JP6373705B2 - 振れ測定装置 - Google Patents

Description

本発明は、振れ測定装置に関し、特に転がり軸受の振れ測定装置に関する。

転がり軸受のラジアル振れやアキシャル振れを測定する方法は、ＪＩＳ（ＪＩＳ Ｂ １５１５）に規定されている。外輪のラジアル振れは図６に示す方法で測定され、内輪のラジアル振れは図７に示す方法で測定される。なお、図６と図７に示すように、転がり軸受１は、内径面の外輪軌道面２が形成された外輪３と、外径面に内輪軌道面４が形成された内輪５と、外輪軌道面２と内輪軌道面４の間に介装されるボール６とを備える。

図６に示す外輪のラジアル振れ測定装置は、基準平面１０に転がり軸受の内輪５を固定し、外輪３におもり部材１１により負荷をかけながら回転させる。そして、外輪３の外径の振れ（外輪ラジアル振れ）をラジアル振れ用測定器１２で測定する。この場合、図示省略のアキシャル振れ用測定器によって外輪３の端面の振れ（外輪アキシャル振れ）を測定できる。

図７に示す内輪のラジアル振れ測定装置は、基準平面１５に転がり軸受の外輪３を固定し、内輪５におもり部材１６により負荷をかけながら回転させる。そして、内輪５の内径の振れ（内輪ラジアル振れ）をラジアル振れ用測定器１７で測定する。この場合、図示省略のアキシャル振れ用測定器によって内輪５の端面の振れ（内輪アキシャル振れ）を測定できる。

このように、ＪＩＳ（ＪＩＳ Ｂ １５１５）に規定されている方法を利用するものとしては、従来から種々の装置が提案されている（特許文献１及び特許文献２）。

特開昭５５−３９０１０号公報 特公昭４９−４８１５３号公報

ところで、軸受における振れを完全に無くすことは難しい。しかしながら、振れの最大位相が既知であれば、各種の装置に軸受を組み付ける際に、振れ最大位相と反対側にバランスウェイトを取り付けることによって、振れの影響をある程度相殺することができる。

その為、軸受の振れ測定として、振れの大きさだけでなく振れ最大位相を測定できればよい。しかしながら、ＪＩＳ（ＪＩＳ Ｂ １５１５）に規定されている方法、及びこの方法を用いた従来の方法においては、振れの最大位相を測定できるものは提案されていない。

ところが、測定器である電気マイクロメータやダイヤルゲージ等の変位センサの指示値を目視にて確認し、振れが最大となる位置を記録することによって、振れの最大位相を測定できることになる。

しかしながら、この場合、変位センサの指示値は、回転に同期した振れ成分（ＲＲＯ）と回転に非同期な振動成分（ＮＲＲＯ）が混在して現れる。ＲＲＯに対してＮＲＲＯが大きい場合、目視による測定でＲＲＯのみを分離することが難しい。また。バランスウェイトの取り付けによって抑制できるのは、ＲＲＯの中の１角成分（偏肉成分）であり、目視によりＲＲＯから１角成分のみを抽出し、最大位置を特定することは困難であるといる。すなわち、振れ最大位置の測定値にばらつきが生じることになる。

本発明は、上記課題に鑑みて、バランスウェイトを取り付けるために必要な回転に同期した振れ最大位相を精度よく求めることが可能な振れ測定装置を提供する。

本発明の第１の振れ測定装置は、転がり軸受の振れ測定装置であって、測定すべき転がり軸受の内輪を固定する固定台と、前記軸受の外輪に測定用荷重を負荷するおもり部材と、前記外輪の振れ量を検出する振れ量検出手段と、前記振れ量検出手段にて検出した変位データである振れ量のうち、回転位相に同期した変位信号を取り込んで、その信号データを基に外輪の振れの大きさ及び振れの最大位相を算出する分析手段とを備え、前記分析手段は、回転に非同期な振動成分の除去を行う除去部を備え、前記除去部として、ドリフト補正処理部を有するものである。

本発明の第１の振れ測定装置によれば、固定台に転がり軸受の内輪を固定した状態で、おもり部材にて、軸受の外輪に測定用荷重を負荷し、その状態で回転させて、振れ量検出手段にて外輪の振れ量を検出することができる。また、位相検出手段にて、外輪の位相情報を検出することができる。そして、分析手段にて、回転に非同期な振動成分の除去を行って、その除去後の信号データを基に外輪の振れ大きさ及び振れの最大位相を算出することができる。また、前記分析手段は、回転に非同期な振動成分の除去を行う除去部を備え、前記除去部として、ドリフト補正処理部を有するものであるので、回転に非同期な振動成分を除去することができる。

本発明の第２の振れ測定装置は、転がり軸受の振れ測定装置であって、測定すべき転がり軸受の外輪を固定する固定台と、前記軸受の内輪に測定用荷重を負荷するおもり部材と、前記内輪の振れ量を検出する振れ量検出手段と、内輪の位相情報を検出する位相検出手段と、前記振れ量検出手段にて検出した変位データである振れ量のうち、位相検出手段の位相情報を基に回転位相に同期した変位信号を取り込んで、内輪の振れの大きさ及び振れの最大位相を算出する分析手段とを備え、前記分析手段は、回転に非同期な振動成分の除去を行う除去部を備え、前記除去部として、ドリフト補正処理部を有するものである。

本発明の第２の振れ測定装置によれば、固定台に転がり軸受の外輪を固定した状態で、おもり部材にて、軸受の内輪に測定用荷重を負荷し、その状態で回転させて、振れ量検出手段にて内輪の振れ量を検出することができる。また、おもり部材に付設された位相検出手段にて、内輪の位相情報を検出することができる。そして、分析手段にて、回転に非同期な振動成分の除去を行って、その除去後の信号データを基に内輪の振れ大きさ及び振れの最大位相を算出することができる。また、前記分析手段は、回転に非同期な振動成分の除去を行う除去部を備え、前記除去部として、ドリフト補正処理部を有するものであるので、回転に非同期な振動成分を除去することができる。

前記ドリフト補正処理部は、最小二乗法によりデータの一時近似線を算出し、元のデータから差し引くことによって、ドリフト成分の除去を行うことができる。また、ドリフト補正処理部は、データの先頭と末尾をつなぐ直線を算出し、元のデータから差し引くことによって、ドリフト成分の除去を行うことができる。

前記分析手段の前記除去部として、位相補償型のローパスフィルタを備えものであってもよい。ここで、ローパスフィルタ（Low-pass filter:LPF）はフィルタの一種で、なんらかの信号のうち、遮断周波数より低い周波数の成分はほとんど減衰させず、遮断周波数より高い周波数の成分を逓減させるフィルタである。このため、非同期な振動成分を除去することができる。

ローパスフィルタとしてガウシアンフィルタを用いることができる。ここで、ガウシアンフィルタとは、注目データに近いほど、平均値を計算するときの重みを大きくし、遠くなるほど重みを小さくなるようにガウス分布の関数を用いてレートを計算するフィルタである。

前記分析手段は調和解析部を備え、回転に非同期な振動成分の除去後の信号データに対して、前記調和解析部は調和解析を行い、得られた１次成分の位相を、軸受振れの最大位相として定量化するのが好ましい。

位相検出手段は、前記おもり部材に形成される位置情報としてスリットと、スリットを検知する光電センサとを備えたもので構成することができ、前記光電センサは、Ｚ相検出用の光電センサと、Ａ相検出用の光電センサとを有し、これらの組み合わせに位相検出用のロータリエンコーダを構成することができる。

本発明では、振れ量検出手段にて、振れ量、つまり振れに大きさを検出でき、かつ、分析手段にて、振れの最大位相を算出することができる。これによって、振れ最大位相と反対側にバランスウェイトを安定して取り付けることができて、安定した回転が可能な軸受を提供することができる。

本発明の第１の振れ測定装置の簡略図である。 前記振れ測定装置の分析手段の簡略ブロック図である。 本発明の第２の振れ測定装置の簡略図である。 本発明の第３の振れ測定装置の簡略図である。 本発明の第４の振れ測定装置の簡略図である。 ＪＩＳ規定されている方法で外輪のラジアル振れを測定して状態を示す簡略図である。 ＪＩＳ規定されている方法で内輪のラジアル振れを測定して状態を示す簡略図である。

以下本発明の実施の形態を図１〜図５に基づいて説明する。図１は、転がり軸受の外輪の振れの大きさおよび振れの最大位相を検出する振れ測定装置を示す。ところで、転がり軸受２１は、内径面の外輪軌道面２２が形成された外輪２３と、外径面に内輪軌道面２４が形成された内輪２５と、外輪軌道面２２と内輪軌道面２４の間に介装されるボール２６とを備える。

振れ測定装置は、測定すべき転がり軸受２１の内輪２５を固定する固定台３０と、軸受２１の外輪２３に測定用荷重を負荷するおもり部材Ｗと、外輪２３の振れ量を検出する振れ量検出手段３２と、外輪２３の位相情報を検出する位相検出手段３３と、位相検出手段３３によって検出された位相情報を基に軸受振れの最大位相を算出する分析手段３４とを備える。

固定台３０は、ベース（基盤）３５と、このベース３５上に配設される内輪固定治具３６とを有するものである。内輪固定治具３６は円盤体からなり、上面外周部には周方向切欠からなる内輪嵌合部３７が設けられている。すなわち、内輪２５がこの内輪嵌合部３７に嵌合することによって、この内輪２５は固定台３０に固定されることになる。

おもり部材Ｗは、第１部材３１と、この第１部材３１に連設される第２部材４１とからなる。第１部材３１は、円盤状の本体部３１ａと、この本体部３１ａの下面外周部から垂下されるリング部３１ｂとならなり、このリング部３１ｂの下部内径部に周方向切欠からなる外輪嵌合部３８が設けられている。すなわち、外輪２３におもり部材Ｗの外輪嵌合部３８を嵌合させた状態で、外輪２３とおもり部材Ｗとが一体に回転する。この場合、固定台３０の内輪固定治具３６の軸心と、軸受軸心と、おもり部材Ｗの軸心とが、同一鉛直軸心上に配置される。なお、ＪＩＳ（ＪＩＳ Ｂ １５１５）には、おもりの重さの最小値が規定されており、おもり部材Ｗの重さとして、この規定値以上の例えば、５ｋｇの重さとする。

また、振れ量検出手段３２は例えば接触式変位センサからなり、固定台３０のベース３５に固定されている。すなわち、ベース３５に支持片４０が立設され、この支持片４０に取付られる。そして、その接触ロッド３２ａが外輪２３の外面に接触する。すなわち、外輪２３を１回転させたときの測定器（センサ）の読みの最大値と最小値との差で、この外輪２３のラジアル振れを検出（測定）できる。この測定データは分析手段３４に入力される。

位相検出手段３３は、一対の光電センサ４２、４３を備えたものである。おもり部材Ｗの第２部材４１には、位相情報としてＺ相用のスリット４４と、位相情報としてＡ相用のスリット４５とが形成されている。この場合、Ｚ相用のスリット４４は、１本のみ形成され、Ａ相用のスリット４５は、周方向に沿って等ピッチで１８０本形成されている。このため、第１の光電センサ４２がＺ相検出用であり、第２の光電センサ４３がＡ相検出用であり、この位相検出手段３３は、ロータリエンコーダを構成することになる。この位相検出手段３３の検出データは分析手段３４に入力される。なお、一対の光電センサ４２、４３は、おもり部材Ｗに固定されるものではなく、第１の光電センサ４２をスリット４４に所定間隔で相対面するとともに、第２の光電センサ４３をスリット４５に所定間隔で相対面するように、図示省略の固定部材に固定している。

分析手段３４は、図２に示すように、ＡＤ変換部５０と、非同期成分除去部５１と、調和解析部５２と、振れ量演算部５３と、結果表示部５４とを備える。ＡＤ変換部５０は、センサ３２からのデータをデジタル値に変換するものである。また、非同期成分除去部５１は、温度ドリフトなどの影響を取り除くためにドリフト補正処理部５５と、軸受２１の回転により発生する非同期な振動成分（ＮＲＲＯ）の影響を取り除くためのローパスフィルタ（位相補償型）５６とを有するものである。また、結果表示部５４は、液晶パネル等で構成できる。

ここで、ローパスフィルタ（Low-pass filter:LPF）はフィルタの一種で、なんらかの信号のうち、遮断周波数より低い周波数の成分はほとんど減衰させず、遮断周波数より高い周波数の成分を低減させるフィルタである。このため、非同期な振動成分を除去することができる。

次に、図１に示す振れ測定装置にて軸受２１の外輪２３の振れの大きさおよび振れの最大位相を検出する方法を説明する。まず、図１に示すように、固定台３０上に軸受２１をセットする。すなわち、内輪固定治具３６の内輪嵌合部３７に軸受２１の内輪２５を嵌合させて、内輪２５を固定台３０に固定する。

その後、位相検出手段３３のおもり部材Ｗを外輪２３に装着する。すなわち、おもり部材Ｗの外輪嵌合部３８を外輪２３に嵌合させる。また、振れ量検出手段３２を構成する接触式変位センサの接触ロッド３２ａを外輪２３の外周面に接触させる。

この状態で、外輪２３をおもり部材Ｗとともに回転させる。この場合、手動、つまり作業者の手回しにて行うことになる。そして、この手回し後に惰性回転状態なった状態で、Ｚ相検出用の光電センサ４２がＯＮした時点からＡ相検出用の光電センサ４３がＯＮする毎に、振れ量検出手段３２は例えば接触式変位センサからの変位値を１周分取り込む。

また、Ａ相検出用の光電センサ４３のＯＮのタイミングで、分析手段３４のＡＤ変換部５０にて、デジタル値に変換された変位データに対して、まず、ドリフト補正処理部５５にて測定中の変位センサのドリフト成分を除去する。このドリフト補正の方法としては、変位センサの信号データに対して最小二乗法による１次近似直線を算出し、元のデータから１次近似線を差し引くことによって行うことができる。また、元のデータの先頭と末尾を繋ぐ直線を求め、元データから差し引くことで補正を行いことも可能である。

その後は、ローパスフィルタ５６で、回転に非同期な振動成分（ＮＲＲＯ）の除去を行う。なお、この際、ＣＲフィルタなどの位相が補償されないフィルタを用いるのは、最終的に求めたい振れの最大位置の位相がずれるおそれがある。このため、位相補償型のフィルタを用いるのが好ましい。位相補償型のフィルタとして、例えば、ガウシアンフィルタを用いることができる。ここで、ガウシアンフィルタとは、注目データに近いほど、平均値を計算するときの重みを大きくし、遠くなるほど重みを小さくなるようにガウス分布の関数を用いてレートを計算するフィルタである。

次に、調和解析部５２によって、調和解析(ＤＦＴ)演算を行い、算出された１次成分の位相を振れ最大位相として、結果表示部５４に表示することになる。また、前記振れ量検出手段にて得たデータから、ＪＩＳ（ＪＩＳ Ｂ １５１５）に規定されている方法にて、最大値と最小値との差で、この外輪２３のラジアル振れを検出（測定）できる。そして、ラジアル振れ量を前記振れ最大位相とともに、前記結果表示部５４に表示するができる。

次に、図３は、内輪のラジアル振れを検出する振れ検出装置を示す。この場合、測定すべき転がり軸受２１の外輪２３を固定する固定台６０と、軸受２１の内輪２４に測定用荷重を負荷するおもり部材Ｗと、内輪２５の振れ量を検出する振れ量検出手段６２と、おもり部材Ｗに付設されて位相情報を検出する位相検出手段６３と、位相検出手段６３によって検出された位相情報を基に軸受振れの最大位相を算出する分析手段６４とを備える。

固定台６０は筒体にて構成され、この筒体の上方開口部に形成される周方向切欠部からなる外輪嵌合部６５が形成されている。このため、この外輪嵌合部６５に外輪２３を嵌合させることによって、外輪２３を固定台６０に固定できる。おもり部材Ｗは、円盤体からなる第１部材６１ａと、この第１部材６１ａに付設される第２部材６１ｂとからなり、第１部材６１の下面外周部に周方向切欠からなる内輪嵌合部６６が設けられている。このため、おもり部材Ｗを内輪２５に嵌合させることによって、このおもり部材Ｗにて、内輪２５に測定用荷重を負荷することができる。なお、このおもり部材Ｗの重さとして、例えば、５ｋｇの重さとする。

振れ量検出手段６２は、前記図１に示す振れ量検出手段３２と同様、接触ロッドを有する接触式変位センサが用いられ、この接触ロッドが内輪２５の内径面に接触する。また、位相検出手段６３は、前記図１に示す位相検出手段３３と同様、一対の光電センサ４２、４３を備えたものである。このため、おもり部材Ｗの第２部材４１には、位相情報としてＺ相用のスリット４４と、位相情報としてＡ相用のスリット４５とが形成されている。分析手段６４も、前記図２に示す分析手段３４と同様の構成とされる。

従って、この図３に示す振れ測定装置で、内輪２５のラジアル振動を測定するには、まず、固定台６０に外輪２３を固定するとともに、おもり部材Ｗを内輪２５に装着した状態として、内輪２５をおもり部材Ｗと一体的に、手動にて回転させる。この際、振れ量検出手段６２の接触式変位センサの接触ロッドを内輪２５の内径面に接触させる。そして、この手回し後に惰性回転状態なった状態で、Ｚ相検出用の光電センサ４２がＯＮした時点からＡ相検出用の光電センサ４３がＯＮする毎に、振れ量検出手段３２は例えば接触式変位センサからの変位値を１周分取り込む。

その後は、前記図１に示す外輪のラジアル振れを検出する振れ検出装置の分析手段３４と同様に処理（演算）を分析手段６４にて行うことによって、前記図１に示す外輪のラジアル振れを検出する振れ検出装置と同様、内輪２５のラジアル振れ量を前記振れ最大位相とともに、前記結果表示部５４に表示することができる。

図４は、外輪のアキシャル振れを検出する振れ検出装置を示している。この場合、図１に示すものに比べて、振れ量検出手段３２の接触ロッド３２ａを、外輪２３の軸方向端面に接触させている。他の構成は、図１に示す振れ検出装置と同様であり、同一部材については、図１に示す部材と同一の符号を付してそれらの説明を省略する。

従って、この図４に示す振れ測定装置で、外輪２３のアキシャル振動を測定するには、まず、固定台３０に内輪２５を固定するとともに、おもり部材Ｗを外輪２３に装着した状態として、外輪２３をおもり部材Ｗと一体的に、手動にて回転させる。この際、振れ量検出手段３２の接触式変位センサの接触ロッドを外輪２３の軸方向端面に接触させに接触させる。そして、この手回し後に惰性回転状態なった状態で、Ｚ相検出用の光電センサ４２がＯＮした時点からＡ相検出用の光電センサ４３がＯＮする毎に、振れ量検出手段３２は例えば接触式変位センサからの変位値を１周分取り込む。

その後は、前記図１に示す外輪のラジアル振れを検出する振れ検出装置の分析手段３４と同様に処理（演算）をこの図４に示す分析手段３４にて行うことによって、前記図１に示す外輪のラジアル振れを検出する振れ検出装置と同様、外輪のアキシャル振れ量を前記振れ最大位相とともに、前記結果表示部５４に表示することができる。

図５は内輪２５のアキシャル振れを検出する振れ検出装置を示している。この場合、図３に示すものに比べて、振れ量検出手段３２の接触ロッド３２ａを、内輪２５の軸方向端面に接触させている。他の構成は、図３に示す振れ検出装置と同様であり、同一部材については、図３に示す部材と同一の符号を付してそれらの説明を省略する。

従って、この図５に示す振れ測定装置で、内輪２５のアキシャル振動を測定するには、まず、固定台６０に外輪２３を固定するとともに、おもり部材Ｗを内輪２５に装着した状態として、内輪２５をおもり部材Ｗと一体的に、手動にて回転させる。この際、振れ量検出手段６２の接触式変位センサの接触ロッドを内輪２５の軸方向端面に接触させに接触させる。そして、この手回し後に惰性回転状態なった状態で、Ｚ相検出用の光電センサ４２がＯＮした時点からＡ相検出用の光電センサ４３がＯＮする毎に、振れ量検出手段３２は例えば接触式変位センサからの変位値を１周分取り込む。

その後は、前記図１に示す外輪のラジアル振れを検出する振れ検出装置の分析手段３４と同様に処理（演算）をこの図５に示す分析手段６４にて行うことによって、前記図１に示す外輪のラジアル振れを検出する振れ検出装置と同様、内輪のアキシャル振れ量を前記振れ最大位相とともに、前記結果表示部５４に表示することができる。

本発明によれば、振れ量検出手段３２（６２）にて、振れ量、つまり振れの大きさを検出でき、かつ、分析手段３４（６４）にて、振れの最大位相を算出することができる。これによって、振れ最大位相と反対側にバランスウェイトを安定して取り付けることができて、安定した回転が可能な軸受を提供することができる。

図１に示す振れ測定装置では、外輪２３のラジアル擦れの振れ最大位相を精度よく検出することができ、図３の振れ測定装置では、内輪２５のラジアル擦れの振れ最大位相を精度よく検出することができ、図４に示す振れ測定装置では、外輪２３のアキシャル擦れの振れ最大位相を精度よく検出することができ、図５の振れ測定装置では、内輪の２５アキシャル擦れの振れ最大位相を精度よく検出することができる。

以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、位相検出手段３３（６３）として、スリット４４，４５と光電センサ４２，４３との組み合わせを用いたが、おもり部材Ｗの第２部材４１に形成される着磁部と、磁気センサとの組み合わせからなる磁気エンコーダを用いてもよい。振れ量検出手段６２に接触式変位センサを用いたが、レーザ光や静電容量式などの非接触式センサを用いてもよい。また、測定する転がり軸受としては、前記各実施形態では、玉軸受であったかが、円すいころ軸受等であってもよい。さらには、測定時における軸受の内輪や外輪の回転力付与としては、前記実施形態では手動によって行っていたが、モータ駆動力を用いるようにしてもよい。

２１ 軸受
２３ 外輪
２５ 内輪
３０ 固定台
３２ 振れ量検出手段
３３ 位相検出手段
３４ 分析手段
４２、４３ 光電センサ
５１ 非同期成分除去部
５２ 調和解析部
５５ ドリフト補正処理部
５６ ローパスフィルタ
６０ 固定台
６２ 振れ量検出手段
６３ 位相検出手段
６４ 分析手段
Ｗ おもり部材

Claims (9)

1. 転がり軸受の振れ測定装置であって、
   測定すべき転がり軸受の内輪を固定する固定台と、前記軸受の外輪に測定用荷重を負荷するおもり部材と、前記外輪の振れ量を検出する振れ量検出手段と、前記振れ量検出手段にて検出した変位データである振れ量のうち、回転位相に同期した変位信号を取り込んで、その信号データを基に外輪の振れの大きさ及び振れの最大位相を算出する分析手段とを備え、前記分析手段は、回転に非同期な振動成分の除去を行う除去部を備え、前記除去部として、ドリフト補正処理部を有することを特徴とする振れ測定装置。
2. 転がり軸受の振れ測定装置であって、
   測定すべき転がり軸受の外輪を固定する固定台と、前記軸受の内輪に測定用荷重を負荷するおもり部材と、前記内輪の振れ量を検出する振れ量検出手段と、内輪の位相情報を検出する位相検出手段と、前記振れ量検出手段にて検出した変位データである振れ量のうち、位相検出手段の位相情報を基に回転位相に同期した変位信号を取り込んで、内輪の振れの大きさ及び振れの最大位相を算出する分析手段とを備え、前記分析手段は、回転に非同期な振動成分の除去を行う除去部を備え、前記除去部として、ドリフト補正処理部を有することを特徴とする振れ測定装置。
3. 前記ドリフト補正処理部は、最小二乗法によりデータの一次近似線を算出し、元のデータから差し引くことによって、ドリフト成分の除去を行うことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の振れ測定装置。
4. 前記ドリフト補正処理部は、データの先頭と末尾をつなぐ直線を算出し、元のデータから差し引くことによって、ドリフト成分の除去を行うことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の振れ測定装置。
5. 前記分析手段の除去部として、位相補償型のローパスフィルタを備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の振れ測定装置。
6. ローパスフィルタとしてガウシアンフィルタを用いることを特徴とする請求項５に記載の振れ測定装置。
7. 前記分析手段は調和解析部を備え、回転に非同期な振動成分の除去後の信号データに対して、前記調和解析部は調和解析を行い、得られた１次成分の位相を、軸受振れの最大位相として定量化することを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の振れ測定装置。
8. 位相検出手段は、前記おもり部材に形成される位置情報としてのスリットと、スリットを検知する光電センサとを備えたことを特徴とする請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載の振れ測定装置。
9. 前記光電センサは、Ｚ相検出用の光電センサと、Ａ相検出用の光電センサとを有し、これらの組み合わせに位相検出用のロータリエンコーダを構成することを特徴とする請求項８に記載の振れ測定装置。

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