JP6319277B2 - 露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法、並びに露光方法 - Google Patents
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Description
本発明の第4の態様によれば、第1物体及び第2物体を含む複数の物体を、物体支持装置が有する物体支持面により順次支持し、前記物体支持面に支持された前記物体を投影光学系を介して走査露光する露光方法であって、前記第1物体のうち第1部分を支持する第1支持部を含む物体搬入装置により、前記第1物体を、前記投影光学系の光軸に沿った第1方向に関して前記物体支持面上の前記走査露光された第2物体に対して異なる位置であって、前記光軸と交差する第2方向に関して前記物体支持面上の前記第2物体と少なくとも一部重なる所定位置へ搬送することと、前記物体支持面上の前記第2物体を、前記第2方向に沿って搬出することと、前記物体搬入装置により前記所定位置へ搬送された前記第1物体の前記第1部分とは異なる第2部分を第2支持部により支持し、前記第2支持部により支持された前記第1物体を、前記第2物体が搬出された前記物体支持面へ搬入することと、を含み、前記第1支持部は、前記第2支持部により前記第2部分が支持された前記第1物体に対し前記第2方向に関して相対移動され、前記第1物体が前記第1支持部によって支持されない位置に配置され、前記第2支持部は、前記第1方向に関して前記第2部分を前記物体支持面側に移動させることにより前記第1物体を前記物体支持面へ搬入する露光方法が、提供される。
以下、第1の実施形態について、図1〜図11(B)を用いて説明する。
次に第2の実施形態について図12〜図15を用いて説明する。
Claims (20)
- 第1物体及び第2物体を含む複数の物体を、物体支持装置が有する物体支持面により順次支持し、前記物体支持面に支持された前記物体を投影光学系を介して走査露光する露光装置であって、
前記第1物体のうち第1部分を支持する第1支持部を含み、前記投影光学系の光軸に沿った第1方向に関して前記物体支持面上の前記走査露光された第2物体に対して異なる位置であって、前記光軸と交差する第2方向に関して前記物体支持面上の前記第2物体と少なくとも一部重なる所定位置へ、前記第1物体を搬送する物体搬入装置と、
前記物体支持装置に設けられ、前記物体支持面上の前記第2物体を、前記第2方向に沿って搬出する搬出装置と、
前記物体搬入装置により前記所定位置へ搬送された前記第1物体の前記第1部分とは異なる第2部分を支持する第2支持部を含み、前記第2支持部により支持された前記第1物体を、前記搬出装置により前記第2物体が搬出された前記物体支持面へ搬入する物体駆動装置と、を備え、
前記第1支持部は、前記第2支持部により前記第2部分が支持された前記第1物体に対し前記第2方向に関して相対移動され、前記第1物体が前記第1支持部によって支持されない位置に配置され、
前記第2支持部は、前記第1方向に関して前記第2部分を前記物体支持面側に移動させることにより前記第1物体を前記物体支持面へ搬入する露光装置。 - 前記物体駆動装置は、前記物体支持装置に設けられる請求項1に記載の露光装置。
- 前記物体支持装置は、
前記第2方向と、前記第1方向および前記第2方向に交差する第3方向とへ移動する第1移動体と、
前記第1方向に関して、前記第1移動体と異なる位置に設けられ、前記第3方向へ移動する第2移動体と、を有し、
前記搬出装置は、前記2移動体に設けられる請求項1又は2に記載の露光装置。 - 前記搬出装置は、前記第2方向に関して、前記第1移動体の前記第2移動体上における移動可能範囲と重複する位置と前記移動可能範囲外の位置との間で移動する請求項3に記載の露光装置。
- 前記搬出装置は、少なくとも前記走査露光時に前記移動可能範囲外に位置される請求項4に記載の露光装置。
- 前記搬出装置は、前記物体と前記物体支持面との間に挿入される請求項1〜5のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記物体支持装置は、前記物体を非接触支持可能である請求項1〜6のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記物体駆動装置は、前記第2物体を前記物体支持面から離間する方向に移動させる請求項1〜7のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記物体駆動装置は、前記第2物体を前記物体支持面から離間させた状態で前記第2物体を非接触支持し、
前記搬出装置は、非接触支持された前記第2物体を搬出する請求項8に記載の露光装置。 - 前記物体駆動装置は、前記物体に対向する面から気体を噴出して前記物体を浮上させる噴出孔を有する請求項9に記載の露光装置。
- 前記搬出装置は、前記物体支持装置に接近又は離間する方向に駆動する請求項1〜10のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記搬出装置は、前記物体を吸着保持する請求項1〜11のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記物体支持面を前記第1移動体に対して6自由度方向に微少駆動する微少駆動系を更に備える請求項3〜5のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記物体支持装置を下方から支持する支持装置を更に備える請求項1〜13のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記支持装置を下方から支持し、前記支持装置が前記第2方向に移動する際のガイド面を規定するガイド部材を更に備え、
前記ガイド部材は、前記支持装置を下方から支持した状態で移動する請求項14に記載の露光装置。 - 前記物体は、フラットパネルディスプレイ装置に用いられる基板である請求項1〜15のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記基板は、少なくとも一辺の長さが500mm以上である請求項16に記載の露光装置。
- 請求項16又は17に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。 - 請求項1〜15のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 第1物体及び第2物体を含む複数の物体を、物体支持装置が有する物体支持面により順次支持し、前記物体支持面に支持された前記物体を投影光学系を介して走査露光する露光方法であって、
前記第1物体のうち第1部分を支持する第1支持部を含む物体搬入装置により、前記第1物体を、前記投影光学系の光軸に沿った第1方向に関して前記物体支持面上の前記走査露光された第2物体に対して異なる位置であって、前記光軸と交差する第2方向に関して前記物体支持面上の前記第2物体と少なくとも一部重なる所定位置へ搬送することと、
前記物体支持面上の前記第2物体を、前記第2方向に沿って搬出することと、
前記物体搬入装置により前記所定位置へ搬送された前記第1物体の前記第1部分とは異なる第2部分を第2支持部により支持し、前記第2支持部により支持された前記第1物体を、前記第2物体が搬出された前記物体支持面へ搬入することと、を含み、
前記第1支持部は、前記第2支持部により前記第2部分が支持された前記第1物体に対し前記第2方向に関して相対移動され、前記第1物体が前記第1支持部によって支持されない位置に配置され、
前記第2支持部は、前記第1方向に関して前記第2部分を前記物体支持面側に移動させることにより前記第1物体を前記物体支持面へ搬入する露光方法。
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