CN107894430A - 片材检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够检测片状被检查物中所含异常部位和判别异常种类的技术的片材检查装置。该片材检查装置具有：光源，对被检查物的第1面照射光；摄像传感器，被配置成，能够通过从光源照射并透射过被检查物的光来拍摄所述被检查物；处理部，基于由所述摄像传感器所获得的被检查物的图像，检测所述被检查物中所含的异常部位，并且判别在检测出的异常部位所产生的异常种类；以及输出部，输出与异常部位相关的信息，所述信息至少包含表示由处理部所判别的异常种类的信息，所述光源的光量和/或所述摄像传感器的增益经调整为，在未配置被检查物的状态下从光源直接入射至摄像传感器的光的亮度达到与摄像传感器的可计测范围的上限相同或实质上相同。

Description

片材检查装置

技术领域

本发明涉及一种片材检查装置，尤其涉及一种对片(sheet)状的被检查物的异常部位进行检测的技术。

背景技术

在用于制造或加工片状物品的生产线上，利用如下所述的检查装置，其使用通过将可见光或紫外光照射至片材并利用摄像机(camera)拍摄其透射光或反射光而获得的图像，来对片材上的异常部位(异物混入、污渍、褶皱等)进行检测(例如参照专利文献1)。

以往的检查装置中，虽能进行片材上的异常部位的检测，但无法细微地判别所检测到的是何种异常。因此，以往，对于检测到异常部位的片材，不得不采取下述处理，即：予以丢弃，或者作为降级品，或者转为通过目测来进行详细检查。但是，实际上，片材中可能产生的异常存在各种各样，根据制品的种类、用途、材质等，也有的也可以不视为不良(缺陷)。

例如，对于锂离子(lithium ion)二次电池的隔膜(separator)，一般使用微多孔性聚烯烃薄膜(polyolefine film)，但隔膜自身是人眼触及不到的，所以即使存在少许污渍等，只要在功能性方面不造成问题，就无须视为不良品。另一方面，金属的混入或附着或者针孔(pin hole)(孔)存在短路之虞，因此可以说是绝对不能放过的种类的异常。相反，如果是纸材，则可允许小的针孔，但也存在要将对外观有影响的污渍或褶皱检测为不良的情况(case)。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2010-8174号公报(日本专利第4950951号公报)

发明内容

[发明所要解决的问题]

本发明是有鉴于所述实际情况而完成，其目的在于提供一种能够检测片状被检查物中所含的异常部位和判别异常种类的技术。

[解决问题的技术手段]

本发明的第一形态是一种片材检查装置，对片状的被检查物进行检查，所述片材检查装置的特征在于包括：光源，对被检查物的第1面照射光；摄像传感器(sensor)，被配置成，能够通过从所述光源照射并透射过所述被检查物的光来拍摄所述被检查物；处理部，基于由所述摄像传感器所获得的所述被检查物的图像，检测所述被检查物中所含的异常部位，并且判别在所述检测出的异常部位所产生的异常种类；以及输出部，输出与异常部位相关的信息，所述信息至少包含表示由所述处理部所判别的异常种类的信息，所述光源的光量和/或所述摄像传感器的增益经调整为，在未配置所述被检查物的状态下从所述光源直接入射至所述摄像传感器的光的亮度达到与所述摄像传感器的可计测范围的上限相同或实质上相同。

此处，所谓实质上相同，例如是指±10％以内，优选的是±5％以内。另外，由光源所照射的光未必需要包含可见光区域的波长，也可为不可见光。

若被检查物上存在某些异常，则在所述异常部位，与其他部位(即无异常的部位)相比，光的吸收率、反射率、透射率等特性可能有所变化。并且，所述变化方式依存于光的波长及异常的种类。因此，在通过透射过被检查物的光来拍摄被检查物的情况下，若在拍摄到的图像中存在比其他部分明亮的部分(透射率高的部分)、或者比其他部分昏暗的部分(透射率低的部分)，便能够检测到异常。进而，只要能够细微地识别所述异常部分的亮度的差异，则也能够进行异常种类的判别。

但是，若相对于摄像传感器的灵敏度而所照射的光过强或过弱，则照射光的透射率差异就无法反映到所拍摄的图像中，从而无法进行异常的有无检测和/或其种类判别。

关于此点，根据本发明的结构，相对于摄像传感器的灵敏度，所照射的光不会过强或过弱，因此能够基于反映出了透射率的细微差异的图像来进行异常的检测及其种类的判别。

对于在产生了异常的情况下，所拍摄的图像的亮度值相对于被检查物无异常的状态即通常状态而如何增加或减少，可针对每个异常种类而预先类型化。因此，例如，所述处理部通过判断所述被检查物上的特定位置相对于通常状态的变化属于哪种类型，便能够判别在所述位置产生的异常种类。另外，图像的亮度值的变化(增加或减少)类型与异常种类的对应既可以查找表(look-up table)来定义，也可作为程序(program)内的判定逻辑(logic)而安装。

另外，所述处理部可在与所述被检查物上的任意选择的注视位置对应的所述被检查物的图像的亮度比所述被检查物无异常的状态(即通常状态时)大的情况下，将所述注视位置检测为异常部位，在所述异常部位的亮度比规定阈值大的情况下，将在所述异常部位产生的异常种类判别为针孔缺陷，在所述异常部位的亮度比规定阈值小的情况下，将在所述异常部位产生的异常种类判别为针孔缺陷以外的明缺陷。

此处，所谓明缺陷，例如是指被检查物中有孔的针孔缺陷、有油分附着而浸透的状态、被检查物被水分润湿而浸透的状态等液体污渍、被检查物有瑕疵的状态、作为被检查物的片材质地的纹理变粗的状态等。

通过所述结构及判定条件，能够精度良好地判别针孔缺陷及其以外的明缺陷。所述功能在如二次电池的隔膜那样，针孔为重大缺陷之一的制品的情况下尤其有用。

另外，所述光源所照射的光也可为短波长的光。而且，所述摄像传感器也可仅接收短波长的光。一般而言，光的波长越短，则透射过透明物质时的折射率越大。因此，在所述被检查物存在例如被油污等浸透的部分的状态下，从所述光源所照射的光的波长越短，则照射光的透射率的减少程度越大。因此，通过此种结构，能够使如针孔缺陷那样透射光几乎不衰减、折射的明缺陷与油污等针孔缺陷以外的明缺陷的判别精度变得更佳。

本发明的第二形态是一种片材检查装置，其对片状的被检查物进行检查，所述片材检查装置的特征在于包括：第1光源，对被检查物的第1面照射第l波长的光；第2光源，对被检查物的第1面照射与所述第1波长不同的第2波长的光；拍摄装置，具备接收所述第1波长的光的第1摄像传感器、及接收所述第2波长的光的第2摄像传感器，且被配置成，能够通过从所述各光源照射并透射过所述被检查物的光来拍摄所述被检查物；处理部，基于由所述第1摄像传感器所获得的所述被检查物的第1图像与由所述第2摄像传感器所获得的所述被检查物的第2图像，来检测所述被检查物中所含的异常部位，并且判别在所述检测出的异常部位所产生的异常种类；以及输出部，输出与异常部位相关的信息，所述信息至少包含表示由所述处理部所判别的异常种类的信息，所述第1光源的光量和/或所述第1摄像传感器的增益经调整为，在未配置所述被检查物的状态下从所述第1光源直接入射至所述第1摄像传感器的光的亮度达到与所述第1摄像传感器的可计测范围的上限相同或实质上相同。

此种结构中，除了由所述第1摄像传感器所获取的所述第1图像以外，还能够基于由所述第2摄像传感器所获取的所述第2图像来进行异常的检测及其种类的判别，因此能够进行精度更高的异常检测及其种类判别。

而且，所述第2光源的光量和/或所述第2摄像传感器的增益也可经调整为，在所述被检查物无异常的情况下，从所述第2光源透射过所述被检查物而入射至所述第2摄像传感器的光的亮度达到与所述第2摄像传感器的可计测范围的中值相同或实质上相同。若为此种结构，由于与异常的有无及其种类所对应的所述第1图像与所述第2图像各自的亮度值的变化方式不同，因此能够基于所述差异来进行异常检测及其种类判别。

而且，所述第1波长也可比所述第2波长短。由此，如前所述，能够精度良好地基于所述第1图像来进行针孔缺陷与液体污渍的判别。

所述处理部可在与所述被检查物上的任意选择的注视位置对应的所述第2图像的亮度比所述被检查物无异常的状态(即通常状态时)小的情况下，将所述注视位置检测为异常部位，且将异常种类判别为暗缺陷，在与所述注视位置对应的所述第1图像和/或第2图像的亮度比所述被检查物无异常的状态(即通常状态时)大的情况下，将所述注视位置检测为异常部位，在与所述异常部位对应的所述第1图像的亮度比规定阈值大的情况下，将异常种类判别为针孔缺陷，在与所述异常部位对应的所述第1图像的亮度比规定阈值小的情况下，将异常种类判别为针孔缺陷以外的明缺陷。

藉此，即使在被检查物的片材相对较厚的情况下，也能够精度良好地检测被检查物上的暗缺陷。

另外，所谓暗缺陷，是指与无异常的状态相比，光的透射率减少的状态，例如是指附着或混入有金属粉、线头等异物的状态；泥污、着色污渍等一般的污渍；作为被检查物的片材的质地变厚的状态等。

本发明的第三形态是一种片材检查装置，其对片状的被检查物进行检查，所述片材检查装置的特征在于包括：第1光源，对所述被检查物的第1面照射第1波长的光；第2光源，对所述被检查物的第1面的相反侧的第2面，照射与所述第1波长为不同的第2波长的可见光；第3光源，对所述被检查物的第2面照射红外光；拍摄装置，具备接收所述第1波长的光的第1摄像传感器、接收所述第2波长的可见光的第2摄像传感器、及接收红外光的第3摄像传感器，且被配置成，能够通过从所述第1光源照射并透射过所述被检查物的透射光、和从所述第2光源及第3光源照射并被所述被检查物反射的反射光来拍摄所述被检查物；处理部，基于由所述第1摄像传感器所获得的所述被检查物的第1图像、由所述第2摄像传感器所获得的所述被检查物的第2图像、及由所述第3摄像传感器所获得的所述被检查物的第3图像，来检测所述被检查物中所含的异常部位，并且判别在所述检测出的异常部位所产生的异常种类；以及输出部，输出与异常部位相关的信息，所述信息至少包含表示由所述处理部所判别的异常种类的信息，所述第1光源的光量和/或所述第1摄像传感器的增益经调整为，在未配置所述被检查物的状态下从所述第1光源直接入射至所述第1摄像传感器的光的亮度达到与所述第1摄像传感器的可计测范围的上限相同或实质上相同。

此种结构中，从被检查物的两侧(两面)来照射光，对它们的透射光或反射光进行拍摄，因此能够精度良好地进行片材两面的异常检测。

而且，所述第2光源及第3光源的光量和/或所述第2摄像传感器及第3摄像传感器的增益也可经调整为，在所述被检查物无异常的情况下，从所述第2及第3各光源被所述被检查物反射而入射至所述第2及第3各摄像传感器的光的亮度达到与所述第2及第3各摄像传感器的可计测范围的中值相同或实质上相同。若为此种结构，则通过以可见光拍摄的所述第2图像与以红外光拍摄的所述第3图像的亮度的相对比较，能够以更高的精度来进行异常检测及其种类判别。

而且，所述第1波长也可比所述第2波长短。进而，所述处理部可在与所述被检查物上的任意选择的注视位置对应的所述第1图像的亮度比所述被检查物无异常的状态(即通常状态时)大的情况下，将所述注视位置检测为异常部位，在与所述异常部位对应的所述第1图像的亮度比规定阈值大的情况下，将异常种类判别为针孔缺陷，在比规定阈值小的情况下，将异常种类判别为针孔以外的明缺陷。如此，能够精度良好地进行明缺陷的检测及种类判别。

而且，所述处理部可在与所述被检查物上的任意选择的注视位置对应的所述第2图像的亮度比所述被检查物无异常的状态(即通常状态时)小的情况下，将所述注视位置检测为异常部位。在与所述异常部位对应的所述第2图像的亮度从通常状态计起的下降程度、和与所述异常部位对应的所述第3图像的亮度从通常状态计起的下降程度相同的情况下，将异常种类判别为金属异物。在与所述异常部位对应的所述第3图像的亮度从通常状态计起的下降程度，比与所述异常部位对应的所述第2图像的亮度从通常状态计起的下降程度小的情况下，将异常种类判别为金属异物以外的暗缺陷。

在被检查物存在异物的情况下能够判别所述异物是否为金属，在如二次电池的隔膜那样，金属的混入或附着成为重大缺陷之一的制品的情况下尤其有用。关于此点，根据如上所述的装置与处理部的判别条件，能够精度良好进行异物检测与所述异物是否为金属异物的判别。

进而，所述第三形态的片材检查装置也可更包括：第4光源，对所述被检查物的第1面照射一可见光，所述可见光的波长比所述第1光源所照射的光长，且波长比所述第2光源所照射的光短，在所述拍摄装置中更包括第4摄像传感器，所述第4摄像传感器接收从所述第4光源照射的波长的光，所述第4光源的光量和/或所述第4摄像传感器的增益经调整为，在所述被检查物无异常的情况下，从所述第4光源透射过所述被检查物而入射至所述第4摄像传感器的光的亮度达到与所述第4摄像传感器的可计测范围的中值相同或实质上相同。

通过此种结构，拍摄四个不同的图像，基于此来进行所述被检查物的异常检测及其种类判别，因此能够精度更好地检测及判别多种多样的异常。

进而，使用第4图像时的所述处理部可在与所述被检查物上的任意选择的注视位置对应的所述第4图像的亮度比所述被检查物无异常的状态(即通常状态时)小的情况下，将所述注视位置检测为异常部位，且将异常种类判别为暗缺陷。如此，即使在被检查物的第1面存在污渍等异常的情况下，也能够精度良好地进行所述异常的检测。

而且，所述第三形态的片材检查装置也可更包括：第4光源，对所述被检查物的第2面照射第4波长的光；第5光源，对所述被检查物的第1面，照射与所述第4波长不同的第5波长的可见光；第6光源，对所述被检查物的第1面照射红外光；以及第2拍摄装置，具备接收所述第4波长的光的第4摄像传感器、接收所述第5波长的可见光的第5摄像传感器、及接收红外光的第6摄像传感器，且被配置成，能够通过从所述第4光源照射并透射过所述被检查物的透射光、和从所述第5光源及第6光源照射并被所述被检查物反射的反射光来拍摄所述被检查物，所述处理部也基于由所述第4摄像传感器所获得的所述被检查物的第4图像、由所述第5摄像传感器所获得的所述被检查物的第5图像、及由所述第6摄像传感器所获得的所述被检查物的第6图像，来检测所述被检查物中所含的异常部位，并且判别在所述检测出的异常部位所产生的异常种类。

通过如上所述的结构，能够一次进行针对作为被检查物的片材两面的异物检测及金属异物判别，因此能够有效地进行可实现更多变种(variation)的异常检测及判别的检查。

进而，所述第4光源的光量和/或所述第4摄像传感器的增益也可经调整为，在所述被检查物无异常的状态下，从所述第4光源透射过所述被检查物而入射至所述第4摄像传感器的光的亮度达到与所述第4摄像传感器的可计测范围的中值相同或实质上相同，所述第5光源及第6光源的光量和/或所述第5摄像传感器及第6摄像传感器的增益经调整为，在所述被检查物无异常的情况下，从所述第5光源及第6光源被所述被检查物反射而入射至所述第5摄像传感器及第6摄像传感器的光的亮度达到与所述第5摄像传感器及第6摄像传感器的可计测范围的中值相同或实质上相同。而且，所述第1波长也可比所述第5波长短，所述第4波长比所述第2波长及第5波长短。

如此，基于所述第4图像，对于所述被检查物的第2面中的明缺陷、暗缺陷的任何异常均能进行检测，通过以可见光拍摄的所述第5图像与以红外光拍摄的所述第6图像的亮度的相对比较，能够以更高的精度来进行所述被检查物的第1面的异常检测及其种类判别。

而且，可在与所述被检查物上的任意选择的注视位置对应的所述第4图像的亮度比所述被检查物无异常的状态(即通常状态时)大的情况下，将所述注视位置检测为异常部位，且将异常种类判别为明缺陷，在比所述被检查物无异常的状态(即通常状态时)小的情况下，将所述注视位置检测为异常部位，且将异常种类判别为暗缺陷。如此，基于所述第4图像，对于被检查物的明缺陷、暗缺陷的任何异常均能够进行检测。

进而，所述处理部可在与所述被检查物上的任意选择的注视位置对应的所述第5图像的亮度比所述被检查物无异常的状态(即通常状态时)小的情况下，将所述注视位置检测为异常部位。在与所述异常部位对应的所述第5图像的亮度从通常状态计起的下降程度、和与所述异常部位对应的所述第6图像的亮度从通常状态计起的下降程度相同的情况下，将异常种类判别为金属异物。在与所述异常部位对应的所述第6图像的亮度从通常状态计起的下降程度，比与所述异常部位对应的所述第5图像的亮度从通常状态计起的下降程度小的情况下，将异常种类判别为金属异物以外的暗缺陷。

借此，能够以更高的精度来进行所述被检查物的第1面中的异物检测与所述异物是否为金属物的判别。

另外，本发明也可作为具有所述结构的至少一部分的片材检查装置而获得，还可作为具有所述处理的至少一部分的片材检查装置的控制方法、片材检查方法或片材的异常种类判别方法而获得。而且，本发明也可作为用于使计算机(computer)执行所述方法的程序、或者非暂时地存储有此种程序的计算机可读取的存储介质而获得。所述结构及处理的各个只要不产生技术上的矛盾，便可彼此组合而构成本发明。

[发明的效果]

根据本发明，能够进行片状的被检查物中所含的异常部位的检测与异常种类的判别。

附图说明

图1是实施例1的片材检查装置的框图。

图2A是表示在未配置有被检查物的状态下，入射至拍摄装置的光的亮度经正确调节时的示例的图，图2B是表示入射至拍摄装置4的光的亮度过小时的示例的图，图2C是表示入射至拍摄装置4的光的亮度过大时的示例的图。

图3是实施例1的片材检查输出部所输出的结果输出画面的一例。

图4A是表示在“针孔缺陷”的情况下所拍摄的图像的亮度值变化的图，图4B是表示在“针孔缺陷以外的明缺陷”的情况下所拍摄的图像的亮度值变化的图。

图5是实施例1的片材检查装置所进行的异常检测及种类判别的流程图。

图6是实施例1的片材检查装置的异常种类判别的详细流程图。

图7是实施例2的片材检查装置的框图。

图8A是表示在配置有无异常的被检查物的状态下，由蓝色图像传感器(imagesensor)所拍摄的图像的亮度值的一例的图，图8B是表示在同样的状态下，由绿色图像传感器所拍摄的图像的亮度值的一例的图。

图9A是表示在实施例2中，在“暗缺陷”的情况下由蓝色图像传感器所拍摄的图像的亮度值的一例的图，图9B是表示在“暗缺陷”的情况下由绿色图像传感器所拍摄的图像的亮度值的一例的图。

图10是实施例2的片材检查装置所进行的异常检测及种类判别的流程图。

图11是实施例2的片材检查装置的异常种类判别的详细流程图。

图12是实施例3的片材检查装置的框图。

图13A是表示在“金属异物”的情况下所拍摄的第1图像的亮度值的一例的图，图13B是表示在“金属异物”的情况下所拍摄的第2图像的亮度值的一例的图，图13C是表示在“金属异物”的情况下所拍摄的第3图像的亮度值的一例的图，图13D是表示在“金属异物”的情况下所拍摄的第4图像的亮度值的一例的图。

图14A是表示在“金属异物”以外的暗缺陷的情况下所拍摄的第1图像的亮度值的一例的图，图14B是表示在“金属异物”以外的暗缺陷的情况下所拍摄的第2图像的亮度值的一例的图，图14C是表示在“金属异物”以外的暗缺陷的情况下所拍摄的第3图像的亮度值的一例的图，图14D是表示在“金属异物”以外的暗缺陷的情况下所拍摄的第4图像的亮度值的一例的图。

图15是实施例3的片材检查装置的异常种类判别的详细流程图。

图16是实施例4的片材检查装置的框图。

图17是实施例4的片材检查装置所进行的异常检测及种类判别的流程图。

图18是实施例4的片材检查装置所进行的异常种类判别的详细流程图。

[符号的说明]

1：片材检查装置

2：被检查物

4：拍摄装置

5：处理装置

7：调整装置

31：蓝色可见光源

32：绿色可见光源

33：红色可见光源

34：红外光源

41：第1拍摄装置

42：第2拍摄装置

50：信号处理部

51：蓝色信号处理部

52：绿色信号处理部

53：红色信号处理部

54：红外线信号处理部

55：对位处理部

56：异常检测部

56A：检测阈值存储部

57：判定部

57A：判定阈值存储部

58：输出部

71：光量调节部

72：增益调节部

301：第1蓝色可见光源

302：第1红色可见光源

303：第1红外光源

304：第2蓝色可见光源

305：第2红色可见光源

306：第2红外光源

501：第1拍摄装置信号处理部

502：第2拍摄装置信号处理部

581：信息

582：图像

583：线

584：图表

S101～S106、S111～S113、S201～S207、S211～S215、S311～S317、S401～S408、S411～S421：步骤

具体实施方式

以下，参照附图并基于实施例来例示性地详细说明用于实施本发明的形态。但是，对于本实施例中所记载的构成零件的尺寸、材质、形状、其相对配置等，只要无特别记载，则并非意图将本发明的范围仅限定于这些。

<实施例1>

图1是本实施例的片材检查装置1的框图。片材检查装置1具有对被检查物2的下表面(第1面)照射可见光的蓝色可见光源31，以作为照明系统。而且，片材检查装置1具有拍摄装置4，以作为测定系统。拍摄装置4是配置为，能够通过从蓝色可见光源31照射并径直透射过被检查物2的光来拍摄被检查物2。进而，片材检查装置1具有处理装置5，所述处理装置5基于拍摄装置4的输出信号来进行被检查物2中所含的异常部位的检测与异常的种类判别。进而，片材检查装置1具有调整装置7。调整装置7具备对照明系统的光量进行调节的光量调节部71、及对测定系统的增益进行调节的增益调节部72，对从照明系统入射至测定系统的光的亮度进行调节。

被检查物2例如形成为片状，沿图1的箭头方向受到搬送。对于被检查物2，可例示纸、薄膜(film)、树脂、纤维素(cellulose)等。而且，被检查物2也可为用于二次电池的隔膜、用于液晶的光学片材等。另外，本实施例中，将照明系统及测定系统予以固定，而使被检查物2移动，但也可取代于此，将被检查物2固定而使照明系统及测定系统移动。

片材检查装置1具有下述功能，即：基于由拍摄装置4所获得的图像来检测被检查物2中所含的异常部位，判别所检测出的异常种类，并输出其结果。本实施例中，将用于二次电池的隔膜等的包含烯烃系树脂的多孔质薄膜作为被检查物2，对“针孔缺陷”、“针孔缺陷以外的明缺陷(以下称作异常A)”这两种异常进行检测及判别。

“针孔缺陷”是在薄膜中形成的孔。“异常A”是在多孔质薄膜的加工时产生的不均(多孔质变粗的部分)或附着/浸透有油的部分，且是与正常状态的薄膜相比，成为光的透射率增大状态的异常。“针孔缺陷”是在二次电池的隔膜中不能放过的重大缺陷，与此相对，“异常A”是在异常部位的面积小的情况等下也可不视为不良(缺陷)的异常。

对于照明系统，可使用发光二极管(Light Emitting Diode，LED)等波长区域受到限制者，或者使用波长滤波器(filter)限制了波长区域者。而且，对于测定系统，可使用例如具备将4096个受光元件串联配置而成的电荷耦合器件(Charge Coupled Device，CCD)图像传感器的拍摄装置(摄像机)。各受光元件中，根据受光量来将光转换成电荷。从各受光元件输出的电荷作为输出信号(拍摄数据)而输入至处理装置5。

另外，本实施例中，可配合被检查物2的宽度而沿被检查物2的宽度方向具备多个摄像机，以便能够利用摄像机来拍摄被检查物2的整个宽度。

调整装置7将光源的光量和/或传感器的增益调节为，在未配置被检查物2的状态下从蓝色可见光源31直接入射至拍摄装置4的光的亮度达到与拍摄装置4的可计测范围的上限相同(或实质上相同)。例如，可调整直接入射的光的亮度为可计测范围的上限的±10％以内，优选的是±5％以内。此处，光源的光量和/或传感器的增益调节既可通过人的手来手动进行，也可自动进行。图2A表示入射至拍摄装置4的光的亮度经正确调节的状态的示例。而且，图2B表示入射至拍摄装置4的光的亮度过小时的示例，图2C表示入射至拍摄装置4的光的亮度过大时的示例。另外，图2A至图2C中，可计测范围的上限为255。

处理装置5具有信号处理部50，所述信号处理部50对从拍摄装置4输出的拍摄数据进行处理。信号处理部50对从拍摄装置4输出的1线(4096像素)的信号实施白成荫(whiteshading)处理，对每个受光元件的输出电平(level)的偏差进行修正。例如可进行下述处理：将对1线像素的每个位置规定的修正系数乘以相应的像素，对因透镜的像差产生的输出电平的偏差进行平均。

进而，信号处理部50也可基于从拍摄装置4输出的像素的亮度值(输出亮度值)来计算亮度比，将其作为亮度值。所谓“亮度比”，是指白成荫后的输出亮度值除以被检查物2无异常的状态下的输出亮度值(通常值)所得的值。

对于所述亮度比的值而言，输出亮度值(摄像机的受光量)的减少程度越大，则所述亮度比的值越小，输出亮度值(摄像机的受光量)的增加程度越大，则所述亮度比的值越大，与输出亮度值的变动程度存在相关关系。因此，本实施例中，被检查物2无异常的部分(也称作质地)中的亮度比将根据被检查物2的厚度而变动。另外，以后的说明中，在无须特别区分输出亮度值与亮度比的情况下，简写作亮度值。

而且，处理装置5具备对被检查物2中所含的异常部位进行检测的异常检测部56、及存储用于异常判定的阈值的检测阈值存储部56A。本实施例中，如后所述，在从拍摄装置4获得的图像的亮度值的变化程度大到一定程度的情况下判定为异常。因此，将应判定为异常的亮度值的变化程度的阈值保持在检测阈值存储部56A中。所述阈值是由被检查物2的种类或用户所设定的检查基准等所决定。

进而，处理装置5具备：判定部57，当检测到异常部位时，判别所述异常的种类；以及判定阈值存储部57A，存储用于判别异常种类的处理的多个阈值。判定部57预先规定从拍摄装置4获得的图像的亮度值的变化(增加或减少)的类型、与前述的两种异常的对应关系，通过判断亮度值的变化方式属于哪种类型，从而判别异常的种类。详细的处理将后述。

输出部58是输出与异常部位相关的信息的功能。信息的输出目标典型的是显示装置，但也可对打印装置输出信息，或者从扬声器(speaker)输出消息(message)或警报，或者通过电子邮件(mail)等将消息发送至用户的终端，或者对外部的计算机发送信息。图3是输出部58对显示装置输出的结果输出画面的一例。在所述画面上，显示表示经检测及判定的异常种类的信息581(图3的示例中为“针孔缺陷”)、由拍摄装置4所拍摄的异常部位的图像582、表示通过异常部位的线583上的拍摄装置4的输出信号(输出亮度值或亮度比)的变化的图表(graph)584等。通过输出与此种异常部位相关的信息，用户(检查者)能够具体掌握所产生的异常内容，从而能够有助于是否为应视为不良(缺陷)的异常的判断、或对生产设备的制造条件或运转条件的反馈(feedback)等。

图4A是表示在“针孔缺陷”的情况下所拍摄的图像的亮度值的变化的图，图4B是表示在“异常A”的情况下所拍摄的图像的亮度值的变化的图。此种亮度值的变化(增加或减少)的类型与异常种类的对应关系，可通过针对实际可能产生的每个异常种类来实施实验而求出。

在“针孔缺陷”的情况下，来自蓝色可见光源31的照射光将穿过针孔而透过，穿透针孔后的光将直接入射至拍摄装置4，因此如图4A所示，亮度值成为与动态范围(dynamicrange)的上限相同或其附近的值。

而且，在“异常A”的情况，不均或附着/浸透有油的部分成为稍稍带有颜色的透明的点(spot)，因此来自蓝色可见光源31的照射光将通过所述点而几乎全部透射至上表面侧。因此，如图4B所示，亮度值与通常状态相比明显变大，但与图4A的针孔缺陷不同，因透过点时的吸收、折射，光有一定程度的衰减。

另外，图4A、图4B表示用于二次电池用隔膜等的多孔质薄膜中的示例。亮度值的变化方式、分类、可能产生的异常种类等会根据被检查物的材料或物性等而变化，因此可对设想的每种被检查物预先准备图4A、图4B那样的对应关系，并作为查找表或判定逻辑而安装于处理装置5的程序中。

接下来，参照图5来说明片材检查装置1的处理流程。图5是由片材检查装置l所执行的处理的流程图。

步骤S101中，在未配置被检查物2的状态下，使蓝色可见光源3l点亮，通过拍摄装置4来进行可见光的摄影。并且，通过调整装置7将蓝色可见光源31的光量和/或拍摄装置4的增益调整为，直接入射至拍摄装置4的光的亮度达到与拍摄装置4的可计测范围的上限相同或实质上相同。

步骤S102中，进行被检查物2的摄影，并将其输出信号导入处理装置5。然后，通过信号处理部50，对从拍摄装置4输出的1线(4096像素)的信号实施白成荫处理，生成亮度值。

步骤S103中，进行异常检测部56对异常的检测。例如，异常检测部56从所获取的图像中检测出包含亮度值大于规定阈值(例如100)的像素的区域(像素群)，若所述区域的面积超过规定值，则将所述区域判定为“异常部位”。

步骤S104中，判定是否在步骤S103中检测到异常部位。此处，在作出肯定判定的情况下，前进至步骤S105。另一方面，在作出否定判定的情况下，视为无异常，结束本例程(routine)。

步骤S105中，通过判定部57来判别异常的种类。图6表示异常种类判别的流程。在步骤S111中，判定部57判断所检测出的异常部位的亮度值是否超过规定的针孔缺陷判别阈值(例如230)。此处，若作出肯定判定，则判别异常的种类为“针孔缺陷”(步骤S112)。另一方面，若作出否定判定，则判别异常的种类为“异常A”(步骤S113)。

通过以上的判定逻辑而确定了异常的种类后，进入图5的步骤S106的处理。步骤S106中，输出部58输出与异常部位相关的信息(参照图3)。

在以往的检查装置中，由于透射光的亮度达到饱和状态，因此即使在检测到明缺陷的情况下，也无法进行其种类的判别，但根据本实施例，能够对片状的被检查物2的异常进行检测，且能够将检测出的异常种类判别为针孔缺陷与除此以外的明缺陷。

而且，以往的检查装置在被检查对象的厚度较厚的情况下，有时透射光也会产生亮度差，此时也能够进行种类判别，但在被检查对象的厚度薄的情况下，将无法进行此种判别。另一方面，根据本实施例，即使在被检查物的厚度薄的情况下，也能够精度良好地进行判别。

根据以上，通过一次检查便能甄别出是可能对制品品质造成影响的异常，还是也可不视为不良(缺陷)的异常，因此能够抑制所谓的检查的过度执行(过检测)，提高制品的成品率。

<实施例2>

图7是实施例2的片材检查装置1的框图。本实施例中，除了实施例1的结构以外，还具备绿色可见光源32。而且，拍摄装置4具备未图示的蓝色图像传感器、及同样未图示的绿色图像传感器。进而，处理装置5具备蓝色信号处理部51与绿色信号处理部52。其他装置等与实施例1相同，因此省略说明。

本实施例中，除了“针孔缺陷”、“异常A”以外，还对“暗缺陷”的异常进行检测。所谓暗缺陷，是指与无异常的状态相比，光的透射率减少的状态，例如是指附着或混入有金属粉、线头等异物的状态；泥污、着色污渍等一般的污渍；作为被检查物的片材的质地变厚的状态等。

本实施例的调整装置7将蓝色可见光源31的光量和/或蓝色图像传感器的增益调节为，在未配置被检查物2的状态下从蓝色可见光源31直接入射至蓝色图像传感器的光的亮度达到与蓝色图像传感器的可计测范围的上限相同或实质上相同。而且，将绿色可见光源32的光量和/或绿色图像传感器的增益调节为，在被检查物2无异常的情况下，从绿色可见光源32透射过被检查物2而入射至绿色图像传感器的光的亮度达到与绿色图像传感器的可计测范围的中值相同或实质上相同。另外，光源的光量和/或传感器的增益调节既可通过人的手来手动进行，也可自动进行。

而且，本实施例的蓝色信号处理部51及绿色信号处理部52对从蓝色图像传感器及绿色图像传感器分别输出的1线(4096像素)的信号实施白成荫处理，对每个受光元件的输出电平的偏差进行修正。

进而，各信号处理部51、52也可基于输出亮度值来计算亮度比，并将其作为亮度值。图8A是表示在配置有无异常的被检查物的状态下，由蓝色图像传感器所拍摄的图像的亮度值的一例的图，图8B是表示在同样的状态下，由绿色图像传感器所拍摄的图像的亮度值的一例的图。

图9A及图9B是表示在“暗缺陷”的情况下所拍摄的各图像的亮度值的变化的图。若在被检查物2中存在污渍、异物的附着或混入、多孔质薄膜的加工时产生的不均(多孔质变密的部分)，则光的透射率会大幅下降，因此如图9A及图9B所示，各图像所呈现的亮度值与通常值相比，明显变小。

接下来，参照图10来说明片材检查装置1的处理流程。图10是由片材检查装置1所执行的处理的流程图。

步骤S201中，在未配置被检查物2的状态下，使蓝色可见光源31点亮，通过拍摄装置4来进行可见光的摄影。并且，通过调整装置7将光源的光量和/或传感器的增益调整为，直接入射至蓝色图像传感器的光的亮度达到与蓝色图像传感器的可计测范围的上限相同或实质上相同。

步骤S202中，在配置有无异常的被检查物2的状态下，使绿色可见光源32点亮，通过拍摄装置4来进行可见光的摄影。并且，通过调整装置7将光源的光量和/或传感器的增益调整为，从绿色可见光源32透射过被检查物2而入射至所述第2摄像传感器的光的亮度达到与绿色图像传感器412的可计测范围的中值相同或实质上相同。

步骤S203中，进行被检查物2的摄影，并将其输出信号导入处理装置5。然后，通过各信号处理部51、52，对从各图像传感器输出的1线(4096像素)的信号实施白成荫处理，生成输出亮度值。另外，以下将由蓝色图像传感器所拍摄的图像称作第1图像，将由绿色图像传感器所拍摄的图像称作第2图像。

步骤S204中，进行异常检测部56对异常的检测。例如，异常检测部56从所获取的各图像中，检测出包含亮度值小于规定阈值的像素的区域、或包含亮度值大于规定阈值的像素的区域，若所述区域的面积超过规定值，则将所述区域判定为“异常部位”。

步骤S205中，判定是否在步骤S204中检测到异常部位。此处，若作出肯定判定，则前进至步骤S206。另一方面，若作出否定判定，则视为无异常，结束本例程。

步骤S206中，通过判定部57来判别异常的种类。图11表示异常种类判别的流程。在步骤S21l中，判定部57判断所检测出的异常部位的第2图像的亮度值是否低于规定的暗缺陷判别阈值。此处，若作出肯定判定，则判别异常的种类为“暗缺陷”(步骤S212)。另一方面，若作出否定判定，则移往步骤S213的判定。

步骤S213中，判定部57判断所检测出的异常部位的第l图像的亮度值是否超过规定的针孔缺陷判别阈值。此处，若作出肯定判定，则判别异常的种类为“针孔缺陷”(步骤S214)。另一方面，若作出否定判定，则判别异常的种类为“异常A”(步骤S215)。

通过以上的判定逻辑而确定了异常的种类后，前进至图10的步骤S207的处理。步骤S207中，输出部58输出与异常部位相关的信息。

根据以上所述的本实施例，能够对片状的被检查物2的异常进行检测，且通过一次检查，便能够高精度地将检测出的异常判别为“暗缺陷”、“针孔缺陷”、“针孔缺陷以外的明缺陷”。

<实施例3>

图12是实施例3的片材检查装置1的框图。本实施例的片材检查装置1除了实施例2的结构以外，还具有对被检查物的上表面(第2面)进行照射的红色可见光源33及红外光源34。而且，拍摄装置4具备：未图示的红色图像传感器，接收由被检查物2所反射的反射光；以及同样未图示的红外线图像传感器。而且，处理装置5具备红色信号处理部53和红外线信号处理部54。其他装置等与实施例2相同，因此省略说明。另外，对于与实施例2相同的结构、进行相同处理的部分，使用相同的符号，并省略说明。

本实施例中，将“暗缺陷”的异常判别为“金属异物”与“异常B”。所谓异常B，是指附着或混入有金属异物的状态以外的暗缺陷。

本实施例的调整装置7将红色可见光源33的光量和/或红色图像传感器的增益调节为，在被检查物2无异常的情况下，从红色可见光源33由被检查物2反射而入射至红色图像传感器的光的亮度达到与红色图像传感器的可计测范围的中值相同或实质上相同，进而，调整装置7将红外光源34的光量和/或红外线图像传感器的增益调节为，在被检查物2无异常的情况下，从红外光源34由被检查物2所反射而入射至红外线图像传感器的光的亮度达到与红外线图像传感器的可计测范围的中值相同或实质上相同。另外，光源的光量和/或传感器的增益调节既可通过人的手来手动进行，也可自动进行。

而且，本实施例的红色信号处理部53及红外线信号处理部54对从红色图像传感器及红外线图像传感器分别输出的1线(4096像素)的信号实施白成荫处理，对每个受光元件的输出电平的偏差进行修正。进而，各信号处理部53、54也可基于输出亮度值来计算亮度比，并将其作为亮度值。

在被检查物2中存在金属异物的情况下，可见光与红外光均会被金属吸收，因此由红色图像传感器所拍摄的图像(以下称作第3图像)、由红外线图像传感器所拍摄的图像(以下称作第4图像)的任一者中，所述部位的亮度值与通常状态相比，均明显变小。并且，这些亮度值的下降比例为大致同程度。图13A至图13D表示在“金属异物”的情况下所拍摄的各图像的亮度值的变化的一例。图13A、图13B、图13C、图13D分别表示第1图像的亮度值、第2图像的亮度值、第3图像的亮度值、第4图像的亮度值。

图14A至图14D是表示在“异常B”的情况下所拍摄的各图像的亮度值的变化的图。与金属异物的情况不同，由于红外光的吸收少，因此第4图像的亮度值(图14D)的下降程度与第3图像的亮度值(图14C)的下降相比，明显变小。

接下来，参照图15来说明片材检查装置l的异常种类的判别流程。另外，片材检查装置1的检查整体的处理流程与实施例2同样，因此省略说明。

图15是异常种类判别的流程图。在步骤S311中，判定部57判断所检测出的异常部位的第2图像、第3图像、第4图像的亮度值是否分别低于规定的暗缺陷判别阈值。此处，若在任一图像中作出肯定判定，则前进至判断是否为“金属异物”的步骤(步骤S312)。步骤S312中，判断第3图像的亮度值是否为与第4图像的亮度值同程度的下降状况。例如，在第3图像的亮度值与第4图像的亮度值之差小于规定的金属判别阈值的情况下，可视为“同程度的下降状况”。此处，若作出肯定判定，则判别异常的种类为“金属异物”(步骤S313)。另一方面，若作出否定判定，则判别异常的种类为“异常B”(步骤S314)。

另一方面，在步骤S311中，若作出否定判定，则移往判断异常是否为“针孔缺陷”的步骤(步骤S315)。步骤S315中，判断第1图像的亮度值是否高于规定的针孔阈值，若作出肯定判定，则判别异常的种类为“针孔缺陷”(步骤S316)。另一方面，若作出否定判定，则判别异常的种类为“异常A”(步骤S317)。

根据以上所述的本实施例，能够对片状的被检查物2的异常进行检测，且通过一次检查，便能够高精度地将所检测出的异常判别为“金属异物”、“金属异物以外的暗缺陷”、“针孔缺陷”、“针孔缺陷以外的明缺陷”。由于能够将暗缺陷的异常甄别为“金属异物”与“金属异物以外的暗缺陷”，将明缺陷的异常甄别为“针孔缺陷”与“针孔缺陷以外的明缺陷”，因此在对如二次电池的隔膜那样，针孔、金属异物为重大缺陷之一的制品进行检查的情况下尤其有用。

<实施例4>

图16是本实施例的片材检查装置1的框图。本实施例的片材检查装置1具有从被检查物2的下表面照射透射光的第1蓝色可见光源301、与对被检查物2的上表面照射光的第1红色可见光源302及第1红外光源303，还具有从被检查物2的上表面照射透射光的第2蓝色可见光源304、与对被检查物的下表面照射光的第2红色可见光源305及第2红外光源306。而且，片材检查装置具有：第1拍摄装置41，可接收第1蓝色可见光源301的透射光及第1红色可见光源302、第1红外光源303的照射光由被检查物2的上表面所反射后的反射光；以及第2拍摄装置42，可接收第2蓝色可见光源304的透射光及第2红色可见光源305、第2红外光源306的反射光。

并且，第1拍摄装置41具备接收来自第1蓝色可见光源301的透射光的第1蓝色图像传感器、与接收由被检查物2的上表面所反射的光的第1红色图像传感器及第1红外线图像传感器，第2拍摄装置42具备接收来自第2蓝色可见光源304的透射光的第2蓝色图像传感器、与接收由被检查物2的下表面所反射的光的第2红色图像传感器及第2红外线图像传感器。

而且，本实施例的片材检查装置与其他实施例同样，具备处理装置5及调整装置7。

处理装置5具备对来自第1拍摄装置41的输出信号进行处理的第1拍摄装置信号处理部501、与对来自第2拍摄装置42的输出信号进行处理的第2拍摄装置信号处理部502，进而，它们分别具备未图示的蓝色信号处理部、红色信号处理部、红外线信号处理部。

而且，处理装置5具备对位处理部55，所述对位处理部55进行由第1拍摄装置41所拍摄的图像、与由第2拍摄装置42所拍摄的图像的对位。第1拍摄装置41与第2拍摄装置42是在被检查物2的搬送方向上偏离地配置，因此，由第1拍摄装置41所拍摄的部位到达由第2拍摄装置42所拍摄的位置为止要耗费一定的时间。为了对从第1拍摄装置41与第2拍摄装置42获得的相同部位的像素值进行比较，对位处理部55进行从第1拍摄装置41获得的1线的图像数据、与从第2拍摄装置42获得的1线的图像数据的对位(对时)。

此处，被检查物2的搬送速度、与从第1拍摄装置41直至第2拍摄装置42为止的距离已被预先设定，因此，能够基于这些值来算出由第1拍摄装置41所拍摄的部位被第2拍摄装置42拍摄到为止的时间延迟。即，通过使数据挪动所述时间延迟量，便能够进行对位。同样，在各图像传感器间，拍摄位置有所偏离的情况下(在各图像传感器分别拍摄不同的部位的情况下)，进行它们的对位。

进而，处理装置5与其他实施例同样地，具备异常检测部56、检测阈值存储部56A、判定部57、判定阈值存储部57A、输出部58。它们的功能与其他实施例同样，因此省略详细说明。

本实施例的调整装置7将第1蓝色可见光源301的光量和/或第1蓝色图像传感器的增益调节为，在未配置被检查物2的状态下，从第1蓝色可见光源301直接入射至蓝色图像传感器的光的亮度达到与第1蓝色图像传感器的可计测范围的上限相同或实质上相同。而且，将第2蓝色可见光源304的光量和/或第2蓝色图像传感器的增益调节为，在配置有无异常的被检查物2的状态下，从第2蓝色可见光源304透射过被检查物2而入射至第2蓝色图像传感器的光的亮度达到与第2蓝色图像传感器的可计测范围的中值相同或实质上相同。另外，光源的光量和/或传感器的增益调节既可通过人的手来手动进行，也可自动进行。

调整装置7进而将红色可见光源302、305及红外光源303、306的光量和/或各红色图像传感器以及各红外线图像传感器的增益调节为，在配置有无异常的被检查物2的状态下，由被检查物2所反射而入射至各红色图像传感器及各红外线图像传感器的光的亮度达到与各红色图像传感器及各红外线图像传感器的可计测范围的中值相同或实质上相同。

接下来，参照图17来说明片材检查装置1的处理流程。图17是由片材检查装置1所执行的处理的流程图。

步骤S401中，在未配置被检查物2的状态下，使第1蓝色可见光源301点亮，通过第1拍摄装置41来进行可见光的摄影。并且，通过调整装置7来将光源的光量和/或传感器的增益调整为，直接入射至第1蓝色图像传感器的光的亮度达到与第1蓝色图像传感器的可计测范围的上限相同或实质上相同。

步骤S402中，在配置有无异常的被检查物2的状态下，使其他各光源302、303、304、305及306点亮，通过第1拍摄装置41及第2拍摄装置42来进行摄影。并且，通过调整装置7将各光源的光量和/或各传感器的增益调整为，入射至其他各图像传感器的光的亮度达到与各图像传感器的可计测范围的中值相同或实质上相同。

步骤S403中，进行被检查物2的摄影，并将其输出信号导入处理装置5。然后，通过第1拍摄装置信号处理部501、第2拍摄装置信号处理部502，对从各拍摄装置的图像传感器输出的1线(4096像素)的信号实施白成荫处理，生成输出亮度值。而且，各蓝色信号处理部、各红色信号处理部及各红外线信号处理部也可基于输出亮度值而生成亮度比，并将其作为亮度值。另外，以下，将由第1蓝色图像传感器所拍摄的图像称作第1蓝色图像，将由第1红色图像传感器所拍摄的图像称作第1红色图像，将由第1红外线图像传感器所拍摄的图像称作第1红外线图像，将由第2蓝色图像传感器所拍摄的图像称作第2蓝色图像，将由第2红色图像传感器所拍摄的图像称作第2红色图像，将由第2红外线图像传感器所拍摄的图像称作第2红外线图像。

步骤S404中，对位处理部55基于被检查物2的搬送速度、第1拍摄装置41与第2拍摄装置42的距离，来进行各图像的对位。

步骤S405中，进行异常检测部56对异常的检测。例如，异常检测部56从所获取的各图像中检测包含亮度值小于规定阈值的像素的区域、或者包含亮度值大于规定阈值的像素的区域，若所述区域的面积超过规定值，则将所述区域判定为“异常部位”。

步骤S406中，判定在步骤S405是否检测到异常部位。此处，若作出肯定判定，则前进至步骤S407。另一方面，若作出否定判定，则视为无异常，结束本例程。

步骤S407中，通过判定部57来判别异常的种类。图18表示异常种类判别的流程。在步骤S411中，判定部57判断所检测出的异常部位的第1蓝色图像的亮度值是否超过规定的明缺陷判别阈值。此处，若作出肯定判定，则前进至步骤S412而进行明缺陷的种类判定，若作出否定判定，则前进至步骤S415而进行暗缺陷种类判定。

步骤412中，判定部57判断第1蓝色图像的亮度值是否超过规定的针孔缺陷判别阈值。此处，若作出肯定判定，则判别异常的种类为“针孔缺陷”(步骤S413)。另一方面，若作出否定判定，则判别异常的种类为“异常A”(步骤S414)。

步骤S415中，判定部57判断所检测出的异常部位的第1红色图像和/或第1红外线图像的亮度值是否低于规定的暗缺陷判别阈值。此处，若作出肯定判定，则前进至步骤S416，进行第2面侧的暗缺陷的种类判定，若作出否定判定，则前进至步骤S419而进行第1面侧的暗缺陷的种类判定。

步骤S416中，判定部57判断第1红色图像与第1红外线图像的亮度值是否为同程度。亮度值是否为同程度，例如可根据第1红外线图像的亮度值是否限制在第1红色图像的亮度值的±10％以内来求出。此处，若作出肯定判定，则判别异常的种类为“第2面金属异物”(步骤S417)。另一方面，若作出否定判定，则判别异常的种类为“第2面异常B”(步骤S418)。

步骤S419中，判定部57判断第2红色图像与第2红外线图像的亮度值是否为同程度。亮度值是否为同程度的判定可与步骤S416同样地进行。此处，若作出肯定判定，则判别异常的种类为“第1面金属异物”(步骤S420)。另一方面，若作出否定判定，则判别异常的种类为“第1面异常B”(步骤S421)。

通过以上的判定逻辑而确定了异常的种类后，前进至图17的步骤S408的处理。步骤S408中，输出部58输出与异常部位相关的信息。

根据以上所述的本实施例，通过一次检查，便能够实现对片状被检查物2两面的异常检测及其种类判别。由此，能够提供效率性优异的片材检查装置。

<其他>

所述实施例不过是例示性地说明本发明，本发明并不限定于所述的具体形态。本发明可在其技术思想的范围内进行各种变形。例如，所述实施例中，最先，实施异常部位的检测处理，仅对检测出的异常部位适用异常的种类判别处理，但亦可对图像整体适用异常的种类判别处理。例如，在并行地执行异常部位的检测处理与异常的种类判别处理后，将两处理的结果合并，也能够获得与所述实施例同样的效果。

Claims (20)

1.一种片材检查装置，对片状的被检查物进行检查，所述片材检查装置的特征在于包括：

光源，对所述被检查物的第1面照射光；

摄像传感器，被配置成，能够通过从所述光源照射并透射过所述被检查物的光来拍摄所述被检查物；

处理部，基于由所述摄像传感器所获得的所述被检查物的图像，检测所述被检查物中所含的异常部位，并且判别在所述检测出的异常部位所产生的异常种类；以及

输出部，输出与所述异常部位相关的信息，所述信息至少包含表示由所述处理部所判别的异常种类的信息，

其中所述光源的光量及所述摄像传感器的增益中的至少一个经调整为，在未配置所述被检查物的状态下从所述光源直接入射至所述摄像传感器的光的亮度达到与所述摄像传感器的可计测范围的上限相同或实质上相同，所谓实质上相同是指±10％以内。

2.根据权利要求1所述的片材检查装置，其特征在于，

所述处理部在与所述被检查物上的任意选择的注视位置对应的所述被检查物的图像的亮度比所述被检查物无异常的状态即通常状态时大的情况下，将所述注视位置检测为异常部位，

在所述异常部位的亮度比规定阈值大的情况下，将在所述异常部位产生的异常种类判别为针孔缺陷，

在所述异常部位的亮度比规定阈值小的情况下，将在所述异常部位产生的异常种类判别为针孔缺陷以外的明缺陷。

3.根据权利要求1或2所述的片材检查装置，其特征在于，

所述光源所照射的光为短波长的光。

4.根据权利要求1所述的片材检查装置，其特征在于，

所述摄像传感器仅接收短波长的光。

5.一种片材检查装置，其对片状的被检查物进行检查，所述片材检查装置的特征在于包括：

第1光源，对所述被检查物的第1面照射第1波长的光；

第2光源，对所述被检查物的第1面照射与所述第1波长不同的第2波长的光；

拍摄装置，具备接收所述第1波长的光的第1摄像传感器、及接收所述第2波长的光的第2摄像传感器，且被配置成，能够通过从所述第1光源与所述第2光源照射并透射过所述被检查物的光来拍摄所述被检查物；

处理部，基于由所述第1摄像传感器所获得的所述被检查物的第1图像与由所述第2摄像传感器所获得的所述被检查物的第2图像，来检测所述被检查物中所含的异常部位，并且判别在所述检测出的异常部位所产生的异常种类；以及

输出部，输出与所述异常部位相关的信息，所述信息至少包含表示由所述处理部所判别的异常种类的信息，

其中所述第1光源的光量及所述第1摄像传感器的增益中的至少一个经调整为，在未配置所述被检查物的状态下从所述第1光源直接入射至所述第1摄像传感器的光的亮度达到与所述第1摄像传感器的可计测范围的上限相同或实质上相同，所谓实质上相同是指±10％以内。

6.根据权利要求5所述的片材检查装置，其特征在于，

所述第2光源的光量及所述第2摄像传感器的增益中的至少一个经调整为，在所述被检查物无异常的情况下，从所述第2光源透射过所述被检查物而入射至所述第2摄像传感器的光的亮度达到与所述第2摄像传感器的可计测范围的中值相同或实质上相同，所谓实质上相同是指±10％以内。

7.根据权利要求5或6所述的片材检查装置，其特征在于，

所述第1波长比所述第2波长短。

8.根据权利要求5所述的片材检查装置，其特征在于，

所述处理部在与所述被检查物上的任意选择的注视位置对应的所述第2图像的亮度比所述被检查物无异常的状态即通常状态时小的情况下，将所述注视位置检测为异常部位，且将异常种类判别为暗缺陷，

在与所述注视位置对应的所述第1图像及第2图像中的至少一个的亮度比所述被检查物无异常的状态即通常状态时大的情况下，将所述注视位置检测为异常部位，在与所述异常部位对应的所述第1图像的亮度比规定阈值大的情况下，将异常种类判别为针孔缺陷，

在与所述异常部位对应的所述第1图像的亮度比规定阈值小的情况下，将异常种类判别为针孔缺陷以外的明缺陷。

9.一种片材检查装置，其对片状的被检查物进行检查，所述片材检查装置的特征在于包括：

第1光源，对所述被检查物的第1面照射第1波长的光；

第2光源，对所述被检查物的第1面的相反侧的第2面，照射与所述第1波长为不同的第2波长的可见光；

第3光源，对所述被检查物的第2面照射红外光；

拍摄装置，具备接收所述第1波长的光的第1摄像传感器、接收所述第2波长的可见光的第2摄像传感器、及接收红外光的第3摄像传感器，且被配置成，能够通过从所述第1光源照射并透射过所述被检查物的透射光、和从所述第2光源及第3光源照射并被所述被检查物反射的反射光来拍摄所述被检查物；

处理部，基于由所述第1摄像传感器所获得的所述被检查物的第1图像、由所述第2摄像传感器所获得的所述被检查物的第2图像、及由所述第3摄像传感器所获得的所述被检查物的第3图像，来检测所述被检查物中所含的异常部位，并且判别在所述检测出的异常部位所产生的异常种类；以及

输出部，输出与所述异常部位相关的信息，所述信息至少包含表示由所述处理部所判别的异常种类的信息，

其中所述第1光源的光量及所述第1摄像传感器的增益中的至少一个经调整为，在未配置所述被检查物的状态下从所述第1光源直接入射至所述第1摄像传感器的光的亮度达到与所述第1摄像传感器的可计测范围的上限相同或实质上相同，所谓实质上相同是指±10％以内。

10.根据权利要求9所述的片材检查装置，其特征在于，

所述第2光源及第3光源的光量及所述第2摄像传感器及第3摄像传感器的增益中的至少一个经调整为，在所述被检查物无异常的情况下，从所述第2光源及所述第3光源被所述被检查物反射而入射至所述第2摄像传感器及所述第3摄像传感器的光的亮度达到与所述第2摄像传感器及所述第3摄像传感器的可计测范围的中值相同或实质上相同。

11.根据权利要求9或10所述的片材检查装置，其特征在于，

所述第1波长比所述第2波长短。

12.根据权利要求9所述的片材检查装置，其特征在于，

所述处理部在与所述被检查物上的任意选择的注视位置对应的所述第1图像的亮度比所述被检查物无异常的状态即通常状态时大的情况下，将所述注视位置检测为异常部位，

在与所述异常部位对应的所述第1图像的亮度比规定阈值大的情况下，将异常种类判别为针孔缺陷，在比所述规定阈值小的情况下，将异常种类判别为针孔以外的明缺陷。

13.根据权利要求9所述的片材检查装置，其特征在于，

所述处理部在与所述被检查物上的任意选择的注视位置对应的所述第2图像的亮度比所述被检查物无异常的状态即通常状态时小的情况下，将所述注视位置检测为异常部位，

在与所述异常部位对应的所述第2图像的亮度从通常状态计起的下降程度、和与所述异常部位对应的所述第3图像的亮度从通常状态计起的下降程度相同的情况下，将异常种类判别为金属异物，

在与所述异常部位对应的所述第3图像的亮度从通常状态计起的下降程度，比与所述异常部位对应的所述第2图像的亮度从通常状态计起的下降程度小的情况下，将异常种类判别为金属异物以外的暗缺陷。

14.根据权利要求10所述的片材检查装置，其特征在于还包括：

第4光源，对所述被检查物的第1面照射一可见光，所述可见光的波长比所述第1光源所照射的光长，且波长比所述第2光源所照射的光短，

其中在所述拍摄装置中更包括第4摄像传感器，所述第4摄像传感器接收从所述第4光源照射的波长的光，

所述第4光源的光量及所述第4摄像传感器的增益中的至少一个经调整为，在所述被检查物无异常的情况下，从所述第4光源透射过所述被检查物而入射至所述第4摄像传感器的光的亮度达到与所述第4摄像传感器的可计测范围的中值相同或实质上相同，所谓实质上相同是指±10％以内。

15.根据权利要求14所述的片材检查装置，其特征在于，

所述处理部在与所述被检查物上的任意选择的注视位置对应的所述第4图像的亮度比所述被检查物无异常的状态即通常状态时小的情况下，将所述注视位置检测为异常部位，且将异常种类判别为暗缺陷。

16.根据权利要求9所述的片材检查装置，其特征在于还包括：

第4光源，对所述被检查物的第2面照射第4波长的光；

第5光源，对所述被检查物的第1面，照射与所述第4波长不同的第5波长的可见光；

第6光源，对所述被检查物的第1面照射红外光；以及

第2拍摄装置，具备接收所述第4波长的光的第4摄像传感器、接收所述第5波长的可见光的第5摄像传感器、及接收红外光的第6摄像传感器，且被配置成，能够通过从所述第4光源照射并透射过所述被检查物的透射光、和从所述第5光源及第6光源照射并被所述被检查物反射的反射光来拍摄所述被检查物，

所述处理部也基于由所述第4摄像传感器所获得的所述被检查物的第4图像、由所述第5摄像传感器所获得的所述被检查物的第5图像、及由所述第6摄像传感器所获得的所述被检查物的第6图像，来检测所述被检查物中所含的异常部位，并且判别在所述检测出的异常部位所产生的异常种类。

17.根据权利要求16所述的片材检查装置，其特征在于，

所述第4光源的光量及所述第4摄像传感器的增益中的至少一个经调整为，在所述被检查物无异常的状态下，从所述第4光源透射过所述被检查物而入射至所述第4摄像传感器的光的亮度达到与所述第4摄像传感器的可计测范围的中值相同或实质上相同，所谓实质上相同是指±10％以内，

所述第5光源及所述第6光源的光量及所述第5摄像传感器及所述第6摄像传感器的增益中的至少一个经调整为，在所述被检查物无异常的情况下，从所述第5光源及所述第6光源被所述被检查物反射而入射至所述第5摄像传感器及所述第6摄像传感器的光的亮度达到与所述第5摄像传感器及所述第6摄像传感器的可计测范围的中值相同或实质上相同，所谓实质上相同是指±10％以内。

18.根据权利要求16或17所述的片材检查装置，其特征在于，

所述第1波长比所述第5波长短，所述第4波长比所述第2波长及第5波长短。

19.根据权利要求16所述的片材检查装置，其特征在于，

所述处理部在与所述被检查物上的任意选择的注视位置对应的所述第4图像的亮度比所述被检查物无异常的状态即通常状态时大的情况下，将所述注视位置检测为异常部位，且将异常种类判别为明缺陷，

在比所述被检查物无异常的状态即通常状态时小的情况下，将所述注视位置检测为异常部位，且将异常种类判别为暗缺陷。

20.根据权利要求16所述的片材检查装置，其特征在于，

所述处理部在与所述被检查物上的任意选择的注视位置对应的所述第5图像的亮度比所述被检查物无异常的状态即通常状态时小的情况下，将所述注视位置检测为异常部位，

在与所述异常部位对应的所述第5图像的亮度从通常状态计起的下降程度、和与所述异常部位对应的所述第6图像的亮度从通常状态计起的下降程度相同的情况下，将异常种类判别为金属异物，

在与所述异常部位对应的所述第6图像的亮度从通常状态计起的下降程度，比与所述异常部位对应的所述第5图像的亮度从通常状态计起的下降程度小的情况下，将异常种类判别为金属异物以外的暗缺陷。