JP6352876B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
Claims (5)
- 第1の電源用リードと、第1の信号用リードと、前記第1の電源用リードと前記第1の信号用リードとの間に設けられた第2の信号用リードと、前記第1の信号用リードと前記第2の信号用リードとの間に設けられた第2の電源用リードと、前記第2の電源用リードの一部と前記第1の信号用リードの一部と第2の信号用リードの一部との間を接続する配線部と、前記第1の電源用リードの一部、前記第1の信号用リードの他の一部、および前記第2の信号用リードの他の一部に接続された支持部と、を備え、前記第1の電源用リードならびに前記第1および第2の信号用リードのそれぞれがインナーリードとアウターリードとを含み、前記第2の電源用リードがインナーリードを含む、リードフレームに対して前記配線部を除去する加工を施して、前記第2の電源用リードの一部と前記第1の信号用リードの一部と前記第2の信号用リードの一部とを分離する工程と、
前記リードフレーム上に半導体チップを搭載する工程と、
前記第1および第2の信号用リードならびに前記第2の電源用リードと前記半導体チップとの間のそれぞれを電気的に接続する第1のボンディングワイヤと、前記第1の電源用リードと前記第2の電源用リードとの間を前記第2の信号用リードを跨いで電気的に接続する第2のボンディングワイヤと、を形成する工程と、
前記第1および第2の電源用リードならびに前記第1および第2の信号用リードのそれぞれのインナーリードと、前記第2の電源用リードのインナーリードと、前記半導体チップと、前記第1および第2のボンディングワイヤと、を封止する封止樹脂層を形成する工程と、
前記支持部と、前記第1の電源用リードの一部ならびに前記第1および第2の信号用リードの他の一部と、の間の接続部のそれぞれを切断する工程と、を具備する半導体装置の製造方法。 - 前記第1の電源用リードのインナーリードは、第1のボンディングパッド部を有し、
前記第2の電源用リードのインナーリードは、第2のボンディングパッド部を有し、
前記配線部は、前記第2のボンディングパッド部と前記第1の信号用リードの一部と前記第2の信号用リードの一部との間を接続し、
前記第2のボンディングワイヤは、前記第1のボンディングパッド部と前記第2のボンディングパッド部との間を前記第2の信号用リードを跨いで電気的に接続する、請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1および第2のボンディングパッド部は、互いに同じ方向に長手方向を有する形状を有し、
前記第2のボンディングワイヤは、前記第1および第2のボンディングパッド部の長手方向に沿って延在する、請求項2に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記配線部は、前記第1の信号用リードから分岐し且つ前記第1の信号用リードと前記第2の信号用リードとの間に設けられた第1の配線部と、前記第2の信号用リードから分岐し且つ第1の配線部と前記第2の信号用リードとの間に設けられた第2の配線部と、を有する、請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記分離する工程および前記半導体チップを搭載する工程のそれぞれは、ダイボンディング装置に前記リードフレームがロードされた後、前記ダイボンディング装置から前記リードフレームがアンロードされる前に行われる、請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
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