JP2005352070A - 基板交換装置及び露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 基板の交換時間を短縮して露光装置のスループットの向上を図る。
【解決手段】 マスクMのパターンが露光転写された後に露光位置の基板ステージ2上の基板Wに対して、該基板Wの搬出を行うと共に、基板ステージ2上に交換用の基板Wを搬入する基板交換装置10において、基板ステージ2の移動方向(X軸方向)に対して直交する基板Wの幅方向(Y軸方向)に水平移動可能とされた搬出用ハンド部50L及び搬入用ハンド部50Rを備え、各ハンド部50L,50Rは基板Wを保持する把持部を有し、且つ該基板Wの厚さ方向(Z軸方向)に昇降可能とされると共に、基板Wの厚さ方向を向く軸線回り(Z軸回り)に旋回可能とされている。
【選択図】 図1
【解決手段】 マスクMのパターンが露光転写された後に露光位置の基板ステージ2上の基板Wに対して、該基板Wの搬出を行うと共に、基板ステージ2上に交換用の基板Wを搬入する基板交換装置10において、基板ステージ2の移動方向(X軸方向)に対して直交する基板Wの幅方向(Y軸方向)に水平移動可能とされた搬出用ハンド部50L及び搬入用ハンド部50Rを備え、各ハンド部50L,50Rは基板Wを保持する把持部を有し、且つ該基板Wの厚さ方向(Z軸方向)に昇降可能とされると共に、基板Wの厚さ方向を向く軸線回り(Z軸回り)に旋回可能とされている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、例えば液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等の大型のフラットパネルディスプレイ等の製造工程で用いられ、基板上にマスクのパターンを露光転写するのに好適な露光装置に用いられる基板交換装置及び該基板交換装置を備えた露光装置に関する。
例えば液晶ディスプレイ等の製造工程において、ガラス等の基板にカラーフィルタや電極の回路等のパターンを露光転写する工程がある。
露光方式には例えば近接露光があり、この近接露光は、被露光材としての基板を近接露光装置の基板ステージ上に保持すると共に、該基板をマスクステージのマスク保持枠に保持されたマスクに接近させて両者のすき間を例えば数10μm〜数100μmにし、次いで、マスクの基板から離間する側から照射装置によって露光用の光をマスクに向けて照射することにより該基板上に該マスクに描かれたパターンを露光転写するようにしたものである。なお、近接露光の他に、投影露光等の方式もある。
露光方式には例えば近接露光があり、この近接露光は、被露光材としての基板を近接露光装置の基板ステージ上に保持すると共に、該基板をマスクステージのマスク保持枠に保持されたマスクに接近させて両者のすき間を例えば数10μm〜数100μmにし、次いで、マスクの基板から離間する側から照射装置によって露光用の光をマスクに向けて照射することにより該基板上に該マスクに描かれたパターンを露光転写するようにしたものである。なお、近接露光の他に、投影露光等の方式もある。
ところで、近接露光には、マスクを基板と同じ大きさにして一括で露光する方式があるが、このような方式では、大型基板上にマスクのパターンを露光転写する場合にマスクが大型化し、マスクの撓みによるパターン精度への影響やコスト面等で問題が生じる。
このような事情から、従来においては、大型基板上にマスクのパターンを露光転写する場合には、基板より小さいマスクを用い、基板ステージを搭載した移動テーブルをマスクに対して例えばX軸方向にステップ移動させて各ステップ毎にマスクを基板テーブル上の基板に近接配置した状態でパターン露光光を照射し、これにより、マスクに描かれた複数のパターンを基板上に露光転写する、所謂ステップ式の近接露光方式が用いられる場合がある。また、近接露光の他に、スキャン方式を組み合わせる等して大型の基板の露光を行う方式もある。
このような事情から、従来においては、大型基板上にマスクのパターンを露光転写する場合には、基板より小さいマスクを用い、基板ステージを搭載した移動テーブルをマスクに対して例えばX軸方向にステップ移動させて各ステップ毎にマスクを基板テーブル上の基板に近接配置した状態でパターン露光光を照射し、これにより、マスクに描かれた複数のパターンを基板上に露光転写する、所謂ステップ式の近接露光方式が用いられる場合がある。また、近接露光の他に、スキャン方式を組み合わせる等して大型の基板の露光を行う方式もある。
なお、露光終了後は、基板交換装置によって基板ステージから露光後の基板を搬出すると共に、該基板ステージに交換用の基板を搬入した後、次の露光を行う。このような基板の搬入、搬出に用いる基板交換装置としては、例えば直動式のアーム伸縮軸を有するものや、多関節アームによる伸縮軸を有するものが開示されている(例えば特許文献1参照)
特開2003−136442号公報
上記従来の基板交換装置においては、近接露光装置側の基板ステージの軸方向の移動ストロークは、基板の前記軸方向のサイズより小さく、且つフットプリントの関係でできるだけ短い長さとされているため、基板が大型化すると、基板交換装置の伸縮軸の伸縮量が長くなって基板の搬入、搬出に時間がかかり、装置全体のスループットが低下する問題がある。
特に、多関節アームによる伸縮軸を有する基板交換装置では、伸縮軸の方向に関して高速度を得ることができる区間が限られるため、アームの伸縮動作が遅く、基板の搬入、搬出に時間がかかってしまう。
本発明はこのような不都合を解消するためになされたものであり、基板の交換時間を短縮して露光装置のスループットの向上を図ることができる基板交換装置及び該基板交換装置を備えた露光装置を提供することを目的とする。
本発明はこのような不都合を解消するためになされたものであり、基板の交換時間を短縮して露光装置のスループットの向上を図ることができる基板交換装置及び該基板交換装置を備えた露光装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、請求項1に係る発明は、マスクのパターンが露光転写された後に露光位置の基板ステージ上の基板に対して、該基板の搬出を行うと共に、前記基板ステージ上に交換用の基板を搬入する基板交換装置において、
前記基板ステージの移動軸方向に対して直交する前記基板の幅方向に水平移動可能とされた搬出用ハンド部及び搬入用ハンド部を備え、各ハンド部は前記基板を保持する把持部を有し、且つ該基板の厚さ方向に昇降可能とされていることを特徴とする。
前記基板ステージの移動軸方向に対して直交する前記基板の幅方向に水平移動可能とされた搬出用ハンド部及び搬入用ハンド部を備え、各ハンド部は前記基板を保持する把持部を有し、且つ該基板の厚さ方向に昇降可能とされていることを特徴とする。
請求項2に係る発明は、請求項1において、前記各ハンド部は、前記基板の厚さ方向を向く軸線回りに独立して旋回可能とされたことを特徴とする。
請求項3に係る発明は、請求項1又は2に記載した基板交換装置を備え、前記基板と前記マスクとをそれぞれX軸及びY軸の2軸方向に相対位置を変えて前記マスクのパターンを前記基板に露光可能とされた露光装置において、
前記搬入用ハンド部から前記基板ステージへの前記基板の受け渡しに際して、前記搬入用ハンド部のY軸方向の水平移動に同期して前記基板ステージを前記搬入用ハンド部に近づける方向に移動させる制御手段を備えることを特徴とする。
請求項3に係る発明は、請求項1又は2に記載した基板交換装置を備え、前記基板と前記マスクとをそれぞれX軸及びY軸の2軸方向に相対位置を変えて前記マスクのパターンを前記基板に露光可能とされた露光装置において、
前記搬入用ハンド部から前記基板ステージへの前記基板の受け渡しに際して、前記搬入用ハンド部のY軸方向の水平移動に同期して前記基板ステージを前記搬入用ハンド部に近づける方向に移動させる制御手段を備えることを特徴とする。
請求項1の発明によれば、搬出用ハンド部の昇降動作により交換位置にある基板ステージ上の露光後の基板を該搬出用ハンド部で受け取ると共に、搬出用ハンド部及び搬入用ハンド部の基板ステージの移動軸方向に対して直交する方向への水平移動動作、並びに搬入用ハンド部の昇降動作により該搬入用ハンド部から交換位置にある基板ステージ上に交換用の基板を搬入して基板の交換を行い、該交換後の搬出用ハンド部及び搬入用ハンド部の基板ステージの移動軸方向に対して直交する方向への水平移動動作及び昇降動作により、搬出用ハンド部から露光後の基板を装置外に搬出すると共に、搬入用ハンド部で装置外の新たな基板を受け取ることができるので、基板の大きさに影響されることなく、高速に基板の交換を行うことができ、これにより、基板の交換時間を短縮して露光装置のスループットの向上を図ることができる。
請求項2の発明では、前記交換後に搬出用ハンド部及び搬入用ハンド部の旋回動作を加えることで、前記水平移動動作のストロークを短くすることができるので、装置のフットプリントを小さくすることができる。
請求項3の発明では、露光装置の更なるスループットの向上を図ることができると共に、基板交換装置の移動ストロークの短縮化を図ることができる。
請求項3の発明では、露光装置の更なるスループットの向上を図ることができると共に、基板交換装置の移動ストロークの短縮化を図ることができる。
以下、本発明の実施の形態の一例を図を参照して説明する。図1は本発明の実施の形態の一例である基板交換装置を用いた近接露光装置を説明するための平面図、図2は図1の矢印A方向から見た図、図3はリニアモータ部の拡大断面図、図4〜図10は基板交換装置の動作を説明するための図である。
まず、近接露光装置から説明すると、近接露光装置は、図1及び図2に示すように、ベース7上にX軸方向に移動可能に設けられたX軸移動テーブル3xと、X軸移動テーブル3x上にY軸方向に移動可能に設けられたY軸移動テーブル3yと、Y軸移動テーブル3yに搭載され、被露光材としての基板Wを保持するワークチャック1を上面に有する基板ステージ2と、基板Wより小さいマスクMを該基板Wに対向させた状態でマスク保持枠4を介して保持するマスクステージ5と、マスクMのパターンを基板Wに露光転写すべく露光用の光をマスクMに向けて照射する照射装置6とを備えており、ベース7のX軸方向の端部に本発明の実施の形態の一例である基板交換装置10が配置されて、基板ステージ2に対して基板Wの搬入、搬出が行われる。
まず、近接露光装置から説明すると、近接露光装置は、図1及び図2に示すように、ベース7上にX軸方向に移動可能に設けられたX軸移動テーブル3xと、X軸移動テーブル3x上にY軸方向に移動可能に設けられたY軸移動テーブル3yと、Y軸移動テーブル3yに搭載され、被露光材としての基板Wを保持するワークチャック1を上面に有する基板ステージ2と、基板Wより小さいマスクMを該基板Wに対向させた状態でマスク保持枠4を介して保持するマスクステージ5と、マスクMのパターンを基板Wに露光転写すべく露光用の光をマスクMに向けて照射する照射装置6とを備えており、ベース7のX軸方向の端部に本発明の実施の形態の一例である基板交換装置10が配置されて、基板ステージ2に対して基板Wの搬入、搬出が行われる。
なお、この実施の形態では、X軸移動テーブル3xの移動方向をX軸、X軸移動テーブル3xの移動方向に対して直交する基板Wの幅方向をY軸、基板Wの厚さ方向をZ軸とする。
X軸移動テーブル3xは、裏面にリニアガイド装置のスライダ24が取り付けられ、該スライダ24はベース7上にX軸方向に沿って平行に設置された案内レール8に転動体(図示せず)を介して跨架されている。これにより、X軸移動テーブル3xが、案内レール8にX軸方向に沿って移動可能に支持されている。
X軸移動テーブル3xは、裏面にリニアガイド装置のスライダ24が取り付けられ、該スライダ24はベース7上にX軸方向に沿って平行に設置された案内レール8に転動体(図示せず)を介して跨架されている。これにより、X軸移動テーブル3xが、案内レール8にX軸方向に沿って移動可能に支持されている。
また、この実施の形態では、X軸移動テーブル3xをX軸方向に駆動(ステップ移動含む)する駆動手段として、リニアモータ14を採用している。
このリニアモータ14は、図3に示すように、ベース7の略中央部にX軸方向に沿って形成された溝15の両側壁に取り付けられた固定子16と、各X軸移動テーブル3xの裏面にX軸方向に沿って設けられた凸条18の両側面に取り付けられた可動子17とを備えており、制御装置20によって制御される。
このリニアモータ14は、図3に示すように、ベース7の略中央部にX軸方向に沿って形成された溝15の両側壁に取り付けられた固定子16と、各X軸移動テーブル3xの裏面にX軸方向に沿って設けられた凸条18の両側面に取り付けられた可動子17とを備えており、制御装置20によって制御される。
なお、X軸移動テーブル3xの駆動手段としては、リニアモータ14の他に、例えば、ボールねじ装置と該ボールねじ装置のねじ軸を回転駆動するモータとの組合せ、タイミングベルトと駆動用モータとの組合せや、シリンダ装置等を用いることができる。
更に、ベース7上のY軸方向の両側には、X軸移動テーブル3xのX軸方向の位置を検出する手段として、2本のリニアスケール30,40がX軸方向に沿って設けられている。2本のリニアスケール30,40の内の一方のリニアスケール30は、他方のリニアスケール40より短くされて、主に露光領域で高精度なX軸移動テーブル3xの位置決めが要求される領域に配置されており、他方のリニアスケール40は、X軸移動テーブル3xのX軸方向の位置を前記リニアスケール30より低い分解能で検出するもので、ベース7のX軸方向の略全長に渡って配置されている。
更に、ベース7上のY軸方向の両側には、X軸移動テーブル3xのX軸方向の位置を検出する手段として、2本のリニアスケール30,40がX軸方向に沿って設けられている。2本のリニアスケール30,40の内の一方のリニアスケール30は、他方のリニアスケール40より短くされて、主に露光領域で高精度なX軸移動テーブル3xの位置決めが要求される領域に配置されており、他方のリニアスケール40は、X軸移動テーブル3xのX軸方向の位置を前記リニアスケール30より低い分解能で検出するもので、ベース7のX軸方向の略全長に渡って配置されている。
これらのリニアスケール30,40の信号は制御装置20に出力され、制御装置20は、X軸移動テーブル3xの高精度の位置決め領域ではリニアスケール30からの信号を選択して該X軸移動テーブル3xの速度を遅くするようにリニアモータ14を制御し、その他の領域ではリニアスケール30より分解能の低いリニアスケール40からの信号を選択してX軸移動テーブル3xの速度を速くするようにリニアモータ14を制御する。なお、図1において符号21はリニアモータの動力線、22はリニアスケール30の信号線、23はリニアスケール40の信号線である。
Y軸移動テーブル3yは、裏面にリニアガイド装置のスライダ24が取り付けられており、該スライダ24はX軸移動テーブル3x上にY軸方向に沿って平行に設置された案内レール8に転動体(図示せず)を介して跨架されている。これにより、Y軸移動テーブル3yが、X軸移動テーブル3x上の案内レール8にY軸方向に沿って移動可能に支持されている。
また、Y軸移動テーブル3yと基板ステージ2との間には、基板ステージ2の単純な上下動作を行うことにより該基板ステージ2を予め設定した位置までマスクMと基板Wとのすき間の計測を行うことなく昇降させる上下粗動装置(図示せず)と、基板ステージ2を上下に微動させてマスクMと基板Wとの対向面間のすき間を所定量に微調整する上下微動装置(図示せず)が設置されている。
Y軸移動テーブル3yは、ステップ送り専用のY軸駆動制御手段(例えば、ボールねじ装置、該ボールねじ装置のねじ軸を回転駆動するモータ及び該モータを制御する制御装置の組合せや、リニアモータと該リニアモータを制御する制御装置の組合せ等)によってY軸方向にステップ移動できるようになっており、これと前記X軸方向の駆動手段により、基板ステージ2上の基板WのX軸及びY軸の2軸のステップ露光を可能にしている。
ここで、この実施の形態では、X軸移動テーブル3xのX軸方向の移動ストロークを基板Wの前記X軸方向の寸法より長く、且つ該基板WがマスクMから完全に外れる長さとし、基板WがマスクMから完全に外れた位置で本発明の実施の形態の一例である基板交換装置10によって基板ステージ2に対して基板Wの搬入、搬出を行う。
ここで、この実施の形態では、X軸移動テーブル3xのX軸方向の移動ストロークを基板Wの前記X軸方向の寸法より長く、且つ該基板WがマスクMから完全に外れる長さとし、基板WがマスクMから完全に外れた位置で本発明の実施の形態の一例である基板交換装置10によって基板ステージ2に対して基板Wの搬入、搬出を行う。
基板交換装置10はベース7のX軸方向の端部に設置されており、Y軸方向に互いに離間配置された搬出用ハンド部50L及び搬入用ハンド部50Rを備えている。ハンド部50L,50Rは上面に基板Wを吸着保持する把持部を有している。一方、基板ステージ2は、基板Wの搬入、搬出時にはワークチャック1のチャック面からピン1aが突出した状態となるようにしている。そして、ハンド部50L,50Rはその先端部が基板ステージ2の複数のピン1a間(図2参照)に挿入可能になっている。
ハンド部50L,50Rの基板載置面、及びピン1aの先端にはそれぞれ真空吸着孔が設けられ、基板Wを吸着保持可能になっている。それぞれは図示しない吸引ポンプを含む空圧制御機構に接続され、基板Wの受け渡しに際し、吸着/解除の制御が可能である。
また、ハンド部50L,50Rは独立してZ軸方向に昇降駆動されると共に、Z軸回りに旋回駆動され、更に、Y軸方向にリニアガイド装置等(例えばモータとボールねじとの組合せ、或いはリニアモータ等の駆動装置を含む)を介して一体移動できるようになっている。
また、ハンド部50L,50Rは独立してZ軸方向に昇降駆動されると共に、Z軸回りに旋回駆動され、更に、Y軸方向にリニアガイド装置等(例えばモータとボールねじとの組合せ、或いはリニアモータ等の駆動装置を含む)を介して一体移動できるようになっている。
次に、図4 〜図10を参照して、基板交換装置10の作動を説明する。
図4は基板交換装置10が待機している状態を示しており、各ハンド部50L,50Rは先端部がX軸方向を向いて左側の搬出用ハンド部50Lがベース7のX軸方向の端部中央の上方に配置され、右側の搬入用ハンド部50Rに交換用の基板Wが吸着保持されている。このとき、本実施の形態では、Z軸方向に関しては、ハンド部50Lが下降位置、ハンド部50Rが上昇位置にある。
図4は基板交換装置10が待機している状態を示しており、各ハンド部50L,50Rは先端部がX軸方向を向いて左側の搬出用ハンド部50Lがベース7のX軸方向の端部中央の上方に配置され、右側の搬入用ハンド部50Rに交換用の基板Wが吸着保持されている。このとき、本実施の形態では、Z軸方向に関しては、ハンド部50Lが下降位置、ハンド部50Rが上昇位置にある。
そして、露光位置での基板Wのステップ露光が終了すると、ワークチャック1による基板Wの吸着を解除し、代わってピン1aの先端部で基板Wを吸着させた状態でピン1aを突出させる。この状態でX軸移動テーブル3xがベース7のX軸方向の基板交換装置10側の端部(図1の二点鎖線で示す基板交換位置)に移動して搬出用ハンド部50Lが基板ステージ2のワークチャック1のピン1a間に挿入され、搬出用ハンド部50Lの上方に露光後の基板Wが配置される(図5参照)。このとき、制御装置20は、リニアスケール30より分解能の低いリニアスケール40からの信号を選択してX軸移動テーブル3xの速度を速くするようにリニアモータ14を制御するため、X軸移動テーブル3xは高速で基板Wの交換位置に移動する。
次に、図6を参照して、搬出用ハンド部50LをZ軸方向に上昇させてピン1aに保持された露光後の基板Wのハンド部50Lへの受け渡しを行うと共に、各ハンド部50L,50Rを一体にY軸方向の左方に移動させて交換用の基板Wを保持した搬入用ハンド部50Rを基板ステージ2のワークチャック1の上方に配置し、この状態で搬入用ハンド部50RをZ軸方向に下降させ、ハンド部50Rから基板ステージ2の複数のピン1aへの交換用の新たな基板Wの受け渡しを行う。
基板ステージ2の複数のピン1aに交換用の基板Wが保持されると、図7を参照して、X軸移動テーブル3xはマスクM下方の露光位置までX軸方向に沿って移動して基板Wの最初の露光エリアをマスクMに対向配置させ、基板ステージ2の上昇、又はピン1aの下降により、基板Wをワークチャック1により吸着保持させて新たなステップ露光が行われる。なお、この最初の露光エリアまでの移動の際も、制御装置20は、リニアスケール30より分解能の低いリニアスケール40からの信号を選択してX軸移動テーブル3xの速度を速くするようにリニアモータ14を制御するため、X軸移動テーブル3xは高速で露光位置に移動する。
次に、図8を参照して、各ハンド部50L,50RをZ軸回りに互いに外方に略90°旋回させ、この状態で搬出用ハンド部50Lを下降させて露光後の基板Wを装置外(例えば露光済の基板Wを収納するカセット)に搬出すると共に、図9を参照して、各ハンド部50L,50Rを一体にY軸方向の右方に移動させて搬入用ハンド部50Rをプリアライメント装置(図示せず)でプリアライメントがなされた新たな基板Wの下方に配置し、この状態で搬入用ハンド部50RをZ軸方向に上昇させて該搬入用ハンド部50Rで新たな基板Wを受け取る。
次に、図10を参照して、各ハンド部50L,50RをZ軸回りに互いに内方に略90°旋回させて元の向きに復帰させた後、各ハンド部50L,50Rを一体にY軸方向の左方に移動させて、図4に示す待機位置に待機させ、上記同様の工程で基板Wの搬入、搬出を行う。
次に、図10を参照して、各ハンド部50L,50RをZ軸回りに互いに内方に略90°旋回させて元の向きに復帰させた後、各ハンド部50L,50Rを一体にY軸方向の左方に移動させて、図4に示す待機位置に待機させ、上記同様の工程で基板Wの搬入、搬出を行う。
このようにこの実施の形態では、搬出用ハンド部50LのZ軸方向の昇降動作により交換位置にある基板ステージ2上の露光後の基板Wを該搬出用ハンド部50Lで受け取ると共に、搬出用ハンド部50L及び搬入用ハンド部50RのY軸方向の一体的な水平移動動作、並びに搬入用ハンド部50RのZ軸方向の昇降動作により該搬入用ハンド部50Rから交換位置にある基板ステージ2上に交換用の基板Wを搬入して基板Wの交換を行い、該交換後の搬出用ハンド部50L及び搬入用ハンド部50RのZ軸回りの旋回動作、Y軸方向への一体的な水平移動動作及びZ軸方向の昇降動作により、搬出用ハンド部50Lから露光後の基板Wを装置外に搬出すると共に、搬入用ハンド部50Rで装置外の新たな基板Wを受け取ることができるので、基板Wの大きさに影響されることなく、高速に基板Wの交換を行うことができ、これにより、基板Wの交換時間を短縮して露光装置のスループットの向上を図ることができる。
また、基板Wの交換後に各ハンド部50L,50RをZ軸回りに互いに外方に旋回動作させてからY軸方向へ一体的に水平移動させて露光後の基板Wの搬出と新たな基板Wの受け取りを行うようにしているので、各ハンド部50L,50RのY軸方向の水平移動動作のストロークを短くすることができ、装置のフットプリントを小さくすることができる。
更に、X軸移動テーブル3xのX軸方向の移動ストロークを基板Wの前記X軸方向の寸法より長く、且つ該基板WがマスクMから完全に外れる長さとし、基板WがマスクMから完全に外れた位置で、基板交換装置10によって基板ステージ2から露光後の基板Wを搬出すると共に、該基板ステージ2に交換用の基板Wを搬入するようにしているので、従来の基板交換装置の速度の遅い伸縮軸の伸縮動作を移動速度の速いX軸移動テーブル3xの移動動作に代えることができ、これにより、基板Wの搬入、搬出にかかる時間が短縮されて、露光装置のスループットの更なる向上を図ることができる。
更に、X軸移動テーブル3xのX軸方向の位置を検出するリニアスケール30と、該X軸移動テーブル3xのX軸方向の位置をリニアスケール30より低い分解能で検出するリニアスケール40とを備え、制御装置20が、リニアスケール30及びリニアスケール40からの信号を選択すると共に、該選択信号に基づいてリニアモータ14を制御することで、X軸移動テーブル3xの高精度の位置決め領域ではリニアモータ30からの信号を選択して該X軸移動テーブル3xの速度を遅くし、その他の領域ではリニアスケール30より分解能の低いリニアスケール40からの信号を選択してX軸移動テーブル3xの速度を速くしているので、基板交換位置までのX軸移動テーブル3xの速度をより高速化することができ、これにより、基板Wの搬入、搬出にかかる時間の更なる短縮化を図ることができる。
なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
例えば、上記実施の形態では、各ハンド部50L,50RをZ軸回りに旋回駆動させる場合を例に採ったが、必ずしもこのようにする必要はなく、各ハンド部50L,50Rの独立したZ軸方向の昇降駆動とY軸方向の一体移動だけで、基板Wの交換を行うようにしてもよい。
例えば、上記実施の形態では、各ハンド部50L,50RをZ軸回りに旋回駆動させる場合を例に採ったが、必ずしもこのようにする必要はなく、各ハンド部50L,50Rの独立したZ軸方向の昇降駆動とY軸方向の一体移動だけで、基板Wの交換を行うようにしてもよい。
即ち、図8に示すような各ハンド部50L,50Rの旋回動作は行わず(即ち、旋回動作機構を省略してもよい。)、図7の状態から各ハンド部50L,50RをY軸方向に水平移動させて、露光後の基板Wの搬出と新たな基板Wの受け取りを行う。
また、各ハンド部50L,50Rを共通のZ軸方向昇降駆動機構により昇降させるようにしてもよい。この場合も、旋回駆動を省くようにしてもよい。即ち、1つのZ軸昇降駆動機構により、旋回しないハンド部50L,50Rを昇降するようにしてもよい。
また、各ハンド部50L,50Rを共通のZ軸方向昇降駆動機構により昇降させるようにしてもよい。この場合も、旋回駆動を省くようにしてもよい。即ち、1つのZ軸昇降駆動機構により、旋回しないハンド部50L,50Rを昇降するようにしてもよい。
また、図6で各ハンド部50L,50Rを一体にY軸方向の左方に移動させる際に、Y軸移動テーブル3yをY軸方向の右方に移動させることで、各ハンド部50L,50RのY軸方向左方への移動ストロークをY軸移動テーブル3yの移動量分短くすることができ、基板Wの交換作業のより高速化を図ることができる。
即ち、上記実施の形態では、基板Wの搬入、搬出の際に、基板ステージ2はX軸移動テーブル3xのY軸方向中央に位置させていたが、例えば図4及び図5に相当する工程では、基板ステージ2をY軸方向左方に位置させ、図6に相当する工程で、ハンド部50L,50Rの左方への移動時、Y軸移動テーブル3yを右方へ移動させ、基板ステージ2をY軸方向右方へ位置させるようにしてもよい。これも上で述べたいずれの変形例とも組合せ可能である。このような動作は制御装置20によって制御される。
即ち、上記実施の形態では、基板Wの搬入、搬出の際に、基板ステージ2はX軸移動テーブル3xのY軸方向中央に位置させていたが、例えば図4及び図5に相当する工程では、基板ステージ2をY軸方向左方に位置させ、図6に相当する工程で、ハンド部50L,50Rの左方への移動時、Y軸移動テーブル3yを右方へ移動させ、基板ステージ2をY軸方向右方へ位置させるようにしてもよい。これも上で述べたいずれの変形例とも組合せ可能である。このような動作は制御装置20によって制御される。
また、上記実施の形態では、X軸移動テーブル3xのX軸方向の位置を検出する2つのセンサとして、共にリニアスケールを採用した場合を例に採ったが、これに限定されず、X軸移動テーブル3xの駆動手段としてボールねじ装置と回転モータとの組合せを採用した場合には、2つのセンサの内のいずれかを回転モータの回転速度を検出するレゾルバやロータリーエンコーダ等として、該検出信号からX軸移動テーブル3xの位置を検出するようにしてもよい。
更に、上記実施の形態では、基板ステージ2をマスクMに対して二軸方向にステップ移動させて各ステップ毎にパターン露光用の光を照射する露光装置に本発明を適用した場合を例に採ったが、これに限定されず、基板ステージ2をマスクMに対して一軸方向にステップ移動させて各ステップ毎にパターン露光用の光を照射する露光装置、或いはステップ動作を伴わない一括露光方式の露光装置にも本発明を適用することができるのは勿論である。
更に、上記実施の形態では、近接露光方式の露光装置を例に採ったが、これに限定されず、投影露光等の他の方式の露光装置に本発明を適用してもよい。
更に、上記実施の形態では、近接露光方式の露光装置を例に採ったが、これに限定されず、投影露光等の他の方式の露光装置に本発明を適用してもよい。
W 基板
M マスク
2 基板ステージ
10 基板交換装置
50L 搬出用ハンド部
50R 搬入用ハンド部
M マスク
2 基板ステージ
10 基板交換装置
50L 搬出用ハンド部
50R 搬入用ハンド部
Claims (3)
- マスクのパターンが露光転写された後に露光位置の基板ステージ上の基板に対して、該基板の搬出を行うと共に、前記基板ステージ上に交換用の基板を搬入する基板交換装置において、
前記基板ステージの移動軸方向に対して直交する前記基板の幅方向に水平移動可能とされた搬出用ハンド部及び搬入用ハンド部を備え、各ハンド部は前記基板を保持する把持部を有し、且つ該基板の厚さ方向に昇降可能とされていることを特徴とする基板交換装置。 - 前記各ハンド部は、前記基板の厚さ方向を向く軸線回りに独立して旋回可能とされたことを特徴とする請求項1に記載した基板交換装置。
- 請求項1又は2に記載した基板交換装置を備え、前記基板と前記マスクとをそれぞれX軸及びY軸の2軸方向に相対位置を変えて前記マスクのパターンを前記基板に露光可能とされた露光装置において、
前記搬入用ハンド部から前記基板ステージへの前記基板の受け渡しに際して、前記搬入用ハンド部のY軸方向の水平移動に同期して前記基板ステージを前記搬入用ハンド部に近づける方向に移動させる制御手段を備えることを特徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004171542A JP2005352070A (ja) | 2004-06-09 | 2004-06-09 | 基板交換装置及び露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004171542A JP2005352070A (ja) | 2004-06-09 | 2004-06-09 | 基板交換装置及び露光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005352070A true JP2005352070A (ja) | 2005-12-22 |
Family
ID=35586620
Family Applications (1)
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JP2004171542A Pending JP2005352070A (ja) | 2004-06-09 | 2004-06-09 | 基板交換装置及び露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2005352070A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20140031940A (ko) * | 2011-05-13 | 2014-03-13 | 가부시키가이샤 니콘 | 기판의 교환 장치 |
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CN109585348A (zh) * | 2017-09-29 | 2019-04-05 | 芝浦机械电子株式会社 | 基板处理装置以及基板处理方法 |
-
2004
- 2004-06-09 JP JP2004171542A patent/JP2005352070A/ja active Pending
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