KR20180118513A - 시트 검사 장치 및 검사 시스템 - Google Patents

Abstract

시트상 피검사물의 외관 화상을 이용하는 시트 검사 장치에 있어서, 검사 장치의 시동 초기 상태로부터 고정밀도의 검사를 수행할 수 있는 수단을 제공한다.
시트상 피검사물(9)을 검사하는 시트 검사 장치로서, 상기 피검사물에 대해 광을 조사하는 조명 수단(31, 32), 그 조명 수단으로부터 상기 피검사물로 조사된 광의 반사광 및/또는 투과광에 의해 상기 피검사물의 화상을 촬영하는 촬영 수단(4), 그 촬영 수단에 의해 촬영된 화상의 화상 데이터를 처리하여 얻어지는 특징량 분포 상황으로부터 상기 피검사물에 포함되는 이상을 검출하는 이상 검출 수단(5), 및 상기 피검사물의 이상이 없는 부분 및 이상 부분을 나타내는 상기 특징량 분포 상황을 패턴 맵으로서 유지하는 기억 수단(6)을 구비하고 있고, 상기 이상 검출 수단은 상기 패턴 맵에 기초하여 상기 피검사물의 이상을 검출하는 것을 특징으로 하는 시트 검사 장치(1).

Description

시트 검사 장치 및 검사 시스템{Sheet inspection device and inspection system}

본 발명은 시트상 피검사물의 이상 부분을 검출하는 기술에 관한 것이다.

시트상 물품을 제조 또는 가공하기 위한 생산 라인에서는 가시광이나 자외광을 시트에 조사하고 그 투과광 또는 반사광을 카메라로 촬영함으로써 얻어지는 화상을 이용하여 시트의 이상(이물 혼입, 오염, 주름 등. 이하, 결함이라고도 함)을 검출하는 검사 장치가 이용되고 있다(예컨대, 특허 문헌 1 및 2 참조).

종래의 검사 장치에서는 촬영 화상에 화상 처리를 하여 얻어진 특징량을 이용하여 시트의 이상 부분을 검출하기 위해 한정된 매수의 불량품 샘플에 기초하여 이상의 종류마다 대응하는 검사 기준(이하, 문턱값이라고도 함)을 설정하고, 이에 따라 양호·불량의 판별을 수행하였다.

상기와 같은 방법에 의하면, 상술한 특징량에 대한 이상 검출의 문턱값을 설정하기 위해 이상의 종류마다 양품과 불량품을 구별하기 위한 샘플이 필요하게 된다. 통상, 양품과 불량품을 구별할 수 있는 한계 샘플의 입수는 용이하지 않기 때문에, 입수 가능한 샘플을 기초로 불균일을 추측하여 문턱값을 설정하고 있는데, 실제의 불균일이 상정한 것과 다른 경우는 최적의 문턱값 설정이 되지 않는 경우가 있었다.

이상과 같이, 장치를 신설하는 경우나, 검사 대상에 새롭게 품목을 추가하는 경우 등, 한계 샘플이 충분히 갖추어지지 않은 상황에서는 적절한 정밀도로 검사를 실시할 수 없고, 경우에 따라 검사 장치를 좀처럼 가동할 수 없는 문제가 있었다. 이 때문에, 새로운 품목의 검사를 수행하는 경우, 종래의 유사 품목의 검사 기준을 카피하여 이용하는 것도 행해지고 있는데, 검사 정밀도, 검사 기준 조정의 효율화 등의 면에서 문제가 있다.

또한, 제조 공정의 이상 등의 원인으로 검사 대상 제품 전체 상태에 변화가 생기는 경우도 있는데, 지합(地合;formation) 부분의 컬러가 변화하는 등 검지 대상으로서 문턱값이 설정되어 있는 이상(異常)에 해당되지 않는 상태의 변화라면, 품질에 문제가 있다 하더라도 놓치게 될 우려가 있다.

또한, 시간의 경과에 따른 장치의 열화, 검사 환경의 변동 등에 의해, 얻어지는 검사 화상 데이터가 당초의 것과 달라지는 경우가 있고, 그것을 눈치채지 못한 채 간과하게 될 우려가 있다. 또한, 이러한 간과에 대응하기 위해, 이상의 문턱값을 반복하여 변경함으로써 문제를 일으키는 경우도 있다.

특허문헌 1 : 일본특허공개 2010－8174호 공보 특허문헌 2 : 일본특허공개 2015－172519호 공보

상기와 같은 상황을 감안하여, 본 발명은 시트상 피검사물의 외관 화상을 이용하는 시트 검사 장치에 있어서, 검사 장치의 시동 초기 상태로부터 고정밀도의 검사를 수행할 수 있는 수단을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은 이하의 구성을 채용한다.

본 발명에 따른 시트 검사 장치는, 시트상 피검사물을 검사하는 시트 검사 장치로서, 상기 피검사물에 대해 광을 조사하는 조명 수단과, 그 조명 수단으로부터 상기 피검사물로 조사된 광의 반사광 및/또는 투과광에 의해 상기 피검사물의 화상을 촬영하는 촬영 수단과, 그 촬영 수단에 의해 촬영된 화상의 화상 데이터를 처리하여 얻어지는 특징량 분포 상황으로부터 상기 피검사물에 포함되는 이상을 검출하는 이상 검출 수단과, 상기 피검사물의 이상이 없는 부분 및 이상 부분을 나타내는 상기 특징량 분포 상황을 패턴 맵으로서 유지하는 기억 수단을 구비하고 있고, 상기 이상 검출 수단은 상기 패턴 맵에 기초하여 상기 피검사물의 이상을 검출하는 것을 특징으로 한다.

이러한 구성에 의하면, 양품의 화상 데이터로부터 추출된 특징량 분포 상황뿐이라 하더라도, 패턴 맵과의 비교에 의해 검사를 실시할 수도 있으므로, 이상 검출 기준 설정을 위한 데이터를 충분히 취득하지 못한 상황이라 하더라도, 고정밀도의 검사를 수행할 수 있다.

또한, 상기 이상 검출 수단은 상기 패턴 맵에 기초하여 설정된 문턱값을 이용하여 상기 피검사물의 이상을 검출할 수도 있다. 이러한 구성에 의하면, 문턱값에 의해 명확하게 피검사물의 이상을 검출할 수 있으므로, 보다 효율적이며, 또한 즉시성이 있는 검사를 수행할 수 있다.

또한, 상기 기억 수단은 불량품의 화상 데이터 및/또는 불량품의 화상 데이터를 처리하여 얻어지는 특징량을 더 유지하고 있고, 상기 이상 검출 수단은 불량품의 화상 데이터를 처리하여 얻어지는 특징량에 기초하여 설정된 문턱값을 이용함으로써 이상을 검출하는 것이 가능한 구성으로 할 수도 있다.

상기와 같은 구성이라면, 불량품의 화상 데이터로부터 추출한 특징량에 기초하여 피검사물의 이상을 명확하게 검출할 수 있다. 이 때문에, 적절한 불량품 화상을 유지하고 있는 결함에 대해서는, 이러한 수단에 의해 이상 검출을 수행하고, 그렇지 않은 경우에는, 통상의 이상 검출 수단에 기초하여 검출을 수행하는 것과 같이, 2 종류의 검출 수단을 조합하여 이용함으로써, 검사의 효율을 높일 수 있다. 또한, 이상 부분을 나타내는 특징량의 축적 정도에 따라 2 종류의 검출 수단 중 어느 하나를 이용하여 검사를 수행하도록 절환 가능하게 선택해 두면, 이상 검출 처리시에 장치에 걸리는 부하를 경감하면서, 데이터의 축적 상황에 따라 효율적인 검사를 수행할 수 있다.

또한, 상기 기억 수단에는, 상기 피검사물의 사양, 이상의 종류, 상기 시트 검사 장치의 구성 중 어느 하나 이상의 항목마다 대응하는 상기 패턴 맵이 홀딩되어 있을 수도 있다. 이러한 구성에 의하면, 임의의 항목에 따라 관련지은 패턴 맵을 관리, 검색하는 것이 가능해지므로, 장치의 편리성을 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 특징량에는, 적어도 휘도, 명도, 채도, 색상 중 어느 하나를 포함하는 복수의 종류가 있고, 상기 기억 수단에는 다른 종류의 특징량 마다 대응하는 상기 패턴 맵이 홀딩되어 있을 수도 있다. 이러한 구성에 의하면, 피검사물의 성질과 상태, 이상의 종류에 따라, 가장 적합한 특징량을 이용하는 것이 가능해져 검사 효율을 향상시킬 수 있다.

상기 이상 검출 수단 및 상기 기억 수단을 제어하는 제어 수단을 더 가지고 있고, 그 제어 수단은 상기 패턴 맵을 작성 및/또는 갱신할 수도 있다. 이러한 구성에 의하면, 새로운 제품, 이상의 발생, 장치 구성의 변경 등의 검사 조건의 변동에 따라, 적절히 검사를 수행할 수 있다.

상기 패턴 맵의 작성 및/또는 갱신은 상기 피검사물의 검사를 실시함으로써 수집되는 데이터에 기초하여 행해지는 것일 수도 있다. 이러한 구성에 의하면, 검사의 실시에 의해 축적해 나가는 데이터에 의해 수시 검사 정밀도를 향상시킬 수 있게 된다.

상기 제어 수단은 이전 검사시의 상기 특징량 분포 상황과 이후 검사시의 상기 특징량 분포 상황과의 차이에 기초하여 상기 피검사물의 제조 공정의 감시를 실시할 수도 있다.

피검사물의 제조 공정에 있어서 어떠한 이상이 발생한 경우, 피검사물에는 부분적인 결함이 발생하지 않더라도, 제품의 전체적인 품질에 문제가 발생하는(즉, 피검사물 전체에 걸쳐 촬상 데이터로부터 얻어지는 특징량 분포에 변화가 생김) 것도 생각할 수 있다. 이 때문에, 시트 검사 장치를 상기와 같은 구성으로 해 둠으로써, 제품의 검사와 아울러 그 제품의 제조 공정의 이상의 검지를 수행할 수 있다.

또한, 상기 제어 수단은 이전 검사시의 상기 특징량 분포 상황과 이후 검사시의 상기 특징량 분포 상황과의 차이에 기초하여 상기 시트 검사 장치의 감시를 수행할 수도 있다.

상기 조명 수단, 상기 촬상 수단 등의 상기 시트 검사 장치의 구성 요소에 문제가 발생함으로써, 제품 자체에 이상은 없지만, 기준이 되는 양품 화상 데이터와 피검사물의 화상 데이터와의 특징량 분포에 차이가 나는 경우도 생각할 수 있다. 이 때문에, 시트 검사 장치를 상기와 같은 구성으로 함으로써, 제품의 검사와 아울러 그 제품의 검사 장치 자체의 이상을 검지할 수 있게 된다.

본 발명에 따른 검사 시스템은, 시트상 피검사물을 검사하기 위한 검사 시스템으로서, 상기 피검사물에 대해 광을 조사하는 조명 수단과, 그 조명 수단으로부터 상기 피검사물로 조사된 광의 반사광 및/또는 투과광에 의해 상기 피검사물의 화상을 촬영하는 촬영 수단과, 그 촬영 수단에 의해 촬영된 화상의 화상 데이터를 처리하여 얻어지는 특징량 분포 상황으로부터 상기 피검사물에 포함되는 이상을 검출하는 이상 검출 수단을 구비하는 검사 장치와, 피검사물의 이상이 없는 부분 및 이상 부분을 나타내는 상기 특징량 분포 상황을 패턴 맵으로서 유지하는 기억 수단과, 상기 이상 검출 수단 및 상기 기억 수단을 제어하고, 상기 패턴 맵을 작성 및/또는 갱신하는 제어 수단을 가지고 있고, 상기 검사 장치의 이상 검출 수단은 상기 패턴 맵에 기초하여 상기 피검사물의 이상을 검출하는 것을 특징으로 한다.

상기와 같은 구성을 갖는 시스템에 의하면, 검사 장치와 제어 단말, 기억 장치 등을 원격 배치할 수 있게 된다. 또한, 대용량 클라우드 서버 등에 패턴 맵 등의 정보를 홀딩해 두고, 다른 장소에 있는 복수의 검사 장치의 검사 기준을 통일하여 관리, 운용하는 것도 가능하다.

본 발명에 의하면, 시트상 피검사물의 외관 화상을 이용하는 시트 검사 장치에 있어서, 검사 장치의 시동 초기 상태로부터 고정밀도의 검사를 수행할 수 있는 수단을 제공할 수 있다.

도 1은 실시예 1에 따른 시트 검사 장치를 나타내는 블록도이다.
도 2A는 이상 부분이 없는 상태로 촬영된 피검사물의 화상에 있어서의 각 화소가 갖는 특징량 분포를 나타내는 히스토그램이다. 특징량 분포의 일예를 나타내는 히스토그램이다.
도 2B는 이물 혼입의 이상이 있는 피검사물을 촬영한 경우의 화상에 대한 특징량 분포를 나타내는 히스토그램이다.
도 2C는 핀홀의 이상이 있는 피검사물을 촬영한 경우의 화상에 대한 특징량 분포를 나타내는 히스토그램이다.
도 3A는 균일한 지합의 제품에 대한 패턴 맵을 나타내는 도면이다.
도 3B는 지합이 성긴 제품에 대한 패턴 맵을 나타내는 도면이다.
도 3C는 두께가 얇은 제품에 대한 패턴 맵을 나타내는 도면이다.
도 4는 실시예 1에 따른 시트 검사 장치의 검사 문턱값의 설정 방법의 일예를 나타내는 흐름도이다.
도 5A는 실시예 1에 따른 시트 검사 장치의 초기 설정시의 패턴 맵과 검사 문턱값과의 관계를 나타내는 도면이다.
도 5B는 실시예 1에 따른 시트 검사 장치의 시동시의 패턴 맵과 검사 문턱값과의 관계를 나타내는 도면이다.
도 5C는 실시예 1에 따른 시트 검사 장치에 의한 검사 실시 후의 검증시의 패턴 맵과 검사 문턱값과의 관계를 나타내는 도면이다.
도 6은 실시예 2에 따른 검사 시스템의 구성예를 나타내는 블록도이다.
도 7A는 제1 검사 장치에 의해 취득된 특징량에 기초한 패턴 맵을 나타내는 도면이다.
도 7B는 제2 검사 장치에 의해 취득된 특징량에 기초한 패턴 맵을 나타내는 도면이다.
도 7C는 제1 검사 장치와 제2 검사 장치에 의한 패턴 맵을 통합한 새로운 패턴 맵을 나타내는 도면이다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예에 대해 도면에 기초하여 설명한다.

이하의 실시예에 기재되어 있는 구성 요소의 치수, 재질, 형상, 그 상대 배치 등은 특별한 기재가 없는 한 발명의 기술적 범위를 그러한 것들만으로 한정한다는 것은 아니다.

＜실시예 1＞　

(시트 검사 장치의 구성)

도 1은 본 실시예에 따른 시트 검사 장치(1)의 구성예를 나타내는 블록도이다. 시트 검사 장치(1)는 시트상 피검사물(9)을 촬영하고, 취득된 화상을 처리하여 얻어지는 특징량을 미리 등록되어 있는 검사 기준과 대비함으로써, 피검사물(9)의 이상을 검출하고, 그 결과를 출력하는 기능을 갖는다. 여기서, “특징량”이란, 예컨대, 취득된 화상 데이터의 각 화소가 갖는 휘도, 명도, 채도, 색상 등이고, 본 실시예에서는 휘도값을 예로서 설명한다.

시트 검사 장치(1)는 조명 수단으로서 피검사물(9)의 하면에, 백색광을 조사하는 투과용 가시광원(31) 및 적외광을 조사하는 투과용 적외광원(32)을 갖는다.

또한, 시트 검사 장치(1)는 촬영 수단으로서 카메라(4)를 갖는다. 카메라(4)는 투과용 가시광원(31) 및/또는 투과용 적외광원(32)으로부터 조사되고 피검사물(9)을 직진 투과한 광에 의해, 피검사물(9)을 촬영할 수 있도록 배치되어 있다.

또한, 시트 검사 장치(1)는 카메라(4)의 출력 신호에 기초하여 피검사물(9)에 포함되는 이상 검출을 수행하는 이상 검출부(5)를 가지고 있다. 이상 검출부(5)는 후술하는 제어반(2)에 의해 설정된 문턱값에 기초하여 피검사물(9)의 이상을 검출한다. 본 실시예의 이상 검출부(5)가 “이상 검출 수단”에 해당한다.

시트 검사 장치(1)는 검사 기준의 설정(변경을 포함, 이하 동일), 검사 프로그램의 작성(수정을 포함, 이하 동일) 등의 조작을 수행하는 제어반(2)을 가지고 있다. 제어반(2)은 후술하는 기억 장치(6)에서 홀딩되는 특징량 패턴 맵, 제품 정보, 불량품 정보, 검사 장치 정보 등의 등록, 갱신이라는 작업에도 이용할 수 있다.

또한, 시트 검사 장치(1)는 후술하는 특징량 패턴 맵을 포함하는 다양한 데이터가 기억되는 기억 장치(6)를 갖는다. 전형적으로는 HDD 등의 대용량 기억 장치이다. 특징량 패턴 맵 외에는 검사 대상이 되는 제품의 정보, 검사 대상이 되는 제품마다의 불량품 정보(화상 데이터 등)라는 정보가 홀딩될 수도 있다. 또한 본 실시예에 있어서의 기억 장치(6)가 “기억 수단”에 해당한다.

피검사물(9)은 시트상으로 형성되어 있고, 도 1의 화살표 방향을 향해 반송되어 있다. 피검사물(9)로는 종이, 필름, 부직포, 금속박 등을 예시할 수 있다. 또한, 피검사물(9)은 2차 전지에 사용하는 세퍼레이터, 액정에 사용되는 광학 시트 등일 수도 있다. 또한 본 실시예에서는, 조명 수단 및 촬영 수단을 고정하고, 피검사물(9)을 이동시키고 있는데, 피검사물(9)의 사이즈에 따라 피검사물(9)을 고정하고, 조명 수단 및 촬영 수단을 이동시킬 수도 있다.

카메라(4)는, 예컨대, 4096개의 수광 소자를 직렬로 배치한 CCD 이미지 센서를 구비한 라인 센서 카메라이다. 카메라(4)의 각각의 수광 소자에서는 수광량에 따라 광이 전하로 변환된다. 또한 본 실시예에 있어서 카메라(4)는 R, G, B 및 IR의 각 색성분용 4개의 CCD 이미지 센서를 구비하고 있고, 각 수광 소자로부터 출력되는 전하는 출력 신호(촬영 데이터)로서 이상 검출부(5)로 입력된다. 또한 피검사물(9)의 폭 전체를 촬영 가능하도록 피검사물(9)의 폭에 따라, 피검사물(9)의 폭 방향으로 복수의 카메라를 구비하게 할 수도 있다.

이상 검출부(5)는 카메라(4)로부터 출력되는 촬영 데이터를 R, G, B 및 IR의 성분마다 각각 처리하는 적색 신호 처리부(51), 녹색 신호 처리부(52), 청색 신호 처리부(53), 적외 신호 처리부(54)를 갖는다. 적색 신호 처리부(51)는 카메라(4)로부터 출력된 1 라인분(4096 화소)의 R 성분의 신호(R 신호)에 대해 쉐이딩 보정을 수행하고, 수광 소자마다의 출력 레벨의 불균일을 보정한다. 마찬가지로 녹색 신호 처리부(52)는 G 성분의 신호(G 신호), 청색 신호 처리부(53)는 B 성분의 신호(B 신호), 적외 신호 처리부(54)는 IR 성분의 신호(IR 신호)에 대해 각각 쉐이딩 보정을 수행한다. 본 실시예에서는, 각 신호 처리부로부터 출력되는 쉐이딩 보정 후의 각 화소의 휘도값을 특징량으로 하고, 예컨대, 0~255의 치역을 갖는 것으로 한다.

또한, 이상 검출부(5)는 피검사물(9)에서 이상이 없는 부분에 대응하는 출력 화소값이 상기 치역(0~255)의 중앙값이 되도록 규격화를 수행하게 할 수도 있다. 이 경우, 그 규격화된 화소값은 출력 화소값(카메라의 수광량)의 감소 정도가 클수록 작은 값이 되고, 출력 화소값(카메라의 수광량)의 증가 정도가 클수록 큰 값이 되어 출력 화소값의 변동 정도와 상관 관계를 갖는다.

또한, 이상 검출부(5)는 미리 설정된 검사 기준에 따라 피검사물(9)에 포함되는 이상을 검출하는 검출 판정부(55)를 구비하고 있다. 본 실시예에서는, 후술하는 바와 같이, 카메라(4)로부터 얻어지는 피검사물(9)의 화상의 휘도값이 미리 설정된 각 이상에 대응하는 문턱값을 넘어 분포하는지 여부를 판정함으로써 이상을 검출하고, 피검사물(9)에 존재하는 이상의 종류를 판별한다. 또한, 그 검사 기준은 기억 장치(6)로부터 필요에 따라 적절히 독출된다.

또한, 이상 검출부(5)는 검사에 관한 정보를 출력하는 출력부(56)를 구비하고 있다. 정보 출력처는 전형적으로 표시 장치지만, 인쇄 장치에 대해 정보를 출력하거나, 스피커로부터 메세지나 경보를 출력하거나, 사용자 단말로 전자 메일 등으로 메세지를 송신하거나, 외부 컴퓨터에 대해 정보를 송신할 수도 있다.

이와 같이, 이상 부분에 관한 정보를 출력함으로써, 사용자(검사자)는 발생한 이상 내용을 구체적으로 파악할 수 있고, 불량(결함)으로 해야 할 이상 여부의 판단이나, 생산 설비의 제조 조건이나 운전 조건에 대한 피드백 등에 도움이 될 수 있다.

기억 장치(6)에는 패턴 맵 기억부(61), 검사 기준 기억부(62), 검사 프로그램 기억부(63), 불량품 정보 기억부(64) 등이 설치된다.

패턴 맵 기억부(61)는 피검사물(9)의 화상을 처리하여 얻어지는 특징량 분포 데이터를 패턴 맵으로서 홀딩하는 기능을 가지고 있다. 그 패턴 맵은 검사 대상이 되는 제품, 이상으로 검출되는 이상의 종류에 따라, 특징량의 종류마다 작성, 홀딩되어 있다.

이하, 도 2, 3에 기초하여 특징량 패턴 맵에 대해 상세히 설명한다.

도 2A는 이상 부분이 없는 상태로 촬영된 피검사물(9)에 대한 소정 범위(예컨대, 1000 라인분, 즉 본 실시예에서는 1000×4096 화소)의 화상에 있어서의 각 화소가 갖는 휘도값의 분포를 나타내는 히스토그램이다. 횡축은 휘도값(0~255)이고, 종축은 각각의 휘도값을 갖는 화소수를 나타내고 있다. 피검사물(9)이 균일한 지합의 시트(예컨대, 매트지 등)인 경우에는 양품(즉 이상 부분 없음)의 화상 데이터로부터 얻어지는 휘도값은 도 2A에 도시한 바와 같이, 지합 부분을 나타내는 휘도값이 정점(즉 최빈수)이 되는 산형으로 분포한다.

도 2B는 동일 조건에서 이물 혼입의 이상이 있는 피검사물(9)을 촬영한 경우의 화상에 대한 히스토그램이다. 이물이 혼입되어 있는 경우, 당해 부분의 휘도값은 낮아지므로, 도 2B에 도시한 바와 같이, 이상이 없는 부분의 휘도값을 나타내는 산과, 이물 부분을 나타내는 낮은 휘도값의 작은 산을 형성하도록 휘도값이 분포한다.

도 2C는 핀홀의 이상이 있는 피검사물(9)를 촬영한 경우의 화상에 대한 히스토그램이다. 핀홀의 이상이 있는 경우에는, 이물 혼입과는 반대로, 당해 부분의 휘도값은 높아지므로, 도 2C에 도시한 바와 같이, 이상이 없는 부분의 휘도값을 나타내는 산과, 이물 부분을 나타내는 높은 휘도값의 작은 산을 형성하도록 휘도값이 분포한다.

이와 같이, 이상의 유무 및 종류와 휘도값의 분포에는 상관 관계가 있으므로, 휘도값의 분포 상태로부터 이상의 유무 및 종류를 특정하는 것이 가능하다.

도 3은 피검사물(9)의 화상으로부터 추출되는 이상 부분이 없는 지합 부분과 각종 이상 부분을 나타내는 휘도값의 분포를 하나로 통합한 패턴 맵이다. 횡축은 휘도값, 종축은 그 휘도값을 갖는 화소의 양을 나타내는데, 도 2에 도시한 히스토그램과는 달리 화소수의 총계가 소정 해상도의 화상에서의 총 화소수와 일치하는 것은 아니다. 피검사물(9) 상태와 휘도값의 분포(휘도값의 크기와 그 휘도값을 갖는 화소의 양)의 관계성을 나타내는 것이다.

패턴 맵 기억부(61)에는 이러한 패턴 맵이 검사 대상이 되는 제품별로 각 색성분마다 홀딩되어 있다. 예컨대, 균일한 지합의 제품인 경우, 도 3A에 도시한 지합 부분의 형상을 갖는 패턴 맵이 된다. 한편, 부직포 등과 같이 지합이 성긴 제품의 경우에는, 도 3B에 도시한 바와 같이, 지합 부분이 낮게 찌그러진 것 같은 형상의 패턴 맵이 된다. 또한, 두께가 얇은 제품의 경우에는, 도 3C에 도시한 바와 같이, 지합 부분의 휘도값이 전체적으로 높게 시프트된 형상의 패턴 맵이 된다.

검사 기준 기억부(62)에는 검사 대상이 되는 제품마다의 검사 기준이 홀딩되어 있다. 그 검사 기준은 이상 검출에 이용하는 색성분의 종류와 각각의 이상에 대응하는 문턱값과의 조합이다.

검사 프로그램 기억부(63)에는 검사 대상이 되는 제품마다에 대응하는 검사 프로그램이 홀딩되어 있다. 제품의 성질과 상태 등에 따라 어떠한 화상 데이터를 취득할지, 검사 기준과의 대비를 위해 어떠한 특징량을 추출할지 등 시트 검사 장치(1)에 적절한 처리를 실행시키기 위한 정보가 홀딩된다. 불량품 정보 기억부(64)에는 제품마다 불량품 화상과, 그 화상에 대응하는 특징량 분포가 특징량의 종류마다 홀딩되어 있다. 또한 상기 불량품 화상은 샘플품의 화상일 수도 있고, 적절히 축적되는 실제 불량품 화상일 수도 있고, 이 모두가 홀딩되어 있을 수도 있다.

또한 기억 장치(6)에 있어서의 이러한 각종 정보는 서로 참조·연동 가능하고, 이른바 관계 데이터 베이스로서 기능한다. 이 때문에, 하나의 관점에 기초한 검색에 의해 임의의 정보에 용이하게 액세스할 수 있다.

(검사 기준 설정 방법)

이어서, 특징량 패턴 맵에 기초하여 이상 검출을 위한 기준을 설정하는 방법을, 도 4 및 도 5에 기초하여 설명한다. 도 4는 시트 검사 장치(1)의 검사 문턱값의 설정 방법의 일예를 나타내는 흐름도이다. 도 5는 패턴 맵과 검사 문턱값과의 관계를 나타내는 도면이다. 도 5A는 시트 검사 장치(1)의 초기 설정시, 도 5B는 시트 검사 장치(1)의 시작시, 도 5C는 시트 검사 장치(1)에 의한 검사 실시 후의 검증시에 있어서의 패턴 맵과 검사 문턱값과의 관계를 각각 나타내고 있다.

도 4에 도시한 바와 같이, 시트 검사 장치(1)의 시동에 있어서, 우선 검출하는 이상의 종류에 따른 불량 샘플 화상을 이용하여 각 화상으로부터 각 색성분의 휘도값을 추출하고, 각 이상의 종류에 따른 휘도값의 분포 상황을 취득한다(스텝 S101). 예컨대, 이상 부분을 포함하는 시트의 일부분(컷 샘플)을 시트 검사 장치(1)로 촬영하는 등 화상을 취득하고, 그 화상으로부터 휘도값을 추출할 수 있다. 여기서, 취득한 불량 샘플 화상 및 대응하는 특징량 분포는 불량품 정보 기억부(64)에 홀딩된다.

이어서, 스텝 S101에서 취득한 휘도값의 분포를 통합하여 가패턴 맵을 작성하고, 그 가패턴 맵에 기초하여 가문턱값을 설정한다(스텝 S102)(도 5A 참조). 그 문턱값의 설정은 각각의 색성분의 휘도값 마다 수행한다. 여기서, 설정한 문턱값은 검사 기준 기억부(62)에 홀딩된다.

이어서, 스텝 S102에서 설정한 가문턱값에 의해 올바르게 이상을 검출 가능한지 여부의 시운전을 수행한다. 예컨대, 컷 샘플이 아닌, 통상의 제품과 마찬가지로, 한 롤 만큼의 시트에 대해 연속적으로 시트 검사 장치(1)에 의한 검사를 실시한다(스텝 S103). 당해 롤 테스트에 의해, 피검사물(9)의 화상으로부터 추출되는 휘도값의 분포에 관한 데이터가 적어도 한 롤 만큼 취득할 수 있다. 이와 같이 하여 취득한 데이터는 기억 장치(6)에 축적하게 할 수도 있다.

또한 시운전은 반드시 롤 테스트에 의하지 않을 수도 있으며, 실(實) 라인의 시험 가동에 의한 것일 수도 있다. 예컨대, 검사 장치와 피검사물의 제조 공정(장치)이 일체화된 경우에는 이러한 방법이 효율적이다.

이어서, 스텝 S103의 시운전의 실시에 의해 취득된 휘도값의 분포 정보에 기초하여 가패턴 맵의 정보를 갱신하고, 검사용 패턴 맵을 작성한다(스텝 S104). 그리고, 검사용 패턴 맵에 기초하여 문턱값 보정의 실시 필요성을 판단한다(스텝 S105). 여기서 문턱값 보정을 실시할 필요가 없다고 판단된 경우에는 가문턱값을 정식 문턱값으로 하여 스텝 S107로 진행한다.

한편, 검사용 패턴 맵에 기초하여 문턱값 보정을 실시할 필요가 있다고 판단된 경우에는, 가문턱값을 보정하여 정식 문턱값으로 한다(스텝 S106). 도 5B는 가패턴 맵에 기초하여 설정한 “희미한 오염”의 가문턱값이, 검사용 패턴 맵에 의해 지합을 나타내는 휘도값 분포의 범위와 겹쳐지는 것이 판명되었기 때문에, 검사용 패턴 맵에 기초하여 “희미한 오염”의 문턱값을 보다 작은 값으로 수정하는 예를 나타내고 있다.

이와 같이 하여 정식 문턱값에 기초하여 검사 기준이 설정되고, 시트 검사 장치(1)가 정식 가동되면, 검사의 실시에 수반하여 피검사물(9)의 화상으로부터 추출되는 휘도값 분포에 관한 데이터가 수시 취득된다. 그 때문에, 이와 같이 하여 취득되는 데이터에 기초하여 패턴 맵을 적절히 갱신한다(스텝 S107).

이렇게 하여 검사의 실시에 의해 데이터가 축적될수록 패턴 맵의 정밀도는 높아지기 때문에, 적절한 타이밍에 고정밀도화된 패턴 맵에 기초하여 검사 기준의 수정 필요성 판단을 수행한다(스텝 S108). 여기서, 검사 기준의 수정이 필요없다고 판단되면 본 루틴을 일단 종료한다.

한편, 스텝 S108에서, 검사 기준의 수정이 필요하다고 판단된 경우에는 검사 기준을 적정화하도록 수정하고(스텝 S109), 본 루틴을 일단 종료한다. 여기서, 스텝 S108의 판단, 및 S109의 수정은, 예컨대, 다음과 같이 수행된다.

도 5C는, S103~S106의 스텝이 하나의 색성분에 의한 휘도값에 의해 수행되고, 하나의 색성분에 의한 휘도값만의 검사 기준으로 시트 검사 장치(1)에 의한 실검사가 수행된 경우, 그에 따라 취득된 데이터에 의해 패턴 맵이 더 갱신된 상태를 나타내는 도면이다. 이 패턴 맵에 의하면, 하나의 색성분의 휘도값에서는 “희미한 오염”의 이상을 놓치게 되거나, 또는 정상적인 지합을 “희미한 오염”의 이상으로 검출할 우려가 있음을 파악할 수 있다.

이 때문에, “희미한 오염”의 이상을 적절히 검출하기 위해 다른 색성분의 휘도값을 이용한 새로운 검사 기준을 설정한다. 예컨대, 상술한 검사 기준에서는 모든 이상 종류에 대해, 청색 성분의 휘도값을 이용하여 검사 기준을 설정한 경우, 새롭게 설정하는 검사 기준에서는 “희미한 오염”에 대해서는 적색 성분의 휘도값에 의한 문턱값을 이용하여 이상을 검출하도록 하고, 새로운 검사 기준을 설정할 수 있다. 또한 상술한 바와 같이 검사 기준이란 색성분의 종류와, 각각의 이상에 대응하는 문턱값과의 조합이기 때문에, 스텝 S103~스텝 S106과 같이 문턱값만을 수정하는 경우도, 색성분과 문턱값 중 어느 하나의 수정을 수행하는 경우도, 여기서 말하는 검사 기준의 수정에 해당한다.

또한 상기 스텝 S107~스텝 S109는 시트 검사 장치(1)가 가동되는 동안, 소정 간격으로 반복될 수도 있다. 이와 같이 하면, 검사 실적이 축적됨으로써, 검사 기준의 정밀도를 높일 수 있다. 또한, 패턴 맵의 갱신, 검사 기준의 최적화는 프로그램에 의해 자동적으로 수행하게 할 수도 있고, 오퍼레이터가 수동으로 수행하게 할 수도 있다.

＜변형예＞　

상기 실시예 1에서는, 제어반(2), 이상 검출부(5), 기억 장치(6)를 각각 별체의 구성으로 설명하였지만, 이상 검출부(5) 및/또는 기억 장치(6)가 제어반(2)에 일체로 설치되는 구성으로 할 수도 있다.

또한, 상기 실시예 1에서는 특징량을 휘도값으로 하였지만, 이를 예컨대 색상, 명도 또는 채도로 할 수도 있다. 이 경우, RGB 신호를 합성한 RGB 컬러 화상을 HSV 컬러 모델 등의 형식으로 변환하고, 변환 후의 각 화소가 갖는 값을 출력하기 위한 기능을 이상 검출부(5)에 부가해 둘 수 있다. 또한 RGB 컬러를 다른 컬러 모델로 변환하기 위한 방법은 기존의 주지 기술을 넓게 채용할 수 있다.

이와 같이 하면, 휘도를 특징량으로 하는 것에 비하여, 인간의 시각 기능에 가까운 컬러로 검사를 수행 가능함과 동시에, 이상의 종류, 정도에 따라 이상 검출에 적절한 지표를 추출할 수가 있다.

또한, 상기 실시예 1에서는, 투과용 가시광원(31)의 조사광은 백색의 가시광이었지만, 조명 수단에는 LED 등의 파장 영역이 제한된 것을 이용하거나, 또는 파장 필터를 이용하여 파장 영역을 제한한 것을 이용할 수도 있다. 또한, 투과용 적외광원(32)을 대신하여, 자외선을 조사하는 광원을 이용할 수도 있다. 이 경우, 카메라(4)를 자외선에도 감도를 갖는 센서를 구비하는 것으로 한다.

또한, 상기 실시예 1에서는, 특징량의 추출과 이상 검출 처리를 복수 라인 묶음의 화상마다 수행하였지만, 반드시 이와 같이 할 필요는 없고, 1 라인마다 특징량의 추출과 이상 검출 처리를 수행하게 할 수도 있다. 또한, 카메라(4)는 수광 소자를 직렬로 배치한 라인 센서 카메라였지만, 이를 종횡으로 센서를 배치한 에리어 센서 카메라로 할 수도 있다.

또한, 상기 실시예 1에서는, 투과용 가시광원(31), 투과용 적외광원(32)에 의해 피검사물(9)을 촬영하는 구성이었지만, 이를 반사광원에 의한 것으로 할 수도 있다. 또한, 이것들을 조합하여 투과광 및 반사광에 의해 피검사물(9)을 촬영하게 할 수도 있다. 또한, 피검사물(9)의 하면측에도 촬영 수단을 배치하고, 피검사물(9)의 상하면 각각에서 반사광에 의한 화상을 촬영하게 할 수도 있다. 이와 같이 하여 촬영된 다양한 화상으로부터 얻어지는 특징량에 기초하여 이상 검출 및 이상 종류의 판별을 수행함으로써, 보다 높은 정밀도의 검사를 수행할 수 있다.

＜실시예 2＞　

(시스템의 구성)

이어서, 본 실시예에 따른 검사 시스템(11)에 대해 설명한다. 또한, 본 실시예에서도, 특징량 분포 상황을 패턴 맵으로 하는 점, 그 패턴 맵에 기초하여 검사 기준을 설정하는 점에 대해서는 실시예 1의 경우와 같으므로, 상세한 설명은 생략한다. 기타, 검사 시스템(11)의 구성에 있어서, 실시예 1의 시트 검사 장치(1)와 동일한 기능을 발휘하는 것에 대해서는, 그 취지를 언급한 후, 상세한 설명은 생략한다.

도 6은 본 실시예에 따른 검사 시스템(11)의 구성예를 나타내는 블록도이다. 이 실시예의 검사 시스템(11)은, 관리 단말(12), 서버(13), 및 하나 이상의 검사 장치(14)가 통신 회선을 통해 서로 접속된 구성으로 되어 있다.

검사 장치(14)는 시트상 피검사물을 촬영하고, 취득된 화상을 처리하여 얻어지는 특징량을 미리 등록되어 있는 검사 기준과 대비함으로써, 피검사물의 이상 유무, 이상의 종류 등을 판정한다. 그것을 위한 하드웨어 구성으로서 시트 반송부, 카메라, 조명 장치, RAM, CPU 등을 포함한다. 또한, 모니터 등의 출력부나, 마우스 등의 입력부를 구비할 수도 있다. 또한 상기 “특징량”이란, 예컨대, 취득된 화상 데이터의 각 화소가 갖는 휘도, 명도, 채도, 색상 등이다.

관리 단말(12)은 전형적으로 디스플레이 모니터 등의 출력부(122), 키보드나 마우스 등의 입력부(121), RAM 등의 메모리(123), CPU 등의 처리부(124)를 구비한 거치형 단말이지만, 모바일형, 태블릿형 단말일 수도 있고, 검사 장치(14)와 일체로 구성될 수도 있다.

관리 단말(12)은 검사 장치(14)에서 사용하는 검사 기준의 설정(변경을 포함, 이하 동일)이나, 검사 프로그램의 작성(수정을 포함, 이하 동일) 외, 서버(13)에서 홀딩되는 패턴 맵, 제품 정보, 불량품 정보, 검사 장치 정보 등의 등록, 갱신이라는 작업에 이용된다. 또한, 상기 검사 기준의 설정은 패턴 맵에 기초하여 수행된다.

관리 단말(12)은 또한 후술하는 서버(13)에 축적되는 패턴 맵에 기초하여 피검사물의 제조 공정의 감시를 수행하는 제조 공정 관리부(125)를 구비하고 있다. 또한, 후술하는 서버(13)에 축적되는 패턴 맵에 기초하여 검사 장치(14)의 감시를 수행하는 검사 장치 관리부(126)을 구비하고 있다.

여기서, 제조 공정의 감시란, 제품의 품질에 영향을 주는 제조 공정의 이상 발생 여부의 판정을 계속적으로 수행하는 것을 말한다. 또한, 검사 장치(14)의 감시란, 검사 장치(14)의 물리적인 구성 요소에 열화, 고장 등의 이상 발생 여부의 판정을 계속적으로 수행하는 것을 말한다. 또한 본 실시예에서의 관리 단말(12)은 “제어 수단”에 해당한다.

서버(13)에는 다양한 데이터가 기억되어 있다. 예컨대, 패턴 맵, 검사 대상이 되는 제품의 정보, 검사 대상이 되는 제품마다의 불량품 정보(화상 데이터 등), 검사 장치(14)에 대한 정보라는 정보이다. 본 실시예에 있어서의 서버(13)가 “기억 수단”에 해당한다.

서버(13)에는 패턴 맵 기억부(131), 검사 기준 정보 기억부(132), 검사 프로그램 기억부(133), 불량품 정보 기억부(134), 제품 정보 기억부(135), 검사 장치 정보 기억부(136) 등이 설치된다.

패턴 맵 기억부(131)는 피검사물의 화상을 처리하여 얻어지는 특징량 분포 데이터를 패턴 맵으로서 홀딩하는 기능을 가지고 있다. 그 패턴 맵은 검사 대상이 되는 제품, 이상으로 검출되는 이상의 종류, 검사 장치(14)의 구성(사양을 포함, 이하 동일)에 따라, 특징량의 종류마다 작성, 홀딩되어 있다. 또한, 검사 대상이 되는 제품에 대해, 다른 구성의 검사 장치(14)에서의 검사 이력이 있는 경우, 또는 다른 구성의 검사 장치(14)에서 검사를 실시할 예정이 있는 경우에는, 그러한 다른 구성마다 대응하는 패턴 맵이 유지된다.

검사 기준 정보 기억부(132)에는 검사 대상이 되는 제품마다의 검사 기준이 홀딩되어 있다. 그 검사 기준은 이상 검출에 이용하는 특징량의 종류와 각 이상에 대응하는 문턱값과의 조합이다. 또한, 검사 대상이 되는 제품에 대해, 다른 구성의 검사 장치(14)에서의 검사 이력이 있는 경우, 또는 다른 구성의 검사 장치(14)에서 검사를 실시할 예정이 있는 경우에는, 그러한 다른 구성마다 대응하는 검사 기준이 홀딩된다.

검사 프로그램 기억부(133)에는 검사 대상이 되는 제품마다 대응하는 검사 프로그램이 홀딩되어 있다. 예컨대, 제품의 성질과 상태, 검사 장치(14)의 구성 등에 따라 어떠한 화상 데이터를 취득할지, 검사 기준과의 대비를 위해 어떠한 특징량을 추출할지 등 검사 장치(14)에 적절한 처리를 실행시키기 위한 정보가 홀딩된다.

불량품 정보 기억부(134)에는 제품마다 불량품 화상과, 그 화상과 대응하는 특징량 분포가 특징량의 종류마다 홀딩되어 있다. 또한 상기 불량품 화상은 샘플품의 화상일수도 있고, 적절히 축적되는 실제 불량품 화상일수도 있고, 이 모두가 홀딩되어 있을 수도 있다.

제품 정보 기억부(135)에는 검사 대상이 되는 제품마다의 사양에 관한 정보, 제조 공정에 관한 정보, 샘플 양품 화상 등이 홀딩되어 있다. 제품의 사양이란, 예컨대, 재질, 두께, 성김, 가공 방법 등이다.

검사 장치 정보 기억부(136)에는 검사 장치(14)에 관한 정보가 홀딩되어 있다. 구체적으로, 검사 장치의 제품 번호, 사양, 가동 실적, 검사 대상 제품, 메인터넌스 정보 등이다. 여기서, 사양에는, 예컨대, 촬영하는 화상의 종류(투과 화상, 반사 화상), 사용하는 광원의 종류(조사 방향, 파장), 카메라의 성능(탑재 센서, 분해 가능) 등이 포함된다. 또한 검사 장치(14)에 관한 정보는 현상의 검사 시스템(11) 내에 존재하는 검사 장치(14)에 관한 것에 한정되지 않는다.

서버(13)에 있어서의 이러한 각종 정보는 서로 참조·연동 가능하고, 이른바 관계 데이터 베이스로서 기능한다. 이 때문에, 하나의 관점에 기초한 검색에 의해 임의의 정보에 용이하게 액세스 가능하게 되어 있다.

(관리 단말에 의한 정보의 관리 및 활용)

본 실시예에 따른 검사 시스템(11)에는 복수의 검사 장치(14)를 포함할 수 있다. 동일 사양의 장치, 동일 제품을 검사 대상으로 하는 검사 장치(14)를 복수 포함할 수도 있고, 다른 사양의 장치 및/또는 다른 제품을 검사 대상으로 하는 검사 장치(14)를 복수 포함할 수도 있다. 그리고, 이것들에 관한 다양한 정보가 서버(13)에 홀딩되고, 그 정보는 관리 단말(12)에 의해 관리, 활용된다. 이 때문에, 본 실시예에서는 패턴 맵을 다음과 같이 활용할 수 있다.

예컨대, 동일 제품을 복수의 검사 장치(14)에 의해(즉 복수의 라인에서) 검사하는 경우, 각각의 라인 마다의 검사 실적에 따라 패턴 맵이 갱신된다. 도 7은 이와 같이 동일 제품에 대해, 동일한 특징량의 패턴 맵이 복수 존재하는 경우, 이러한 패턴 맵을 통합하여 새로운 패턴 맵으로 하는 것을 나타내는 도면이다.

도 7A는 제1 검사 장치에 의해 취득된 특징량에 기초한 패턴 맵을 나타내고, 도 7B는 제2 검사 장치에 의해 취득된 특징량에 기초한 패턴 맵을 나타내며, 도 7C는 이러한 두 개의 패턴 맵을 통합한 새로운 패턴 맵을 나타내고 있다.

이와 같이, 복수 라인에서의 검사 실적에 기초하여 통일적으로 패턴 맵을 갱신하고, 이에 따라 검사 기준을 설정하면, 동일한 제품을 동일한 특징량으로 검사하는 검사 장치(14) 모두에 당해 검사 기준을 피드백할 수 있고, 동일 제품에 대한 검사 품질의 불균형을 방지할 수 있다.

또한, 서버(13)가 검사 장치(14)와는 별체가 되는 구성으로 함으로써, 예컨대, 설비 갱신에 의해 검사 장치(14)를 신규한 것으로 전환하였을 때도, 갱신 전의 장치에 의한 패턴 맵 및 검사 기준을 계승하여 초기 검사에 이용하는 것이 용이하다.

(관리 단말에 의한 제조 공정 감시)

이어서, 관리 단말(12)에 의해, 피검사물의 제조 공정의 감시를 수행하는 방법에 대해 설명한다. 서버(13)에는 검사 대상이 되어 있는 제품마다 패턴 맵이 격납되어 있고, 검사 장치(14)에 의한 검사가 실시되면, 그에 따라 피검사물의 화상으로부터 추출되는 휘도값의 분포에 관한 데이터가 취득된다.

여기서, 제조 공정 관리부(125)는 대상 제품의 패턴 맵과 검사 장치(14)로부터 취득되는 특징량 분포를 비교하여, 정상적인 지합 부분의 분포 상황이 패턴 맵과의 대비에 있어서 허용 가능한 범위의 일탈 여부를 판정한다.

또한, 새로운 종류의 이상이 검출되었는지 여부, 즉 종래 상정하지 않은 특징량 분포 상황의 데이터가 취득되었는지 여부에 대해서도 판정하게 할 수도 있다.

예컨대, 피검사물로부터 종래의 이상이 검출되지 않은 경우라도(즉, 미리 설정된 검사 기준에 의한 문턱값을 넘지 않더라도), 정상적인 지합 부분의 특징량 분포 상황이 기준이 되는 패턴 맵으로부터 일탈되어 있다면, 제품의 품질에 문제가 발생한 것으로 생각할 수 있다. 이 경우, 제품의 제조 공정에 있어서, 어떠한 이상이 발생하였다는 경고를 발하도록 할 수도 있다. 또한 상기 처리는 소정 간격을 두고 계속적으로 실시됨으로써, 계속적인 제조 공정의 관리가 가능해진다.

(관리 단말에 의한 검사 장치 감시)

또한, 관리 단말(12)에 의해, 검사 장치(14)의 감시를 수행하는 방법에 대해 설명한다. 검사 장치 관리부(126)는 동일 제품에 대해 동일한 검사 장치(14)를 이용하여 검사를 수행하는 경우, 당해 검사에 이용되는 패턴 맵과 검사 장치(14)로부터 취득되는 특징량 분포를 비교하고, 정상적인 지합 부분의 분포 상황이 패턴 맵과의 대비에 있어서 허용 가능한 범위의 일탈 여부를 판정한다.

예컨대, 검사 장치(14)에 의해 취득된 특징량 분포가 패턴 맵과 비교하여 전체적으로 낮은 값으로 시프트하고 있는 경우에는, 검사 장치(14)의 조명 장치 또는 촬영 장치가 열화되어 있는 것이 상정된다.

또한, 새로운 종류의 이상이 검출되었는지 여부, 즉 종래 상정하지 않은 특징량 분포 상황의 데이터가 취득되었는지 여부에 대해 판정하게 할 수도 있다. 예컨대, 시트 반송 장치의 이상 등에 의해, 종래 상정하지 않은 특징량 분포 상황이 발생하는 것 등도 생각할 수 있다.

또한, 상기와 같은 경우에는, 검사 장치(14)에 어떠한 이상이 발생한 것으로 간주하여 경고를 발하도록 할 수 있다. 또한 상기 처리는 소정의 간격을 두고 계속적으로 실시됨으로써, 계속적인 제조 공정의 관리가 가능해진다.

또한 본 실시예의 검사 장치(14)의 감시에 대해서는, 검사 장치(14)가 피검사물의 제조 공정과는 독립된 장치인 것을 전제로 설명하였지만, 검사 장치(14)가 제조 공정 내에 설치되는 구성으로 할 수도 있다. 그 경우, 상기 시트 반송 장치는 제조 공정과 공유의 것이 된다.

＜기타＞　

상기 각 실시예는 본 발명을 예시적으로 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 상기 구체적인 태양에 한정되지 않는다. 본 발명은 그 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 변형 및 조합이 가능하다. 예컨대, 상기 각 실시예의 검사 장치는 클라우드 컴퓨팅에 의해, 클라우드 서버나 외부 관리용 단말과 접속되어 있는 구성으로 할 수도 있다.

1 시트 검사 장치　
2 제어반
31 투과용 가시광원
32 투과용 적외광원
4 카메라
5 이상 검출부
6 기억 장치
9 피검사물
11 검사 시스템
12 관리 단말
13 서버
14 검사 장치

Claims (10)

1. 시트상 피검사물을 검사하는 시트 검사 장치로서,
   상기 피검사물에 대해 광을 조사하는 조명 수단;
   그 조명 수단으로부터 상기 피검사물로 조사된 광의 반사광 및/또는 투과광에 의해 상기 피검사물의 화상을 촬영하는 촬영 수단;
   그 촬영 수단에 의해 촬영된 화상의 화상 데이터를 처리하여 얻어지는 특징량 분포 상황으로부터 상기 피검사물에 포함되는 이상을 검출하는 이상 검출 수단; 및
   상기 피검사물의 이상이 없는 부분 및 이상 부분을 나타내는 상기 특징량 분포 상황을 패턴 맵으로서 유지하는 기억 수단;을 구비하고 있고,
   상기 이상 검출 수단은 상기 패턴 맵에 기초하여 상기 피검사물의 이상을 검출하는 것을 특징으로 하는 시트 검사 장치.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 이상 검출 수단은 상기 패턴 맵에 기초하여 설정된 문턱값을 이용하여 상기 피검사물의 이상을 검출하는 것을 특징으로 하는 시트 검사 장치.
3. 청구항 1 또는 2에 있어서,
   상기 기억 수단은 불량품의 화상 데이터 및/또는 불량품의 화상 데이터를 처리하여 얻어지는 특징량을 더 유지하고 있고,
   상기 이상 검출 수단은 불량품의 화상 데이터를 처리하여 얻어지는 특징량에 기초하여 설정된 문턱값을 이용함으로써 이상을 검출 가능한 것을 특징으로 하는 시트 검사 장치.
4. 청구항 1 또는 2에 있어서,
   상기 기억 수단에는 상기 피검사물의 사양, 이상의 종류, 상기 시트 검사 장치의 구성 중 어느 하나 이상의 항목마다 대응하는 상기 패턴 맵이 홀딩되고 있는 것을 특징으로 하는 시트 검사 장치.
5. 청구항 1 또는 2에 있어서,
   상기 특징량에는 적어도 휘도, 명도, 채도, 색상 중 어느 하나를 포함하는 복수의 종류가 있고,
   상기 기억 수단에는 다른 종류의 특징량마다 대응하는 상기 패턴 맵이 홀딩되고 있는 것을 특징으로 하는 시트 검사 장치.
6. 청구항 1 또는 2에 있어서,
   상기 이상 검출 수단 및 상기 기억 수단을 제어하는 제어 수단을 더 가지고 있고, 그 제어 수단은 상기 패턴 맵을 작성 및/또는 갱신하는 것을 특징으로 하는 시트 검사 장치.
7. 청구항 6에 있어서,
   상기 패턴 맵의 작성 및/또는 갱신은 상기 피검사물의 검사를 실시함으로써 수집되는 데이터에 기초하여 행해지는 것을 특징으로 하는 시트 검사 장치.
8. 청구항 6에 있어서,
   상기 제어 수단은 이전 검사시의 상기 특징량 분포 상황과 이후 검사시의 상기 특징량 분포 상황과의 차이에 기초하여 상기 피검사물의 제조 공정의 감시를 수행하는 것을 특징으로 하는 시트 검사 장치.
9. 청구항 6에 있어서,
   상기 제어 수단은 이전 검사시의 상기 특징량 분포 상황과 이후 검사시의 상기 특징량 분포 상황과의 차이에 기초하여 상기 시트 검사 장치의 감시를 수행하는 것을 특징으로 하는 시트 검사 장치.
10. 시트상 피검사물을 검사하기 위한 검사 시스템으로서,
    상기 피검사물에 대해 광을 조사하는 조명 수단과, 그 조명 수단으로부터 상기 피검사물로 조사된 광의 반사광 및/또는 투과광에 의해 상기 피검사물의 화상을 촬영하는 촬영 수단과, 그 촬영 수단에 의해 촬영된 화상의 화상 데이터를 처리하여 얻어지는 특징량 분포 상황으로부터 상기 피검사물에 포함되는 이상을 검출하는 이상 검출 수단을 구비하는 검사 장치와,
    피검사물의 이상이 없는 부분 및 이상 부분을 나타내는 상기 특징량 분포 상황을 패턴 맵으로서 유지하는 기억 수단과,
    상기 이상 검출 수단 및 상기 기억 수단을 제어하고, 상기 패턴 맵을 작성 및/또는 갱신하는 제어 수단을 가지고 있고,
    상기 검사 장치의 이상 검출 수단은 상기 패턴 맵에 기초하여 상기 피검사물의 이상을 검출하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템.

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