JP6422822B2 - 光透過性導電材料 - Google Patents

Description

本発明は、静電容量方式のタッチパネル等に好適に用いられる光透過性導電材料に関するものである。

ＰＤＡ（パーソナル・デジタル・アシスタント）、ノートＰＣ、ＯＡ機器、医療機器、あるいはカーナビゲーションシステム等の電子機器においては、これらのディスプレイに入力手段としてタッチパネルが広く用いられている。

タッチパネルには、位置検出の方法により、光学方式、超音波方式、表面型静電容量方式、投影型静電容量方式、抵抗膜方式などがある。抵抗膜方式のタッチパネルでは、タッチセンサーとなる光透過性電極として、光透過性導電材料と光透過性導電層付ガラスとがスペーサーを介して対向配置されており、光透過性導電材料に電流を流し光透過性導電層付ガラスにおける電圧を計測するような構造となっている。一方、静電容量方式のタッチパネルでは、タッチセンサーとなる光透過性電極として、支持体上に光透過性導電層を有する光透過性導電材料を基本的構成とし、可動部分がないことを特徴とすることから、高い耐久性と高い光透過性を有するため、様々な用途において適用されている。更に、投影型静電容量方式のタッチパネルは多点同時検出ができることから、スマートフォンやタブレットＰＣなどに広く用いられている。

静電容量方式のタッチパネルにおいて、タッチセンサーとなる光透過性電極（光透過性導電材料）は多数の光透過性導電部（光透過性のセンサー部）を有することから、多点同時検出や移動点の検出が可能であるという優れた特性が得られる。この多数の光透過性のセンサー部が検知した信号を外部に取り出すため、全ての光透過性のセンサー部と、信号を外部に取り出すために設けられる端子部との間には、これらを電気的に接続する複数の周辺配線から構成される、周辺配線部が設けられる。近年では、液晶ディスプレイの画面以外の部分をより狭くすることが求められており、この周辺配線部が占めるエリアを狭くすることが求められている。このため周辺配線部では、周辺配線がより細く、かつ周辺配線の間隔をより狭くすることが必要となる。

タッチパネルを製造する際、光透過性のセンサー部及び周辺配線部を有する光透過性導電材料は、他の光透過性導電材料や保護パネル等に接着されて使用される。周辺配線の線幅を細くし、周辺配線の間隔を狭くすると、製造時に傷が入ることで断線が生じる場合がある。このような問題を解消するため、光透過性導電材料の表面に保護フィルムを貼合することでセンサー部及び周辺配線部等を保護することが一般に行われる。このような用途に用いられる保護フィルムは帯電しやすいため、保護フィルムで光透過性導電材料の表面が覆われると、保護フィルムが帯びている電荷がセンサー部に移動し、センサー部が電荷を帯びやすい。また、光透過性導電材料から保護フィルムを剥がす時にも、センサー部が電荷を帯びやすい。帯電している複数のセンサー部間の電位差が大きくなると、センサー部に個別に接続される周辺配線の間で放電が発生しやすくなり、周辺配線の間隔が狭い場合には、放電の発生が更に顕著になる。このような放電が発生すると、周辺配線部に欠陥（静電破壊）が生じ、タッチパネルを製造する際の歩留まりを著しく低下させる。

また、静電容量方式のタッチパネルを製造する際には、２枚の光透過性導電材料が貼合され、貼合された光透過性導電材料はＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）ケーブルと接続され、該ＦＰＣケーブルはコントローラーＩＣと接続され、それらが回路として繋がり帯電現象は解消される。しかし、コントローラーＩＣを接続する前の段階、例えばコントローラーＩＣが接続されていない段階での光透過性導電材料の組み立て工程や保管工程において、周辺配線部の静電破壊の原因となる帯電によるセンサー部の電位差の発生を解消することは極めて困難であった。

特開２０１４−６３４６７号公報（特許文献１）には、タッチパネルの製造過程中に発生する周辺配線の損傷を防止するために、周辺配線部の近傍に光透過性導電部と電気的に接続しないガードラインを設けることが記載されている。特開２０１３−２０６３０１号公報（特許文献２）には、金属パターンの腐食防止や無電解めっき付着の均一性を向上するために、周辺配線の線幅を変化させることが記載されている。特開２００９−２３７６７３号公報（特許文献３）には、配線毎の電気容量のばらつきを少なくするために、補助配線を設け、周辺配線の線幅と周辺配線間の間隔を変化させることが記載されている。

特開２０１４−６３４６７号公報 特開２０１３−２０６３０１号公報 特開２００９−２３７６７３号公報

特許文献１や特許文献２、特許文献３などに記載される方法を用いても、周辺配線部の静電破壊を防ぎ、タッチパネル製造時の歩留まりを向上する目的においては、満足できる結果は得られなかった。そこで本発明の目的は、タッチパネル製造時の歩留まり低下が改善された光透過性導電材料を提供することにある。

本発明の上記課題は、支持体上に、第一の方向に伸びる光透過性のセンサー部と、第一の方向に対し垂直な方向である第二の方向において該センサー部と交互に並ぶ光透過性のダミー部と、端子部と、該センサー部と該端子部とを電気的に接続する複数の周辺配線から構成される周辺配線部と、該センサー部と電気的に接続されず、互いの間にも電気的な接続は無い複数のアース配線から構成されるアース部を有し、周辺配線部が有する複数の周辺配線は、隣接する周辺配線間で平行な部分を有し、アース部が有する複数のアース配線は、隣接するアース配線間で平行な部分を有し、該周辺配線が平行な部分において、周辺配線間の最小間隔距離をＡ、該アース配線が平行な部分において、アース配線間の最小間隔距離をＢとしたとき、Ａ＞Ｂである光透過性導電材料によって基本的に達成される。

ここで、周辺配線部の周辺配線が平行な部分の配線の方向と、アース部のアース配線が平行な部分の配線の方向が一致していることが好ましい。また、配線の方向が同一である周辺配線が平行な部分の周辺配線間の間隔距離が、全て最小間隔距離Ａであることが好ましい。また、配線の方向が同一であるアース配線が平行な部分のアース配線間の間隔距離が、全て最小間隔距離Ａよりも小さいことが好ましい。また、最小間隔距離Ｂが最小間隔距離Ａに対して１０〜８０％であることが好ましい。また、アース配線の線幅が周辺配線の線幅以上であることが好ましい。また、アース部が、端子部に接続される少なくとも一本のアース配線と、他の部位に接続されない複数のアース配線から構成されることが好ましい。また、アース配線の少なくとも一本が、光透過性のセンサー部と光透過性のダミー部と周辺配線部を、端子部以外の場所で取り囲んでいることが好ましい。

本発明によりセンサー部間の電位差を解消することができ、周辺配線部の静電破壊を防止することができるため、タッチパネル製造時の歩留まり低下が改善された光透過性導電材料を提供することができる。

本発明の光透過性導電材料の一例を示す概略図である。 本発明における、隣接する周辺配線の位置関係を説明するための拡大図である。 図１に示した光透過性導電材料の周辺配線部、端子部、アース部の拡大図である。

以下、本発明について詳細に説明するにあたり、図面を用いて説明するが、本発明はその技術的範囲を逸脱しない限り様々な変形や修正が可能であり、以下の実施形態に限定されないことは言うまでもない。

図１は本発明の光透過性導電材料の一例を示す概略図である。本発明の光透過性導電材料１は、支持体２の上に、第一の方向（図中ｙ方向）に伸びる光透過性のセンサー部１１と、第一の方向に対し垂直な方向である第二の方向（図中ｘ方向）において、該センサー部１１と交互に並ぶ光透過性のダミー部１２を有する。センサー部１１は複数個が設けられ（図中１１ａ、１１ｂ、・・・等）、これに応じて該センサー部１１と交互に並ぶダミー部も複数個が設けられる（図中１２ａ、１２ｂ、・・・等）。なお、図１においてセンサー部１１とダミー部１２は、それらの領域を表すために便宜上格子模様とドット模様で表している。

端子部１４は、センサー部１１と外部とを電気的に接続するための部分であり、センサー部１１の数に応じて（更に後述するアース配線１５１が接続される端子も含めて）複数の端子（図中１４ａ、１４ｂ、・・・等）から構成される。センサー部１１ａは周辺配線１３ａを介し端子１４ａに電気的に接続されており、この端子１４ａを通して外部に電気的に接続することで、センサー部１１で感知した静電容量の変化を捉えることができる。ダミー部１２は端子部１４と電気的な接続は無い。

周辺配線部１３は、センサー部１１と端子部１４を電気的に接続する複数の周辺配線から構成され（図中１３ａ、１３ｂ、・・・等）、各々の周辺配線は隣接し、屈折しながら図中のｙ方向とｘ方向に伸びてセンサー部１１と端子部１４を繋いでいるため、周辺配線部１３が有する複数の周辺配線は、隣接する周辺配線との間で平行な部分を有している。例えば図１において、周辺配線１３ａとこれに隣接する周辺配線１３ｂとの間には、配線の方向がｙ方向とｘ方向の２方向において、平行な部分が存在する。その平行な部分における配線の方向は、ｙ方向単独あるいはｘ方向単独であっても良いし、斜め方向であっても良い。

本発明において周辺配線部１３が有する複数の周辺配線は、上述の通り、隣接する周辺配線間で平行な部分を有する。以下にこの平行な部分について図２を用いて説明する。図２は、本発明における、隣接する周辺配線の位置関係を説明するための拡大図である。

図２において、線分２１〜２４は全てｘ方向に伸びているので平行である。線分２２において、点２２１〜２２２間では線分２２の垂線２２１１及び垂線２２２１は線分２３と交わる。この場合、すなわち図中ｘ方向において線分２２と線分２３に並列する部分が存在する場合に、線分２２と線分２３は隣接する位置関係にあると言う。また線分２３において、点２３１〜２３２間では線分２３の垂線２３１１及び垂線２３２１は線分２４と交わる。この場合、すなわち図中ｘ方向において線分２３と線分２４に並列する部分が存在する場合に、線分２３と線分２４は隣接する位置関係にあると言う。一方、線分２１と２２の間には垂線を引いても交わる領域が無い。この場合、すなわち図中ｘ方向において線分２１と線分２２には並列する部分が存在しない場合には、線分２１と線分２２は隣接する位置関係にない。ここで、２本の線分が並列する位置関係にあっても、それらの間に他のパターンが挟まれて存在している場合は、それらが隣接しているとは言わない。このように図２においては、隣接する線分２２と線分２３との間に平行な部分が存在し、隣接する線分２３と線分２４との間に平行な部分が存在し、更には、それぞれが隣接する関係にある線分２２と線分２３と線分２４の３本が平行であるため、これらの３本で本発明における平行な部分を形成しているとも言える。このように、本発明における平行な部分は、隣接する２本の周辺配線のみで形成していてもよく、各々が隣接している３本以上の周辺配線で形成していても良い。また、平行な部分は周辺配線部中に少なくとも１箇所存在すればよい。なお、上記した本発明における「隣接」の定義は、アース部におけるアース配線の位置関係においても同義である。

次にアース部について説明する。本発明の光透過性導電材料は、前記したセンサー部１１と電気的に接続されないアース部１５を有する。

図３は、図１に示した光透過性導電材料の周辺配線部、端子部、アース部の拡大図である。なお図３中、光透過性のセンサー部１１と、光透過性のダミー部１２は省略した。本発明において、アース部１５はセンサー部１１とは接続されない。本発明において、アース部１５を構成するアース配線は、端子部１４に接続されていてもいなくても良いが、アース部１５は、端子部に接続される少なくとも一本のアース配線と、他の部位に接続されない複数のアース配線から構成されることが好ましい。図３中、端子１４ｒに接続されるアース配線は１５１で示し、他の部位に接続されない複数のアース配線は１５ａ〜１５ｈで示した。図３において、アース部１５はアース配線１５１、アース配線１５ａ〜１５ｈから構成され、配線の方向がｘ方向において、それぞれ隣接しかつ平行な部分を有する。図３では、配線の方向がｘ方向において、それぞれが隣接する関係にある全てのアース配線が平行となっている例を示したが、本発明において、平行な部分はアース部中に少なくとも１箇所存在すれば良い。

図３では、アース配線１５１は端子１４ｒに接続される配線であり、同時に、光透過性のセンサー部１１と、光透過性のダミー部１２と、周辺配線部１３を、端子部１４以外の場所で取り囲む配線でもある（前述の図１参照）。このようにアース配線の少なくとも一本は、光透過性のセンサー部１１と、光透過性のダミー部１２と、周辺配線部１３を、端子部１４以外の場所で取り囲むことが好ましい。これにより静電破壊に対する耐性にとりわけ優れた光透過性導電材料が得られる。

なお図３では、複数の周辺配線間に存在する平行な部分は、配線の方向がｘ方向において平行な部分と、配線の方向がｙ方向において平行な部分の２方向であり、一方、複数のアース配線間に存在する平行な部分は、配線の方向がｘ方向において平行であるから、複数の周辺配線間に存在する平行な部分の配線の方向と、複数のアース配線間に存在する平行な部分の配線の方向はｘ方向で一致している。このように、周辺配線部の周辺配線が平行な部分の配線の方向と、アース部のアース配線が平行な部分の配線の方向が一致していることで、静電破壊に対する耐性にとりわけ優れた光透過性導電材料が得られるため好ましい。

次に図３を用いて、本発明における最小間隔距離について説明する。

図３において、周辺配線部１３は周辺配線１３ａ、１３ｂ、・・・、１３ｐから構成され、周辺配線１３ａ、１３ｂ、・・・、１３ｐは、配線の方向がｘ方向及びｙ方向の２方向において、それぞれ隣接しかつ平行な部分を有する。これらの平行な部分の中で、周辺配線間の間隔距離が最も狭い箇所を図中Ｄ１３で示した。本発明では、この周辺配線間の間隔距離が最も狭い箇所Ｄ１３の配線間隔距離を最小間隔距離Ａとする。周辺配線間の間隔距離が最も狭い箇所Ｄ１３が複数存在していてもよく、更には、配線の方向が同一である周辺配線が平行な部分の周辺配線間の間隔距離（例えば図３においては、周辺配線１３ａ、１３ｂ、・・・、１３ｐの各々の配線の方向が同一のｘ方向であって、隣接する周辺配線と平行な部分の各配線間の間隔距離）が、全て最小間隔距離Ａであることが好ましい。これにより静電破壊に対する耐性に優れた光透過性導電材料が得られる。図３において、アース配線間の間隔距離が最も狭い箇所を図中Ｄ１５で示した。本発明では、このアース配線間の間隔距離が最も狭い箇所Ｄ１５の配線間隔距離を最小間隔距離Ｂとする。アース配線間の間隔距離が最も狭い箇所Ｄ１５が複数存在していてもよい。そして、本発明では周辺配線間の最小間隔距離Ａとアース配線間の最小間隔距離Ｂは、Ａ＞Ｂの関係にある。このような関係を保つことで、静電破壊による歩留まりの低下を改善した光透過性導電材料を得ることが可能となる。また、アース配線間の最小間隔距離Ｂは、周辺配線間の最小間隔距離Ａに対して１０〜８０％であることが好ましい。

本発明において、周辺配線部を構成する周辺配線の線幅は５〜２００μｍが好ましく、より好ましくは１０〜１００μｍである。周辺配線の長さは、タッチパネルの画面の大きさによって異なるが、通常その範囲は１〜１０００ｍｍである。一方、周辺配線部における個々の周辺配線間の間隔距離は５〜１５０μｍが好ましく、１０〜７０μｍであることがより好ましく、１０〜５０μｍであることが特に好ましい。このような線幅と周辺配線間の間隔距離を調整することで、液晶ディスプレイの画面以外の部分をより狭くすることが可能となる。アース部を構成するアース配線の線幅は、周辺配線部を構成する周辺配線の線幅と同じか、もしくはそれより太い方が好ましい。これにより静電破壊に対する耐性に優れた光透過性導電材料が得られる。また前述の通り、アース配線間の最小間隔距離Ｂは周辺配線間の最小間隔距離Ａよりも小さいが、配線の方向が同一であるアース配線が平行な部分のアース配線間の間隔距離（例えば図３においては、アース配線１５１及びアース配線１５ａ〜１５ｈの各々の配線の方向が同一のｘ方向であって、隣接するアース配線と平行な部分の各配線間の間隔距離）が、全て周辺配線間の最小間隔距離Ａよりも小さいことが好ましい。更には、この条件を満たした上で、アース配線間の間隔距離は５〜１５０μｍであることが好ましく、５〜５０μｍであることがより好ましい。アース部の配線間隔は全て同じであっても良いが、異なっていても良い。周辺配線とアース配線の厚みは０．０５〜１０μｍであることが好ましく、０．０５〜２μｍの厚みであることがより好ましい。

本発明の光透過性導電材料が有する支持体としては、プラスチック、ガラス、ゴム、セラミックス等が好ましく用いられる。本発明において支持体は、全光線透過率が６０％以上である光透過性支持体であることが好ましい。プラスチックの中でも、フレキシブル性を有する樹脂フィルムは、取扱い性が優れている点で好適に用いられる。光透過性支持体として使用される樹脂フィルムの具体例としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、フッ素樹脂、シリコーン樹脂、ジアセテート樹脂、トリアセテート樹脂、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリ塩化ビニル、ポリスルフォン、ポリエーテルスルフォン、ポリイミド、ポリアミド、ポリオレフィン、環状ポリオレフィン等からなる樹脂フィルムが挙げられ、その厚さは２５〜３００μｍであることが好ましい。支持体は物理現像核層、易接着層、接着剤層など公知の層を有することができる。

本発明の光透過性導電材料が有する光透過性のセンサー部と該センサー部と交互に並ぶ光透過性のダミー部には、公知の光透過性導電層などを用いることができる。例えば、光透過性のセンサー部をＩＴＯ（酸化インジウムスズ）導電膜で形成し、ＩＴＯ導電膜が無い部分をダミー部とすることができる。更には、ＩＴＯ導電膜よりも光透過性を高くできることや可撓性が高いことなどの利点を有することから、金属細線により形成した網目状金属パターンが好ましく用いられる。網目状金属パターンを形成する際に用いる金属としては、金、銀、銅、ニッケル、アルミニウム、及びこれらの複合材により形成されることが好ましい。本発明においては、光透過性のセンサー部、光透過性のダミー部、端子部、周辺配線部及びアース部を、同じ金属を用いて形成すると、同じ手法で同時に作製することができるため、生産性の観点から好ましい。

本発明において、光透過性のセンサー部、光透過性のダミー部、端子部、周辺配線部及びアース部を、金属パターンにより形成する方法としては、銀塩感光材料を用いて銀画像を得る方法や、同方法を用いて得られた銀画像に、更に無電解めっきや電解めっきを施す方法、スクリーン印刷等により導電性インキを印刷する方法、導電性インクをインクジェット法で印刷する方法、無電解めっき等で銅などの金属からなる導電性層を形成する方法、あるいは蒸着やスパッタなどで導電性層を形成し、その上にレジスト膜を形成し、露光、現像、導電性層のエッチング、レジスト層除去することで得る方法、銅箔などの金属箔を貼り、更にその上にレジスト膜を形成し、露光、現像、金属箔のエッチング、レジスト層除去することで得る方法など、公知の方法を用いることができる。中でも、光透過性のセンサー部と光透過性のダミー部を構成する網目状金属パターンを微細化することが容易な銀塩拡散転写法を用いることが好ましい。銀塩拡散転写法を用いた方法は、例えば特開２００３−７７３５０号公報や特開２００５−２５０１６９号公報に記載されている。これらの手法で作製した網目状金属パターンの細線の厚みは０．０５〜５μｍが好ましく、より好ましくは０．１〜１μｍである。

本発明の光透過性導電材料が有する光透過性のセンサー部及び光透過性のダミー部が、金属細線により形成した網目状金属パターンを有する場合、網目状金属パターンは複数の単位格子を網目状に配置した幾何学形状を有することが好ましい。単位格子の形状としては、例えば正三角形、二等辺三角形、直角三角形などの三角形、正方形、長方形、菱形、平行四辺形、台形などの四角形、六角形、八角形、十二角形、二十角形などのｎ角形、星形などを組み合わせた形状が挙げられ、また、これらの形状の単独の繰り返し、あるいは２種類以上の複数の形状の組み合わせが挙げられる。中でも、単位格子の形状としては正方形もしくは菱形が好ましい。また、ボロノイ図形やドロネー図形、ペンローズタイル図形などに代表される不規則幾何学形状も、本発明での好ましい網目状金属パターンの形状の一つである。

光透過性のセンサー部及び光透過性のダミー部を構成する金属線の線幅は２０μｍ以下が好ましく、１〜１０μｍがより好ましい。また、単位格子の繰り返し間隔は６００μｍ以下が好ましく、４００μｍ以下がより好ましい。下限は５０μｍ以上である。光透過性のセンサー部及び光透過性のダミー部の開口率は８５％以上が好ましく、８８〜９９％がより好ましい。

本発明の光透過性導電材料が有する光透過性のダミー部は、光透過性のセンサー部の視認性を低下させる目的で利用するものであり、光透過性のダミー部は端子部と電気的に接続されない。前述のように、センサー部としてＩＴＯ導電膜を用いる場合は、単にＩＴＯ導電膜が無い部分をダミー部としてもよいが、センサー部を金属細線により形成した場合は、ダミー部に何も設けないとセンサー部が目立ってしまうため、ダミー部にも金属細線によるパターンを形成することにより、センサー部とダミー部が、見た目に差が少なくなり、センサー部の視認性を低下させることができる。しかし、ダミー部を金属細線により形成すると導電性が生じるため、ダミー部とセンサー部との間で導電物質の存在しない絶縁部分を少なくとも設けることで電気的な接続を絶つことが必要となる。この絶縁部分は金属細線に断線部分を設けることで容易に形成できる。断線部分の長さとしては３０μｍ以下であることが好ましく、３〜１５μｍであることがより好ましく、更に好ましくは５〜１２μｍである。また、ダミー部の内部にも複数の断線部分を設けることが好ましい。これによりセンサーとした時の感度が優れた光透過性導電材料が得られる。またダミー部は、センサー部の視認性を低下させる目的から、センサー部と同じ形状の単位格子からなることが好ましく、一部が断線した単位格子から構成される断線格子とすることも可能である。断線部を設ける方法としては、単位格子を構成する金属細線に直交するように格子の一部に断線部を設けても良いし、あるいは単位格子を構成する金属細線を斜めに断線させる断線部を設けても良い。ダミー部の金属細線の線幅はセンサー部の金属細線と同じ線幅か、あるいはダミー部の断線部分の面積に相当する分だけ、太くすることが好ましい。ダミー部における断線部分の長さは３０μｍ以下であることが好ましく、より好ましくは３〜１５μｍである。また、センサー部とダミー部の全光線透過率の差は１％以内であることが好ましい。

本発明において端子部は、光透過性のセンサー部に接続された周辺配線と接続され、該端子部にＦＰＣ配線などをボンディングしてＩＣ回路に接続することで、光透過性のセンサー部で受信した静電容量情報をＩＣ回路に受け渡す役割を有する。端子部が有する複数の端子の形状には長方形、角丸長方形、円、楕円など公知の形状を用いることができる。

本発明の光透過性導電材料は、光透過性のセンサー部、光透過性のダミー部等を有する側の面、あるいはその反対側の面に、ハードコート層、反射防止層、粘着層、防眩層など公知の層を有することができる。

以下、本発明に関し実施例を用いて詳細に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。

＜光透過性導電材料１の作製＞
支持体として、厚み１００μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを用いた。なおこの支持体の全光線透過率は９１％であった。

次に下記処方に従い、物理現像核層塗液を作製し、支持体上に塗布、乾燥して物理現像核層を設けた。

＜硫化パラジウムゾルの調製＞
Ａ液 塩化パラジウム ５ｇ
塩酸 ４０ｍｌ
蒸留水 １０００ｍｌ
Ｂ液 硫化ソーダ ８．６ｇ
蒸留水 １０００ｍｌ
Ａ液とＢ液を撹拌しながら混合し、３０分後にイオン交換樹脂の充填されたカラムに通し硫化パラジウムゾルを得た。

＜物理現像核層塗液の調製＞銀塩感光材料１ｍ^２あたりの量
前記硫化パラジウムゾル ０．４ｍｇ
２質量％グリオキザール水溶液 ０．２ｍｌ
界面活性剤（Ｓ−１） ４ｍｇ
ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル ５０ｍｇ
（ナガセケムテックス（株）製デナコールＥＸ−８３０）
１０質量％ポリエチレンイミン水溶液 ０．５ｍｇ
（（株）日本触媒製ＳＰ−２００、平均分子量１０，０００）

続いて、支持体に近い方から順に下記組成の中間層、ハロゲン化銀乳剤層、及び保護層を上記物理現像核液層の上に塗布、乾燥して、銀塩感光材料を得た。ハロゲン化銀乳剤は、写真用ハロゲン化銀乳剤の一般的なダブルジェット混合法で製造した。このハロゲン化銀乳剤は、塩化銀９５モル％と臭化銀５モル％で、平均粒径が０．１５μｍになるように調製した。このようにして得られたハロゲン化銀乳剤を定法に従いチオ硫酸ナトリウムと塩化金酸を用い、金イオウ増感を施した。こうして得られたハロゲン化銀乳剤は銀１ｇあたり０．５ｇのゼラチンを含む。

＜中間層組成＞銀塩感光材料１ｍ^２あたりの量
ゼラチン ０．５ｇ
界面活性剤（Ｓ−１） ５ｍｇ
染料１ ５ｍｇ

＜ハロゲン化銀乳剤層組成＞銀塩感光材料１ｍ^２あたりの量
ゼラチン ０．５ｇ
ハロゲン化銀乳剤 ３．０ｇ銀相当
１−フェニル−５−メルカプトテトラゾール ３ｍｇ
界面活性剤（Ｓ−１） ２０ｍｇ

＜保護層組成＞銀塩感光材料１ｍ^２あたりの量
ゼラチン １ｇ
不定形シリカマット剤（平均粒径３．５μｍ） １０ｍｇ
界面活性剤（Ｓ−１） １０ｍｇ

このようにして得た銀塩感光材料と、図１のパターンを有するポジ型透過原稿とを密着し、水銀灯を光源とする密着プリンターで４００ｎｍ以下の光をカットする樹脂フィルターを介して露光した。なお、図１のパターンを有するポジ型透過原稿において、光透過性のセンサー部１１は、線幅５μｍ、一辺３００μｍで狭い方の角度が６０°の菱形の単位図形からなる網目状パターンを有する。光透過性のダミー部１２は、線幅５μｍで光透過性のセンサー部１１と同じ形状の菱形の単位図形からなるが、菱形の辺の中央に長さ５μｍの断線部を設け、光透過性のセンサー部１１と光透過性のダミー部１２との境界部に長さ１０μｍの断線部を設けている。なお、センサー部１１と光透過性のダミー部１２の全光線透過率の差は０．０５％である。周辺配線部１３と端子部１４及びアース部１５は全てベタの線分からなる。なお、このポジ型透過原稿を図３で説明すると、周辺配線部１３が有する周辺配線（１３ａ〜１３ｐ）の線幅は全て２０μｍであり、配線の方向がｘ方向において、これらが隣接しかつ平行な部分における配線間隔距離は全て２０μｍである。この平行な部分の配線間隔距離２０μｍは、周辺配線部１３の他の平行な部分の配線間隔距離より小さいため、最小間隔距離Ａは２０μｍである。また、アース部１５が有するアース配線（１５１、１５ａ〜１５ｈ）の線幅は全て３０μｍであり、配線の方向がｘ方向において、これらが隣接しかつ平行な部分における配線間隔距離は全て１０μｍであり、従って最小間隔距離Ｂも１０μｍである。（以下の例においても、周辺配線部及びアース部の配線間隔距離は、各々、配線の方向がｘ方向において配線が隣接しかつ平行な部分における値を言い、最小間隔距離Ａ及び最小間隔距離Ｂはその平行な部分に存在している。）

その後、露光した銀塩感光材料を下記の拡散転写現像液中に２０℃で６０秒間浸漬し、続いてハロゲン化銀乳剤層、中間層及び保護層を４０℃の温水で水洗除去し、乾燥処理して光透過性導電材料１を得た。以上の作業を繰り返して、図１の形状の金属パターンを有する光透過性導電材料１を１００枚得た。なお、得られた光透過性導電材料における金属パターンの線幅、配線間隔距離は図１のパターンを有するポジ型透過原稿と同じであった。また、光透過性のセンサー部１１及び光透過性のダミー部１２を構成する網目状金属パターンの細線の厚み、及び周辺配線（１３ａ〜１３ｐ）とアース配線（１５１、１５ａ〜１５ｈ）の金属パターンの厚みを共焦点顕微鏡で調べたところ、何れも０．１μｍであった。下記の光透過性導電材料２〜８においても、共焦点顕微鏡で調べた各金属パターンの厚みは、何れも０．１μｍであった。

＜拡散転写現像液組成＞
水酸化カリウム ２５ｇ
ハイドロキノン １８ｇ
１−フェニル−３−ピラゾリドン ２ｇ
亜硫酸カリウム ８０ｇ
Ｎ−メチルエタノールアミン １５ｇ
臭化カリウム １．２ｇ
水を加えて全量を１０００ｍｌとし、ｐＨを１２．２に調整した。

＜光透過性導電材料２の作製＞
図１のパターンを有するポジ型透過原稿において、アース配線（１５１、１５ａ〜１５ｈ）の各配線間の配線間隔距離を全て１８μｍ（従って最小間隔距離Ｂも１８μｍ）に変更した以外は同様のポジ型透過原稿を用い、これを用いて露光した以外は光透過性導電材料１と同様にして、光透過性導電材料２を１００枚得た。

＜光透過性導電材料３の作製＞
図１のパターンを有するポジ型透過原稿において、アース配線（１５１、１５ａ〜１５ｈ）の各配線間の配線間隔距離を全て２５μｍ（従って最小間隔距離Ｂも２５μｍ）に変更した以外は同様のポジ型透過原稿を用い、これを用いて露光した以外は光透過性導電材料１と同様にして、光透過性導電材料３を１００枚得た。

＜光透過性導電材料４の作製＞
図１のパターンを有するポジ型透過原稿において、アース部１５が有するアース配線のうちのアース配線１５１のみを残し、他のアース配線（１５ａ〜１５ｈ）を削除した以外は同様のポジ型透過原稿を用い、これを用いて露光した以外は光透過性導電材料１と同様にして、光透過性導電材料４を１００枚得た。

＜光透過性導電材料５の作製＞
図１のパターンを有するポジ型透過原稿において、アース配線の内、１５ａ〜１５ｄの各配線間の配線間隔距離を全て２５μｍに変更し、１５ｄ〜１５１の各配線間の配線間隔距離を全て１８μｍ（従って最小間隔距離Ｂは１８μｍ）に変更した以外は同様のポジ型透過原稿を用い、これを用いて露光した以外は光透過性導電材料１と同様にして、光透過性導電材料５を１００枚得た。

＜光透過性導電材料６の作製＞
図１のパターンを有するポジ型透過原稿において、アース配線の内、１５ａと１５ｂの間の配線間隔距離を１０μｍとし、１５ｂと１５ｃの間の配線間隔距離を１４μｍ、１５ｃと１５ｄの間の配線間隔距離を１８μｍ、・・・、１５ｈと１５１の間の配線間隔距離を３８μｍと、隣接するアース配線間の間隔距離が１５ａから１５１にかけて４μｍずつ増えるように変更した（従って最小間隔距離Ｂは１０μｍ）以外は同様のポジ型透過原稿を用い、これを用いて露光した以外は光透過性導電材料１と同様にして、光透過性導電材料６を１００枚得た。

＜光透過性導電材料７の作製＞
図１のパターンを有するポジ型透過原稿において、周辺配線の内、１３ａと１３ｂの間の配線間隔距離を１５μｍとし、その他の周辺配線間における配線間距離を全て２５μｍ（従って最小間隔距離Ａは１５μｍ）に変更し、アース配線（１５１、１５ａ〜１５ｈ）の各配線間の配線間隔距離を全て２０μｍ（従って最小間隔距離Ｂも２０μｍ）に変更した以外は同様のポジ型透過原稿を用い、これを用いて露光した以外は光透過性導電材料１と同様にして、光透過性導電材料７を１００枚得た。

＜光透過性導電材料８の作製＞
図１のパターンを有するポジ型透過原稿において、周辺配線の内、１３ａと１３ｂの間の配線間隔距離を１５μｍとし、その他の周辺配線間における配線間距離を全て２５μｍ（従って最小間隔距離Ａは１５μｍ）に変更した以外は同様のポジ型透過原稿を用い、これを用いて露光した以外は光透過性導電材料１と同様にして、光透過性導電材料８を１００枚得た。

得られた光透過性導電材料１〜８について、図１のパターンを有するポジ型透過原稿ではパターンが繋がっている関係にあるセンサー部１１〜端子部１４を一つの導電単位とし、導電単位内での導通の有無と、他の導電単位との間での短絡の有無をテスター（サインソニック社製ＤＴ９２０５Ａ）にて測定し、１００枚の光透過性導電材料の内、導通が全てのセンサー部（１１ａ〜１１ｐ）を有する導電単位で認められ、短絡が一切無い光透過性導電材料の枚数を良品率（％）として評価した。また、銅板の上に、得られた光透過性導電材料１〜８を、光透過性のセンサー部、光透過性のダミー部等を有する側の面が、銅板と接触しない向きに重ね、更に銀画像面の上に厚み１００μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを置き、２３℃５０％雰囲気下で１日シーズニングした後、静電破壊試験器（ＥＭ ＴＥＳＴ社製ＤＩＴＯ ＥＳＤ Ｓｉｍｕｌａｔｏｒ、以下ＤＩＴＯと称す。）を用いて静電破壊テストを行った。静電破壊テストを行うにあたり、先端チップはＤＭ１チップを用いた。そして、ＤＩＴＯのアース線を銅板に取り付け、ＤＩＴＯの先端チップ部分を１００μｍＰＥＴフィルムの上、かつ端子部１４の上になるよう置いて、電圧８ｋＶで１回静電放射を行った。放射後、ＰＥＴフィルムを剥がし、センサー部１１全線内ならびに周辺配線部１３全線内での導通を確認し、断線がないものを○、１本のものを△、２本以上あるものを×とした。これらの結果を表１に示す。

上記表１の試験結果から明らかなように、本発明によって良品率が良好で静電破壊が少ない光透過性導電材料を得ることができ、タッチパネル製造時の歩留まりの低下を改善することができた。

＜光透過性導電材料９の作製＞
図１のパターンを有するポジ型透過原稿において、光透過性のセンサー部１１の部分のみが、網目状パターンでなくベタパターンで描かれ、それ以外の部分にはパターンを有さない原稿を用意した。ＩＴＯフィルム（東洋紡（株）製３００Ｒ）のＩＴＯ面の上に、厚み１５μｍのドライフィルムレジスト（旭化成（株）製ＳＵＮＦＯＲＴシリーズＳＰＧ１０２）をラミネートし、更に水銀灯を光源とする密着プリンターで４００ｎｍ以下の光をカットする樹脂フィルターを介さず、このポジ型透過原稿を密着させて露光し、３０℃の１質量％炭酸ナトリウム水溶液中で揺動させながら４０秒間現像した。続けて、ＩＴＯ用エッチング液（佐々木化学薬品（株）製エスクリーンＩＳ）を用いて常温で１２０秒間ＩＴＯ被膜をエッチングし（なお、エッチング処理の前後には水洗工程を設けている）、その後、４０℃の３質量％水酸化ナトリウム水溶液をスプレーで吹き付けることにより、ドライフィルムレジストを剥離、除去し、水洗、乾燥してＩＴＯのパターニングフィルムを得た。

図１と同様の周辺配線部１３、端子部１４及びアース部１５のパターンが描かれ、それら以外の部分にはパターンを有さないポジ型透過原稿を用意した。このポジ型透過原稿において、周辺配線（１３ａ〜１３ｐ）の線幅は全て２０μｍとし、周辺配線間における配線間距離は全て２０μｍ（従って最小間隔距離Ａも２０μｍ）とし、また、アース配線（１５１、１５ａ〜１５ｈ）の線幅は全て３０μｍとし、アース配線間における配線間隔距離は全て１０μｍ（従って最小間隔距離Ｂも１０μｍ）とした。上記のようにして得たＩＴＯのパターニングフィルムのＩＴＯ側の面の上に、もう一度厚み１５μｍのドライフィルムレジスト（旭化成（株）製ＳＵＮＦＯＲＴシリーズＳＰＧ１０２）をラミネートし、更に水銀灯を光源とする密着プリンターで４００ｎｍ以下の光をカットする樹脂フィルターを介さず、センサー部１１とその他の部分の位置関係が図１と同様になるよう、このポジ型透過原稿を密着させて露光し、３０℃の１質量％炭酸ナトリウム水溶液中で揺動させながら４０秒間現像した。なお、レジストパターンにおける周辺配線部１３及びアース部１５の線幅、配線間隔距離はポジ型透過原稿と同じであった。続けて、銀ナノインキ（三菱製紙（株）製ＭＵ０１）を固形分塗布量が１ｇ／ｍ^２となるよう塗布、乾燥し、３０質量％塩化ナトリウム水溶液に４０℃で１分浸漬し、水洗乾燥させた。乾燥後のドライフィルムレジスト表面を１００番のサンドペーパーで軽くこすった後、４０℃の３質量％水酸化ナトリウム水溶液をスプレーで吹き付けることにより、ドライフィルムレジストを剥離、除去し、水洗、乾燥して光透過性導電材料９を得た。以上の作業を繰り返して、光透過性導電材料９を１００枚作製した。なお、得られた光透過性導電材料９の周辺配線部１３及びアース部１５の線幅、配線間隔距離はポジ型透過原稿と同じであった。周辺配線（１３ａ〜１３ｐ）及びアース配線（１５１、１５ａ〜１５ｈ）の厚みを共焦点顕微鏡で調べたところ、何れも０．１μｍであった。

＜光透過性導電材料１０＞
図１と同様の周辺配線部１３と端子部１４が描かれ、更に、アース部１５のうちのアース配線１５１のみが描かれ、それら以外の部分にはパターンを有さないポジ型透過原稿を用意した。このポジ型透過原稿において、周辺配線（１３ａ〜１３ｐ）の線幅は全て２０μｍとし、周辺配線間における配線間距離は全て２０μｍ（従って最小間隔距離Ａも２０μｍ）とした。光透過性導電材料９における、周辺配線部１３、端子部１４及びアース部１５のパターンが描かれ、それら以外の部分にはパターンを有さないポジ型透過原稿の代わりにこのポジ型透過原稿を用いた以外は光透過性導電材料９と同様にして、光透過性導電材料１０を１００枚作製した。なお、得られた光透過性導電材料１０の周辺配線部１３の線幅、配線間隔距離、アース部１５の線幅はポジ型透過原稿と同じであった。周辺配線（１３ａ〜１３ｐ）及びアース配線（１５１）の厚みを共焦点顕微鏡で調べたところ、何れも０．１μｍであった。

光透過性導電材料９と１０を光透過性導電材料１〜８と同様に評価し、表２のような結果を得た。

上記表２の試験結果から明らかなように、本発明によって良品率が良好で静電破壊が少ない光透過性導電材料を得ることができ、タッチパネル製造時の歩留まりの低下を改善することができた。

１ 光透過性導電材料
２ 支持体
１１、１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｐ センサー部
１２、１２ａ、１２ｂ、１２ｃ ダミー部
１３ 周辺配線部
１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｐ 周辺配線
１４、１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｒ 端子部
１５ アース部
１５１、１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄ、１５ｈ アース配線
２１、２２、２３、２４ 線分
２２１、２２２、２３１、２３２ 点
２２１１、２２２１、２３１１、２３２１ 垂線

Claims (4)

1. 支持体上に、第一の方向に伸びる光透過性のセンサー部と、第一の方向に対し垂直な方向である第二の方向において該センサー部と交互に並ぶ光透過性のダミー部と、端子部と、該センサー部と該端子部とを電気的に接続する複数の周辺配線から構成される周辺配線部と、該センサー部と電気的に接続されず、互いの間にも電気的な接続は無い複数のアース配線から構成されるアース部を有し、周辺配線部が有する複数の周辺配線は、隣接する周辺配線間で平行な部分を有し、アース部が有する複数のアース配線は、隣接するアース配線間で平行な部分を有し、該周辺配線が平行な部分において、周辺配線間の最小間隔距離をＡ、該アース配線が平行な部分において、アース配線間の最小間隔距離をＢとしたとき、Ａ＞Ｂである光透過性導電材料。
2. 周辺配線部の周辺配線が平行な部分の配線の方向と、アース部のアース配線が平行な部分の配線の方向が一致している請求項１に記載の光透過性導電材料。
3. 配線の方向が同一である周辺配線が平行な部分の周辺配線間の間隔距離が、全て最小間隔距離Ａである請求項１または２に記載の光透過性導電材料。
4. 配線の方向が同一であるアース配線が平行な部分のアース配線間の間隔距離が、全て最小間隔距離Ａよりも小さい請求項１〜３のいずれか１項に記載の光透過性導電材料。