41、42、43只选择性地接收所对应的光源31、32、33的波长的方式，设定各拍摄传感器41、42、43的受光波长范围。由此，能够由1台拍摄装置4拍摄反射可见光、透过可见光、反射红外光，从而能够实现片材检查装置1的小型化。

此外，作为第二光源32的光(透过光)，也可以使用短波长的光例如蓝色光。由于短波长的光的能量大，所以被检查物2的透过性高，从而能够提高正面背面判断的精度。另一方面，作为第一光源31的光(反射光)，可以使用至少包括长波长的光，例如红色光。如上所述，通过使用长波长的光(波长接近红外光的波长的光)，能够实现金属/非金属的判断精度的提高，并且能够判断的金属的种类增加。

<第四实施例>

在图10C中示出了第四实施例的片材检查装置1所用的拍摄装置4的结构。照明系统以及测定系统的配置与第三实施例(参照图10A)相同，但不同点在于，在第三实施例中使用了3线摄像头，而在第四实施例中使用3板式摄像头。即，如图10C所示，本实施例的拍摄装置4使用分割光路的分光元件40，将来自被检查物2的入射光分光为反射可见光、透过可见光、反射红外光，并将分别的光引导至对应的拍摄传感器41、42、43。

根据该方法能够将拍摄装置4设置为1台，因此，能够实现片材检查装置1的小型化。而且，由于拍摄传感器41、42、43能够对从被检查物2的相同位置入射的光进行拍摄，所以不需要数据间的对位(时间拟合)。因此，能够省略对位处理而实现处理的简略化，并且由于不会受到对位精度的影响，从而具有能够提高异常检测的精度的优点。此外，在图10C中举例说明了3板式摄像头，但若是至少具有接收3个波长(反射可见光、透过可见光、反射红外光)的元件(拍摄传感器)的拍摄装置，则优选适用于本实施例。例如，也可以使用4板式摄像头或5板式摄像头等。

此外，在本实施例的情况下，作为第二光源32的光(透过光)，也可以使用短波长的光，例如蓝色光，作为第一光源31的光(反射光)，也可以使用长波长的光，例如至少包括红色光的光。

<第五实施例>

图11示出了第五实施例的片材检查装置1的照明系统以及测定系统的结构。第五实施例具有如下特征：将第二拍摄传感器42配置在被检查物2的背面侧(第二表面侧)，反射可见光用的第一光源与透过可见光用的第二光源由1个共同光源35构成，将第四光源34配置在被检查物2的背面侧，并且能够判别针孔缺陷。

如图11所示，在本实施例中，拍摄装置4配置在被检查物2的正面侧(第一表面侧)，并且共同光源35与第三光源33配置为向被检查物2的正面侧照射光。另外，第四光源34配置为隔着被检查物2与拍摄装置4相对。即，共同光源35的反射可见光、第三光源33的反射红外光、第四光源34的直线透过光入射至拍摄装置4。

在共同光源35与第四光源34中，也可以使用具有包括多个颜色分量的相同波长区域(相同光谱分布)的光源。例如，能够使用白色光源。其中，第四光源34的光用于被检查物2的针孔缺陷的判别，因此，即使在第四光源34的光通过被检查物2的针孔直接入射至拍摄装置4的情况下，拍摄数据被设定为不会产生饱和的程度的弱的光量。另一方面，共同光源35的光被设定为，比第四光源34明显强的光量。

作为拍摄装置4，能够使用具有R、G、B中的2色+红外光的3个图像传感器的3板式摄像头。在本实施例中，说明了使用R、B、红外光的3个图像传感器的例子。此时，R与B的2个图像传感器符合第一拍摄传感器41，红外光的图像传感器符合第三拍摄传感器43。

而且，第二拍摄传感器42以隔着被检查物2与共同光源35相对的方式配置在背面侧(第二表面侧)。在本实施例中，共同光源35兼作为透过光用的第二光源，由共同光源35与第二拍摄传感器42的组合构成透过光测定系统。作为第二拍摄传感器42，能够使用例如黑白摄像头。此外，在本实施例中，使用了反射可见光用的第一光源来作为共同光源35，但也能够使用第三光源33来作为共同光源。在该情况下，也可以将对红外光具有灵敏度的第二拍摄传感器42配置在与第三光源33相对的位置。

在图12中示出了本实施例的异常的种类判别的流程。图12的流程示出了在被检查物2的图像中在检测出异常部位(像素值相对于底色明显地增加或减少的部分)的情况下所执行的处理。此外，对与上述实施例的流程相同的处理部分赋予相同的步骤号码，并省略详细的说明。

首先，在步骤S120中，判断部57判别检测出的异常部位的像素值是增加(明缺陷)还是减少(暗缺陷)。在是明缺陷还是暗缺陷的判别中，能够使用由第一拍摄传感器41所得的第一图像的任一颜色分量的像素值或者综合2个以上的颜色分量的像素值的值。在本实施例的情况下，通过判断例如第一图像的R或B的像素值或者由R与B的值所计算出的亮度值是否比阈值TH0大，来判断是明缺陷还是暗缺陷。阈值TH0使用例如被检查物2的底色的像素值或亮度值。

在暗缺陷的情况下，进入正面背面判断以及金属/非金属判断的过程(在步骤S120为YES(是))。由于正面背面判断以及金属/非金属判断的流程与上述的实施例相同，所以省略说明。

另一方面，在明缺陷的情况下，进入针孔缺陷/异常A/异常B的判别过程(在步骤S120为No(否))。首先，判断部57判断由第三拍摄传感器43所得的反射红外光的标准化像素值是否在阈值TH5以上(步骤S121)。TH5可以设定为与例如通常值(底色的值)即128相同的程度。在反射红外光的标准化像素值在TH5以上的情况下，判断为“异常B”(步骤SS122)。在反射红外光的标准化像素值比TH5小的情况下，判断部57判断由第一拍摄传感器41所得的R的标准化像素值与B的标准化像素值之差的绝对值是否在阈值TH6以上。这属于对由第一拍摄传感器41所得的第一图像的颜色分量(R、B)的平衡是否与从第四光源34照射的光中的颜色分量(R、B)的平衡大致相同进行评估的处理。在两者的色彩平衡大致相同的情况下(在步骤S123中为No)，当作从第四光源34照射的光直接入射至第一拍摄传感器41，并判断为“针孔缺陷”(步骤S124)。在色彩平衡不同的情况下(在步骤S123中为YES)，判断为“异常A”(步骤S125)。此外，色彩平衡的评估方法也可以使用本实施例所述的方法以外的方法。例如，也可以从R、B的像素值计算该像素的饱和度，在饱和度比阈值小的情况下(即，在接近无彩色的情况下)，判断为色彩平衡与通常状态的平衡大致相同。

“异常A”是在加工多孔质地薄膜时产生的斑纹(多孔质地变粗糙的部分)或者附着、浸透有油的状态。在该情况下，斑纹或者附着、浸透有油的部分变为稍微带有颜色的透明的斑点。于是，共同光源35的光与第三光源33的光大部分通过斑点透过至背面侧。另一方面，第四光源34的光通过斑点透过至正面侧，由第一拍摄传感器41受光。但是，与针孔缺陷不同，由于在通过斑点时一部分的波长的光被吸收而衰减，所以透过光的色彩平衡被打破。因此，通过评估色彩平衡，能够判别针孔缺陷与异常A。

“异常B”是在加工多孔质地薄膜时产生的斑纹(多孔质地变致密的部分)，是与正常状态的薄膜相比光的反射率增大的状态。在该情况下，由于在产生斑纹的斑点上，共同光源35的光与第三光源33的光一起被反射，所以R、B、红外光中的任一个的值与通常值相比都明显地增加。此外，第四光源34的光大部分无法透过被检查物2而没有被第一拍摄传感器41受光。

根据上面所述的本实施例的结构，不仅能够判别正面异物与背面异物，还能够判别正面异物是金属还是非金属。而且，也能够判别异常A、异常B、针孔缺陷。由此，能够严加区别可能在充电电池的隔离层等中成为重大缺陷的金属缺陷以及针孔缺陷及其以外的异常，能够抑制所谓的检查过度(过检测)，从而能够提高产品的成品率。

在本实施例中，也可以将图12的步骤S201～S203的判断处理置换为图14的步骤S201’～S203’的判断处理。另外，在步骤S208的判断处理中，也可以使用“反射红外光与反射可见光的标准化像素值之差的绝对值”来代替“反射红外光与反射可见光的降低程度之差的绝对值”。

<第六实施例>

图13示出了第六实施例的片材检查装置1的照明系统以及测定系统的结构。第六实施例具有如下特征：通过使用4板式摄像头来将拍摄装置4设置为1台和由1个共同光源36构成透过可见光用的第二光源与针孔判别用的第四光源。

如图13所示，在本实施例中，拍摄装置4配置在被检查物2的正面侧(第一表面侧)，第一光源31与第三光源33配置为向被检查物2的正面侧照射光。另外，以隔着被检查物2与拍摄装置4相对的方式，配置有兼作为第二光源与第四光源的共同光源36。该共同光源36是能够单独地调整蓝色光与白色光各自的光量的光源，并且向被检查物2的背面照射将弱的白色光叠加于强的蓝色光的光。此时，从共同光源36照射的光中的蓝色光的分量相当于第二光源的光，其它的波长分量(红色光以及绿色光)相当于第四光源的光。

作为拍摄装置4，能够使用具有R、G、B中的3色+红外光的4个图像传感器的4板式摄像头。此时，R与G的2个图像传感器符合第一拍摄传感器41，B的图像传感器符合第二拍摄传感器42，红外光的图像传感器符合第三拍摄传感器43。

根据该结构，由于能够获得反射可见光的图像、反射红外光的图像、透过可见光的图像，所以与上述的实施例相同，能够进行正面背面判断、金属/非金属判断。另外，作为反射可见光的图像，能够获得具有R与G的多个色的图像，因此，在明缺陷的情况下，通过评估红外光的像素值、R与G的色彩平衡，与第五实施例相同，能够进行异常A/异常B/针孔缺陷的判断。本实施例的结构具有如下优点：能够以更小的装置实现与第五实施例相同的异常判断功能。

<其它>

上述实施例只不过是对本发明进行例示地说明，本发明并不仅限定于上述的具体的方式。本发明可以在其技术思想的范围内进行各种变形。例如，在上述实施例中例举了颜色分量(波长)的一个例子，若能够判别异常，则也可以使用其它的波长的光。另外，在上述实施例中，首先实施异常部位的检测处理，再只对检测出的异常部位适用异常的种类判别处理，但也可以对图像整体适用异常的种类判别处理。例如，在并行执行异常部位的检测处理与异常的种类判别处理后，也能够合并两个处理的结果来得到与上述实施例相同的效果。

Claims

1.一种片材检查装置，用于检查片状的被检查物，其特征在于，

具有：

第一拍摄传感器，对从第一光源照射并在被检查物的第一表面反射的光进行拍摄，

第二拍摄传感器，对从第二光源照射并透过所述被检查物的光进行拍摄，

处理部，使用由所述第一拍摄传感器所得的所述被检查物的第一图像与由所述第二拍摄传感器所得的所述被检查物的第二图像，检测所述被检查物上的异常部位，并且判别在检测出的所述异常部位产生的异常的种类，以及

输出部，输出至少包括示出由所述处理部判别出的异常的种类的信息在内的与异常部位相关的信息；

在所述异常部位中，在所述第一图像的像素值以及所述第二图像的像素值与在所述被检查物上无异常时的通常值相比而降低的情况下，所述处理部基于所述第一图像的像素值的相对于所述通常值的降低程度与所述第二图像的像素值的相对于所述通常值的降低程度，来判别在所述异常部位产生的异常是异物附着或混入所述被检查物的第一表面侧的第一表面异物，还是异物附着或混入与所述第一表面相反一侧的第二表面侧的第二表面异物。

2.如权利要求1所述的片材检查装置，其特征在于，

所述处理部在所述第一图像的像素值的相对于所述通常值的降低程度比阈值大的情况下，判断为第一表面异物，在上述以外的情况下，判断为第二表面异物，

所述处理部根据所述第二图像的像素值的相对于所述通常值的降低程度，使用不同的所述阈值。

3.如权利要求2所述的片材检查装置，其特征在于，

该片材检查装置还具有第三拍摄传感器，该第三拍摄传感器对从第三光源照射并由所述被检查物反射的光进行拍摄，

所述第三拍摄传感器配置在所述被检查物的第一表面侧，

从所述第一光源照射的光是可见光，

从所述第三光源照射的光是红外光，

在所述异常部位产生的异常为第一表面异物的情况下，所述处理部使用由所述第三拍摄传感器所得的所述被检查物的第三图像，来判断该第一表面异物是金属还是非金属。

4.如权利要求3所述的片材检查装置，其特征在于，

在所述第一图像的像素值的相对于通常值的降低程度与所述第三图像的像素值的相对于通常值的降低程度大致相同的情况下，所述处理部判断为所述第一表面异物是金属。

5.如权利要求3或4所述的片材检查装置，其特征在于，

该片材检查装置还具有第四光源，该第四光源隔着所述被检查物从所述第一拍摄传感器的相反一侧照射光，

从所述第一光源照射的光与从所述第四光源照射的光是具有包括多个颜色分量的相同的光谱分布的光，

所述第一图像的像素具有多个颜色分量中的每一个颜色分量的像素值，

在所述异常部位中，在所述第一图像的任一颜色分量的像素值或者综合两个以上的颜色分量的像素值的值比通常值大的情况下，所述处理部基于所述异常部位中的所述第一图像的颜色分量的平衡，判断在所述异常部位产生的异常是否为针孔缺陷。

6.如权利要求5所述的片材检查装置，其特征在于，

在所述异常部位中的所述第一图像的颜色分量的平衡与从所述第四光源照射的光中的颜色分量的平衡大致相同的情况下，所述处理部判断为在所述异常部位产生的异常是针孔缺陷。

7.如权利要求3或4所述的片材检查装置，其特征在于，

在一个拍摄装置内设置有：所述第一拍摄传感器，构成为接收所述第一光源的光；所述第二拍摄传感器，构成为接收所述第二光源的光；以及所述第三拍摄传感器，构成为接收所述第三光源的光。

8.如权利要求7所述的片材检查装置，其特征在于，

所述拍摄装置具有分光元件，该分光元件对一条光路进行分割，并将光分别引导至所述第一拍摄传感器、所述第二拍摄传感器以及所述第三拍摄传感器。

9.如权利要求7或8所述的片材检查装置，其特征在于，

所述拍摄装置配置在所述被检查物的第一表面侧，

所述第一光源以及所述第三光源配置为向所述被检查物的第一表面侧照射光，

所述第二光源配置为隔着所述被检查物与所述拍摄装置相对。

10.如权利要求5或6所述的片材检查装置，其特征在于，

在一个拍摄装置内设置有：所述第一拍摄传感器，构成为接收所述第一光源的光以及所述第四光源的光，以及所述第三拍摄传感器，构成为接收所述第三光源的光；

所述拍摄装置配置在所述被检查物的第一表面侧，

所述第四光源配置为隔着所述被检查物与所述拍摄装置相对，

所述第一光源兼作为所述第二光源，

所述第二拍摄传感器配置为隔着所述被检查物与所述第一光源相对。

11.如权利要求5或6所述的片材检查装置，其特征在于，

所述拍摄装置配置在所述被检查物的第一表面侧，

所述第三光源兼作为所述第二光源，

所述第二拍摄传感器配置为隔着所述被检查物与所述第三光源相对。

12.如权利要求5或6所述的片材检查装置，其特征在于，

在一个拍摄装置内设置有：所述第一拍摄传感器，构成为接收所述第一光源的光以及所述第四光源的光，所述第二拍摄传感器，构成为接收所述第二光源的光，以及所述第三拍摄传感器，构成为接收所述第三光源的光；

所述拍摄装置配置在所述被检查物的第一表面侧，

兼作为所述第二光源与所述第四光源的共同光源配置为隔着所述被检查物与所述拍摄装置相对。

13.如权利要求1～12中任一项所述的片材检查装置，其特征在于，

从所述第二光源照射的光包括蓝色波长的光。

14.如权利要求1～13中任一项所述的片材检查装置，其特征在于，

从所述第一光源照射的光包括红色波长的光。