TW202100991A - 外觀檢查管理系統、外觀檢查管理裝置、外觀檢查管理方法以及程式 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種技術，支援使用者進行在外觀檢查裝置中用作缺陷判定指標的特徵量的篩選、及每個特徵量的閾值的設定。外觀檢查管理系統包括：外觀檢查部件，基於從拍攝被檢查物所得的圖像獲取的特徵量，來檢查被檢查物的缺陷；顯示部件；記憶部件，記憶缺陷圖像資料，缺陷圖像資料至少包含從由外觀檢查部件判定為被檢查物的缺陷的部位的圖像獲得的特徵量的資訊；特徵量分佈圖製作部件，製作多個特徵量分佈圖，特徵量分佈圖是將特徵量的資訊映射到規定的坐標系中；以及特徵量選擇輔助部件，將特徵量分佈圖製作部件所製作多個特徵量分佈圖依據規定的規則配置而成的特徵量俯瞰圖，顯示於顯示部件。

Description

外觀檢查管理系統、外觀檢查管理裝置、外觀檢查管理方法以及程式
本發明是有關於一種外觀檢查，其是基於對被檢查物照射照明光而拍攝的被檢查物的圖像來進行所述被檢查物的檢查，具體而言，本發明涉及一種外觀檢查管理系統、外觀檢查管理裝置、外觀檢查管理方法以及程式。
以往，已知有一種外觀檢查裝置，其基於對被檢查物照射照明光而拍攝的被檢查物的圖像，來進行被檢查物的檢查。
例如，專利文獻1中公開了一種檢查裝置，其對藉由將可見光或紫外光照射向片材（sheet）並利用攝影機來拍攝其透射光或反射光而獲得的圖像進行分析，由此來檢測片材中的異常（異物混入、污損、褶皺等，以下也稱作缺陷）。
此種外觀檢查裝置中，可認為，加入越多的作為檢查指標的特徵量來執行檢查，檢查結果中的雜訊將變得越少，但相應地存在與檢查相關的處理變得越重，檢查速度越下降的問題。
與此相對，近年來提出了多種藉由機器學習來生成用於缺陷的判定、分類的指標以提高檢查精度的方案，例如在專利文獻2中記載了一種分類器生成裝置，其以縮減所使用的特徵量的種類而加快處理速度為目的，藉由機器學習而生成基於多種特徵量來對圖像進行分類的圖像分類器。 [現有技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本專利特開2015-172519號公報 專利文獻2：日本專利特開2016-109495號公報
[發明所欲解決之課題]
此外，儘管藉由如上所述的機器學習而生成的分類器（所謂的人工智慧（Artificial Intelligence，AI））能夠得出精度佳的結果，但藉由何種指標來進行判定處理尚不明（所謂的判斷的黑箱（black box）化）。因此存在下述問題：無法直接將AI的判斷結果有效利用於外觀檢查裝置的檢查基準的設定。而且，存在下述等問題，即：判斷結果的根據原本就不明這一情況自身也使得產生問題時的分析變得困難。
本發明是有鑒於如上所述的實際情況而完成，其目的在於提供一種技術，支援使用者進行在外觀檢查裝置中用作缺陷判定指標的特徵量的篩選及每個特徵量的閾值設定。 [解決課題之手段]
為了達成所述目的，本發明採用以下結構。
本發明的第一外觀檢查管理系統的特徵在於包括：外觀檢查部件，基於從拍攝被檢查物所得的圖像獲取的特徵量，來檢查所述被檢查物的缺陷；顯示部件；記憶部件，記憶缺陷圖像資料，所述缺陷圖像資料至少包含從由所述外觀檢查部件判定為所述被檢查物的缺陷的部位的圖像獲得的特徵量的資訊；特徵量分佈圖製作部件，製作多個特徵量分佈圖，所述特徵量分佈圖是將所述特徵量的資訊映射到規定的坐標系中；以及特徵量選擇輔助部件，將所述特徵量分佈圖製作部件所製作多個特徵量分佈圖依據規定的規則配置而成的特徵量俯瞰圖，顯示於所述顯示部件。
另外，被用作特徵量的指標考慮有各種指標，例如可適用圖像的亮度（深淺）分佈、亮度的峰值等級（peak level）、面積、寬度、長度、最長最短費雷特徑（Feret's diameter）比、圓度等多個種類的指標。 而且，以下，將在所述外觀檢查部件中拍攝的被檢查物的圖像也稱作被檢查物圖像。
根據此種結構的檢查管理系統，使用者能夠一邊參照所述特徵量俯瞰圖，一邊進行用作檢查裝置的判定指標的特徵量的篩選，即便是沒有檢查技術（know-how）的新人等，也能夠選擇對於檢查精度的提高有效的特徵量。
而且，所述缺陷圖像資料也可包含從被判定為所述被檢查物的缺陷的部位的圖像獲得的特徵量的種類、值以及附注資訊，所述附注資訊至少表示被判定為所述缺陷的結果的真偽。而且，所述記憶部件也可記憶能夠在所述外觀檢查部件的檢查中設定為缺陷判定指標的多種特徵量的專案與所述缺陷圖像資料。而且，所述特徵量分佈圖也可為從所述多種特徵量的專案中提取兩種項目，並使所述缺陷圖像資料的特徵量能夠在視覺上識別地反映所述附注資訊地映射到將所述兩種專案設為橫軸、縱軸的坐標系中。而且，所述特徵量俯瞰圖亦可為根據配置如下所述的所述特徵量分佈圖的規則來將所述多個特徵量分佈圖配置而成：所述特徵量分佈圖是將所述多種特徵量的專案分別並列排列於橫軸與縱軸，進而在排列於橫軸的特徵量的專案與排列於縱軸的特徵量的專案交叉的部位，將所述橫軸的專案的特徵量的值設為橫軸，將所述縱軸的專案的特徵量的值設為縱軸。而且，所述特徵量分佈圖製作部件也可以所有種類的特徵量的所有組合成立的方式，來製作多個所述特徵量分佈圖。另外，此處所說的所有種類的特徵量的所有組合成立是指也包含橫軸與縱軸的專案的調換的模式（pattern）。
藉由具有此種特徵，使用者能夠根據多個特徵量的組合，而在視覺上掌握缺陷判定的真偽的偏差是如何產生。由此，例如能夠容易地選擇真的缺陷圖像資料的分佈偏差少的特徵量組合。
而且，所述檢查管理系統也可還包括：判定指標設定部件，受理用戶的輸入，藉由設定特徵量的種類及閾值，來製作一個以上的所述外觀檢查部件中的缺陷的判定指標。另外，此處所說的閾值的“設定”也包含變更，以下，在本說明書中進行同樣解釋。若為此種結構，則使用者能夠一邊參照所述特徵量俯瞰圖，一邊設定判定指標，因此能夠設定精度高的判定指標。
而且，所述特徵量選擇輔助部件也可將由所述判定指標設定部件所設定的特徵量的種類及閾值顯示為相對於所述特徵量俯瞰圖的視覺表現。作為視覺表現的示例，例如也能夠採用：針對多個特徵量分佈圖而橫斷（縱斷）地劃出閾值的線（line）來顯示；同樣地針對多個特徵量分佈圖，高亮（high light）顯示篩檢程式的實施範圍等。
而且，所述特徵量選擇輔助部件也可使原缺陷數圖表和新篩檢程式適用缺陷數圖表與所述特徵量俯瞰圖能夠同時或切換地顯示於所述顯示部件，所述原缺陷數圖表表示所述缺陷圖像資料的數量，所述新篩檢程式適用缺陷數圖表相對於所述原缺陷數圖表而反映出藉由所述判定指標設定部件進行了設定的情形下所述外觀檢查部件的檢查結果的變化。而且，所述原缺陷數圖表也可以能夠在視覺上識別所述附注資訊的方式來表示所述缺陷圖像資料的數量。
另外，此處所說的檢查結果的“變化”，是在也包含不產生變化的含義下使用。若為此種結構，則能夠容易地識別出經由判定指標設定部件而設定的判定指標會對檢查結果造成何種影響，從而能夠更有效率地進行特徵量的種類及閾值的設定。
而且，在所述判定指標設定部件中，製作要使用的特徵量的種類或閾值不同的多個判定指標時，所述特徵量選擇輔助部件每當進行與各個判定指標相關的特徵量的種類或閾值的設定時，也可階段性地顯示反映出所述設定的所述新篩檢程式適用缺陷數圖表。
藉由採用此種結構，從而在使用多個判定指標的情況下，能夠以對話方式來進行甚至包括判定指標的適用順序在內的最佳的特徵量篩選。
而且，所述附注資訊中也可包含缺陷的種類。根據此種結構，也能夠針對每種缺陷來製作所述特徵量俯瞰圖等，從而根據缺陷的種類來進行有效的特徵量的篩選。
而且，本發明的第一外觀檢查裝置是一種外觀檢查管理裝置，其至少包括特徵量分佈圖製作部件與特徵量選擇輔助部件。
而且，所述的外觀檢查系統也可包括：搬送部件，連續搬送片材狀的被檢查物；拍攝部件，連續拍攝搬送中的所述被檢查物；外觀檢查部件，對比從利用所述拍攝部件所拍攝的被檢查物圖像獲得的特徵量與規定的閾值，由此來進行判定，從而檢測所述被檢查物的缺陷部位；顯示部件；記憶部件，記憶缺陷圖像資料，所述缺陷圖像資料至少包含從利用所述外觀檢查部件判定為所述被檢查物的缺陷的部位的圖像所獲得的特徵量的資訊；特徵量分佈圖製作部件，製作多個特徵量分佈圖，所述特徵量分佈圖是將所述特徵量的資訊映射到規定的坐標系中；以及特徵量選擇輔助部件，將所述特徵量分佈圖製作部件所製作多個特徵量分佈圖依據規定的規則配置而成的特徵量俯瞰圖，顯示於所述顯示部件。
而且，本發明的第二外觀檢查管理系統包括：外觀檢查部件，基於從拍攝被檢查物所得的圖像獲取的特徵量，來至少檢查所述被檢查物的缺陷；顯示部件；記憶部件，至少記憶多種特徵量的專案與缺陷圖像資料，所述多種特徵量的專案能夠設定為所述外觀檢查部件中的缺陷的判定指標，所述缺陷圖像資料包含從被判定為所述被檢查物的缺陷的部位的圖像所獲得的特徵量的種類及值；判定指標設定部件，藉由設定特徵量的種類及閾值，來製作一個以上的所述外觀檢查部件中的缺陷的判定指標；以及指標設定輔助部件，在所述判定指標設定部件中，製作要使用的特徵量的種類不同的多個判定指標時，使缺陷分離圖顯示於所述顯示部件，所述缺陷分離圖階段性地表示重疊使用各個判定指標的情形下所述外觀檢查部件中的檢查結果的變化。而且，所述指標設定輔助部件所示的缺陷分離圖亦可為長條圖（histogram）。
根據此種結構的檢查管理系統，使用者在設定多個判定指標時，能夠逐步地以對話方式來確認以何種順序來加入具有何種特徵量的判定指標、與能進行怎樣的縮減。因此，包括判定指標的適用順序在內的最佳的特徵量及其閾值的篩選成為可能。
而且，所述指標設定輔助部件也可使原缺陷數圖表和新篩檢程式適用缺陷數圖表與所述缺陷分離圖能夠同時或切換地顯示於所述顯示部件，所述原缺陷數圖表表示所述缺陷圖像資料的數量，所述新篩檢程式適用缺陷數圖表相對於所述原缺陷數圖表而反映出藉由所述判定指標設定部件進行了設定的情形下所述外觀檢查部件的檢查結果的變化。
若為此種結構，則能夠容易地識別出經由判定指標設定部件而設定的判定指標會對檢查結果造成何種影響，從而能夠更有效率地進行特徵量的種類及閾值的設定。
而且，所述缺陷圖像資料也可包含缺陷種類的資訊。若為此種結構，則能夠反映出缺陷種類的不同而製作所述缺陷分離圖。因此，能夠根據缺陷的種類來選擇有效的判定指標。
而且，本發明的第二外觀檢查管理裝置至少包括判定指標設定部件以及指標設定輔助部件。
而且，所述的外觀檢查管理系統也可包括：搬送部件，連續搬送片材狀的被檢查物；拍攝部件，連續拍攝搬送中的所述被檢查物；外觀檢查部件，對比從利用所述拍攝部件所拍攝的被檢查物圖像獲得的特徵量與規定的閾值，由此來進行判定，從而檢測所述被檢查物的缺陷部位；顯示部件；記憶部件，至少記憶多種特徵量的專案與缺陷圖像資料，所述多種特徵量的專案能夠設定為所述外觀檢查部件中的缺陷的判定指標，所述缺陷圖像資料包含從被判定為所述被檢查物的缺陷的部位的圖像所獲得的特徵量的種類及值；判定指標設定部件，藉由設定特徵量的種類及閾值，來製作一個以上的所述外觀檢查部件中的缺陷的判定指標；以及指標設定輔助部件，在所述判定指標設定部件中，製作要使用的特徵量的種類不同的多個判定指標時，使缺陷分離圖顯示於所述顯示部件，所述缺陷分離圖階段性地表示重疊使用各個判定指標的情形下所述外觀檢查部件中的檢查結果的變化。
而且，本發明的第一外觀檢查管理方法對被檢查物的外觀檢查進行管理，所述外觀檢查管理方法包括：資料獲取步驟，獲取多種特徵量的專案與缺陷圖像資料，所述多種特徵量的專案能夠在所述外觀檢查中設定為缺陷的判定指標，所述缺陷圖像資料包含從被判定為所述被檢查物的缺陷的部位的圖像所獲得的特徵量的種類、值及附注資訊，所述附注資訊至少表示缺陷判定結果的真偽；特徵量分佈圖製作步驟，以所有種類的特徵量的所有組合成立的方式，來製作多個特徵量分佈圖，所述特徵量分佈圖是從在所述資料獲取步驟中獲取的所述多種特徵量的專案提取兩種項目，並使所述獲取的缺陷圖像資料的特徵量在視覺上反映所述附注資訊地映射到將所述兩種專案設為橫軸、縱軸的坐標系中；以及特徵量選擇輔助步驟，顯示將如下所述的所述特徵量分佈圖配置而成的特徵量俯瞰圖：所述特徵量分佈圖是將所述多種特徵量的專案分別並列排列於橫軸與縱軸，進而在排列於橫軸的特徵量的專案與排列於縱軸的特徵量的專案交叉的部位，將所述橫軸的專案的特徵量的值設為橫軸，將所述縱軸的專案的特徵量的值設為縱軸。
而且，本發明的第二檢查管理方法對被檢查物的外觀檢查進行管理，所述外觀檢查管理方法包括：資料獲取步驟，獲取多種特徵量的專案與缺陷圖像資料，所述多種特徵量的專案能夠在所述外觀檢查中設定為缺陷的判定指標，所述缺陷圖像資料包含從被判定為所述被檢查物的缺陷的部位的圖像所獲得的特徵量的種類及值；判定指標製作步驟，藉由設定特徵量的種類及閾值，來製作所述外觀檢查中的缺陷的判定指標；以及指標設定輔助步驟，在所述判定指標製作步驟中，每當進行與判定指標相關的特徵量的種類及閾值的設定時，顯示缺陷分離圖，所述缺陷分離圖階段性地表示反映出所述設定的情形下所述外觀檢查的結果的變化。
而且，本發明也能夠理解作為記憶媒體，其記憶用於使資訊處理裝置執行所述各方法的程式，其為非暫時地記錄有此種程式的電腦可讀取的記憶媒體。
而且，各個所述結構及處理只要不會產生技術性的矛盾，便能夠相互組合而構成本發明。 [發明的效果]
根據本發明，能夠提供一種技術，支援使用者進行在外觀檢查裝置中用作缺陷判定指標的特徵量的篩選、及每個特徵量的閾值的設定。
以下，參照附圖來說明本發明的實施方式。
＜適用例＞ （適用例的結構） 本發明例如能夠適用於圖1所示的外觀檢查管理系統9。圖1是表示本適用例的外觀檢查管理系統9的概略結構的概略示意圖。外觀檢查管理系統9是包括外觀檢查裝置91與檢查管理裝置92而構成。
外觀檢查裝置91是拍攝檢查物件物（未圖示）的圖像，並基於所述圖像來對檢查物件物的缺陷有無進行檢查的裝置，如圖1所示，作為主要的結構，具有作為照明部件的光源911、作為拍攝部件的攝影機912、及作為檢查部件的控制終端913。
光源911構成為，可對檢查物件物及校準用標準板95照射照明光。攝影機912是對被照射有照明光的狀態的檢查物件物進行拍攝，並輸出數位圖像的拍攝部件。另外，以下，也將由拍攝部件所拍攝的檢查物件物的圖像稱作被檢查物圖像。攝影機912例如是具有光學系統與影像感測器（image sensor）而構成。
控制終端913具有光源911及攝影機912的控制、對從攝影機912導入的圖像的處理等功能，相當於本發明中的檢查部件。控制終端913能夠包含電腦（computer），所述電腦包括中央處理器（Central Processing Unit，CPU）、隨機存取記憶體（Random Access Memory，RAM）、非易失性的記憶裝置（例如硬碟驅動器（hard disk drive）、快閃記憶體（flash memory）等）、輸入裝置（例如鍵盤（keyboard）、滑鼠（mouse）、觸控面板（touch panel）等）。
當在具有如上所述的結構的外觀檢查裝置91中進行檢查物件物的外觀檢查時，藉由攝影機912來拍攝從光源911照射有照明光的狀態的檢查物件物的圖像，控制終端913對所拍攝的圖像進行影像處理，藉由所獲得的特徵量的值與預先設定的檢查閾值的對比，將具有偏離閾值的特徵量的部位判定為缺陷。
（控制終端） 繼而，對控制終端913所具有的功能進行說明。控制終端913包含圖像獲取部9131、特徵量計算部9132、缺陷判定部9133，以作為與外觀檢查相關的功能模組。
圖像獲取部9131是從攝影機912導入圖像的功能，例如獲取被照射有照明光的狀態的檢查物件物的被檢查物圖像。特徵量計算部9132是基於被檢查物圖像來算出用於外觀檢查的特徵量的功能。另外，特徵量並不限於一個，例如也可算出圖像的亮度（深淺）分佈、亮度的峰值等級、面積、寬度、長度、最長最短費雷特徑比、圓度等各種特徵量。
缺陷判定部9133將特徵量計算部9132所算出的特徵量與預先設定的閾值進行對比，將具有偏離閾值的特徵量的部位判定為缺陷。
檢查管理裝置92能夠包含電腦，所述電腦包括CPU、RAM、記憶裝置923、輸入裝置、顯示部93。在記憶裝置923中，至少記憶從外觀檢查裝置91發送的缺陷圖像資料。此處，在缺陷圖像資料中，包含從被判定為被檢查物的缺陷的部位的圖像獲得的特徵量的種類、值及附注資訊，所述附注資訊表示藉由目測檢查而判定的一次檢查的真偽。
檢查管理裝置92具有特徵量分佈圖製作部921、特徵量選擇輔助部922，以作為功能模組。特徵量分佈圖製作部921是製作特徵量分佈圖的功能，所述特徵量分佈圖依據規定的特徵量而映射有記憶於記憶裝置923的缺陷圖像資料。所謂特徵量分佈圖，是指從預先設定有多個的特徵量的專案中提取兩種項目，使圖像資料映射到將兩種專案中的其中一個設為橫軸、將另一個設為縱軸的坐標系中。若作進一步詳細說明，則根據記憶於記憶部923的各缺陷圖像資料所具有的特徵量的值，來將各個影像對應到所述坐標系中。進而，對於缺陷圖像資料中的表示真的缺陷的圖像資料，例如進行顏色區分等而予以顯示，以便能夠在視覺上區分此資料。特徵量分佈圖製作部921以所有種類的特徵量的所有組合成立的方式，來製作多個此種特徵量分佈圖。
特徵量選擇輔助部922是使將所述多個特徵量分佈圖依據規定的規則而配置成格子狀的特徵量俯瞰圖顯示於所述顯示部93的功能。特徵量俯瞰圖是將如下所述的所述特徵量分佈圖配置而成者，所述特徵量分佈圖是將所述設定有多個的特徵量的專案分別並列排列於橫軸與縱軸，針對所述排列的每個特徵量的專案，在對應的軸取所述專案的特徵量。若作進一步詳細說明，則配置如下所述的所述特徵量分佈圖，即，在排列於橫軸的一個特徵量的專案與排列於縱軸的一個特徵量的專案交叉的位置，橫軸取所述橫軸專案的特徵量的值，縱軸取縱軸專案的特徵量的值。
圖2表示特徵量選擇輔助部922在顯示部93上顯示的特徵量俯瞰圖的一例。圖2中，橫軸與縱軸取亮度峰值等級、圓度、最長最短費雷特徑比這三種特徵量的特徵量分佈圖也包含同種特徵量彼此的組合，且以所有組合成立的方式而配置成格子狀（所謂的迴圈聯賽表格式）。
在各特徵量分佈圖中，以深色所示的點（dot）表示了目測檢查的結果判定為真缺陷的缺陷圖像資料的特徵量的值。其他淺色的點是作出了誤判定的缺陷圖像資料的特徵量的值。
根據此種本適用例的外觀檢查管理系統9，藉由參照特徵量俯瞰圖，使用深色點（即真的缺陷）的偏差少的特徵量的組合，能夠設定誤判定即雜訊的混入得到極力抑制的閾值。由此，即便是經驗少的人，也能夠容易地進行對於外觀檢查的判定有效的特徵量的篩選及閾值的設定。
＜實施方式1＞ 接下來，對用於實施本發明的形態的另一例即外觀檢查管理系統1進行說明。但是，本實施方式中記載的構成零件的尺寸、材質、形狀、其相對配置等只要無特別記載，則並不意圖將本發明的範圍限定於這些。
（系統結構） 參照圖3來說明本發明的實施方式的外觀檢查管理系統的整體結構。圖3是表示外觀檢查管理系統1的系統結構的示意圖。如圖3所示，本實施方式的外觀檢查管理系統1具有外觀檢查裝置2及檢查管理裝置3以作為主要結構。 （外觀檢查裝置） 外觀檢查裝置2是用於獲取片材狀物品的外觀圖像，並基於所述圖像來進行缺陷檢測的裝置，作為主要結構，包括照明系統、測定系統、搬送機構（未圖示）、控制終端23。
被檢查物T藉由未圖示的搬送機構，沿水準方向（箭頭方向）受到搬送，在所述搬送中，藉由測定系統來連續獲取被檢查物T的外觀圖像，並基於此來實施檢查。被檢查物T形成為片材狀，例如可例示紙、布、薄膜（film）等。而且，並不限於單一原材料，也可為像將薄膜與無紡布貼合而成的包裝紙等那樣，具有多個層的片材體。而且，亦可為乾燥海苔等食品。
照明系統包括對被檢查物T的表面照射可見光（例如白色光）的光源211。對於這些光源，例如也可使用發光二極體（Light Emitting Diode，LED）照明等。
測定系統包括攝影機221，所述攝影機221拍攝從光源211照射並由被檢查物T的表面所反射的光（以下稱作表面反射光）。所述攝影機相當於本發明中的拍攝部件。另外，攝影機分別包括可探測所拍攝的光的受光感測器、透鏡及信號輸出部，將經由透鏡而由受光感測器所探測到的光作為電信號而輸出。作為感測器，例如可使用電荷耦合器件（Charge Coupled Device，CCD）或互補金屬氧化物半導體（Complementary Metal Oxide Semiconductor，CMOS）感測器。
藉由攝影機221來拍攝從光源211照射有照明光的狀態的檢查物件物的圖像，控制終端23對所拍攝的圖像進行影像處理，藉由所獲得的特徵量的值與預先設定的檢查閾值的對比，將具有偏離閾值的特徵量的部位判定為缺陷。
控制終端23具有圖像獲取部231、特徵量計算部232、缺陷判定部233、缺陷種類分類部234的各功能模組，但對於控制終端23的圖像獲取部231、特徵量計算部232、缺陷判定部233，與在適用例中說明的大致相同，因此省略詳細說明。
缺陷種類分類部234在藉由缺陷判定部233的判定而從被檢查物檢測到缺陷時，基於預定的閾值與表示所述缺陷的圖像的特徵量，來對所述缺陷的種類進行分類。所分類的缺陷種類可由用戶任意設定，例如既可設置異物混入、污損、褶皺、孔等種類，也可進一步分類為細分種類（例如蟲、木片、金屬異物、油污、水污、大孔、小孔等）。
（檢查管理裝置） 所述外觀檢查裝置2經由網路（區域網路（Local Area Network，LAN））而連接於檢查管理裝置3，外觀檢查裝置2與檢查管理裝置3進行資訊的雙向通信。檢查管理裝置3進行從外觀檢查裝置2接收的資訊的處理，並且將與檢查相關的資訊發送至外觀檢查裝置2。檢查管理裝置3包含通用的電腦系統，所述通用的電腦系統包括CPU（未圖示）、記憶裝置36、輸入裝置34、顯示裝置35等。而且，在記憶裝置36中，至少記憶從外觀檢查裝置2發送的缺陷圖像資料。此處，在缺陷圖像資料中，包含從被判定為被檢查物的缺陷的部位的圖像獲得的特徵量的種類、值及附注資訊，所述附注資訊表示藉由目測檢查而判定的一次檢查的真偽、缺陷的種類等。
另外，檢查管理裝置3既可包含一台電腦，也可包含多台電腦。或者，也可在外觀檢查裝置2的控制終端23中安裝檢查管理裝置3的全部或一部分功能。或者，也可藉由網路上的伺服器（server）（雲端伺服器（cloud server）等）來實現檢查管理裝置3的一部分功能。
本實施方式的檢查管理裝置3包括特徵量分佈圖製作部31、特徵量選擇輔助部32及判定指標設定部33，以作為功能模組。
特徵量分佈圖製作部31是製作特徵量分佈圖的功能，所述特徵量分佈圖依據規定的特徵量而映射有記憶於記憶裝置36的缺陷圖像資料。所謂特徵量分佈圖，是指從預先設定有多個的特徵量的專案中提取兩種項目，使圖像資料映射到將兩種專案中的其中一個設為橫軸、將另一個設為縱軸的坐標系中。若作進一步詳細說明，則根據記憶於記憶裝置36的各缺陷圖像資料所具有的特徵量的值，來將各個影像對應到所述坐標系中。進而，對於缺陷圖像資料中的表示真的缺陷的圖像資料，例如進行顏色區分等而予以顯示，以便能夠在視覺上區分此資料。特徵量分佈圖製作部31以所有種類的特徵量的所有組合成立的方式，來製作多個此種特徵量分佈圖。
特徵量選擇輔助部32是使將所述多個特徵量分佈圖依據規定的規則而配置成格子狀的特徵量俯瞰圖顯示於所述顯示裝置35的功能。特徵量俯瞰圖是將如下所述的所述特徵量分佈圖配置而成者，所述特徵量分佈圖是將所述設定有多個的特徵量的專案分別並列排列於橫軸與縱軸，針對所述排列的每個特徵量的專案，在對應的軸取所述專案的特徵量。若作進一步詳細說明，則配置如下所述的所述特徵量分佈圖，即，在排列於橫軸的一個特徵量的專案與排列於縱軸的一個特徵量的專案交叉的位置，橫軸取所述橫軸專案的特徵量的值，縱軸取縱軸專案的特徵量的值。而且，特徵量選擇輔助部32還具有下述功能，即，相對於特徵量俯瞰圖而在視覺上顯示後述的判定指標設定部33對判定指標的設定。特徵量選擇輔助部32還具有下述功能，即，使原缺陷數圖表和新篩檢程式適用缺陷數圖表與所述特徵量俯瞰圖同時或能夠切換地顯示於顯示裝置35，所述原缺陷數圖表表示缺陷圖像資料的數量，所述新篩檢程式適用缺陷數圖表相對於原缺陷數圖表而反映出藉由判定指標設定部件進行了判定指標的設定時的外觀檢查裝置2的檢查結果的變化。
判定指標設定部33是下述功能，即，經由輸入裝置34而受理來自使用者的輸入，對利用外觀檢查裝置2進行外觀檢查時所用的特徵量的種類及其閾值即判定指標進行設定。
（檢查管理系統中的處理流程） 接下來，參照圖4來說明本實施方式中外觀檢查管理系統1所進行的處理的一例的流程。圖4是表示外觀檢查管理系統1所進行的一部分處理的流程的流程圖。首先，在外觀檢查裝置2中，拍攝被檢查物T，控制終端23經由圖像獲取部231來獲取被檢查物圖像（步驟S101）。接下來，由特徵量計算部232根據被檢查物圖像來算出規定特徵量的值（步驟S102），由缺陷判定部233及缺陷種類分類部234藉由所算出的特徵量的值與預先設定的檢查閾值的對比來執行一次檢查（步驟S103）。在此階段，作出關於缺陷有無及缺陷種類的一次判定，所述判定的資訊與被檢查物圖像資料一同被發送至檢查管理裝置3。
接下來，在檢查管理裝置3中，將被檢查物圖像資料中的被判定為缺陷的缺陷圖像資料記憶至記憶裝置36中（步驟S104）。然後，基於所述缺陷圖像資料，特徵量分佈圖製作部31製作特徵量分佈圖（步驟S105），特徵量選擇輔助部32使特徵量俯瞰圖顯示於顯示裝置35（步驟S106）。
繼而，當使用者參照顯示於顯示裝置35的特徵量俯瞰圖，經由輸入裝置34來輸入外觀檢查裝置2中的判定指標時，判定指標設定部33受理所述輸入，設定特徵量的種類及閾值（S107）。接下來，特徵量選擇輔助部32針對顯示於顯示裝置35的特徵量俯瞰圖，在視覺上顯示在步驟S107中設定的判定指標（步驟S108），一連串處理結束。
另外，圖5是表示在步驟S108中特徵量選擇輔助部32所顯示的閾值的線的圖。圖中的O、P、Q、R的線分別表示每個特徵量專案的閾值的線，O表示峰值等級的下限閾值，P表示圓度的上限閾值，Q表示圓度的下限閾值，R表示最長最短費雷特徑比的下限閾值。
根據如上所述的外觀檢查管理系統1，藉由參照特徵量俯瞰圖，使用深色點（即真的缺陷）的偏差少的特徵量的組合，能夠設定誤判定即雜訊的混入得到極力抑制的閾值。而且，能夠一邊觀察在特徵量俯瞰圖中以視覺方式顯示的線，一邊執行閾值的設定，因此能夠容易地設定有效的閾值。
＜實施方式2＞ 接下來說明本發明的另一實施方式。圖6是表示本實施方式的外觀檢查管理系統10的系統結構的示意圖。另外，外觀檢查管理系統10具有與實施方式1的外觀檢查管理系統1大致同樣的硬體（hardware）結構，因此對於與外觀檢查管理系統1具有相同的結構、功能的部位，使用相同的符號並省略說明。
與外觀檢查管理系統1相比，外觀檢查管理系統10的不同之處在於檢查管理裝置5所具有的功能。作為硬體結構，檢查管理裝置5除了具有CPU（未圖示）、輸入裝置54、顯示裝置55、記憶裝置56等以外，還具有指標設定輔助部51與判定指標設定部53的功能模組。硬體結構及判定指標設定部53的功能與外觀檢查管理系統1同樣，因此省略說明。
指標設定輔助部51具有下述功能，即，當在判定指標設定部53中，製作要使用的特徵量的種類不同的多個判定指標時，使缺陷分離圖顯示於顯示裝置55，所述缺陷分離圖階段性地表示重疊使用各個判定指標時的外觀檢查裝置2中的檢查結果的變化。而且，使原缺陷數圖表和新篩檢程式適用缺陷數圖表與所述缺陷分離圖同時或能夠切換地顯示於所述顯示部，所述原缺陷數圖表表示缺陷圖像資料的數量，所述新篩檢程式適用缺陷數圖表相對於所述原缺陷數圖表而反映出藉由判定指標設定部53進行了設定時的外觀檢查裝置2的檢查結果的變化。
圖7是表示缺陷分離圖的圖，圖7的（A）是表示未設定任何判定指標的狀態的圖。圖7的（B）是表示當設定了基於某特徵量及閾值的判定指標時，缺陷判定如何變化的圖。圖7的（C）是表示進一步設定了基於另一特徵量及閾值的判定指標時，缺陷判定進一步如何變化的圖。
圖8是表示原缺陷數圖表與新篩檢程式適用缺陷數圖表的圖。圖8的（A）顯示判定指標適用前的原缺陷數圖表，圖8的（B）顯示表示適用了判定指標時的缺陷數變化的新篩檢程式適用缺陷數圖表。圖中的塗黑的柱表示真的缺陷，影線的柱表示被誤檢測的缺陷。只要能夠設定有效的判定指標，便能夠像圖8的（A）至圖8的（B）那樣，大幅減少被誤檢測的缺陷數。
而且，圖7的缺陷分離圖與圖8的缺陷數圖表也可切換或者同時顯示，以供參照。即，當使用缺陷分離圖來設定判定指標時，能夠一邊參照設定後的缺陷數的變化，一邊研究判定指標。本實施方式中，例如假設圖7的（A）的狀態與圖8的（A）的狀態對應，圖7的（C）的狀態與圖8的（B）的狀態對應。
接下來，參照圖9來說明本實施方式中外觀檢查管理系統10所進行的處理的一例。圖9是表示外觀檢查管理系統10所進行的處理流程的一例的流程圖。在外觀檢查裝置2中，實施外觀檢查，進行缺陷判定（S201）。繼而，缺陷圖像資料被送往檢查管理裝置5，並被保存到記憶裝置56中（步驟S202）。接下來，由指標設定輔助部51在顯示裝置55上顯示缺陷分離圖（步驟S203）。繼而，藉由用戶的輸入，判定指標設定部53進行是否進行了判定指標的設定的判定（步驟S204）。
此處，若判斷為進行了判定指標的設定，則指標設定輔助部51將缺陷分離圖的顯示變更為反映出所述設定的圖而顯示於顯示裝置55（步驟S205）。隨後，返回步驟S204，重複以後的處理。另一方面，若在步驟S204中判定為尚未新設定判定指標，則指標設定輔助部51使反映出現狀的判定指標的設定（也包括尚未設定的情況）的缺陷數圖表顯示於顯示裝置55，結束一連串處理。
根據如上所述的外觀檢查管理系統10，在對於用作判定指標的特徵量的種類，儘管在一定程度上設立有目標但不知曉有效閾值的情況下，能夠一邊參照缺陷分離圖與缺陷數圖表，一邊縮減閾值。由此，即使對於已在一定程度上熟悉了檢查操作的人，也能夠在用於觀檢查裝置2的缺陷判定的判定指標的設定中提供有效率的作業。
＜其他＞ 所述各實施方式不過是例示性地說明本發明，本發明並不限定於所述的具體形態。本發明可在其技術思想的範圍內進行各種變形。例如，也可將實施方式1與實施方式2加以組合，而構建在實施方式1的檢查管理裝置中設有指標設定輔助部的檢查管理系統。而且，在實施方式1的檢查管理裝置中，也可採用顯示圖8所示的缺陷數圖表的結構。
而且，所述實施方式中，對片材狀的被檢查物進行檢查的裝置為物件，但本發明並不限於此，能夠廣泛適用於進行影像處理的外觀檢查裝置。
本發明的一技術方案是一種外觀檢查管理系統（1），其特徵在於包括：外觀檢查部件（2），基於從拍攝被檢查物所得的圖像獲取的特徵量，來檢查所述被檢查物的缺陷；顯示部件（35）；記憶部件（36），記憶缺陷圖像資料，所述缺陷圖像資料至少包含從由所述外觀檢查部件判定為所述被檢查物的缺陷的部位的圖像獲得的特徵量的資訊；特徵量分佈圖製作部件（31），製作多個特徵量分佈圖，所述特徵量分佈圖是將所述特徵量的資訊映射到規定的坐標系中；以及特徵量選擇輔助部件（32），使將所述特徵量分佈圖製作部件所製作多個特徵量分佈圖依據規定的規則配置而成的特徵量俯瞰圖顯示於所述顯示部件。
而且，本發明的另一技術方案是一種外觀檢查管理系統（10），其特徵在於包括：外觀檢查部件（2），基於從拍攝被檢查物所得的圖像獲取的特徵量，來至少檢查所述被檢查物的缺陷；顯示部件（55）；記憶部件（56），記憶多種特徵量的專案與缺陷圖像資料，所述多種特徵量的專案能夠設定為所述外觀檢查部件中的缺陷的判定指標，所述缺陷圖像資料包含從被判定為所述被檢查物的缺陷的部位的圖像獲得的特徵量的種類及值；判定指標設定部件（53），藉由設定特徵量的種類及閾值，來製作一個以上的所述外觀檢查部件中的缺陷的判定指標；以及指標設定輔助部件（51），當在所述判定指標設定部件中，製作要使用的特徵量的種類不同的多個判定指標時，使缺陷分離圖顯示於所述顯示部件，所述缺陷分離圖階段性地表示重疊使用各個判定指標時的所述外觀檢查部件中的檢查結果的變化。
而且，本發明的另一技術方案是一種外觀檢查管理方法，對被檢查物的外觀檢查進行管理，所述外觀檢查管理方法包括：資料獲取步驟（S104），獲取多種特徵量的專案與缺陷圖像資料，所述多種特徵量的專案能夠在所述外觀檢查中設定為缺陷的判定指標，所述缺陷圖像資料包含從被判定為所述被檢查物的缺陷的部位的圖像獲得的特徵量的種類、值及附注資訊，所述附注資訊至少表示缺陷判定結果的真偽；特徵量分佈圖製作步驟（S105），以所有種類的特徵量的所有組合成立的方式，來製作多個特徵量分佈圖，所述特徵量分佈圖是從在所述資料獲取步驟中獲取的所述多種特徵量的專案提取兩種項目，並使所述獲取的缺陷圖像資料的特徵量在視覺上反映所述附注資訊地映射到將所述兩種專案設為橫軸、縱軸的坐標系中；以及特徵量選擇輔助步驟（S106），顯示將如下所述的所述特徵量分佈圖配置而成的特徵量俯瞰圖，所述特徵量分佈圖是將所述多種特徵量的專案分別並列排列於橫軸與縱軸，進而在排列於橫軸的特徵量的專案與排列於縱軸的特徵量的專案交叉的部位，將所述橫軸的專案的特徵量的值設為橫軸，將所述縱軸的專案的特徵量的值設為縱軸。
而且，本發明的另一技術方案是一種外觀檢查管理方法，對被檢查物的外觀檢查進行管理，所述外觀檢查管理方法包括：資料獲取步驟（S202），獲取多種特徵量的專案與缺陷圖像資料，所述多種特徵量的專案能夠在所述外觀檢查中設定為缺陷的判定指標，所述缺陷圖像資料包含從被判定為所述被檢查物的缺陷的部位的圖像獲得的特徵量的種類及值；判定指標製作步驟（S204），藉由設定特徵量的種類及閾值，來製作所述外觀檢查中的缺陷的判定指標；以及指標設定輔助步驟（S205），在所述判定指標製作步驟中，每當進行與判定指標相關的特徵量的種類及閾值的設定時，顯示缺陷分離圖，所述缺陷分離圖階段性地表示反映出所述設定時的所述外觀檢查的結果的變化。
1、9、10:外觀檢查管理系統 2、91:外觀檢查裝置 3、5、92:檢查管理裝置 23、913:控制終端 31、921:特徵量分佈圖製作部 32、922:特徵量選擇輔助部 33、53:判定指標設定部 34、54:輸入裝置 35、55:顯示裝置 36、56、923:記憶裝置 51:指標設定輔助部 93:顯示部 211、912:光源 221、911:攝影機 231、9131:圖像獲取部 232、9132:特徵量計算部 233、9133:缺陷判定部 234:缺陷種類分類部 S101~S108、S201~S206:步驟 T:被檢查物
圖1是表示本發明的適用例的外觀檢查管理系統的結構的示意圖。 圖2是表示適用例的特徵量選擇輔助部在顯示部上顯示的畫面例的圖。 圖3是表示實施方式1的外觀檢查管理系統的結構的示意圖。 圖4是表示實施方式1的外觀檢查管理系統的處理流程的流程圖。 圖5是表示實施方式1的特徵量選擇輔助部在顯示裝置上顯示的畫面例的圖。 圖6是表示實施方式2的外觀檢查管理系統的結構的示意圖。 圖7的（A）是說明實施方式2的指標設定輔助部在顯示裝置上顯示的畫面例的第一圖。圖7的（B）是說明實施方式2的指標設定輔助部在顯示裝置上顯示的畫面例的第二圖。圖7的（C）是說明實施方式2的指標設定輔助部在顯示裝置上顯示的畫面例的第三圖。 圖8的（A）是說明實施方式2的指標設定輔助部在顯示裝置上顯示的畫面例的第四圖。圖8的（B）是說明實施方式2的指標設定輔助部在顯示裝置上顯示的畫面例的第五圖。 圖9是表示實施方式2的外觀檢查管理系統的處理的流程的流程圖。
9:外觀檢查管理系統
91:外觀檢查裝置
92:檢查管理裝置
93:顯示部
911:攝影機
912:光源
913:控制終端
921:特徵量分佈圖製作部
922:特徵量選擇輔助部
923:記憶裝置
9131:圖像獲取部
9132:特徵量計算部
9133:缺陷判定部

Claims (22)

  1. 一種外觀檢查管理系統，包括： 外觀檢查部件，基於從拍攝被檢查物所得的圖像獲取的特徵量，來檢查所述被檢查物的缺陷； 顯示部件； 記憶部件，記憶缺陷圖像資料，所述缺陷圖像資料至少包含從由所述外觀檢查部件判定為所述被檢查物的缺陷的部位的圖像獲得的特徵量的資訊； 特徵量分佈圖製作部件，製作多個特徵量分佈圖，所述特徵量分佈圖是將所述特徵量的資訊映射到規定的坐標系中；以及 特徵量選擇輔助部件，將所述特徵量分佈圖製作部件所製作多個特徵量分佈圖依據規定的規則配置而成的特徵量俯瞰圖，顯示於所述顯示部件。
  2. 如請求項1所述的外觀檢查管理系統，其中 所述缺陷圖像資料包含從被判定為所述被檢查物的缺陷的部位的圖像獲得的特徵量的種類、值以及附注資訊，所述附注資訊至少表示被判定為所述缺陷的結果的真偽。
  3. 如請求項2所述的外觀檢查管理系統，其中 所述附注資訊包含缺陷的種類。
  4. 如請求項2或請求項3所述的外觀檢查管理系統，其中 所述記憶部件記憶能夠在所述外觀檢查部件的檢查中設定為缺陷判定指標的多種特徵量的專案與所述缺陷圖像資料。
  5. 如請求項4所述的外觀檢查管理系統，其中 所述特徵量分佈圖是從所述多種特徵量的專案中提取兩種項目，並使所述缺陷圖像資料的特徵量能夠在視覺上識別地反映所述附注資訊地映射到將所述兩種專案設為橫軸、縱軸的坐標系中。
  6. 如請求項5所述的外觀檢查管理系統，其中 所述特徵量俯瞰圖是根據配置如下所述的所述特徵量分佈圖的規則來將所述多個特徵量分佈圖配置而成：所述特徵量分佈圖是將所述多種特徵量的專案分別並列排列於橫軸與縱軸，進而在排列於橫軸的特徵量的專案與排列於縱軸的特徵量的專案交叉的部位，將所述橫軸的專案的特徵量的值設為橫軸，將所述縱軸的專案的特徵量的值設為縱軸。
  7. 如請求項6所述的外觀檢查管理系統，其中 所述特徵量分佈圖製作部件以所有種類的特徵量的所有組合成立的方式，來製作多個所述特徵量分佈圖。
  8. 如請求項1所述的外觀檢查管理系統，其中 判定指標設定部件，受理用戶的輸入，藉由設定特徵量的種類及閾值，來製作一個以上的所述外觀檢查部件中的缺陷的判定指標。
  9. 如請求項8所述的外觀檢查管理系統，其中 所述特徵量選擇輔助部件將由所述判定指標設定部件所設定的特徵量的種類及閾值顯示為相對於所述特徵量俯瞰圖的視覺表現。
  10. 如請求項8或請求項9所述的外觀檢查管理系統，其中 所述特徵量選擇輔助部件使原缺陷數圖表和新篩檢程式適用缺陷數圖表與所述特徵量俯瞰圖能夠同時或切換地顯示於所述顯示部件， 所述原缺陷數圖表表示所述缺陷圖像資料的數量， 所述新篩檢程式適用缺陷數圖表相對於所述原缺陷數圖表而反映出藉由所述判定指標設定部件進行了設定的情形下所述外觀檢查部件的檢查結果的變化。
  11. 如請求項10所述的外觀檢查管理系統，其中 在所述判定指標設定部件中，製作要使用的特徵量的種類或閾值不同的多個判定指標時， 所述特徵量選擇輔助部件每當進行與各個判定指標相關的特徵量的種類或閾值的設定時，階段性地顯示反映出所述設定的所述新篩檢程式適用缺陷數圖表。
  12. 一種外觀檢查管理裝置，至少包括特徵量分佈圖製作部件與特徵量選擇輔助部件， 所述外觀檢查管理裝置構成請求項1至請求項11中任一項所述的外觀檢查管理系統的至少一部分。
  13. 一種外觀檢查管理系統，包括： 搬送部件，連續搬送片材狀的被檢查物； 拍攝部件，連續拍攝搬送中的所述被檢查物； 外觀檢查部件，對比從利用所述拍攝部件所拍攝的被檢查物圖像所獲得的特徵量與規定的閾值，由此來進行判定，從而檢測所述被檢查物的缺陷部位； 顯示部件； 記憶部件，記憶缺陷圖像資料，所述缺陷圖像資料至少包含從利用所述外觀檢查部件判定為所述被檢查物的缺陷的部位的圖像所獲得的特徵量的資訊； 特徵量分佈圖製作部件，製作多個特徵量分佈圖，所述特徵量分佈圖是將所述特徵量的資訊映射到規定的坐標系中；以及 特徵量選擇輔助部件，將所述特徵量分佈圖製作部件所製作多個特徵量分佈圖依據規定的規則配置而成的特徵量俯瞰圖，顯示於所述顯示部件。
  14. 一種外觀檢查管理系統，包括： 外觀檢查部件，基於從拍攝被檢查物所得的圖像獲取的特徵量，來至少檢查所述被檢查物的缺陷； 顯示部件； 記憶部件，至少記憶多種特徵量的專案與缺陷圖像資料，所述多種特徵量的專案能夠設定為所述外觀檢查部件中的缺陷的判定指標，所述缺陷圖像資料包含從被判定為所述被檢查物的缺陷的部位的圖像所獲得的特徵量的種類及值； 判定指標設定部件，藉由設定特徵量的種類及閾值，來製作一個以上的所述外觀檢查部件中的缺陷的判定指標；以及 指標設定輔助部件，在所述判定指標設定部件中，製作要使用的特徵量的種類不同的多個判定指標時，使缺陷分離圖顯示於所述顯示部件，所述缺陷分離圖階段性地表示重疊使用各個判定指標的情形下所述外觀檢查部件中的檢查結果的變化。
  15. 如請求項14所述的外觀檢查管理系統，其中 所述指標設定輔助部件所示的缺陷分離圖為長條圖。
  16. 如請求項14或請求項15所述的外觀檢查管理系統，其中 所述指標設定輔助部件使原缺陷數圖表和新篩檢程式適用缺陷數圖表與所述缺陷分離圖能夠同時或切換地顯示於所述顯示部件， 所述原缺陷數圖表表示所述缺陷圖像資料的數量， 所述新篩檢程式適用缺陷數圖表相對於所述原缺陷數圖表而反映出藉由所述判定指標設定部件進行了設定的情形下所述外觀檢查部件的檢查結果的變化。
  17. 如請求項14或請求項15所述的外觀檢查管理系統，其中 所述缺陷圖像資料包含缺陷種類的資訊。
  18. 一種外觀檢查管理裝置，至少包括判定指標設定部件與指標設定輔助部件， 所述外觀檢查管理裝置構成請求項14至請求項17中任一項所述的外觀檢查管理系統的至少一部分。
  19. 一種外觀檢查管理系統，包括： 搬送部件，連續搬送片材狀的被檢查物； 拍攝部件，連續拍攝搬送中的所述被檢查物； 外觀檢查部件，對比從利用所述拍攝部件所拍攝的被檢查物圖像所獲得的特徵量與規定的閾值，由此來進行判定，從而檢測所述被檢查物的缺陷部位； 顯示部件； 記憶部件，至少記憶多種特徵量的專案與缺陷圖像資料，所述多種特徵量的專案能夠設定為所述外觀檢查部件中的缺陷的判定指標，所述缺陷圖像資料包含從被判定為所述被檢查物的缺陷的部位的圖像所獲得的特徵量的種類及值； 判定指標設定部件，藉由設定特徵量的種類及閾值，來製作一個以上的所述外觀檢查部件中的缺陷的判定指標；以及 指標設定輔助部件，在所述判定指標設定部件中，製作要使用的特徵量的種類不同的多個判定指標時，使缺陷分離圖顯示於所述顯示部件，所述缺陷分離圖階段性地表示重疊使用各個判定指標的情形下所述外觀檢查部件中的檢查結果的變化。
  20. 一種外觀檢查管理方法，對被檢查物的外觀檢查進行管理，所述外觀檢查管理方法包括： 資料獲取步驟，獲取多種特徵量的專案與缺陷圖像資料，所述多種特徵量的專案能夠在所述外觀檢查中設定為缺陷的判定指標，所述缺陷圖像資料包含從被判定為所述被檢查物的缺陷的部位的圖像所獲得的特徵量的種類、值及附注資訊，所述附注資訊至少表示缺陷判定結果的真偽； 特徵量分佈圖製作步驟，以所有種類的特徵量的所有組合成立的方式，來製作多個特徵量分佈圖，所述特徵量分佈圖是從在所述資料獲取步驟中獲取的所述多種特徵量的專案提取兩種項目，並使所述獲取的缺陷圖像資料的特徵量在視覺上反映所述附注資訊地映射到將所述兩種專案設為橫軸、縱軸的坐標系中；以及 特徵量選擇輔助步驟，顯示將如下所述的所述特徵量分佈圖配置而成的特徵量俯瞰圖：所述特徵量分佈圖是將所述多種特徵量的專案分別並列排列於橫軸與縱軸，進而在排列於橫軸的特徵量的專案與排列於縱軸的特徵量的專案交叉的部位，將所述橫軸的專案的特徵量的值設為橫軸，將所述縱軸的專案的特徵量的值設為縱軸。
  21. 一種外觀檢查管理方法，對被檢查物的外觀檢查進行管理，所述外觀檢查管理方法包括： 資料獲取步驟，獲取多種特徵量的專案與缺陷圖像資料，所述多種特徵量的專案能夠在所述外觀檢查中設定為缺陷的判定指標，所述缺陷圖像資料包含從被判定為所述被檢查物的缺陷的部位的圖像所獲得的特徵量的種類及值； 判定指標製作步驟，藉由設定特徵量的種類及閾值，來製作所述外觀檢查中的缺陷的判定指標；以及 指標設定輔助步驟，在所述判定指標製作步驟中，每當進行與判定指標相關的特徵量的種類及閾值的設定時，顯示缺陷分離圖，所述缺陷分離圖階段性地表示反映出所述設定的情形下所述外觀檢查的結果的變化。
  22. 一種程式，用於使資訊處理裝置執行請求項20或請求項21所述的各步驟。
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