JP2017156828A - 光透過性導電材料 - Google Patents

Abstract

【課題】信頼性に優れた光透過性導電材料を提供する。
【解決手段】光透過性支持体２上に、光透過性導電部１３と周辺配線部１４および光透過性導電部と周辺配線部を取り囲むダミー周辺配線部を少なくとも有し、周辺配線部を構成する複数の周辺配線１４ａ、１４ｂおよびダミー周辺配線部を構成するダミー周辺配線１５は銀および／または銅を含有し、周辺配線の表面は他の金属で被覆されておらず、ダミー周辺配線部を構成するダミー周辺配線の少なくとも一部は、銅よりイオン化傾向の大きな金属で被覆されていることを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、信頼性に優れた光透過性導電材料に関するものである。

スマートフォン、パーソナル・デジタル・アシスタント（ＰＤＡ）、ノートＰＣ、タブレットＰＣ、ＯＡ機器、医療機器、あるいはカーナビゲーションシステム等の電子機器においては、これらのディスプレイに入力手段としてタッチパネルが広く用いられている。

タッチパネルには、位置検出の方法により光学方式、超音波方式、抵抗膜方式、表面型静電容量方式、投影型静電容量方式などがあり、上記したディスプレイ用途においては抵抗膜方式と投影型静電容量方式が好適に利用されている。抵抗膜方式のタッチパネルは、光透過性支持体上に光透過性導電層を有する光透過性導電材料を２枚利用し、これら光透過性導電材料をドットスペーサーを介して対向配置した構造をしており、タッチパネルの１点に力を加えることにより光透過性導電層同士が接触し、各光透過性導電層に印加された電圧をもう一方の光透過性導電層を通して測定することで、力の加えられた位置の検出を行うものである。一方、投影型静電容量方式のタッチパネルは、２層の光透過性導電層を有する光透過性導電材料を１枚、または１層の光透過性導電層を有する光透過性導電材料を２枚利用し、指等を接近させた際に生じる光透過性導電層間の静電容量変化を検出し、指を接近させた位置の検出を行うものである。後者は可動部分がないため耐久性に優れる他、多点同時検出ができることから、スマートフォンやタブレットＰＣなどで、とりわけ広く利用されている。

投影型静電容量方式のタッチパネルにおいては、光透過性導電層をパターニングし複数のセンサー部とすることで、多点同時検出や移動点の検出を可能にしている。このセンサー部が検出した静電容量の変化を電気信号として外部に取り出すため、光透過性導電材料が有する全てのセンサー部と、外部に電気信号を取り出すために設けられる端子部との間には、これらを電気的に接続する複数の周辺配線から構成される周辺配線部が設けられる。通常、前記したセンサー部（光透過性導電部）はディスプレイ上に位置し、周辺配線部はディスプレイの外、いわゆる額縁部に位置する。従来、センサー部などの光透過性導電部には、ＩＴＯ（インジウム−錫酸化物）が用いられ、周辺配線の材料としてはアルミニウム、銀、銅、モリブデン合金等の金属が用いられてきた。例えば特開２０１４−８１８６９号公報（特許文献１）では、光透過性導電部をＩＴＯ膜で形成し、周辺配線部には導電性の高い銅が用いられている。

また、上記したＩＴＯ膜を有する光透過性導電材料に代わり、光透過性導電層として網目状金属細線パターンを有する光透過性導電材料も知られている。このような光透過性導電材料を得る方法としては、例えば特開２０１４−１９７５３１号公報には、光透過性支持体上に下地層と感光性レジスト層とをこの順に有する導電性材料前駆体に対し、感光性レジスト層面を露光後、現像し、レジスト画像を形成した後、無電解めっきを行ってレジスト画像に被覆されていない下地層上に網目状金属細線パターンを形成し、その後レジスト画像を除去する製造方法が開示されている。

さらに網目状金属細線パターンを有する光透過性導電材料を製造するためのまた別の方法として、銀塩感光材料を導電材料前駆体として利用する方法も知られており、例えば特開２０１６−１５１２３号公報（特許文献２）には、光透過性支持体上に物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層を少なくともこの順に有する導電材料前駆体に、可溶性銀塩形成剤および還元剤をアルカリ液中で作用させて網目状金属細線パターンを形成させる銀塩拡散転写法が開示されている。かかる方法によれば、光透過性導電部と周辺配線部は導電性の高い銀により形成される。

近年、タッチパネル用途の光透過性導電材料においては、そのディスプレイのデザイン性を高めるため、周辺配線部が占める面積をより少なくする狭額縁化が求められている。かかる周辺配線部を作製するためには、より狭い線幅の周辺配線を形成することが求められる。このため周辺配線部には高い導電性が得られる銀や銅が好適に用いられる。

一方、特開２０１５−１０３２２３号公報（特許文献３）には、光の反射を防止するため、導電性金属層、黒化補助層、黒化層を備えた導電層を有する導電性基材が記載され、該導電性金属層は銅または銅合金から構成され、黒化補助層にはニッケル、ニッケル合金、ニッケル化合物または窒化銅等が利用されている。

特開２０１４−８１８６９号公報 特開２０１６−１５１２３号公報 特開２０１５−１０３２２３号公報

一般に、銅、銀といった貴金属は化学的安定性で見劣りする。このため、周辺配線部に銀および／または銅を含有する複数の周辺配線を有する光透過性導電材料では、例えば大気中の硫化水素の影響によって、あるいは人の汗等に含まれる塩化物イオンの影響によって抵抗値が変動する場合があり、かかる抵抗値の変動はタッチパネルの信頼性（センサー機能の信頼性）に影響を及ぼすため、改善が求められていた。特に光透過性導電部として網目状金属細線パターンを有する光透過性導電材料では、周辺配線部に上記した硫化水素や塩化物イオンの影響が及ばなくとも、網目状金属細線パターンがこれらの影響をとりわけ受けやすく、改善が求められていた。

本発明の課題は、信頼性に優れた光透過性導電材料を提供することにある。

本発明の上記課題は、以下の発明によって達成される。
（１）光透過性支持体上に、光透過性導電部と周辺配線部、および該光透過性導電部と該周辺配線部を取り囲むダミー周辺配線部を少なくとも有し、該周辺配線部を構成する複数の周辺配線、およびダミー周辺配線部を構成するダミー周辺配線は銀および／または銅を含有し、該周辺配線の表面は他の金属で被覆されておらず、該ダミー周辺配線部を構成するダミー周辺配線の少なくとも一部は、銅より卑な金属で被覆されていることを特徴とする光透過性導電材料。
（２）上記した光透過性導電部が網目状金属細線パターンを有する、上記（１）記載の光透過性導電材料。
（３）上記した光透過性導電材料が更に、光透過性導電部および周辺配線部を取り囲まず、ダミー周辺配線よりも外側に位置するマーク部を有し、該マーク部の少なくとも一部が銅より卑な金属で被覆されていることを特徴とする、上記（１）または（２）に記載の光透過性導電材料。

本発明により、信頼性に優れた光透過性導電材料を提供することができる。

本発明の光透過性導電材料の一例を示す概略平面図 図１における一点鎖線Ａで切断した箇所の概略断面図 実施例で用いた原稿

以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の光透過性導電材料が有する光透過性支持体としては、プラスチック、ガラス、ゴム、セラミックス等が好ましく用いられる。これら光透過性支持体は全光線透過率が６０％以上であるものが好ましい。プラスチックの中でも、フレキシブル性を有する樹脂フィルムは、取扱い性が優れている点で、好適に用いられる。光透過性支持体として使用される樹脂フィルムの具体例としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、フッ素樹脂、シリコーン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ジアセテート樹脂、トリアセテート樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリスルフォン樹脂、ポリエーテルスルフォン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状ポリオレフィン樹脂等が挙げられる。樹脂フィルムの厚さは２５〜３００μｍであることが好ましい。また該光透過性支持体は、易接着層、ハードコート層、反射防止層、粘着層、防眩層等公知の層を有していてもよい。

本発明の光透過性導電材料が有する光透過性導電部は、複数の光透過性のセンサー部と複数の光透過性のダミーセンサー部を有することが好ましい。該光透過性のセンサー部およびダミーセンサー部としては、ＩＴＯ、ＡＴＯ、ＩＧＺＯ、ＦＴＯ、酸化亜鉛、酸化スズなどの透明導電材料によって、あるいは銀や銅などのナノワイヤがバインダー中に分散された組成物によって形成された透明導電層、あるいは金、銀、銅、ニッケル、アルミニウム、及びこれらの複合材を含有する金属細線により形成された網目状金属細線パターン等を例示することができる。中でもヘイズが低く、高い導電性を有する網目状金属細線パターンは好適である。

前記した透明導電材料によって、光透過性のセンサー部とダミーセンサー部を形成する方法としては、真空スパッタ法、真空蒸着法、めっき法などの公知の方法を例示することができる。また銀や銅などのナノワイヤにより光透過性のセンサー部とダミーセンサー部を形成する方法としては、特開２０１２−１３２０８２号公報などに記載される公知の方法を用いて作製することができる。またこれら透明導電層は、層を形成した後、液体レジストを塗布したり、ドライレジストを接着してエッチングするエッチング法、あるいはレーザーアブレーション法などの公知の方法でパターニングすることができる。

前記した網目状金属細線パターンの形成方法は特に限定されず、例えば特開２００４−２２１５６４号公報に記載されている、銀塩感光材料を導電性材料前駆体として利用し直接現像方式によって網目状金属細線パターンを形成する方法、特開２００３−７７３５０号公報や特開２００５−２５０１６９号公報に記載されている、銀塩感光材料を導電性材料前駆体として利用し銀塩拡散転写法により網目状金属細線パターンを形成する方法、同銀塩拡散転写法を用い、得られた銀画像に無電解めっきを施す方法、スクリーン印刷やインクジェット印刷等により導電性インキを印刷する方法、無電解めっき、蒸着、スパッタ、金属箔の貼合等により金属層を形成し、その上にレジスト膜を形成し、露光、現像、エッチング、レジスト層除去を施す方法等、公知の方法を用いることができる。中でも銀塩拡散転写法を利用する方法は、高い導電性が得られ、かつパターンの微細化が容易であるため、特に好ましい。

以下に、網目状金属細線パターンによって光透過性のセンサー部とダミーセンサー部を形成した場合を例として、本発明の光透過性導電材料を説明する。

図１は本発明の光透過性導電材料の一例を示す概略平面図である。図１において光透過性導電材料１は光透過性支持体２の上にセンサー部１１とダミーセンサー部１２からなる光透過性導電部１３を有する。センサー部１１は、図中ｙ方向に伸びた、複数のセンサー（例えば１１ａ、１１ｂ、１１ｃ等）が、図中ｘ方向に並ぶことで形成される。センサー部１１は周辺配線部１４を介して、端子部１６と電気的に接続される。さらに光透過性導電材料１は、センサー部１１の視認性を低下させる目的で、前記したセンサー１１ａ〜１１ｃ等とｘ方向において交互に並ぶ複数のダミーセンサー１２ａ〜１２ｃ等から構成されるダミーセンサー部１２を有する。ダミーセンサー部１２はセンサー部１１および周辺配線部１４と電気的に接続しない。

周辺配線部１４は、センサー部１１と端子部１６を電気的に接続する複数の周辺配線（図中１４ａ、１４ｂ等）から構成される。端子部１６は、センサー部１１と外部とを電気的に接続するための部分であり、センサー部１１が有するセンサーの数に応じて複数の端子（図中１６ａ、１６ｂ等）から構成される。センサー１１ａは周辺配線１４ａを介し端子１６ａに電気的に接続されており、センサー部１１ａで検出された静電容量変化は端子１６ａを通して電気信号として外部に取り出される。図１においては、センサー部１１の一端で周辺配線部１４と接続しているシングルルーティーンタイプを例示したが、センサー部１１の両端で周辺配線部１４と接続するダブルルーティーンタイプであっても良い。

図１においてダミー周辺配線１５は、センサー部１１、周辺配線部１４を、端子部１６以外の箇所で取り囲み、かつ該ダミー周辺配線１５はセンサー部１１、周辺配線部１４のいずれとも電気的に接続しない。ただし、ダミー周辺配線１５はダミー端子１７あるいは１７′と電気的に接続されても良い。その際、ダミー端子１７および１７′は端子部１６と並んで配置され、ダミー端子１７および１７′は例えばアース線と接続するための端子として好ましく用いられる。また図１においてダミー周辺配線部はダミー周辺配線１５が１本から構成されるが、本発明においてダミー周辺配線部は複数本のダミー周辺配線から構成されていても良い。さらにダミー周辺配線は断線部を有することもできる。

本発明においてダミー周辺配線部を構成するダミー周辺配線の少なくとも一部は、銅より卑な金属で被覆されている。これを説明するため、図１における一点鎖線Ａで切断した箇所の概略断面図を図２に示した。

図２において、ダミー周辺配線部を構成するダミー周辺配線１５の少なくとも一部は、金属箔１８によって被覆されている。金属箔１８をダミー周辺配線１５の全てに被覆することも可能であるが、製造工程が複雑になることから好ましくない。図２において金属箔１８はダミー周辺配線１５の上面のみを被覆し、光透過性支持体２と接触していないが、ダミー周辺配線１５の上面および側面を被覆しても良いし、光透過性支持体と接触していても良い。ダミー周辺配線５の少なくとも一部を被覆する方法としては、アルミニウムペーストや亜鉛ペーストなどの銅より卑な金属を含有するペーストをダミー周辺配線１５の上に塗布する方法や、上記した銅より卑な金属により形成された金属箔を接着剤を用いてダミー周辺配線１５の上に貼合する方法、光透過性導電材料１にマスキング処理を施し、ダミー周辺配線１５の所望の位置に、銅より卑な金属を蒸着したり、スパッタしたりする方法などが挙げられる。銅より卑な金属で被覆された部分は、ダミー周辺配線１５と電気的に接続していることが好ましく、例えば前記した金属箔１８を接着剤でダミー周辺配線１５に貼合する場合、該接着剤は導電性接着材を用いることが好ましい。銅より卑な金属としては、アルミニウム、ニッケル、亜鉛、スズ、鉛、コバルト、カドミウムが好ましく、特にスズ、亜鉛が好ましい。ダミー周辺配線１５を被覆する部分の面積は特に制限はないが、１〜１００ｍｍ^２の面積だと被覆加工が容易であるため好ましい。また被覆部分の形状は任意であり、例えば前記した金属箔１８の形状は正方形、長方形、菱形、円、楕円、多角形、不定形など任意の形状を採用することができる。被覆部分の厚みは厚すぎると、他の部材と貼合するなどして積層体を製造する際の加工が困難になることから、その厚みは０．１〜１００μｍであることが好ましく、より好ましくは０．３〜３０μｍである。

図１において、光透過性導電部１３および周辺配線部１４を取り囲まず、ダミー周辺配線１５よりも外側に位置するマーク部２０の少なくとも一部は、金属箔１９によって被覆されている。かかる金属箔１９は金属箔１８と同様、銅より卑な金属から構成されることが好ましく、特にアルミニウム、亜鉛が好適である。また金属箔１９の好ましい面積、形状、厚みについても金属箔１８と同様である。金属箔１８および金属箔１９は銅より卑な金属から構成されていれば、同じ種類の金属であっても、別の金属であっても良い。このように光透過性導電部および周辺配線部を取り囲まず、ダミー周辺配線よりも外側に位置するマーク部の少なくとも一部を、銅より卑な金属で被覆することは、信頼性にとりわけ優れた光透過性導電材料が得られるため、好ましい。なお図示したように、マーク部２０は光透過性導電部１３、周辺配線部１４、およびダミー周辺配線部（ダミー周辺配線１５）と電気的に接続されない。

本発明において、光透過性のセンサー部１１とダミーセンサー部１２を形成する網目状金属細線パターンは、複数の単位格子を網目状に配置した幾何学形状を有することが好ましい。これによりセンサーの感度、視認性（センサーの形状が見えにくい難視認性）に優れた光透過性導電材料を得ることができる。単位格子の形状としては、例えば正三角形、二等辺三角形、直角三角形などの三角形、正方形、長方形、菱形、平行四辺形、台形などの四角形、六角形、八角形、十二角形、二十角形などのｎ角形、星形などを組み合わせた形状が挙げられ、またこれらの形状の単独の繰り返し、あるいは２種類以上の複数の形状の組み合わせが挙げられる。中でも単位格子の形状としては正方形もしくは菱形が好ましい。またボロノイ図形やドロネー図形、ペンローズタイル図形などに代表される不規則幾何学形状も好ましい網目状金属細線パターンの形状の一つである。

網目状金属細線パターンを構成する金属細線の線幅は２０μｍ以下であることが視認性の観点から好ましく、更に好ましくは１〜１０μｍである。また単位格子の繰り返し間隔は５０〜６００μｍであることがセンサーの感度、視認性の観点から好ましく、更に好ましくは５０〜４００μｍ以下である。センサー部１１、およびダミーセンサー部１２の開口率は８５％以上であることが好ましく、８８〜９９％がより好ましい。

光透過性導電部がＩＴＯ、ＡＴＯ、ＩＧＺＯ、ＦＴＯ、酸化亜鉛、酸化スズなどの透明導電材料によって、あるいは銀や銅などのナノワイヤがバインダー中に分散された組成物によって形成された透明導電層である場合、センサー部１１とダミーセンサー部１２との導通を断つため、光透過性のセンサー部１１とダミーセンサー部１２の間はスリットが設けられる。かかるスリットとは、スリット間の抵抗値が１ＭΩ以上となるよう、透明導電層が無い部分、あるいは透明導電層の厚みが薄い部分を示すものであり、該スリットの間隔は５〜１００μｍが好ましく、さらに１０〜５０μｍであることが好ましい。これによりスリットの視認性が低下し、また十分な絶縁性が得られるため好ましい。スリットは導電性ガラスあるいはナノワイヤ層をパターニングする際に、同時に形成することが好ましい。さらに上記したスリットは、光透過性のセンサー部１１とダミーセンサー部１２の間のみならず、ダミーセンサー部１２内にも設けることが好ましい。これによりセンサー感度が良好な光透過性導電材料が得られる。

光透過性導電部が網目状金属細線パターンによって形成される場合、光透過性のセンサー部１１とダミーセンサー部１２との境界に位置する単位格子は断線部を有することが好ましい。該断線部の長さとしては３０μｍ以下であることが視認性の観点から好ましく、３〜１５μｍであることがより好ましく、さらに好ましくは５〜１２μｍである。またダミーセンサー部１２は、センサー部１１の視認性を低下させる目的から、センサー部１１と同じ形状の単位格子から形成されることが好ましい。なお、ダミーセンサー部１２の単位格子が断線部を含む場合、センサー部の単位格子との形状比較において、該断線部の存在に伴う形状の変化は含めないものとする。断線部を設ける方法としては、単位格子を構成する金属細線と直交するように格子の一部に断線部を設けてもよいし、あるいは単位格子を構成する金属細線を斜めに横切るように断線部を設けてもよい。ダミーセンサー部１２の金属細線の線幅はセンサー部１１の金属細線と同じ線幅か、あるいはダミーセンサー部１２の断線部分の面積に相当する分だけ、太くすることが好ましい。またセンサー部１１とダミーセンサー部１２の全光線透過率の差は０〜１％であることが好ましい。

本発明において周辺配線部１４を構成する周辺配線、およびダミー周辺配線部１５を構成するダミー周辺配線は、銀および／または銅を含有する。また本発明においてセンサー部１１とダミーセンサー部１２が網目状金属細線パターンを有する場合、該網目状金属細線パターンは銀および／または銅を含有することが好ましく、さらに前述したマーク部２０も銀および／または銅を含有することが好ましく、これらは全て同じ組成であることが特に好ましい。これにより本発明の光透過性導電材料を製造する際の工程数が減少することで、製造コストが低減できる。また工程の減少に伴い、異物が混入する確率も低下し歩留まりの向上が期待できる。周辺配線、ダミー周辺配線、端子部、ダミー端子部１７ならびに１７′、マーク部２０の厚みは０．０５〜５μｍが好ましく、より好ましくは０．０８〜１μｍである。

本発明において周辺配線部１４を構成する周辺配線、およびダミー周辺配線部１５を構成するダミー周辺配線の線幅は、５〜２００μｍであることが好ましく、１０〜１００μｍであることがより好ましい。周辺配線の長さ、およびダミー周辺配線の長さは、タッチパネルの画面の大きさによって異なるが、一般的に１〜３０００ｍｍである。また周辺配線部１４を構成する周辺配線の間隔、およびダミー周辺配線部１５を構成するダミー周辺配線の間隔については、個々の配線間の距離が最も短い位置において、５〜１５０μｍであることが好ましく、１０〜７０μｍであることがより好ましく、１０〜５０μｍであることが特に好ましい。これによりディスプレイの額縁部をより狭くすることが可能となり、デザイン性がより高まる。

本発明において、マーク部２０の形状は特に限定されず、後工程の加工のためのアライメントマークとして丸型やドーナツ型、十字型の形状であってもよく、図１のような並列した細線であっても良く、矢印形、網目状パターン、あるいはこれらの組み合わされた形状など任意の形状を採用することができる。

本発明では、前述したように、端子部１６は周辺配線部１４と、またダミー端子部１７および１７′はダミー周辺配線１５と接続される。該端子部１６、ダミー端子部１７および１７′にＦＰＣなどをボンディングしてＩＣ回路に接続することで、電気信号をＩＣ回路に受け渡すことが可能となる。端子部１６、ダミー端子部１７および１７′が有する端子形状は、長方形、角丸長方形、円、楕円など公知の形状を採用することができる。

また、本発明の光透過性導電材料は、光透過性支持体の光透過性導電部や周辺配線部等を有する側の面、あるいはその反対側の面に、ハードコート層、反射防止層、防眩層など公知の層を有することができる。また光透過性支持体の光透過性導電部や周辺配線部等を有する側とは反対側の面にも、上記した光透過性導電部や周辺配線部等を設けても良い。

本発明の光透過性導電材料は、他の光透過性機能材料と積層体を形成し、好ましく用いられる。該光透過性機能材料としては、化学強化ガラス、ソーダガラス、石英ガラス、無アルカリガラス等のガラス、ポリエチレンテレフタレート等の各種光透過性樹脂からなるフィルム、および上記したガラスやフィルムの少なくとも一方の面にハードコート層、反射防止層、防眩層、偏光層等の公知の光透過性機能層を有する材料が例示できる。

また上記した積層体を形成するにあたり、上記した光透過性導電材料は他の光透過性機能材料と貼合されることも好ましく行われる。その際、他の光透過性機能材料との間に形成される粘着層としては、全光線透過率が９０％以上の層であることが好ましく、特に好ましくは９５％以上である。また粘着層のヘイズは０〜３％が好ましく、特に好ましくは０〜２％である。粘着層の形成には公知の粘着性組成物を用いることができる。具体的には、天然ゴム系粘着剤、合成ゴム系粘着剤、アクリル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、シリコーン系粘着剤等が例示できる。中でもアクリル系粘着剤は耐候性や透明性に優れることから特に好ましい。

粘着層の形成方法は限定されず、特開平９−２５１１５９号公報や特開２０１１−７４３０８号公報等に例示されているようなアクリル系粘着剤を使用した粘着テープを光透過性導電材料上に貼合する方法、特開２００９−４８２１４号公報、特開２０１０−２５７２０８号公報、特開２０１２−４６６５８号公報等に例示されているような硬化型樹脂を光透過性導電材料上に付与し硬化させる方法、等の方法が例示できる。上記した粘着テープ、硬化型樹脂はともに市販されており、前者では住友スリーエム（株）製高透明性接着剤転写テープ（８１７１ＣＬ／８１７２ＣＬ／８１４６−１／８１４６−２／８１４６−３／８１４６−４等）、日東電工（株）製光学用透明粘着シート（ＬＵＣＩＡＣＳ ＣＳ９６２１Ｔ／ＣＳ９６２２Ｔ／ＣＳ３６２３等）、積水化学工業（株）製高透明両面テープ５４００シリーズ（５４０２／５４０５等）、リンテック（株）製光学粘着シートＭＯシリーズ（ＭＯ−Ｔ０１５、ＭＯ−３０１４等）等が例示でき、後者ではヘンケルジャパン（株）製紫外線硬化型光学透明接着剤Ｌｏｃｔｉｔｅ ＬＯＣＡシリーズ（Ｌｏｃｔｉｔｅ３１９２、３１９３、３１９５、５１９２等）を例示でき、いずれも好ましく用いることができる。

粘着層の厚みは特に限定されないが、薄すぎると光透過性導電材料表面の凹凸へ追従しきれず気泡が生じる場合があり、また厚すぎると積層体の光透過性が損なわれる場合がある。よって粘着層の厚みは５〜２００μｍが好ましく、より好ましくは１０〜１７５μｍである。

本発明の光透過性導電材料において、粘着層は図１における端子部１６およびダミー端子部１７、１７′の上には設けないことが好ましく、当該箇所は前述の通り、ＩＣ回路等に接合される。かかる接合には異方導電性フィルム（ＡＣＦ）や、異方導電性ペースト（ＡＣＰ）が好適であり、ＡＣＦとしては例えば日立化成（株）のアニソルムシリーズなどを好ましく例示することができ、ＡＣＰとしてはスリーボンド（株）のＴＢ３３７３シリーズを好ましく例示することができる。また本発明の光透過性導電材料の全ての導電部位（センサー部１１、ダミーセンサー部１２、周辺配線部１４、ダミー周辺配線１５、マーク部２０、端子部１６、ダミー端子部１７、金属箔１８、１９）のうち、前記したＡＣＦやＡＣＰ、および粘着層で覆われない部分には封止剤を塗布し、空気と接触させないことが好ましい。封止剤としては日立化成（株）のタッフィーＴＢ４２００が例示できる。

以下、本発明に関し実施例を用いて詳細に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。

＜光透過性導電材料１の作製＞
光透過性支持体として、厚み１００μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを用いた。なおこの光透過性支持体の全光線透過率は９１％であった。

次に下記組成の物理現像核層を光透過性支持体上に塗布、乾燥して物理現像核層を設けた。

＜硫化パラジウムゾルの調製＞
Ａ液 塩化パラジウム ５ｇ
塩酸 ４０ｍｌ
蒸留水 １０００ｍｌ
Ｂ液 硫化ソーダ ８．６ｇ
蒸留水 １０００ｍｌ
Ａ液とＢ液を撹拌しながら混合し、３０分後にイオン交換樹脂の充填されたカラムに通し硫化パラジウムゾルを得た。

＜物理現像核層組成／１ｍ^２あたり＞
前記硫化パラジウムゾル ０．４ｍｇ
２質量％グリオキザール水溶液 ０．２ｍｌ
界面活性剤（Ｓ−１） ４ｍｇ
デナコールＥＸ−８３０ ５０ｍｇ
（ナガセケムテックス（株）製ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル）
１０質量％ＳＰ−２００水溶液 ０．５ｍｇ
（（株）日本触媒製ポリエチレンイミン；平均分子量１０，０００）

続いて、光透過性支持体に近い方から順に下記組成の中間層、ハロゲン化銀乳剤層、および保護層を上記物理現像核液層の上に塗布、乾燥して、銀塩感光材料１を得た。ハロゲン化銀乳剤は、写真用ハロゲン化銀乳剤の一般的なダブルジェット混合法で製造した。このハロゲン化銀乳剤は、塩化銀９５モル％と臭化銀５モル％で、平均粒径が０．１５μｍになるように調製した。このようにして得られたハロゲン化銀乳剤を定法に従いチオ硫酸ナトリウムと塩化金酸を用い、金イオウ増感を施した。こうして得られたハロゲン化銀乳剤は銀１ｇあたり０．５ｇのゼラチンを含む。

＜中間層組成／１ｍ^２あたり＞
ゼラチン ０．５ｇ
界面活性剤（Ｓ−１） ５ｍｇ
染料１ ５ｍｇ

＜ハロゲン化銀乳剤層組成／１ｍ^２あたり＞
ゼラチン ０．５ｇ
ハロゲン化銀乳剤 ３．０ｇ銀相当
１−フェニル−５−メルカプトテトラゾール ３ｍｇ
界面活性剤（Ｓ−１） ２０ｍｇ

＜保護層組成／１ｍ^２あたり＞
ゼラチン １ｇ
不定形シリカマット剤（平均粒径３．５μｍ） １０ｍｇ
界面活性剤（Ｓ−１） １０ｍｇ

このようにして得た銀塩感光材料１と、図３に示した図形からなるポジ型透過原稿１とを密着し、水銀灯を光源とする密着プリンターで４００ｎｍ以下の光をカットする樹脂フィルターを介して露光した。なお、ポジ型透過原稿１において、センサー部１１は線幅５μｍ、一辺３００μｍで狭い方の角度が６０°の菱形の単位格子からなる網目状細線パターンを有する。ダミーセンサー部１２は前記したセンサー部１１と同じ菱形の単位格子からなるが、菱形の辺の中央で長さ５μｍの断線部を有し、またセンサー部１１とダミーセンサー部１２との境界部に位置する単位格子の各辺は、長さ１０μｍの断線部を有している。なおセンサー部１１とダミーセンサー部１２との間の全光線透過率の差は０．０５％である。周辺配線部１４が有する周辺配線の線幅は全て２０μｍであり、隣接する周辺配線間の最短距離は２０μｍである。ダミー周辺配線１５およびマーク部２０が有する細線の幅は、いずれも１５０μｍである。

その後、下記拡散転写現像液中に２０℃で６０秒間浸漬した後、続いてハロゲン化銀乳剤層、中間層、および保護層を４０℃の温水で水洗除去し、乾燥処理した。このようにして光透過性導電材料１を得た。共焦点顕微鏡（レーザーテック（株）製、オプテリクスＣ１３０）を用いた観察の結果、得られた光透過性導電材料１の線幅、線間隔等は、前記したポジ型透過原稿１と同じであった。またセンサー部１１およびダミーセンサー部１２を構成する網目状金属細線パターンの厚み、および周辺配線部１４およびダミー周辺配線１５、マーク部２０、端子部１６およびダミー端子部１７、１７′等の厚みについても、同じく共焦点顕微鏡で調べたところ、いずれも０．１０μｍであった。

＜拡散転写現像液組成＞
水酸化カリウム ２５ｇ
ハイドロキノン １８ｇ
１−フェニル−３−ピラゾリドン ２ｇ
亜硫酸カリウム ８０ｇ
Ｎ−メチルエタノールアミン １５ｇ
臭化カリウム １．２ｇ
全量を水で１０００ｍｌ
ｐＨ＝１２．２に調整する。

＜光透過性導電材料２の作製＞
光透過性導電材料１に、図１における金属箔１８、１９の位置に厚さ５μｍ、５ｍｍ×５ｍｍのアルミ箔を導電性接着剤（藤倉化成（株）製ドータイトＦＡ７０５ＢＮ）で接着し、光透過性導電材料２を得た。

＜光透過性導電材料３の作製＞
光透過性導電材料１に、図１における金属箔１８、１９の位置に厚さ１０μｍ、５ｍｍ×５ｍｍのスズ箔を導電性接着剤（藤倉化成（株）製ドータイトＦＡ７０５ＢＮ）で接着し、光透過性導電材料３を得た。

＜光透過性導電材料４の作製＞
光透過性導電材料１に、図１における金属箔１８、１９の位置に厚さ１０μｍ、５ｍｍ×５ｍｍの亜鉛箔を導電性接着剤（藤倉化成（株）製ドータイトＦＡ７０５ＢＮ）で接着し、光透過性導電材料４を得た。

＜光透過性導電材料５の作製＞
光透過性導電材料１に、図１における金属箔１８、１９の位置に厚さ５μｍ、５ｍｍ×５ｍｍの銅箔を導電性接着剤（藤倉化成（株）製ドータイトＦＡ７０５ＢＮ）で接着し、光透過性導電材料５を得た。

＜光透過性導電材料６の作製＞
光透過性導電材料１に、図１における金属箔１８の位置に厚さ５μｍ、５ｍｍ×５ｍｍのアルミ箔を導電性接着剤（藤倉化成（株）製ドータイトＦＡ７０５ＢＮ）で接着し、光透過性導電材料６を得た。なお、光透過性導電材料６においては、図１における金属箔１９の位置には卑な金属箔の貼合はしていない）。

＜信頼性の評価＞
リンテック（株）製光学粘着シート ＭＯ−Ｔ０１５（粘着層厚み５０μｍ）を用意し、光透過性導電材料１〜６のそれぞれにおいて、端子部１６と、ダミー端子部１７および１７′以外の箇所は全て被覆できる形状に裁断し、端子部１６と、ダミー端子部１７および１７′が露出するように貼合して粘着層を形成し、さらに無アルカリガラス（コーニングジャパン（株）製イーグル２０００）を貼合して、光透過性導電材料積層体を得た。このようにして、各光透過性導電材料１〜６を用いた光透過性導電材料積層体を、それぞれ３０枚用意した。

全ての光透過性導電材料積層体の端子部１６、ダミー端子部１７および１７′をマスキングテープにより一時的に封止したうえで、ＪＩＳ−Ｚ２３７１に準じ、スガ試験機（株）製塩水噴霧試験装置内に入れ、２４０時間の中性塩水噴霧試験を実施した。試験に使用した塩化ナトリウム水溶液の塩化ナトリウム濃度は５０ｇ／Ｌ、試験時の水温は３５℃である。試験後、酢酸エチルに光透過性導電材料積層体を３０分浸漬し、その後、無アルカリガラスから光透過性導電材料を剥離し、さらにマスキングテープを剥離した。剥離した光透過性導電材料の端子部１６（例えば、図３における端子１６ａ、１６ｂ・・・）と、該端子部１６と電気的に接続するセンサー部１１の端子部１６から最も遠いセンサー部の端（端子１６ａに対しては２１ａ、１６ｂに対しては２１ｂ、・・・）との間の導通を、デジタルマルチメーターＣＤ７７１（三和電気計器社製）を用いて調べた。３０枚の光透過性導電性材料のうち、断線したチャンネルのある光透過性導電材料の割合を算出した結果を表１に示す。なお、センサー部１１の端はＯＣＡに覆われているが、テスターの金属棒をＯＣＡの中に突き刺して導通を確認した。なお、中性塩水噴霧試験は実施しないで、無アルカリガラスから光透過性導電材料を剥離した場合、断線が起きないことは別途試験で確認できている。

＜光透過性導電材料７の作製＞
上記した光透過性導電材料１に更に無電解銅めっき処理を施し、厚みが０．１０μｍの銀画像上に、０．３０μｍの銅を析出させ、光透過性導電材料７を得た。

＜光透過性導電材料８の作製＞
光透過性導電材料７に、図１における金属箔１８、１９の位置に厚さ５μｍ、５ｍｍ×５ｍｍのアルミ箔を導電性接着剤（藤倉化成（株）製ドータイトＦＡ７０５ＢＮ）で接着し、光透過性導電材料８を得た。

＜光透過性導電材料９の作製＞
光透過性導電材料７に、図１における金属箔１８、１９の位置に厚さ１０μｍ、５ｍｍ×５ｍｍのスズ箔を導電性接着剤（藤倉化成（株）製ドータイトＦＡ７０５ＢＮ）で接着し、光透過性導電材料９を得た。

このようにして得られた光透過性導電材料７〜９のそれぞれについて、光透過性導電材料１〜６と同様の方法にて光透過性導電材料積層体を３０枚ずつ作製し、光透過性導電材料１〜６と同様の方法にて信頼性の評価を実施した。この結果、表２のような結果を得た。

以上の結果から明らかなように、本発明によって信頼性に優れた光透過性導電材料が得られることが判る。

１ 光透過性導電材料
２ 光透過性支持体
１１ センサー部
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ センサー
１２ ダミーセンサー部
１２ａ、１２ｂ、１２ｃ ダミーセンサー
１３ 光透過性導電部
１４ 周辺配線部
１４ａ、１４ｂ 周辺配線
１５ ダミー周辺配線
１６ 端子部
１６ａ、１６ｂ 端子
１７、１７′ ダミー端子
１８、１９ 金属箔
２０ マーク部
２１ａ、２１ｂ センサー部の端

Claims (3)

1. 光透過性支持体上に、光透過性導電部と周辺配線部、および該光透過性導電部と該周辺配線部を取り囲むダミー周辺配線部を少なくとも有し、該周辺配線部を構成する複数の周辺配線、およびダミー周辺配線部を構成するダミー周辺配線は銀および／または銅を含有し、該周辺配線の表面は他の金属で被覆されておらず、該ダミー周辺配線部を構成するダミー周辺配線の少なくとも一部は、銅より卑な金属で被覆されていることを特徴とする光透過性導電材料。
2. 前記した光透過性導電部が網目状金属細線パターンを有する、前記請求項１に記載の光透過性導電材料。
3. 前記した光透過性導電材料が更に、光透過性導電部および周辺配線部を取り囲まず、ダミー周辺配線よりも外側に位置するマーク部を有し、該マーク部の少なくとも一部が銅より卑な金属で被覆されていることを特徴とする、前記請求項１または２に記載の光透過性導電材料。