JP6398405B2 - 半導体装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
しかし、このようなパワー半導体モジュールにおいて、動作時に発生する温度変化により、はんだが膨張及び収縮を繰り返すと、はんだに切り欠け等が発生してしまうことがある。そして、その切り欠けに熱歪みが集中して、はんだに疲労損傷が生じ、パワー半導体モジュールの故障、障害の一因となりうる。
また、本発明の一観点によれば、半導体素子と、平面矩形状である回路板、絶縁板及び金属板が積層して構成され、前記回路板に前記半導体素子が固定され、前記金属板の四隅に設けられた少なくとも1以上の第1溝部を有する絶縁基板と、前記絶縁基板が所定の配置領域に配置され、前記配置領域の四隅に設けられた少なくとも1以上の第2溝部を有する金属製の放熱部材と、前記金属板の四隅と前記放熱部材の四隅との間に配置され、前記第1溝部と前記第2溝部とにそれぞれ嵌合され、第1面と第2面と前記第1面及び前記第2面から構成されて、前記第1面及び前記第2面の前記絶縁基板側が、前記絶縁基板の内側に傾斜しており、平面視で前記絶縁基板の四隅のいずれかに配置される角部とを含む、4つの位置決め部材と、前記絶縁基板と前記放熱部材との間に充填され、前記位置決め部材を覆っているはんだと、を有する半導体装置が提供される。
また、本発明の一観点によれば、平面矩形状である回路板、絶縁板及び金属板が積層して構成され、前記金属板の四隅に設けられた少なくとも1以上の第1溝部を有する絶縁基板を準備する工程と、前記絶縁基板が配置される配置領域の四隅に少なくとも1以上の第2溝部を有する金属製の放熱部材を準備する工程と、前記配置領域の四隅にある前記第2溝部に、4つの位置決め部材を嵌合させる工程と、前記配置領域にはんだ板を載置する工程と、前記金属板の四隅にある前記第1溝部に前記4つの位置決め部材を嵌合させて、前記絶縁基板を前記配置領域に固定する工程と、前記はんだ板を加熱して溶融する工程と、前記はんだ板から溶融した溶融はんだを前記絶縁基板及び前記放熱部材の間に充填させる工程と、前記溶融はんだを冷却して固化する工程と、を有し、前記4つの位置決め部材は、第1面と第2面と前記第1面及び前記第2面から構成されて、前記第1面及び前記第2面の前記絶縁基板側が、前記絶縁基板の内側に傾斜しており、平面視で前記絶縁基板の四隅のいずれかに配置される角部とを含む、半導体装置の製造方法が提供される。
[第1の実施の形態]
第1の実施の形態の半導体装置について、図1〜図3を用いて説明する。
また、図2は、第1の実施の形態の絶縁基板を説明するための図である。図2(A)は絶縁基板の(放熱部材と対向する側の)平面図を、図2(B)は図2(A)の一点鎖線X1−X1における断面図をそれぞれ示す。
半導体素子60a,60bは、例えば、一方にスイッチング素子を、他方にダイオードをそれぞれ適用することができる。
図4及び図5は、半導体装置の製造方法の参考例を説明するための図である。
上記のように、位置決め治具200を用いて放熱部材130の配置領域(はんだ付け領域(予定))にはんだ板140を介して絶縁基板120がセットされる(図5(A))。
次に、絶縁基板120と放熱部材130との間に充填されたはんだ141を冷却し、絶縁基板120と放熱部材130とを、はんだ141から固化されたはんだ142により接合する。この際、全体が冷却されることにより、放熱部材130は収縮して、内側(図5では左側)に移動する。絶縁基板120も放熱部材130の収縮に伴って、内側に移動する。一方で、位置決め治具200の内側への収縮は、絶縁基板120よりも小さい。そのため、絶縁基板120の端部が、位置決め治具200の開口部210の内壁に接触してしまい、絶縁基板120が損傷を受ける場合がある(図5(D))。
図6(A)は放熱部材130に接合された絶縁基板120の平面図を、図6(B)、(C)は、図6(A)の一点鎖線X4−X4,X5−X5の断面図をそれぞれ示す。
しかし、この場合において、絶縁基板120の角部では、二辺からはんだ142の収縮が進むため、図6(C)に示されるように、はんだ142の角部Pにへこみが生じてしまう。このようにはんだ142の角部Pにへこみが生じた半導体装置100に動作時に温度変化が起こると、へこみに熱歪みが集中して疲労損傷が生じ、半導体装置100の故障、障害の一因となりうる。
そこで、第1の実施の形態の半導体装置10の製造方法について、図1〜図3並びに図7を用いて説明する。
次に、放熱部材30の所定の配置領域(はんだ付け領域)の四隅にある第2溝部30aに、上述した図3(C)に記載の4つの位置決め部材50をそれぞれ嵌合させる。また、放熱部材30の配置領域にはんだ板40を載置する。さらに、絶縁基板20の金属板23の四隅にある第1溝部23aに4つの位置決め部材50をそれぞれ嵌合させて、絶縁基板20を放熱部材30の所定の配置領域に固定する(図7(A))。この工程の後、絶縁基板20と放熱部材30との間には、半導体装置10においてはんだ42の厚さとなる所定の距離の間隙が、均一に備わっている。
なお、図8(A)は半導体装置10の平面図を、図8(B),(C)は、図8(A)の一点鎖線X6−X6,X7−X7における断面図をそれぞれ示している。
また、絶縁基板20の四隅の角部でも、図8(C)に示されるように、はんだ42は位置決め部材50を覆い、絶縁基板20の四隅まで広がっている。さらに、はんだ42は、下に向けて広がった良好なフィレット形状を備えている。
なお、位置決め部材50において、その角部Cの角度は鋭角であれば、はんだ42をより効果的に絶縁基板20の各四隅まで到達させることができる。そして角部Cの角度は、絶縁基板20の角部に対応する直角であることが好ましい。
第2の実施の形態では、第1の実施の形態において、別の形状の位置決め部材が適用される場合について説明する。なお、第1の実施の形態の説明と重複する部分については、説明を省略する場合がある。
なお、図9(A)は、第2の実施の形態の位置決め部材の斜視図を、図9(B)は、図8(C)に対応するものであって、図9(A)を用いた半導体装置の角部の断面図をそれぞれ示している。
位置決め部材50aが適用された半導体装置11を図9(B)に示す。半導体装置11では、半導体装置10と同様に、はんだ42が絶縁基板20及び放熱部材30の間隙に充填されており、また、はんだ42は位置決め部材50aを覆い、絶縁基板20の四隅まで広がっている。さらに、位置決め部材50aの場合は、はんだ42が位置決め部材50aの傾斜した面51a,52aを覆うことから、はんだ42は、下に向けて広がった良好なフィレット形状を構成できる。このため、はんだ42の端部に熱歪みが集中することがさらに抑制され、温度サイクル耐性がさらに向上する。
第3の実施の形態では、第1の実施の形態において、さらに別の形状の位置決め部材が適用されて場合について説明する。
位置決め部材50は、その面51,52で構成される角部Cを絶縁基板20の四隅にそれぞれ位置させたために、溶融したはんだ41が位置決め部材50の面51,52、さらに角部Cまで完全に埋設すると、絶縁基板20の四隅まで到達する。
20 絶縁基板
21 絶縁板
22 回路板
23 金属板
23a 第1溝部
30 放熱部材
30a 第2溝部
42,72a,72b はんだ
50 位置決め部材
60a,60b 半導体素子
Claims (9)
- 半導体素子と、
平面矩形状である回路板、絶縁板及び金属板が積層して構成され、前記回路板に前記半導体素子が固定され、前記金属板の四隅にそれぞれ設けられた第1溝部を有する絶縁基板と、
前記絶縁基板が所定の配置領域に配置され、前記配置領域の四隅にそれぞれ設けられた第2溝部を有する金属製の放熱部材と、
前記金属板の四隅と前記放熱部材の四隅との間に配置され、前記第1溝部と前記第2溝部とにそれぞれ嵌合され、第1面と第2面と前記第1面及び前記第2面から構成されて、平面視で前記絶縁基板の四隅のいずれかに配置される角部とを含み、前記角部が前記金属板の四隅と前記配置領域の四隅とにそれぞれ位置された、4つの位置決め部材と、
前記絶縁基板と前記放熱部材との間に充填され、前記位置決め部材を覆っているはんだと、
を有する半導体装置。 - 半導体素子と、
平面矩形状である回路板、絶縁板及び金属板が積層して構成され、前記回路板に前記半導体素子が固定され、前記金属板の四隅に設けられた少なくとも1以上の第1溝部を有する絶縁基板と、
前記絶縁基板が所定の配置領域に配置され、前記配置領域の四隅に設けられた少なくとも1以上の第2溝部を有する金属製の放熱部材と、
前記金属板の四隅と前記放熱部材の四隅との間に配置され、前記第1溝部と前記第2溝部とにそれぞれ嵌合され、第1面と第2面と前記第1面及び前記第2面から構成されて、前記第1面及び前記第2面の前記絶縁基板側が、前記絶縁基板の内側に傾斜しており、平面視で前記絶縁基板の四隅のいずれかに配置される角部とを含む、4つの位置決め部材と、
前記絶縁基板と前記放熱部材との間に充填され、前記位置決め部材を覆っているはんだと、
を有する半導体装置。 - 前記第1溝部は、前記絶縁板に底部が達しない深さを有する請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記位置決め部材は、銅、ニッケル、鉄のいずれかを主成分とする材料で構成されているか、もしくは銅、ニッケル、鉄のいずれかを主成分とする材料で表面が覆われている請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記位置決め部材は、平面視で、L字状、矩形状、三角形状のいずれかである請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記絶縁基板と前記放熱部材とは平行である請求項1または2に記載の半導体装置。
- 平面矩形状である回路板、絶縁板及び金属板が積層して構成され、前記金属板の四隅にそれぞれ設けられた第1溝部を有する絶縁基板を準備する工程と、
前記絶縁基板が配置される配置領域の四隅にそれぞれ設けられた第2溝部を有する金属製の放熱部材を準備する工程と、
前記配置領域の四隅にある前記第2溝部に、第1面と第2面と前記第1面及び前記第2面から構成される角部を含み、前記角部が前記配置領域の四隅にそれぞれ位置されて、4つの位置決め部材を嵌合させる工程と、
前記配置領域にはんだ板を載置する工程と、
前記金属板の四隅にある前記第1溝部に前記角部が前記金属板の四隅にそれぞれ位置されて、前記4つの位置決め部材を嵌合させて、前記絶縁基板を前記配置領域に固定する工程と、
前記はんだ板を加熱して溶融する工程と、
前記はんだ板から溶融した溶融はんだを前記絶縁基板及び前記放熱部材の間に充填させる工程と、
前記溶融はんだを冷却して固化する工程と、
を有する半導体装置の製造方法。 - 平面矩形状である回路板、絶縁板及び金属板が積層して構成され、前記金属板の四隅に設けられた少なくとも1以上の第1溝部を有する絶縁基板を準備する工程と、
前記絶縁基板が配置される配置領域の四隅に少なくとも1以上の第2溝部を有する金属製の放熱部材を準備する工程と、
前記配置領域の四隅にある前記第2溝部に、4つの位置決め部材を嵌合させる工程と、
前記配置領域にはんだ板を載置する工程と、
前記金属板の四隅にある前記第1溝部に前記4つの位置決め部材を嵌合させて、前記絶縁基板を前記配置領域に固定する工程と、
前記はんだ板を加熱して溶融する工程と、
前記はんだ板から溶融した溶融はんだを前記絶縁基板及び前記放熱部材の間に充填させる工程と、
前記溶融はんだを冷却して固化する工程と、
を有し、
前記4つの位置決め部材は、第1面と第2面と前記第1面及び前記第2面から構成されて、前記第1面及び前記第2面の前記絶縁基板側が、前記絶縁基板の内側に傾斜しており、平面視で前記絶縁基板の四隅のいずれかに配置される角部とを含む、
半導体装置の製造方法。 - 前記はんだ板を加熱して溶融する工程の後に、
前記溶融はんだで、前記位置決め部材を覆う工程をさらに有する請求項7または8に記載の半導体装置の製造方法。
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