JP5702404B2 - センサ内均一性補正を使用した光学的ウェブベース欠陥検出 - Google Patents
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Description
例えば、目標正規化値を100とすると、ピクセル位置P1の倍率SP1は、以下のように計算され得る。
同様に、ピクセル位置P2の倍率SP2は、以下のように計算され得る。
図6Bでは、正規化背景信号120は、上記のように計算した倍率を使用してゲインベース正規化を適用することにより達成され得る。図示したように、正規化背景信号120は、ウェブ横断方向で均一に平らであり、較正用背景材料でスキャンを行うと、各ピクセル位置は100の正規化光量を生じる。しかしながら、ここで適用した技法は、背景光度信号の較正に対しては方法を適用して均一な装置内応答を達成できるが、ゲインのみの方法は欠陥検出に対して必ずしも均一なシステム応答を達成できないことが認められる。すなわち、ここでの技法は、欠陥検出に対するシステム応答が、背景変動に対するシステム応答とは異なることがあるという認識に基づいている。
例えば、目標正規化値を100とすると、ピクセル位置P1のオフセットOP1は、以下のように計算され得る。
同様に、ピクセル位置P2のオフセットOP2は、以下のように計算され得る。
図6Cに示すように、正規化背景信号130は、上記で計算したオフセットを背景材料から得た未加工ビデオ110に加えることでオフセットベース正規化を適用することにより達成され得る。図示したように、正規化背景信号130は、ウェブ横断方向で均一に平らであり、較正用背景材料をスキャンすると、各ピクセル位置は100単位の正規化光量を生じる。しかしながら、上述したように、ここで適用した技法は、ゲインのみの方法のように、背景の較正に対してはオフセットのみの方法を適用して均一な装置内応答を達成できるが、オフセットのみの方法は欠陥検出に対して必ずしも均一なシステム応答を達成できないことが認められる。
pi=0.2×1.11×90+0.8×(90+10)
得られるピクセルP1での正規化ピクセル値は、以下のとおりである。
同様に、ピクセル位置P2での未加工背景光量の読み取り値130単位は、100の値に正規化されるであろう。
pi=0.5×SP1×90+0.5×(90+OP1)
が選択され、各ピクセル位置での未加工画像値を正規化するよう使用されるであろう。式中、SP1及びOP1は、そのピクセルでの未加工背景光度値を目標光度値に個別に正規化する、ゲインベースの倍率及びオフセット値をそれぞれ表す。選択した係数を装置内ピクセル正規化アルゴリズムに使用すると、図8の模擬データは、画像取り込み装置の視界全体でウェブ横断方向での背景信号及び欠陥検出の両方に対するシステム応答の正規化を達成することができる。
Claims (1)
- 製造材料から画像データを取り込むための画像取り込み装置であって、前記画像データが前記画像取り込み装置の視界に対するピクセル値を含む、画像取り込み装置と、
前記画像取り込み装置の背景信号を正規化するための複数の異なるピクセル正規化アルゴリズムのパラメーターを格納するコンピュータ読み取り可能な媒体であって、前記コンピュータ読み取り可能な媒体が前記複数のピクセル正規化アルゴリズムのそれぞれの係数を更に格納する、コンピュータ読み取り可能な媒体と、
前記格納されたパラメーターを使用して少なくとも2つの前記ピクセル正規化アルゴリズムの適用から得た結果の加重和として前記画像データの各ピクセルの正規化値を計算する、解析用コンピュータであって、前記格納された係数が前記異なるピクセル正規化アルゴリズムのそれぞれの結果に対する重み付けを定義し、前記解析用コンピュータが、高次の多項式を適用することにより各ピクセルの前記正規化値を計算し、その中で、複数の異なる正規化法がピクセル毎に適用され、前記係数を重み付けとして使用して結果が合計される、解析用コンピュータと、
を含む、システム。
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