JPS587637A - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
- Publication number
- JPS587637A JPS587637A JP56106471A JP10647181A JPS587637A JP S587637 A JPS587637 A JP S587637A JP 56106471 A JP56106471 A JP 56106471A JP 10647181 A JP10647181 A JP 10647181A JP S587637 A JPS587637 A JP S587637A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- exposure
- photosensitive material
- section
- supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B27/00—Photographic printing apparatus
- G03B27/32—Projection printing apparatus, e.g. enlarger, copying camera
- G03B27/52—Details
- G03B27/58—Baseboards, masking frames, or other holders for the sensitive material
- G03B27/585—Handling cut photosensitive sheets
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
事ll明は露光装置に岡し、特に大すイズO印刷II用
感光材料01lF送方式を改良した露光装置に閤する。
感光材料01lF送方式を改良した露光装置に閤する。
例えば、新聞印刷用O如く大サイズ0印刷版用感光材料
として用いられるP8販(アルミ基板に感光性樹脂tg
h布したオフセット印刷用O製販用感光材料)は重量1
大きく、tた、損傷を防ぐ意味からも機械により取扱う
ことが望重しい。
として用いられるP8販(アルミ基板に感光性樹脂tg
h布したオフセット印刷用O製販用感光材料)は重量1
大きく、tた、損傷を防ぐ意味からも機械により取扱う
ことが望重しい。
そこで、露光験IO供給郁には上記P8販【多Wk積載
した可搬台車によや供給し、しこから露光部に1枚ずつ
P8販を供給するよう虻し倉籐光装置が要望されていた
。
した可搬台車によや供給し、しこから露光部に1枚ずつ
P8販を供給するよう虻し倉籐光装置が要望されていた
。
本発明は上記事情に鐙みてなされた啄Oで、その目的と
するところは、大量イズの印刷販用感党材料を車扱うに
好遣亀露光装置を農供することkある。
するところは、大量イズの印刷販用感党材料を車扱うに
好遣亀露光装置を農供することkある。
本発明の上記目的は、感光材料V−露光1行う露光部I
l!を有する露光部と、感光材料の供給部と、該供給部
に供給され友感光材料を前記露光1sに移送するIII
の移送手段および前記感光材料管前記露光部から法王I
iに移送する第2os道手段を有する露光装置において
、前記供給sbよび露光藝け本圃光illの正面側に前
記供給部が前記露光部の下方に位置する如く設けられて
おり、前記第1の移送手段は供給された感光材料の最上
層の1枚を取出してこれt後側め上方に移送する機構と
該後斜め上方に移送されて来た感光材料の移送方向を略
水平面内手前方向に転換する機構とを有する如<*t、
された露光装置によって達成される。
l!を有する露光部と、感光材料の供給部と、該供給部
に供給され友感光材料を前記露光1sに移送するIII
の移送手段および前記感光材料管前記露光部から法王I
iに移送する第2os道手段を有する露光装置において
、前記供給sbよび露光藝け本圃光illの正面側に前
記供給部が前記露光部の下方に位置する如く設けられて
おり、前記第1の移送手段は供給された感光材料の最上
層の1枚を取出してこれt後側め上方に移送する機構と
該後斜め上方に移送されて来た感光材料の移送方向を略
水平面内手前方向に転換する機構とを有する如<*t、
された露光装置によって達成される。
以下、本発明の実施例全図面に基づいて詳細に説明する
。
。
第1図は本発明の一実施例を示すPS&露光級智の概要
を模式的に示す右@面図、第2図は■正@図である。以
下、両図を基に、本実施例装置の構成を説明する。
を模式的に示す右@面図、第2図は■正@図である。以
下、両図を基に、本実施例装置の構成を説明する。
本装置の正面下部にはFB版供給部(以下、単k「供給
部」という。)lOがある。供給部lO社可搬台車に積
載されたps版全そのままセットすることができる。ま
た、Pa版の残量が少なく謙っても最上層の位置を一定
に維持するり7トアツブ機構を有している。
部」という。)lOがある。供給部lO社可搬台車に積
載されたps版全そのままセットすることができる。ま
た、Pa版の残量が少なく謙っても最上層の位置を一定
に維持するり7トアツブ機構を有している。
供給部10の上方には、ps版k1枚ずつ取出す給版機
構20がある。給版機構20は籾数の酸漸盤21 A
# 21 B+ ・・・とこれらを上下させる複数の
エアシリンダAOI、ム02.AO3およびps販分離
用エア欧出口22ム、22B?t−有する取出部23が
供給部上方を前後(第1図の矢印入方向)にモータMI
Kで移動可能な如く構成されている。
構20がある。給版機構20は籾数の酸漸盤21 A
# 21 B+ ・・・とこれらを上下させる複数の
エアシリンダAOI、ム02.AO3およびps販分離
用エア欧出口22ム、22B?t−有する取出部23が
供給部上方を前後(第1図の矢印入方向)にモータMI
Kで移動可能な如く構成されている。
給版機構20の彼方には、給km11120から送出さ
れる18版を受取り、これを1N斜め上方に移送する給
版コンベア25がある。受取部のニップローラ26A、
26Bとコンベア部26とは一一のモータM2により駆
動される。
れる18版を受取り、これを1N斜め上方に移送する給
版コンベア25がある。受取部のニップローラ26A、
26Bとコンベア部26とは一一のモータM2により駆
動される。
給版コンベア26の後斜め上方Kij、Pa販【°方向
転換させる機能を有する給排版コンベア3゜がある。給
排版コンベア30は軸1を中心として第1図の矢印0で
示される如く揺動可能に構成されている。この揚動動作
はエアシリンダムo4によ卦実行される。また、輪排版
コンベア30にはraWi位置の予備調整機構が設けで
ある。この予備調整機構は、PBy#iのm後方向の位
置をコンペアの移送によるビンへの当接により、左右方
向の位置をエアシリンダム05により修正するものであ
る。
転換させる機能を有する給排版コンベア3゜がある。給
排版コンベア30は軸1を中心として第1図の矢印0で
示される如く揺動可能に構成されている。この揚動動作
はエアシリンダムo4によ卦実行される。また、輪排版
コンベア30にはraWi位置の予備調整機構が設けで
ある。この予備調整機構は、PBy#iのm後方向の位
置をコンペアの移送によるビンへの当接により、左右方
向の位置をエアシリンダム05により修正するものであ
る。
給排版コンベア30のps版移送方向は給版時と排版時
とで変ることはない。給排版コンベア3゜の手前(ps
版の移送方向では先方になる。)にはガイド板35が、
その移送方向先方、供給部10の上方KFi、露光部4
0がある。露光部ヰ0の詳細については後述することに
して、先に露光部40へops版の供給ならびに露光部
40からのps版の排出を行う給排版キャリア45につ
いて説明する。給#販キャリア45は、複数の吸着盤4
6ムー46B、・・・によってPa販O右端部を吸着し
て移送するキャリアで、モータM4により露光部40と
給緋販コンベア30との間を往復移動可能が如く構成さ
れている。
とで変ることはない。給排版コンベア3゜の手前(ps
版の移送方向では先方になる。)にはガイド板35が、
その移送方向先方、供給部10の上方KFi、露光部4
0がある。露光部ヰ0の詳細については後述することに
して、先に露光部40へops版の供給ならびに露光部
40からのps版の排出を行う給排版キャリア45につ
いて説明する。給#販キャリア45は、複数の吸着盤4
6ムー46B、・・・によってPa販O右端部を吸着し
て移送するキャリアで、モータM4により露光部40と
給緋販コンベア30との間を往復移動可能が如く構成さ
れている。
露光部4(l露光用光源LP、その冷却用ファン、露光
制御機構および遮光用7−ド等を有しているほか、定盤
41上には前後方向および左右方向O位置決めを行う位
置決め機構、Pa版上への原稿および真空密着用カバー
シートの送出し・巻取りならびにスクイズ機構42等が
設けられている。
制御機構および遮光用7−ド等を有しているほか、定盤
41上には前後方向および左右方向O位置決めを行う位
置決め機構、Pa版上への原稿および真空密着用カバー
シートの送出し・巻取りならびにスクイズ機構42等が
設けられている。
位置決め機構は、定盤41上に固定されている右側縁(
−わゆる「地側」kあたる。)基準ビン43ム、給版時
は定盤41内に沈降しており、必要時のみ定4141上
に突出する後端縁基準ビン43m、+3oの3@の基準
ビンと、該基準ピン#cPS版を当接させ位置決めする
ためのブツシャ44A(左右方向)、44B (前後方
向)より成っている。
−わゆる「地側」kあたる。)基準ビン43ム、給版時
は定盤41内に沈降しており、必要時のみ定4141上
に突出する後端縁基準ビン43m、+3oの3@の基準
ビンと、該基準ピン#cPS版を当接させ位置決めする
ためのブツシャ44A(左右方向)、44B (前後方
向)より成っている。
原稿および真空密着用カバーシートの送出し・春取りな
らびにスクイズ機構42は原稿を止着したカバーシー)
の送出し・巻取り軸42ムおよびスクイズルーラ4−2
Bを有する移動ブロック42Cと、前記カバーシートの
先端を保持するシート・ニップ部4211から成り、前
記移動ブロック420けモータM5mより前後方向に移
動可能′&如く構成されている。また、前記シート・ニ
ップPt42Dはエアシリンダム06によ多動作する。
らびにスクイズ機構42は原稿を止着したカバーシー)
の送出し・巻取り軸42ムおよびスクイズルーラ4−2
Bを有する移動ブロック42Cと、前記カバーシートの
先端を保持するシート・ニップ部4211から成り、前
記移動ブロック420けモータM5mより前後方向に移
動可能′&如く構成されている。また、前記シート・ニ
ップPt42Dはエアシリンダム06によ多動作する。
定盤41に打、ps版露光時における真空膣威用の排気
孔のほかに、複数個所に送気孔を備えている。この送気
孔社psyjiを真先部に供給する場合、PS版を露光
部内で移送する場合、あるψはP8販を露光部から排出
する場合痔、ps版を定盤41上會移動させる場合に、
鋭い縁部を有するps版を送風により浮遊支持してスム
ースに移動させることができるようにするために設けら
れて−るもOである。これにより、本実施例装置にお−
では、給排版キャリア45kP 8販Oa端部のみを吸
着して移送する、−わゆる片持ち豪送的な1送方式とし
ても、ps版の移送をスムーズに行うことが可能となっ
ている。前配送気孔の形状・配電等は櫨々の態様tとる
ことが可能である。
孔のほかに、複数個所に送気孔を備えている。この送気
孔社psyjiを真先部に供給する場合、PS版を露光
部内で移送する場合、あるψはP8販を露光部から排出
する場合痔、ps版を定盤41上會移動させる場合に、
鋭い縁部を有するps版を送風により浮遊支持してスム
ースに移動させることができるようにするために設けら
れて−るもOである。これにより、本実施例装置にお−
では、給排版キャリア45kP 8販Oa端部のみを吸
着して移送する、−わゆる片持ち豪送的な1送方式とし
ても、ps版の移送をスムーズに行うことが可能となっ
ている。前配送気孔の形状・配電等は櫨々の態様tとる
ことが可能である。
露光部40からの28版の排出は、前記給排版キャリア
46.ガイド板35ならびに給排版コンベア30により
行われる。
46.ガイド板35ならびに給排版コンベア30により
行われる。
なお、上述の説明においては、各機構の詳細な駆動制御
機構についての説明は省略されている部分もあるが、例
えば給排版キャリア46の初期位置へのセット、動作時
の所定位置への停止および初期位置への復帰等は、各位
置に設けられた一排版キャリア検出手段からの信号に基
づいて、シーケンス・プリグラマにセットされたプログ
ラムに従って遂次実行されるものである。他のキャリア
。
機構についての説明は省略されている部分もあるが、例
えば給排版キャリア46の初期位置へのセット、動作時
の所定位置への停止および初期位置への復帰等は、各位
置に設けられた一排版キャリア検出手段からの信号に基
づいて、シーケンス・プリグラマにセットされたプログ
ラムに従って遂次実行されるものである。他のキャリア
。
コンベア、エアシリンダ等の動作も同様に制御される。
これらの制御を行う制御部60Vi、マイクロ・コンピ
ュータ全内蔵してお秒、檎々のステップの変更等への対
応が容易なものである。
ュータ全内蔵してお秒、檎々のステップの変更等への対
応が容易なものである。
−上述の如く構成された本実施例装置の動作について、
以下、第3図に示したステップに従って説明する。
以下、第3図に示したステップに従って説明する。
(1)準備
P3&の必要量を供給部10に、その感光面を上向龜に
した状態でセットする。露光部40のカバーシートの所
定の位置に原稿をセットする。各移送手段等をすべて初
期状11におく。真空ポンプP□〜Fm= コンプレッ
サCを稼動させる。
した状態でセットする。露光部40のカバーシートの所
定の位置に原稿をセットする。各移送手段等をすべて初
期状11におく。真空ポンプP□〜Fm= コンプレッ
サCを稼動させる。
3)移送α)
スイッチ押下により、給版機構20の取出部23がps
版上に降下し、その最上層の1枚を吸着した後上昇する
。この際、白餡の赦場貼21B、210Fiエアシリン
ダA03.ムo2の作用によりP8販の中央部の上昇全
若干遅らせ、エア吹田口22ム、22Bによるエア吹出
しと相まって、最上層のPa飯のみを分離吸着するよう
動作する。ps版を吸着した取出部23はモータMIK
駆動されて後方ks動し、PsWitl−給版’:xン
ベ725のP凹版受取9p−ラ対26ム、26Bに渡す
、以後18版は給版フンペア25上を移送されて給排版
コンベア30上に達する。
版上に降下し、その最上層の1枚を吸着した後上昇する
。この際、白餡の赦場貼21B、210Fiエアシリン
ダA03.ムo2の作用によりP8販の中央部の上昇全
若干遅らせ、エア吹田口22ム、22Bによるエア吹出
しと相まって、最上層のPa飯のみを分離吸着するよう
動作する。ps版を吸着した取出部23はモータMIK
駆動されて後方ks動し、PsWitl−給版’:xン
ベ725のP凹版受取9p−ラ対26ム、26Bに渡す
、以後18版は給版フンペア25上を移送されて給排版
コンベア30上に達する。
蒙ps版が給排版コンベア30上の所定の位置に達した
ことが検知されると、給排版コンベアδ00駆動モータ
M3が、ps版移送時の平常回転から位置合わせ用の低
速回転に切換わり、Pg版は図示してない調整用ビンに
当接する如く前後方向の位置網盤を受け、同時にエアシ
リンダム06により右方向に押圧させて左右方向の位置
調整を受ける。これと並行して、給版コンベア30はエ
アシリンダAO4iCより上方に回動して略水千位置に
達し、ここで、PSkは給排版キャリア45による吸着
移送#c#される。すなわち、論締販キャリア46の待
機している位置に1前記−動動作によりpsiJi(が
供給されて来て、給版キャリア450吸着盤46ム、4
(3B、 ・・・k@着される。ps版管吸着したこ
とを検知すると、給排版キャリア45Fi前記ガイド3
50上方を通ってPSkを露光部40 K # 送スル
* * 光ms 40 K 1111 L ft 給排
&キャリア46は、FB&011着を解除し、自らはそ
こに待機する。
ことが検知されると、給排版コンベアδ00駆動モータ
M3が、ps版移送時の平常回転から位置合わせ用の低
速回転に切換わり、Pg版は図示してない調整用ビンに
当接する如く前後方向の位置網盤を受け、同時にエアシ
リンダム06により右方向に押圧させて左右方向の位置
調整を受ける。これと並行して、給版コンベア30はエ
アシリンダAO4iCより上方に回動して略水千位置に
達し、ここで、PSkは給排版キャリア45による吸着
移送#c#される。すなわち、論締販キャリア46の待
機している位置に1前記−動動作によりpsiJi(が
供給されて来て、給版キャリア450吸着盤46ム、4
(3B、 ・・・k@着される。ps版管吸着したこ
とを検知すると、給排版キャリア45Fi前記ガイド3
50上方を通ってPSkを露光部40 K # 送スル
* * 光ms 40 K 1111 L ft 給排
&キャリア46は、FB&011着を解除し、自らはそ
こに待機する。
0)位置決め
露光部40に移送された11版は前連の位置決め機構に
より、位置決め操作を受ける。
より、位置決め操作を受ける。
位置決め操作Fi齢述の説明からも明らかな頗く、p
gko右僑縁および後備縁を基準として、基準ピンに当
接させることにより行われる。具体的に祉、先ず、ブツ
シャ44BKよりpsWi、を後端縁基準ピン43n、
!3oK当接させた彼、この状態を維持しつつ、ブツシ
ャ44ムによりP8&)地部基準ビン43ムに当接させ
て、両方向についての位置決めを完了する。
gko右僑縁および後備縁を基準として、基準ピンに当
接させることにより行われる。具体的に祉、先ず、ブツ
シャ44BKよりpsWi、を後端縁基準ピン43n、
!3oK当接させた彼、この状態を維持しつつ、ブツシ
ャ44ムによりP8&)地部基準ビン43ムに当接させ
て、両方向についての位置決めを完了する。
(イ)露光
露光1!S40において位置決めの完了した状態でPS
版上に原稿を止着したカバーシートを展開する。これに
は、カバーシートの先端部全シート・ニップ部−42D
により保トーした後、モータM5’)駆動して、前記移
動ブロックキ20を移動式せて原稿およびカバージー)
ttP S版上に送出しつつ、その&後方からスクイズ
ローラ42Bによってスクイズする。
版上に原稿を止着したカバーシートを展開する。これに
は、カバーシートの先端部全シート・ニップ部−42D
により保トーした後、モータM5’)駆動して、前記移
動ブロックキ20を移動式せて原稿およびカバージー)
ttP S版上に送出しつつ、その&後方からスクイズ
ローラ42Bによってスクイズする。
カバーシートの展開終了と同期して、カバーシート下の
排気を行い所定の真空度に達した時点で、エアシリンダ
ム011を動作させて遮光用7−ドを前記カバーシート
上に下降させて、28版の被露光部分以外に無用の露光
が行われないようにしてps版に所定の焼付露光を行う
。露光が軒了し友ら、遮光7−ドを上昇させ、真空を解
除した後原稿とカバーシートts取り、前記位置決めを
も解除する。
排気を行い所定の真空度に達した時点で、エアシリンダ
ム011を動作させて遮光用7−ドを前記カバーシート
上に下降させて、28版の被露光部分以外に無用の露光
が行われないようにしてps版に所定の焼付露光を行う
。露光が軒了し友ら、遮光7−ドを上昇させ、真空を解
除した後原稿とカバーシートts取り、前記位置決めを
も解除する。
の)移送?)
露光およびこれに付随する後処理操作が終了すると、前
記給排版キャリア45がps版をV着し0(」記東i排
版コンベア30の方に移動し、28版の排出を行う。
記給排版キャリア45がps版をV着し0(」記東i排
版コンベア30の方に移動し、28版の排出を行う。
b)行処理等
ト記各ステップの説明においては省略した7つ;、各移
送手段等は所定の繰作が完了した後VCは、それぞれ初
期位置に復帰しているので、現在処理中のFEI版と重
鎖しない範朋内で、次のPS版含絵版し、露光準備奮進
めておくことも口■能である。
送手段等は所定の繰作が完了した後VCは、それぞれ初
期位置に復帰しているので、現在処理中のFEI版と重
鎖しない範朋内で、次のPS版含絵版し、露光準備奮進
めておくことも口■能である。
同一原稿からの焼付露光を更に継トして行う11合には
、新たに給版されたps版に対して上述のステップ全必
要なだけ繰返す。また、別の原稿からの焼付露光が必要
な場合には原稿のみ、あるいは予め用意した原稿とカバ
ーシートとの1音わせをセントして上記ステップtt#
s返す。
、新たに給版されたps版に対して上述のステップ全必
要なだけ繰返す。また、別の原稿からの焼付露光が必要
な場合には原稿のみ、あるいは予め用意した原稿とカバ
ーシートとの1音わせをセントして上記ステップtt#
s返す。
上記実施例装置に用いたPS版移送方式、露光方式ある
いは位置決め方式等は、−例として学げた本のであって
、本発明はこれに限定さtするべきものではない。
いは位置決め方式等は、−例として学げた本のであって
、本発明はこれに限定さtするべきものではない。
tた、本発明のポイントである移送方向の転換について
も、本発明の技術思想の範囲内でN々の変更が可能であ
ることは言うまでもない。
も、本発明の技術思想の範囲内でN々の変更が可能であ
ることは言うまでもない。
更に、本発明の露光装置は、上記実施例に示したps版
版元光装置限らず、他の私々の感光材料の鋸光装雪とし
て利用することが可能であるとと吃明らかであ乙う。
版元光装置限らず、他の私々の感光材料の鋸光装雪とし
て利用することが可能であるとと吃明らかであ乙う。
以上述べた如く、本発明によれば、感光材料に露光を行
う露光手段を有する露光部と、感光材料O供I8部と、
該供給部に供給された感光材料を前記露光部に移送する
第1の移送手段および酌康i感党材料を前記ν先部から
次工程に移送する第2の1F送手段を有する露光1Wに
おいて、前記供給部および露光部は本露光装置の正面似
に前記供給部が前記露光部の下方に位置する如く設けら
れており、前記第1の移送手段は供給された感光材料の
r→ 最上層01教を取出してこれ1後斜め上方に移遇すゐa
Sと該後側め上方に移送されて来た感光材料の移送方向
を略水平向内手前方向に転換する機構とを有する如く構
成されているので、大サイズ0印jlJ版用朦光材料を
取扱うに好適な露光部Wを提供することができる。
う露光手段を有する露光部と、感光材料O供I8部と、
該供給部に供給された感光材料を前記露光部に移送する
第1の移送手段および酌康i感党材料を前記ν先部から
次工程に移送する第2の1F送手段を有する露光1Wに
おいて、前記供給部および露光部は本露光装置の正面似
に前記供給部が前記露光部の下方に位置する如く設けら
れており、前記第1の移送手段は供給された感光材料の
r→ 最上層01教を取出してこれ1後斜め上方に移遇すゐa
Sと該後側め上方に移送されて来た感光材料の移送方向
を略水平向内手前方向に転換する機構とを有する如く構
成されているので、大サイズ0印jlJ版用朦光材料を
取扱うに好適な露光部Wを提供することができる。
第1図は本発明の一実施例を示すPHflifl光装置
の概賛を示す模式右側面図、@2図!−!同正面図、第
3図は実施例装置の動作ステップを示す同である。 lO:供給部、20:給版機構、25:給版コンヘア、
30:給排版コンベア、35=ガイド板、40=露光部
、41:定盤、45;給排阪キャリア、601制御部。
の概賛を示す模式右側面図、@2図!−!同正面図、第
3図は実施例装置の動作ステップを示す同である。 lO:供給部、20:給版機構、25:給版コンヘア、
30:給排版コンベア、35=ガイド板、40=露光部
、41:定盤、45;給排阪キャリア、601制御部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 感光材料に露光を行う露光部ffを有する露光部と、感
光材料の供給部と、該供給部に供給された感光材料を前
記露光部に移送する第10#送手段および前記感光材料
管前記露光部から次工程ks−すゐ#!20移送手RY
r有する露光装置におして、前記供給部および露光I!
は本側光餉1OJE順鉤に前記供給部が前記露光部0下
方に位電する如く設けられておp1前記第1t)移送手
iハ供給された感光材料O最上層の1牧を取出してこれ
會後側め上方に移送する機構とWIA後斜後側方に移送
されて摩に感光材料の移送上#【略水平面内手前方向に
転換する機構とを有する如く構成されていることを時機
とする露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56106471A JPS587637A (ja) | 1981-07-08 | 1981-07-08 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56106471A JPS587637A (ja) | 1981-07-08 | 1981-07-08 | 露光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS587637A true JPS587637A (ja) | 1983-01-17 |
JPH0315736B2 JPH0315736B2 (ja) | 1991-03-01 |
Family
ID=14434436
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56106471A Granted JPS587637A (ja) | 1981-07-08 | 1981-07-08 | 露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS587637A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61226753A (ja) * | 1985-03-30 | 1986-10-08 | Dainippon Printing Co Ltd | 印刷版の自動ケガキ装置 |
JP2012256027A (ja) * | 2011-05-13 | 2012-12-27 | Nikon Corp | 露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4944413A (ja) * | 1972-09-09 | 1974-04-26 |
-
1981
- 1981-07-08 JP JP56106471A patent/JPS587637A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4944413A (ja) * | 1972-09-09 | 1974-04-26 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61226753A (ja) * | 1985-03-30 | 1986-10-08 | Dainippon Printing Co Ltd | 印刷版の自動ケガキ装置 |
JP2012256027A (ja) * | 2011-05-13 | 2012-12-27 | Nikon Corp | 露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0315736B2 (ja) | 1991-03-01 |
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