JP6394967B2 - 移動体装置、露光装置、及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
また、上記実施形態では、一対のY駆動用車輪61とX駆動用車輪62とが設けられた場合について説明したが、駆動輪は、必ずしも設けなくても良い。図8(A)及び図8(B)には、駆動輪が設けられていない変形例に係るウエハステージWST’の側面図及び底面図がそれぞれ示されている。この場合、図8(B)からわかるように、ウエハステージ本体22の底面には、2つの噴出し口73のみが設けられ、開口及び開閉扉等は存在しない。しかるに、図8(A)に示されるように、ウエハステージWST’が定盤30の上面に着地している場合、気室72が形成されている。このため、気体供給装置82から加圧気体(高圧空気)を管路74内に送り込み、噴出し口73から気室72内に噴き出させることで、気室72内を、外部に対して陽圧にすることができる。これにより、ウエハステージWST’の重量を少なくとも一部キャンセルすることができ、この状態で、ウエハステージWST’を作業者が、牽引及び/又は押すことで、手動によりウエハステージWST’を定盤30上で移動させることが可能である。
Claims (15)
- ベース部材と、
前記ベース部材上に配置され、該ベース部材上で移動可能な移動体と、
前記ベース部材に設けられた固定子と、前記移動体に設けられた可動子とを有し、前記移動体を前記ベース部材上で駆動する磁気浮上方式の平面モータと、を備え、
前記移動体は、枠状部材と、噴出し口とを有し、前記移動体の下面側に前記可動子が設けられ、
前記枠状部材は、その内周面で前記可動子を取り囲むように、前記ベース部材に対向する前記移動体の下面に設けられ、前記ベース部材に対向する面が、前記可動子を含む他の部分と同一面となる、又は前記可動子を含む他の部分より前記ベース部材側に突出し、
前記噴出し口は、前記可動子の前記ベース部材に最も近接する部分より前記ベース部材から離れた前記移動体の前記下面上の位置で且つ前記枠状部材の前記内周面の内側の空所に対向する位置に設けられ、外部から供給された加圧気体を前記ベース部材に向けて噴き出す移動体装置。 - 前記噴出し口は、前記空所に対向する、前記移動体の下面上の異なる位置に複数設けられている請求項1に記載の移動体装置。
- 前記枠状部材は、樹脂又は弾性体から成る請求項1又は2に記載の移動体装置。
- 前記移動体と前記枠状部材との間、又は前記枠状部材に、前記枠状部材の内部と外部とを連通する少なくとも1つの通気路が設けられている請求項1〜3のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記通気路は、前記枠状部材を貫通する貫通孔である請求項4に記載の移動体装置。
- 前記移動体に接続され、前記ベース部材に接した状態で所定軸周りに回転して前記移動体の全体を前記軸に直交する方向に案内する案内体と、該案内体を前記ベース部材に接する第1位置と、前記ベース部材に接しない第2位置との間で変位させる変位装置とをさらに備える請求項1〜5のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記案内体として、第1軸周りに回転する第1回転転体と、水平面内において前記第1軸に直交する第2軸周りに回転する第2回転体とが、少なくとも各1つ設けられ、
前記変位装置は、前記第1回転体と、前記第2回転体とを独立して前記第1位置と前記第2位置との間で変位させる請求項6に記載の移動体装置。 - 前記移動体は、前記案内体を回転駆動する駆動装置をさらに含み、
前記変位装置及び前記駆動装置を制御する制御系をさらに備える請求項6又は7に記載の移動体装置。 - 前記制御系は、その少なくとも一部が、遠隔操縦装置によって構成される請求項8に記載の移動体装置。
- 前記遠隔操縦装置は、前記移動体に着脱自在に接続可能である請求項9に記載の移動体装置。
- 前記移動体は、前記加圧気体の供給流路を有し、前記供給流路は一端が前記噴出し口に接続され、他端が前記加圧気体の供給系に接続される供給管と着脱可能に接続される請求項1〜10のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記平面モータによって前記移動体が浮上されている間も、前記噴出し口から前記加圧気体が噴き出される請求項1〜11のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記枠状部材と前記ベース部材との接触・非接触を検知するセンサを更に備え、該センサが両者の接触を検知したとき、前記噴出し口から前記加圧気体が噴き出される請求項1〜12のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 所定の物体が前記移動体に保持される請求項1〜13のいずれか一項に記載の移動体装置と、
前記物体にエネルギビームを照射して所定のパターンを形成するパターン形成装置と、を備える露光装置。 - 請求項14に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
前記露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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