JP6464115B2 - ワイヤ放電加工システム - Google Patents
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Description
本発明の第1の態様は、ワイヤ放電加工で加工するワークを保持する保持部と、該保持部に対する前記ワークの交換、前記ワイヤ放電加工後の前記ワークの検査、又は前記ワイヤ放電加工により前記ワークから切取られる切取部分の検査を行うロボットとを備えるワイヤ放電加工システムであって、前記保持部に保持された前記ワークに加工完了前の所定位置まで前記ワイヤ放電加工が行われた際に、前記保持部上の前記ワークにおける前記ワイヤ放電加工が行われた切断済位置に配置されると共に、当該切断済位置において前記ワークの切取られる部分と前記ワークに残る部分とにそれぞれ吸着し、これにより該残る部分に該切取られる部分を固定する固定装置を備え、前記ロボットが、前記固定装置を保持した状態で前記固定装置を前記切取られる部分と前記残る部分とにそれぞれ吸着させた後、前記固定装置から離れて前記固定装置を保持しない状態となるように構成されているワイヤ放電加工システム。
このように固定装置を切取部分搬送位置に移動させることにより、保持部に保持された残る部分から切取られる部分を確実に分離することができ、また、加工後のワークである残る部分のハンドリングの効率化を図ることも可能となる。
この構成により、例えば、ワイヤ放電加工により切取られる部分の形状が様々であり、また、ワイヤ放電加工機から加工軌跡や加工予定軌跡を入手できない場合であっても、固定装置を配置する位置を決定することができ、これにより固定装置を配置することが可能となる。
また、前記態様において、前記位置決定手段が視覚センサの検出結果に基づき前記固定装置の配置位置を決定することが好ましい。視覚センサを用いることにより、加工溝の存在範囲情報、その位置情報、ワイヤの位置等を得ることができるので、固定装置の配置位置の決定を容易且つ確実に行うことが可能となる。
また、固定装置が切取られる部分と残る部分の両方に吸着している状態で、溝に堆積したワイヤ成分を破壊して切取られる部分と残る部分とを分離する分離手段を有するので、分離した途端に切取られる部分又は残る部分が落下することが防止される。
このワイヤ放電加工システムは、図1に示すように、ワイヤ放電加工機10と、ワイヤ放電加工機10に対するワークWの交換を行うロボットアーム30を有するロボット20とを備えている。ワイヤ放電加工機10としては周知のワイヤ放電加工機を用いることが可能である。なお、図1の左右方向(ワイヤ放電加工機10やロボット20の接地面に平行な方向)がX方向であり、図1の奥行方向がY方向であり、図1の上下方向がZ方向であるものとして、以下の説明を行う。
ワイヤ回収部14は、ワイヤAを巻取るリール14aと、リール14aにワイヤAをガイドする滑車14bと、滑車14bに通過する前のワイヤAが通るガイド孔を有する下部ワイヤガイド14cとを有する。
ここで、各ガイド孔はワイヤAの外径よりもわずかに大きい内径を有する。また、リール13a、滑車13b、滑車14b、およびリール14aにより、上部ワイヤガイド13cと下部ワイヤガイド14cとの間のワイヤAに所定の張力が付与されるようになっている。このため、上部ワイヤガイド13cおよび下部ワイヤガイド14cによってワイヤAを保持部12上のワークWの正確な位置に配置することが可能である。
保持部12は、周知のワイヤ放電加工機と同様に、テーブル駆動機構(図示せず)によってX方向およびY方向に移動可能である。これによりワイヤAに対してワークWが加工軌跡に沿って移動し、ワークWの一部(切取られる部分W1)の切取が行われる。
一方、テーブル駆動機構や上部ガイド駆動機構はワイヤ放電加工機10の加工制御部15に接続され、加工制御部15の指令に基づき保持部12のX方向およびY方向の移動や上部ワイヤガイド13cのX方向およびY方向の移動が行われる。
視覚センサ22は、図8に示すように、保持部12上のワークWを撮像する撮像装置22aと、処理部22bとを有する。撮像装置22aで撮像された画像は処理部22bにより画像処理され、処理後画像に基づく情報がロボット制御部40に送信され、ロボット制御部40は受信した処理後画像に基づく情報をメモリ装置41に保存する。
続いて、ワイヤ放電加工機10の加工制御部15に加工再開指令を送信する(ステップS11)。これにより、図5に示すように、ワイヤAが加工完了位置まで移動し、ワークWのワイヤ放電加工が完了する。
続いて、第2の吸着部52による吸着だけを解除するようにモータ37aを制御する(ステップS15)、これにより、固定装置50により切取られる部分W1だけが吸着された状態となる。
なお、ステップS12において、ロボット制御部40が、ワイヤ放電加工が完了したことを視覚センサ22から受信する処理後画像に基づく情報を用いて判断しても良い。
また、ステップS6を行わないことも可能である。つまり、ワイヤ放電加工機10による加工を継続しながらステップS7でワークWに固定装置50を取付けることも可能である。
本実施形態は、第1の実施形態に対して、ワイヤ放電加工機10によってワークWを加工している際に、ワイヤ成分がワークWに付着する現象を利用し、ワークWの加工溝に付着物を堆積させ、これにより切取られる部分W1を残る部分W2に固定する点が異なる。第1の実施形態と同様の構成は同一の符号を付して示し、その説明を省略する。
11 フレーム
12 保持部
13 ワイヤ供給部
13c 上部ワイヤガイド
14 ワイヤ回収部
14c 下部ワイヤガイド
15 加工制御部
20 ロボット
22 視覚センサ
30 ロボットアーム
35 ワーク保持機構
36 レバー操作装置
37 レバー操作装置
40 ロボット制御部
41 メモリ装置
50 固定装置
51 第1の吸着部
52 第2の吸着部
Claims (7)
- ワイヤ放電加工で加工するワークを保持する保持部と、
該保持部に対する前記ワークの交換、前記ワイヤ放電加工後の前記ワークの検査、又は前記ワイヤ放電加工により前記ワークから切取られる切取部分の検査を行うロボットとを備えるワイヤ放電加工システムであって、
前記保持部に保持された前記ワークに加工完了前の所定位置まで前記ワイヤ放電加工が行われた際に、前記保持部上の前記ワークにおける前記ワイヤ放電加工が行われた切断済位置に配置されると共に、当該切断済位置において前記ワークの切取られる部分と前記ワークに残る部分とにそれぞれ吸着し、これにより該残る部分に該切取られる部分を固定する固定装置を備え、
前記ロボットが、前記固定装置を保持した状態で前記固定装置を前記切取られる部分と前記残る部分とにそれぞれ吸着させた後、前記固定装置から離れて前記固定装置を保持しない状態となるように構成されているワイヤ放電加工システム。 - 前記ワークに対する前記ワイヤ放電加工の完了後に、前記固定装置が前記切取られる部分のみに吸着させられた状態で、前記ロボットが前記固定装置を切取部分搬送位置に移動させる請求項1に記載のワイヤ放電加工システム。
- 前記切取られる部分と前記残る部分とにそれぞれ吸着させるための前記固定装置の配置位置を決定する位置決定手段を備える請求項1又は請求項2に記載のワイヤ放電加工システム。
- 前記固定装置による前記吸着が磁力を用いて行われる請求項1から請求項3の何れかに記載のワイヤ放電加工システム。
- 前記固定装置による前記吸着が吸引力を用いて行われる請求項1から請求項3の何れかに記載のワイヤ放電加工システム。
- 前記位置決定手段が視覚センサの検出結果に基づき前記固定装置の配置位置を決定する請求項3に記載のワイヤ放電加工システム。
- ワイヤ放電加工で加工するワークを保持する保持部と、
該保持部に対する前記ワークの交換、前記ワイヤ放電加工後の前記ワークの検査、又は前記ワイヤ放電加工により前記ワークから切取られる切取部分の検査を行うロボットとを備え、
前記ワイヤ放電加工が、切断後の溝にワイヤ成分が堆積し、これにより前記ワークにおいて切取られる部分が残る部分に前記ワイヤ成分により固定されるワイヤ放電加工システムであって、
前記保持部に保持される前記ワークに加工完了前の所定位置又は加工完了位置まで前記ワイヤ放電加工が行われた際に、前記ワイヤ放電加工が行われた切断済位置に配置されると共に、当該切断済位置において前記切取られる部分と前記残る部分とにそれぞれ吸着し、これにより該残る部分に該切取られる部分を固定する固定装置と、
前記固定装置が前記切取られる部分と前記残る部分の両方とにそれぞれ吸着している状態で、前記溝に堆積した前記ワイヤ成分を破壊して前記切取られる部分と前記残る部分とを分離する分離手段とを備え、
前記ロボットが、前記固定装置を保持した状態で前記固定装置を前記切取られる部分と前記残る部分とにそれぞれ吸着させた後、前記固定装置から離れて前記固定装置を保持しない状態となるように構成されているワイヤ放電加工システム。
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JP2005211990A (ja) * | 2004-01-27 | 2005-08-11 | Fanuc Ltd | ワイヤカット放電加工装置 |
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RU131326U1 (ru) * | 2012-09-06 | 2013-08-20 | Российская Федерация, От Имени Которой Выступает Министерство Промышленности И Торговли Российской Федерации | Электроэрозионный пятикоординатный проволочно-вырезной станок |
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