JP2007294594A - 露光装置及び露光方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】2台の基板ステージへの基板の供給を効率的に行って、露光転写された基板製造のタクトタイムを短縮することができる露光装置及び露光方法を提供する。
【解決手段】露光装置PEは、マスクステージ10と、マスクステージ10に対して相対的に移動可能な2つの基板ステージ11,12と、プリアライメントユニット14と、プリアライメントユニット14に対して対向配置された2つの基板ローダ15,16と、を備える。一方の基板ステージ11を待機位置WP1から露光位置EPに移動させて、基板WにマスクパターンPを露光転写する間に、他方の基板ステージ12を露光位置EPから待機位置WP2に移動させた後、露光転写された基板Wを排出し、プリアライメントされた基板Wを基板ローダ16により他方の基板ステージ12に搬送し、且つ基板ローダ15により基板Wをプリアライメントユニット14に搬送する。
【選択図】図1
【解決手段】露光装置PEは、マスクステージ10と、マスクステージ10に対して相対的に移動可能な2つの基板ステージ11,12と、プリアライメントユニット14と、プリアライメントユニット14に対して対向配置された2つの基板ローダ15,16と、を備える。一方の基板ステージ11を待機位置WP1から露光位置EPに移動させて、基板WにマスクパターンPを露光転写する間に、他方の基板ステージ12を露光位置EPから待機位置WP2に移動させた後、露光転写された基板Wを排出し、プリアライメントされた基板Wを基板ローダ16により他方の基板ステージ12に搬送し、且つ基板ローダ15により基板Wをプリアライメントユニット14に搬送する。
【選択図】図1
Description
本発明は、露光装置及び露光方法に関し、より詳細には、半導体や、液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイ等の大型のフラットパネルディスプレイを製造する場合に用いられる露光装置及び露光方法に関する。
従来の露光装置としては、マスクと基板を接近させた状態でマスクを介してパターン露光用の光を照射し、これにより、基板にマスクパターンを露光転写する(例えば、特許文献1及び2参照。)。
特許文献1に記載の露光装置は、マスクが配置される2つの枠体と、2つの枠体のそれぞれに対応して基板が載置される2つの基板ステージと、2つの基板ステージにそれぞれ対応して配置された2つのアライメント機構と、を備え、それぞれの枠体と基板ステージとを組み合わせた状態で、交互に露光位置に移動させて露光転写するステージ移動機構が知られている。これにより、ステージ移動機構は、2つの基板ステージでアライメントと露光とを同時に行って、タクトタイムの短縮を図っている。
また、特許文献2に記載の露光装置は、それぞれ基板を載置する複数の基板ステージと、露光位置における基板ステージの位置を検出する第1測定システムと、観測位置における基板ステージの位置を検出する第2測定システムと、を備え、複数の基板ステージを露光位置に交互に位置決めして露光転写する。これにより、2つの測定システムで基板ステージの位置を途切れることなく測定することにより、載置手段の位置を正確に測定する。
特開昭63−87725号公報
特許第3203719号公報
ところで、特許文献1及び2に記載の露光装置では、2つの基板ステージを利用することでタクトタイムの短縮を図っているが、いずれも、2つの基板ステージへの基板の搬送に関しては記載されておらず、更なる改善の余地があった。
本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、2つの基板ステージへの基板の搬送を効率的に行って、露光転写される基板のタクトタイムを短縮することができる露光装置及び露光方法を提供することにある。
本発明の上記目的は、下記の構成及び方法により達成される。
(1) マスクを保持するマスクステージと、
マスクステージの下方に位置する露光位置と第1待機位置間で移動可能な第1基板ステージと、
露光位置と第2待機位置間で移動可能な第2基板ステージと、
露光位置に移動した第1及び第2基板ステージに保持された基板に、パターン露光用の光をマスクを介して照射する照射装置と、
第1及び第2基板ステージに供給される基板の位置をプリアライメントするプリアライメントユニットと、
プリアライメントユニットの側方に配置され、基板をプリアライメントユニットに搬送し、且つプリアライメントユニットでプリアライメントされた基板を第1基板ステージに搬送する第1基板ローダと、
プリアライメントユニットに対して第1基板ローダと対向配置され、基板をプリアライメントユニットに搬送し、且つプリアライメントユニットでプリアライメントされた基板を第2基板ステージに搬送する第2基板ローダと、
を備えることを特徴とする露光装置。
(1) マスクを保持するマスクステージと、
マスクステージの下方に位置する露光位置と第1待機位置間で移動可能な第1基板ステージと、
露光位置と第2待機位置間で移動可能な第2基板ステージと、
露光位置に移動した第1及び第2基板ステージに保持された基板に、パターン露光用の光をマスクを介して照射する照射装置と、
第1及び第2基板ステージに供給される基板の位置をプリアライメントするプリアライメントユニットと、
プリアライメントユニットの側方に配置され、基板をプリアライメントユニットに搬送し、且つプリアライメントユニットでプリアライメントされた基板を第1基板ステージに搬送する第1基板ローダと、
プリアライメントユニットに対して第1基板ローダと対向配置され、基板をプリアライメントユニットに搬送し、且つプリアライメントユニットでプリアライメントされた基板を第2基板ステージに搬送する第2基板ローダと、
を備えることを特徴とする露光装置。
(2) (1)に記載の露光装置を用いた露光方法であって、
第1基板ステージを第1待機位置から露光位置に移動させて第1基板ステージに保持された基板にマスクのマスクパターンを露光転写する第1露光工程と、
プリアライメントユニットでプリアライメントされた基板を第2基板ローダにより第2基板ステージに搬送する第1搬送工程と、
基板を第1基板ローダによりプリアライメントユニットに供給して基板の位置を調整する第1プリアライメント工程と、
第2基板ステージを第2待機位置から露光位置に移動させて第2基板ステージに保持された基板にマスクのマスクパターンを露光転写する第2露光工程と、
プリアライメントユニットでプリアライメントされた基板を第1基板ローダにより第1基板ステージに搬送する第2搬送工程と、
基板を第2基板ローダによりプリアライメントユニットに供給して基板の位置を調整する第2プリアライメント工程と、
を有し、
第1搬送工程と第1プリアライメント工程の少なくとも一つは、第1露光工程と同時に行われ、且つ、
第2搬送工程と第2プリアライメント工程の少なくとも一つは、第2露光工程と同時に行われることを特徴とする露光方法。
第1基板ステージを第1待機位置から露光位置に移動させて第1基板ステージに保持された基板にマスクのマスクパターンを露光転写する第1露光工程と、
プリアライメントユニットでプリアライメントされた基板を第2基板ローダにより第2基板ステージに搬送する第1搬送工程と、
基板を第1基板ローダによりプリアライメントユニットに供給して基板の位置を調整する第1プリアライメント工程と、
第2基板ステージを第2待機位置から露光位置に移動させて第2基板ステージに保持された基板にマスクのマスクパターンを露光転写する第2露光工程と、
プリアライメントユニットでプリアライメントされた基板を第1基板ローダにより第1基板ステージに搬送する第2搬送工程と、
基板を第2基板ローダによりプリアライメントユニットに供給して基板の位置を調整する第2プリアライメント工程と、
を有し、
第1搬送工程と第1プリアライメント工程の少なくとも一つは、第1露光工程と同時に行われ、且つ、
第2搬送工程と第2プリアライメント工程の少なくとも一つは、第2露光工程と同時に行われることを特徴とする露光方法。
(3) 第1露光工程で露光転写された基板を保持する第1基板ステージを露光位置から第1待機位置に移動させた後、第1基板ローダにより基板を排出させる第1排出工程と、
第2露光工程で露光転写された基板を保持する第2基板ステージを露光位置から第2待機位置に移動させた後、第2基板ローダにより基板を排出させる第2排出工程と、
をさらに備え、
第2排出工程は、第1露光工程と同時に行われ、且つ、第1排出工程は、第2露光工程と同時に行われることを特徴とする(2)に記載の露光方法。
第2露光工程で露光転写された基板を保持する第2基板ステージを露光位置から第2待機位置に移動させた後、第2基板ローダにより基板を排出させる第2排出工程と、
をさらに備え、
第2排出工程は、第1露光工程と同時に行われ、且つ、第1排出工程は、第2露光工程と同時に行われることを特徴とする(2)に記載の露光方法。
(4) 第1基板ステージの第1待機位置から露光位置への移動は、第2基板ステージの露光位置から第2待機位置への移動と同期し、且つ
第2基板ステージの第2待機位置から露光位置への移動は、第1基板ステージの露光位置から第1待機位置への移動と同期することを特徴とする(2)または(3)に記載の露光方法。
第2基板ステージの第2待機位置から露光位置への移動は、第1基板ステージの露光位置から第1待機位置への移動と同期することを特徴とする(2)または(3)に記載の露光方法。
本発明の露光装置によれば、マスクステージと、マスクステージに対して相対的に移動可能な第1及び第2基板ステージと、プリアライメントユニットと、プリアライメントユニットに対して対向配置された第1及び第2基板ローダと、を備えるので、第1及び第2基板ステージに対してプリアライメントユニットを共用することができ、露光装置の構成を簡略化しつつ、2つの基板ステージへの基板の搬送を効率的に行って、露光転写される基板のタクトタイムを短縮することができる。
また、本発明の露光方法によれば、第1及び第2基板ステージの一方が待機位置から露光位置に移動して基板に露光転写する露光工程の間に、プリアライメントされた基板を他方の基板ステージに搬送する搬送工程と、基板をプリアライメントユニットに供給して位置を調整するプリアライメント工程の少なくとも一つが行われるので、基板の搬送時間を見かけ上短縮することができ、2つの基板ステージへの基板の搬送を効率的に行って、露光転写される基板のタクトタイムを短縮することができる。
加えて、上記露光工程の間に、露光工程で露光転写された基板を保持する基板ステージを露光位置から待機位置に移動させた後、基板ローダにより基板を排出させる排出工程が行われるので、基板の搬送時間を見かけ上より短縮することができ、2つの基板ステージへの基板の搬送を効率的に行って、露光転写される基板のタクトタイムを短縮することができる。
さらに、第1基板ステージの第1待機位置と露光位置間の移動は、第2基板ステージの第2待機位置と露光位置間の移動と同期するので、2つの基板ステージの基板の搬送が効率的に行われ、露光転写される基板のタクトタイムをより短縮することができる。
以下、本発明に係る露光装置及び露光方法の一実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図1は本発明の露光装置の全体構成を概略示す平面図、図2は露光装置の要部正面図、図3は基板ステージの側面図、図4は図1における基板ローダの側面図である。図1〜図3に示すように、露光装置PEは、マスクステージ10、第1基板ステージ11、第2基板ステージ12、照射装置13、プリアライメントユニット14、第1基板ローダ15、第2基板ローダ16、マスクローダ17、及びマスクアライナ18を備え、それぞれ基台21上に載置されている。
マスクステージ10は、基台21上に配置された長方形のステージベース23に設けられた複数の支柱22に支持されて、ステージベース23の上方に配設されている。複数の支柱22は、第1及び第2基板ステージ11,12がY方向(図1中左右方向)に移動してマスクステージ10の下方に進出可能なようにステージベース23の上方にスペースを形成している。マスクステージ10は、中央に矩形の開口25aを有して、マスクステージ10に対してX,Y,θ方向に位置調整可能に支持されたマスク保持部25を備え、露光すべきパターンを有するマスクMがこの開口25aに臨むようにしてマスク保持部25に保持されている。また、マスクステージ10には、マスク保持部25に対するマスクMの位置を検出するマスク用アライメントカメラ(図示せず)と、マスクMと基板Wとの間のギャップを検出するギャップセンサ(図示せず)とが設けられている。
図2及び図3に示すように、第1及び第2基板ステージ11,12は、被露光材としての基板Wを保持する基板保持部31a,31bを上面にそれぞれ有する。また、第1及び第2基板ステージ11,12の下方には、Y軸テーブル33、Y軸送り機構34、X軸テーブル35、X軸送り機構36、及びZ−チルト調整機構37を備える基板ステージ移動機構32,32がそれぞれ設けられる。各基板ステージ移動機構32,32は、ステージベース23に対して第1及び第2基板ステージ11,12をX方向及びY方向に送り駆動するとともに、マスクMと基板Wとの間の隙間を微調整するように、第1及び第2基板ステージ11,12をZ軸方向に微動且つチルトする。
具体的に、Y軸送り機構34は、ステージベース23とY軸テーブル33との間に、リニアガイド38とY軸送り駆動機構39とを備える。ステージベース23上には2本の案内レール40がY軸方向に沿って平行に配置されており、Y軸テーブル33の裏面に取り付けられたスライダ41が転動体(図示せず)を介して跨架されている。これにより、2台のY軸ステージ33,33が、2本の案内レール40に沿ってY軸方向に沿って移動可能に支持される。
また、ステージベース23上には、モータ42によって回転駆動されるボールねじ軸43が、第1及び第2基板ステージ11,12に対応してそれぞれ設けられており、ボールねじ軸43には、Y軸テーブル33の裏面に取り付けられたボールねじナット44が螺合されている。
また、X軸送り機構36も、図3に示すように、Y軸テーブル33とX軸テーブル35間に、リニアガイド45とX軸送り駆動機構46とが設けられている。Y軸テーブル33上には2本の案内レール47がX軸方向に沿って平行に配置されており、X軸テーブル35の裏面に取り付けられたスライダ48が転動体(図示せず)を介して跨架される。さらに、Y軸テーブル33上には、モータ49によって回転駆動されるボールねじ軸50が設けられており、ボールねじ軸50には、Y軸テーブル35の裏面に取り付けられたボールねじナット51が螺合されている。
一方、Z−チルト調整機構37は、モータとボールねじとくさびとを組み合わせてなる可動くさび機構を備えており、X軸テーブル35の上面に設置したモータ52によってボールねじ軸53を回転駆動するとともに、ボールねじナット54をくさび状の移動体に組み付け、このくさびの斜面を基板ステージ11,12の下面に突設したくさび55の斜面と係合させている。
そして、このボールねじ軸53を回転駆動させると、ボールねじナット54がX軸方向に水平微動し、この水平微動運動が組みつけられたくさび状の移動体の斜面により高精度の上下微動運動に変換される。この可動くさび機構は、X軸方向の一端側に2台、他端側に1台(図示せず)合計3台設置され、それぞれが独立に駆動制御される。
これにより、Y軸送り機構34は、各基板ステージ11,12の基板保持部31a,31bに保持された基板Wを個別にマスクステージ10の下方に配置された露光位置EPに配置すべく、第1基板ステージ11を第1待機位置WP1と露光位置EP間で案内レール40に沿ってY軸方向に移動させ、第2基板ステージ12を第2待機位置WP2と露光位置EP間で案内レール40に沿ってY軸方向に移動させる。また、X軸送り機構36及びY軸送り機構34は、露光位置EPにある基板保持部31a,31bをマスクMに対してX、Y方向にステップ移動させるように第1及び第2基板ステージ11,12を移動させる。
なお、Y軸送り駆動機構39、X軸送り駆動機構46、及び可動くさび機構は、モータとボールねじ装置とを組み合わせているが、ステータと可動子とを有するリニアモータによって構成されてもよい。
なお、Y軸送り駆動機構39、X軸送り駆動機構46、及び可動くさび機構は、モータとボールねじ装置とを組み合わせているが、ステータと可動子とを有するリニアモータによって構成されてもよい。
また、図1〜図3に示すように、第1及び第2基板ステージ11,12には、各基板保持部31a,31bのX方向側部とY方向側部にそれぞれバーミラー61,62が取り付けられており、また、ステージベース23のY軸方向の両側と、ステージベースのX軸方向の一側には、3台のレーザー干渉計63,64,65が設けられている。これにより、レーザー干渉計63,64,65からレーザー光をバーミラー61,62に照射し、バーミラー61,62により反射されたレーザー光を受光して、レーザー光とバーミラー61,62により反射されたレーザー光との干渉を測定し、第1及び第2ステージ11,12の位置を検出する。
図2に示すように、照明装置13はマスク保持部25の開口25a上方に配置され、紫外線照射用の光源である例えば高圧水銀ランプ、凹面鏡、オプチカルインテグレータ、平面ミラー、球面ミラー、及び露光制御用のシャッター等を備えて構成される。照明装置13は、露光位置に移動した第1及び第2基板ステージ11,12の基板保持部31a,31bに保持された基板Wに、パターン露光用の光をマスクMを介して照射する。これにより、基板Wには、マスクMのマスクパターンPが露光転写される。
プリアライメントユニット14は、基台21の外側に設置された基板カセット70A,70Bから搬送された基板Wが、第1基板ステージ11または第2基板ステージ12に供給されるのに先立って、マスクMに対する基板Wの位置が所定の位置となるようにプリアライメントを行うものであり、図中、マスクステージ10の手前側に配置されている。プリアライメントユニット14は、図示しないX軸送り機構、Y軸送り機構、および回転機構を備え、プリアライメントユニット14上に載置された基板Wの位置を所定の位置に調整する。
第1基板ローダ15は、図1中プリアライメントユニット14の右側方に配置され、第2基板ステージ12に供給される基板Wを保持してプリアライメントユニット14へ搬送し、またプリアライメントされた基板Wをプリアライメントユニット14から第1基板ステージ11に搬送するようになっている。
第2基板ローダ16は、プリアライメントユニット14に対して第1基板ローダ15と対向配置、即ち、図中プリアライメントユニット14の左側に配置され、第1基板ステージ11に供給される基板Wを保持してプリアライメントユニット14へ搬送し、またプリアライメントされた基板Wをプリアライメントユニット14から第2基板ステージ12に搬送するようになっている。
図4に示すように、第1及び第2基板ローダ15,16は、基台21に固定されたコラム81に複数の搬送部82,83が揺動自在に配設されるローダロボットである。複数の搬送部82,83は、昇降機構(図示せず。) によってコラム81に沿って上下移動すると共に、それぞれサーボモータが配設されて互いに独立して駆動される。各搬送部82,83は、第1及び第2アーム84,85と、第1アーム84の先端に、複数の棒状部材86が平行して植設された基板載置台87とを有する。そして、それぞれのサーボモータを制御して作動させることにより、基板載置台87を昇降、回転、及び移動させて、基板載置台87上の基板Wを搬送する。
具体的に、第1基板ローダ15は、基板カセット70Aに収容された基板Wを基板載置台87上に載置してプリアライメントユニット14へ搬送し、プリアライメントされた基板Wを基板載置台87上に載置してプリアライメントユニット14から第1基板ステージ11に搬送し、さらに、第1待機位置WP1に位置する第1基板ステージ11上の露光転写後の基板Wを基板載置台87上に載置して基板カセット70Aへ搬送する。
第2基板ローダ16は、基板カセット70Bに収容された基板Wを基板載置台87上に載置してプリアライメントユニット14へ搬送し、プリアライメントされた基板Wを基板載置台87上に載置してプリアライメントユニット14から第2基板ステージ12に搬送し、さらに、第2待機位置WP2に位置する第2基板ステージ12上の露光転写後の基板Wを基板載置台87上に載置して基板カセット70Bへ搬送する。
また、マスクローダ17及びマスクアライナ18は、第1基板ステージ11に対して第1基板ローダ15と対向配置されている。マスクローダ17は、図4に示す第1及び第2基板ローダ15,16と略同様の構成を有し、基台21の外側に設けられたマスクカセット91からマスクMを搬入し、マスクアライナ18でプリアライメントされたマスクMをマスクステージ10に供給する。尚、マスクステージ10へのマスクMの供給は、マスクローダ17によりマスクアライナ18から直接、マスクステージ10へ供給してもよいが、マスクローダ17によりマスクアライナ18から第1基板ステージ11へ一度搬送し、次いで第1基板ステージ11によってマスクステージ10へ供給するようにしてもよい。また、マスクローダ17の搬送部は、基板ローダ15,16と同様に複数備えてもよく、或は一つであってもよい。
次に、本発明の露光装置PEによる露光方法について、図5から図7を参照して詳細に説明する。尚、説明の都合上、第1基板ステージ11は基板Wを保持し、且つプリアライメントユニット14にはプリアライメントされた基板Wが、既に載置されているものとして説明する。
図5に示すように、1枚目の基板Wを保持して第1待機位置WP1にある第1基板ステージ11(図中一点鎖線で示す。)は、Y軸送り機構34を作動させることにより、露光位置EPに移動する(矢印A)。そして、図示しないギャップカメラを用いてマスクMと基板Wとの間のギャップ調整を行った後、照明装置13から1ショット目のパターン露光用の光がマスクMを介して基板Wに照射され、マスクMに形成されたマスクパターンPが基板Wに露光転写される。さらに、第1基板ステージ11をステップ移動させ、バーミラー61,62とレーザー干渉計63,64,65を用いてアライメント調整を行うとともに、ギャップ調整を行った後、2ショット目のパターン露光用の光によりマスクパターンPを基板Wに露光転写し、以後、同様にしてステップ露光を行う。(第1露光工程)。
なお、ギャップ調整後のマスクMと基板Wの位置合わせをする場合は、バーミラー61,62とレーザー干渉計63,64を用いる代わりに、アライメントカメラを用いて行ってもよい。この場合、1ショット目の露光転写の際にも、ギャップ調整後、このアライメントカメラを用いて位置合わせをする場合がある。
上記露光転写が行われている間、プリアライメントされてプリアライメントユニット14に載置されている2枚目の基板Wは、第2基板ローダ16により矢印B方向に搬送されて第2待機位置WP2にある第2基板ステージ12に保持される(第1搬送工程)。更に、第1基板ローダ15は、基板カセット70Aに収容された3枚目の基板Wを受け取り、矢印C方向に搬送してプリアライメントユニット14に供給し、基板Wの位置を所定の位置となるように調整する(第1プリアライメント工程)。
図6に示すように、1枚目の基板Wの露光転写完了後、第1基板ステージ11は、露光位置EPから第1待機位置WP1に移動し、第1基板ローダ15は、第1基板ステージ11から基板Wを受け取って、矢印D方向に搬送して基板カセット70Aに基板Wを排出する(第1排出工程)。
また、上記第1排出工程が開始するのと同時に、2枚目の基板Wの露光工程を開始する。即ち、第1基板ステージ11が露光位置EPから第1待機位置WP1に移動するのと同期して、2枚目の基板Wを保持している第2基板ステージ12(図中一点鎖線で示す。)が、Y軸送り機構34を作動させることにより、第2待機位置WP2から露光位置EPに移動する(矢印E)。その後、第1露光工程と同様に、図示しないギャップセンサを用いてマスクMと基板Wとの間のギャップ調整を行った後、照明装置13から1ショット目のパターン露光用の光がマスクMを介して基板Wに照射され、マスクMに形成されたマスクパターンPが第2基板ステージ12に保持された基板Wに露光転写される。さらに、第2基板ステージ12をステップ移動させ、バーミラー61,62とレーザー干渉計63,64,65を用いてアライメント調整を行うとともに、ギャップ調整を行った後、2ショット目のパターン露光用の光によりマスクパターンPを基板Wに露光転写し、以後、同様にしてステップ露光を行う。(第2露光工程)。
また、第2露光工程が行われている間、既にプリアライメントされてプリアライメントユニット14に載置されている3枚目の基板Wは、第1基板ローダ15により矢印F方向に搬送されて第1待機位置WP1にある第1基板ステージ11に保持される(第2搬送工程)。更に、第2基板ローダ16は、基板カセット70Bに収容された4枚目の基板Wを受け取り、矢印G方向に搬送してプリアライメントユニット14に供給し、基板Wの位置が所定の位置となるように調整する(第2プリアライメント工程)。
そして、2枚目の基板Wの露光転写完了後、第2基板ステージ12は、露光位置EPから第2待機位置WP2に移動し、第2基板ローダ16は、第2基板ステージ12から基板Wを受け取って、基板カセット70Bに排出する(第2排出工程)。また、この第2排出工程の開始と同時に、第2基板ステージ12と同期させながら、第1基板ステージ11を第1待機位置WP1から露光位置EPへと移動して、第1露光工程を行う。その後、上述したように、第1露光工程が行われている間に、第2排出工程、第1搬送工程、第1プリアライメント工程が行われる。
図7は、第1及び第2基板ステージ11,12と第1及び第2基板ローダ15,16の露光動作時の位置を示す。
本実施形態では、第1及び第2基板ローダ15,16は、2つの搬送部82,83をそれぞれ有しているので、例えば、一方の搬送部82で第1基板ステージ11上の基板Wを基板カセット70Bに排出させ、他方の搬送部83でプリアライメントされた基板Wを第1基板ステージ11に搬送することができ、第1搬送工程と第2排出工程を同時に行うことができる。ただし、各基板ローダ15,16が一つの搬送部のみ有する場合には、第2排出工程後、第1搬送工程を行えばよい。
以後、同様の操作を繰り返し行うことにより、複数の基板Wを順次搬送しながらマスクパターンPが基板Wに露光転写される。
従って、本実施形態の露光装置PEによれば、マスクステージ10と、マスクステージ10に対して相対的に移動可能な第1及び第2基板ステージ11,12と、プリアライメントユニット14と、プリアライメントユニット14に対して対向配置された第1及び第2基板ローダ15,16と、を備えるので、第1及び第2基板ステージ11,12に対してプリアライメントユニット14を共用することができ、露光装置PEの構成を簡略化しつつ、2つの基板ステージ11,12への基板Wの搬送を効率的に行って、露光転写される基板のタクトタイムを短縮することができる。
また、本発明の露光方法によれば、第1及び第2基板ステージ11,12の一方が待機位置WP1,WP2から露光位置EPに移動して基板Wに露光転写する露光工程の間に、他方の基板ステージ11,12を露光位置EPから待機位置WP1,WP2に移動させた後、露光転写された基板Wを排出する排出工程と、プリアライメントされた基板Wを他方の基板ステージ11,12に搬送する搬送工程と、基板カセット70A,70Bから供給される基板Wをプリアライメントユニット14に供給して位置を調整するプリアライメント工程が行われるので、基板Wの搬送時間を見かけ上短縮することができ、2つの基板ステージ11,12への基板の搬送を効率的に行って、露光転写される基板のタクトタイムを短縮することができる。
さらに、第1基板ステージ11の第1待機位置WP1から露光位置EPへの移動は、第2基板ステージ12の露光位置EPから第2待機位置WP2への移動と同期し、且つ 第2基板ステージ12の第2待機位置WP2から露光位置EPへの移動は、第1基板ステージ11の露光位置EPから第1待機位置WP1への移動と同期するので、2つの基板ステージ11,12の基板の搬送が効率的に行われ、露光転写される基板のタクトタイムをより短縮することができる。
尚、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良、等が可能である。
10 マスクステージ
11 第1基板ステージ
12 第2基板ステージ
13 照明装置
14 プリアライメントユニット
15 第1基板ローダ
16 第2基板ローダ
70A,70B 基板カセット
PE 露光装置
M マスク
P マスクパターン
W 基板
EP 露光位置
WP1 第1待機位置
WP2 第2待機位置
11 第1基板ステージ
12 第2基板ステージ
13 照明装置
14 プリアライメントユニット
15 第1基板ローダ
16 第2基板ローダ
70A,70B 基板カセット
PE 露光装置
M マスク
P マスクパターン
W 基板
EP 露光位置
WP1 第1待機位置
WP2 第2待機位置
Claims (4)
- マスクを保持するマスクステージと、
該マスクステージの下方に位置する露光位置と第1待機位置間で移動可能な第1基板ステージと、
前記露光位置と第2待機位置間で移動可能な第2基板ステージと、
前記露光位置に移動した前記第1及び第2基板ステージに保持された基板に、パターン露光用の光を前記マスクを介して照射する照射装置と、
前記第1及び第2基板ステージに供給される前記基板の位置をプリアライメントするプリアライメントユニットと、
前記プリアライメントユニットの側方に配置され、前記基板を前記プリアライメントユニットに搬送し、且つ前記プリアライメントユニットでプリアライメントされた前記基板を前記第1基板ステージに搬送する第1基板ローダと、
前記プリアライメントユニットに対して前記第1基板ローダと対向配置され、前記基板を前記プリアライメントユニットに搬送し、且つ前記プリアライメントユニットでプリアライメントされた前記基板を前記第2基板ステージに搬送する第2基板ローダと、
を備えることを特徴とする露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置を用いた露光方法であって、
前記第1基板ステージを前記第1待機位置から前記露光位置に移動させて前記第1基板ステージに保持された前記基板に前記マスクのマスクパターンを露光転写する第1露光工程と、
前記プリアライメントユニットでプリアライメントされた前記基板を前記第2基板ローダにより前記第2基板ステージに搬送する第1搬送工程と、
前記基板を前記第1基板ローダにより前記プリアライメントユニットに供給して前記基板の位置を調整する第1プリアライメント工程と、
前記第2基板ステージを第2待機位置から前記露光位置に移動させて前記第2基板ステージに保持された前記基板に前記マスクのマスクパターンを露光転写する第2露光工程と、
前記プリアライメントユニットでプリアライメントされた前記基板を前記第1基板ローダにより前記第1基板ステージに搬送する第2搬送工程と、
前記基板を前記第2基板ローダにより前記プリアライメントユニットに供給して前記基板の位置を調整する第2プリアライメント工程と、
を有し、
前記第1搬送工程と前記第1プリアライメント工程の少なくとも一つは、前記第1露光工程と同時に行われ、且つ、
前記第2搬送工程と前記第2プリアライメント工程の少なくとも一つは、前記第2露光工程と同時に行われることを特徴とする露光方法。 - 前記第1露光工程で露光転写された前記基板を保持する前記第1基板ステージを前記露光位置から前記第1待機位置に移動させた後、前記第1基板ローダにより前記基板を排出させる第1排出工程と、
前記第2露光工程で露光転写された前記基板を保持する前記第2基板ステージを前記露光位置から前記第2待機位置に移動させた後、前記第2基板ローダにより前記基板を排出させる第2排出工程と、
をさらに備え、
前記第2排出工程は、前記第1露光工程と同時に行われ、且つ、前記第1排出工程は、前記第2露光工程と同時に行われることを特徴とする請求項2に記載の露光方法。 - 前記第1基板ステージの前記第1待機位置から前記露光位置への移動は、前記第2基板ステージの前記露光位置から前記第2待機位置への移動と同期し、且つ
前記第2基板ステージの前記第2待機位置から前記露光位置への移動は、前記第1基板ステージの前記露光位置から前記第1待機位置への移動と同期することを特徴とする請求項2または3に記載の露光方法。
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